DE102016208887A1

DE102016208887A1 - Washing apparatus and method for keeping a closed clean room clean

Info

Publication number: DE102016208887A1
Application number: DE102016208887.4A
Authority: DE
Inventors: Werner Stahl
Original assignee: Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH
Current assignee: Gottlob Stahl Waschereimaschinenbau GmbH
Priority date: 2016-05-23
Filing date: 2016-05-23
Publication date: 2017-11-23
Also published as: CN107413804A; EP3249095A1; EP3249095B1; CN107413804B

Abstract

Um eine Waschvorrichtung umfassend ein eine Waschkammer umschließendes Waschkammergehäuse, welches mit einer Zugangsöffnung versehen ist, die durch eine Zugangstür verschließbar ist, ein in der Waschkammer angeordnetes Bewegungssystem und eine Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem, derart zu verbessern, dass diese zur Verwendung in einem Reinraum geeignet ist, wird vorgeschlagen, dass das Waschkammergehäuse und die Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem in einem Innenraum eines Außengehäuses angeordnet sind und dass der Innenraum mit einer Abluftleitung verbunden ist, welche mindestens beim Betrieb der Waschvorrichtung Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses abführt.To improve a washing apparatus comprising a washing chamber housing enclosing a washing chamber provided with an access opening closable by an access door, a moving system disposed in the washing chamber, and a driving system for the moving system to be suitable for use in a clean room , It is proposed that the washing chamber housing and the driving device for the movement system are arranged in an inner space of an outer housing and that the inner space is connected to an exhaust air line, which at least during operation of the washing device discharges air from the interior of the outer housing.

Description

Die Erfindung betrifft eine Waschvorrichtung umfassend ein eine Waschkammer umschließendes Waschkammergehäuse, welches mit einer Zugangsöffnung versehen ist, die durch eine Zugangstür verschließbar ist, ein in der Waschkammer angeordnetes Bewegungssystem und eine Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem.The invention relates to a washing device comprising a washing chamber housing enclosing a washing chamber, which is provided with an access opening which can be closed by an access door, a movement system arranged in the washing chamber and a drive system for the movement system.

Derartige Waschvorrichtungen sind aus dem Stand der Technik bekannt.Such washing devices are known from the prior art.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Waschvorrichtung derart zu verbessern, dass diese zur Verwendung in einem Reinraum geeignet ist.The invention has for its object to improve a washing device such that it is suitable for use in a clean room.

Diese Aufgabe wird bei einer Waschvorrichtung der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das Waschkammergehäuse und die Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem in einem Innenraum eines Außengehäuses angeordnet sind und dass der Innenraum mit einer Abluftleitung verbunden ist, welche mindestens beim Betrieb der Waschvorrichtung Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses abführt.This object is achieved in a washing device of the type described above according to the invention that the wash chamber housing and the drive device for the movement system are arranged in an interior of an outer housing and that the interior is connected to an exhaust duct, which at least during operation of the washing device air from the interior of the outer housing dissipates.

Der Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung ist somit darin zu sehen, dass dadurch selbst bei Entstehen von Partikeln im Bereich des Waschkammergehäuses, beispielsweise im Bereich der Lagerung des Bewegungssystems oder im Bereich der Antriebsvorrichtung für das Bewegungssystem auftretende Partikel, diese nicht zu einer Verschmutzung des Reinraums führen, sondern durch die aus dem Innenraum über die Abluftleitung abgeführte Abluft ausgetragen werden können und somit nicht in den Reinraum gelangen.The advantage of the solution according to the invention is thus to be seen in the fact that, even when particles form in the region of the wash chamber housing, for example in the area of the bearing of the movement system or in the region of the drive device for the movement system, the particles do not lead to contamination of the clean room. but can be discharged through the exhaust air discharged from the interior via the exhaust duct and thus do not enter the clean room.

Um den Innenraum bevorzugt mit Luft zu durchfluten, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Luft in das Außengehäuse über eine einen Zugang zu der Zugangstür zulassende Türöffnung in dem Außengehäuse in den Innenraum eintritt.In order to preferably flow through the interior with air, it is preferably provided that the air enters the outer housing via an access opening to the access door permitting door opening in the outer housing into the interior.

Das heißt, dass die Luft die Zugangstür umströmend in den Innenraum eintritt und somit auch im Bereich der Zugangstür eventuell auftretende Partikel in den Innenraum des Außengehäuses und aus diesem über die Abluftleitung abführt.This means that the air enters the access door around the interior and thus dissipates possibly occurring particles in the area of the access door into the interior of the outer housing and out of this via the exhaust air line.

Um die in dem Außengehäuse vorgesehene Türöffnung noch zusätzlich abzudecken, ist vorzugsweise vorgesehen, dass beim Betrieb der Waschvorrichtung die Türöffnung durch eine Türhaube verschlossen ist.To additionally cover the door opening provided in the outer housing, it is preferably provided that during operation of the washing device, the door opening is closed by a door hood.

Eine derartige Türhaube verhindert ebenfalls das Austreten von Partikeln aus dem Bereich der Zugangstür in den Reinraum.Such a door hood also prevents the escape of particles from the area of the access door in the clean room.

Insbesondere ist es günstig, wenn zwischen der Türhaube und einer Wand des Außengehäuses ein Luftspalt besteht, durch welchen Luft hindurchtritt und über die Türöffnung in den Innenraum eintritt.In particular, it is favorable if an air gap exists between the door hood and a wall of the outer housing, through which air passes and enters the interior via the door opening.

Durch einen derartigen Luftspalt zwischen der Türhaube und der Wand des Außengehäuses lässt sich der Zutritt von Luft aus dem Reinraum einerseits hinsichtlich seines Weges und andererseits hinsichtlich des Volumens definieren.By such an air gap between the door hood and the wall of the outer housing, the access of air from the clean room can be defined on the one hand in terms of its way and on the other hand in terms of volume.

Eine besonders vorteilhafte Lösung sieht dabei vor, dass das Außengehäuse sämtliche funktionalen Komponenten der Waschvorrichtung umschließt, wobei unter funktionalen Komponenten weitere zur Funktion der Waschvorrichtung wesentliche Komponenten, wie beispielsweise Zufuhreinrichtungen für Reinmedium und Detergention, Leitungen für Waschmedium, elektrische Leitungen, Steuerelemente für solche Leitungen sowie Antriebselemente und Steuereinheiten für diese zu verstehen sind.A particularly advantageous solution provides that the outer housing encloses all the functional components of the washing device, wherein under functional components further components essential to the function of the washing device, such as feeders for pure medium and Detergention, lines for washing medium, electrical lines, controls for such lines and Drive elements and control units are to be understood for these.

Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn die Abluftleitung mit einem die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses unterstützenden Gebläse versehen ist, denn ein derartiges Gebläse erlaubt es, einen definierten Luftdurchsatz durch den Innenraum des Außengehäuses sicherzustellen.In particular, it is advantageous if the exhaust air line is provided with a discharge of air from the interior of the outer housing supporting blower, because such a blower allows to ensure a defined air flow through the interior of the outer housing.

Damit ist ein gesicherter Austrag von Partikeln über die Abluft aus dem Innenraum des Außengehäuses realisierbar.In order for a secure discharge of particles on the exhaust air from the interior of the outer housing can be realized.

Die Abluftleitung kann in unterschiedlichster Art und Weise aus dem Außengehäuse herausgeführt werden.The exhaust duct can be led out of the outer housing in a variety of ways.

So sieht eine Lösung vor, dass die Abluftleitung durch eine Wand des Außengehäuses geführt ist.So provides a solution that the exhaust duct is guided through a wall of the outer housing.

Eine andere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass die Abluftleitung bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse geführt ist.Another advantageous solution provides that the exhaust air line is guided on the bottom side, in particular via a footprint, in the outer housing.

Ferner ist es zum Betrieb der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung von Vorteil, wenn zusätzlich zu der Abluftleitung noch ein Geräteablauf und/oder eine Reinmediumzuleitung, insbesondere für wasserbasiertes Reinmedium, in den Innenraum des Außengehäuses geführt sind.Furthermore, it is advantageous for the operation of the washing device according to the invention if, in addition to the exhaust air line, a device drain and / or a clean medium supply line, in particular for water-based pure medium, are guided into the interior of the outer housing.

Ein derartiger Geräteablauf dient dazu, sämtliche, beim Betrieb der Waschvorrichtung anfallende flüssige Medien, insbesondere Waschmedium, abzuführen.Such a device sequence serves to remove all, during operation of the washing device resulting liquid media, in particular washing medium.

Vorzugsweise ist dabei der Geräteablauf durch eine Wand des Außengehäuses geführt.Preferably, the device drain is guided by a wall of the outer housing.

Eine andere bevorzugte Lösung sieht vor, dass der Geräteablauf bodenseitig, insbesondere durch eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse geführt ist. Another preferred solution provides that the device drain on the bottom side, in particular by a footprint, is guided in the outer housing.

Hinsichtlich der Ausbildung des Geräteablaufs wurden bislang keine näheren Angaben gemacht.With regard to the training of the device procedure so far no further details have been made.

So sieht eine bevorzugte Lösung vor, dass der Geräteablauf berührungslos mit einer dem Waschkammergehäuse zugeordneten Ableitung zur Abfuhr von Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse verbunden ist.Thus, a preferred solution provides that the device drain is connected in a non-contact manner with a drain associated with the wash chamber housing for the removal of washing medium from the wash chamber housing.

Eine derartige berührungslose Verbindung zwischen dem Geräteablauf und der Ableitung schafft den Vorteil, dass dadurch sich in dem Geräteablauf bildende Schmutzfilme nicht in die Ableitung und somit in Richtung der Waschkammer ausbreiten können.Such a non-contact connection between the device drain and the discharge creates the advantage that dirt films forming in the device drain can not thereby spread into the drain and thus in the direction of the wash chamber.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass der Geräteablauf einen Sammler aufweist, in welchen ein Anschluss der Ableitung berührungslos einmündet.A particularly preferred embodiment provides that the device drain has a collector, in which a connection of the discharge opens without contact.

Im Zusammenhang mit den bislang erläuterten Ausführungsbeispielen wurde nicht näher darauf eingegangen, wie eine Reinmediumzuleitung in den Innenraum des Außengehäuses geführt werden soll.In connection with the exemplary embodiments explained so far, it was not discussed in detail how a clean medium supply line should be guided into the interior of the outer housing.

So sieht eine vorteilhafte Lösung vor, dass eine Reinmediumzuleitung durch die Wand des Außengehäuses geführt ist.Thus, an advantageous solution provides that a clean medium supply line is guided through the wall of the outer housing.

Eine andere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass die Reinmediumzuleitung bodenseitig, insbesondere über eine Aufstellfläche, in das Außengehäuse hineingeführt ist.Another advantageous solution provides that the clean medium supply line is guided on the bottom side, in particular via a footprint, in the outer housing.

Um auch insbesondere im Bereich der Verbindung zwischen der Ableitung und dem Geräteablauf gegebenenfalls austretende Partikel nicht in den Reinraum eintreten zu lassen, ist vorzugsweise vorgesehen, dass zumindest ein Teil des Geräteablaufs und die Ableitung für das Waschmedium aus dem Waschkammergehäuse in dem Außengehäuse angeordnet sind.In order to prevent any escaping particles from entering the clean room, in particular in the region of the connection between the discharge and the device drain, it is preferably provided that at least part of the device drain and the drainage for the washing medium from the wash chamber housing are arranged in the outer housing.

Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die Ableitung und der Geräteablauf berührungslos miteinander verbunden sind, da dann im Bereich eines die Berührungslosigkeit herstellenden freien Zwischenraums oder Luftspalts die Gefahr besteht, dass Partikel über diesen Zwischenraum oder Luftspalt in den Reinraum gelangen könnten, was dadurch vermieden wird, dass diese bei Anordnung der berührungslosen Verbindung innerhalb des Innenraums vermieden wird, da gegebenenfalls austretende Partikel über die den Innenraum durchströmende Luft abgeführt werden.This is particularly advantageous if the derivative and the device sequence are connected to each other without contact, since then there is a risk in the area of a free gap or air gap producing contactlessness that particles could pass into the clean room via this gap or air gap, thereby avoiding this is that this is avoided in the arrangement of the non-contact connection within the interior, since any escaping particles are discharged through the air flowing through the interior.

Insbesondere ist dabei vorgesehen, dass der Sammler des Geräteablaufs und die Ableitung in dem Außengehäuse angeordnet sind.In particular, it is provided that the collector of the device drain and the discharge are arranged in the outer housing.

Eine weitere vorteilhafte Lösung sieht vor, dass das Waschkammergehäuse einen Entlüftungsanschluss aufweist, der mit einem Entlüftungsfilter gekoppelt ist, welches aus der Waschkammer des Waschkammergehäuses abströmende oder in die Waschkammer einströmende Luft filtert.A further advantageous solution provides that the washing chamber housing has a venting connection, which is coupled with a venting filter which filters air flowing out of the washing chamber of the washing chamber housing or flowing into the washing chamber.

Auch bei dieser Lösung wird somit vermieden, dass aus der Waschkammer Partikel austreten oder gegebenenfalls unerwünschte Partikel in die Waschkammer eintreten, da diese durch das Entlüftungsfilter gefiltert werden.In this solution, too, it is thus avoided that particles escape from the washing chamber or, if appropriate, undesirable particles enter the washing chamber, since these are filtered by the venting filter.

Um auch in diesem Fall möglichst umfassend einen Austritt von Partikeln auch aus dem Entlüftungsfilter zu vermeiden ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Entlüftungsfilter in dem Innenraum des Außengehäuses angeordnet ist.In order to avoid as far as possible in this case, a leakage of particles from the vent filter is preferably provided that the vent filter is arranged in the interior of the outer housing.

Besonders günstig ist es, wenn das Entlüftungsfilter eine Filtergehäusemündung aufweist, welche in den Innenraum des Außengehäuses mündet, so dass aus dem Entlüftungsfilter austretende Luft oder in das Entlüftungsfilter eintretende Luft aus dem Innenraum des Außengehäuses kommen und somit nicht in den Reinraum eintreten können.It is particularly favorable if the venting filter has a filter housing mouth which opens into the interior of the outer housing, so that air emerging from the venting filter or air entering the venting filter comes from the interior of the outer housing and thus can not enter the cleanroom.

Eine besonders vorteilhafte Lösung einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung sieht vor, dass ein Ablaufen von Waschmedium aus der Waschkammer über ein Ablaufventil schwerkraftgetrieben erfolgt.A particularly advantageous solution of a washing device according to the invention provides that drainage of washing medium from the washing chamber via a drain valve is gravity-driven.

Dadurch wird einerseits eine Pumpe vermieden und andererseits ein einfaches Abführen des Waschwassers sichergestellt, wobei auch in diesem Fall ein Auftreten von unerwünschten Partikeln durch die Einfachheit des Ablaufventils und die nicht notwendige Pumpe vermieden wird.As a result, on the one hand a pump is avoided and on the other hand ensures a simple discharge of the wash water, which in this case, an occurrence of unwanted particles by the simplicity of the drain valve and the unnecessary pump is avoided.

In diesem Fall ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Ablaufventil zwischen einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer und der zum Geräteablauf führenden Ableitung angeordnet ist.In this case, it is preferably provided that the drain valve is arranged between a lowest point of the washing chamber in the direction of gravity and the outlet leading to the device drain.

Um auch durch das Ablaufventil generierte Partikel nicht in den Reinraum eintreten zu lassen, ist vorteilhafter Weise vorgesehen, dass das Ablaufventil in dem Innenraum des Außengehäuses angeordnet ist.In order not to let particles generated by the drain valve enter the clean room, it is advantageously provided that the drain valve is arranged in the interior of the outer housing.

Darüber hinaus ist vorzugsweise das Waschkammergehäuse mit einer Überlaufleitung versehen, welche in die Ableitung für das Waschmedium mündet, so dass selbst aus dem Waschkammergehäuse überlaufendes Waschmedium sich nicht frei im Innenraum des Außengehäuses ausbreiten kann, sondern definiert abgeführt wird. In addition, the washing chamber housing is preferably provided with an overflow line, which opens into the discharge for the washing medium, so that even from the washing chamber housing overflowing washing medium can not freely propagate in the interior of the outer housing, but is discharged in a defined manner.

Um ferner sicherzustellen, dass über die Ableitung keine Flüssigkeit in das Waschkammergehäuse eintritt, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Überlaufleitung mit einem Überlaufventil versehen ist, welches nur im Falle des Überlaufens von Waschmedium in dem Waschkammergehäuse öffnet.In order to further ensure that no liquid enters the washing chamber housing via the discharge, it is preferably provided that the overflow line is provided with an overflow valve which opens only in the event of overflow of washing medium in the washing chamber housing.

Zum Überwachen des Partikelbesatzes des Waschmediums ist vorzugsweise der Waschkammer eine Messeinrichtung zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums zugeordnet, die entweder mittels elektrischer Messverfahren oder mittels optischer Messverfahren die Partikeldichte im Waschmedium erfasst.For monitoring the particle content of the washing medium, the washing chamber is preferably assigned a measuring device for detecting the particle content of the washing medium, which detects the particle density in the washing medium either by means of electrical measuring methods or by means of optical measuring methods.

Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Reinhalten eines geschlossenen Reinraums während dessen Betrieb, bei welchem durch Partikel verunreinigte Objekte anfallen.Moreover, the invention relates to a method for keeping clean a closed clean room during its operation, incurred in which contaminated by particles objects.

Bei einem derartigen Reinraum werden üblicherweise verunreinigte Objekte aus dem Reinraum ausgeschleust, außerhalb desselben gereinigt und wieder in den Reinraum eingeschleust.In such a clean room usually contaminated objects are discharged from the clean room, cleaned outside of it and introduced back into the clean room.

Dadurch ist eine Vielzahl von Fehlerquellen und somit eine erneute Verunreinigung der gereinigten Objekte möglich.As a result, a multiplicity of error sources and thus a renewed contamination of the cleaned objects is possible.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Reinhalten eines geschlossenen Reinraums während dessen Betrieb zu verbessern.The invention is therefore based on the object to improve a method for keeping clean a closed clean room during its operation.

Das erfindungsgemäße Verfahren sieht daher vor, dass in dem Reinraum eine Waschvorrichtung angeordnet ist, dass in einer Waschkammer der Waschvorrichtung die Partikel von den Objekten durch einen Waschvorgang entfernt werden und dass die verunreinigten Objekte direkt von dem Reinraum in die Waschkammer eingebracht, in dieser von den Partikeln befreit und dann direkt von der Waschkammer in den Reinraum zurückgebracht werden, so dass ein Ausschleusen der Objekte aus dem Reinraum nicht erforderlich ist und die in der Waschkammer von den Partikeln befreiten Objekte direkt wieder zurück in den Reinraum gebracht werden können, ohne zusätzliche Maßnahmen, die eine Verunreinigung der Objekte bis zum Erreichen des Reinraums sicherstellen müssen.The inventive method therefore provides that in the clean room a washing device is arranged, that in a washing chamber of the washing device, the particles are removed from the objects by a washing process and that the contaminated objects introduced directly from the clean room in the wash chamber, in this of the Particles are freed and then returned directly from the wash chamber in the clean room, so that a discharge of the objects from the clean room is not required and the freed in the wash chamber objects from the particles directly back into the clean room can be brought without additional measures, which must ensure contamination of the objects until they reach the clean room.

Besonders einfach durchführbar ist das erfindungsgemäße Verfahren dann, wenn die verunreinigten Objekte in dem Reinraum durch dieselbe Zugangsöffnung von dem Reinraum in die Waschkammer eingebracht werden, durch die auch die von Partikeln befreiten Objekte wieder von der Waschkammer in den Reinraum zurückgebracht werden.The inventive method is particularly simple to carry out when the contaminated objects in the clean room are introduced from the clean room into the wash chamber through the same access opening, through which the objects freed of particles are also returned from the wash chamber to the clean room.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Waschvorrichtung nach einem der voranstehenden Merkmale verwendet wird.It is particularly advantageous if in the method according to the invention a washing device according to one of the preceding features is used.

Weitere Merkmale und Vorteile sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung eines Ausführungsbeispiels.Further features and advantages are the subject of the following description and the drawings of an embodiment.

In der Zeichnung zeigen:In the drawing show:

1 eine perspektivische Darstellung eines Grundgestells und eines Waschkammergehäuses in einer Frontansicht bei einem ersten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung; 1 a perspective view of a base frame and a Waschkammergehäuses in a front view in a first embodiment of the washing device according to the invention;

2 eine Darstellung des Grundgestells und des Waschkammergehäuses gemäß 1 in einer Rückansicht; 2 a representation of the base frame and the wash chamber housing according to 1 in a rear view;

3 einen Querschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung; 3 a cross section through a first embodiment of a washing device according to the invention;

4 einen vergrößerten Querschnitt ähnlich 3 im Bereich einer Türhaube eines Außengehäuses; 4 similar to an enlarged cross section 3 in the region of a door hood of an outer housing;

5 eine schematische Darstellung eines Reinraums in Draufsicht; 5 a schematic representation of a clean room in plan view;

6 einen Schnitt ähnlich 3 durch ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung und 6 similar to a cut 3 by a second embodiment of a washing device according to the invention and

7 einen Schnitt ähnlich 3 durch ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung. 7 similar to a cut 3 by a third embodiment of a washing device according to the invention.

Ein in den 1 bis 4 dargestelltes erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung umfasst, wie in 1 und 2 dargestellt, ein Grundgestell 12, welches beispielsweise mit Fußelementen 14 auf einer Aufstellfläche 16 aufstellbar ist.One in the 1 to 4 illustrated first embodiment of a washing device according to the invention comprises, as in 1 and 2 shown, a basic frame 12 , which, for example, with foot elements 14 on a footprint 16 can be set up.

Das Grundgestell 12 trägt ein als Ganzes mit 22 bezeichnetes Waschkammergehäuse, welches mittels Federelementen 24 auf dem Grundgestell 12 abgestützt ist und welches an seiner Frontseite 26 mit einer Zugangsöffnung 28 versehen ist, welche durch eine Zugangstür 32 verschließbar ist, wobei die Zugangstür 32 an einem Türträger 34 gehalten ist, der über eine Scharniereinheit 36 drehbar an der Frontseite 26 gehalten ist.The base frame 12 contributes as a whole 22 designated wash chamber housing, which by means of spring elements 24 on the base frame 12 is supported and which at its front 26 with an access opening 28 is provided which through an access door 32 lockable, with the access door 32 on a door carrier 34 held by a hinge unit 36 rotatable on the front 26 is held.

Der Türträger 34 ist ferner in seiner die Zugangstür 32 in einer die Zugangsöffnung 28 verschließenden Stellung mit einem Schloss 38 an der Frontseite 26 fixierbar, das auf den Türträger 34 im Bereich einer der Scharniereinheit 36 gegenüberliegenden Seite des Türträgers 34 wirkt.The door carrier 34 is also in his the access door 32 in one the access opening 28 closing position with a lock 38 at the front 26 fixable on the door carrier 34 in the area of one hinge unit 36 opposite side of the door carrier 34 acts.

An einer der Frontseite 26 gegenüberliegenden Rückseite 42 der Waschkammer 22 ist, wie beispielsweise in 2 und 3 dargestellt, eine Lagereinheit 44 vorgesehen, welche ein in einer vom Waschkammergehäuse 22 umschlossenen Waschkammer 46 angeordnetes rotierendes Bewegungssystem 48 um eine Drehachse 52 drehbar lagert, wobei das rotierende Bewegungssystem 48 für in der Waschkammer 46 zu waschende Objekte durch ein im Abstand von der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 angeordnetes Antriebselement 54 antreibbar ist.At one of the front 26 opposite back 42 the wash chamber 22 is, such as in 2 and 3 shown, a storage unit 44 provided, which in one of the washing chamber housing 22 enclosed wash chamber 46 arranged rotating movement system 48 around a rotation axis 52 rotatably supports, wherein the rotating movement system 48 for in the wash chamber 46 to be washed objects by a distance from the back 42 of the wash chamber housing 22 arranged drive element 54 is drivable.

Das Antriebselement 54 ist koaxial zum Bewegungssystem 48 angeordnet und mit diesem über eine Antriebswelle 56 starr verbunden, die ihrerseits in der Lagereinheit 44 um die Drehachse 52 drehbar gelagert ist.The drive element 54 is coaxial with the movement system 48 arranged and with this via a drive shaft 56 rigidly connected, in turn, in the storage unit 44 around the axis of rotation 52 is rotatably mounted.

Ferner umfasst das Antriebselement 54 eine umlaufende Riemenaufnahme 58 für einen Antriebsriemen 62, der durch eine Riemenscheibe 64 eines Antriebsmotors 66 antreibbar ist, wobei der Antriebsmotor 66 fest mit dem Waschkammergehäuse 22 verbunden ist.Furthermore, the drive element comprises 54 a circumferential belt mount 58 for a drive belt 62 that by a pulley 64 a drive motor 66 is driven, the drive motor 66 firmly with the wash chamber housing 22 connected is.

Das Antriebselement 54, der Antriebsriemen 62, die Riemenscheibe 64 und der Antriebsmotor 66 bilden zusammen eine Antriebsvorrichtung 68 für das Bewegungssystem 48.The drive element 54 , the drive belt 62 , the pulley 64 and the drive motor 66 together form a drive device 68 for the movement system 48 ,

An der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 ist vorzugsweise noch ein Zulaufanschluss 72 vorgesehen, welcher mit einer von einer Mischeinrichtung 76 für Waschmedium kommenden Zulaufleitung 74 verbunden ist.At the back 42 of the wash chamber housing 22 is preferably still a feed connection 72 provided, which with one of a mixing device 76 for washing medium coming supply line 74 connected is.

Der Mischeinrichtung 76 für das Waschmedium wird beispielsweise über eine mit einer externen Reinmediumleitung verbundene Reinmediumzuleitung, insbesondere eine Reinwasserzuleitung 82, Reinmedium zugeführt, welches dann in dieser mit für den Waschvorgang geeigneten chemischen Stoffen, insbesondere Detergenzien, versetzt wird und über die Zulaufleitung 74 und den Zulaufanschluss 72 in die Waschkammer 46 eintritt.The mixing device 76 for the washing medium, for example, via a pure medium supply line connected to an external pure medium line, in particular a pure water supply line 82 , Pure medium supplied, which is then added in this with suitable for the washing process chemicals, especially detergents, and the feed line 74 and the inlet connection 72 in the wash chamber 46 entry.

Ferner ist an dem Waschkammergehäuse 42 ein Ablaufventil 92 im Bereich eines tiefsten Punktes derselben so angeordnet, dass in der Waschkammer 46 vorhandenes Waschmedium an einem in Schwerkraftrichtung tiefsten Punkt der Waschkammer 46 in einen Eintrittsstutzen 94 des Ablaufventils 92 eintreten kann, um beim Öffnen des Ablaufventils 92 aus der Waschkammer 46 abfließen zu können.Further, on the wash chamber housing 42 a drain valve 92 in the area of a lowest point of the same arranged so that in the wash chamber 46 Existing washing medium at a lowest point in the gravitational direction of the wash chamber 46 in an inlet 94 the drain valve 92 can enter to open the drain valve 92 from the wash chamber 46 to be able to drain.

Ferner ist an der Rückseite 42 des Waschkammergehäuses 22 noch eine Überlaufleitung 96 angeschlossen, über welche bei einem zu hohen Stand von Waschmedium in der Waschkammer 46 überschüssiges Waschmedium ablaufen kann, wobei die Überlaufleitung 96 mit einem Überlaufventil 98 versehen ist.Furthermore, at the back 42 of the wash chamber housing 22 another overflow line 96 connected, over which at too high a level of washing medium in the wash chamber 46 Excess washing medium can run off, the overflow line 96 with an overflow valve 98 is provided.

Die Überlaufleitung 96 und das Ablaufventil 92 münden in eine gemeinsame Ableitung 104 ein, die einen Auslass 106 aufweist, der in einen Sammler 112 eines mit einer externen Ablaufleitung verbundenen Geräteablaufs 114 einmündet, wobei vorzugsweise die Ableitung 104 mit dem Auslass 106 berührungsfrei zum Sammler 112 und zum Geräteablauf 114 angeordnet ist, um die Ableitung 104 mit dem Auslass 106 frei von sich im Sammler 112 oder im Geräteablauf ausbildenden Schmutz- oder Bakterienschichten zu halten.The overflow pipe 96 and the drain valve 92 lead to a common derivation 104 one that has an outlet 106 that is in a collector 112 a device process connected to an external drain line 114 opens, preferably the derivative 104 with the outlet 106 non-contact to the collector 112 and to the device sequence 114 is arranged to the derivative 104 with the outlet 106 free from yourself in the collector 112 or in the device drain forming dirt or bacteria layers to keep.

Das Waschkammergehäuse 22, insbesondere die Rückseite 42 desselben, ist ferner noch mit einem Entlüftungsanschluss 122 versehen, von welchem ausgehend eine Entlüftungsleitung 124 zu einem Entlüftungsfilter 126 geführt ist, welches eine von einem Filtergehäuse 128 umschlossene Filterkammer 132 aufweist.The wash chamber housing 22 , especially the back 42 the same, is also still with a vent port 122 provided, from which starting a vent line 124 to a vent filter 126 is guided, which is one of a filter housing 128 enclosed filter chamber 132 having.

In der Filterkammer 132 ist ein Filtermaterial 134 angeordnet, welches einen Luftstrom zwischen einer an dem Filtergehäuse 128 vorgesehenen externen Filtergehäusemündung 136 und der Entlüftungsleitung 124 filtert, so dass einerseits aus der Waschkammer 46, beispielsweise beim Einlauf von Waschmedium, austretende Luft gefiltert wird, bevor sie über die externe Filtermündung 136 austritt, und andererseits beim Ablaufen des Waschmediums durch die externe Filtergehäusemündung 136 eintretende und durch das Filtermaterial 134 zur Entlüftungsleitung 124 strömende Luft gefiltert wird, um ein Austreten von Partikeln aus der Waschkammer 46 und ein Eintreten von Partikeln in die Waschkammer 46 jeweils über die Filtergehäusemündung 136 zu vermeiden.In the filter chamber 132 is a filter material 134 arranged, which a flow of air between one on the filter housing 128 provided external filter housing outlet 136 and the vent line 124 filters, so that on the one hand from the wash chamber 46 For example, at the inlet of washing medium, escaping air is filtered before passing through the external filter mouth 136 exits, and on the other hand when draining the washing medium through the external filter housing mouth 136 entering and through the filter material 134 to the vent line 124 flowing air is filtered to prevent particles from escaping from the wash chamber 46 and entry of particles into the wash chamber 46 each via the filter housing outlet 136 to avoid.

Die Filtergehäusemündung 136 ist dabei so angeordnet, dass sie in einen Innenraum 142 eines als Ganzes mit 140 bezeichneten Außengehäuses der Waschvorrichtung einmündet, wobei in dem Innenraum 142 sowohl das Grundgestell 12 mit dem Waschkammergehäuse 22, die Antriebsvorrichtung 68, Entlüftungsfilter 126 und die übrigen bislang beschriebenen Elemente angeordnet sind.The filter housing mouth 136 is arranged so that it is in an interior 142 one as a whole with 140 designated outer housing of the washing device opens, wherein in the interior 142 both the base frame 12 with the wash chamber housing 22 , the drive device 68 , Venting filter 126 and the other elements described so far are arranged.

Zum Beladen der Waschkammer 46 über die Zugangstür 32 umfasst das Außengehäuse 140 eine Türhaube 152, welche eine im Außengehäuse 140 vorgesehene Türöffnung 154 übergreift, über welche die Zugangstür 132 und der Türträger 134 zugänglich sind, um die Zugangstür 32 zu öffnen und somit über die Zugangsöffnung 28 des Waschkammergehäuses 22 die Waschkammer 46 mit zu waschenden Objekten zu beladen.To load the wash chamber 46 over the access door 32 includes the outer housing 140 a door hood 152 , which one in the outer housing 140 provided door opening 154 overlaps over which the access door 132 and the door carrier 134 are accessible to the access door 32 to open and thus over the access opening 28 of the wash chamber housing 22 the wash chamber 46 to load with objects to be washed.

Die Türhaube 152 überdeckt dabei vollständig die Türöffnung 154 des Außengehäuses 140 und bildet mit einer beispielsweise die Türöffnung 154 aufweisenden Frontwand 156 des Außengehäuses 140 zumindest partiell oder auch um die gesamte Türhaube 152 umlaufend einen Luftspalt 158, durch welchen das Außengehäuse 140 umgebende Luft in den Innenraum 142 eintreten kann.The door hood 152 completely covers the door opening 154 of the outer casing 140 and forms with one example, the door opening 154 having front wall 156 of the outer casing 140 at least partially or even around the entire door hood 152 circulating an air gap 158 through which the outer housing 140 ambient air into the interior 142 can occur.

Die Türhaube 152 ist dabei beispielsweise ebenfalls mittels eines Scharniers von der Türöffnung 154 abschwenkbar oder in anderer Weise abnehmbar, um die Türöffnung 154 in der Frontwand 156 zugänglich zu machen.The door hood 152 is for example also by means of a hinge from the door opening 154 hinged or otherwise removable to the door opening 154 in the front wall 156 to make accessible.

Ferner ist ein Deckel 152 des Außengehäuses 140, beispielsweise ausgehend von einer Rückwand 166 in Richtung der Frontwand 156, schräg abfallend ausgebildet, um Schmutzansammlungen auf dem Deckel 162 zu reduzieren.Further, a lid 152 of the outer casing 140 , for example, starting from a back wall 166 towards the front wall 156 , inclined sloping trained to dirt accumulation on the lid 162 to reduce.

Vorzugsweise hat der Deckel 162 eine Neigung von mehr als 20° gegenüber der Horizontalen, vorzugsweise eine Neigung von im Bereich von 20° bis 60° gegenüber der Horizontalen.Preferably, the lid has 162 an inclination of more than 20 ° with respect to the horizontal, preferably an inclination of in the range of 20 ° to 60 ° with respect to the horizontal.

Das Außengehäuse 140 ist dicht abschließend mit der Aufstellfläche 16 verbunden und erhebt sich über der Aufstellfläche 16 bis zum Deckel 162, wobei in diesem, beispielsweise im Bereich der Frontwand 156, die Türöffnung 154 vorgesehen ist und beispielsweise im Bereich der Rückwand 166 Durchlässe für den Geräteablauf 114, sowie die Reinmediumzuleitung 82 und zusätzlich noch ein Durchlass für eine Abluftleitung 172 vorgesehen sind.The outer housing 140 is tightly closed with the footprint 16 connected and rises above the footprint 16 to the lid 162 , in which, for example in the area of the front wall 156 , the door opening 154 is provided and, for example, in the back wall 166 Passages for the device drain 114 , as well as the pure medium supply line 82 and additionally a passage for an exhaust duct 172 are provided.

Die Abluftleitung ist mit einer externen Abluftleitung verbunden und mündet in den Innenraum 142 des Außengehäuses 140, um aus diesem ständig Luft abzusaugen.The exhaust pipe is connected to an external exhaust pipe and opens into the interior 142 of the outer casing 140 to constantly suck air out of this.

Die einzige Möglichkeit eines Luftzutritts zum Innenraum 142 des Außengehäuses 140 ist dabei im Bereich des Luftspalts 158 zwischen der Türhaube 152 und der Frontwand 156 vorgesehen, so dass dadurch sichergestellt ist, dass selbst dann, wenn sich im Innenraum 142 des Außengehäuses 40 irgendwelche Schmutzpartikel ausbilden sollten, diese über die Abluftleitung 172 abgeführt werden und insbesondere durch einen ständig durch den Luftspalt 158 hindurchtretenden und über die Türöffnung 154 in das Außengehäuse 140 eintretenden und dabei insbesondere das Waschkammergehäuse 22 zumindest teilweise umströmenden Luftstrom abgeführt werden.The only way of entering the air to the interior 142 of the outer casing 140 is in the area of the air gap 158 between the door hood 152 and the front wall 156 provided so as to ensure that, even when in the interior 142 of the outer casing 40 should form any dirt particles, these on the exhaust duct 172 be dissipated and in particular by a constantly through the air gap 158 passing through and over the doorway 154 in the outer casing 140 entering and in particular the wash chamber housing 22 be discharged at least partially flowing airflow.

Dies führt auch dazu, dass selbst dann, wenn über die Filtergehäusemündung 136 Partikel in den Innenraum 142 eintreten sollten, diese mittels des durch den Innenraum 142 des Außengehäuses 140 ständig hindurchgeführten Luftstrom durch die Abluftleitung 172 zumindest im Laufe der Zeit abgeführt werden.This also causes that, even if over the filter housing mouth 136 Particles in the interior 142 should enter, this by means of the interior 142 of the outer casing 140 constantly passed air flow through the exhaust duct 172 be dissipated at least over time.

Zum Testen der Qualität des Waschmediums, insbesondere zum Erfassen des Partikelbesatzes des Waschmediums, ist eine Messeinrichtung 174 an dem Waschkammergehäuse 22 vorgesehen, welche beispielsweise über die elektrische Leitfähigkeit des Waschmediums und oder über andere Messverfahren, beispielsweise optische Messverfahren, den Partikelbesatz des Waschmediums erfasst.To test the quality of the washing medium, in particular for detecting the Partikelbesatzes of the washing medium, is a measuring device 174 on the wash chamber housing 22 provided, which detects, for example on the electrical conductivity of the washing medium and or other measurement methods, such as optical measuring method, the particle content of the washing medium.

Eine derartige Waschvorrichtung 10 ist, wie in 5 beispielshaft dargestellt, in einem als Ganzes mit 180 bezeichneten Reinraum angeordnet, welcher durch sich über einem Reinraumboden 182 erhebende Reinraumwände 184 sowie eine in 5 zeichnerisch nicht dargestellte Reinraumdecke allseitig umschlossen ist und in welchem beispielsweise eine Arbeitseinrichtung 192 vorgesehen ist, welche entweder eine Messeinrichtung oder eine Untersuchungseinrichtung oder eine Produktionseinrichtung sein kann.Such a washing device 10 is how in 5 exemplified, in one as a whole with 180 designated clean room arranged, which by itself over a clean room floor 182 uplifting clean room walls 184 as well as an in 5 not shown cleanroom ceiling is enclosed on all sides and in which, for example, a working device 192 is provided, which may be either a measuring device or an examination device or a production device.

Üblicherweise wird ein derartiger Reinraum 180 beispielsweise durch eine Luftzufuhreinrichtung 202 ständig mit Reinluft versorgt und durch eine Luftabfuhreinrichtung 204 wird ständig Luft aus dem Reinraum 180 abgeführt, um somit in dem Reinraum 180 den erforderlichen Reinheitsgrad der Reinluft aufrecht zu erhalten.Usually, such a clean room 180 for example, by an air supply device 202 constantly supplied with clean air and by an air discharge device 204 is constantly getting air out of the clean room 180 dissipated, thus in the clean room 180 maintain the required purity of clean air.

Ferner ist der Reinraum 180 beispielsweise über eine Reinraumschleuse 206 für Personen zugänglich.Furthermore, the clean room 180 for example, via a clean room lock 206 accessible to people.

Im Fall der in dem Reinraum 180 angeordneten Waschvorrichtung 10 wird beispielsweise die Abluftleitung 172 mit einer externen Abluftleitung 212 verbunden, die eine Zweigleitung zur Luftabfuhreinrichtung 204 darstellt und somit ständig aus dem Innenraum 142 des Außengehäuses 140 in der beschriebenen Art und Weise Luft abführt.In the case of the clean room 180 arranged washing device 10 For example, the exhaust duct 172 with an external exhaust duct 212 connected to a branch line to the air discharge device 204 represents and thus constantly from the interior 142 of the outer casing 140 discharges air in the manner described.

Ferner ist vorzugsweise der Geräteablauf 114 mit einem externen Ablaufkanal 216 verbunden, welcher das Waschmedium aufnimmt.Furthermore, the device sequence is preferably 114 with an external drainage channel 216 connected, which receives the washing medium.

Außerdem ist die Reinmediumzuleitung 82 mit einer externen Reinmediumzuleitung 218 verbunden, über welche der Reinmediumzuleitung 82 Reinmedium mit dem notwendigen Reinheitsgrad für die Aufrechterhaltung des Reinheitsgrades im Reinraum 180 zugeführt wird.In addition, the pure medium supply line 82 with an external clean medium supply line 218 connected, via which the pure medium supply line 82 Pure medium with the necessary degree of purity for maintaining the degree of purity in the clean room 180 is supplied.

Die externe Reinmediumzuleitung 218 wird dabei beispielsweise auch zu der Arbeitsreinrichtung 192 geführt, wenn dort ebenfalls Reinmedium erforderlich sein sollte.The external clean medium supply line 218 For example, this also becomes the working device 192 guided, if there also pure medium should be required.

Bei dem erfindungsgemäßen Reinraum 180 ist die Waschvorrichtung 10 so angeordnet, dass diese insbesondere mit der Rückwand 166 des Außengehäuses 140 an eine der Reinraumwände 184 anschließt und die Frontwand 156 mit der Türhaube 152 von dem Reinraum 180 ausgehend zugänglich ist.In the clean room according to the invention 180 is the washing device 10 arranged so that this particular with the back wall 166 of the outer casing 140 to one of the clean room walls 184 connects and the front wall 156 with the door hood 152 from the clean room 180 starting is accessible.

Die erfindungsgemäße Lösung eröffnet somit die Möglichkeit, in die in dem Reinraum 180 vorgesehene Waschvorrichtung 10 vom Reinraum 180 aus Partikel tragende Objekte durch Abnehmen der Türhaube 152 und Öffnen der Zugangstür 32 über die Zugangsöffnung 28 direkt in das Waschkammergehäuse 46 einzubringen, um nach Schließen der Zugangstür 32 und Aufsetzen der Türhaube 152 einen Waschvorgang durchzuführen, im Rahmen von welchem die Partikel von den Objekten durch das Waschmedium, insbesondere ein wasserbasiertes Waschmedium, von den Objekten entfernt werden und über den Geräteablauf 114 und den externen Ablaufkanal 216 abgeführt werden.The solution according to the invention thus opens up the possibility of entering the clean room 180 provided washing device 10 from the clean room 180 objects carrying particles by removing the door hood 152 and opening the access door 32 over the access opening 28 directly into the wash chamber housing 46 to bring in after closing the access door 32 and placing the door hood 152 to carry out a washing process, in the context of which the particles are removed from the objects by the washing medium, in particular a water-based washing medium, from the objects and the device sequence 114 and the external drainage channel 216 be dissipated.

Nach Beendigung des Waschvorgangs erfolgt wieder ein Abnehmen der Türhaube 52 und ein Öffnen der Zugangstür 32, so dass die gewaschenen und von Partikeln befreiten Objekte direkt wieder in dem Reinraum 180 eingesetzt werden können.After completion of the washing process takes place again a removal of the door hood 52 and opening the access door 32 So the washed and particle-cleared objects are returned directly to the clean room 180 can be used.

Im Gegensatz zu den aus dem Stand der Technik bekannten Vorgehensweisen zur Reinigung von partikeltragenden Objekten in einem Reinraum erübrigt sich somit durch das Anordnen der Waschvorrichtung 10 direkt in dem Reinraum 180 das Ausschleusen der Objekte mit den Partikeln, aus dem Reinraum 180 das Waschen der Objekte zum Entfernen der Partikel außerhalb des Reinraums 180 und das Wiedereinschleusen der Objekte in dem Reinraum 180, wobei insbesondere bei den gewaschenen Objekten zwischen dem Entnehmen derselben aus der Waschkammer 46 und dem Einschleusen derselben in den Reinraum 180 wieder Kontaminationen mit Partikeln erfolgen können.In contrast to the methods known from the prior art for the cleaning of particle-bearing objects in a clean room, it is therefore unnecessary to arrange the washing device 10 directly in the clean room 180 the removal of the objects with the particles, from the clean room 180 washing the objects to remove the particles outside the clean room 180 and reinserting the objects in the clean room 180 In particular, in the washed objects between the removal of the same from the washing chamber 46 and the introduction of the same in the clean room 180 again contaminations can occur with particles.

Als Objekte, die in der erfindungsgemäßen Waschvorrichtung gewaschen werden können, kommen dabei insbesondere Putzobjekte, wie Putzlappen, Wischlappen oder Wischmops, oder auch Schutzkleidung oder auch in der Arbeitseinrichtung 192 anfallende Objekte, beispielsweise bei einem Produktionsvorgang oder einem Prüfvorgang oder einem Untersuchungsvorgang mit Partikeln behaftete Objekte, in Frage.As objects that can be washed in the washing device according to the invention, in particular plaster objects, such as cloths, wiping cloths or mops, or even protective clothing or in the working device come 192 resulting objects, for example, in a production process or a test procedure or an investigation process involving particles objects in question.

Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung, dargestellt in 6, sind diejenigen Elemente, die mit denen des ersten Ausführungsbeispiels identisch sind, mit denselben Bezugszeichen versehen, so dass hinsichtlich der Beschreibung vollinhaltlich auf die Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel verwiesen werden kann.In a second embodiment of a washing device according to the invention, shown in FIG 6 , those elements that are identical to those of the first embodiment, are provided with the same reference numerals, so that reference may be made in full to the description of the first embodiment with regard to the description.

Im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel ist allerdings der Abluftleitung 172 noch ein Abluftgebläse 232 zugeordnet, welches die Abfuhr von Luft aus dem Innenraum 142 unterstützt, insbesondere in dem Fall, dass der externe Abluftkanal 212 keinen ausreichenden Unterdruck erzeugt, um zuverlässig die Luft aus dem Innenraum 142 des Außengehäuses 140 abzuführen.In contrast to the first embodiment, however, the exhaust duct 172 another exhaust fan 232 assigned, which is the removal of air from the interior 142 supports, especially in the case that the external exhaust duct 212 does not generate sufficient negative pressure to reliably remove the air from the interior 142 of the outer casing 140 dissipate.

Bei einem dritten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Waschvorrichtung, dargestellt in 7, ist in Abwandlung zum ersten Ausführungsbeispiel der Geräteablauf 114' so angeordnet, dass der Ablauf über die Aufstellfläche 116 und nicht über die Rückwand 166 des Außengehäuses 140 erfolgt.In a third embodiment of a washing device according to the invention, shown in FIG 7 , Is in a modification to the first embodiment of the device sequence 114 ' arranged so that the drain over the footprint 116 and not on the back wall 166 of the outer casing 140 he follows.

Ferner ist auch die Abluftleitung 172' so angeordnet, dass sie über die Aufstellfläche 16 erfolgt.Furthermore, the exhaust pipe is also 172 ' arranged so that they are above the footprint 16 he follows.

Zusätzlich ist vorzugsweise auch noch vorgesehen, dass die externe Reinmediumzuleitung 218 ebenfalls über die Aufstellfläche 16 erfolgt.In addition, it is preferably also provided that the external clean medium supply line 218 also over the footprint 16 he follows.

Damit ist insgesamt die Rückwand 166 des Außengehäuses 140 als geschlossene Rückwand ausgebildet, so dass die erfindungsgemäße Waschvorrichtung 10 an beliebigen stellen innerhalb des Reinraums 180 angeordnet werden kann, ohne dass es notwendig ist, die Rückwand 166 an eine der Reinraumwände 184 anschließend anzuordnen.This is the back wall altogether 166 of the outer casing 140 designed as a closed rear wall, so that the washing device according to the invention 10 at any point within the clean room 180 can be arranged without it being necessary, the rear wall 166 to one of the clean room walls 184 then arrange.

Claims

Washing device comprising a washing chamber ( 46 ) enclosing wash chamber housing ( 22 ), which is provided with an access opening ( 28 ) through an access door ( 32 ) is closable, one in the wash chamber ( 46 ) arranged movement system ( 48 ) and a drive device ( 68 ) for the movement system ( 48 ), characterized in that the wash chamber housing ( 22 ) and the drive device ( 68 ) for the movement system ( 48 ) in an interior ( 142 ) of an outer housing ( 140 ) are arranged and that the interior ( 142 ) with an exhaust duct ( 172 ), which at least during operation of the Washing device air from the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ) dissipates.

Washing device according to claim 1, characterized in that the air in the outer housing ( 140 ) via an access to the access door ( 32 ) permitting door opening ( 154 ) in the outer housing ( 140 ) in the interior ( 142 ) entry.

Washing device according to claim 2, characterized in that during operation of the washing device, the door opening ( 154 ) through a door hood ( 152 ) is closed.

Washing device according to claim 3, characterized in that between the door hood ( 152 ) and a wall ( 156 ) of the outer housing ( 140 ) an air gap ( 158 ) through which air passes and over the door opening ( 154 ) in the interior ( 142 ) entry.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the outer housing ( 140 ) encloses all functional components of the washing device.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the exhaust air line ( 172 ) with a the removal of air from the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ) supporting blower ( 232 ) is provided.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the exhaust air line ( 172 ) through a wall of the outer housing ( 140 ) is guided.

Washing device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the exhaust air line ( 172 ) on the bottom side, in particular via a footprint ( 16 ), is guided in the outer housing.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that in addition to the exhaust duct ( 172 ) another device procedure ( 114 ) and / or a pure medium supply line ( 82 ) in the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ) are guided.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the device sequence ( 114 ) through a wall of the outer housing ( 140 ) is guided.

Washing device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the device sequence ( 114 ) on the bottom side, in particular via a footprint ( 16 ), into the outer housing ( 140 ) is guided.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the device sequence ( 114 ) contactless with a wash chamber housing ( 22 ) associated derivative ( 104 ) for the removal of washing medium from the washing chamber housing ( 22 ) connected is.

Washing device according to claim 12, characterized in that the device sequence ( 114 ) a collector ( 112 ), in which a connection ( 106 ) of a derivative ( 104 ) opens without contact.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that a pure medium supply line ( 82 ) through a wall of the outer housing ( 140 ) is guided.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that a pure medium supply line ( 82 ) on the bottom side, in particular via a footprint ( 116 ), into the outer housing ( 140 ) is inserted.

Washing device according to the preamble of claim 1 or any one of claims 9 to 15, characterized in that at least a part of the device process ( 114 ) and the derivative ( 104 ) for the washing medium from the washing chamber housing ( 22 ) in the outer housing ( 140 ) are arranged.

Washing device according to claim 16, characterized in that the collector ( 112 ) of the device sequence and the derivative ( 104 ) in the outer housing ( 140 ) are arranged.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the washing chamber housing ( 22 ) a vent port ( 122 ) equipped with a venting filter ( 126 ) is coupled, which from the wash chamber ( 46 ) of the wash chamber housing ( 22 ) or in the wash chamber ( 46 ) infiltrating air filters.

Washing device according to claim 18, characterized in that the venting filter ( 126 ) in the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ) is arranged.

Washing device according to claim 19, characterized in that the venting filter ( 126 ) a filter housing mouth ( 136 ), which in the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ).

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that a drainage of washing medium from the Wash chamber ( 46 ) via a drain valve ( 92 ) is gravity-driven.

Washing device according to claim 21, characterized in that the drain valve ( 92 ) between a gravitationally lowest point of the washing chamber ( 46 ) and the device ( 114 ) leading derivative ( 104 ) is arranged.

Washing device according to claim 21 or 22, characterized in that the drain valve ( 92 ) in the interior ( 142 ) of the outer housing ( 140 ) is arranged.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the washing chamber housing ( 22 ) with an overflow line ( 96 ), which are in the derivative ( 104 ) opens for the washing medium.

Washing device according to claim 24, characterized in that the overflow line ( 96 ) with an overflow valve ( 98 ) is provided.

Washing device according to one of the preceding claims, characterized in that the washing chamber ( 46 ) a measuring device ( 174 ) is assigned for detecting the Partikelbesatzes of the washing medium.

Method for keeping a closed clean room clean ( 180 during operation in which particles contaminated by particles are generated, characterized in that in the clean room ( 180 ) a washing device ( 10 ) is arranged in a washing chamber ( 46 ) of the washing device ( 10 ) the particles are removed from the objects by a washing process that the contaminated objects directly from the clean room ( 180 ) in the wash chamber ( 46 ), in this free of particles and then directly from the wash chamber ( 46 ) in the clean room ( 180 ) are returned.

A method of keeping clean according to claim 27, characterized in that the contaminated objects from the clean room ( 180 ) through the same access opening ( 28 ) from the clean room ( 180 ) in the wash chamber ( 46 ) are introduced by the also freed from the particles objects back from the wash chamber ( 46 ) are returned to the clean room.

Process for keeping clean according to claim 27 or 28, characterized in that a washing device ( 10 ) according to one of claims 1 to 26 is used.