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DE102009006368B3 - Neigungssensor - Google Patents

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DE102009006368B3
DE102009006368B3 DE102009006368A DE102009006368A DE102009006368B3 DE 102009006368 B3 DE102009006368 B3 DE 102009006368B3 DE 102009006368 A DE102009006368 A DE 102009006368A DE 102009006368 A DE102009006368 A DE 102009006368A DE 102009006368 B3 DE102009006368 B3 DE 102009006368B3
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DE
Germany
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float
sensor
magnet
tilt sensor
spherical
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DE102009006368A
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English (en)
Inventor
Klaus Manfred Steinich
Peter Wirth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ASM Automation Sensorik Messtechnik GmbH
Original Assignee
ASM Automation Sensorik Messtechnik GmbH
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Publication date
Application filed by ASM Automation Sensorik Messtechnik GmbH filed Critical ASM Automation Sensorik Messtechnik GmbH
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Priority to CN201010005228.1A priority patent/CN101788287B/zh
Priority to US12/657,662 priority patent/US8336218B2/en
Application granted granted Critical
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/12Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using a single pendulum
    • G01C9/14Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using a single pendulum movable in more than one direction

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Abstract

Um mit einem Neigungssensor die Winkelabweichung gleichzeitig in zwei Raumrichtungen zu messen, werden eine magneto-sensitive Sensoreinheit einerseits (die in mindestens zwei zueinander orthogonalen Raumrichtungen die magnetische Flussdichte messen kann) und ein Magnet andererseits relativ zueinander bewegt, wobei eines dieser beiden Elemente so angeordnet ist, dass es sich direkt oder indirekt entsprechend der Schwerkraft ausrichtet. Ein optimales Messergebnis wird dadurch erzielt, dass eines dieser beiden Elemente auf einer definierten reproduzierbaren Fläche beweglich so geführt wird, dass die Mittelachse dieses Elements immer auf die Mittelachse des anderen Elements zeigt.

Description

  • I. Anwendungsgebiet
  • Die Erfindung betrifft einen Neigungssensor.
  • II. Technischer Hintergrund
  • Neigungssensoren werden benötigt, um die Winkelstellung von beweglichen Aggregateteilen ständig zu überwachen, beispielsweise bei sicherheitsrelevanten Bauteilen wie Kranarmen, Arbeitsplattformen und ähnlichem.
  • Neigungssensoren gibt es in unterschiedlichen Bauformen:
    Früher wurde häufig Quecksilber dazu verwendet, um innerhalb eines Neigungssensors die sich ändernde Lage des Quecksilbers zu detektieren. Aus Umweltschutzgründen ist in den meisten Fällen die Anwendung solcher Quecksilber-Sensoren jedoch nicht mehr zulässig.
  • Seitdem werden meistens Pendelsensoren benutzt. Dabei stellt sich ein Pendel entsprechend der momentan wirkenden Schwerkraft immer genau lotrecht ein, gegebenenfalls gedämpft, indem sich das Pendel in einer mit Dämpfungsfluid gefüllten Dämpfungskammer befindet.
  • Auf der Lagerungsachse des Pendels, die die Pendelkammer in Richtung Sensorkammer durchdringt, befindet sich in der Sensorkammer ein winkelsensitives Element, dessen Drehlage detektiert wurde, beispielsweise eine Inkrementaldrehscheibe, die von einem Lesekopf abgetastet wird.
  • Nachteilig dabei war die dauerhaft dichte Durchführung der Pendelwelle durch die Trennwand und die dauerhafte Leichtgängigkeit der Lagerung der Pendelachse, die erst eine schnelle Anpassung der Pendellage an die Schwerkraft, auch bei nur geringen Winkelveränderungen, ermöglicht.
  • Daneben ist es aus der DE 203 14 275 bekannt, die Pendelachse nicht mehr durch die Trennwand in die Sensorkammer hineinzuführen, sondern innerhalb der Pendelkammer einen Magneten auf der Pendelachse anzuordnen, und die Drehlage dieses Magneten kontaktlos durch die nicht magnetisierbare Trennwand hindurch mittels eines magnetosensitiven Sensors abzutasten, der sich in der Sensorkammer gegenüberliegend befindet.
  • Auch hier besteht nach wie vor das Problem, dass relativ hohe Lagerungskräfte in einer kleinen zentralen Lagerungsachse dauerhaft und bei äußerst geringer Haftreibung aufgenommen werden sollen, um das Pendel auch bei geringsten Winkelabweichungen ausschlagen zu lassen.
  • Des Weiteren ist es bekannt, als magnetosensitives Element einzelne Hall-Elemente, also Hall-Effekt-Sensoren zu benutzen, wie es beispielsweise in der US-Patentschrift 5 365 671 beschrieben ist.
  • Ein einzelner Hall-Sensor kann jedoch nur die Intensität des Magnetfeldes, in der er sich befindet, messen und das Messergebnis ist damit sehr stark von der Entfernung des Hall-Sensors von dem auslösenden Magneten abhängig.
  • Aus diesem Grund ist im vorliegenden Fall der Bewegungskörper, der sich entsprechend der Schwerkraft ausrichtet und an dem der Magnet angeordnet ist, in einem sehr eng umgebenden Führungsgehäuse aufgenommen. Um dabei die Reibung in den angrenzenden Führungsflächen zu vermindern, ist der Hohlraum, in dem sich der Bewegungskörper befindet, vollständig mit einem Fluid gefüllt, dessen spezifisches Gewicht dem des Schwenkkörpers entspricht, so dass dieser in dem Fluid quasi gewichtslos schwebt (Spalte 2, Zeile 45 der US-Patentschrift 5 365 671 ). Es handelt sich somit also um ein Pendel mit einem Schwerpunkt außerhalb des Drehpunktes des Schwenkkörpers, dessen Lagerung durch die außen umgebenden Führungsflächen gebildet wird.
  • Des Weiteren ist es davon abweichend bekannt, den Gebermagneten in einem Schwimmer anzuordnen. All diese Sensoren messen jedoch eine Winkelabweichung in nur einer Messrichtung.
  • III. Darstellung der Erfindung
  • a) Technische Aufgabe
  • Es ist daher die Aufgabe gemäß der Erfindung, einen Neigungssensor zu schaffen, der in zwei Raumrichtungen gleichzeitig die Winkelabweichung misst sowie einfach und kostengünstig in der Herstellung ist.
  • b) Lösung der Aufgabe
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Für die Zwecke der vorliegenden Erfindung werden folgende Begriffe definiert:
  • Mittelachse des Wirkelementes:
    • – Bei der Sensoreinheit bzw. dem darin wirksamen Sensorelement, ist dies die Lotrechte auf den beiden zueinander orthogonalen, messbaren Raumrichtungen in denen das Sensorelement in der Lage ist, die magnetische Fließdichte zu messen und die somit die Messebene aufspannen, also die Orthogonale zur Messebene,
    • – bei einer Ausführung des Sensorelementes als Sensorchip also die Lotrechte, die in der Aufsicht betrachtet durch die Mitte des Sensorelementes verläuft;
    • – beim Magneten ist die Mittelachse die Achse der Polrichtung, also die Verbindungslinie zwischen der Mitte des Nordpoles und der Mitte des Südpoles;
  • Mittelpunkt des Wirkelementes:
    • – Beim Sensorelement ist es der geometrische Mittelpunkt des in der Aufsicht betrachteten Sensorelementes,
    • – Beim Magneten ist es der auf der Mittelachse in der geometrischen Mitte zwischen Nordpol und Südpol liegende Punkt.
  • Schwenkpunkt des Wirkelementes:
    • – Bei zwei relativ zueinander verschwenkbaren Elementen, hier den Wirkelementen, ist es lediglich eine Frage der Definition, welches der beiden Elemente als feststehend und welches aus dem gegenüber verschwenkbar betrachtet wird. In aller Regel erfolgt das Verschwenken des schwenkbaren Elementes um einen immer gleich bleibenden Schwenkpunkt und damit bewegt sich das verschwenkbare Element auf einer sphärischen Fläche, sofern der Abstand von diesem Schwenkpunkt immer gleich bleibt, was ebenfalls in aller Regel der Fall ist.
    • Der Schwenkpunkt ist somit derjenige Punkt, auf den die Mittelachse des Wirkelementes in jedem Bewegungszustand hinweist.
  • Schwenkachsen des Wirkelementes:
    • – Die Verschwenkbarkeit um einen Schwenkpunkt kann in der Praxis dadurch realisiert werden, dass das Wirkelement um zwei separate Schwenkachsen, die sich im Schwenkpunkt kreuzen, nach Art einer Kardangelenkes, verschwenkbar gelagert ist, sodass das Wirkelement jede beliebige Stellung auf der sphärischen Fläche um den Schwenkpunkt einnehmen kann, auf der es liegt.
  • Durch Verzicht auf die mechanische Lagerung wie bei einem Pendel mit einem umschließenden, meist auf einem kleinen Durchmesser befindlichen, Lager können die Haftkräfte bei einem Schwimmer oder Schwebekörper sehr viel niedriger gehalten werden, abhängig von der relativen Formgestaltung des Schwimmers zur Schwimmerkammer, aber auch des verwendeten Fluids und weiterer Hilfsmittel.
  • Der Kontakt zwischen Schwimmer und Schwimmerkammer findet, wenn überhaupt, dann nur am Außenumfang des Schwimmers statt und damit auf einem bereits wesentlich größeren wirksamen Durchmesser als bei der eher punktförmigen, zentralen Lagerung eines Pendels, und zusätzlich kann die Größe der Kontaktfläche dabei geringer ausfallen. Der mechanisch sehr viel einfachere Aufbau eines in einem Fluid untergebrachten Schwimmers gegenüber einer mechanisch exakt ausgeführten Lagerung wird erkauft mit dem Nachteil, dass damit die Schwenkachse des Schwimmers weniger exakt fixiert werden kann als mittels einer mechanischen Lagerung, auf der anderen Seite jedoch dies vernachlässigbar ist angesichts der Erfassungsgenauigkeit, mit der der magnetostriktive Sensor die Drehlage des Gebermagneten durch die Trennwand hindurch detektiert.
  • Des Weiteren wird der Nachteil eines Pendels vermieden, dass bei einem Pendel die Größe des Rückstellmoments von der Masse des Pendels und deren Abstand von der Schwenkachse nach unten abhängt. Dadurch muss ein Pendel immer zwangsweise eine Mindesterstreckung in vertikaler, also radialer Richtung aufweisen.
  • Wie bei einem Pendel kann der Schwimmer so in Relation zum Fluid ausgebildet sein, dass sich sein Schwerpunkt unterhalb des Fluidspiegels befindet. Dann stellt sich der Schwimmer analog zum Flüssigkeitsspiegel ein, der Flüssigkeitsspiegel wiederum stellt sich abhängig von der Schwerkraft ein.
  • Die andere Möglichkeit besteht darin, dass sich bei dem Schwimmer der Schwerpunkt genau auf Höhe des Flüssigkeitsspiegels befindet, dementsprechend der Schwimmer nicht nur eine, sondern mehrere unterschiedliche Drehlagen innerhalb des Fluids einnehmen kann, drehbar um seine Längsachse, die auf Höhe des Fluidspiegels liegt. Insbesondere kann er rotationssymmetrisch und damit instabil ausgebildet sein, was jedoch für die Funktion des Sensors nicht negativ ist.
  • Durch Verwendung eines Multi-Hall-Sensors, insbesondere eines Multi-Hall-IC – sei es in der Bauform als vertikaler oder horizontaler Multi-Hall-IC – kann ein statischer Gradient gemessen werden, also wie stark die Intensität des vorliegenden Magnetfeldes sich über die Erstreckungslänge des Sensors, insbesondere eines IC, zu- oder abnimmt, woraus die Neigung der erzeugenden Magnetfeld-Achse relativ zur Ausrichtung des Sensors berechenbar ist.
  • Dies hat den Vorteil, dass lediglich die Winkelstellung der Magnetfeldachse relativ zur Lotrechten auf die Sensorachse, also zur Schwenkachse, detektiert wird, jedoch können alle anderen Winkelabweichungen der Magnetfeldachse dagegen das Messergebnis kaum verschlechtern.
  • Dementsprechend wird in dem Neigungssensor vorzugsweise der Magnet am Schwimmer so positioniert und darüber hinaus die Höhe des Flüssigkeitsspiegels in Relation zur Eintauchtiefe des Schwimmers so eingestellt, dass der Magnet auf der Höhe des Sensors liegt.
  • Zusätzlich wird der Magnet dabei so am Schwimmer angeordnet, dass die Magnetachse lotrecht zum Fluidspiegel liegt.
  • Um sicherzustellen, dass die Mitte des Magneten immer genau auf Höhe des Sensors verläuft, ist generell die Kontur des Schwimmers der Kontur der Schwimmerkammer möglichst genau angepasst, um eine Abdriftung des Schwimmers zu vermeiden.
  • Dementsprechend wird der Schwimmer in der Schwimmerkammer auch in Querrichtung gehalten, beispielsweise indem in der Aufsicht betrachtet die Breite des Schwimmers nur geringfügig kleiner ist als die innere Breite der Schwimmerkammer.
  • Dadurch werden auch der verbleibende Freiraum und die Menge an benötigtem Fluid reduziert, was wiederum die Neigung des Fluids zu einem unkontrollierten Schwappen bei starken Neigungsausschlägen verringert.
  • Um die Reibung zwischen Schwimmer und den Wänden der Schwimmerkammer zu reduzieren, kann die Anlage zwischen beiden nur mittels kleinflächiger Vorsprünge wie etwa punktförmiger Noppen erfolgen, die entweder an den Innenflächen der Schwimmerkammer oder den Außenflächen des Schwimmers angeordnet sind. Durch ein gut schmierendes Fluid wie etwa ein dünnes Öl wird die Gleitreibung dazwischen zusätzlich verringert.
  • Es sind dennoch unterschiedliche geometrische Ausgestaltungen des Schwimmers selbst möglich.
  • Nach diesen Grundprinzipien ist es auf einfache Art und Weise möglich, einen zweiachsigen Neigungssensor zu schaffen, indem man ein flächiges Sensorelement, das in der Lage ist, die magnetische Flussdichte in mindestens zwei zueinander orthogonalen Raumrichtungen, den so genannten Messrichtungen, die somit eine Messebene aufspannen, zu messen, verschwenkbar zu einem Magneten anordnet und die Wirkelemente relativ zueinander so zu lagern, dass die Mittelachse des einen Wirkelementes immer auf die Mittelachse, vorzugsweise direkt den Mittelpunkt, des anderen Wirkelementes zeigt.
  • In der Praxis wird dabei das eine Wirkelement, meist das Sensorelement, an denjenigen Bauteil, dessen Neigung detektiert werden soll, fest angeordnet, während der Magnet, der ja keine elektrischen Zuleitungen benötigt, dem gegenüber schwenkbar angeordnet wird, vorzugsweise in Form eines Schwimmers in einer Flüssigkeit.
  • In der Ausgangslage der beiden Wirkelemente zueinander liegt der Schwenkpunkt des einen Wirkelementes auf der Mittelachse des anderen Wirkelementes. Wie bereits oben dargelegt, ist die Mittelachse des Magneten seine Polachse, während die Mittelachse des Sensorelementes die Orthogonale zur Messebene des Sensorelementes ist.
  • Die Bewegbarkeit des einen Wirkelementes relativ zum anderen Wirkelement muss dabei auf einer definierten und damit reproduzierbaren Fläche erfolgen, die nicht einmal unbedingt eine gekrümmte Fläche sein muss.
  • Bevorzugt ist jedoch eine sphärische, also kugelförmige Fläche, die an jedem Punkt den gleichen Abstand zum Schwenkpunkt – also dem Mittelpunkt der sphärischen Fläche – besitzt, da dies die Auswertung des Signals wesentlich vereinfacht gegenüber anders z. B. unregelmäßig geformten Flächen.
  • Die Verschwenkbarkeit eines der Wirkelemente entlang einer sphärischen Fläche um einen Schwenkpunkt kann in der Praxis bei einer mechanischen Lagerung dadurch erreicht werden, dass das Wirkelement um zwei sich im Schwenkpunkt kreuzende, insbesondere senkrecht zueinander stehende, Schwenkachsen schwenkbar gelagert ist, jedoch wird anstelle einer Lagerung um separate Schwenkachsen die Schwerkraftausrichtung des einen Wirkelementes dadurch erreicht, dass dieses Wirkelement als Schwimmer auf einer Flüssigkeit schwimmt.
  • Besonders gute Resultate lassen sich erzielen, wenn die Sensoreinheit in der Lage ist, die magnetische Flussdichte nicht nur in zwei, sondern in allen drei Raumrichtungen zu messen und hieraus die Veränderung des Magnetfeldes in den beiden Messrichtungen X und Y zu errechnen. In der Praxis ist das Sensorelement ein integrierter Schaltkreis, also ein Chip, der flächig gestaltet ist und somit eine Hauptebene parallel zu seiner größten Flächenerstreckung besitzt, die in aller Regel auch die Messebene ist.
  • Vorzugsweise sollte die Auswerteelektronik der Sensoreinheit in der Lage sein, bei einer sphärischen Bewegung des einen Wirkelementes um das andere Wirkelement herum, insbesondere des Magneten um das Sensorelement herum, den Einfluss dieser Bewegung entlang der sphärischen Fläche bei der Auswertung zu berücksichtigen.
  • Der Radius der sphärischen Fläche, auf der sich das verschwenkbare Wirkelement bewegt, wird vorzugsweise als Eingangsgröße der Auswerteelektronik der Sensoreinheit eingegeben.
  • In der Regel ist das Messergebnis umso besser, je geringer der Radius der sphärischen Fläche ist, sodass der Optimalfall darin besteht, den Radius der sphärischen Fläche an Null anzunähern, also den Schwenkpunkt des schwenkbaren Wirkelementes möglichst nahe, insbesondere in Übereinstimmung, mit dem Mittelpunkt des anderen Wirkelementes zu bringen.
  • Dabei sind Drehungen des Magneten um eine Achse senkrecht zur Messebene, insbesondere um seine Polachse, irrelevant und müssen bei der Auswertung nicht berücksichtigt werden.
  • Im Folgenden wird davon ausgegangen, dass der Magnet das bewegliche, verschwenkbare Wirkelement ist und das Sensorelement das feststehende Wirkelement, ohne jedoch die Erfindung hierauf zu beschränken.
  • Um die gewünschte Verschwenkbarkeit des einen Wirkelementes, insbesondere des Magneten, zu realisieren, ist auch die Aufhängung als Pendel, insbesondere als kardanisch aufgehängtes Pendel, also schwenkbar um zwei zueinander senkrecht stehende Schwenkachsen, möglich. Dennoch ist die bevorzugte Ausführungsform die Anordnung des Magneten an oder in einem Schwimmer, der in einer Schwimmerkammer in oder auf einer Flüssigkeit schwimmend sich nach der Schwerkraft ausrichtet.
  • Das Sensorelement ist dabei vorzugsweise außerhalb der Schwimmerkammer, abgetrennt durch eine Trennwand, angeordnet, wofür die Trennwand lediglich nicht magnetisierbar sein darf, um das Magnetfeld des Magneten hindurch treten zu lassen.
  • Um den Schwimmer und damit den Magneten möglichst gut zu führen, ist die Außenkontur des Schwimmers an die Innenkontur der Schwimmerkammer angepasst:
    Betrachtet lotrecht zum Flüssigkeitsspiegel füllt der Schwimmer die Schwimmerkammer vorzugsweise weitestgehend aus, wobei auf der Außenseite des Schwimmers zur Wand der Schwimmerkammer hin kleinflächige Vorsprünge vorhanden sein können zum Kontaktieren der Wand der Schwimmerkammer mit möglichst geringer Reibung.
  • Die Schwimmerkammer selbst ist betrachtet in Richtung des Flüssigkeitsspiegels kreisförmig oder zumindest kreissegmentförmig ausgebildet, je nach Größe des zulässigen Schwenkwinkels des Schwimmers, und somit dreidimensional betrachtet eine Kugel oder eine an zwei einander gegenüberliegenden Punkten abgeflachte Kugel.
  • Um eine volle Drehung des Schwimmers in der Schwimmerkammer zu verhindern, kann in der Schwimmerkammer eine im Normalzustand lotrecht zum Flüssigkeitsspiegel stehende Schwallwand angeordnet sein, in der auch Durchgangsöffnungen als Drosselstellen vorhanden sein können.
  • Eine weitere Möglichkeit besteht darin, die Schwimmerkammer mit zwei schwer mischbaren Fluiden unterschiedlichen spezifischen Gewichts zu füllen und das spezifische Gewicht des Schwimmers so zu dimensionieren, dass er auf dem schweren Fluid schwimmt, also sich im Kontaktbereich der beiden Fluide befindet. Eine der bevorzugten Ausführungsformen besteht darin, dass der Schwimmer ein scheibenförmiger, insbesondere kreisscheibenförmiger Schwimmer, ist und der Magnet im Zentrum des Schwimmers mit einer Polachse lotrecht zur Scheiben ebene und damit den Flüssigkeitsspiegel angeordnet ist. Der Schwimmer befindet sich dabei in der zuvor beschriebenen kugelförmigen oder abgeflacht kugelförmigen Schwimmerkammer, während sich das Sensorelement außerhalb der Schwimmerkammer mit der Messebene tangential zur kugelförmigen Schwimmerkammer oder parallel zu einer der abgeflachten Seiten der abgeflacht kugelförmigen Schwimmerkammer befindet.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform besitzt die Schwimmerkammer eine sphärische Form mit einer sphärischen äußeren und einer sphärischen konzentrisch dazu liegenden inneren Begrenzungsfläche, sodass die sphärische Schwimmerkammer einen Freiraum in ihrem Zentrum umschließt, in dem das Sensorelement angeordnet ist.
  • Für die Zugänglichkeit des Sensorelementes in den zentralen Innenraum ist die sphärische Schwimmerkammer auf einer Seite offen, also im Schnitt betrachtet U-förmig ausgebildet.
  • Der Schwimmer ist dabei flächig ausgebildet und so dimensioniert, dass er mit der Mitte seiner einen Haupt-Außenfläche an der sphärischen inneren Begrenzungswand der Schwimmerkammer anliegt und mit den Außenkanten der anderen Haupt-Außenfläche auf der Innenseite der äußeren sphärischen Begrenzungswand der Schwimmerkammer.
  • Da der Magnet in diesem Schwimmer mit einer Polachse senkrecht zur Hauptebene des flächigen Schwimmers in dessen Zentrum angeordnet ist, weist der entlang der sphärischen Schwimmerkammer bewegliche Schwimmer mit seiner Polachse immer zum Zentrum der sphärischen Schwimmerkammer hin, in dem sich das Sensorelement befindet.
  • Die dritte bevorzugte Ausführungsform unterscheidet sich von der zweiten dadurch, dass in der beschriebenen sphärischen Schwimmerkammer kein scheibenförmiger, sondern ein ringförmiger Schwimmer angeordnet ist, der so dimensioniert ist, dass das Zentrum des Ringes mit dem Zentrum der sphärischen Schwimmerkammer übereinstimmt. Der Schwenkpunkt des ringförmigen Schwimmers liegt damit im Zentrum der sphärischen Schwimmerkammer, in der sich in aller Regel wiederum das Sensorelement befindet. Als Magnet wird in diesem Fall ein Ringmagnet verwendet, der in den ringförmigen Schwimmer eingearbeitet ist und dessen Polrichtung lotrecht zur Hauptebene des ringförmigen Schwimmers verläuft und somit auch immer durch das Zentrum der sphärischen Schwimmerkammer und damit durch das Sensorelement hindurch verläuft.
  • Es handelt sich hier also um einen Magneten, der auf einer sphärischen Fläche mit Radius Null um das Sensorelement herum verschwenkbar ist.
  • c) Ausführungsbeispiele
  • Eine Ausführungsform gemäß der Erfindung ist im Folgenden beispielhaft anhand der Figuren näher beschrieben: Es zeigen
  • 1: die geometrischen Bewegungsmöglichkeiten der beiden Wirkelemente relativ zueinander,
  • 2: eine erste Bauform des Neigungssensors,
  • 3: eine redundante Version gegenüber 2,
  • 4: eine zweite Bauform des Neigungssensors und
  • 5: eine dritte Bauform des Neigungssensors.
  • Die 1a bis d zeigen die möglichen Relativbewegungen der Wirkelemente 8, 9 zueinander:
    In 1a ist das Sensorelement 9 als stillstehend angenommen. Das flächige Sensorelement 8 ist in der Lage, in den beiden Richtungen der Hauptebene seiner flächigen Erstreckung, den Messrichtungen X und Y, die Veränderungen der magnetischen Flussdichte zu messen, und gegebenenfalls auch in der zu dieser X-Y-Messebene lotrechten Z-Richtung.
  • Falls das Sensorelement 9 an einem Bauteil befestigt ist, dessen Drehlage im Raum detektiert werden soll, stellt sich der gegenüber dem Sensorelement 9 beweglich, nämlich schwenkbar, gelagerte Magnet 8 entsprechend der Schwerkraft ein, sodass er sich in der in 1a in der Mitte dargestellten Ausgangslage genau auf der durch die Mitte des Sensorelementes 9 verlaufenden orthogonalen Mittelachse 20 befindet, wenn das Sensorelement 9 horizontal ausgerichtet ist. Die Mittelachse 20' des Magneten 8 fällt dann mit der Mittelachse 20 des Sensorelementes 9 zusammen.
  • Verschwenkt der Magnet 8 dagegen um die Mitte des Sensorelementes 9 herum, was bei gleich bleibendem Radius eine sphärische Fläche 21 ist, so ergibt sich die in 1a rechter Teil dargestellte Situation, jedoch weist die Polachse 15 des Magneten 8 immer auf die Mitte des Sensorelementes 9.
  • Erst wenn der Schwenkpunkt 10' des Magneten 8 nicht im Mittelpunkt des Sensorelementes 9 liegen würde, sondern beispielsweise dazu versetzt auf einem anderen Punkt der Mittelachse 20 des Sensorelementes 9, wäre dies nicht mehr gegeben, wodurch sich das Messergebnis verschlechtern würde.
  • Diese Variante ist in 1c dargestellt, in der der Schwenkpunkt 10', um den der Magnet 8 schwenkt, zwar auf der Mittelachse 20 des Sensorelementes 9 liegt, aber nicht im Sensorelement 9, sondern davon beabstandet.
  • Liegt dabei das feststehende Sensorelement 9 auf der vom Schwenkpunkt 10' abgewandten Außenseite der zentrischen Fläche 21, entlang welcher sich der Magnet 8 bewegen kann, so bewirken bereits kleine Auslenkungen des Magneten 8 eine starke Veränderung der Flussdichte im Bereich des Sensorelementes 9, weshalb diese Konstellation vor allem zum Detektieren von geringen Auslenkungen aus der Normallage geeignet ist.
  • Dies gilt erst recht, wenn der Schwenkpunkt 10' des Magneten 8 nicht einmal auf der Mittelachse 20 des Sensorelementes liegen würde.
  • Im Gegensatz dazu kann die Lösung gemäß 1a einen sehr großen Messbereich, also auch große Auslenkungen aus der Normallage, bewältigen.
  • Die Darstellung der 1a ist rotationssymmetrisch zur Z-Achse, also zur Mittelachse 20 des Sensorelementes 9.
  • Die vorstehenden Aussagen sind auf die im Folgenden beschriebenen Konstellationen der 1b bis 1d analog anzuwenden:
    In 1b sind die beiden Wirkelemente 8, 9 in ihrer Position gegenüber der 1a getauscht, sodass der Magnet 8 als feststehendes Bauteil angenommen wird, der mit seiner Polachse 15 auf das in der Ausgangslage befindliche Sensorelement 9 weist. Die Mittelachse 20 des Sensorelementes 9 dagegen weist unabhängig von der Position, die es momentan auf der sphärischen Fläche 21' um den Magneten 8 einnimmt, zur Mitte des Magneten.
  • Analog dazu zeigt 1d eine Abwandlung der Situation gemäß 1b, bei der sich wiederum der stillstehend angenommene Magnet 8 auf der Außenseite der sphärischen Fläche 21' befindet, entlang welcher das Sensorelement 9 beweglich ist. Der Schwenkpunkt 10 des Sensorelementes liegt dabei wiederum auf der Mittelachse 20' des Magneten 8.
  • Für die im folgenden dargestellten konkreten Ausführungsformen gilt allesamt, dass als Längsschnitte, also in den 2a, b, 3, 4a, b, 5a, b dargestellten Lösungen rotationssymmetrische, um die in den Figuren mittige vertikale Achse, also die Mittelachse 20 des Sensorelementes 9 bzw. in 3, die Mittelachse zwischen den beiden Sensorelementen, sind.
  • In den 2 bis 4 sind die beweglichen Wirkelemente 8, 9 jeweils in der Normallage dargestellt, in 5 mittels Umfangslinien zusätzlich in einer ausgelenkten Lage.
  • Die Lösung gemäß 2 entspricht der geometrischen Situation der 1b:
    Obwohl hier in der Regel ebenfalls das Sensorelement 9 mit seinem umgebenden Gehäuseteil 2' an demjenigen Bauteil befestigt werden wird, dessen Neigung detektiert werden soll, so ist doch der Magnet 8 durch die umgebende Schwimmerkammer 4 in Position gehalten und bei Auslenkung des Magneten 8 relativ zum Sensorelement 9 vollzieht das Sensorelement 9 eine Schwenkbewegung um den Mittelpunkt des in Position bleibenden Magneten 8.
  • Sowohl bei der Bauform gemäß 2a als auch 2b nimmt – in der Aufsicht gemäß 2c betracht, also auf die mittige vertikale Achse der 2a, b gesehen – der Schwimmer 5, in dem der Magnet 8 aufgenommen ist, fast den vollständigen Durchmesser des Inneren der Schwimmerkammer 4 ein.
  • Dabei ist der eigentliche Schwimmer 5 ebenfalls kreisförmig wie in dieser Ansicht das Innere der Schwimmerkammer 4, jedoch mit noch deutlich geringerem Durchmesser. Er könnte jedoch auch jede andere Umfangsform besitzen.
  • Allerdings ragen vom eigentlichen Schwimmer 5 Spitzen 17 weiter nach außen und der Durchmesser des Schwimmers gemessen an den Spitzen entspricht dem Innendurchmesser der Schwimmerkammer 4 an der Stelle des größten Durchmessers, jedoch ist durch die geringe Kontaktfläche zwischen den Spitzen 17 und der Schwimmerkammer 4 die Reibung dazwischen auf ein Minimum beschränkt.
  • Wie die 2a bis 2c zeigen, verläuft die Polachse 15 des zentral im Schwimmer 5 eingesetzten Magneten 8 lotrecht zur Hauptebene des flächigen Schwimmers 5 und damit dem Flüssigkeitsspiegel.
  • Die Schwimmerkammer 4 ist bis zu diesem Punkt des größten Durchmessers mit einem Fluid 7 gefüllt und das Gewicht des Schwimmers 5 ist so dimensioniert, dass der etwa zur Hälfte in das Fluizid eingetauchte Schwimmer mit seinen nach außen ragenden Spitzen 17 in der Ausgangslage in der Seitenansicht der 2a den Durchmesser durch die Schwimmerkammer 4 bildet.
  • Das restliche Innere der Schwimmerkammer 4 ist entweder von einem Gasvolumen 16 gefüllt oder von einer leichteren Flüssigkeit als das untere Fluid 7.
  • Bei der Lösung gemäß 2a ist die Schwimmerkammer 4 in der Seitenansicht betrachtet kreisförmig, also dreidimensional betrachtet kugelförmig, und das Gehäuse 2 an einer Stelle, dem untersten Punkt, nach außen erweitert um ein Gehäuseteil 2', in dem sich das Sensorelement 9 befindet, meist angeordnet auf einer Platine 12, die bei ausreichender Größe die Auswerteelektronik für die Signale des Sensorelementes 9 enthalten kann.
  • Von dort führt ein Kabel 13 aus dem Gehäuseteil 2', welches Teil des gesamten Gehäuses 2 des Neigungssensors ist, heraus, meist radial von der kugelförmigen Schwimmerkammer 4 wegführend.
  • Die Bauform der 2b unterscheidet sich von derjenigen der 2a dadurch, dass die in 2a kugelförmige Schwimmerkammer 4 in 2b oben und unten abgeplattet ist, so dass der passgenau im mittigen, größten Durchmesser schwimmend angeordnete Schwimmer 5 nicht beliebig verschwenkt werden kann, sondern nur um einen begrenzten Schwenk-Winkel.
  • An einer der abgeflachten Seiten, hier der Unterseite, ist ein in diesem Fall separater Gehäuseteil 2', in dem sich das Sensorelement 9 befindet, angeordnet, im Gegensatz zu der einstückigen Ausführungsform des Gehäuses 2, welches auch den Gehäuseteil 2' für das Sensorelement 9 mit umfasst, der 2a.
  • Allerdings ist bei der Lösung gemäß 2b die Platine 12, auf der das Sensorelement 9, meist in Form eines Chips, angeordnet ist, deutlich größer gewählt, da hierfür zumindest die Erstreckung der abgeflachten Seite der Schwimmerkammer 4 zur Verfügung steht.
  • Dadurch kann auf der sehr viel größeren Platine 12 – von der wiederum ein Kabel 13 aus dem Gehäuseteil 2' nach außen führt – in der Regel ohne Probleme die gesamte Auswerteelektronik für die Signale des Sensorelementes 9 angeordnet werden.
  • Die Bauform der 3 ist eine redundante Bauform und unterscheidet sich von derjenigen der 2 dadurch, dass an beiden Abflachungen der Schwimmerkammer 4 Gehäuseteile 2' mit darin aufgenommenen Sensorelementen 9 angeordnet sind.
  • Zusätzlich können hier auf einer Platine 12 und damit in einem Gehäuseteil 2' nicht nur ein Sensorelement 9 angeordnet sein, sondern zwei nebeneinander, die somit symmetrisch beidseits der Mittelachse des Magneten 8 in seiner Ausgangslage angeordnet sind, so dass in der Ausgangslage auch die Mittelachsen der Sensorelemente 9 zwar parallel, aber leicht seitlich versetzt zur Mittelachse des Magneten 8 liegen.
  • Die 4 und 5 zeigen dagegen Lösungen mit einer sphärischen Schwimmerkammer 4:
    Diese entspricht der geometrischen Anordnung gemäß 1a:
    Dabei besitzt – noch analog zur Lösung gemäß 2a – die Schwimmerkammer 4 eine Außenwand 4a, die ganz oder zumindest teilweise kugelförmig geformt ist und hier auf einer Seite, der Oberseite, abgeflacht ist, so dass etwa 1/4 bis 1/3 der Kugel fehlt.
  • Zusätzlich besitzt hier die Schwimmerkammer 4 eine Innenwand 4b, die ebenfalls wenigstens teilweise eine Kugelform besitzt, hier zur Hälfte eine Kugelform, an die sich ein zylindrischer Abschnitt mit gleichem Durchmesser anschließt.
  • Der sphärische, hier halbkugelförmige, Teil der Innenwand 4b verläuft dabei konzentrisch zur Außenwand 4a, wodurch eine, in Teilbereichen kreisförmig gekrümmte, also sphärische, Schwimmerkammer 4 gebildet wird, in der ein kreisscheibenförmiger Schwimmer 5 liegt, der hinsichtlich Durchmesser und Dicke so dimensioniert ist, dass er gerade mit den Umfangskanten seiner Außenfläche an dem Inneren der Außenwand 4a anliegt und mit der Mitte seiner nach innen weisenden Hauptfläche an der Außenseite der Innenwand 4b.
  • Durch diese ohnehin sehr reduzierten Kontaktflächen kann auf zusätzliche Fortsätze wie die Spitzen 17 bei den Lösungen gemäß 2 meist verzichtet werden.
  • In dem von der Innenwand 4b umschlossenen Innenraum ist – vorzugsweise im Krümmungsmittelpunkt von Innenwand 4b und Außenwand 4a – das Sensorelement 9 angeordnet, welches sich wiederum auf einer Platine 12 befindet, von der ein Kabel 13 durch die Abflachung der Kugelform der Außenwand 4a und die Öffnung in der Innenwand 4b nach außen geführt ist, also hier nach oben geführt ist.
  • Die Reibung der Kanten der Außenfläche des Schwimmers 5 an der Außenwand 4a kann weiter minimiert werden, indem als Fluid ein Ferrofluid 24 verwendet wird, welches sich an dem magnetischen Schwimmer 5 anlagert, wenn hier vorzugsweise der gesamte Schwimmer 5 aus dem Magneten 8 besteht.
  • Durch das an den Außenkanten angelagerte Ferrofluid 24 wird die Reibung gegenüber der Außenwand 4a weiter reduziert.
  • Bei dieser Lösung gemäß 4a, bei der sich die sphärische Schwimmerkammer 4 mit der Öffnung nach oben befindet, ist die Schwimmerkammer 4 vollständig mit einer Flüssigkeit gefüllt und der Magnet 8 muss kein Schwimmer sein, also sein spezifisches Gewicht muss keineswegs geringer als das des umgebenden Fluids 7 sein, im Gegensatz zur Lösung gemäß 4b, bei der die Öffnung der sphärischen Schwimmerkammer 4 nach unten weist:
    Dort ist die Schwimmerkammer 4 nicht vollständig, sondern nur größtenteils mit einem Fluid 7 gefüllt und der Schwimmer 5 darin angeordnet.
  • Der Schwimmer 5 ist wie bei 4a kreisscheibenförmig und so dimensioniert und die Füllhöhe des Fluids 7 so bemessen, dass auch hier der Schwimmer 5 mit seinen Außenkanten an der Außenwand 4a und mit der Mitte seiner nach innen gerichteten Hauptfläche an der Innenwand 4b anliegt oder fast anliegt.
  • Ob die sphärische Schwimmerkammer 4 ganz oder nur zum Teil mit Fluid 7 gefüllt ist und dementsprechend der Magnet 8 als Schwimmer 5 oder nicht als Schwimmer ausgebildet ist – eine bei allen Figuren mögliche Variante –, hängt jedoch nicht davon ab, ob die Öffnung der sphärischen Schwimmerkammer 4 nach oben oder nach unten gerichtet ist.
  • Während somit in jeder Schwenkstellung des Magneten 8 in den 4 – und auch bei den Lösungen gemäß der 2 und 3 – Magnet 8 und Sensorelement 9 entlang der Mittelachse 20 bzw. 20' eines dieser beiden Wirkelemente von einander entfernt waren, zeigt 5 eine Lösung, bei der bei einer sphärischen Schwimmerkammer 4 der Mittelpunkt des Magneten 8 mit dem Mittelpunkt des Sensorelementes 9 übereinstimmt.
  • Zu diesem Zweck ist die sphärische Schwimmerkammer 4 – bei der in diesem Fall nur die Außenwand 4a kugelförmig ist bzw. einen Teil der Kugelform besitzen muss – wiederum nur bis zur halben Höhe mit einem Fluid 7 gefüllt und der Magnet 8 in einem Schwimmer 5 angeordnet, der auf dem Fluid 7 schwimmt und nur teilweise in das Fluid 7 eintaucht.
  • Allerdings ist der Schwimmer 5 ringförmig ausgebildet und auch der darin aufgenommene Magnet 8 ein Ringmagnet und beide gemeinsam erstrecken sich um den Innenraum 25, der von der Innenwand 4b gebildet wird, herum.
  • In dem Innenraum 25 befindet sich im Zentrum der sphärischen Außenwand 4a das Sensorelement 9, wiederum auf eher Platine 12.
  • Während bei der Bauform gemäß 5a der Innenraum 25 zylindrisch ist, besitzt er in 5b einen kugelförmigen Endbereich im Zentrum der sphärischen Außenwand 4a, von dem aus nur ein schmaler Verbindungskanal radial aus dem Gehäuse 2 der Schwimmerkammer 4 herausführt.
  • In den 5a und 5b ist neben der Normallage des ringförmigen Schwimmers 5 auch eine ausgelenkte Lage mit Umfangslinie dargestellt.
  • 1
    Neigungssensor
    2, 2'
    Gehäuse
    3
    Sensorkammer
    4
    Schwimmerkammer
    4a
    Außenwand
    4b
    Innenwand
    5
    Schwimmer
    6
    Trennwand, Schwebekörper
    7
    Fluid
    7a
    Fluidspiegel
    8
    Magnet, Winkelelement
    9
    Sensorelement, Winkelelement
    10, 10'
    Schwenkpunkt
    11
    Messebene
    12
    Platine
    13
    Kabel
    15
    Pol-Achse
    16
    Gas-Volumen
    17
    Spitze
    18
    Schwallwand
    19
    Multi-Hall-IC
    20, 20'
    Mittelachse
    21, 20'
    sphärische Fläche
    22a, b,
    Schwenkachse
    23
    Verguss
    24
    Ferrofluid
    25
    Innenraum
    x, y
    Messrichtung
    z
    dritte Raumrichtung

Claims (22)

  1. Zweiachsiger Neigungssensor (1) mit zwei Wirkelementen, nämlich a) einer magneto-sensitiven Sensoreinheit mit einem flächigen Sensorelement (9), das in der Lage ist, die magnetische Flussdichte in mindestens zwei zueinander orthogonalen Raumrichtungen, den Messrichtungen, zu messen, b) einem Magneten (8), wobei c) die beiden Wirkelemente (8, 9) relativ zueinander verschwenkbar sind und eines der zwei Wirkelemente (8, 9) sich direkt oder indirekt entsprechend der Schwerkraft ausrichtet, d) in der Ausgangslage der Schwenkpunkt (10, 10') des einen Wirkelementes (8 oder 9) auf der Mittelachse (20, 20') des jeweils anderen Wirkelementes (9 oder 8) liegt, wobei – beim Sensorelement (9) die Mittelachse (20) die Orthogonale zur Messebene ist und – beim Magneten (8) die Mittelachse (20') die Polachse ist, dadurch gekennzeichnet, dass das eine Wirkelement (8 oder 9) auf einer definierten, also reproduzierbaren, Fläche (21, 21') beweglich so geführt ist, dass die Mittelachse (20, 20') dieses Wirkelementes (8 oder 9) immer auf die Mittelachse (20, 20') des anderen Wirkelementes (9 oder 8) zeigt.
  2. Neigungssensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fläche (21, 21'), auf der das Wirkelement (8) oder (9) beweglich geführt ist, eine sphärische Fläche ist.
  3. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das eine Wirkelement (8 oder 9) auf einer insbesondere sphärischen Fläche (21, 21') beweglich so gelagert ist, dass die Mittelachse (20, 20') dieses Wirkelementes (8 oder 9) immer auf den Mittelpunkt des anderen Wirkelementes (9 oder 8) zeigt.
  4. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Wirkelement (8, 9) um zwei senkrecht aufeinander stehende Schwenkachsen (22a, b), die jeweils parallel zur Messebene liegen, schwenkbar gelagert ist.
  5. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensor-Einheit in der Lage ist, die magnetische Flussdichte in allen drei Raumrichtungen (x, y, z) zu messen und daraus die Veränderung des Magnetfeldes als Auslenkung um die beiden Messrichtungen (x, y) zu errechnen.
  6. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensor-Einheit den Gradienten des magnetischen Flusses in den mindestens zwei, besser drei Messrichtungen (x, y, ...) misst.
  7. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (9) ein Multihallsensor in Form eines IC (19) ist.
  8. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (9) nur ein einziger Chip ist.
  9. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteelektronik der Sensor-Einheit in der Lage ist, bei einer sphärischen Bewegung insbesondere des Magneten (8) um das Sensor-Element (9) den Einfluss der Bewegung entlang der sphärischen Fläche (21) bei der Auswertung zu berücksichtigen.
  10. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Radius der sphärischen Fläche (21), auf der sich das Winkelelement bewegt, Eingangsgröße der Auswerteelektronik der Sensoreinheit ist.
  11. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Drehung des Magneten (8) um eine Achse (z) senkrecht zur Messebene bei der Auswertung nicht berücksichtigt wird.
  12. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet (8) an oder in einem Schwimmer (5) oder Schwebekörper angeordnet ist, der auf einem Fluid (7) in einer Schwimmerkammer (4) schwenkbar um die beiden Messrichtungen der Messebene (11) angeordnet ist und das Sensorelement (9) vorzugsweise durch eine Trennwand abgetrennt außerhalb der Schwimmkammer (4) angeordnet ist.
  13. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet (8) an einem um beide Messrichtungen (x, y) beweglichen Pendel, insbesondere einem kardanisch aufgehängten Pendel, angeordnet ist.
  14. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenkontur des Schwimmers (5) an die Innenkontur der Schwimmerkammer (4) angepasst ist und insbesondere die Schwimmerkammer (4) betrachtet in Richtung der Messebene (6) eine wenigstens kreissegmentförmige insbesondere kreisförmige, Kontur aufweist.
  15. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass betrachtet lotrecht zur Ebene der Trennwand (6) die Breite des Schwimmers (5) die innere freie Breite der Schwimmerkammer (4) weitestgehend ausfüllt und dadurch die durch die Mitte der Breite der Schwimmerkammer (4) verlaufende Lotrechte auf die Trennwand (6) die Schwenkachse (10) des Schwimmers (5) ist.
  16. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Außenseite des Schwimmers (5) oder auf der Innenseite der Schwimmerkammer (4) kleinflächige Vorsprünge angeordnet sind zum Kontaktieren des jeweils anderen Elementes.
  17. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Schwimmerkammer (4) eine Schwallwand (18) so angeordnet ist, dass eine volle Drehung des Schwimmers (5) verhindert wird.
  18. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Schwallwand (18) Durchgangs-Öffnungen als Drosselstellen angeordnet sind.
  19. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwimmerkammer (4) mit zwei schwer mischbaren Fluiden (7) unterschiedlichen spezifischen Gewichtes gefüllt ist und der Schwimmer (5) auf dem schweren Fluid (7) schwimmt.
  20. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwimmer (5) ringförmig angeordnet ist und im Zentrum des Schwimmers (5) der Sensor und der Magnet (8) ein im Schwimmer angeordneter ringförmiger Magnet (8) mit Polachse (15) parallel zur Ringachse ist.
  21. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwimmer ein scheibenförmiger, insbesondere kreisscheibenförmiger Schwimmer ist und der Magnet im Zentrum des Schwimmers mit einer Polachse lotrecht zur Scheibenebene ist.
  22. Neigungssensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – der Schwimmer in einer Schwimmerkammer angeordnet ist, die eine sphärische äußere und eine konzentrisch dazu liegende sphärische innere Begrenzungsfläche aufweist und der Schwimmer so dimensioniert ist, dass er in dieser sphärischen Schwimmerkammer formschlüssig sich nur so bewegen kann, dass seine Mittelachse immer zum Zentrum der sphärischen Außen- oder Innenflächen weist, und – der Magnet im Schwimmer mit einer Polrichtung auf dessen Mittelachse angeordnet ist und – im Zentrum der sphärischen Flächen des Neigungssensors angeordnet ist.
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