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DE102009037091A1 - Bearing device for use in measuring device utilized for measuring dimension and/or contour and/or roughness of test specimen, has axial-air bearing axially mounting rotor at stator, and radial air bearing over which rotor is mounted - Google Patents

Bearing device for use in measuring device utilized for measuring dimension and/or contour and/or roughness of test specimen, has axial-air bearing axially mounting rotor at stator, and radial air bearing over which rotor is mounted Download PDF

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DE102009037091A1
DE102009037091A1 DE200910037091 DE102009037091A DE102009037091A1 DE 102009037091 A1 DE102009037091 A1 DE 102009037091A1 DE 200910037091 DE200910037091 DE 200910037091 DE 102009037091 A DE102009037091 A DE 102009037091A DE 102009037091 A1 DE102009037091 A1 DE 102009037091A1
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rotor
stator
bearing
measuring
air bearing
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DE200910037091
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Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
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Hommel Etamic GmbH
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Abstract

The device (2) has a stator (4) and a rotor (6) that is mounted over a radial air bearing (8) at the stator. The radial air bearing is provided with toroidal bearing surfaces (10, 12) at the stator and/or the rotor. An axial-air bearing (26) axially mounts the rotor at the stator. The radial and axial-air bearings are designed as static air bearing. The axial-air bearing is provided with flat surfaces (28, 30) at the rotor. The stator has an upper part (16) that is detachably connected with a lower part (14), where the rotor is held between the lower part and the upper part. An independent claim is also included for a measuring device comprising a pressure foot.

Description

Die Erfindung betrifft eine Lagerungseinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.The The invention relates to a storage device in the preamble of claim 1 type.

Durch US 5 789 839 ist eine Lagerungseinrichtung der betreffenden Art bekannt, die einen Stator und einen Rotor aufweist, der über einem Radial-Luftlager an dem Stator gelagert ist, wobei das Radial-Luftlager toroidale Lagerflächen aufweist.By US 5,789,839 a storage device of the type in question is known, which has a stator and a rotor which is mounted on a radial air bearing on the stator, wherein the radial air bearing has toroidal bearing surfaces.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lagerungseinrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art anzugeben, die insbesondere im Hinblick auf eine Verwendung der Lagerungseinrichtung in einer Meßvorrichtung zur Messung der Form eines Prüflings verbessert ist.Of the Invention is based on the object, a storage device specify the type mentioned in the preamble of claim 1, the in particular with regard to a use of the storage device in a measuring device for measuring the shape of a test piece is improved.

Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.These The object is achieved by the invention defined in claim 1.

Die Erfindung sieht vor, daß die Lagerungseinrichtung zur axialen Lagerung des Rotors an dem Stator ein Axial-Luftlager aufweist. Erfindungsgemäß ist der Rotor somit sowohl in Radialrichtung als auch in Axialrichtung über ein Luftlager an dem Stator gelagert. Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung ergeben sich sowohl ausgezeichnete Rundlaufeigenschaften als auch ausgezeichnete Planlaufeigenschaften. Aufgrunddessen ist die erfindungsgemäße Lagerungseinrichtung dazu geeignet, in einer Präzisions-Meßvorrichtung zur Messung der Form eines Prüflings, beispielsweise zur Durchführung von Dimensions-, Kontur- bzw. Rauheitsmessungen verwendet werden, bei denen an die Rundlauf- und Planlaufeigenschaften der Lagerungseinrichtung hohe Anforderungen gestellt werden, um Präzisions-Messungen zu ermöglichen. Damit ist die erfindungsgemäße Lagerungseinrichtung besonders gut in Meßvorrichtungen zur Messung der Form eines Prüflings verwendbar. Die erfindungsgemäße Lagerungseinrichtung ist jedoch auch für andere Verwendungen geeignet.The Invention provides that the storage device for axial Storage of the rotor on the stator has an axial air bearing. According to the invention, the rotor is thus both in Radial direction as well as in the axial direction via an air bearing stored on the stator. Due to the invention Design results in both excellent concentricity properties as well as excellent run-flat properties. Because of that the storage device according to the invention thereto suitable in a precision measuring device for Measurement of the shape of a specimen, for example, to carry out be used by dimension, contour or roughness measurements, in which the concentricity and run-flat properties of the storage device high Requirements are made to precision measurements to enable. This is the invention Storage device particularly good in measuring devices suitable for measuring the shape of a test object. The inventive However, storage equipment is also for other uses suitable.

Erfindungsgemäß kann wenigstens eines der Luftlager als dynamisches Luftlager ausgebildet sein, bei dem sich ein zur Bildung des Luftlagers erforderliches Luftpolster während des Betriebes der Lagerungseinrichtung selbständig aufbaut, ohne daß eine Druckluftzufuhr erforderlich ist. Nachteilig ist hierbei jedoch, daß bei einem dynamischen Luftlager die Lagerflächen während des Anlaufes des Lagers miteinander in Kontakt sind und damit einem Verschleiß unterworfen sind. Zur Vermeidung eines Verschleißes an den Lagerflächen sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, daß wenigstens eines der Luftlager als statisches Luftlager ausgebildet ist. Bei dieser Ausführungsform wird ein für den Betrieb des Luftlagers erforderliches Luftpolster zwischen den Lagerflächen durch Druckluft aufgebaut.According to the invention at least one of the air bearings is designed as a dynamic air bearing, in which a required for the formation of the air bearing air cushion independently during operation of the storage device builds up without a compressed air supply is required. The disadvantage here, however, that in a dynamic Air bearing the bearing surfaces during startup of the bearing are in contact with each other and thus subject to wear are. To avoid wear on the bearing surfaces provides an advantageous development of the invention that at least one of the air bearings is designed as a static air bearing. at This embodiment becomes one for the operation the air bearing required air cushion between the storage areas built by compressed air.

Grundsätzlich können die Lagerflächen des Axial-Luftlagers in beliebiger geeigneter Weise geformt sein. Um die Planlaufeigenschaften der erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung weiter zu verbessern, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, daß das Axial-Luftlager an dem Stator und an dem Rotor gebildete Planflächen aufweist. Die Planflächen des Stators und des Rotors bilden bei dieser Ausführungsform Lagerflächen, zwischen denen sich bei Betrieb der erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung und damit bei sich drehendem Rotor ein Luftpolster befindet.in principle can the bearing surfaces of the axial air bearing in be shaped as appropriate. To the run characteristics the storage device according to the invention on to improve, provides an advantageous embodiment of the invention before that the axial air bearing on the stator and on the rotor having formed planar surfaces. The plane surfaces of the stator and the rotor form in this embodiment Storage areas, between which during operation of the invention Storage device and thus with rotating rotor an air cushion located.

Um den Aufbau des Stators besonders zweckmäßig zu gestalten, insbesondere hinsichtlich einer einfachen Wartung, sieht eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, daß der Stator ein vorzugsweise lösbar mit dem Unterteil verbundenes Oberteil aufweist, wobei der Rotor zwischen dem Unterteil und dem Oberteil aufgenommen ist.Around the construction of the stator particularly useful design, especially with regard to easy maintenance Another advantageous embodiment of the invention that the Stator a preferably releasably connected to the lower part Upper part, wherein the rotor between the lower part and the Upper part is added.

Eine andere Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß der Stator eine zentrische Öffnung aufweist, in der ein freiliegender Teil des Rotors aufgenommen ist. Der freiliegende Teil des Rotors kann insbesondere bei Verwendung einer erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung in einer Meßvorrichtung einen Drehtisch bilden oder drehfest mit einem Drehtisch verbunden sein, an dem eine Halterung für den Prüfling angeordnet ist.A Another embodiment of the invention provides that the stator has a central opening in which an exposed Part of the rotor is included. The exposed part of the rotor can in particular when using an inventive Storage device in a measuring device a turntable form or rotatably connected to a turntable on which a holder for the specimen is arranged.

Eine andere zweckmäßige Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß in dem Stator Zuführkanäle zur Zuführung von Druckluft zu den Luftlagern gebildet sind.A other expedient development of the invention provides that in the stator feed channels for Supply of compressed air to the air bearings are formed.

Eine erfindungsgemäße Meßvorrichtung zur Messung der Form eines Prüflings ist im Anspruch 7 angegeben. Eine solche Meßvorrichtung weist einen durch einen Rotor gebildeten oder mit dem Rotor verbundenen Drehtisch auf, an dem eine Halterung für den Prüfling angeordnet ist und der über eine Lagerungseinrichtung mit einem Stator verbunden ist. Die Meßvorrichtung weist ferner wenigstens einen Meßtaster auf, der in Meßposition mit dem Prüfling in Verbindung steht zur Aufnahme von die Form des Prüflings repräsentierenden Meßwerten und der mit einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Meßwertübertragungsverbindung steht. Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung weist eine erfindungsgemäße Lagerungseinrichtung auf. Aufgrund der durch Verwendung der erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung erreichten ausgezeichneten Rundlauf- und Planlaufeigenschaften des Drehtischs ist die erfindungsgemäße Meßvorrichtung besonders gut zur Durchführung von Präzisions-Messungen geeignet, beispielsweise für eine hochpräzise Messung der Rundheit eines Prüflings.A Measuring device according to the invention for measurement the shape of a specimen is specified in claim 7. A such measuring device has a rotor formed by a or rotary table connected to the rotor, on which a holder is arranged for the examinee and the over a storage device is connected to a stator. The measuring device further comprises at least one probe, in the measuring position with the examinee is in connection with the recording of the Form of the test sample representing measured values and with a downstream evaluation device in Meßwertübertragungsverbindung stands. The measuring device according to the invention has a storage device according to the invention on. Due to the use of the invention Storage equipment achieved excellent concentricity and run-flat properties the turntable is the measuring device according to the invention especially good for performing precision measurements suitable, for example, for a high-precision Measurement of the roundness of a test object.

Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung sieht vor, daß die Meßvorrichtung zur Messung der Dimension und/oder der Kontur und/oder der Rauheit des Prüflings ausgebildet ist.A Further development of the measuring device according to the invention provides that the measuring device for measuring the dimension and / or the contour and / or the roughness of the test piece is trained.

Erfindungsgemäß ist es grundsätzlich ausreichend, wenn die Meßvorrichtung einen einzigen Meßtaster aufweist. Es ist erfindungsgemäß jedoch entsprechend den jeweiligen Anforderungen auch möglich, wenigstens zwei Meßtaster zu verwenden.According to the invention it is basically sufficient if the measuring device has a single probe. However, it is according to the invention accordingly the respective requirements also possible, at least two Probe to use.

Erfindungsgemäß kann der Meßtaster den Prüfling entsprechend einem beliebigen geeigneten Meßprinzip vermessen, beispielsweise berührungslos, insbesondere auf optischem Wege. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht insoweit vor, daß der Meßtaster ein taktil arbeitender Meßtaster ist. Entsprechende Meßtaster stehen als relativ kostengünstige Bauteile mit hoher Genauigkeit zur Verfügung.According to the invention the probe the test specimen according to a measure any suitable measuring principle, for example contactless, in particular by optical means. An advantageous Further development of the invention provides that the Probe is a tactile working probe. Corresponding probe are relatively inexpensive Components with high accuracy available.

Eine Verwendung einer erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung in einer Meßvorrichtung zur Messung der Form eines Prüflings, insbesondere einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung, ist im Anspruch 10 angegeben.A Use of a storage device according to the invention in a measuring device for measuring the shape of a test object, in particular a measuring device according to the invention, is specified in claim 10.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der stark schematisiert ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt ist. Dabei bilden alle beschriebenen, in der Zeichnung dargestellten und in den Patentansprüchen beanspruchten Merkmale für sich genommen sowie in beliebiger Kombination miteinander den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen und deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Beschreibung bzw. Darstellung in der Zeichnung.The Invention will now be described with reference to the accompanying drawings explained in more detail, in the highly schematized one Embodiment of the invention is shown. there form all described, shown in the drawing and in the claims claimed for features taken as well as in any combination with each other the object of the invention, regardless of their summary in the claims and their dependency as well regardless of their description or presentation in the Drawing.

Es zeigt:It shows:

1 eine perspektivische Schnittansicht eines Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung, 1 a perspective sectional view of an embodiment of a storage device according to the invention,

2 eine Seitenansicht eines Details in 1 und 2 a side view of a detail in 1 and

3 eine geschnittene Seitenansicht eines Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung. 3 a sectional side view of an embodiment of a measuring device according to the invention.

In den Figuren der Zeichnung sind gleiche bzw. sich entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.In the figures of the drawing are the same or corresponding components denoted by the same reference numerals.

In 1 ist in einer perspektivischen Schnittansicht ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Lagerungseinrichtung 2 dargestellt, die einen Stator 4 und einen Rotor 6 aufweist. Der Rotor 6 ist über ein Radial-Luftlager 8 an dem Stator 4 gelagert, wobei das Radial-Luftlager 8 toroidale Lagerflächen 10, 12 an dem Stator 4 bzw. dem Rotor 6 aufweist. Aufgrund der toroidalen Ausbildung der Lagerflächen 10, 12 weist die Lagerungseinrichtung 2 ausgezeichnete Rundlaufeigenschaften auf.In 1 is a perspective sectional view of an embodiment of a storage device according to the invention 2 shown a stator 4 and a rotor 6 having. The rotor 6 is about a radial air bearing 8th on the stator 4 stored, with the radial air bearing 8th toroidal bearing surfaces 10 . 12 on the stator 4 or the rotor 6 having. Due to the toroidal design of the bearing surfaces 10 . 12 has the storage device 2 excellent concentricity properties.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Stator 4 ein Unterteil 14 und ein Oberteil 16 auf, die bei diesem Ausführungsbeispiel durch ein ringförmiges Zwischenteil 18 miteinander verbunden sind. Zur Verbindung des Unterteiles 14 mit dem Oberteil 16 und dem Zwischenteil 18 ist eine Mehrzahl von in Umfangsrichtung des Stators 4 zueinander beabstandeten Schrauben vorgesehen, von denen in 1 lediglich eine Schraube mit dem Bezugszeichen 20 versehen ist. Dadurch, daß das Unterteil 14 lösbar mit dem Oberteil 16 verbunden ist, sind die Montage und die Wartung der Lagerungseinrichtung 2 erleichtert.In the illustrated embodiment, the stator 4 a lower part 14 and a top 16 on, in this embodiment, by an annular intermediate part 18 connected to each other. To connect the lower part 14 with the shell 16 and the intermediate part 18 is a plurality of circumferentially of the stator 4 provided spaced screws, of which in 1 only one screw with the reference numeral 20 is provided. Due to the fact that the lower part 14 detachable with the upper part 16 connected, are the installation and maintenance of the storage facility 2 facilitated.

Wie aus 1 ersichtlich ist, weist der Stator 4 eine zentrische Öffnung 22 auf, in der ein freiliegender Teil 24 des Rotors 6 aufgenommen ist.How out 1 it can be seen, the stator 4 a centric opening 22 on, in which an exposed part 24 of the rotor 6 is included.

Erfindungsgemäß weist die Lagerungseinrichtung 2 zur axialen Lagerung des Rotors 6 an dem Stator 4 ein Axial-Luftlager 26 auf, das bei diesem Ausführungsbeispiel an dem Stator 4 und dem Rotor 6 gebildete Planflächen 28 bzw. 30 aufweist.According to the invention, the storage device 2 for the axial bearing of the rotor 6 on the stator 4 an axial air bearing 26 on, in this embodiment, on the stator 4 and the rotor 6 formed plane surfaces 28 respectively. 30 having.

2 zeigt in gegenüber 1 vergrößertem Maßstab eine Einzelheit aus 1 in einer Seitenansicht. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist sowohl das Radial-Luftlager 8 als auch das Axial-Luftlager 26 als statisches Luftlager ausgebildet, bei dem ein bei Drehung des Rotors 6 erforderliches Luftpolster mittels Druckluft erzeugt wird. Zur Zuführung von Druckluft zu den Lagerflächen 10, 12 des Radial-Luftlagers und den Lagerflächen 28, 30 das Axial-Luftlagers 26 sind Zuführkanäle in dem Stator 4 vorgesehen, von denen ein Zuführkanal 32 dem Radial-Luftlager 8 und ein Zuführkanal 34 dem Axial-Luftlager 26 zugeordnet ist. Zum Abführen der Druckluft von den Lagerflächen 10, 12 des Radial-Luftlagers 8 und den Lagerflächen 28, 30 des Axial-Luftlagers 26 und zur Einstellung eines entsprechend dem gewünschten Luftpolster benötigten Druckes kann wenigstens eine Auslaßdrossel vorgesehen sein. 2 shows in opposite 1 enlarged detail of a detail 1 in a side view. In the illustrated embodiment, both the radial air bearing 8th as well as the axial air bearing 26 designed as a static air bearing, in which a upon rotation of the rotor 6 required air cushion is generated by means of compressed air. For supplying compressed air to the storage areas 10 . 12 the radial air bearing and the bearing surfaces 28 . 30 the axial air bearing 26 are feed channels in the stator 4 provided, of which a feed channel 32 the radial air bearing 8th and a feed channel 34 the axial air bearing 26 assigned. For removing the compressed air from the bearing surfaces 10 . 12 of the radial air bearing 8th and the storage areas 28 . 30 of the axial air bearing 26 and for setting a pressure required according to the desired air cushion, at least one outlet throttle may be provided.

In 3 ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung 36 zur Messung der Form eines Prüflings 38 dargestellt, der lediglich beispielhalber in 3 durch eine Kugel dargestellt ist. Der Rotor 6 ist bei diesem Ausführungsbeispiel drehfest mit einem Drehtisch 40 verbunden, der um die in 3 durch eine strichpunktierte Linie 42 symbolisierte Drehachse des Rotors 6 drehbar ist. An dem Drehtisch 40 ist eine nicht näher dargestellte Halterung für den Prüfling 38 angeordnet.In 3 is an embodiment of a measuring device according to the invention 36 for measuring the shape of a test object 38 shown in FIG 3 represented by a sphere. The rotor 6 is rotatably in this embodiment with a turntable 40 connected to the in 3 by a dot-dash line 42 symbolized axis of rotation of the rotor 6 is rotatable. At the turntable 40 is a not shown Holder for the test object 38 arranged.

Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung weist bei diesem Ausführungsbeispiel einen taktil arbeitenden Meßtaster 44 auf, der in der in 3 dargestellten Meßposition an dem Prüfling 38 anliegt zur Aufnahme von die Form des Prüflings 38 repräsentierenden Meßwerten und der mit einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung 46 in Meßwertübertragungsverbindung steht. Zur radialen Positionierung relativ zu dem Prüfling 38 ist der Meßtaster 44 in Richtung eines Doppelpfeiles 48 und zur Positionierung parallel zu der Drehachse 42 in Richtung eines Doppelpfeiles 50 beweglich. Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung 36 weist eine erfindungsgemäße Lagerungseinrichtung 2 auf, wie sie in den 1 und 2 dargestellt und anhand dieser Figuren beschrieben worden ist.The measuring device according to the invention has in this embodiment a tactile measuring probe 44 up in the in 3 shown measuring position on the DUT 38 is present for receiving the shape of the specimen 38 representing measured values and with a downstream evaluation device 46 is in Meßwertübertragungsverbindung. For radial positioning relative to the DUT 38 is the probe 44 in the direction of a double arrow 48 and for positioning parallel to the axis of rotation 42 in the direction of a double arrow 50 movable. The measuring device according to the invention 36 has a storage device according to the invention 2 on how they are in the 1 and 2 has been shown and described with reference to these figures.

Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung ist wie folgt:
Zur Messung der Form des Prüflings 38, beispielsweise zur Messung der Dimension, der Kontur bzw. der Rauheit des Prüflings, insbesondere von dessen Rundheit, wird der Meßtaster 44 in Kontakt mit dem Prüfling 38 gebracht. Über eine geeignete Druckluftquelle wird sowohl an den Lagerflächen 10, 12 des Radial-Luftlagers 8 als auch an den Lagerflächen 28, 30 des Axial-Luftlagers 26 ein Luftpolster aufgebaut, so daß der Rotor 6 sowohl in Radial- als auch in Axialrichtung an dem Stator 4 luftgelagert ist. Über einen geeigneten Antrieb wird der Rotor 6 und damit der Prüfling 34 um die Drehachse 42 gedreht, wobei der Meßtaster 44 fortlaufend Meßwerte aufnimmt, die die Form des Prüflings 38 an in Umfangsrichtung zueinander beabstandeten Stellen repräsentieren. Anhand dieser Meßwerte kann in der Auswertungseinrichtung 46 die Form des Prüflings 38, insbesondere die Dimension und/oder Kontur und/oder Rauheit des Prüflings 38, ermittelt werden. Dadurch, daß der Rotor 6 in Axialrichtung luftgelagert ist, weist der Drehtisch 40 ausgezeichnete Planlaufeigenschaften auf, so daß der Prüfling 8 mit hoher Präzision vermessen werden kann.
The operation of the measuring device according to the invention is as follows:
For measuring the shape of the test piece 38 For example, to measure the dimension, the contour or the roughness of the specimen, in particular of its roundness, the probe 44 in contact with the examinee 38 brought. A suitable compressed air source is used both on the bearing surfaces 10 . 12 of the radial air bearing 8th as well as on the storage areas 28 . 30 of the axial air bearing 26 an air cushion is built so that the rotor 6 both in the radial and in the axial direction on the stator 4 is air-stored. About a suitable drive is the rotor 6 and thus the examinee 34 around the axis of rotation 42 rotated, with the probe 44 continuously records measurements that match the shape of the device under test 38 represent at circumferentially spaced locations. On the basis of these measured values can in the evaluation device 46 the shape of the test piece 38 , in particular the dimension and / or contour and / or roughness of the test piece 38 , be determined. Due to the fact that the rotor 6 is air-stored in the axial direction, the turntable has 40 excellent run-flat properties, so that the test object 8th can be measured with high precision.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - US 5789839 [0002] US 5789839 [0002]

Claims (10)

Lagerungseinrichtung, mit einem Stator und mit einem Rotor, der über ein Radial-Luftlager an dem Stator gelagert ist, wobei das Radial-Luftlager toroidale Lagerflächen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerungseinrichtung (2) zur axialen Lagerung des Rotors (6) an dem Stator (4) ein Axial-Luftlager (26) aufweist.Bearing arrangement, with a stator and with a rotor, which is mounted on the stator via a radial air bearing, wherein the radial air bearing has toroidal bearing surfaces, characterized in that the bearing device ( 2 ) for the axial bearing of the rotor ( 6 ) on the stator ( 4 ) an axial air bearing ( 26 ) having. Lagerungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eines der Luftlager (8, 26) als statisches Luftlager ausgebildet ist.Bearing arrangement according to Claim 1, characterized in that at least one of the air bearings ( 8th . 26 ) is designed as a static air bearing. Lagerungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Axial-Luftlager (26) an dem Stator (4) und an dem Rotor (6) gebildete Planflächen (28, 30) aufweist.Bearing arrangement according to Claim 1 or 2, characterized in that the axial air bearing ( 26 ) on the stator ( 4 ) and on the rotor ( 6 ) formed plane surfaces ( 28 . 30 ) having. Lagerungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Stator (4) ein Unterteil (14) und ein vorzugsweise lösbar mit dem Unterteil (14) verbundenes Oberteil (16) aufweist, wobei der Rotor (6) zwischen dem Unterteil (14) und dem Oberteil (16) aufgenommen ist.Bearing arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the stator ( 4 ) a lower part ( 14 ) and a preferably detachable with the lower part ( 14 ) connected top ( 16 ), wherein the rotor ( 6 ) between the lower part ( 14 ) and the upper part ( 16 ) is recorded. Lagerungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Stator (4) eine zentrische Öffnung (22) aufweist, in der ein freiliegender Teil des Rotors (6) aufgenommen ist.Bearing arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the stator ( 4 ) a centric opening ( 22 ), in which an exposed part of the rotor ( 6 ) is recorded. Lagerungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Stator (4) Zuführkanäle (32, 34) zur Zuführung von Druckluft zu den Luftlagern (8, 26) gebildet sind.Bearing device according to one of the preceding claims, characterized in that in the stator ( 4 ) Feed channels ( 32 . 34 ) for supplying compressed air to the air bearings ( 8th . 26 ) are formed. Meßvorrichtung zur Messung der Form eines Prüflings, mit einem durch einen Rotor gebildeten oder drehfest mit dem Rotor verbundenen Drehtisch, an dem eine Halterung für den Prüfling angeordnet ist und der über eine Lagerungseinrichtung mit einem Stator verbunden ist, und mit wenigstens einem Meßtaster, der in Meßposition mit dem Prüfling in Wirkungsverbindung steht zur Aufnahme von die Form des Prüflings repräsentierenden Meßwerten und der mit einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Meßwertübertragungsverbindung steht, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerungseinrichtung eine Lagerungseinrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche ist.Measuring device for measuring the shape of a test object, with a turntable formed by a rotor or non-rotatably connected to the rotor, on which a holder for the test piece is arranged and which is connected via a bearing device with a stator, and with at least one probe, which in Measuring position with the test specimen in operative connection is for receiving the shape of the specimen representing measured values and which is connected to a downstream evaluation device in Meßwertübertragungsverbindung, characterized in that the storage device comprises a storage device ( 2 ) according to any one of the preceding claims. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung (36) zur Messung der Dimension und/oder Kontur und/oder Rauheit des Prüflings (38) ausgebildet ist.Measuring device according to claim 7, characterized in that the measuring device ( 36 ) for measuring the dimension and / or contour and / or roughness of the test piece ( 38 ) is trained. Meßvorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßtaster ein taktil arbeitender Meßtaster (44) ist.Measuring device according to claim 7 or 8, characterized in that the measuring probe is a tactile measuring probe ( 44 ). Verwendung einer Lagerungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 in einer Meßvorrichtung (36) zur Messung der Form eines Prüflings (38), insbesondere einer Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9.Use of a storage device according to one of claims 1 to 6 in a measuring device ( 36 ) for measuring the shape of a test object ( 38 ), in particular a measuring device according to one of claims 7 to 9.
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US5789839A (en) 1994-01-18 1998-08-04 Langenbeck; Peter Aerostatic and aerodynamic bearing for a motor

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