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Die
Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement und ein Verfahren
zum elektrischen Kontaktieren eines elektronischen Bauelements als
Stapel, das aus einer Mehrzahl von auf Anlegen eines elektrischen
Feldes reagierenden Werkstoffschichten und einer Mehrzahl von Elektrodenschichten
gebildet ist, wobei jede Werkstoffschicht zwischen zwei der Elektrodenschichten
angeordnet ist.
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Ein
solches Bauelement aus übereinander und alternierend zueinander
gestapelten Schichten von Werkstoffschicht und Elektrodenschicht
wird allgemein als Stapel bezeichnet. Das heutzutage bekannteste
elektronische Bauelement dieser Art ist ein allgemein als Piezoaktor
bezeichneter Stapel, der als Betätigungselement in Einspritzventilen
der verschiedensten Motortypen für Kraftfahrzeuge zur Anwendung
kommt. Die Werkstoffschichten sind bei diesem Piezoaktor Keramikschichten.
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Üblicherweise
weist ein solcher Stapel, in der Draufsicht betrachtet, einen rechteckigen
oder quadratischen Querschnitt auf. Der Stapel wird an zwei sich
gegenüberliegenden Umfangsseiten elektrisch kontaktiert.
Um dies technologisch sorgfältig durchführen zu
können, wurden die Elektrodenschichten in der Vergangenheit
geometrisch so ausgelegt, dass sich nur jede zweite Elektrodenschicht
seitlich bis zu einer der beiden Umfangsseiten erstreckt, während sich
die jeweils anderen Elektrodenschichten nicht bis zu dieser Umfangsseite
hin erstrecken. Entsprechendes gilt für die andere Umfangsseite
des Stapels analog.
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Darüber
hinaus sind sog. vollaktive Stapel bekannt, bei denen die Elektrodenschichten
und die Werkstoffschichten die gleiche Fläche aufweisen, wodurch
sich sämtliche Elektroden schichten jeweils bis an die gegenüberliegenden
Umfangsseiten erstrecken. Da sich sämtliche Elektrodenschichten
des Bauelements bis zu den beiden gegenüberliegenden Umfangsseiten
erstrecken, muss die Kontaktierung auf andere Weise erfolgen.
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Aus
der
DE 101 53 770
A1 ist ein Verfahren zur Kontaktierung einer gestapelten
piezoelektrischen Vorrichtung bekannt. Bei diesem Verfahren wird
beidseitig abwechselnd jede zweite Elektrodenschicht mit einer elektrisch
isolierenden Schicht versehen. Anschließend werden die
freiliegenden Elektrodenschichten jeder Umfangsseite über
eine leitende Schicht miteinander verbunden. Als leitende Schicht
wird ein Harz verwendet, das leitfähige Partikel enthält.
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Aus
der
DE 10 2006
003 070 B3 ist ein Verfahren zur elektrischen Kontaktierung
eines als Stapel gebildeten Bauelements bekannt, welches aus Werkstoffschichten
und Elektrodenschichten besteht. Zur Ankontaktierung wird auf zwei
gegenüberliegenden Seiten eine Isolationsschicht aufgebracht. Anschließend
wird jede Isolationsfolie durch Laserstrukturierung an der Position
jeder zweiten Elektrodenschicht geöffnet. Anschließend
werden die Elektrodenschichten auf jeder Umfangsseite mit einem elektrisch
leitenden Material miteinander verbunden.
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Ein
Nachteil der aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren besteht
darin, dass das selektive Aufbringen der isolierenden Schicht bzw.
das Freilegen von Elektrodenschichten einer vollflächig
aufgebrachten isolierenden Schicht mit einem hohen Arbeitsaufwand
und damit hohen Kosten verbunden ist.
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Es
ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein elektronisches
Bauelement und ein Verfahren zum elektrischen Kontaktieren des als
Stapel ausgebildeten Bauelements anzugeben, welche aufgrund ihrer
Kontaktierung eine verbesserte Langzeit-Zuverlässigkeit
des Stapels ermöglichen.
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Diese
Aufgaben werden gelöst durch ein elektronisches Bauelement
mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 sowie ein Verfahren mit
den Merkmalen des Patentanspruches 14. Vorteilhafte Ausgestaltungen
ergeben sich jeweils aus den abhängigen Patentansprüchen.
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Die
Erfindung schafft ein als Stapel ausgebildetes elektronisches Bauelement.
Dieses umfasst eine Mehrzahl von Elektrodenschichten sowie eine Mehrzahl
von auf Anlegen eines elektrischen Feldes reagierenden Werkstoffschichten,
wobei jede Werkstoffschicht zwischen zwei der Elektrodenschichten angeordnet
ist. Eine strukturierte Isolationsschicht ist auf zumindest einem
Stapelumfangsbereich des Stapels aufgebracht, wobei die Isolationsschicht
derart ausgebildet ist, dass jede zweite Elektrodenschicht eines
Stapelumfangsbereichs zur elektrischen Kontaktierung freigelegt
ist. Das Bauelement umfasst weiter eine strukturierte elektrisch
leitende Schicht, die den jeweiligen, mit der Isolationsschicht
versehenen Stapelumfangsbereich im Wesentlichen ganzflächig
bedeckt, wobei die Strukturierung derart ist, dass die elektrisch
leitende Schicht eine zumindest zweidimensionale Elastizität
in der Ebene des jeweiligen Stapelumfangsbereichs aufweist.
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Die
Erfindung schafft ein Verfahren zum elektrischen Kontaktieren eines
elektronischen Bauelements als Stapel, das aus einer Mehrzahl von
auf Anlegen eines elektrischen Feldes reagierenden Werkstoffschichten
und einer Mehrzahl von Elektrodenschichten gebildet ist, wobei jede
Werkstoffschicht zwischen zwei der Elektrodenschichten angeordnet
ist. Bei dem Verfahren wird auf zumindest einem Stapelumfangsbereich
des Stapels jeweils eine strukturierte Isolationsschicht aufgebracht,
wodurch jede zweite Elektrodenschicht eines Stapelumfangsbereichs
zur elektrischen Kontaktierung freigelegt ist. Der zumindest eine
mit der Isolationsschicht versehene Stapelumfangsbereich wird im
Wesentlichen ganzflächig mit einer derart strukturierten
elektrisch leitenden Schicht bedeckt, dass durch die Strukturierung
eine zumindest zweidimensionale Elastizität der elektrisch
leitenden Schicht in der Ebene des jeweiligen Stapelumfangsbereichs
gegeben ist.
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Durch
die strukturierte elektrisch leitende Schicht wird ihre Dauerdehnbarkeit
und Dauerschwingbelastbarkeit signifikant erhöht. Durch
die Elastizitätserhöhung der Metallschicht wird
die Bewegung des Stapels bei dessen Ansteuerung erleichtert. Insbesondere
kann auch durch die Strukturierung der elektrisch leitenden Schicht
das Auftreten von Rissen in der elektrisch leitenden Schicht vermindert
werden. Hierdurch kann ein im Ergebnis zuverlässigeres
Bauelement bereitgestellt werden.
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Zweckmäßigerweise
weist die elektrisch leitende Schicht eine Vielzahl von Leiterbahnen
auf, die sich im Wesentlichen quer zu den Elektrodenschichten erstrecken.
Insbesondere sind die Leiterbahnen zumindest abschnittsweise elektrisch
voneinander isoliert. Hierdurch ergibt sich die bezweckte zumindest
zweidimensionale Elastizität der elektrisch leitenden Schicht
in der Ebene des jeweiligen Stapelumfangsbereichs, wodurch die Dauerdehnbarkeit und
Dauerschwingbelastbarkeit des Stapels verbessert ist.
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Zweckmäßigerweise
sind die Leiterbahnen zumindest abschnittsweise parallel zueinander
angeordnet. Auf diese Weise ist die erhöhte Elastizität
gewährleistet. Die Gestalt der Leiterbahnen kann prinzipiell
beliebig sein. Insbesondere können diese mäanderförmig
und/oder wellenförmig und/oder zick-zack-förmig
und/oder als konzentrische Kreise und/oder als konzentrische Rechtecke
oder Trapeze ausgebildet sein. In den zuletzt genannten Fällen können
die Leiterbahnen segmentweise nebeneinander angeordnet sein.
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Zur
Erstellung der strukturierten elektrisch leitenden Schicht wird
elektrisch leitendes Material z. B. zunächst ganzflächig
auf den zumindest einen mit der Isolationsschicht versehenen Stapelumfangsbereich
aufgebracht und dann Material der ganzflächigen Schicht
abschnittsweise subtraktiv entfernt. Die elektrisch leitende Schicht
kann beispielsweise aus Kupfer, Nickel, Zink, Silber, Gold, Palladium
oder Legierungen davon, gefertigt werden. Das subtraktive Entfernen
von Teilen der ganzflächigen Schicht kann beispielsweise
durch Laserablation erfolgen.
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Alternativ
kann die Struktur der elektrisch leitenden Schicht auch bereits
beim Aufbringen des Materials der Schicht erzeugt werden. Die Erzeugung
der elektrisch leitenden Schicht kann durch ein Sprühverfahren
oder ein Siebdruckverfahren erfolgen. Als Sprühverfahren
kommen insbesondere die unter dem Namen „InkJet” oder „ColdSpray” bekannten
Verfahren in Betracht. Ebenso kommen physikalische Abscheideverfahren,
wie Sputtern oder Aufdampfen, und eine eventuell sich anschließende
galvanische Verstärkung in Betracht. Im Rahmen eines Siebdruckverfahrens
können insbesondere Nanopasten verarbeitet werden, auch
wenn die Erzeugung einer Metallschicht bevorzugt ist. Die Schichtdicke
der elektrisch leitenden Schicht hängt im Wesentlichen
von der notwendigen Stromtragfähigkeit ab und beträgt
vorzugsweise zwischen 3 μm und 15 μm.
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Gemäß einer
weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung ist die Isolationsschicht
durch einen Schrumpfschlauch gebildet, der alle Stapelumfangsbereiche
umfänglich vollständig bedeckt. Zweckmäßigerweise
ist der Schrumpfschlauch auf der den Stapelumfangsbereichen zugewandten
Seiten mit einer Kleberschicht versehen. Hierdurch kann die Haftung
des Schrumpfschlauchs an dem Stapel verbessert werden.
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Zweckmäßigerweise
ist die Isolationsschicht durch eine Folie gebildet, die den zumindest
einen Stapelumfangsbereich des Stapels bedeckt. Dabei ist insbesondere
vorgesehen, dass die Folie über Seitenkanten des zumindest
einen Stapelumfangsbereichs gezogen ist, die an weitere Stapelumfangsbereiche grenzen,
an denen insbesondere keine Elektrodenschichten zugänglich
sind oder elektrisch kontaktiert sind.
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Die
Verwendung eines Schrumpfschlauchs oder einer Folie, insbesondere
einer Laminierfolie ermöglicht eine weitere Verbesserung
der Dauerdehnbarkeit und Dauerschwingbelastbarkeit des Stapels, da
die Materialien von Haus aus elastische Eigenschaften aufweisen.
Die Verwendung eines Schrumpfschlauchs weist darüber hinaus
den Vorteil auf, dass der Stapel auch an den nicht elektrisch kontaktierten
Stapelumfangsbereichen passiviert und geschützt ist.
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Um
diesen Schutz auch bei der Verwendung einer Folie als Isolierschicht
bereitzustellen, ist es zweckmäßig, wenn nicht
von der Folie bedeckte Bereiche der weiteren Stapelumfangsbereiche
mit einer insbesondere polymeren Passivierungsschicht bedeckt sind.
Das Applizieren der Passivierungsschicht kann beispielsweise durch
Sprühen, Tauchen, Pinseln, Siebdruck oder ähnliche
Verfahren erfolgen.
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Gemäß einer
weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung ist eine jeweilige
strukturierte Isolationsschicht auf zwei geometrisch nicht zusammenhängende
Stapelumfangsbereiche aufgebracht.
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Die
Isolationsschicht ist zweckmäßigerweise derart
strukturiert, dass auf einem ersten der Stapelumfangsbereiche jede
zweite Elektrodenschicht eines Stapelumfangsbereichs zur elektrischen
Kontaktierung freigelegt ist. Auf einem zweiten der Stapelumfangsbereiche
sind die verbleibenden Elektrodenschichten freigelegt. Hierdurch
können auf jeden der Stapelumfangsbereiche die Elektrodenschichten
mit dem gleichen Potential beaufschlagt werden, wodurch das für
den Betrieb des Stapels notwendige elektrische Feld erzeugbar ist.
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Es
ist darüber hinaus zweckmäßig, wenn ein eine
jeweilige Elektrodenschicht bedeckender/isolierender Isolationswall
aus Isolationsmaterial einen trapez- oder sinusförmigen
Quer schnitt aufweist. Die spezifische Kontur des Isolationswalls
ermöglicht es, einen Abbau bzw. eine Vergleichmäßigung
der bei Ansteuerung und damit Ausdehnung des Stapels auftretenden
mechanischen Zugspannungen in der Kontaktierung zu erzielen. In
diesem Zusammenhang ist es auch zweckmäßig, wenn
die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der aneinander grenzenden
Materialien zueinander angepasst sind. Der trapez- oder sinusförmige
Querschnitt der Bahn (Isolationswall) aus Isolationsmaterial kann
z. B. dadurch erzeugt werden, dass die eine jeweilige Elektrodenschicht
bedeckenden/isolierenden Isolationswälle aus dem Isolationsmaterial
verrundet oder mit einer Phase versehen werden.
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Da
die Strukturierung der Isolationsschicht aufgrund der bevorzugt
zu verwendenden Folie oder des Schrumpfschlauchs substraktiv erfolgt,
ist es weiterhin zweckmäßig, wenn nach dem Aufbringen der
Isolationsschicht die genaue Position einer jeweiligen der Elektrodenschichten
entlang der Stapelumfangsbereiche ermittelt wird. Hierzu kann der
Stapel beispielsweise mit Positioniermarken versehen werden.
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Die
Erfindung wird nachfolgend näher anhand von Ausführungsbeispielen
in der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
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1 eine
schematische Querschnittsdarstellung durch ein erfindungsgemäßes
Bauelement,
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2 eine
perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen
Bauelements gemäß einer ersten Ausgestaltungsvariante,
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3 eine
perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen
Bauelements gemäß einer zweiten Ausgestaltungsvariante,
und
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4a bis 4d verschiedene
Ausführungsbeispiele möglicher elektrisch leitender
Schichten eines erfindungsgemäßen Bauelements.
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Ausgangspunkt
ist ein als Stapel 1 ausgebildetes elektronisches Bauelement.
Der Stapel 1 ist aus einer Mehrzahl von auf Anlegen eines
elektrischen Feldes reagierenden Werkstoffschichten 2 und einer
Mehrzahl von Elektrodenschichten 3, 4 gebildet.
Jede der Werkstoffschichten 2 ist zwischen zwei der Elektrodenschichten 3, 4 angeordnet.
Die Elektrodenschichten 3, 4 sind dabei beidseitig
bis an die jeweiligen Ränder des Stapels 1 geführt.
Eine elektrische Kontaktierung erfolgt im Ausführungsbeispiel auf
gegenüberliegenden und geometrisch nicht zusammenhängenden
Stapelumfangsbereichen 5, 6, von denen in der
Querschnittsdarstellung gemäß 1 lediglich
der Stapelumfangsbereich 5 dargestellt ist. Ein derartiger
Stapel 1 ist aus dem Stand der Technik prinzipiell bekannt
und dient beispielsweise als Piezoaktor für einen Piezoinjektor
für einen Verbrennungsmotor.
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Wie
der schematischen Querschnittsdarstellung der 1 zu
entnehmen ist, ist auf dem Stapelumfangsbereich 5 eine
strukturierte Isolationsschicht 7 aufgebracht. Auf der
Isolationsschicht 7 ist eine elektrisch leitende Schicht 8 angeordnet,
welche jede zweite Elektrodenschicht 4 auf der Stapelumfangsseite 5 elektrisch
kontaktiert. Die auf dem in 1 nicht
dargestellten Stapelumfangsbereich 6 aufgebrachte Isolationsschicht
ist derart strukturiert, dass die Elektrodenschichten 3 freigelegt
und durch eine elektrisch leitende Schicht elektrisch kontaktiert
sind.
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Die
Erzeugung der in 1 bereits strukturierten Isolationsschicht 7 erfolgt
z. B. durch ein subtraktives Verfahren. Aus diesem Grund wird zunächst der
Stapel 1 mit Positioniermarken (nicht dargestellt) versehen.
Anschließend wird der Stapel 1 bezüglich der
Lage der Elektrodenschichten 3, 4 ver messen. Anschließend
wird ganzflächig auf die Stapelumfangsbereiche 5 und 6 ein
Isoliermaterial aufgebracht.
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Hierzu
wird der Stapel 1 beispielsweise vollständig mit
einem Schrumpfschlauch umhüllt. Dies ist in der perspektivischen
Darstellung der 2 gezeigt. Der Schrumpfschlauch 11 ist
vorzugsweise zur Verbesserung der Haftung an dem Stapel 1 auf
der allen Stapelumfangsbereichen 5, 6, 15, 16 zugewandten
Seiten mit einer nicht dargestellten Kleberschicht versehen. Durch
die Verwendung eines Schrumpfschlauchs 11 als Isolationsmaterial
werden vorteilhafterweise an die Stapelumfangsbereiche 5, 6 angrenzende
weitere Stapelumfangsbereiche 15, 16 passiviert.
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Alternativ
kann auf die Stapelumfangsbereiche 5, 6 eine Folie,
insbesondere eine Laminierfolie aufgebracht werden. Dabei ist es
zweckmäßig, wenn die Folie 12 zumindest über
diejenigen Seitenkanten der Stapelumfangsbereiche 5, 6 gezogen
wird, welche an die weiteren Stapelumfangsbereiche 15, 16 angrenzen.
Von der Folie 12 nicht bedeckte Bereiche der weiteren Stapelumfangsbereiche 15, 16 werden vorzugsweise
zu deren Passivierung mit einer polymeren Passivierungsschicht 13 bedeckt.
Die Applikation der Passivierungsschicht 13 kann durch
Sprühen, Tauchen, Pinseln oder Siebdruck erfolgen. Die Passivierungsschicht
kann aus Silikon, Epoxy, Polyurethan oder Polyimid bestehen.
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Das
Aufbringen der Passivierungsschicht oder das Vorhandensein des Schrumpfschlauchs
an den weiteren Stapelumfangsbereichen ist dann von Vorteil, wenn
der Auftrag der späteren elektrisch leitenden Schicht 8 galvanisch
erfolgen soll, um eine elektrische Verbindung zwischen den Elektrodenschichten 3 und
den Elektrodenschichten 4 des Stapels zu verhindern.
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In
einem sich daran anschließenden Verfahrensschritt wird
die durch den Schrumpfschlauch 11 oder die Folie 12 gebildete,
noch vollflächige Isolationsschicht im Bereich der späteren Kontaktierung durch
Laserablation, Fotolithographie, mechanischen Abtrag und dergleichen
strukturiert. Dies erfolgt – wie erläutert – derart,
dass auf dem ersten Stapelumfangsbereich 5 jede zweite
Elektrodenschicht 4 freigelegt ist. Auf dem zweiten, gegenüberliegenden Stapelumfangsbereich 6 sind
die verbleibenden Elektrodenschichten 3 freigelegt.
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Hierdurch
ergeben sich die in der Querschnittsdarstellung der 1 dargestellten
Isolationswälle 9. Bevorzugt erfolgt die Strukturierung
der Isolierschicht 7 dergestalt, dass Flanken 10 der
Isolationswälle 9 verrundet oder mit wenigstens
einer Phase versehen werden, so dass sich beispielsweise der in 1 gezeigte
trapezförmige Querschnitt eines jeweiligen Isolationswalls 9 ergibt.
Alternativ können die Isolationswälle im Querschnitt
auch sinusförmig oder ähnlich ausgestaltet sein.
Die Anpassung der spezifischen Kontur der Isolationswälle 9 ermöglicht
einen Abbau bzw. eine Vergleichmäßigung der bei
Ansteuerung und damit Ausdehnung des Piezoaktors 1 auftretenden
mechanischen Zugspannungen in der auf der Isolierschicht 7 aufgebrachten
leitenden Schicht 8. In diesem Zusammenhang ist es ebenfalls
vorteilhaft, das Material der Isolationsschicht 7 hinsichtlich
des thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf die Materialien der
Werkstoffschichten 2 sowie der Elektrodenschichten 3, 4 hin
anzupassen.
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Auf
die derart vorbereitete Isolationsstruktur wird die elektrisch leitende
Schicht 8 aufgebracht. Dies kann durch einen PVD(Physical
Vapor Deposition)- oder einen CVD(Chemical Vapor Deposition)-Prozess,
eine galvanische oder stromlose Abscheidung, Jetten, Sprühen,
Direktschreiben, Siebdruck usw. erfolgen. Um eine zweidimensionale
Elastizität der elektrisch leitenden Schicht 8 in
der Ebene des jeweiligen Stapelumfangsbereichs zu erzielen und dadurch
die Dauerdehnbarkeit und Dauerschwingbelastbarkeit des Bauelements
zu erhöhen, wird die elektrisch leitende Schicht 8 nicht
ganzflächig auf der strukturierten Isolationsschicht 7 belassen,
sondern ebenfalls strukturiert. Ausführungsbeispiele für
mögliche Strukturierungsvarianten sind in den 4a bis 4d dargestellt.
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In 4a ist
die Elektrodenschicht 8 in Gestalt einer Mehrzahl an rautenförmigen
Segmenten ausgebildet. Jedes rautenförmige Segment besteht aus
einer Mehrzahl an elektrisch voneinander isolierten konzentrischen
Trapezen. Der relative Verlauf der durch die elektrisch leitende
Schicht 8 kontaktierten Elektrodenschichten ist schematisch
durch die mit dem Bezugszeichen 4 gekennzeichnete Elektrodenschicht
dargestellt.
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Im
Ausführungsbeispiel gemäß 4b ist die
elektrisch leitende Schicht 8 durch eine Mehrzahl an im
Wesentlichen parallel verlaufenden, wellenförmigen Leiterbahnen 14 gebildet.
Die elektrischen Leiterbahnen 14 weisen zueinander keinen
Kontakt auf, was jedoch nicht zwingend ist.
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Im
Ausführungsbeispiel gemäß 4c ist die
elektrisch leitende Schicht 8 durch eine Mehrzahl an parallel
verlaufenden, zick-zack-förmigen Leiterbahnen 14 gebildet,
welche ebenfalls elektrisch voneinander isoliert sind. Ein ähnliches
Ausführungsbeispiel zeigt 4d, in
welcher die Mehrzahl an parallel verlaufenden Leiterbahnen 14 der
elektrisch leitenden Schicht 8 gewinkelt ist.
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Das
erfindungsgemäße Bauelement zeichnet sich durch
einen einfachen Aufbau und einen kostengünstigen Herstellungsprozess
aus. Insbesondere ist die Verwendung einer im Hinblick auf die elektrische
Kontaktierung nachteiligen Leitkleber-Schicht vermieden. Das Vorsehen
einer strukturierten Metallschicht erlaubt die Weiterkontaktierung durch
einen Löt- und Schweißprozess, direkt auf die Metallschicht.
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Die
Verwendung eines Schrumpfschlauchs als Isoliermaterial oder einer
Folie ermöglicht in Verbindung mit der strukturierten Metallschicht
eine gute Dauerdehnbarkeit und Dauer schwingbelastbarkeit. Darüber
hinaus ist eine vollständige elektrische Passivierung auf
einfache Weise möglich.
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Bei
Verwendung eines Schrumpfschlauchs oder einer Folie als Isolationsmaterial
mit einem ausreichenden Elastizitätsmodul im Bereich von
größer 10 GPa kann das Bauelement auch unter erhöhten Umgebungsdrücken,
wie diese beispielsweise in Dieselmotoren auftreten, eingesetzt
werden. Dies resultiert daraus, dass die Komprimierung der Isolationsschicht
und damit die Deformation der Metallschicht ausreichend gering bleibt.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 10153770
A1 [0005]
- - DE 102006003070 B3 [0006]