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Stand der Technik
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Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Struktur nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
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Solche mikromechanischen Strukturen sind allgemein bekannt. Beispielsweise ist aus der Druckschrift
WO 02 / 066 928 A1 ein Drehratensensor bekannt, welcher ein erstes und ein zweites Coriolis-Element umfasst. Das erste und das zweite Coriolis-Element sind dabei über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet, wobei Anregungsmittels vorgesehen sind, durch die die Coriolis-Elemente zu Schwingungen parallel zu einer ersten Achse anregbar sind und wobei Detektionsmittels vorgesehen sind, durch die eine Auslenkung der Coriolis-Elemente aufgrund einer Coriolis-Kraft in einer zweiten Achse, die senkrecht zu der ersten Achse ist, nachweisbar sind. Die erste und die zweite Achse sind parallel zur Oberfläche des Substrats ausgerichtet. Dieser Drehratensensor ermöglicht somit lediglich die Detektion einer zur Oberfläche des Substrats senkrechten Drehrate. Darüberhinaus ist aus der Druckschrift
US 2008 / 0 078 246 A1 ein weiterer Drehratensensor bekannt, bei welcher ein erstes und ein zweites Coriolis-Element mit einer Wippenstruktur verbunden ist. Die Wippenstruktur ist um eine zu einer Substratoberfläche parallele Torsionsachse schwenkbar, wobei das erste und das zweite Coriolis-Element zu einer Schwingung parallel zur Substratoberfläche angeregt werden. Eine parallel zur Haupterstreckungsebene und senkrecht zur Schwingung der Coriolis-Elemente ausgerichtete Drehrate bewirkt eine senkrecht zur Substratoberfläche auf die Coriolis-Elemente wirkende Coriolis-Kraft, wodurch die Wippenstruktur eine Torsionsauslenkung um die Torsionsachse ausführt. Dieser Drehratensensor ermöglicht somit lediglich die Detektion einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Drehrate.
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Weitere mikromechanische Strukturen, insbesondere Drehratensensoren, sind aus der Druckschrift
DE 10 2007 012 163 A1 bekannt.
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Offenbarung der Erfindung
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Die erfindungsgemäße mikromechanische Struktur und das erfindungsgemäße Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur gemäß den nebengeordneten Ansprüchen haben gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass sowohl die zweite Drehrate parallel zur Haupterstreckungsebene, als auch die erste Drehrate senkrecht zur Haupterstreckungsebene mit der einen mikromechanischen Struktur messbar ist. Darüberhinaus ist die mikromechanische Struktur vergleichsweise bauraumkompakt ausgebildet, so dass in vorteilhafter Weise Waferfläche und somit Herstellungskosten einsparbar sind und ferner eine deutlich vereinfachte Integration der mikromechanischen Struktur erzielbar ist. Diese Vorteile werden dadurch erreicht, dass die mikromechanische Struktur die Wippenstruktur aufweist, welche mit dem ersten und dem zweiten Coriolis-Element zumindest mittelbar gekoppelt sind. Die zweite Drehrate bewirkt insbesondere auf das erste und das zweite Coriolis-Element wirkende Coriolis-Kräfte parallel zur dritten Richtung, welche mittelbar oder unmittelbar an die Wippenstruktur weitergeleitet werden, so dass die Torsionsauslenkung der Wippenstruktur in Abhängigkeit der Coriolis-Kräfte parallel zur dritten Richtung induziert wird. Eine Vermessung dieser Torsionsauslenkung erlaubt somit eine Bestimmung der zweiten Drehrate. Gleichzeitig wird die erste Auslenkung des ersten Coriolis-Elements und die zweite Auslenkung des zweiten Coriolis-Elements vermessen, wodurch eine Bestimmung der ersten Drehrate unabhängig von der Bestimmung der zweiten Drehrate ermöglicht wird. In vorteilhafter Weise erlaubt die erfindungsgemäße mikromechanische Struktur insbesondere eine volldifferenzielle Bestimmung der ersten Drehrate, als auch eine volldifferenzielle Bestimmung der zweiten Drehrate, so dass in beiden Fällen ein vergleichsweise gutes Signal-Rausch-Verhältnis zu erzielen ist. Die mikromechanische Struktur ist insbesondere in einem Standard-Mikromechanik-Herstellungsverfahren vergleichsweise kostengünstig herstellbar, wobei das Substrat bevorzugt ein Halbleitersubstrat und besonders bevorzugt ein Siliziumsubstrat umfasst. Vorzugsweise weist die mikromechanische Struktur ein weiteres Wippenelement, welches im Wesentlichen baugleich zum Wippenelement ist und parallel zum Wippenelement angeordnet ist.
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Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen, sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.
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Gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Torsionsachse entlang der ersten Richtung zwischen dem ersten und dem zweiten Coriolis-Element angeordnet ist. Vorzugsweise wird somit ein vergleichsweise bauraumkompakter und gegenüber einer senkrecht zur Haupterstreckungsebene und parallel zur Torsionsachse verlaufenden Spiegelebene im Wesentlichen spiegelsymmetrischer Aufbau der mikromechanischen Struktur erzielt.
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Gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform ist vorgesehen, dass das erste Coriolis-Element mittels eines ersten Antriebsrahmens zur ersten Schwingung und das zweite Coriolis-Element mittels eines zweiten Antriebsrahmens zur zweiten Schwingung antreibbar ist, wobei das erste Coriolis-Element und der erste Antriebsrahmen und/oder das zweite Coriolis-Element und der zweite Antriebsrahmen mittels ersten Federelementen miteinander gekoppelt sind, wobei die ersten Federelemente entlang der ersten Richtung weicher als entlang der zweiten Richtung und/oder entlang einer zur Haupterstreckungsebene senkrechten dritten Richtung ausgebildet sind. Der erste und zweite Antriebsrahmen in Verbindung mit den ersten Federelementen sorgen in vorteilhafter Weise für eine Entkopplung des Antriebs zur ersten und zweiten Schwingung von der ersten und zweiten Auslenkung. Dies führt dazu, dass bevorzugt zur Anregung der ersten und zweiten Schwingung vergleichsweise effiziente erste und zweite Kammelektrodenstrukturen einsetzbar sind, wobei mit dem Substrat fest verbundene Festelektroden und mit dem ersten bzw. zweiten Coriolis-Element gekoppelte Gegenelektroden entlang der zweiten Richtung ineinandergreifend angeordnet sind, so dass sich die Gegenelektroden und die Festelektroden entlang der ersten Richtung überlappen. In vorteilhafter Weise sind die Gegenelektroden am ersten bzw. zweiten Antriebsrahmen angeordnet, welche derart mit dem ersten bzw. zweiten Coriolis-Element gekoppelt sind, dass der erste bzw. zweite Antriebsrahmen im Wesentlichen keine Bewegung entlang der ersten Richtung durchführen. Alternativ ist vorgesehen, dass die zur dritten Richtung parallelen Coriolis-Kräfte, welche durch die zweite Drehrate hervorgerufen werden, unmittelbar auf den ersten und zweiten Antriebsrahmen wirken, welche die Torsionsauslenkung des Wippenelements bewirken, wobei das erste und das zweite Coriolis-Element in diesem Fall im Wesentlichen keine Auslenkung parallel zur dritten Richtung ausführen. Durch eine Lagerückregelung (Closed-Loop-Betrieb) wird die Auslenkung des Antriebsrahmens aufgrund einer Coriolis-Kraft entlang der dritten Richtung vorzugsweise verringert. Die erste und/oder die zweite Schwingung werden vorzugsweise mittels eines Kammantriebs und/oder mittels eines Plattenantriebs angetrieben.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Wippenelement über den ersten Antriebsrahmen mit dem ersten Coriolis-Element und über den zweiten Antriebsrahmen mit dem zweiten Coriolis-Element gekoppelt ist, wobei bevorzugt zwischen dem ersten Antriebsrahmen und dem Wippenelement und/oder zwischen dem zweiten Antriebsrahmen und dem Wippenelement jeweils zweite Federelemente angeordnet sind, welche besonders bevorzugt entlang der zweiten Richtung weicher als entlang der ersten und/oder dritten Richtung ausgebildet sind. In vorteilhafter Weise sind die zweiten Federelemente härter bezüglich der dritten Richtung als bezüglich der zweiten Richtung ausgebildet, so dass eine Bewegung der Coriolis-Elemente entlang der dritten Richtung aufgrund der zweiten Drehrate auf das Wippenelement übertragen werden, während die erste und die zweite Schwingung nicht auf das Wippenelement übertragen wird. Das Wippenelement wird daher beim Vorliegen der zweiten Drehrate zur Torsionsauslenkung angetrieben.
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Gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Wippenelement eine Aussparung aufweist, in welcher parallel zur Haupterstreckungsebene das erste Coriolis-Element, das zweite Coriolis-Element, der erste Antriebsrahmen und/oder der zweite Antriebsrahmen angeordnet sind, so dass vorteilhafterweise eine besonders bauraumkompakte Anordnung der mikromechanischen Struktur realisier wird. Das Wippenelement ist vorzugsweise mittels Torsionsfedern am Substrat befestigt und wird in der vorliegenden Ausführungsform in vorteilhafter Weise nicht zu einer Bewegung parallel zur Torsionsachse bzw. parallel zu den Torsionsfedern angetrieben.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Wippenelement entlang der ersten Richtung zwischen dem ersten und dem zweiten Coriolis-Element angeordnet ist, wobei bevorzugt zwischen dem ersten Coriolis-Element und der Wippenstruktur und/oder zwischen dem zweiten Coriolis-Element und der Wippenstruktur jeweils dritte Federelemente angeordnet sind, welche besonders bevorzugt entlang der ersten Richtung weicher als entlang der zweiten und/oder dritten Richtung ausgebildet sind. In vorteilhafter Weise werden hierbei das erste bzw. zweite Coriolis-Element unmittelbar mit der Wippenstruktur gekoppelt, wobei die dritten Federelemente lediglich die zu detektierenden Coriolis-Kräfte parallel zur dritten Richtung auf die Wippenstruktur übertragen, während Coriolis-Kräfte parallel zur ersten Richtung im Wesentlichen keine Torsionsauslenkung der Wippenstruktur herbeiführen.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass die erste Auslenkung mittels eines ersten Detektionselements detektierbar ist und/oder dass die zweite Auslenkung mittels eines zweiten Detektionselements detektierbar ist, wobei bevorzugt das erste Detektionselement innerhalb einer ersten Ausnehmung im ersten Coriolis-Element und/oder dass zweite Detektionselement innerhalb einer zweiten Ausnehmung im zweiten Coriolis-Element angeordnet ist. Das erste und das zweite Detektionselement erlauben vorzugsweise eine volldifferenzielle Auswertung der ersten Drehrate, wobei das erste bzw. zweite Detektionselement besonders bevorzugt eine in die erste bzw. zweite Ausnehmung eingebettete Plattenkondensatorstruktur umfassen. Die ersten und/oder zweiten Detektionselemente umfassen vorzugsweise Fingerelektrodenstrukturen, d.h. Interdigitalstrukturen. Das erste und zweite Detektionselement sind vorzugsweise am ersten und zweiten Coriolis-Element derart gelagert, dass das erste und zweite Detektionselement beweglich gegenüber Bewegungen entlang der Detektionsrichtung und steif gegenüber Bewegungen entlang der Antriebsrichtung sind.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass eine Torsionsauslenkung des Wippenelements um die Torsionsachse mittels dritter Detektionselemente detektierbar ist, welche bevorzugt entlang der dritten Richtung zwischen dem Wippenelement und dem Substrat angeordnet sind. Die dritten Detektionselemente umfassen vorzugsweise Flächenelektroden und Gegenflächenelektroden, wobei die Gegenflächenelektroden vorzugsweise senkrecht zur Torsionsachse gegenüberliegende Endbereiche der Wippenstruktur umfassen, welche zur Detektion der Torsionsauslenkung mit Flächenelektroden in Form einer Plattenkondensatoranordnung zusammenwirken. Die Flächenelektroden sind insbesondere auf dem Substrat entlang der dritten Richtung zwischen den Gegenflächenelektroden und dem Substrat angeordnet. Die Detektion der Torsionsauslenkung wird dabei insbesondere volldifferenziell über eine Änderung der elektrischen Kapazität jeweils zwischen den Flächenelektroden und den Gegenflächenelektroden ermittelt. Alternativ umfassen die dritten Detektionselemente eine Deckelelektrode, so dass entlang der dritten Richtung das Wippenelement zwischen dem Substrat und der Deckelelektrode angeordnet ist. Besonders bevorzugt umfassen die dritten Detektionselemente sowohl die Flächenelektrode, als auch die Deckelelektrode.
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Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur, wobei zur Bestimmung einer ersten Drehrate, welche parallel zu einer zur Haupterstreckungsebene senkrechten dritten Richtung ausgerichtet ist, die erste Auslenkung des ersten Coriolis-Elements und die zweite Auslenkung des zweiten Coriolis-Elements gemessen werden und wobei zur Bestimmung einer zur ersten Richtung parallelen zweiten Drehrate eine Torsionsauslenkung des Wippenelements um die Torsionsachse gemessen wird. In vorteilhafter Weise wird, wie oben bereits detailliert ausgeführt, mit nur einer einzigen mikromechanischen Struktur eine Bestimmung sowohl der ersten, als auch der zweiten Drehrate unabhängig voneinander ermöglicht. Vorzugsweise werden das erste und zweite Coriolis-Element in einem Closed-Loop-Betrieb betrieben (Lagerückgeregelt).
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Gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform ist vorgesehen, dass das erste Coriolis-Element mittels eines ersten Antriebsrahmens zur ersten Schwingung und das zweite Coriolis-Element mittels eines zweiten Antriebsrahmens zur zweiten Schwingung angetrieben wird, wobei bevorzugt der erste Antriebsrahmen mittels einer ersten Kammelektrodenstruktur und der zweite Antriebsrahmen mittels einer zweiten Kammelektrodenstruktur angetrieben wird, so dass eine vergleichsweise effiziente Anregung der ersten und zweiten Schwingung realisierbar ist. Alternativ ist denkbar, die erste und die zweite Schwingung jeweils mittels eines Plattenantriebs anzutreiben.
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Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Es zeigen
- 1 eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und
- 2 eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Ausführungsformen der Erfindung
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In 1 ist eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die mikromechanische Struktur 1 ein Substrat 2 mit einer Haupterstreckungsebene 100 aufweist. Die mikromechanische Struktur 1 umfasst ferner ein erstes und ein zweites Coriolis-Element 3, 4, wobei das erste und das zweite Coriolis-Element 3, 4 gegenüber dem Substrat 2 beweglich ausgebildet sind und mittels eines vierten Federelements 6 elastisch miteinander gekoppelt sind. Das erste Coriolis-Element 3 wird dabei mittels eines ersten Antriebsrahmens 30 zu einer ersten Schwingung 31 entlang einer zur Haupterstreckungsebene 100 parallelen zweiten Richtung Y angetrieben, wobei der erste Antriebsrahmen 30 dabei mittels einer ersten Kammelektrodenstruktur 37 angetrieben wird. Das erste Coriolis-Element 3 und der erste Antriebsrahmen 30 sind über erste Federelemente 32 elastisch miteinander gekoppelt sind, wobei die ersten Federelemente 32 entlang der zweiten Richtung Y härter als entlang einer zur zweiten Richtung Y senkrechten und zur Haupterstreckungsebene 100 parallelen ersten Richtung X ausgebildet sind. Das zweite Coriolis-Element 4 wird analog zum ersten Coriolis-Element 3 mittels eines zweiten Antriebsrahmens 40 zu einer zweiten Schwingung 41 entlang der zweiten Richtung Y angeregt, wobei die zweite Schwingung 41 antiparallel zur ersten Schwingung 31 ist. Der zweite Antriebsrahmen 40 ist mittels weiterer erster Federelemente 42 mit dem zweiten Coriolis-Element 4 gekoppelt und wird mittels einer zweiten Kammelektrodenstruktur 47 angetrieben. Die mikromechanische Struktur 1 umfasst ferner ein Wippenelement 5, welches mittels Torsionsfedern 7 am Substrat 2 befestigt ist, wobei das Wippenelement 5 um eine durch die Torsionsfedern 7 definierte Torsionsachse 50, welche parallel zur zweiten Richtung Y verläuft, verschwenkbar ist. Die Torsionsfedern 7 sind mittels Verankerungselementen 7' am Substrat 2 befestigt. Der erste Antriebsrahmen 30 ist über zweite Federelemente 33 und der zweite Antriebsrahmen 40 über weitere zweite Federelemente 43 mit der Wippenstruktur 5 gekoppelt, wobei die zweiten und weiteren zweiten Federelemente 33, 43 weicher entlang der zweiten Richtung Y, als entlang einer zur Haupterstreckungsebene 100 senkrechten dritten Richtung Z ausgebildet ist. Die Antriebsbewegungen des ersten und zweiten Antriebsrahmens 30, 40 entlang der zweiten Richtung Y werden somit nicht oder nur unwesentlich auf das Wippenelement 5 übertragen. Beim Vorliegen einer ersten Drehrate, welche eine Drehachse parallel zur dritten Richtung Z aufweist, wirken auf das erste und zweite Coriolis-Element 3, 4 Coriolis-Kräfte entlang der ersten Richtung, wobei das erste Coriolis-Element 3 aufgrund der ersten Schwingung 31 zu einer ersten Auslenkung 35 entlang der ersten Richtung X und das zweite Coriolis-Element 4 aufgrund der zweiten Schwingung 41 zu einer zur ersten Auslenkung 35 antiparallelen zweiten Auslenkung 45 entlang der ersten Richtung X ausgelenkt werden. Die erste Auslenkung 35 ist dabei mittels eines ersten Detektionselements 36 detektierbar, welches in einer ersten Ausnehmung der ersten Coriolis-Elements 3 angeordnet ist und eine erste Plattenkondensatorstruktur umfasst, während die zweite Auslenkung 45 mittels eines zweiten Detektionselements 46, welches in einer zweiten Ausnehmung des zweiten Coriolis-Elements 4 angeordnet ist, detektierbar ist. Eine differenzielle Auswertung erster Detektionssignale vom ersten Detektionselements 36 und zweiter Detektionssignale vom zweiten Detektionselement 46 erlaubt somit eine Bestimmung der ersten Drehrate. Beim Vorliegen einer zweiten Drehrate, welche eine Drehachse parallel zur ersten Richtung X aufweist, wirken auf das erste und das zweite Coriolis-Element 3, 4 weitere Coriolis-Kräfte entlang der dritten Richtung Z, welche aufgrund der antiparallelen ersten und zweiten Schwingung 31, 41 antiparallel zueinander sind. Das heißt, eines des ersten und zweiten Coriolis-Elements 3, 4 wird in Richtung des Substrats 2 abgesenkt, während sich das andere des ersten und zweiten Coriolis-Elements 3, 4 gegenüber dem Substrat 2 anhebt. Diese weiteren Coriolis-Kräfte werden über die ersten Federelemente 32 und die weiteren ersten Federelemente 42 auf den ersten und zweiten Antriebsrahmen 30, 40 übertragen und vom ersten und zweiten Antriebsrahmen 30, 40 mittels der zweiten Federelemente 33 und der weiteren zweiten Federelemente 43 auf das Wippenelement 5 übertragen. Alternativ ist denkbar, dass die weiteren Coriolis-Kräfte entlang der zweiten Richtung Z im Wesentlichen nur auf den ersten und zweiten Antriebsrahmen 30, 40 wirken und über die zweiten Federelemente 33 und die weiteren zweiten Federelemente 43 auf die Wippenstruktur 5 übertragen werden, wobei das erste und das zweite Coriolis-Element 3, 4 im Wesentlichen keine Auslenkungen entlang der dritten Richtung Z induziert durch die weiteren Coriolis-Kräfte entlang der dritten Richtung Z ausführen. Da die Torsionsachse 50 entlang der zweiten Richtung Y zwischen dem ersten und dem zweiten Coriolis-Element 3, 4 verläuft wird, wirkt auf das Wippenelement 5 ein Drehmoment um die Torsionsachse 50. Das Wippenelement 5 wird somit in Abhängigkeit der zweiten Drehrate zu einer Torsionsauslenkung 52 um die Torsionsachse 50 angeregt. Die mikromechanische Struktur 1 weist dritte Detektionsmittel 53 zur kapazitiven Vermessung der Torsionsauslenkung 52 auf, wobei die dritten Detektionsmittel 53 dazu Gegenflächenelektroden jeweils an den entlang der ersten Richtung X gegenüberliegenden Enden des Wippenelements 5 aufweisen, welche mit substratfesten Flächenelektroden zusammenwirken. Die Flächenelektroden sind dabei entlang der dritten Richtung Z zwischen den Gegenflächenelektroden und dem Substrat 2 angeordnet. Alternativ ist denkbar, dass weitere Flächenelektroden auf einer dem Substrat 2 abgewandten Seite der Gegenflächenelektroden angeordnet sind, so dass die Gegenflächenelektroden entlang der dritten Richtung Z zwischen den Flächenelektroden und den weiteren Flächenelektroden angeordnet sind. An dem ersten Coriolis-Element 3, dem zweiten Coriolis-Element 4, dem ersten Antriebsrahmen 30, dem zweiten Antriebsrahmen 40 und/oder der Wippenstruktur 5 sind optional nicht abgebildete weitere Substratverankerungen realisiert.
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In 2 ist eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die zweite Ausführungsform im Wesentlichen der in 1 abgebildeten ersten Ausführungsform entspricht, wobei die erste Wippenstruktur 5 keine Ausnehmung 51 aufweist, in welcher das erste Coriolis-Element 3, das zweite Coriolis-Element 4, der erste Antriebsrahmen 30 und der zweite Antriebsrahmen 40 angeordnet sind, sondern dass die Wippenstruktur 5 vielmehr entlang der ersten Richtung X zwischen dem ersten und dem zweiten Coriolis-Element 3, 4 angeordnet ist. Die Wippenstruktur 5 weist daher keine unmittelbare Kopplung mittels der zweiten Federelemente 33 zum ersten Antriebsrahmen 30 und mittels der weiteren zweiten Federelemente 43 zum zweiten Antriebsrahmen 40 auf, sondern ist mit dem ersten Antriebsrahmen 30 nur mittelbar über das erste Coriolis-Element 3 und mit dem zweiten Antriebsrahmen 40 nur mittelbar über das zweite Coriolis-Element 4 gekoppelt. Dazu ist zwischen dem ersten Coriolis-Element 3 und der Wippenstruktur 5 ein drittes Federelement 34 angeordnet, welches entlang der ersten und/oder zweiten Richtung X, Y weicher als entlang der dritten Richtung Z ausgebildet ist. Analog ist zwischen dem zweiten Coriolis-Element 4 und der Wippenstruktur 5 ein weiteres drittes Federelement 44 ausgebildet. Die Wippenstruktur 5 wird beim Vorliegen der zweiten Drehrate nun unmittelbar von dem ersten und zweiten Coriolis-Element 3,4 über das dritte und weitere dritte Federelement 34, 44 zur Torsionsauslenkung 52 ausgelenkt.
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In einer nicht abgebildeten dritten Ausführungsform der mikromechanischen Struktur 1 gemäß der vorliegenden Erfindung, welche im Wesentlichen der in 2 abgebildeten zweiten Ausführungsform gleicht, sind der erste Antriebsrahmen 30 bzw. die erste Kammelektrodenstruktur 37 in einer weiteren ersten Ausnehmung im ersten Coriolis-Element 3 und der zweiten Antriebsrahmen 40 bzw. die zweite Kammelektrodenstruktur 47 in einer weiteren zweiten Ausnehmung im zweiten Coriolis-Element 4 angeordnet. Vorzugsweise sind die weitere erste Ausnehmung und die weitere zweite Ausnehmung jeweils in Richtung der Wippenstruktur 5 offen ausgebildet, so dass der erste Antriebsrahmen 30 mittels ersten Federelementen 32 und der zweite Antriebsrahmen 40 mittels weiterer erster Federelemente 42 jeweils mit der Wippenstruktur 5 unmittelbar gekoppelt sind. Alternativ ist denkbar, dass der erste Antriebsrahmen 30 innerhalb einer Aussparung des ersten Coriolis-Elements 3 angeordnet ist und dass analog der zweite Antriebsrahmen 40 innerhalb einer Aussparung des zweiten Coriolis-Elements 4 angeordnet ist. Auch andere Permutationen der Anordnungen von Coriolis-Elementen, Antriebsrahmen und Wippenstruktur sind denkbar.