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DE102008050847A1 - Optischer Weglängenmodulator - Google Patents

Optischer Weglängenmodulator Download PDF

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DE102008050847A1
DE102008050847A1 DE102008050847A DE102008050847A DE102008050847A1 DE 102008050847 A1 DE102008050847 A1 DE 102008050847A1 DE 102008050847 A DE102008050847 A DE 102008050847A DE 102008050847 A DE102008050847 A DE 102008050847A DE 102008050847 A1 DE102008050847 A1 DE 102008050847A1
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DE
Germany
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path length
light
length modulator
optical
reflective surface
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE102008050847A
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English (en)
Inventor
Martin Dr. Schönleber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Precitec Optronik GmbH
Original Assignee
Precitec Optronik GmbH
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Publication date
Application filed by Precitec Optronik GmbH filed Critical Precitec Optronik GmbH
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Priority to PCT/EP2009/007068 priority patent/WO2010040479A1/de
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/0209Low-coherence interferometers
    • G01B9/02091Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
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Abstract

Ein optischer Weglängenmodulator (28; 1218; 228; 328), wie er insbesondere in einem optischen Kohärenztomographen (10) Verwendung finden kann, weist ein optisches Fenster (40; 140; 240; 340) auf, aus dem beim Betrieb des Wellenlängenmodulators Licht austritt und nach Zurücklegen einer veränderbaren optischen Weglänge wieder eintritt. Eine erste reflektierende Fläche (52; 152; 252; 352) ist ortsfest angeordnet und wird von einer Optik (42; 142; 242; 342, 362) auf die erste reflektierende Fläche abgebildet. Eine zweite reflektierende Fläche (45; 145; 245; 345) ist plan und bewegbar angeordnet. Erfindungsgemäß ist die Optik (42; 142; 242; 342, 362) derart ausgelegt, dass auf die zweite reflektierende Fläche (45; 145; 245; 345) auftreffendes Licht zumindest im Wesentlichen kollimiert ist.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft einen optischen Weglängenmodulator, insbesondere für die Verwendung in einem optischen Kohärenztomographen, mit:
    • a) einem optischen Fenster, aus dem beim Betrieb des Weglängenmodulators Licht austritt und nach Zurücklegen einer veränderbaren optischen Weglänge wieder eintritt,
    • b) einer ersten reflektierenden Fläche, die ortsfest angeordnet ist,
    • c) einer Optik, die das optische Fester auf die erste reflektierende Fläche abbildet, und
    • d) einer zweiten reflektierenden Fläche, die plan und bewegbar angeordnet ist.
  • Ein derartiger Weglängenmodulator ist bekannt aus einem Aufsatz von N. Delachenal et al. mit dem Titel "Robust and rapid optical low-coherence reflectometer using a polygon mirror", Optics Communications 162 (1999), Seiten 195–199.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • Optische Weglängenmodulatoren sind Vorrichtungen, mit denen sich die optische Weglänge von Licht variabel verändern lässt. Im Allgemeinen wird von optischen Weglängenmodulatoren verlangt, dass sie die optische Weglänge schnell und kontinuierlich (oder zumindest quasi-kontinuierlich) verändern. Bei den meisten optischen Weglängenmodulatoren ändert sich die optische Weglänge periodisch, wobei die Wiederholfrequenzen mehrere Kilohertz betragen können.
  • Benötigt werden optische Weglängenmodulatoren beispielsweise in optischen Kohärenztomographen, um die optische Weglänge von in einem Referenzarm geführten Licht durchzustimmen.
  • Durch Benutzung bekannt sind faseroptische Weglängenmodulatoren, bei denen eine optische Faser auf einen Hohlzylinder aufgewickelt ist, dessen Durchmesser piezoelektrisch verändert werden kann. Bei einer Ausdehnung des Hohlzylinders kommt es zu einer Verlängerung der optischen Faser und damit einhergehend zu einer Verlängerung der optischen Weglänge, die das Licht in der optischen Faser zurücklegt. Je größer dabei der Weglängenhub ist, desto kleiner ist die Frequenz, mit der die optische Weglänge moduliert werden kann, und umgekehrt. Dadurch lassen sich mit diesen Weglängenmodulatoren die optische Weglänge nicht mit großen Hüben und hohen Frequenzen modulieren. Vertrieben werden derartige Weglängenmodulatoren von der Firma OPTIPHASE.
  • Bei den meisten bekannten optischen Weglängenmodulatoren wird die optische Weglänge mit Hilfe sich bewegender Spiegel moduliert. So ist in einem konfokalen Sensor, der von der Firma Siemens unter dem Markennamen SISCAN® C vertrieben wird, eine Retroreflektor enthalten, der parallel zur Einfallsrichtung eines auftreffenden Lichtstrahls hochfrequente Schwingungen ausführt.
  • Eine ähnliche Anordnung ist aus einem Aufsatz von N. Baksh mit dem Titel "An autocorrelator-interferometer used to determine the pulse width of a pulsed laser used in two-photon endoscopy", Thesis MIT, June 25, cita-table URI: http://hdl.handle.net/1721.1/32882 bekannt. Bei dem dort beschriebenen Weglängenmodulator wird das Licht mit Hilfe eines in Drehschwingungen versetzten Retroreflektors auf einen feststehenden Planspiegel umgelenkt und in sich zurückreflektiert.
  • Aus der DE 199 63 161 A1 ist ein optischer Weglängenmodulator für einen faseroptischen Kohärenztomographen bekannt, der zwei parallel zueinander angeordnete Planspiegel aufweist, die auf einem rotierenden Drehtisch angeordnet sind. Der Weglängenmodulator umfasst ferner eine Kollimatorlinse, die das aus einem Austrittsfenster einer optischen Faser austretende Licht kollimiert und auf die rotierende Spiegelanordnung richtet. Das von der Spiegelanordnung reflektierte kollimierte Lichtbündel trifft auf einen ortsfesten Planspiegel, der das Lichtbündel zurück auf die Spiegelanordnung reflektiert. Das von dort reflektierte Licht wird durch die Kollimatorlinse wieder zurück auf das Austrittsende der optischen Faser abgebildet.
  • Nachteilig bei dieser bekannten Anordnung ist, dass während einer vollständigen Umdrehung der Spiegelanordnung relativ lange Totzeiten auftreten. Darunter versteht man Zeiten, bei denen das Licht aus welchen Gründen auch immer nicht genutzt werden kann. Bei dem bekannten Weglängenmodulator ist beispielsweise das Licht nicht nutzbar, das auf die Rückseiten der rotierenden Spiegel fällt. Außerdem ist selbst außerhalb der Totzeiten die Intensität des in das Austrittsfenster der optischen Faser eingekoppelten Lichts starken Schwankungen unterworfen. Zurückgeführt werden muss dies auf unvermeidliche Lageungenauigkeiten oder während des Betriebs auftretende Vibrationen der Spiegelanordndung. Kommt es zu geringfügigen Verkippungen der beiden rotierenden Planspiegel, so wird das auf den festen Spiegel auftreffende Licht nicht mehr exakt in sich selbst zurückreflektiert. Das Austrittsende der optischen Faser wird dann nicht mehr exakt auf sich selbst abgebildet, sondern oszilliert mit der Vibrationsfrequenz des Spiegels.
  • Eine Verbesserung in dieser Hinsicht wird bei einem Weglängenmodulator erreicht, wie er aus dem eingangs genannten Aufsatz von N. Delachenal mit dem Titel "Robust and rapid optical low-coherence reflectometer using a polygon mirror" beschrieben ist. Bei diesem bekannten Weglängenmodulator wird ein Austrittsfenster einer optischen Faser von einer dahinter angeordneten Linse auf einen planen Referenzspiegel abgebildet. Im Lichtweg dazwischen sind ein rotierender Polygonscanner und ein quaderförmiges Glasprisma angeordnet. Das Glasprisma wirkt dabei als Retroreflektor und bewirkt, dass von dem Polygonscanner reflektiertes Licht wieder auf diesen zurückreflektiert wird, so dass es stets senkrecht auf den Referenzspiegel fällt. Falls sich infolge von Vibrationen des Polygonscanners der Brennpunkt des Lichts auf dem Referenzspiegel verschiebt, so führt die durch die Linse herbeigeführte optische Konjugation zwischen dem Referenzspiegel und dem Austrittsfenster der optischen Faser dazu, dass das auf dem Referenzspiegel entstehende Bild des Austrittsfensters stets wieder zurück auf das Austrittsfenster abgebildet wird.
  • Es hat sich allerdings gezeigt, dass auch bei diesem bekannten Weglängenmodulator unerwünschte Intensitätsschwankungen des weglängenmodulierten Lichts auftreten können.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Weglängenmodulator der eingangs genannten Art derart zu verbessern, dass Intensitätsschwankungen des weglängenmodulierten Lichts weiter verringert werden.
  • Gelöst wird diese Aufgabe bei einem Weglängenmodulator gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch eine Auslegung der Optik derart, dass auf die zweite reflektierende Fläche auftreffendes Licht zumindest im Wesentlichen kollimiert ist.
  • Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass bei dem aus dem eingangs genannten Aufsatz von N. Delachenal bekannten Weglängenmodulator die Intensitätsschwankungen darauf zurückzuführen sind, dass die sich verändernde optische Weglänge zwischen der Kollimatorlinse und dem feststehenden Referenzspiegel die optische Konjugation stört, d. h. das Austrittsfenster der optischen Faser wird im allgemeinen nicht genau, sondern nur noch verschmiert auf den Referenzspiegel abgebildet. Infolge der Rückabbildung durch die Kollimatorlinse auf das Austrittsfenster wird dieses Bild noch weiter verschmiert, so dass ein nicht vernachlässigbarer Anteil des Lichts nicht in den Faserkern eingekoppelt werden kann.
  • Durch die erfindungsgemäße Auslegung der Optik derart, dass auf die sich bewegende zweite reflektierende Fläche auftreffendes Licht zumindest im Wesentlichen kollimiert ist, wird sichergestellt, dass sich Weglängenänderungen des Lichts nicht auf die das Bild auswirken, das auf der ortsfesten ersten reflektierenden Fläche entsteht. Bei dem erfindungsgemäßen Weglängenmodulator kann deswegen zwar das Bild des optischen Fensters infolge von Lageungenauigkeiten und Vibrationen der sich bewegenden zweiten reflektierenden Fläche an unterschiedlichen Orten auf der ersten reflektierenden Fläche entstehen, jedoch hat dieses Bild stets die gleiche Größe und Qualität unabhängig von der jeweiligen Weglängenmodulation. Folglich hat auch das in das optische Fenster schließlich wieder eingekoppelte Licht, abgesehen von eventuell auftretenden Totzeiten, stets eine konstante Intensität.
  • Bei dem optischen Fenster kann es sich um das Lichtaustrittsfenster einer optischen Faser oder eines integrierten optischen Wellenleiters handeln. In Betracht kommt jedoch auch eine Blendenöffnung (einhole), wie sie insbesondere in optischen Geräten mit Freistrahlausbreitung Verwendung findet.
  • Die reflektierenden Flächen können als Spiegel ausgebildet sein, die einen Spiegelträger und eine darauf aufgebrachte reflektierende Beschichtung aufweisen. Bei den reflektierenden Flächen kann es sich jedoch auch um die Grenzflächen zwischen optisch dichteren und optisch dünneren Medien handeln, wie sie bei Prismen auftreten.
  • Die Optik kann als Kollimator ausgebildet sein, der im Lichtweg zwischen dem optischen Fenster und der zweiten reflektierenden Fläche angeordnet ist. Ein derartiger Kollimator hat insgesamt positive Brechkraft und enthält deswegen mindestens eine Linse oder einen gekrümmten Spiegel mit sammelnder Wirkung.
  • Besonders einfach kann die Optik ausgelegt werden, wenn mehrere dritte planare reflektierende Flächen vorgesehen sind, die das von der bewegbar angeordneten zweiten re flektierenden Fläche reflektierte Licht zurück auf den Kollimator richten, der das Licht auf die erste reflektierende Fläche fokussiert und auf diese Weise die Abbildung des optischen Fensters auf die erste reflektierende Fläche bewirkt. Bei dieser Abbildung wird der Kollimator somit zweifach durchtreten, so dass man mit nur einem Kollimator zum einen die erfindungsgemäße Kollimation und andererseits die Abbildung des optischen Fensters auf die erste reflektierende Fläche gewährleisten kann. Das Bild des optischen Fensters, das auf der ortsfesten ersten reflektierenden Fläche entsteht, wird auch bei dieser Ausgestaltung der Erfindung zurück auf das optische Fenster abgebildet. Somit können sich Lageungenauigkeiten oder Vibrationen der bewegbar angeordneten zweiten reflektierenden Fläche auch bei dieser Ausgestaltung nicht auf die Einkopplung des Lichts in das optische Fenster auswirken.
  • Vorzugsweise ist dann wenigstens eine der dritten reflektierenden Flächen ortsfest derart angeordnet, dass sie auftreffendes kollimiertes Licht in sich zurückreflektiert. Dies ist zum einen vorteilhaft, weil auf diese Weise das von der bewegbar angeordneten zweiten Fläche reflektierte Licht in sich zurückreflektiert wird und somit den gleichen Weg zurück zum Kollimator nimmt wie bei seinem erstmaligen Durchtritt durch den Kollimator in Richtung zur bewegbaren zweiten reflektierenden Fläche. Außerdem wird durch eine solche ortsfeste dritte reflektierende Fläche sichergestellt, dass das Licht, bevor es zum ersten Mal auf die erste reflektierende Fläche trifft, bereits zweimal von der beweglichen zweiten Fläche reflektiert wurde. Nach der Reflexion an der ersten reflektierenden Fläche folgt das Licht diesem Weg ein zweites Mal, jedoch in umgekehrter Richtung. Insgesamt wird das Licht somit zwischen dem Austritt aus und dem Eintritt in das optische Fenster insgesamt viermal von der bewegbar angeordneten zweiten Fläche reflektiert. Dadurch ergibt sich ein besonders großer Weglängenhub.
  • Wenn der Kollimator sowohl die Kollimierung als auch die optische Abbildung mittels Mehrfachdurchtritt bewirkt, sind die erste reflektierende Fläche und das optische Fenster zumindest im Wesentlichen koplanar angeordnet, da sich beide in der Brennebene des Kollimators befinden.
  • Durch eine gezielte Dejustierung kann erreicht werden, dass das Bild des optischen Fensters auf der ersten reflektierenden Fläche in einem größeren Abstand zum optischen Fenster erzeugt wird.
  • Günstiger wird es aber im Allgemeinen sein, wenn die erste reflektierende Fläche in unmittelbarer Nähe des optischen Fensters angeordnet ist. Insbesondere kann der kürzeste Abstand zwischen der ersten reflektierenden Fläche und dem optischen Fenster kleiner als die größte Quererstreckung des optischen Fensters sein.
  • Dadurch ist der Strahlengang vor und nach der Reflexion an der ortsfesten ersten reflektierenden Fläche praktisch identisch, was zu einer besseren Einkopplung des Lichts in das optische Fenster führt. Der Abstand zwischen dem optischen Fenster und dessen Bild auf der ortsfesten ersten reflektierenden Fläche muss lediglich so bemessen sein, dass Verschiebungen dieses Bildes, wie sie insbesondere durch Vibrationen der bewegbar angeordneten zweiten reflektierenden Fläche entstehen können, nicht dazuführen, dass Licht bereits in das optische Fenster eintritt, bevor es einmal an der ersten reflektierenden Fläche reflektiert wurde.
  • Eine besonders einfache Realisierung einer ersten reflektierenden Fläche in unmittelbarer Nähe zum optischen Fenster ergibt sich, wenn das optische Fenster das Lichtaustrittsfenster einer optischen Faser ist, die einen lichtführenden Faserkern und einen Fasermantel aufweist. Die erste reflektierende Fläche kann dann durch eine reflektierende Beschichtung gebildet werden, die auf einer Stirnfläche des Fasermantels aufgebracht ist. Derartige optische Fasern sind am Markt im Zusammenhang mit anderen Verwendungen erhältlich. Die Eigenschaft, dass die Beschichtung reflektierend ist, ergibt sich jedoch eher als Nebenprodukt aus anderen technologischen Anforderungen und wird bei diesen Verwendungen bislang nicht ausgenutzt.
  • Wird die zweite reflektierende Fläche beispielsweise um 45° zu einer optischen Achse des Kollimators angeordnet und entlang dieser Achse oszillierend vor und zurück be wegt, so sind keine dritte reflektierenden Flächen erforderlich um sicherzustellen, dass das von der Optik kollimierte Licht auf die erste ortsfeste reflektierende Fläche fallen kann. In diesem Fall muss zwischen der sich bewegenden zweiten reflektierenden Fläche und der ortsfesten ersten reflektierenden Fläche lediglich ein weiterer Teil der Optik angeordnet sein, der das kollimierte Licht auf die ortsfeste erste reflektierende Fläche fokussiert und dadurch dort ein Bild des optischen Fensters erzeugt. Allerdings lassen sich mit solchen linearbeweglich geführten Spiegeln keine hohen Wiederholfrequenzen und nur ein relativ geringer Weglängenhub erzeugen.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die zweite reflektierende Fläche deswegen um eine Drehachse drehbar angeordnet. Nur mit sich drehenden reflektierenden Flächen lassen sich hochfrequente Weglängenmodulationen mit großen Weglängenhüben erzeugen. Bei der Drehung kann es sich auch um eine Drehschwingung handeln, bei der die zweite reflektierende Fläche vorzugsweise periodisch seine Drehrichtung ändert.
  • Eine drehbar angeordnete zweite reflektierende Fläche kann auf einer um die Drehachse in Drehung versetzbaren Tragstruktur, insbesondere einem Drehtisch, angeordnet sein. Auf einem Drehtisch oder einer anderen geeigneten Tragstruktur lassen sich dann auch mehrere zweite reflektierende Flächen auf einer zur Drehachse konzentrischen Kreislinie anordnen. Die dadurch entstehende Anordnung ist vorzugsweise regelmäßig aufgebaut in dem Sinne, dass jeweils zwei benachbarte zweite reflektierende Flächen den gleichen Winkel einschließen. Der optische Weglängenmodulator erzeugt dann bei einer Umdrehung der Tragstruktur eine periodische Modulation der optischen Weglänge.
  • Wenn der Weglängenmodulator mehrere dritte reflektierende Flächen aufweist, so können mehrere Gruppen, die jeweils eine zweite und mindestens eine der dritten reflektierenden Flächen umfassen, gemeinsam auf der Tragstruktur angeordnet sein.
  • So ist es beispielsweise möglich, dass jede Gruppe eine zweite und eine dritte reflektierende Fläche aufweist, die zueinander einen Winkel von 90° einschließen. Jede Gruppe bildet dann einen ebenen Retroreflektor, d. h. einen Reflektor, der in seiner Symmetrieebene einfallendes Licht stets parallel versetzt zurückreflektiert.
  • Vor allem im Falle von sich drehenden Retroreflektoren kann es günstig sein, wenn das auf die ortsfeste dritte reflektierende Fläche auftreffende Licht sich entlang einer ersten Ausbreitungsrichtung ausbreitet, die einen Winkel zu einer zweiten Ausbreitungsrichtung einschließt, entlang der sich das Licht zwischen dem Kollimator und der zweiten reflektierenden Fläche ausbreitet, wobei die Drehachse parallel zu einer durch die erste und die zweite Ausbreitungsrichtung definierten Ebene verläuft. Auf diese Weise lässt sich verhindern, dass der Kollimator die Lichtausbreitung zwischen der bewegbar angeordneten zweiten reflektierenden Fläche und der ortsfest angeordneten dritten reflektierenden Fläche behindert.
  • Erzeugt werden kann eine solche geneigte Anordnung der Ausbreitungsrichtungen durch eine geneigte Anordnung der zweiten und/oder dritten reflektierenden Flächen. Noch einfacher lässt sich dies erreichen, wenn die die Drehachse selbst einen von 90° verschiedenen Winkel zu der zweiten Ausbreitungsrichtung einschließt.
  • Bei einem anderen Ausführungsbeispiel weist jede Gruppe eine zweite und eine dritte reflektierende Fläche auf, die zueinander einen Winkel von 45° einschließen. Eine solche Gruppe bildet einen Reflektor, der einfallendes Licht stets um 90° ablenkt.
  • Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel weist die Optik eine von dem Kollimator verschiedene Teiloptik mit Sammelwirkung auf. Diese Teiloptik ist im Lichtweg zwischen der ersten reflektierenden Fläche und der zweiten reflektierenden Fläche angeordnet und so ausgelegt, dass sie von der zweiten reflektierenden Fläche reflektiertes Licht auf die erste reflektierende Fläche fokussiert.
  • Bei dieser Ausgestaltung befindet sich die drehbar angeordnete zweite reflektierende Fläche somit im kollimierten Strahlengang zwischen dem Kollimator und der Teiloptik. Da das Licht zwischen dem Austritt aus dem und den Eintritt in das optische Fenster lediglich zweimal von der sich bewegenden zweiten reflektierenden Fläche reflektiert wird, ist der Weglängenhub etwas kleiner. Dafür sind die Totzeiten sehr kurz, da bei dieser Anordnung keine sich drehende Gruppen von zwei oder mehreren reflektierenden Flächen erforderlich sind, die das Licht in eine ganz bestimmte Richtung, z. B. parallel zur Einfallsrichtung oder senkrecht dazu, reflektieren.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnungen. Darin zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung eines Kohärenztomographen mit einem erfindungsgemäßen optischen Weglängenmodulator gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel;
  • 2 eine ausschnittsweise perspektivische Darstellung des in der 1 gezeigten Weglängenmodulators;
  • 3 einen seitlichen meridionalen Schnitt durch den in der 1 gezeigten Weglängenmodulator;
  • 4 eine Draufsicht auf ein Austrittsfenster einer optischen Faser mit einem umgebenden, mit einer reflektierenden Beschichtung versehenen Fasermantel;
  • 5 schematisch eine ausschnittsweise Draufsicht auf den Weglängenmodulator in fünf verschiedenen Drehstellungen eines der Retroreflektoren;
  • 6 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Weglängenmodulators;
  • 7 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Weglängenmodulators;
  • 8 eine schematische perspektivische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Weglängenmodulators.
  • BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Erstes Ausführungsbeispiel
  • Die 1 zeigt in schematischer Darstellung einen optischen Kohärenztomographen 10, der zur Vermessung eines Messobjekts 11 vorgesehen ist. Der Kohärenztomograph 10 enthält eine Lichtquelle 12, bei der es sich beispielsweise um eine Superlumineszenz-Diode handeln kann. Das von der Lichtquelle 12 erzeugte Licht wird mit Hilfe einer Sammellinse 14 in eine erste optische Faser 16 einge koppelt, die mit einem optischen Koppler 18 verbunden ist. Der Koppler 18 leitet einen Teil des in der ersten optischen Faser 16 geführten Lichts in eine zweite optische Faser 20, die zusammen mit endseitig angeordneten Linsen 22, 24 einen Messarm 26 des Kohärenztomographen 10 bildet. Der übrige Teil des in der ersten optischen Faser 16 geführten Lichts wird vom Koppler 18 in eine dritte optische Faser 26 eingekoppelt, die zusammen mit einem noch näher zu erläuternden optischen Weglängenmodulator 28 einen Referenzarm 30 des Kohärenztomographen 10 bildet.
  • In dem Referenzarm 30 wird das Licht reflektiert, wobei die zurückgelegte optische Weglänge mit Hilfe des Weglängenmodulators 28 verändert wird. Das im Referenzarm 30 reflektierte Licht wird über den Koppler 18 in eine dritte optische Faser 31 eingekoppelt und einem Detektor 32 zugeführt. Dort überlagert sich das Referenzlicht aus dem Referenzarm 30 mit Messlicht, das am Messobjekt 11 reflektiert, über die Linsen 22, 24 zurück in die zweite optische Faser 20 eingekoppelt und über den Koppler 18 ebenfalls dem Detektor 32 zugeleitet wurde. Die optische Weglängenmodulation im Weglängenmodulator 28 ermöglicht eine scannerartige Vermessung des Messobjekts 10 entlang einer durch die Linsen 22, 24 festgelegten optischen Achse des Messarms 26.
  • Da der Kohärenztomograph 10 insoweit, abgesehen von dem Weglängenmodulator 28, bekannt ist, wird auf eine detailliertere Beschreibung von Aufbau und Funktion verzichtet.
  • Im Folgenden wird der Weglängenmodulator 28 näher mit Bezug auf die 2 und 3 beschrieben, wobei die 2 einen perspektivischen Ausschnitt aus dem Weglängenmodulator 28 und die 3 einen seitlichen Meridionalschnitt zeigt.
  • Der Weglängenmodulator 28 weist einen Drehtisch 34 auf, der um eine Drehachse 36 drehbar angeordnet ist. Auf dem Drehtisch 34 sind auf einer konzentrisch zur Drehachse 36 verlaufenden Kreislinie mehrere für einen ebenen Strahlengang ausgelegte Retroreflektoren 38 gleichmäßig verteilt angeordnet. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Retroreflektoren 38 als Prismen ausgebildet, deren Grundfläche die Form eines rechtwinkligen und gleichschenkligen Dreiecks hat.
  • Zwischen einem Lichtaustrittsfenster 40 der dritten optischen Faser 26 und dem Drehtisch 34 ist eine Kollimatorlinse 42 angeordnet, die das aus dem Lichtaustrittsfenster 40 austretende divergierende Referenzlicht kollimiert. Wie am besten in dem seitlichen Meridionalschnitt der 3 erkennbar ist, trifft das mit der Bezugsziffer 44 bezeichnete kollimierte Licht unmittelbar, d. h. ohne mit optischen Flächen in Wechselwirkung zu treten, auf einen der Retroreflektoren 38. Dort wird es zunächst an einer reflektierenden Fläche 45 und dann an einer weiteren reflektierenden Fläche 47 reflektiert. Wie man am besten in der 1 erkennen kann, wird das kollimierte Referenzlicht infolge der zweimaligen Reflexion in dem Retroreflektor 38 um 180° in der Symmetrieebene des Retroreflektors 38 umgelenkt und auf einen ortsfesten Planspiegel 46 gerichtet.
  • Wie aus dem seitlichen Meriodionalschnitt der 3 hervorgeht, verläuft die Drehachse 36 des Drehtischs 34 nicht senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des kollimierten Lichts 44, sondern schließt hierzu einen Winkel α < 90° ein. Dadurch sind auch die Retroreflektoren 38 mit den reflektierenden Flächen 45, 47 geneigt gegenüber der Ausbreitungsrichtung des kollimierten Lichts 44 angeordnet. Folglich verläuft die Ausbreitungsrichtung des von dem Retroreflektor 38 reflektierten und mit der Bezugsziffer 48 bezeichneten Lichts nicht parallel zur Ausbreitungsrichtung des Lichts 44, sondern schließt einen Winkel ungleich 2·α hierzu ein. Lediglich in einer Projektion entlang der Drehachse 38 verlaufen beide Ausbreitungsrichtungen parallel, wie dies in der 1 erkennbar ist. Dort ist die Verkippung der Drehachse 36 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt. Die Neigung der Drehachse 36 stellt sicher, dass der ortsfeste Planspiegel 46 außerhalb des Strahlengangs des kollimierten Lichts 44 angeordnet sein kann.
  • Der Planspiegel 46 ist annähernd senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des von dem Retroreflektor 38 reflektierten Lichts 48 angeordnet, so dass dieses Licht in sich selbst zurückreflektiert wird und die vorstehend beschriebenen Lichtwege in umgekehrter Reihenfolge zurück zum Lichtaustrittsfenster 40 der dritten optischen Faser 26 zurücklegt. Bei exakt senkrechter Ausrichtung des ortsfesten Planspiegels 46 zur Ausbreitungsrichtung des von dem Retroreflektor 38 reflektierten Lichts 48 würde infolge des identischen Strahlengangs vor und nach der Reflexion am ortsfesten Planspiegel 46 das Austrittsfenster 40 der dritten optischen Faser 26 durch den zweimal vom Licht durchtretenen Kollimator 42 auf sich selbst abgebildet. Die Drehung des Retroreflektors 38 um die Drehachse 36 kann dabei wegen der um viele Größenordnungen höheren Geschwindigkeit des Lichts vernachlässigt werden.
  • Nicht vernachlässigt werden können jedoch Justagetoleranzen und Vibrationen des Retroreflektors 38 infolge seiner Drehbewegung um die Drehachse 36. Die Vibrationen führen faktisch zu geringfügigen Verlagerungen der Drehachse 36, so dass das von dem Retroreflektor 38 reflektierte Licht 48 unter Umständen nicht mehr exakt senkrecht auf den ortsfesten Planspiegel 46 fiele. Das dort reflektierte Licht nähme dann einen etwas anderen Weg zurück in Richtung des Kollimators 42. Als Folge davon würde das Bild des Austrittsfensters 40 ohne zusätzliche Maßnahmen nicht mehr zentriert auf dem Austrittsfenster 40 entstehen, sondern mehr oder weniger dezentriert hierzu. Bei zeitlich variierenden Dejustierungen, wie sie durch Vibrationen des Retroreflektors 38 während seiner Drehung auftreten, wären diese Dezentrierungen mit den Vibrationen des Retroreflektors 38 korreliert. Die Folge einer Dezentrierung des Bildes des optischen Austrittsfensters 40 sind eine verschlechterte Einkopplung des Referenzlichts in die dritte optische Faser 26, was sich als Intensitätsschwankung des im Referenzarm 30 geführten Lichts bemerkbar macht.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Weglängenmodulator 28 ist deswegen der ortsfeste Planspiegel 46 so justiert, dass unabhängig von konstanten oder zeitabhängigen Dejustierungen von optischen Elementen im Strahlengang das Bild des Austrittsfensters 40 deutlich versetzt zum Austrittsfenster 40 entsteht. In der 4, die eine Draufsicht auf das Ende der dritten optischen Faser 26 zeigt, sind das durch den Faserkern der dritten optischen Faser 26 gebildete Lichtaustrittsfenster 40 und ein den Faserkern umgebender Fasermantel 50 erkennbar. Die Stirnfläche des Fasermantels 50 ist mit einer reflektierenden Beschichtung versehen, die eine zumindest im Wesentlichen planare reflektierende Fläche 52 in unmittelbarer Nähe zum Austrittsfenster 40 bildet. Die reflektierende Fläche 52 befindet sich in der gleichen Ebene wie das Austrittsfenster 40 und damit ebenfalls in der Brennebene des Kollimators 42.
  • Das Bild des Austrittsfensters 40 entsteht bei der erfindungsgemäßen Ausrichtung des ortsfesten Planspiegels 46 auf der reflektierenden Fläche 52 des Fasermantels 50. Das zu einem gegebenen Zeitpunkt entstehende Bild ist in der 4 als grau hinterlegte Fläche dargestellt und mit 40' bezeichnet. Dieses Bild 40' wandert infolge Vibrationen des Drehtischs 34 über die reflektierende Beschichtung 52 hinweg, wie dies durch gepunktete Kreise 40'' für verschiedene Zeitpunkte angedeutet ist. Im Allgemeinen wird der Bereich, über den hinweg das Bild 40' des Austrittsfensters 40 hin und her wandert, räumlich begrenzt sein, wie dies in der 4 durch einen gestrichelten Kreis 54 angedeutet ist. Für die Funktion kann es deswegen ausreichen, nur die von dem Kreis 54 umschlossene Fläche mit einer reflektierenden Beschichtung zu versehen.
  • Alternativ hierzu ist es selbstverständlich möglich, eine reflektierende Fläche 54 außerhalb der dritten optischen Faser 26 anzuordnen und z. B. als zusätzlichen ortsfesten Spiegel zu realisieren. Je weiter allerdings das Bild 40' von der optischen Achse des Kollimators 42 entfernt ist, desto schlechter wird im Allgemeinen die Abbildung durch den Kollimator 42. Wenn ein durch Abbildungsfehler relativ stark verschmiertes Bild 40' dann nochmals durch den Kollimator 42 auf das Austrittsfenster 40 abgebildet wird, besteht die Gefahr, dass nur noch ein Teil des Lichts in die dritte optische Faser 26 eingekoppelt werden kann.
  • Wie vorstehend bereits kurz angedeutet, wird das Bild 40' des Austrittsfensters 40 nun exakt auf das Austrittsfenster 40 durch den Kollimator 42 abgebildet. Das von der Fläche 52 reflektierte Licht tritt hierzu erneut durch den Kollimator 42 hindurch, wird an dem Retroreflektor 38 reflektiert, am ortsfesten Planspiegel 46 in sich zurückgeworfen und trifft erneut auf einen Retroreflektor 38. Von dort gelangt das Licht wieder auf den Kollimator 42 und wird von diesem exakt auf das Austrittsfenster 40 fokussiert.
  • Das aus dem Lichtaustrittsfenster 40 austretende Licht wird somit, bevor es wieder in das Lichtsaustrittsfenster 40 eintritt, einmal am ortsfesten Planspiegel 46, einmal an der auf den Fasermantel 50 aufgebrachten reflektierenden Beschichtung 52 und noch ein zweites Mal an dem ortsfesten Planspiegel 46 reflektiert. Dazwischen durchläuft das Licht jeweils insgesamt viermal den Kollimator 42 sowie den Retroreflektor 38. Durch den viermaligen Durchtritt durch den Retroreflektor wird der Weglängenhub, der sich aus der Bewegung des Retroreflektors 38 ergibt, ebenfalls vervierfacht. Die Abbildung des Austrittsfensters 40 auf die ortsfeste reflektierende Beschichtung 52 des Fasermantels 50 führt dazu, dass trotz des relativ langen Lichtweges Justagefehler und Vibrationen des Drehtischs 34 die Einkopplung des Lichts in das Austrittsfenster 40 nicht beeinträchtigen.
  • Die 5 zeigt schematisch eine ausschnittsweise Draufsicht auf den Weglängenmodulator 28 in fünf verschiedenen Drehstellungen eines der Retroreflektoren 38. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist nur einer der Retroreflektoren gezeigt und die Neigung der Drehachse 36 nicht dargestellt.
  • Wie durch einen Pfeil in der linken Teildarstellung angedeutet, wird angenommen, dass der Retroreflektor 38 sich mit dem Drehtisch 34 entgegen dem Uhrzeigersinn um die Drehachse 36 dreht. In den verschiedenen Teildarstellungen ist gut erkennbar, wie ein Lichtstrahl nach der Reflexion am Retroreflektor 38 parallel auf den ortsfesten Planspiegel 46 gerichtet und von dort in sich zurück reflektiert wird (abgesehen von der oben ausführlich beschriebenen gezielten Dejustierung). Der optische Weg, den das Licht dabei zwischen dem Austritt aus dem Kolli mator 42 und der Reflexion an dem ortsfesten Planspiegel 46 zurücklegt, hängt dabei von der Drehstellung des Drehtischs 34 ab, wie aus den verschiedenen Teildarstellungen der 5 deutlich wird. Da das Licht den in den Teildarstellungen gezeigten Weg insgesamt viermal zurücklegt, wird ein großer Weglängenhub erreicht.
  • Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel stellt die durch die Beschichtung auf dem Fasermantel 50 gebildete reflektierende Fläche 52 eine erste reflektierende Fläche dar, auf die das Austrittsfenster 40 abgebildet wird. Eine zweite reflektierende Fläche, die plan und bewegbar angeordnet ist, wird durch die reflektierende Fläche 45 des Retroreflektors 38 gebildet, auf die das vom Kollimator 42 kollimierte Licht als erstes trifft. Die andere Fläche 47 des Retroreflektors 38 sowie der ortsfeste Planspiegel 46 bilden dritte reflektierende Flächen, die sicherstellen, dass das von der zweiten reflektierenden Fläche 45 reflektierte Licht zurück auf den Kollimator 42 gerichtet wird.
  • Zweites Ausführungsbeispiel
  • Eine ähnlich Anordnung reflektierender Flächen wie bei dem in den 1 bis 5 gezeigten Ausführungsbeispiel ist bei dem in der 6 gezeigten Ausführungsbeispiel vorgesehen. Gleiche oder einander entsprechende Teile sind dabei mit um 100 erhöhten Bezugsziffern bezeichnet.
  • Im Unterschied zu dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel sind bei dem in der 6 gezeigten Wel lenlängenmodulator 128 auf dem Drehtisch 134 keine in der Ebene wirkende Retroreflektoren, bei denen die reflektierenden Flächen einen Winkel von 90° bilden, sondern Anordnungen von jeweils zwei in einem Winkel von 45° zueinander ausgerichteten Planspiegeln 145, 147 vorgesehen. Die zwei Planspiegel 145, 147 können natürlich auch durch ein Pentaprisma ersetzt sein.
  • Infolge des Winkels von 45° zwischen den beiden Planspiegeln 145, 147 wird das auf den Planspiegel 145 auftreffende kollimierte Licht nach weiterer Reflexion an dem anderen Planspiegel 147 um insgesamt 90° umgelenkt und auf den ortsfesten Planspiegel 146 gerichtet. Durch diese seitliche Umlenkung um 90° ist es bei dem Weglängenmodulator 128 nicht erforderlich, die Drehachse 36 verkippt anzuordnen.
  • Im Vergleich zu den in einer Ebene wirkenden Retroreflektoren 38 entsteht bereits nach einem Drehwinkel von 20° eine Totzeit, während derer das kollimierte Licht 44 von einer Gruppe von Planspiegeln 145, 147 zur nächsten wechselt. Ferner ist bei gleicher Baugröße der erzielbare Weglängenhub nur etwa halb so große wie bei dem anhand der 1 bis 6 erläuterten Weglängenmodulator 28.
  • Dafür ist die Konstruktion einfacher, weil auf die Verkippung der Drehachse 136 verzichtet werden kann. Die Anordnung von reflektierenden Flächen 145, 147 auf dem Drehtisch 134 lässt sich außerdem sehr einfach mit Hilfe von acht einzelnen beidseitig verspiegelten Platten erzeugen, die zwischen sich jeweils einen Winkel von 45° einschließen und sich auf der Drehachse 136 des Drehtischs 134 treffen.
  • Drittes Ausführungsbeispiel
  • Die 7 zeigt einen Ausschnitt aus einem optischen Weglängenmodulator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung. Gleiche oder einander entsprechende Teile sind dabei mit um 200 erhöhten Bezugsziffern bezeichnet.
  • Im Unterschied zu den beiden vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen sind hier auf dem Drehtisch 234 keine Prismen oder mehrere Spiegel umfassende Gruppen, sondern nur einzelne Planspiegel 245 angeordnet. Der sich drehende Planspiegel 245, der jeweils dem kollimierten Licht 244 ausgesetzt ist, reflektiert das Licht in Richtung auf einen in einer Symmetrieebene wirkenden ortsfesten Retroreflektor 260. Dieser reflektiert das Licht parallel versetzt auf den betreffenden sich drehenden Planspiegel 245 zurück. Von dort wird das Licht senkrecht auf den ortsfesten Planspiegel 246 gerichtet, der das Licht in sich zurückreflektiert. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel wird das Austrittsfenster 240 auf die sich in der Nähe des Austrittsfensters 240 befindende reflektierende Fläche 252 abgebildet. Dieses Abbild wird dann zurück auf das Austrittsfenster 240 abgebildet. Der ortsfeste Retroreflektor 260 gewährleistet somit einen vom Ergebnis her ähnlichen Strahlengang, wie er bei dem in den 1 bis 5 gezeigten Weglängenmodulator 28 erzielt wird.
  • Der ortsfeste Retroreflektor 260 und der ortsfeste Planspiegel 246 sind in einer Richtung senkrecht zur Zeichenebene der 7 in einer Weise übereinander angeordnet, wie dies ähnlich für den ortsfesten Planspiegel 46 in der 3 gezeigt ist. Erreicht werden kann dies auch hier durch eine Neigung der Drehachse, um die der Drehtisch 234 gedreht werden kann.
  • Da bei diesem Ausführungsbeispiel sehr viele Planspiegel 245 auf dem Drehtisch 234 angeordnet werden können, eignet er sich besonders für Anwendungen, bei denen hohe Wiederholraten mit nicht zu großem Weglängenhub erforderlich sind.
  • Auch bei diesem Ausführungsbeispiel stellt die durch die Beschichtung auf dem Fasermantel gebildete reflektierende Fläche 252 eine erste reflektierende Fläche dar, auf die das Austrittsfenster 240 abgebildet wird. Eine zweite reflektierende Fläche, die plan und bewegbar angeordnet ist, wird durch den sich drehenden Planspiegel 245 gebildet, auf den das vom Kollimator 242 kollimierte Licht trifft. Die beiden reflektierenden Flächen des Retroreflektors 260 bilden ortsfeste dritte dritte reflektierende Flächen, die sicherstellen, dass das von der zweiten reflektierenden Fläche reflektierte Licht zurück auf den Kollimator 242 gerichtet wird.
  • Viertes Ausführungsbeispiel
  • Die 8 zeigt in einer perspektivischen Darstellung wesentliche Teile eines Weglängenmodulators 328 gemäß ei nem vierten Ausführungsbeispiel. Ähnlich wie bei dem in der 7 gezeigten Weglängenmodulator 228 sind dort auf dem Drehtisch 34 mehrere Planspiegel 345 angeordnet. In der 8 ist nur einer dieser Planspiegel 345 in verschiedenen Drehstellungen gezeigt. Durch eine Verkippung der Drehachse oder eine gleichwirkende Schrägstellung der Planspiegel 345 auf dem Drehtisch wird auch bei diesem Ausführungsbeispiel erreicht, dass die Ausbreitung des von dem sich drehenden Planspiegel 345 reflektierten Lichts 348 nicht durch den hier aus zwei Sammellinsen bestehenden Kollimator 342 beeinträchtigt wird.
  • Im Unterschied zu den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen ist zwischen dem sich drehenden Planspiegel 345 und dem ortsfesten Planspiegel 352 eine weitere Sammellinse 362 angeordnet, die das auftreffende kollimierte Licht 348 auf den ortsfesten Planspiegel 352 fokussiert. Das Bild des Austrittsfensters 340 entsteht somit direkt auf dem ortsfesten Planspiegel 352. Dejustierungen, wie sie unter anderem durch Vibrationen des sich drehenden Planspiegels 345 verursacht sein können, führen auch bei diesem Ausführungsbeispiel nicht zu Schwankungen der zurück in das Austrittsfenster 340 eingekoppelten Intensität, da durch die optische Konjugation zwischen dem Austrittsfenster 340 und dem ortsfesten Planspiegel 352 stets sichergestellt ist, dass das bei der Bewegung des Planspiegels 345 über den ortsfesten Planspiegel 46 wandernde Bild des Austrittsfensters 340 wieder exakt auf dieses zurück abgebildet wird.
  • Da bei diesem Ausführungsbeispiel das Licht nur zweimal von dem sich drehenden Planspiegel 345 reflektiert wird, ist der Weglängenhub kleiner als bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen. Dafür sind die Totzeiten zwischen den einzelnen Modulationszyklen sehr kurz.
  • Da der sich drehende Spiegel 245 im kollimierten Strahlengang angeordnet ist, bleibt die durch den Kollimator 342 und die Sammellinse 362 bewirkte optische Abbildung unbeeinflusst von der Stellung des jeweils dem kollimierten Lichts 344 ausgesetzten Planspiegels 245.
  • Bei diesem Ausführungsbeispiel stellt der ortsfeste Planspiegel 352 eine erste reflektierende Fläche dar, auf die das Austrittsfenster 340 abgebildet wird. Eine zweite reflektierende Fläche, die plan und bewegbar angeordnet ist, wird durch den sich drehenden Planspiegel 345 gebildet, auf den das vom Kollimator 342 kollimierte Licht 344 trifft.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 19963161 A1 [0008]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - N. Delachenal et al. mit dem Titel ”Robust and rapid optical low-coherence reflectometer using a polygon mirror”, Optics Communications 162 (1999), Seiten 195–199 [0002]
    • - N. Baksh mit dem Titel ”An autocorrelator-interferometer used to determine the pulse width of a pulsed laser used in two-photon endoscopy”, Thesis MIT, June 25, cita-table URI: http://hdl.handle.net/1721.1/32882 [0007]
    • - N. Delachenal mit dem Titel ”Robust and rapid optical low-coherence reflectometer using a polygon mirror” [0010]

Claims (19)

  1. Optischer Weglängenmodulator, insbesondere für die Verwendung in einem optischen Kohärenztomographen (10), mit: a) einem optischen Fenster (40; 140; 240; 340), aus dem beim Betrieb des Weglängenmodulators (28; 128; 228; 328) Licht austritt und nach Zurücklegen einer veränderbaren optischen Weglänge wieder eintritt, b) einer ersten reflektierenden Fläche (52; 152; 252; 352), die ortsfest angeordnet ist, c) einer Optik (42; 142; 242; 342, 362), die das optische Fester auf die erste reflektierende Fläche abbildet, und d) einer zweiten reflektierenden Fläche (45; 145; 245; 345), die plan und bewegbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Optik (42; 142; 242; 342, 362) derart ausgelegt ist, dass auf die zweite reflektierende Fläche (45; 145; 245; 345) auftreffendes Licht zumindest im wesentlichen kollimiert ist.
  2. Weglängenmodulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik einen Kollimator (42; 142; 242; 342) umfasst, der im Lichtweg zwischen dem optischen Fenster und der zweiten reflektierenden Fläche (45; 145; 245; 345) angeordnet ist.
  3. Weglängenmodulator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere dritte planare reflektierende Flächen (46, 47; 146, 147; 246, 260) vorgesehen sind, die das von der zweiten reflektierenden Fläche (45; 145; 245) reflektierte Licht zurück auf den Kollimator (42; 142; 242) richten, der das Licht auf die erste reflektierende Fläche fokussiert (52; 152; 252).
  4. Weglängenmodulator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der dritten reflektierenden Flächen (46; 146; 246, 260) ortsfest derart angeordnet ist, dass sie auftreffendes kollimiertes Licht in sich zurückreflektiert.
  5. Weglängenmodulator nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die erste reflektierende Fläche (52; 152; 252) und das optische Fenster (40; 140; 240) zumindest im wesentlichen koplanar angeordnet sind.
  6. Weglängenmodulator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dass die erste reflektierende Fläche (52; 152; 252) in unmittelbarer Nähe des optischen Fensters (40; 140; 240) angeordnet ist. (da durch Dejustierung und Vibrationen nur kleine Abweichungen entstehen)
  7. Weglängenmodulator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der kürzeste Abstand zwischen der ersten reflektierenden Fläche (52; 152; 252) und dem optischen Fenster (40; 140; 240) kleiner als die größte Quererstreckung des optischen Fensters ist.
  8. Weglängenmodulator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Fenster (40; 140; 240) das Lichtaustrittsfenster einer optischen Faser (26) ist, die einen lichtführenden Faserkern und einen Fasermantel (50) aufweist, und dass die erste reflektierende Fläche (52; 152; 252) durch eine reflektierende Beschichtung gebildet wird, die auf einer Stirnfläche des Fasermantels (50) aufgebracht ist.
  9. Weglängenmodulator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite reflektierende Fläche (45; 145; 245; 345) um eine Drehachse (36; 136) drehbar angeordnet ist.
  10. Weglängenmodulator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite reflektierende Fläche (45; 145; 245; 345) auf einer um die Drehachse (36; 136) in Drehung versetzbare Tragstruktur, insbesondere einem Drehtisch (34; 134; 234), angeordnet ist.
  11. Weglängenmodulator nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere zweite reflektierende Flächen (45; 145; 245; 345) auf einer zur Drehachse (36; 136) konzentrischen Kreislinie angeordnet sind.
  12. Weglängenmodulator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils zwei benachbarte zweite reflektierende Flächen (45; 145; 245; 345) den gleichen Winkel einschließen.
  13. Weglängenmodulator nach Anspruch 3 und nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Gruppen, die jeweils eine zweite (45; 145) und mindestens eine der dritten (47; 147) reflektierenden Flächen umfassen, gemeinsam auf der Tragstruktur (34; 134) angeordnet sind.
  14. Weglängenmodulator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gruppe eine zweite (45) und eine dritte reflektierende Fläche (47) aufweist, die zueinander einen Winkel von 90° einschließen.
  15. Weglängenmodulator nach Anspruch 4 und nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das auf die ortsfeste dritte reflektierende Fläche (47) auftreffende Licht sich entlang einer ersten Ausbreitungsrichtung (48) ausbreitet, die einen Winkel zu einer zweiten Ausbreitungsrichtung (44) einschließt, entlang der sich das Licht zwischen dem Kollimator (42) und der zweiten reflektierenden Fläche (45) ausbreitet, und dass die Drehachse (36) parallel zu einer durch die erste und die zweite Ausbreitungsrichtung definierten Ebene verläuft.
  16. Weglängenmodulator nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (36) einen von 90° verschiedenen Winkel (α) zu der zweiten Ausbreitungsrichtung (44) einschließt.
  17. Weglängenmodulator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gruppe eine zweite (145) und eine dritte reflektierende Fläche (147) aufweist, die zueinander einen Winkel von 45° einschließen.
  18. Weglängenmodulator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik (342, 362) eine von dem Kollimator (342) verschiedene Teiloptik (362) mit Sammelwirkung aufweist, die im Lichtweg zwischen der ersten reflektierenden Fläche (352) und der zweiten reflektierenden Fläche (345) angeordnet und so ausgelegt ist, dass sie von der zweiten reflektierenden Fläche (345) reflektiertes Licht auf die erste reflektierende Fläche (352) fokussiert.
  19. Optischer Kohärenztomograph mit: a) einer Lichtquelle (12), b) einem Lichtteiler (18), c) einem Detektor (32), d) einem Messarm (26) und mit e) einem Referenzarm (30), in dem ein optischer Weglängenmodulator (28; 128; 228; 328) nach einem der vorhergehenden Ansprüche angeordnet ist.
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