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DE102008052973B4 - Electrical connection element for sensors - Google Patents

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DE102008052973B4 DE200810052973 DE102008052973A DE102008052973B4 DE 102008052973 B4 DE102008052973 B4 DE 102008052973B4 DE 200810052973 DE200810052973 DE 200810052973 DE 102008052973 A DE102008052973 A DE 102008052973A DE 102008052973 B4 DE102008052973 B4 DE 102008052973B4
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Abstract

Elektrisches Anschlusselement für Sensoren, bei dem auf einem Träger (3) ein sensitives Element (3.1) angebracht ist, welches mit einem elektrischen Anschlussleiter (2) elektrisch und mechanisch verbunden ist, wobei ein Kern (1), der aus einem Material besteht, welches einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, der sich vom Ausdehnungskoeffizienten des Trägers (3) nur geringfügig unterscheidet, von dem Anschlussleiter (2) umwickelt ist und der Anschlussleiter (2) auf einer Seite mit einem sensorseitigen Anschluss (2.1) und auf der gegenüberliegenden Seite mit einem äußeren Anschluss (2.2) endet.Electrical connection element for sensors, in which on a carrier (3) a sensitive element (3.1) is mounted, which is electrically and mechanically connected to an electrical connection conductor (2), wherein a core (1), which consists of a material which has a coefficient of thermal expansion which differs only slightly from the coefficient of expansion of the carrier (3), is wrapped by the connecting conductor (2) and the connecting conductor (2) on one side with a sensor-side terminal (2.1) and on the opposite side with an outer Connection (2.2) ends.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrisches Anschlusselement für Sensoren, bei dem auf einem Trägerelement ein Halbleitersensor angebracht ist, der mit einem elektrischen Verbindungselement elektrisch und mechanisch verbunden ist.The The invention relates to an electrical connection element for sensors, in which on a support element a semiconductor sensor is mounted, which is connected to an electrical Connecting element is electrically and mechanically connected.

Die Erfindung ist insbesondere für Hochtemperatursensoren und für Gassenoren geeignet. Es handelt sich dabei in der Regel um Chips, bei denen auf der Oberfläche eines Substratplättchen, das vorzugsweise aus Keramik oder dgl. besteht, Elektrodenstrukturen und/oder gassensitive Metalloxid-Schichten angeordnet sind. Ferner können auf solchen Chips Leiterbahnstrukturen angeordnet, die für elektrische Beheizung des Chips vorgesehen sind. Als gassensitive Schichten werden bevorzugt Oxidschichten benutzt. Insbesondere wegen der hohen Betriebstemperaturen ist es erforderlich, Edelmetalle wie Gold, Platin und/oder Platinmetalle für die Elektrodenstrukturen, Heizungsleiterbahnen und auch für die Kontaktpads zu verwenden. Häufig werden die Gassensorchips mit einer ihre Oberfläche überziehenden Passivierungsschicht versehen.The Invention is particularly for High temperature sensors and for Gas gates suitable. These are usually chips, where on the surface a substrate plate, which preferably consists of ceramic or the like., Electrode structures and / or gas-sensitive metal oxide layers are arranged. Further can arranged on such chips interconnect structures for electrical Heating the chip are provided. As gas-sensitive layers oxide layers are preferably used. Especially because of the high Operating temperatures, it is necessary to use precious metals such as gold, Platinum and / or platinum metals for the electrode structures, heating conductors and also for the contact pads to use. Often become the gas sensor chips with their surface coating passivation layer Mistake.

Hochtemperatursensoren werden zur Temperaturmessung gasförmiger Medien, beispielsweise zur Messung der Abgastemperatur von Kraftfahrzeugen verwendet. Sie enthalten einen Widerstandssensor, der im Allgemeinen in einem Schutzrohr angeordnet ist. In dem in das Medium ragenden Bereich des Schutzrohres befindet sich ein Hochtemperaturbauelement mit einem Hochtemperaturchip, dessen Anschlussdrähte mit den Anschlussleitungen verbunden sind, welche nach außen geführt werden, was in der Regel mittels einer im Schutzrohr befestigten Mantelleitung erfolgt.High temperature sensors are used for measuring the temperature of gaseous media, for example for Measurement of the exhaust temperature of motor vehicles used. They contain a resistance sensor, generally in a protective tube is arranged. In the projecting into the medium area of the protective tube is a high-temperature component with a high temperature chip, its connecting wires are connected to the connecting lines, which are led to the outside, which is usually by means of a mounted in the protective tube sheathed cable he follows.

So ist in US 5 497 139 A ein Temperatursensor und ein Verfahren zu seiner Herstellung beschrieben, bei dem ein Thermistor in einem hitzebeständigen Gehäuse an geordnet ist und die Zuleitungen in einer chemischen Verbindung des Typs (Al1-x-yCrxFey)2O3 eingebettet sind. Nachteilig ist hierbei der komplizierte Aufbau, der nur eine geringe Schwingungsfestigkeit aufweist, da sich bei hohen Temperaturen der Schutzmantel stärker ausdehnt als das keramische Innenleben.So is in US Pat. No. 5,497,139 a temperature sensor and a method for its preparation, in which a thermistor is arranged in a heat-resistant housing and the leads are embedded in a chemical compound of the type (Al 1-xy Cr x Fe y ) 2 O 3 . The disadvantage here is the complicated structure, which has only a low vibration resistance, since at higher temperatures, the protective sheath expands more than the ceramic inner life.

Ferner ist nach DE 100 62 041 C2 ein Temperatursensor bekannt, bei dem das Messelement in einem Schutzrohr angeordnet ist, dessen Anschlussleitung als Mantelrohr ausgeführt ist, welches im Bereich des Messelements fest mit dem Schutzrohr verbunden ist und das Messelement mit seinen Anschlüssen mit dem aus dem Mantelrohr austretenden Leitungen in einem temperaturfesten, elektrisch nicht leitendem Material im umgebenden Bereich des Schutzrohrs vergossen ist. Die hier verwendete Art der Abdichtung des Messelements zur Kontakteinrichtung ist zur Gewährleistung einer Langzeitbeständigkeit nicht geeignet.It is also after DE 100 62 041 C2 a temperature sensor is known in which the measuring element is arranged in a protective tube, the connecting line is designed as a jacket tube, which is connected in the region of the measuring element fixed to the protective tube and the measuring element with its connections with the exiting from the jacket tube lines in a temperature-resistant, electrically non-conductive material is poured in the surrounding area of the protective tube. The type of sealing used here of the measuring element to the contact device is not suitable for ensuring long-term stability.

Bei einer in EP 1 426 748 A1 beschriebenen, für den Kraftfahrzeugbereich vorgesehen Temperaturmessanordnung ist das Sensorelement mit verschiedenen koaxial angeordneten Schutzhüllen versehen. Die Anordnung ist für erhöhte Schwingungsbeanspruchungen nicht geeignet.At an in EP 1 426 748 A1 described, provided for the automotive field temperature measuring arrangement, the sensor element is provided with different coaxially arranged protective covers. The arrangement is not suitable for increased vibration stresses.

In der DE 76 29 727 U ist ein Messwiderstand für Widerstandthermometer mit mechanisch entlasteter Zuführung beschrieben, bestehend aus einem als Träger dienenden Keramikplättchen, einem dünnen Platinüberzug als Widerstandsschicht und Zuleitungsdrähten, wobei die Zuleitungsdrähte durch die Bohrungen eines kurzen Isolierkörpers geführt und mit diesem zusammen mittels einer Glasfrittenschicht an der Widerstandsschicht und dem Keramikplättchen befestigt sind.In the DE 76 29 727 U is a measuring resistor for resistance thermometer with mechanically unloaded feeder described consisting of serving as a carrier ceramic plate, a thin platinum coating as a resistive layer and lead wires, wherein the lead wires through the holes of a short insulator guided and together with this by means of a glass frit layer on the resistive layer and the ceramic plate are attached.

Ferner ist in der DE 967 507 B ein Verfahren zur Herstellung einer Halterung von Widerstandsthermometern beschrieben, bei dem eine Verbindung zwischen Widerstandsthermometer und Hüllrohr durch Aufspritzen einer Metallschicht, vorzugsweise Hartmetallschicht, auf das eine Fortsetzung des Hüllrohrs bildende Widerstandsthermometer hergestellt wird, derart, dass zunächst ein kurzes Ende des Widerstandsthermometers von der Anschlussseite her in das Hüllrohr einge schoben wird und die frei überstehende Messwicklung in an sich bekannter Weise von der Metallspritzschicht umgeben ist, welche gleichzeitig auch mit dem Hüllrohr eine mechanische Verbindung herstellt.Furthermore, in the DE 967 507 B a method for producing a holder of resistance thermometers described in which a connection between the resistance thermometer and cladding tube by spraying a metal layer, preferably hard metal layer, on which a continuation of the cladding tube forming resistance thermometer is made, such that first a short end of the resistance thermometer from the connection side is inserted into the cladding tube and the freely projecting measuring winding is surrounded in a conventional manner by the metal spray layer, which simultaneously produces a mechanical connection with the cladding tube.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein elektrisches Anschlusselement für Sensoren der eingangs genannten Art so zu verbessern, dass es auch bei hohen thermischen und mechanischen Beanspruchungen eine hohe Lebensdauer gewährleistet.Of the Invention is based on the object, an electrical connection element for sensors of the type mentioned above to improve so that it is synonymous with high thermal and mechanical stresses a long service life guaranteed.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Anordnung, welche die in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale aufweist.The The object is achieved by an arrangement which the features specified in claim 1 having.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Das Anschlusselement enthält einen Kern, der aus einem Material besteht, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizienten sich vom Ausdehnungskoeffizienten des Trägerelementes nur geringfügig unterscheidet. Der Kern ist von einem Anschlussleiter umwickelt.advantageous Embodiments of the invention are the subject of the dependent claims. The Contains connecting element a core made of a material whose thermal expansion coefficient differs only slightly from the coefficient of expansion of the support element. Of the Core is wrapped by a connecting conductor.

Damit wird erreicht, dass das Anschlusselement eine hohe elektrische Leitfähigkeit aufweist und gleichzeitig einen an den Ausdehnungskoeffizienten des Trägerelementes angepassten Ausdehnungskoeffizient aufweist. Die Anordnung gewährleistet eine hohe Sicherheit gegen Schwingungsbeanspruchungen.This ensures that the connection element has a high electrical conductivity and at the same time adapted to the expansion coefficient of the support element expansion co efficient. The arrangement ensures a high level of safety against vibration stresses.

Der Kern kann aus Keramik, aus Glas oder einem Metall mit geringem thermischen Ausdehnungskoeffizienten bestehen.Of the Core can be made of ceramic, glass or a metal with low thermal Expansion coefficients exist.

Eine vorteilhafte Ausführung sieht vor, dass das Trägerelement und der Kern aus Keramik bestehen.A advantageous embodiment provides that the support element and the core is made of ceramic.

Der Kern kann aus Keramik, aus Glas oder einem Metall mit geringem thermischen Ausdehnungskoeffizienten bestehen.Of the Core can be made of ceramic, glass or a metal with low thermal Expansion coefficients exist.

Damit lasst sich sowohl eine optimale Übereinstimmung der Ausdehnungskoeffizienten als auch eine hohe thermische Belastbarkeit, insbesondere bei dynamischer Beanspruchung, erreichen.In order to letting both an optimal match the coefficient of expansion as well as a high thermal capacity, especially under dynamic load, achieve.

In einer bevorzugten Ausführung wird als Anschlussleiter ein Draht verwendet, wobei die in der Halbleitertechnik üblichen Materialien verwendet werden. Insbesondere kommen Platindrähte oder Anschlussdrähte aus platiniertem Titan zum Einsatz.In a preferred embodiment is used as a connecting conductor, a wire, the usual in semiconductor technology Materials are used. In particular, platinum wires or connecting wires come out platinized titanium used.

Besonders geeignet ist die Anordnung für Hochtemperatursensoren sowie für ist Gas- und Rußsensoren.Especially suitable is the arrangement for high temperature sensors also for is gas and soot sensors.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Folgenden anhand einer Zeichnung näher erläutert.One embodiment The invention will be explained in more detail below with reference to a drawing.

Darin zeigen:In this demonstrate:

1 eine schematische Darstellung eines Anschlusselementes mit einem Anschlussleiter, 1 a schematic representation of a connection element with a connection conductor,

2 eine schematische Darstellung eines Anschlusselementes mit zwei Anschlussleitern, 2 a schematic representation of a connection element with two connecting conductors,

3 ein Anschlusselement, bei dem ein Kern an einem Keramikträger befestigt ist und 3 a connection element in which a core is attached to a ceramic carrier and

4 ein Anschlusselement, bei dem zwei Kerne an einem Keramikgehäuse befestigt sind. 4 a connection element, in which two cores are attached to a ceramic housing.

1 zeigt ein Anschlusselement, bei dem um einen Keramikkern 1 ein Anschlussleiter 2 gewickelt ist. Der Anschlussleiter 2 endet auf einer Seite mit dem sensorseitigen Anschluss 2.1 und auf der gegenüberliegenden Seite mit dem äußeren Anschluss 2.2. Im hier dargestellten Fall besteht der Anschlussleiter aus Platindrähten. 1 shows a connecting element, in which a ceramic core 1 a connection conductor 2 is wound. The connection conductor 2 ends on one side with the sensor-side connector 2.1 and on the opposite side with the outer terminal 2.2 , In the case shown here, the connection conductor consists of platinum wires.

In 2 ist ein Anschlusselement dargestellt, bei dem zwei Anschlussleiter 2 um den Keramikkern 1 gewickelt sind. Es ist auch möglich, mehrere Anschlussleiter 2 um den Keramikkern 1 zu wickeln. Die Anschlussleiter 2 sind beabstandet gewickelt, sodass auch bei unisolierten Ausführungen eine Berührung der beiden Anschlussleiter 2 verhindert wird.In 2 a connection element is shown, in which two connection conductors 2 around the ceramic core 1 are wound. It is also possible to have several connection conductors 2 around the ceramic core 1 to wrap. The connection conductors 2 are wound at a distance, so that even in uninsulated versions, a touch of the two connecting conductors 2 is prevented.

Eine Anwendung, bei der ein Anschlusselement an einem Träger 3 aus Keramik befestigt ist, ist in 3 dargestellt. Auf dem Träger 3 befinden sich ein sensitives Element 3.1, an dessen Anschlusspads 3.2 der sensorseitige Anschluss 2.1 des Anschlussleiters 2 angeschweißt ist. Der äußere Anschluss 2.2 führt zu einer hier nicht dargestellten Auswerteeinheit. Bei einem Hochtemperatursensor dient als sensitives Element 3.1 ein elektrischer Widerstand, vorzugsweise in Form einer Platinwendel. Bei einem Gassensor besteht das sensitive Element 3.1 aus einer gassensitiven Halbleiterschicht.An application in which a connecting element to a carrier 3 Made of ceramic is in 3 shown. On the carrier 3 are a sensitive element 3.1 , on the connection pads 3.2 the sensor-side connection 2.1 of the connection conductor 2 is welded. The outer connection 2.2 leads to an evaluation unit, not shown here. For a high temperature sensor serves as a sensitive element 3.1 an electrical resistance, preferably in the form of a platinum coil. In a gas sensor is the sensitive element 3.1 from a gas-sensitive semiconductor layer.

4 zeigt eine Anwendung, bei der ein Anschlusselement an einem Sensorgehäuse 4 aus Keramik befestigt ist. Hier sind zwei ebenfalls aus Keramik bestehende Kerne 1 am Gehäuse 4 befestigt. Die Anschlussleitungen 2 sind durch Öffnungen im Gehäuse 4 geführt. 4 shows an application in which a connection element to a sensor housing 4 made of ceramic is attached. Here are two cores made of ceramic 1 on the housing 4 attached. The connecting cables 2 are through openings in the housing 4 guided.

11
Kerncore
22
Anschlussleiterconnecting conductors
2.12.1
sensorseitiger Anschlussthe sensor side connection
2.22.2
äußerer Anschlussouter connection
33
Trägercarrier
3.13.1
sensitives Elementsensitive element
3.23.2
Anschlusspadcontact pad
44
Sensorgehäusesensor housing

Claims (9)

Elektrisches Anschlusselement für Sensoren, bei dem auf einem Träger (3) ein sensitives Element (3.1) angebracht ist, welches mit einem elektrischen Anschlussleiter (2) elektrisch und mechanisch verbunden ist, wobei ein Kern (1), der aus einem Material besteht, welches einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, der sich vom Ausdehnungskoeffizienten des Trägers (3) nur geringfügig unterscheidet, von dem Anschlussleiter (2) umwickelt ist und der Anschlussleiter (2) auf einer Seite mit einem sensorseitigen Anschluss (2.1) und auf der gegenüberliegenden Seite mit einem äußeren Anschluss (2.2) endet.Electrical connection element for sensors, in which on a support ( 3 ) a sensitive element ( 3.1 ) which is connected to an electrical connection conductor ( 2 ) is electrically and mechanically connected, wherein a core ( 1 ), which consists of a material which has a thermal expansion coefficient which is different from the expansion coefficient of the carrier ( 3 ) differs only slightly from the connection conductor ( 2 ) and the connecting conductor ( 2 ) on one side with a sensor-side connection ( 2.1 ) and on the opposite side with an outer terminal ( 2.2 ) ends. Elektrisches Anschlusselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) mit dem sensitiven Element (3.1) in einem Sensorgehäuse (4) angeordnet ist.Electrical connection element according to claim 1, characterized in that the carrier ( 3 ) with the sensitive element ( 3.1 ) in a sensor housing ( 4 ) is arranged. Anschlusselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Kern (1) mehrere Anschlussleiter (2) gewickelt sind, wobei die Anschlussleiter (2) elektrisch voneinander isoliert sind.Connection element according to claim 1 or 2, characterized in that on the core ( 1 ) several connection conductors ( 2 ) are wound, wherein the connecting conductors ( 2 ) are electrically isolated from each other. Anschlusselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Kern (1) mehrere Anschlussleiter (2) gewickelt sind, wobei sich die Anschlussleiter (2) berühren und elektrisch voneinander nicht isoliert sind.Connection element according to claim 1 or 2, characterized in that on the core ( 1 ) several connection conductors ( 2 ) are wound, wherein the connecting conductors ( 2 ) and are not electrically isolated from each other. Anschlusselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) und der Kern (1) aus Keramik bestehen.Connecting element according to one of the preceding claims, characterized in that the carrier ( 3 ) and the core ( 1 ) consist of ceramic. Anschlusselement nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) und das Sensorgehäuse (4) aus Keramik bestehen.Connecting element according to one of claims 2 to 5, characterized in that the carrier ( 3 ) and the sensor housing ( 4 ) consist of ceramic. Anschlusselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlussleiter (2) ein Draht ist.Connecting element according to one of the preceding claims, characterized in that the connecting conductor ( 2 ) is a wire. Anschlusselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das sensitive Element (3.1) ein elektrischer Widerstand ist.Connecting element according to one of the preceding claims, characterized in that the sensitive element ( 3.1 ) is an electrical resistance. Anschlusselement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das sensitive Element (3.1) eine gassensitive Halbleiterschicht ist.Connecting element according to one of claims 1 to 7, characterized in that the sensitive element ( 3.1 ) is a gas-sensitive semiconductor layer.
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