DE102008056886B3

DE102008056886B3 - Fluidischer Zylinder mit einer Mikrowellen-Messanordnung zur Erfassung wenigstens eines Parameters

Info

Publication number: DE102008056886B3
Application number: DE200810056886
Authority: DE
Inventors: Thomas Dr. Reininger; Marcus Dr. Maier; Lothar Dr. Geisbusch; Wolfgang Mechler
Original assignee: Festo SE and Co KG
Current assignee: Festo SE and Co KG
Priority date: 2008-11-12
Filing date: 2008-11-12
Publication date: 2009-10-08
Anticipated expiration: 2028-11-13

Abstract

Es wird ein fluidischer Zylinder mit einer Mikrowellen-Messanordnung zur Erfassung wenigstens eines Parameters vorgeschlagen, die eine Mikrowellen-Koppelsonde (20) in oder an einem Zylinderdeckel (15) zur Einkopplung einer Hohlleiterwelle in den angrenzenden Zylinderraum (13) und zur Auskopplung und Erfassung der von einem Kolben (12) reflektierten Hohlleiterwellen aufweist. Der Kolben besitzt ein rohrförmiges Dämpfungsglied (22) zur Endlagendämpfung, das in der Endlage in einen entsprechenden am oder im Zylinderdeckel (15) angeordneten als Dämpfungshohlraum ausgebildeten ersten Ringkanal (21) eingreift, welcher die Koppelsonde (20) umgibt. Ein den Dämpfungshohlraum konzentrisch umgreifender zweiter Ringkanal (25) ist im metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) angeordnet, von dem aus wenigstens eine Drosselausströmleitung (26) und eine Einströmleitung (28) zur Außenseite des Zylinderdeckels geführt sind. Die zylinderinnenraumseitige Mündung des zweiten Ringkanals (25) ist mit einer ersten, eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisenden elektrisch leitenden Ringscheibe (30) versehen, die zum einen ein großes Durchströmvolumen ermöglicht und zum anderen im metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) gebildeten Hochfrequenz-Ströme ungehindert radial nach außen führen kann.

Description

Die Erfindung betrifft einen fluidischen Zylinder mit einer Mikrowellen-Messanordnung zur Erfassung wenigstens eines Parameters, die eine Mikrowellen-Koppelsonde in oder an einem Zylinderdeckel des Zylinders aufweist zur Einkopplung einer Hohlleiterwelle in den angrenzenden Zylinderraum und zur Auskopplung und Erfassung der von einem Kolben im Zylinder reflektierten Hohlleiterwelle, und mit einer Endlagendämpfungsanordnung für den Kolben, der hierzu ein rohrförmiges Dämpfungsglied besitzt, das in der Endlage in einen entsprechenden am oder im Zylinderdeckel angeordneten, als Dämpfungshohlraum ausgebildeten ersten Ringkanal eingreift, welcher die Koppelsonde umgibt.
Bei einem derartigen, aus der US 4 588 953 bekannten Zylinder verbindet eine kombinierte Ein- und Ausströmleitung den Zylinderraum mit einem die Koppelsonde umgebenden, als Dämpfungshohlraum ausgebildeten Ringkanal, der wiederum mit der Außenseite des Zylinderdeckels verbunden ist. Die unsymmet risch im Zylinderinnenraum mündende Leitung stört die Rotationssymmetrie und regt den unerwünschten H₁₁-Grundmode der Mikrowellen an. Weiterhin muss bei ausfahrendem Kolben das einströmende Fluid so lange durch die enge Verbindungsleitung strömen, bis das Dämpfungsglied am Kolben den als Dämpfungshohlraum dienende Ringkanal verlassen hat. Dies führt zu Verzögerungen bei der Bewegung des Kolbens weg vom Zylinderdeckel. Würde man bei der bekannten Anordnung den Querschnitt der Verbindungsleitung vergrößern, so würde zum einen die Dämpfungswirkung vermindert und die dann größere Mündung im Zylinderinnenraum würde zu größerer Unsymmetrie der Hochfrequenz-Ströme führen, was sich ungünstig auf das Messergebnis auswirkt.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein fluidischen Zylinder der eingangs genannten Gattung zu schaffen, bei dem trotz großem Querschnitt der Einströmleitung bei symmetrischer Anordnung die Hochfrequenz-Ströme ungehindert fließen können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen fluidischen Zylinder mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Der den Dämpfungshohlraum konzentrisch umgreifende zweite Ringkanal ist in vorteilhafter Weise sowohl mit der Drossel ausströmleitung, wie auch mit der Einströmleitung verbunden und kann bei dieser Anordnung mit großem Luftquerschnitt ausgebildet werden, was eine schnelle Belüftung des Zylinderinnenraums gewährleistet. Andererseits stellt er in vorteilhafter Weise eine symmetrische konzentrische Anordnung dar, die von der elektrisch leitenden Ringscheibe mündungsseitig überdeckt ist. Hierdurch können die Hochfrequenz-Ströme nahezu ungehindert radial nach außen fließen bei gleichzeitig großem Volumenstrom des Fluids. Durch die symmetrische Anordnung besteht keine Gefahr, dass der unerwünschte H₁₁-Grundmode der Mikrowellen gebildet wird.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Zylinders möglich.
Ein erster am Zylinderinnenraum mündender Bereich des ersten Ringkanals ist radial außen durch ein insbesondere als Kolbenanschlagglied dienendes Kunststoffteil und radial innen durch eine Kunststoffeinbettung der Koppelsonde begrenzt, um bei hoher Festigkeit der Konstruktion eine gute Mikrowellenabstrahlung zu gewährleisten. Hierzu ist auch das insbesondere als Kolbenanschlagglied dienende Kunststoffteil in einer topfartigen Ausnehmung des metallischen Bereichs des Zylinderdeckels angeordnet, so dass aus diesem metallischen Be reich die Koppelsonde frei und ohne metallische Umgebung hervorsteht. Hierbei ist bevorzugt die zum Zylinderinnenraum hingewandte, insbesondere als Kolbenanschlagfläche ausgebildete Stirnfläche dieses Kunststoffteils im Wesentlichen in der Ebene der ersten Ringscheibe positioniert.
Das Kunststoffteil trägt auch eine Ringdichtung, die beim Eintauchen des Dämpfungsglieds in den ersten Ringkanal an diesem dichtend anliegt. Diese Ringdichtung kann in vorteilhafter Weise feststehend ausgebildet sein, da sie für die Einströmung von Fluid nicht benötigt wird.
Ein konstruktiver Aufbau der in der zylindrischen Kunststoffeinbettung angeordneten Koppelsonde mit einem rohrförmigen Bereich, in der eine HF-Zuleitung konzentrisch eingreift, hat sich als besonders günstig für einen exakten und störungsfreien Messvorgang erwiesen.
Ein zweiter Bereich des ersten Ringkanals reicht in den metallischen Bereich des Zylinderdeckels hinein. Dieser zweite Bereich des ersten Ringkanals ist entsprechend dem zweiten Ringkanal durch eine eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisende elektrisch leitende Ringscheibe überbrückt, um den ungestörten Fluss der Hochfrequenz-Ströme nicht zu behindern, die von Ringkanälen herrührende breite Spalte im Allgemeinen nicht ohne weiteres überwinden können und somit über solche hinweggeleitet werden müssen.
Der zweite Bereich des ersten Ringkanals ist zweckmäßigerweise über einen Verbindungskanal mit der Außenseite des Zylinderdeckels verbunden, wobei die Drosselausströmleitung insbesondere an diesem Verbindungskanal mündet. Auch die Einströmleitung mündet am zweiten Bereich des ersten Ringkanals, wobei alle diese Leitungen im metallischen Bereich des Zylinderdeckels angeordnet sind und somit die Mikrowellen bzw. Hohlleiterwellen nicht beeinflussen können. Dies trifft auch für ein in der Drosselausströmleitung angeordnetes einstellbares Drosselglied und für ein in der Einströmleitung angeordnetes Rückschlagventil zu, die ebenfalls dadurch im metallischen Bereich des Zylinderdeckels angeordnet sind. Durch das in der Einströmleitung angeordnete Rückschlagventil kann eine feststehende Ringdichtung zur Abdichtung des Dämpfungsglieds am Kolben bei dessen Eindringen in den Dämpfungshohlraum verwendet werden im Gegensatz zu bekannten Anordnungen, die hierzu eine bewegliche Dichtung mit undefinierter Dichtungsposition verwenden. Die feststehende Ringdichtung verhindert im Gegensatz zu einer beweglichen Ringdichtung eine Beeinflussung der Hohlleiterwellen.
Ein HF-Generator und/oder eine elektronische Auswerteschaltung sind zweckmäßigerweise im metallischen Bereich des Zylinderdeckels oder an dessen Außenseite angeordnet. Prinzipiell möglich bei allerdings dann größeren Zuleitungsproblemen wäre auch eine räumlich entfernte Anordnung.
Die elektrisch leitenden Ringscheiben weisen in vorteilhafter Weise eine Vielzahl von radialen Streben oder Durchgangslöchern auf, die vorzugsweise einen Abstand untereinander von maximal 1/20 Freiraum-Wellenlänge der erzeugten Mikrowellen beträgt. Hierdurch wird der Fluss der Hochfrequenz-Ströme und das Messergebnis so gut wie nicht behindert oder beeinflusst.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
1 eine Längsschnittdarstellung eines endseitigen Bereichs eines fluidischen Zylinders mit einer Mikrowellen-Messanordnung,
2 eine Draufsicht auf die Stirnseite des Zylinderdeckels im Inneren des Zylinders, wobei eine im Durchmesser größere, Durchbrüche aufweisende Ringscheibe zur Überbrückung des zweiten Ringkanals und eine im Durchmesser kleinere, Durchbrüche aufwei sende Ringscheibe zur Überbrückung des ersten Ringkanals zu erkennen sind,
3 eine alternative Ausführung der Ringscheibe mit größerem Durchmesser,
4 eine Einzeldarstellung der in 2 dargestellten Ringscheibe mit kleinerem Durchmesser und
5 eine alternative Ausführung der Ringscheibe mit kleinerem Durchmesser.
Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist in einem fluidischen Zylinder 10 ein mit einer Kolbenstange 11 versehener Kolben 12 verschiebbar geführt. Der Kolben 12 teilt den Innenraum des Zylinders 10 in zwei Zylinderkammern 13, 14 auf, wobei der von der Kolbenstange 11 abgewandte Endbereich des Zylinders 10 durch einen Zylinderdeckel 15 abgeschlossen ist. Auf Seiten der Kolbenstange 11 kann der Zylinder 10 ebenfalls durch einen nicht näher dargestellten Zylinderdeckel abgeschlossen sein, durch den die Kolbenstange 11 hindurchgeführt ist. Die Erfindung ist jedoch nicht auf mit Kolbenstangen versehene Kolben beschränkt, sondern umfasst auch bekannte kolbenstangenlose Kolben.
In 1 ist zur Vereinfachung der Zylinderdeckel 15 einstückig mit dem Zylinderrohr 16 des Zylinders 10 dargestellt, während der Zylinderdeckel 15 bei realen Ausführungsformen üblicherweise angeflanscht bzw. angeschraubt ist.
Der Zylinderdeckel 15 weist einen metallischen Außenbereich 17 auf, der zum Zylinderinnern hin eine topfartige Ausnehmung 18 aufweist, in die ein Einsatz 19 aus einem dielektrischen Material, beispielsweise Kunststoff, eingesetzt ist. Dieser konzentrisch ausgebildete und angeordnete Einsatz 19 dient als Kolbenanschlagglied für den Kolben 12. In eine Durchgangsbohrung 6 des Einsatzes 19 ragt ein zylindrischer Körper 7 aus einem dielektrischen Material, beispielsweise Kunststoff, in dem ebenfalls konzentrisch eine als Sende- und Empfangsantenne dienende Mikrowellen-Koppelsonde 20 eingebettet ist. Dieser zylindrische Körper 7 ist an einem entsprechend geformten zylindrischen Bereich 8 des metallischen Außenbereichs 17 des Zylinderdeckels 15 verankert, wobei zwischen dem die Mikrowellen-Koppelsonde 20 enthaltenden zylindrischen Körper 7 und dem Einsatz 19 ein Ringkanal 21 gebildet wird, der sich bis in den metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 hinein fortsetzt.
Am Kolben 12 ist auf seiten der sich zum Zylinderdeckel 15 hin erstrecken Zylinderkammer 13 ein rohrförmiger Pufferkol ben 22 als Dämpfungsglied angebracht, der so dimensioniert ist, dass er bei Annäherung des Kolbens 12 an die entsprechende Endstellung in den Ringkanal 21 eintauchen kann. Dieser Ringkanal 21 ist im metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 mit einem radialen Verbindungskanal 23 verbunden, der zur Außenseite des Zylinderdeckels 15 geführt, also mit dem den Zylinder 10 umgebendem Medium verbunden ist. Hierdurch kann das in der Zylinderkammer 13 enthaltene Fluid bei einer Bewegung des Kolbens 12 gegen den Zylinderdeckel 15 so lange durch den Ringkanal 21 und den Verbindungskanal 23 nach außen strömen, bis der Pufferkolben 22 in den Ringkanal eindringt, wobei sich eine im Einsatz 19 eingelassene feststehende Ringdichtung 24 dichtend an dem Pufferkolben 22 anlegt und somit eine weitere Fluidströmung durch den Ringkanal 21 verhindert.
In dem den Einsatz 19 radial umgreifenden metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 ist konzentrisch ein zweiter Ringkanal 25 angeordnet, der in der Zylinderkammer 13 mündet. Von diesem zweiten Ringkanal 25 aus erstreckt sich eine Drosselausströmleitung 26 durch den metallischen Außenbereich 17 bis zum radialen Verbindungskanal 23. In dieser Drosselausströmleitung 26 ist ein einstellbares Drosselglied 27 angeordnet, das beispielsweise von außen eingestellt werden kann. Im einfachsten Falle kann es sich auch um ein nicht einstellbares Drosselglied handeln, das durch eine Leitungsverengung oder durch einen kleinen Querschnitt der Drosselausströmleitung 26 gebildet wird. Wenn der Pufferkolben 22 des sich dem Zylinderdeckel 15 annähernden Kolbens 12 die Ringdichtung 24 erreicht und dadurch das Ausströmen von Fluid durch den ersten Ringkanal 21 sperrt, kann das Fluid nur noch gedrosselt durch die Drosselausströmleitung 26 ausströmen, wodurch eine Endlagendämpfung für den Kolben 12 erreicht wird.
Wenn der Kolben 12 wieder aus seiner Endstellung ausfährt, kann Fluid über eine Einströmleitung 28 und den zweiten Ringkanal 25 in die Zylinderkammer 13 einströmen, wobei diese Einströmleitung 28 im metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 verläuft und den mit dem Verbindungskanal 23 verbundenen ersten Ringkanal 21 über ein Rückschlagventil 29 mit dem zweiten Ringkanal 25 verbindet. Dieses Rückschlagventil 29 verhindert eine zum Verbindungskanal 23 und damit nach außen gerichtete Fluidströmung.
Bei der Abstrahlung von Mikrowellen bzw. Hohlleiterwellen durch die Mikrowellen-Koppelsonde 20 werden Hochfrequenz-Ströme in dem als Gegenpol wirkenden metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 gebildet. Diese Hochfrequenz-Ströme können große Löcher und Ringkanäle nicht direkt über winden, was sich bei der Bildung von Hohlleiterwellen ungünstig auswirkt. Aus diesem Grunde ist die Mündung des zweiten Ringkanals 25 zur Zylinderkammer 13 hin durch eine elektrisch leitende Ringscheibe 30 überbrückt, die eine Vielzahl von radialen metallischen Streben 31 besitzt, über die die Hochfrequenz-Ströme ungehindert radial nach außen fließen können. Die Zwischenräume zwischen den metallischen Streben 31 bilden insgesamt einen für hohe Volumenströme des Fluids geeigneten Durchlass, was sich insbesondere bei der Einströmung von Fluid über das Rückschlagventil 29 günstig auswirkt. Der Abstand der Streben 31 sollte maximal 1/20 der Freiraum-Wellenlänge der Mikrowellen betragen.
Entsprechend ist der erste Ringkanal 21 im metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 durch eine entsprechend kleinere elektrisch leitende Ringscheibe 32 überbrückt, die ebenfalls radiale metallische Streben 33 besitzt, deren Abstände ebenfalls einen hohen Volumenstrom des Fluids zulassen. Bezüglich der Hochfrequenz-Ströme dienen diese metallischen Streben 33 demselben Zweck. Diese Ringscheibe 32 ist in 4 nochmals separat dargestellt.
Im metallischen Außenbereich 17 des Zylinderdeckels 15 ist in einem entsprechenden Hohlraum 34 ein HF-Generator 35 zur Speisung der Mikrowellen-Koppelsonde 20 angeordnet, mit der er über eine HF-Leitung 36 verbunden ist. Die Mikrowellen-Koppelsonde 20 ist rohrförmig ausgebildet und umgreift den Endbereich der HF-Leitung 36 konzentrisch. Andere bekannte Geometrien von Mikrowellen-Koppelsonden können hier ebenfalls eingesetzt werden, sofern sie im zylindrischen Körper 7 Platz finden. Die Mikrowellen-Koppelsonde 20 erzeugt Hohlleiterwellen im Zylinderinneren, die vom Kolben 12 reflektiert und wieder zur Koppelsonde 20 zurückgelangen. Dies dient beispielsweise zur Erfassung der Position des Kolbens 12 oder dessen Geschwindigkeit oder Beschleunigung. Die Auswertung erfolgt in an sich bekannter und üblicher Weise beispielsweise durch Phasenvergleich der abgestrahlten und zurückreflektierten Hohlleiterwelle. Die Auswertung erfolgt in einer Auswerteeinrichtung, die beispielsweise innerhalb des Zylinderdeckels 15 am oder integriert im HF-Generator 35 angeordnet ist. Anordnungen außerhalb des Zylinders 10, beispielsweise am Zylinderdeckel 15, sind ebenfalls möglich. Eine solche Auswerteeinrichtung ist beispielsweise in der DE 102 05 904 A1 oder im eingangs angegebenen Stand der Technik beschrieben.
Anstelle der elektrisch leitenden Ringscheibe 30 mit metallischen Streben 31 kann auch die in 3 dargestellte Ringscheibe 37 treten, die eine Vielzahl von Bohrungen 38 als Fluiddurchtrittsöffnungen besitzt, zwischen denen elektrisch leitende Stege 39 für die Hochfrequenz-Ströme vorliegen.
Entsprechend kann die in den 2 und 4 dargestellte kleinere Ringscheibe 32 durch die in 5 dargestellte Ringscheibe 40 ersetzt werden, die ebenso wie die Ringscheibe 37 Bohrungen 41 und Stege 42 besitzt.

Claims

Fluidischer Zylinder mit einer Mikrowellen-Messanordnung zur Erfassung wenigstens eines Parameters, die eine Mikrowellen-Koppelsonde (20) in oder an einem Zylinderdeckel (15) des Zylinders (10) aufweist zur Einkopplung einer Hohlleiterwelle in den angrenzenden Zylinderraum (13) und zur Auskopplung und Erfassung der von einem Kolben (12) im Zylinder (10) reflektierten Hohlleiterwelle, und mit einer Endlagendämpfungsanordnung für den Kolben (12), der hierzu ein rohrförmiges Dämpfungsglied (22) besitzt, das in der Endlage in einen entsprechenden am oder im Zylinderdeckel (15) angeordneten, als Dämpfungshohlraum ausgebildeten ersten Ringkanal (21) eingreift, welcher die Koppelsonde (20) umgibt, dadurch gekennzeichnet, dass ein den Dämpfungshohlraum (21) konzentrisch umgreifender zweiter Ringkanal (25) in einem metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) angeordnet ist, von dem aus wenigstens eine Drosselausströmleitung (26) und eine Einströmleitung (28) in diesem metallischen Bereich (17) zur Außenseite des Zylinderdeckels (15) geführt sind, und dass die zylinderinnenraumseitige Mündung des zweiten Ringkanals (25) mit einer ersten, eine Vielzahl von Durchbrüchen (38) aufweisenden elektrisch leitenden Ringscheibe (30; 37) versehen ist.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster am Zylinderinnenraum (13) mündender Bereich des ersten Ringkanals (21) radial außen durch ein insbesondere als Kolbenanschlagglied dienendes Kunststoffteil (19) und radial innen durch eine Kunststoffeinbettung (7) der Koppelsonde (20) begrenzt ist.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das insbesondere als Kolbenanschlagglied dienende Kunststoffteil (19) in einer topfartigen Ausnehmung (18) des metallischen Bereichs (17) des Zylinderdeckels (15) angeordnet ist.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zum Zylinderinnenraum (13) hin gewandte, insbesondere als Kolbenanschlagfläche ausgebildete Stirnfläche des Kunststoffteils (19) im Wesentlichen in der Ebene der ersten Ringscheibe (30; 37) positioniert ist.
Fluidischer Zylinder nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Kunststoffteil (19) eine Ringdichtung (24) trägt, die beim Eintauchen des Dämpfungsglieds (22) in den ersten Ringkanal (21) an diesem dichtend anliegt.
Fluidischer Zylinder nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die in der zylindrischen Kunststoffeinbettung (7) angeordnete Koppelsonde (20) einen rohrförmigen Bereich besitzt, in den eine HF-Zuleitung (36) konzentrisch eingreift.
Fluidischer Zylinder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Bereich des ersten Ringkanals (21) in den metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) hineinreicht.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Bereich des ersten Ringkanals (21) durch eine eine Vielzahl von Durchbrüchen (38) aufweisende elektrisch leitende Ringscheibe (32; 40) überbrückt ist.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Bereich des ersten Ringkanals (21) über einen Verbindungskanal (23) mit der Außenseite des Zylinderdeckels verbunden ist, wobei die Drosselausströmleitung (26) insbesondere an diesem Verbindungskanal (23) mündet.
Fluidischer Zylinder nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Einströmleitung (28) am zweiten Bereich des ersten Ringkanals (21) mündet.
Fluidischer Zylinder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Drosselausströmleitung (26) ein einstellbares Drosselglied (27) angeordnet ist.
Fluidischer Zylinder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Einströmleitung (28) ein Rückschlagventil (29) angeordnet ist.
Fluidischer Zylinder nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Drosselglied (27) und/oder das Rückschlagventil (29) im metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) angeordnet ist.
Fluidischer Zylinder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein HF-Generator (35) und/oder eine Auswerteeinrichtung im metallischen Bereich (17) des Zylinderdeckels (15) oder an dessen Außenseite angeordnet ist.
Fluidischer Zylinder nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch leitende Ringscheibe (30, 32, 37, 40) eine Vielzahl von radialen Streben (31, 33, 39, 42) und/oder Durchgangslöchern (38) aufweist, die vorzugsweise einen Abstand untereinander von maxi mal 1/20 der Freiraum-Wellenlänge der erzeugten Mikrowellen beträgt.