[go: up one dir, main page]

DE102009050020B4 - Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht - Google Patents

Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht Download PDF

Info

Publication number
DE102009050020B4
DE102009050020B4 DE102009050020.0A DE102009050020A DE102009050020B4 DE 102009050020 B4 DE102009050020 B4 DE 102009050020B4 DE 102009050020 A DE102009050020 A DE 102009050020A DE 102009050020 B4 DE102009050020 B4 DE 102009050020B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
beam path
detection beam
microscope
shutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102009050020.0A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102009050020A1 (de
Inventor
Peter Kühn
Dietmar Schmidt
Thomas Mehner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microscopy GmbH filed Critical Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority to DE102009050020.0A priority Critical patent/DE102009050020B4/de
Priority to US12/905,246 priority patent/US8420992B2/en
Publication of DE102009050020A1 publication Critical patent/DE102009050020A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102009050020B4 publication Critical patent/DE102009050020B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/0044Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Mikroskop, vorzugsweise Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Detektionsstrahlengang mit einer optischen Achse und mindestens einem Detektor zur Detektion von von einer Probe kommendem Probenlicht, sowie mindestens einem im Detektionsstrahlengang angeordneten Lichtverschluss zum Öffnen und Schließen des Detektionsstrahlengangs, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtverschluss mindestens eine Monitordiode zur Messung von Probenlicht und/oder Fremdlicht bei geschlossenem Detektionsstrahlengang aufweist.

Description

  • Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht
  • Die Erfindung betrifft ein Mikroskop, vorzugsweise ein Laser Scanning Mikroskop, mit mindestens einem Detektor zur Detektion von von einer Probe kommendem Probenlicht, wobei der Detektor durch mindestens einen Lichtverschluss vor zu hohen Lichtleistungen geschützt wird.
  • Mikroskope der eingangs genannten Art beinhalten in der Regel Detektoren, beispielsweise, aber nicht ausschließlich CCD-Sensoren, Photovervielfacher (engl. Photomultiplier Tube, PMT) oder Lawinenphotodioden (engl. Avalanche-Photodiode APD) zur Detektion von Probenlicht wie zum Beispiel Fluoreszenzlicht. Insbesondere bei Verwendung von Detektoren, die zur Detektion von sehr geringen Lichtleistungen ausgelegt sind, oder wenn Lichtleistungen auftreten können, die den Dynamikbereich der Detektoren überschreiten, sind im Detektionsstrahlengang des Mikroskops häufig Lichtverschlüsse (engl. Shutter) vor den Detektoren angebracht. Die Lichtverschlüsse dienen zum Schutz der Detektoren vor Beschädigung oder vorzeitige Alterung durch zu hohe Lichtleistungen (Lichtintensitäten) sowohl des Probenlichts als auch von Fremdlicht wobei letzteres sämtliches Licht einschließt, welches nicht zur Detektion bestimmt ist und somit nicht auf den Detektor gelangen soll.
  • Als Lichtverschlüsse können mechanische Verschlüsse (Schieber, Klappen oder ähnliches), akustooptische oder elektrooptische Bauteile oder Flüssigkristall-Elemente zum Einsatz kommen. Die Steuerung der Lichtverschlüsse erfolgt in der Regel durch eine Steuereinheit in Abhängigkeit vom Betriebszustand des Mikroskops. So können die Lichtverschlüsse beispielsweise derart gesteuert werden, dass sie den Detektionsstrahlengang nur dann öffnen, wenn eine Messung von Probenlicht durchgeführt wird und der Detektionsstrahlengang bei Änderung von Einstellungen am Mikroskop (zum Beispiel Objektivwechsel, Filterwechsel oder Austausch der Probe) geschlossen bleibt.
  • Bei einer derartigen Anordnung kann jedoch nicht verhindert werden, dass nach Öffnen des Detektionsstrahlengangs dennoch eine zu hohe Lichtleistung auf den Detektor trifft, da die Steuerung des Lichtverschlusses unabhängig von der Lichtleistung erfolgt, und diese erst nach Öffnung des Lichtverschlusses durch den Detektor gemessen werden kann.
  • Zur Lösung dieses Problems ist es bekannt, zusätzliche Detektoren, so genannte Monitordioden, zu verwenden, um die Lichtleistung im Detektionsstrahlengang auch dann zu messen, wenn der Detektionsstrahlengang durch den Lichtverschluss geschlossen ist. Eine derartige Anordnung ist beispielsweise in der DE 102 53 609 A1 beschrieben. Hierbei wird ein Teil der Lichtleistung vor dem Lichtverschluss mit einem Strahlteiler aus dem Detektionsstrahlengang eines Scanmikroskops ausgekoppelt und auf einen zusätzlichen Detektor, die Monitordiode, gelenkt. Überschreitet die von der Monitordiode gemessene Lichtleistung einen vorgegebenen Wert, wird durch der Detektionsstrahlengang durch den Lichtverschluss vor dem Detektor geschlossen.
  • Die in der DE 102 53 609 A1 beschriebene Anordnung weist einige Nachteile auf, insbesondere wenn geringe Lichtleistungen detektiert werden sollen. So führt das notwendige Ausspiegeln eines Teils der Lichtleistung aus dem Detektionsstrahlengang heraus auf die Monitordiode dazu, dass nicht alles von der Probe kommende Probenlicht zum Detektor gelangt. Die Detektionseffizienz des Mikroskops wird dadurch verringert. Auch die Verwendung von akustooptischen oder elektrooptischen Bauteilen sowie Flüssigkristall-Elementen als Lichtverschluss ist nachteilig, da diese ebenfalls zur Abschwächung der zu detektierenden Lichtleistung führen können und im Vergleich zu mechanischen Lösungen kostenintensiver sind.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Mikroskop der eingangs genannten Art anzugeben, in dem Detektoren effektiv vor zu hohen Lichtleistungen geschützt werden, und welches mit geringem Aufwand hergestellt und verwendet werden kann.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein Mikroskop, welches die in Anspruch 1 angegebenen Merkmale aufweist.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
  • Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Mikroskop mindestens einen Detektor zur Detektion von Probenlicht, einen Detektionsstrahlengang mit einer optischen Achse sowie mindestens einen Lichtverschluss mit mindestens einer Monitordiode aufweist. Der Lichtverschluss dient zum Öffnen und Schließen des Detektionsstrahlengangs und ist im Detektionsstrahlengang vor dem Detektor angeordnet. Die Monitordiode ist auf der dem Detektor abgewandten Seite des Lichtverschlusses derart angebracht, dass sie sich bei geschlossenem Detektionsstrahlengang im Wesentlichen auf der optischen Achse des Detektionsstrahlengangs befindet. Sie kann somit sowohl Probenlicht als auch Fremdlicht detektieren Des Weiteren ist eine Steuereinheit vorgesehen, welche Signale von der Monitordiode und/oder dem Detektor empfängt und einen den Lichtverschluss bewegenden Motor steuert.
  • Zur Detektion geringer Lichtleistungen ist vorzugsweise eine Optik vorgesehen, welche Licht auf den Detektor fokussiert. Der Lichtverschluss ist dabei so ausgelegt, dass sich die Monitordiode bei geschlossenem Detektionsstrahlengang im oder in der Nähe eines Fokus des Lichtes befindet. Die aktive Fläche der Monitordiode sammelt dann in vorteilhafter Weise alles an dieser Stelle ankommende Licht, um ein möglichst hohes Signal-Rauschverhältnis zu erreichen. Somit kann auch die Monitordiode geringe Lichtleistungen detektieren.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der Lichtverschluss als Verschlussklappe ausgelegt. Diese Verschlussklappe ist um eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs im Wesentlichen kollinear ausgerichtete Drehachse drehbar gelagert. Durch Drehung der Verschlussklappe um diese Drehachse kann der Detektionsstrahlengang geöffnet oder geschlossen werden
    In dieser Ausführungsform kann eine Verschlussklappe vorteilhaft zur Abschirmung mehrerer Detektoren verwendet werden. Vorzugsweise befindet sich dann jeweils mindestens ein Detektor auf jeder Seite der Drehachse. Es können auch mehrere Monitordioden auf der Verschlussklappe angebracht sein, so dass sich bei geschlossener Verschlussklappe vor jedem Detektor eine Monitordiode befinden kann. Die Monitordiode und dazu gehörige Elektronikkomponenten können auf einer Leiterplatte auf der Verschlussklappe angebracht werden. In einer speziellen Ausführungsform wird die Leiterplatte selbst als Verschlussklappe verwendet, so dass kein zusätzliches Material für den Lichtverschluss benötigt wird.
    In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der Lichtverschluss um eine zur optischen Achse des Strahlengangs im Wesentlichen senkrecht ausgerichteten Achse drehbar. Diese Anordnung ist besonders Platz sparend. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn seitlich der Detektoren kein Bauraum für der Lichtverschluss und dessen Verstellmechanismus vorhanden ist
  • Die Bewegung der Verschlussklappe kann beispielsweise über Magnetschalter oder Elektromotoren erfolgen. Um die empfindlichen Detektoren nicht zu stören, kann es vorteilhaft sein, den Motor stromlos zu schalten, wenn Messungen mit den Detektoren erfolgen. Zur Beibehaltung seiner Position bei stromlos geschaltetem Motor kann der Lichtverschluss mit einer Rast (z.B. Federrast, Magnethalter oder ähnliches) versehen sein. Ist es aus Platzgründen nicht möglich, Motor und Verschlussklappe direkt zu verbinden, kann auch eine Kopplung beispielsweise über Riemenantrieb oder Hebel erfolgen.
  • Weiterhin sind Ausführungen des Lichtverschlusses als Verschlussschieber oder als drehbarer Zylinder mit Lichtdurchgang denkbar.
  • Bei geschlossenem Detektionsstrahlengang fällt das Licht auf die Monitordiode, welche ein der gemessenen Lichtleistung entsprechendes Signal an eine Steuereinheit sendet. Wird ein vorgebbarer Grenzwert nicht überschritten, kann der Detektionsstrahlengang geöffnet werden. Das Licht erreicht nun den Detektor. Bei geöffnetem Lichtverschluss sendet der Detektor ein der gemessenen Lichtleistung entsprechendes Signal an die Steuereinheit. Wird ein vorgebbarer Grenzwert überschritten, schließt die Steuereinheit den Detektionsstrahlengang durch den Lichtverschluss, um den Detektor vor zu hohen Lichtleistungen zu schützen. Bei geschlossenem Detektionsstrahlengang wird die Lichtleistung wiederum von der Monitordiode gemessen. Diese Ansteuerung des Lichtverschlusses kann mit einer Ansteuerung in Abhängigkeit vom Betriebszustand des Mikroskops gemäß dem Stand der Technik kombiniert werden.
  • In den Zeichnungen zeigen:
    • 1 ein Mikroskop
    • 2 eine erste schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung
    • 3 eine zweite schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung
    • 4 eine dritte schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung
    • 5 eine vierte schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung
    • 6 eine fünfte schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung
  • In allen Zeichnungen tragen übereinstimmende Teile gleiche Bezugszeichen.
  • 1 zeigt ein Mikroskop 1 in Form eines Laser-Scanning-Mikroskops in einer schematischen Darstellung. Es besteht aus einer Mikroskopeinheit M und einer Scaneinheit S, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung Z aufweisen, sowie aus einer Detektionseinheit zur descannten Detektion D und einer weiteren Detektionseinheit zur nicht descannten Detektion NDD. Die Scaneinheit S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskops als auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskops angeschlossen werden. Die Mikroskopeinheit M weist ein Objektiv 4 und eine Tubuslinse 9 zum Beobachten einer Probe 5 auf. Ein Laser 10, dessen Laserstrahl nach dem Austritt zunächst frei propagiert und durch ein akustooptisches Bauelement 11, beispielsweise ein AOTF, hindurchtritt, ist als Messlichtquelle vorgesehen. Der Laserstrahl wird dann durch eine Koppeloptik 12 und eine Lichtleitfaser 13 in den Beleuchtungsstrahlengang der Scaneinheit S eingekoppelt. Der Laserstrahl kann mittels des akustooptischen Bauelements 11 von der Steuereinheit 2 ausgeblendet werden.
  • Die Scaneinheit S enthält eine Kollimationsoptik 16, einen Umlenkspiegel 17, ein Scanning-Objektiv 22, einen Scanner 23, und einen Hauptfarbteiler 24. Über eine Pinholeoptik 29 gelangt das von der Probe kommende Probenlicht in die Detektionseinheit D. Durch einen Nebenfarbteiler 26 wird das Probenlicht spektral getrennt über Abbildungsoptiken 25 auf mehrere Detektoren 31 gelenkt. Vor den Detektoren befindet sich eine Verschlussklappe 32, auf der Monitordioden 30 angebracht sind. Der Lichtverschluss 32 wird mit einem durch eine Steuereinheit 34 gesteuerten Motor 33 geöffnet und geschlossen.
    Ergänzend oder alternativ kann das Mikroskop auch mit einer nicht descannten Detetktionseinheit NDD versehen sein. Probenlicht gelangt dann über einen vorzugsweise objektivnah angeordneten NDD-Strahlteiler 27 in die nicht descannte Detetktionseinheit NDD. Die nicht descannte Detetktionseinheit kann auch in bekannter Weise im Durchlicht verwendet werden (nicht gezeigt)
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Anordnung mit einem einzelnen Detektor. Von der Probe kommendes Probenlicht und/oder Fremdlicht wird von einer Abbildungsoptik 25 entlang einer optischen Achse 37 eines Detektionsstrahlengangs 38 auf einen Detektor 31 fokussiert. Ist der Detektionsstrahlengang 38 durch Verschlussklappe 32 geschlossen, fällt das Probenlicht und/oder Fremdlicht auf die Monitordiode 30 und kann den Detektor 31 nicht erreichen ( 2b). Der Lichtverschluss ist über eine zur optischen Achse 37 des Detektionsstrahlengangs 38 im Wesentlichen kolinearen Achse 35 mit einem Motor 33 verbunden. Bei geschlossenem Detektionsstrahlengang (2b) schirmt der Lichtverschluss 32 den Detektor vom Probenlicht und/oder Fremdlicht ab. Bei geöffnetem Detektionsstrahlengang wird der Lichtverschluss aus dem Detektionsstrahlengang gedreht und gibt den Detektor 31 frei (2c). In beiden Positionen kann der Lichtverschluss durch eine Federrast (nicht gezeigt) arretiert werden, so dass der Motor 33 während der Detektion des Probenlichts stromlos geschaltet werden kann.
  • 3 zeigt eine ähnliche Anordnung wie 2 für zwei Detektoren, die von einer gemeinsamen Verschlussklappe 32 abgeschirmt werden. Durch Drehung der Verschlussklappe 32 um die zur optischen Achse 37 kolineare Achse 35 können die Detektoren 31 gleichzeitig vom Probenlicht und/oder Fremdlicht abgeschirmt werden
  • 4 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Anordnung. Von der Probe kommendes Probenlicht und/oder Fremdlicht wird von einer Abbildungsoptik 25 entlang einer optischen Achse eines Detektionsstrahlengangs auf einen Detektor 31 fokussiert. Ist der Detektionsstrahlengang durch Verschlussklappe 32 geschlossen, fällt das Probenlicht auf die Monitordiode 30 und kann den Detektor 31 nicht erreichen. Der Lichtverschluss ist über eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs im Wesentlichen senkrechte Achse 35 mit einem Motor 33 verbunden. Bei geschlossenem Detektionsstrahlengang (2b) schirmt der Lichtverschluss 32 den Detektor vom Probenlicht und/oder Fremdlicht ab. Bei geöffnetem Detektionsstrahlengang wird der Lichtverschluss aus dem Detektionsstrahlengang geklappt und gibt den Detektor 31 frei. In beiden Positionen kann der Lichtverschluss durch eine Federrast (nicht gezeigt) arretiert werden, so dass der Motor 33 während der Messung von Probenlicht stromlos geschaltet werden kann.
  • 5 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Anordnung mit einem Schieber 36 zum Verschließen und Öffnen des Detektionsstrahlengangs. Der Schieber kann durch einen Motor 33 bewegt werden.
  • 6 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Anordnung mit einem drehbaren Zylinder 39 mit Lichtdurchgang 40 und Monitordiode 30. Bei geschlossenem Detektionsstrahlengang 38 fällt das Licht auf die Monitordiode 30 (6a). Zum Öffnen des Detektionsstrahlengangs wird der Zylinder 39 so gedreht, dass der Lichtdurchgang 40 im Wesentlichen kolinear zur optischen Achse 37 des Detektionsstrahlengangs 38 ausgerichtet ist. Das Licht kann dann durch den Lichtdurchgang 40 zum Detektor 31 gelangen (6b).
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Mikroskop
    2
    Systemsteuerung
    4
    Objektiv
    5
    Probe
    9
    Tubuslinse
    10
    Laser
    11
    Akustooptisches Bauelement
    12
    Koppeloptik
    13
    Lichtleitfaser
    16
    Kollimationsoptik
    17
    Umlenkspiegel
    22
    Scanning-Objektiv
    23
    Scanner
    24
    Hauptfarbteiler
    25
    Abbildungsoptik
    26
    Nebenfarbteiler
    27
    NDD-Strahlteiler
    29
    Pinholeoptik
    30
    Monitordiode
    31
    Detektor
    32
    Verschlussklappe
    33
    Motor
    34
    Steuereinheit
    35
    Achse
    36
    Schieber
    37
    optische Achse
    38
    Detektionsstrahlengang
    39
    Zylinder
    40
    Durchgang
    M
    Mikroskopeinheit
    S
    Scaneinheit
    Z
    Zwischenabbildung
    D
    Detektionseinheit
    NDD
    Nicht Descannte Detektionseinheit

Claims (14)

  1. Mikroskop, vorzugsweise Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Detektionsstrahlengang mit einer optischen Achse und mindestens einem Detektor zur Detektion von von einer Probe kommendem Probenlicht, sowie mindestens einem im Detektionsstrahlengang angeordneten Lichtverschluss zum Öffnen und Schließen des Detektionsstrahlengangs, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtverschluss mindestens eine Monitordiode zur Messung von Probenlicht und/oder Fremdlicht bei geschlossenem Detektionsstrahlengang aufweist.
  2. Mikroskop nach Anspruch 1 wobei der Lichtverschluss als Schieber ausgelegt ist.
  3. Mikroskop nach Anspruch 1 wobei der Lichtverschluss als drehbare Verschlussklappe ausgelegt ist, die den Detektionsstrahlengang durch Drehung um eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs kolineare Achse verschließt.
  4. Mikroskop nach Anspruch 1, wobei der Lichtverschluss den Detektionsstrahlengang durch Drehung um eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs senkrechte Achse verschließt.
  5. Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit mindestens einer Rastposition zur Halterung des Lichtverschlusses bei geöffnetem und/oder geschlossenem Strahlengang.
  6. Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Lichtverschluss mehrere Detektionsstrahlengänge gleichzeitig verschließt.
  7. Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Monitordiode auf einer Leiterplatte angebracht ist und die Leiterplatte den Lichtverschluss bildet.
  8. Verfahren zur Detektion von Probenlicht mit einem Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Lichtverschluss durch einen Motor bewegt wird.
  9. Verfahren zur Detektion von Probenlicht nach Anspruch 8, wobei der Motor bei der Detektion des Probenlichts stromlos geschaltet wird.
  10. Verfahren zur Detektion von Probenlicht mit einem Mikroskop vorzugsweise einem Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Detektionsstrahlengang mit einer optischen Achse und mindestens einem Detektor zur Detektion von von einer Probe kommendem Probenlicht, sowie mindestens einem im Detektionsstrahlengang angeordneten Lichtverschluss zum Öffnen und Schließen des Detektionsstrahlengangs wobei der Lichtverschluss mindestens eine Monitordiode zur Messung von Probenlicht und/oder Fremdlicht bei geschlossenem Detektionsstrahlengang aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuerung des Lichtverschlusses durch eine Steuereinheit erfolgt, welche bei geöffnetem Detektionsstrahlengang Signale des Detektors und bei geschlossenem Detektionsstrahlengang Signale der Monitordiode auswertet.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Steuereinheit einen Motor zur Bewegung des Lichtverschlusses steuert.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei der Motor den Lichtverschluss um eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs senkrechte Achse dreht.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei der Motor den Lichtverschluss um eine zur optischen Achse des Detektionsstrahlengangs kolineare Achse dreht.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11-13, wobei die Steuereinheit den Motor bei der Detektion des Probenlichts stromlos schaltet.
DE102009050020.0A 2009-10-16 2009-10-16 Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht Active DE102009050020B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009050020.0A DE102009050020B4 (de) 2009-10-16 2009-10-16 Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht
US12/905,246 US8420992B2 (en) 2009-10-16 2010-10-15 Microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009050020.0A DE102009050020B4 (de) 2009-10-16 2009-10-16 Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102009050020A1 DE102009050020A1 (de) 2011-04-21
DE102009050020B4 true DE102009050020B4 (de) 2021-09-02

Family

ID=43798923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102009050020.0A Active DE102009050020B4 (de) 2009-10-16 2009-10-16 Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8420992B2 (de)
DE (1) DE102009050020B4 (de)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10253609A1 (de) 2002-11-15 2004-05-27 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Scanmikroskop

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2004068844A1 (ja) * 2003-01-30 2006-05-25 富士通株式会社 画像圧縮方法、画像復元方法、プログラム及び装置
DE102006004232C5 (de) * 2006-01-30 2013-08-01 Carl Zeiss Surgical Gmbh Mikroskopiesystem
DE102010055882A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Pinhole für ein konfokales Laser-Scanning Mikroskop

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10253609A1 (de) 2002-11-15 2004-05-27 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Scanmikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
US8420992B2 (en) 2013-04-16
DE102009050020A1 (de) 2011-04-21
US20110090561A1 (en) 2011-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019008989B3 (de) Verfahren zur Störungskorrektur und Laserscanningmikroskop mit Störungskorrektur
EP0116321B1 (de) Infrarot-Spektrometer
DE2354141C2 (de) Optisches Meßverfahren zum Untersuchen von Oberflächen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP3532885A1 (de) Optische anordnung, multispot-scanning-mikroskop und verfahren zum betreiben eines mikroskops
DE102009036383B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung
DE102011050969A1 (de) Vorrichtung zur referenzierten Messung von reflektiertem Licht und Verfahren zum Kalibrieren einer solchen Vorrichtung
DE10003570A1 (de) Mikroskop-Aufbau
EP1122574B1 (de) Mikroskop-Aufbau
DE102014110606B4 (de) Mikroskop mit einer Strahlteileranordnung
DE102010053475B4 (de) Vorrichtung zum lichtdichten Abschluss eines Probenraums und Mikroskop
DE102019116626B4 (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Überprüfung der Konfokalität einer scannenden und entscannenden Mikroskopbaugruppe
DE102009050020B4 (de) Mikroskop und Verfahren zur Detektion von Probenlicht
EP1273951B1 (de) Scanmikroskop und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Detektion
DE10107210C1 (de) Mikroskop
EP2271961B1 (de) Verfahren zum kalibrieren einer ablenkeinheit in einem tirf-mikroskop, tirf-mikroskop und verfahren zu dessen betrieb
DE10135321A1 (de) Mikroskopobjektivanordnung und Verwendung einer solchen Mikroskopobjektivanordnung bei einem Mikroskop
DE102004031049A1 (de) Optische Anordnung zum spektralselektiven Nachweis von Licht eines Lichtstrahls
DE3936646A1 (de) Konfokales laserrastermikroskop
DE202009003288U1 (de) Autofokuseinrichtung
DE102012101302A1 (de) Konfokaler mikroskopischer 3D-Lichtschnittsensor
DD279302A1 (de) Auflichtbeleuchtungseinrichtung fuer messmikroskope
DE102023212841A1 (de) Vorrichtung zur Überwachung eines Laserbearbeitungsprozesses
DE102004053816B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von mikroskopischen Proben
DE102009041507A1 (de) Optisches Tiefpassfilter und Verfahren zum Optischen Filtern
DE102006037524A1 (de) Spektrometersystem mit IR-Mikroskop und elektronisch umschaltbaren Detektoren

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH, 07745 JENA, DE

Effective date: 20130204

R012 Request for examination validly filed
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final