DE102009005417A1 - Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper mit einem nicht konstanten Querschnitt - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Körper aus piezoelektrischem oder piezoresistivem Material, welcher einen nicht konstanten Querschnitt, also eine nicht konstante Dicke, aufweist. Die in/auf einem piezoelektrischen oder piezoresistiven Element erzeugte mechanische Spannung wird durch Anlegen einer elektrischen Spannung verursacht. Durch einen nicht konstanten Querschnitt des verwendeten piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers erfolgt eine Aufsummierung bzw. Subtraktion der mechanischen Spannungen und führt somit zu einem monolithischen Wegvergrößerungs- bzw. Wegverringerungssystem, im Vergleich zu Körpern mit einem konstanten Querschnitt bei Einwirkung einer gleichen elektrischen Spannung oder eines elektrischen Feldes. Das Patent bezieht sich damit ausdrücklich auf die Verwendung eines piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers, welcher einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Körper aus piezoelektrischem oder piezoresistivem Material, welcher einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
- Durch Anlegen einer elektrischen Spannung in z-Richtung kontrahiert bzw. dehnt sich der Körper aus. Auf Grund des nicht konstanten Querschnittes (Dicke in z-Richtung) des Körpers erfolgt je nach Dimensionierung des Querschnittes eine Aufsummierung oder Subtraktion der Materialspannungen in x- bzw. y-Richtung. Dieses bewirkt durch die Einspannung am Rand des Körpers eine erhöhte bzw. verringerte Auslenkung des Körpers in z-Richtung, im Vergleich zu Körpern konstanter Dicke unter Einwirkung einer dergleichen elektrischen Spannung (
1 ). - Stand der Technik
- Heutzutage werden piezoelektrische und piezoresistive Materialien in vielen Anwendungsbereichen eingesetzt. Hierbei wird der Effekt ausgenutzt, dass sich diese Elemente mechanisch verformen, wenn eine elektrische Spannung angelegt wird bzw. diese Elemente eine elektrische Spannung erzeugen, wenn sie mit einer mechanischen Spannung/Kraft beaufschlagt werden.
- Stand der Technik sind hierbei piezoelektrische oder piezoresistive Elemente welche einen konstanten Querschnitt (Dicke) aufweisen.
Claims (5)
- Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper, gekennzeichnet durch die in/auf einem piezoelektrischen oder piezoresistiven Element erzeugte mechanische Spannung wird durch Anlegen einer elektrischen Spannung verursacht. Durch einen nicht konstanten Querschnitt, also eine nicht konstante Dicke, des verwendeten piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers, erfolgt eine Aufsummierung/Subtraktion der mechanischen Spannungen. Dieses führt somit zu einem monolithischen Wegvergrößerungs-/Wegverringerungssystem, im Vergleich zu Körpern mit einem konstanten Querschnitt unter Einwirkung derselben elektrischen Spannung. Das Patent bezieht sich damit ausdrücklich auf die Verwendung eines piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers welcher einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
- Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper, gekennzeichnet durch die in/auf einem piezoelektrischen oder piezoresistiven Element erzeugte elektrische Spannung/elektrisches Feld wird durch Anlegen einer mechanischen Spannung oder Kraft verursacht. Durch einen nicht konstanten Querschnitt, also eine nicht konstante Dicke, des verwendeten piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers, erfolgt eine Aufsummierung/Subtraktion der mechanischen Spannungen im Element. Dieses führt somit zur Erzeugung einer größeren/kleineren elektrischen Spannung im Vergleich zu Körpern mit einem konstanten Querschnitt unter Einwirkung derselben mechanischen Spannung oder Kraft. Das Patent bezieht sich damit ausdrücklich auf die Verwendung eines piezoelektrischen oder piezoresistiven Körpers welcher einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
- Es können mehrere piezoelektrische oder piezoresistive Elemente/Körper, welche einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweisen, gekoppelt werden um die in Punkt 1 und/oder Punkt 2 beschriebenen Effekte zu vergrößern, zu verringern oder nicht zu beeinflussen.
- Es können nicht-piezoelektrische oder nicht-piezoresistive Körper mit denen unter Punkt 1 bis 3 beschriebenen Körpern bzw. Baugruppen gekoppelt werden, wobei mindestens ein piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
- Es können weitere piezoelektrische oder piezoresistive Körper, welche konstanten Querschnitt haben, mit denen unter Punkt 1 bis 4 beschriebenen Körpern bzw. Baugruppen gekoppelt werden, wobei mindestens ein piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper einen nicht konstanten Querschnitt (Dicke) aufweist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009005417A DE102009005417A1 (de) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper mit einem nicht konstanten Querschnitt |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009005417A DE102009005417A1 (de) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper mit einem nicht konstanten Querschnitt |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102009005417A1 true DE102009005417A1 (de) | 2010-07-22 |
Family
ID=42262966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102009005417A Withdrawn DE102009005417A1 (de) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | Piezoelektrischer oder piezoresistiver Körper mit einem nicht konstanten Querschnitt |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102009005417A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018162231A1 (de) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegel mit einer piezoelektrisch aktiven schicht |
-
2009
- 2009-01-19 DE DE102009005417A patent/DE102009005417A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018162231A1 (de) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegel mit einer piezoelektrisch aktiven schicht |
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