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DE102009014972A1 - Optische Anordnung - Google Patents

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DE102009014972A1
DE102009014972A1 DE102009014972A DE102009014972A DE102009014972A1 DE 102009014972 A1 DE102009014972 A1 DE 102009014972A1 DE 102009014972 A DE102009014972 A DE 102009014972A DE 102009014972 A DE102009014972 A DE 102009014972A DE 102009014972 A1 DE102009014972 A1 DE 102009014972A1
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DE
Germany
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optical
optical element
axis
arrangement according
bearing
Prior art date
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Ceased
Application number
DE102009014972A
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English (en)
Inventor
Johannes Lippert
Ulrich Weber
Hubert Holderer
Armin Dr. Schöppach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss Laser Optics GmbH filed Critical Carl Zeiss Laser Optics GmbH
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Priority to KR1020100023687A priority patent/KR101656883B1/ko
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
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Abstract

Eine optische Anordnung weist ein optisches Element (12), das bezüglich einer optischen Achse (18) nicht rotationssymmetrisch ist und zumindest eine Symmetrieachse (20) senkrecht zur optischen Achse (18) auf, und einen Fassungskörper (24), der zumindest drei Lager (26, 28, 30) für das optische Element (12) aufweist, an denen das optische Element (12) festgelegt ist, wobei die Lager (26, 28, 30) relativ zum Fassungskörper (24) beweglich sind, wobei jedes der Lager (26, 28, 30) jeweils nur entlang einer Bewegungsgerade (40, 42, 44) beweglich ist und wobei sich die Bewegungsgeraden (40, 42, 44) der Lager (26, 28, 30) in einem Schnittpunkt (46) schneiden, der auf der Symmetrieachse (20) liegt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, mit einem optischen Element, das bezüglich einer optischen Achse nicht rotationssymmetrisch ist und zumindest eine Symmetrieachse senkrecht zur optischen Achse aufweist.
  • Ohne Beschränkung der Allgemeinheit wird die erfindungsgemäße optische Anordnung in einem optischen System verwendet, mit dem ein Lichtstrahl hoher Lichtintensität, insbesondere ein Laserstrahl, von einem ursprünglich quadratischen Strahlquerschnitt in einer Dimension stark aufgeweitet und in der dazu senkrechten Dimension fokussiert wird. Mit anderen Worten wird dieser Lichtstrahl auf eine sehr dünne lange Linie (Linienfokus) abgebildet. Das Verhältnis der Abmessungen des Linienfokus in der langen Dimension und der kurzen Dimension kann größer als 100000:1 sein. Ein solches optisches System wird beispielsweise zur laserinduzierten Dünnschichtkristallisation von Flachbildschirmen verwendet.
  • Für ein solches optisches System, mit dem ein Lichtstrahl auf einen Linienfokus abgebildet wird, werden optische Anordnungen benötigt, die nicht rotationssymmetrische optische Elemente aufweisen. Üblicherweise werden als optische Elemente Zylinderlinsen oder Zylinderlinsenarrays verwendet.
  • Solche nicht rotationssymmetrische optische Elemente weisen zumindest eine Symmetrieachse senkrecht zur optischen Achse auf, wobei eine solche Symmetrieachse bei einer Zylinderlinse durch eine Achse parallel zur Scheitellinie des (teil-)zylindrischen Mantels der Linse und senkrecht zur optischen Achse gebildet wird.
  • Wenn eine optische Anordnung beispielsweise zur laserinduzierten Dünnschichtkristallisation verwendet wird, bei der mit Laserlichtleistungen im Bereich von 1 kW und mehr gearbeitet wird, ergibt sich schon bei geringsten Absorptionen in dem optischen Element eine starke Erwärmung. Diese Erwärmung führt zu einer Ausdehnung des optischen Elements, die zu Abbildungsfehlern bzw. zu einer Verschlechterung der Abbildung führt. Diese Wärmeausdehnung stellt sich insbesondere dann als Problem dar, wenn das optische Element wie im vorliegenden Fall nicht rotationssymmetrisch ist und zumindest eine Symmetrieachse senkrecht zur optischen Achse aufweist. Eine Wärmeausdehnung kann nämlich bewirken, dass sich die Symmetrieachse, beispielsweise bei einer Zylinderlinse die Scheitellinie, verlagert, sich beispielsweise um die optische Achse verdreht, wodurch das optische Element Abbildungsfehler verursacht.
  • Aus diesem Grund wird an die Fassung des optischen Elements die Anforderung gestellt, das optische Element auch bei einer Wärmeausdehnung in der richtigen Lage zu halten. Hier ist weiterhin zu berücksichtigen, dass auch die Fassung, üblicherweise aus Metall, sich im Betrieb erwärmt und auf das optische Element aufgrund ihrer Wärmeausdehnung Kräfte ausübt, die zu Verspannungen in dem optischen Element führen können, die die optischen Abbildungseigenschaften des optischen Elements ebenfalls verschlechtern.
  • Bei optischen Anordnungen, die rotationssymmetrische optische Elemente aufweisen, ist es beispielsweise aus DE 10 2006 060 088 A1 bekannt, zur spannungsreduzierten und positionsstabilen Fassung des rotationssymmetrischen optischen Elements einen rotationssymmetrischen Fassungskörper zur Aufnahme des optischen Elements zu verwenden, wobei der rotationssymmetrische Fassungskörper das optische Element an drei Lagerstellen im Winkel von 120° zueinander lagert. An den Lagerstellen weist der Fassungskörper radial federnd ausgebildete Stege oder Blattfedern auf, die tangential am Umfang des optischen Elements über Verbindungspunkte anliegen. Die Stege sind radial entlang von Bewegungsgeraden beweglich, die sich in der optischen Achse schneiden.
  • Bei rotationssymmetrischen optischen Elementen besteht jedoch nicht das Problem, dass eine Verdrehung des optischen Elements um die optische Achse zu einer Verschlechterung der Abbildungseigenschaften des optischen Elements führt, weil eben das optische Element eine Rotationssymmetrie bezüglich der optischen Achse aufweist. Eine Drehung des optischen Elements um die optische Achse wird bei solchen optischen Elementen daher auch als Ausweichbewegung bei einer wärmeinduzierten Ausdehnung freigegeben, da sie sich nicht schädlich auf die Abbildungseigenschaften auswirkt.
  • Bei einem nicht rotationssymmetrischen optischen Element mit einer Symmetrieachse senkrecht zur optischen Achse ist jedoch eine Drehung des optischen Elements um die optische Achse für die Abbildungseigenschaften des optischen Elements schädlich und daher zu vermeiden.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung, deren optisches Element nicht rotationssymmetrisch ist und eine Symmetrieachse senk recht zur optischen Achse aufweist, anzugeben, bei der das optische Element so gefasst ist, dass das optische Element bei Erwärmung gegen eine Verdrehung um die optische Achse lagefest gehalten ist.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine optische Anordnung gelöst, mit einem optischen Element, das bezüglich einer optischen Achse nicht rotationssymmetrisch ist und zumindest eine Symmetrieachse senkrecht zur optischen Achse aufweist, mit einem Fassungskörper, der zumindest drei Lager für das optische Element aufweist, an denen das optische Element festgelegt ist, wobei die Lager relativ zum Fassungskörper beweglich sind, wobei jedes der Lager jeweils nur entlang einer Bewegungsgeraden beweglich ist, und wobei sich die Bewegungsgeraden der Lager in einem Schnittpunkt schneiden, der auf der Symmetrieachse liegt.
  • Die Fassung der erfindungsgemäßen optischen Anordnung weist somit einen Fassungskörper auf, der dazu ausgelegt ist, das optische Element so zu lagern, dass sich die Symmetrieachse, beispielsweise bei einer Zylinderlinse, die Achse parallel zur Scheitellinie bei Erwärmung und durch die dadurch induzierte Wärmeausdehnung des optischen Elements nicht um die optische Achse verdreht, indem die Lager nur entlang von Bewegungsgeraden beweglich sind, die sich in einem Schnittpunkt schneiden, der auf der Symmetrieachse liegt. Dies bewirkt, dass jegliche Drehmomente bezüglich der optischen Achse, die auf das optische Element wirken, gegenseitig kompensiert sind.
  • Vorzugsweise liegt der vorstehend genannt Schnittpunkt der Bewegungsgeraden der Lager auf der optischen Achse des optischen Elements.
  • Hierdurch wird zusätzlich eine Verlagerung der Symmetrieachse aus der optischen Achse, d. h. eine translatorische Verlagerung der Symmetrieachse von der optischen Achse weg, vermieden.
  • In diesem Zusammenhang ist es im Fall, dass das optische Element einen viereckigen Umfang aufweist, bevorzugt, wenn eines der Lager etwa mittig an einer ersten Umfangsseite des optischen Elements angeordnet ist, und die beiden anderen Lager an Ecken der der ersten Umfangsseite gegenüberliegenden Umfangsseite angeordnet sind.
  • Diese Verteilung der Lager am Fassungskörper hat zum einen den Vorteil, dass insgesamt nur drei Lager zur Fassung des optischen Elements benötigt werden, wodurch der konstruktive Aufbau besonders einfach ist, und zum anderen können hier auf konstruktiv einfache Weise zwei der zuvor genannten Ausgestaltungen miteinander vereint werden, nämlich dass die Bewegungsgeraden der Lager sich sowohl in der optischen Achse als auch auf der Symmetrieachse schneiden, wodurch eine bestmögliche Drehmomentkompensation zur Vermeidung einer Verdrehung der Symmetrieachse und zur Vermeidung einer translatorischen Verlagerung der Symmetrieachse erreicht wird.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist jedes Lager über jeweils zumindest eine Blattfeder relativ zum Fassungskörper beweglich.
  • Diese bei der Fassung von rotationssymmetrischen optischen Elementen an sich bekannte Maßnahme kann auch im Fall der Fassung von nicht rotationssymmetrischen optischen Elementen vorteilhaft eingesetzt werden, wobei durch diese Maßnahme die Lager insbesondere auch einstückig mit dem Fassungskörper ausgebildet sein können, indem in diesem entsprechende Materialein- oder -freischnitte vorgesehen werden.
  • In diesem Zusammenhang ist es weiterhin bevorzugt, wenn jedes Lager über jeweils zumindest zwei Blattfedern relativ zum Fassungskörper beweglich ist, von denen zumindest eine erste Blattfeder in Richtung der Bewegungsgerade des zugehörigen Lagers auf der der optischen Achse zugewandten Seite des Lagers und zumindest eine zweite Blattfeder auf der der optischen Achse abgewandten Seite des Lagers angeordnet ist.
  • Hierbei ist von Vorteil, dass das Lager beidseits der Lagerstelle des optischen Elements von dem Fassungskörper spannungsentkoppelt ist, wodurch beispielsweise auch mechanische Stoßbelastungen, die über den Fassungskörper in das Lager eingeleitet werden, zumindest gedämpft werden.
  • Dabei ist es weiterhin bevorzugt, wenn die erste Blattfeder steifer ist als die zweite Blattfeder.
  • Die erste Blattfeder, die in Richtung der Bewegungsgeraden des zugehörigen Lagers auf der der optischen Achse zugewandten Seite des Lagers angeordnet ist, ist steifer ausgelegt als die zweite Blattfeder, damit vorteilhafterweise keine Drehmomente in die Lagerstelle, an der das optische Element mit dem Lager in Berührung steht, eingeleitet werden, wenn eine Stoßbelastung auftritt. Dadurch wird verhindert, dass eine Gleitbewegung des optischen Elements auf der Lagerstelle auftritt und das optische Element sich verlagern kann.
  • In bevorzugten Ausgestaltungen der zumindest einen Blattfeder wird diese durch zumindest zwei Materialeinschnitte oder durch zumindest einen Materialfreischnitt im Fassungskörper senkrecht zur Richtung der Bewegungsgerade des zugehörigen Lagers gebildet.
  • Durch diese Maßnahme ist es im Fall der Ausgestaltung der zumindest einen Blattfeder durch zumindest zwei Materialeinschnitte möglich, durch die Beabstandung der zwei Materialeinschnitte die Steifigkeit der Blattfeder so zu bemessen, dass das optische Element einerseits stabil gehalten ist und die Blattfeder bei einer Wärmeausdehnung des optischen Elements flexibel genug ist, so dass das optische Element sich ausdehnen kann, ohne auf der Lagerstelle zu gleiten. Das Gleiche gilt im Fall der Bildung der zumindest einen Blattfeder durch zumindest einen Materialfreischnitt im Fassungskörper, wobei die Breite des durch den Materialfreischnitt verbleibenden Materialstegs die Steifigkeit der Blattfeder bemisst.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung weist jedes Lager eine gegenüber der Gesamtfläche des optischen Elements kleine Kontaktfläche oder zumindest einen Kontaktpunkt auf, mit der bzw. dem das optische Element nahe seinem Rand oder an seinem Rand in Berührung steht.
  • Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass der Wärmeübertrag von dem Fassungskörper, der sich im Betrieb der optischen Anordnung ebenfalls erwärmt, auf das optische Element so gering wie möglich gehalten wird, so dass inhomogene Wärmeverteilungen im optischen Element durch Wärmeübertrag im Bereich der Lager auf das optische Element gering gehalten oder gar vermieden werden.
  • Umgekehrt wird eine solche inhomogene Wärmeverteilung auch dadurch vermieden, dass von dem optischen Element über die Kontaktflächen bzw. die Kontaktpunkte nur wenig Wärme auf den Fassungskörper abgeführt wird, wodurch sich im optischen Element eine homogene Wärmeverteilung einstellen kann.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung weist jedes Lager eine Klemmvorrichtung auf, die das optische Element am Lager festklemmt.
  • Die mechanische Klemmung hat gegenüber beispielsweise einer Klebung den Vorteil, dass die Festlegung des optischen Elements am Fassungskörper dauerbeständig ist, während ein Klebstoff insbesondere im Fall des Einsatzes der optischen Anordnung in Systemen mit hoher Lichtleistung altert und außerdem ausgast, wobei sich diese Ausgasungen auf dem optischen Element niederschlagen und somit die optischen Eigenschaften des optischen Elements verschlechtern können.
  • Jedoch kann das optische Element auch durch Kleben, Löten oder dgl. am jeweiligen Lager befestigt sein. Im Falle einer Klebverbindung wird die Klebschicht vorzugsweise gegen UV-Strahlung, die im Licht enthalten sein kann, durch einen Kleberschutz geschützt, beispielsweise ein Material, das UV-Strahlung blockt.
  • Gegenüber beispielsweise einer Verschraubung des optischen Elements mit dem jeweiligen Lager hat die vorstehend genannte Maßnahme den Vorteil, dass parasitäre Kräfte zumindest nicht in dem Maß in das optische Element eingeleitet werden, wie es durch einen Gewindeeingriff einer Schraube mit dem optischen Element und dem Fassungskörper der Fall sein kann, wenn beispielsweise Bohrungen in dem optischen Element und dem Fassungskörper nicht exakt fluchten.
  • Für die Klemmvorrichtung können verschiedene Ausgestaltungen in Betracht gezogen werden.
  • Es ist aus Gründen der Vermeidung oder zumindest Verringerung von Spannungen im optischen Element durch die Klemmung bevorzugt, wenn die Klemmvorrichtungen das optische Element jeweils mit einer Kraft im Wesentlichen parallel zur optischen Achse festklemmen.
  • Der Vorteil hierbei ist, dass die Richtung der Klemmkräfte senkrecht zu der Beweglichkeit der Lager gerichtet und somit die Beweglichkeit der Lager von der Klemmung des optischen Elements entkoppelt ist. Hierdurch werden durch die Klemmung weniger parasitäre Kräfte in das optische Element eingeleitet.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung der Klemmvorrichtungen der zuvor genannten Art weisen sie zumindest eine mittels Federkraft vorgespannte Druckplatte auf, die das optische Element gegen die Lagerstelle des zugehörigen Lagers drückt.
  • Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht in einer besonders spannungsfreien axialen Klemmung des optischen Elements. Die Federkraft ist dabei gerade so bemessen, dass bei einer Wärmeausdehnung des optischen Elements ein Gleiten des optischen Elements auf der zugehörigen Lagerstelle vermieden wird.
  • In diesem Zusammenhang ist bei einer ersten bevorzugten Ausgestaltungsvariante vorgesehen, dass die jeweilige Klemmvorrichtung einen sich in Richtung der optischen Achse durch das optische Element und die Lagerstelle erstreckenden Zugstab aufweist, der mit Federkraft beaufschlagt ist und das optische Element an die Lagerstelle andrückt.
  • Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, dass die Klemmvorrichtungen nur einen geringen Bauraum in Richtung quer zur optischen Achse erfordern.
  • In einer weiteren Ausgestaltungsvariante weist die jeweilige Klemmvorrichtung eine Druckplatte auf, die an einem Hebelarm eines zweiarmigen Hebels angeordnet ist, dessen anderer Hebelarm mit Federkraft beaufschlagt ist, wobei die Druckplatte das optische Element an die Lagerstelle andrückt.
  • Der Vorteil dieser Ausgestaltungsvariante besteht darin, dass in dem optischen Element keine Bohrung eingebracht werden muss, wie dies bei der zuvor beschriebenen Ausgestaltungsvariante der Fall ist.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist das optische Element eine Zylinderlinse.
  • Weitere Vorteile und Merkmale ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.
  • Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden mit Bezug auf diese hiernach näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer optischen Anordnung mit einem optischen Element in Draufsicht, wobei die optische Achse des optischen Elements senkrecht zur Zeichenebene verläuft;
  • 2 einen Ausschnitt aus 1 in einem Schnitt entlang der Linie II-II in 1 mit einer Klemmvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel; und
  • 3 eine ausschnittsweise Darstellung der optischen Anordnung in 1 in einer zu 2 ähnlichen Darstellung mit einer Klemmvorrichtung gemäß einer weiteren Ausgestaltungsvariante.
  • In 1 ist eine mit dem allgemeinen Bezugszeichen 10 versehene optische Anordnung dargestellt, wobei im Betrieb der optischen Anordnung 10 die Lichtausbreitungsrichtung senkrecht zur Zeichenebene verläuft.
  • In 2 und 3 sind Einzelheiten der optischen Anordnung 10 in zwei unterschiedlichen Ausgestaltungsvarianten dargestellt.
  • Gemäß 1 weist die optische Anordnung 10 ein optisches Element 12 auf, wobei das optische Element 12 einen optisch nutzbaren Bereich 14 und außerhalb des optisch nutzbaren Bereichs 14 einen Fassungsbereich 16 aufweist.
  • Das optische Element ist bezüglich einer optischen Achse 18, die in 1 senkrecht zur Zeichenebene verläuft, nicht rotationssymmetrisch und weist eine Symmetrieachse 20 senkrecht zur optischen Achse 18 auf.
  • Das optische Element 12 ist insbesondere eine Zylinderlinse, wobei die Symmetrieachse 20 parallel zur Scheitellinie der Zylinderlinse und senkrecht durch die optische Achse verläuft. Die Symmetrieachse 20 ist in diesem Fall die Zylinderachse der Zylinderlinse.
  • Das optische Element 12 weist insgesamt einen viereckigen Umfang 22 auf.
  • Der Fassungsbereich 16 und der optisch nutzbare Bereich 14 sind bei diesem optischen Element 12 einstückig miteinander und aus demselben Material, beispielsweise aus Quarzglas, gefertigt. Gemäß 2 weist der optisch nutzbare Bereich 14 gegenüber dem Fassungsbereich 16 in Richtung der optischen Achse 18 eine größere Dicke auf.
  • Die optische Anordnung weist weiterhin einen Fassungskörper 24 auf, der beispielsweise aus Metall gefertigt ist. Der Fassungskörper 24 überragt in Richtung quer zur optischen Achse das optische Element 12 nach außen, so dass der Fassungskörper 24 an einer nicht dargestellten Halterung eines optischen Systems befestigt werden kann. Im Bereich des optischen Elements 12, genauer gesagt im Bereich des optisch nutzbaren Bereichs 14 des optischen Elements 12, weist der Fassungskörper 24 eine Öffnung 25 auf, deren Abmessungen quer zur optischen Achse den Abmessungen des optisch nutzbaren Bereichs 14 des optischen Elements 12 entsprechen.
  • Der Fassungskörper 24 weist drei Lager 26, 28 und 30 auf, an denen das optische Element 12 jeweils festgelegt ist.
  • Jedes der Lager 26, 28 und 30 weist eine Kontaktfläche bzw. ein Kontaktelement auf, und zwar das Lager 26 ein Kontaktelement 32, das Lager 28 ein Kontaktelement 34 und das Lager 30 ein Kontaktelement 36.
  • Die Kontaktelemente 32, 34 und 36 weisen jeweils eine Kontaktfläche 38 auf, wie für das Kontaktelement 32 in 2 gezeigt ist, die klein gegenüber der Gesamtfläche des optischen Elements 12 ist. Über die Kontaktflächen liegt das optische Element 12 an den Kontaktelementen 32, 34 und 36 an. Anstelle von Kontaktflächen können die Kontaktelemente 32, 34 und 36 auch nur Kontaktpunkte aufweisen, über die die Kontaktelemente 32, 34 und 36 mit dem optischen Element 12 in Berührung stehen.
  • In dem gezeigten Ausführungsbeispiel steht das optische Element 12 nahe seinem Rand, und zwar nur im Bereich des Fassungsbereichs 16 des optischen Elements 12 mit dem Kontaktelement 32, 34, 36 in Berührung.
  • In den Ausführungsbeispielen gemäß 1 und 2 bzw. 1 und 3 sind die Lager 26, 28 und 30 als Axiallager ausgebildet, d. h. das optische Element 12 liegt in Richtung der optischen Achse 18 auf den Kontaktelementen 32, 34 bzw. 36 auf.
  • Die Kontaktelemente 32, 34 und 36 sind in den Ausführungsbeispielen gemäß 1 und 2 bzw. 1 und 3 einstückig mit dem Fassungskörper 24 ausgebildet, und zwar durch von dem übrigen Bereich des Fassungskörpers 24 überstehendes Material. Die Art der Festlegung des optischen Elements 12 an den Lagern 26, 28 und 30 bzw. genauer an den Kontaktelementen 32, 34 und 36 wird später noch beschrieben.
  • Die Lager 26, 28 und 30 sind so ausgebildet, dass sie relativ zum Fassungskörper 24 beweglich sind. Dabei sind die Lager 26, 28 und 30 nur entlang von Bewegungsgeraden beweglich, und zwar das Lager 26 entlang einer Bewegungsgeraden 40, das Lager 28 entlang einer Bewegungsgeraden 42 und das Lager 30 entlang einer Bewegungsgeraden 44, die sich in einem Schnittpunkt 46 schneiden, der auf der Symmetrieachse 20 liegt.
  • In dem gezeigten Ausführungsbeispiel liegt der Schnittpunkt 46 außerdem auch auf der optischen Achse 18.
  • Das optische Element 12 selbst ist an den Lagern 26, 28 und 30 so festgelegt, dass das optische Element 12 relativ zu den Lagern 26, 28 und 30 keine Relativbewegung ausführen kann.
  • Die Lager 26, 28 und 30 weisen jeweils zwei Blattfedern auf, und zwar das Lager 26 zwei Blattfedern 48 und 50, das Lager 28 zwei Blattfedern 52 und 54 und das Lager 30 zwei Blattfedern 56 und 58.
  • Die Blattfedern 48, 50; 52, 54; 56, 58 sind hier durch Materialeinschnitte in dem Fassungskörper 24 gebildet, wobei in 1 beispielsweise für die Blattfedern 48 und 50 die Materialeinschnitte durch zwei Schnittlinien 60 und 62 dargestellt sind, die jeweils die Form eines rechteckigen C aufweisen und ineinander mit ihren ”offenen” Seiten einander zugewandt verschachtelt sind. Auf diese Weise bilden die Blattfedern jeweils paarweise ein Parallelogramm, d. h. die Blattfeder 48 bildet mit der Blattfeder 50 ein Parallelogramm, die Blattfeder 52 bildet mit der Blattfeder 54 ein Parallelogramm und die Blattfeder 56 bildet mit der Blattfeder 58 ein Parallelogramm.
  • Die Materialeinschnitte in dem Fassungskörper 24, die die Blattfedern 48 und 50, 52 und 54 bzw. 56 und 58 bilden, verlaufen jeweils senkrecht zu der zugehörigen Bewegungsgeraden 40, 42 bzw. 44. Auf diese Weise können sich die Lager 26, 28 und 30 nur in Richtung ihrer zugehörigen Bewegungsgeraden 40, 42 bzw. 44 relativ zum Fassungskörper 24 bewegen.
  • Gemäß 1 ist das Lager 26 etwa mittig an einer Umfangseite 64 des viereckigen Umfangs 22 des optischen Elements 12 angeordnet, und die Lager 28 und 30 sitzen jeweils an einer Ecke der der Umfangsseite 64 gegenüberliegenden Umfangsseite 66 des optischen Elements.
  • Durch diese Anordnung der Lager 26, 28 und 30, deren Beweglichkeit ausschließlich entlang der Bewegungsgeraden 40, 42 und 44 verläuft, wird gewährleistet, dass sich das optische Element 12 nicht um die optische Achse 18 drehen kann und auch die Symmetrieachse 20 sich nicht in Richtung quer zu ihr verschieben kann, wenn sich das optische Element 12 aufgrund Erwärmung ausdehnt. Eine Ausdehnung des optischen Elements 12 führt lediglich zu einer Verformung der Blattfedern 48, 50, 52, 54, 56 und 58 in Richtung der Bewegungsgeraden 40, 42 und 44.
  • Wie aus 1 und 2 bzw. 1 und 3 hervorgeht, sind die Blattfederpaare 48, 50; 52, 54 und 56, 58 so angeordnet, dass sich jeweils eine Blattfeder jedes Blattfederpaares auf der der optischen Achse 18 zugewandten Seite des zugehörigen Lagers befindet. Dies sind hier die Blattfedern 50, 54 und 58.
  • Die jeweils andere Blattfeder der Blattfederpaare 48, 50; 52, 54 und 56, 58 befindet sich auf der der optischen Achse 18 abgewandten Seite des zugehörigen Lagers 26, 28 und 30, genauer gesagt des jeweils zugeordneten Kontaktelements 32, 34 und 36.
  • Wie aus 1 und 2 sowie 1 und 3 außerdem hervorgeht, weist die jeweils ”innere” Blattfeder 50, 54 und 58 eine höhere Steifigkeit auf als die jeweils ”äußere” Blattfeder 48, 50 und 56. Dies dient dazu, dass im Fall einer Stoßbelastung keine Drehmomente in die Kontaktstellen an den Kontaktelementen 32, 34 und 36 eingeleitet werden, wodurch vermieden wird, dass das optische Element 12 auf dem Kontaktelement 32, 34 und 36 gleitet und das optische Element 12 seine Lage unerwünscht ändert.
  • Insgesamt sind die Blattfedern jedes Blattfederpaares 48, 50; 52, 54 und 56, 58 in ihrer Steifigkeit so bemessen, dass sie das optische Element 12 stabil halten und bei einer Wärmeausdehnung flexibel genug sind, dass das optische Element 12 sich ausdehnen kann, ohne auf den Kontaktelementen 32, 34 und 36 zu gleiten.
  • Nachfolgend wird beschrieben, wie das optische Element 12 an dem jeweiligen Lager 26, 28 und 30 festgelegt ist.
  • Zum Festlegen des optischen Elements 12 ist für jedes Lager 26, 28 und 30 eine Klemmvorrichtung vorgesehen, die in 1 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt ist, sondern nur in den Schnittdarstellungen der 2 und 3.
  • 2 zeigt eine erste Ausgestaltung einer Klemmvorrichtung 70, die zum Festlegen des optischen Elements 12 an dem Lager 26 dient. An den beiden übrigen Lagern 28 und 30 ist eine entsprechende Klemmvorrichtung vorgesehen.
  • Die Klemmvorrichtung 70 legt das optische Element 12 an dem Lager 26, genauer gesagt an dem Kontaktelement 32, mit einer Klemmkraft fest, die in Richtung der optischen Achse 18 wirkt.
  • Die Klemmvorrichtung 70 weist einen Zugstab 72 auf, der einen Schaft 74 aufweist, der durch eine Bohrung 76 im Fassungsbereich 16 des optischen Elements 12 und durch eine Bohrung 78 im Fassungskörper 24, die durch das Kontaktelement 32 hindurchgeht, durchgreift. Die Bohrungen 76 und 78 sind größer bemessen als der Querschnitt des Schafts 74, um zu vermeiden, dass parasitäre Kräfte quer zur optischen Achse 18 und damit Spannungen im optischen Element 12, insbesondere im optisch nutzbaren Bereiche 14 des optischen Elements 12, erzeugt werden. Die Klemmwirkung besitzt hier somit nur eine axiale Richtung. An seinem einen Ende weist der Zugstab 72 eine Druckplatte 80 und an seinem anderen Ende eine Abstützplatte 82 auf, wobei die Abstützplatte 82 mit dem Schaft 74 verschraubt sein kann. Die Druckplatte 80 liegt auf dem Fassungsbereich 16 des optischen Elements 12 auf, während sich zur Federkraftbeaufschlagung des Zugstabes 72 zwischen der Abstützplatte 82 und dem Fassungskörper 24 eine Druckfeder 84 abstützt. Die Druckfeder 84 bewirkt einen Zug auf die Druckplatte 80, wodurch die Druckplatte 80 den Fassungsbereich 16 gegen das Kontaktelement 32 andrückt. Die Andruckkraft ist dabei so bemessen, dass das optische Element 12 auf dem Kontaktelement 32 nicht gleitet.
  • Zur Vermeidung der Bohrung 76 bei der Ausgestaltung der Klemmvorrichtung in 2 kann der Zugstab 72 auch durch ein U-förmiges Element ersetzt werden, das zusätzlich zu der Druckplatte 80 auf der der Druckplatte 80 gegenüberliegenden Seite eine weitere Druckplatte aufweist, wobei sich dann die Druckfeder 84 zwischen der axial beweglich ausgestalteten weiteren Druckplatte und der Abstützplatte 82 befindet.
  • 3 zeigt eine alternative Ausgestaltung einer Klemmvorrichtung 90, mit der das optische Element 12 ebenfalls mit axialer, d. h. in Richtung der optischen Achse 18 wirkender Klemmkraft an dem Lager 26 des Fassungskörpers 24 festgelegt ist.
  • Die Klemmvorrichtung 90 weist dazu eine Druckplatte 92 auf, die auf dem Fassungsbereich 16 des optischen Elements 12 axial aufliegt. Die Druckplatte 92 ist mit einem ersten Hebelarm 94 eines zweiarmigen Hebels 96 verbunden, während ein zweiter Hebelarm 98 mit Federkraft beaufschlagt ist, und zwar mittels einer Druckfeder 100, die sich auf dem Lager 26 des Fassungskörpers 24 noch innerhalb der Blattfeder 48 abstützt.
  • Der zweiarmige Hebel 96 ist über eine Blattfeder 102 mit einem Fuß 104 verbunden, der ebenfalls mit dem Lager 26 des Fassungskörpers 24 verbunden ist und den zweiarmigen Hebel 96 auf dem Lager 26 abstützt. Der zweiarmige Hebel 96 bildet mit der Blattfeder 102 eine wippenartige Anordnung, wobei die Druckfeder 100 entsprechend die Druckplatte 92 gegen den Fassungsbereich 16 des optischen Elements 12 und diesen damit an das Kontaktelement 32 andrückt. Bei dieser Ausgestaltung der Klemmvorrichtung 90 kann auf eine Bohrung, wie die Bohrung 76 in 2, in dem Fassungsbereich 16 des optischen Elements 12 verzichtet werden.
  • Anstelle der Befestigung des optischen Elements 12 mittels Klemmung kann dieses auch an den Lagern 26, 28, 30 durch Kleben, Löten und dgl. festgelegt werden. Bei einer Klebung wird der Kleber gegen UV-Strahlung, die den Kleber mit der Zeit zersetzen könnte, durch einen Kleberschutz geschützt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 102006060088 A1 [0007]

Claims (15)

  1. Optische Anordnung, mit einem optischen Element (12), das bezüglich einer optischen Achse (18) nicht rotationssymmetrisch ist und zumindest eine Symmetrieachse (20) senkrecht zur optischen Achse (18) aufweist, mit einem Fassungskörper (24), der zumindest drei Lager (26, 28, 30) für das optische Element (12) aufweist, an denen das optische Element (12) festgelegt ist, wobei die Lager (26, 28, 30) relativ zum Fassungskörper (24) beweglich sind, wobei jedes der Lager (26, 28, 30) jeweils nur entlang einer Bewegungsgerade (40, 42, 44) beweglich ist, und wobei sich die Bewegungsgeraden (40, 42, 44) der Lager (26, 28, 30) in einem Schnittpunkt (46) schneiden, der auf der Symmetrieachse (20) liegt.
  2. Optische Anordnung nach Anspruch 1, wobei der Schnittpunkt (46) auf der optischen Achse (18) liegt.
  3. Optische Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das optische Element (12) einen viereckigen Umfang (22) aufweist, und wobei eines der Lager (26) etwa mittig an einer ersten Umfangsseite (64) des optischen Elements (12) angeordnet ist, und die beiden anderen Lager (28, 30) an Ecken der der ersten Umfangsseite (64) gegenüberliegenden Umfangsseite (66) angeordnet sind.
  4. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei jedes Lager (26, 28, 30) über jeweils zumindest eine Blattfeder (48, 50, 52, 54, 56, 58) relativ zum Fassungskörper (24) beweglich ist.
  5. Optische Anordnung nach Anspruch 4, wobei jedes Lager (26, 28, 30) über jeweils zumindest zwei Blattfedern (48, 50, 52, 54, 56, 58) relativ zum Fassungskörper (24) beweglich ist, von denen zumindest eine erste Blattfeder (50, 54, 58) in Richtung der Bewegungsgerade (40, 42, 44) des zugehörigen Lagers (26, 28, 30) auf der der optischen Achse (18) zugewandten Seite des Lagers (26, 28, 30) und zumindest eine zweite Blattfeder (48, 52, 56) auf der der optischen Achse (18) abgewandten Seite des Lagers (26, 28, 30) angeordnet ist.
  6. Optische Anordnung nach Anspruch 5, wobei die erste Blattfeder (50, 54, 58) steifer ist als die zweite Blattfeder (48, 52, 56).
  7. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei die zumindest eine Blattfeder (48, 50, 52, 54, 56, 58) durch zumindest zwei Materialeinschnitte (60, 62) oder durch zumindest einen Materialfreischnitt im Fassungskörper senkrecht zur Richtung der Bewegungsgerade (40, 42, 44) des zugehörigen Lagers (26, 28, 30) gebildet ist.
  8. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei jedes Lager (26, 28, 30) eine gegenüber der Gesamtfläche des optischen Elements (12) kleine Kontaktfläche (38) oder zumindest einen Kontaktpunkt aufweist, mit der bzw. dem das optische Element (12) nahe seinem Rand oder an seinem Rand in Berührung steht.
  9. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei jedes Lager (26, 28, 30) eine Klemmvorrichtung (70) aufweist, die das optische Element (12) am Lager (26, 28, 30) festklemmt.
  10. Optische Anordnung nach Anspruch 9, wobei die Klemmvorrichtungen (70) das optische Element (12) jeweils mit einer Kraft im Wesentlichen parallel zur optischen Achse (18) festklemmen.
  11. Optische Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Klemmvorrichtungen (70) zumindest eine mittels Federkraft vorgespannte Druckplatte (80; 92) aufweisen, die das optische Element (12) gegen die Lagerstelle des zugehörigen Lagers (26, 28, 30) drückt.
  12. Optische Anordnung nach Anspruch 11, wobei die Druckplatte (80) an einem sich in Richtung der optischen Achse (18) durch das optische Element (12) und die Lagerstelle erstreckenden und mit der Federkraft beaufschlagten Zugstab (72) angeordnet ist.
  13. Optische Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckplatte (92) an einem Hebelarm (94) eines zweiarmigen Hebels (96) angeordnet ist, dessen anderer Hebelarm (98) mit der Federkraft beaufschlagt ist.
  14. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (12) an zumindest einem der Lager (26, 28, 30) durch Kleben, Löten oder dgl. befestigt ist.
  15. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (12) eine Zylinderlinse ist.
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