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Die
Erfindung betrifft einen Massenstromsensor und insbesondere einen
Massenstromsensor für einen Luftmassensensor für
ein Kraftfahrzeug.
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Massenstromsensoren
sind geeignet zum Erfassen eines Massenstroms eines Fluids in einem Strömungskanal.
Ein derartiger Strömungskanal kann beispielsweise ein Ansaugtrakt
einer Brennkraftmaschine sein. Abhängig von dem durch den Massenstromsensor
erfassten Massenstrom können Diagnosen beispielsweise des
Betriebs der Brennkraftmaschine durchgeführt werden als
auch eine Steuerung der Brennkraftmaschine erfolgen. Zu diesen Zwecken
ist ein auch unter unterschiedlichen Betriebsbedingungen zuverlässiges
und möglichst präzises Erfassen des tatsächlichen
Massenstroms wichtig.
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DE 197 24 659 A1 offenbart
eine Massenstromsensorvorrichtung, die ein Sensorelement umfasst.
Das Sensorelement ist auf einem eigenen Chip angeordnet und integriert.
Ferner ist eine Auswerteelektronik offenbart, die separat ausgebildet
ist, aber mit der Sensoreinheit elektrisch gekoppelt ist.
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DE 42 19 454 C2 offenbart
eine Massenstromsensorvorrichtung mit einem Messchip, der mittels
Bonddrähten mit anderen Schaltkreisen elektrisch gekoppelt
ist. Ferner ist eine Wandung der Massenstromsensorvorrichtung derart
mit dem Messchip in Kontakt, dass ein Anschlussbereich auf dem Messchip
von dem Strömungskanal, in dem ein Sensorelement des Messchips
angeordnet ist, räumlich getrennt ist.
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Die
Aufgabe der Erfindung ist, einen Massenstromsensor und ein Kraftfahrzeug
mit dem Massenstromsensor anzugeben, der bzw. das besonders zuverlässig
betreibbar ist.
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Die
Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale der unabhängigen
Patentansprüche. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung
sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
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Die
Erfindung zeichnet sich gemäß einem ersten Aspekt
aus durch einen Massenstromsensor, der zumindest ein Sensorelement
aufweist, mittels dessen ein Massenstrom eines Fluidstroms erfassbar
ist. Ferner weist der Massenstromsensor einen Sensorchip auf, der
eine erste Chipseite und eine zweite gegenüberliegende
Chipseite aufweist. Auf der ersten Chipseite ist das zumindest eine
Sensorelement und auf der zweiten Chipseite ist zumindest ein elektrischer
Kontakt angeordnet. Der zumindest eine elektrische Kontakt ist mittels
zumindest einer elektrischen Verbindung mit dem zumindest einen Sensorelement
elektrisch gekoppelt. Der Massenstromsensor weist ferner ein Sensorträgerelement auf,
das zumindest eine elektrische Leitung und zumindest einen elektrischen
Kontaktbereich aufweist. Der elektrische Kontaktbereich ist mit
der zumindest einen elektrischen Leitung elektrisch gekoppelt. Der Sensorchip
ist derart auf dem Sensorträgerelement angeordnet, dass
der zumindest eine elektrische Kontakt auf der zweiten Chipseite
des Sensorchips mit dem zumindest einen elektrischen Kontaktbereich
des Sensorträgerelementes elektrisch gekoppelt ist. Dies
hat den Vorteil, dass der Massenstromsensor dadurch besonders robust
und zuverlässig ausgebildet ist, um den Massenstrom des
Fluidstromes zu ermitteln. Das Fluid kann als ein Gas oder eine
Flüssigkeit ausgebildet sein. Das Fluid ist insbesondere
Luft, so dass der Massenstromsensor insbesondere in einem Luftmassensensor
nutzbar ist. Die elektrische Leitung kann beispielsweise als eine
auf dem Sensorträgerelement aufgebrachte Leiterbahn, so
z. B. als eine aufgeklebte Leiterbahn, ausgebildet sein. Der Sensorchip
ist typischerweise in einem Strömungskanal angeordnet und
in diesem dem Fluidstrom aussetzbar. Dabei ist vorzugsweise eine Wandung
als Medientrennung vorgesehen, die derart angeordnet ist, dass ein
Teil des Massenstromsensors, so z. B. der Sensorchip, dem Strömungskanal zugeordnet
ist, während ein ande rer Teil des Massenstromsensors von
dem Strömungskanal räumlich getrennt ist. Die
Wandung kann aufgrund der elektrischen Kopplung des Sensorelementes
mit der elektrischen Leitung des Sensorträgerelementes
besonders zuverlässig ausgebildet werden. Insbesondere kann
der Massenstromsensor besonders zuverlässig betrieben werden,
da keine freiverlaufenden elektrischen Drähte, so z. B.
Bonddrähte, vorhanden sind, die durch die Wandung beschädigt
werden könnten. Aufgrund der Anordnung des zumindest einen
elektrischen Kontaktes auf der zweiten Chipseite des Sensorchips,
ist auch der elektrische Kontakt und der elektrische Kontaktbereich
vor Feuchtigkeit und Partikeln, die im Fluidstrom transportiert
werden, geschützt.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung des ersten Aspekts umfasst die
elektrische Verbindung eine elektrische Durchkontaktierung durch
den Sensorchip von der ersten Chipseite zu der zweiten Chipseite.
Dies ermöglicht eine besonders zuverlässige elektrische
Verbindung zwischen dem zumindest einen Sensorelement und dem zumindest
einen elektrischen Kontakt. Vorzugsweise ist die zumindest eine
elektrische Durchkontaktierung direkt mit dem zumindest einen elektrischen
Kontakt elektrisch gekoppelt. Die elektrische Durchkontaktierung
ist vorzugsweise als vertikale elektrische Durchkontaktierung ausgebildet.
Der zumindest eine elektrische Kontakt ist beispielsweise als Lotpunkt
oder als elektrisch leitender Klebepunkt ausgebildet.
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Die
Erfindung zeichnet sich gemäß einem zweiten Aspekt
aus durch einen Massenstromsensor, der zumindest ein Sensorelement
aufweist, mittels dessen ein Massenstrom eines Fluidstromes ermittelbar
ist. Der Massenstromsensor weist ferner ein Sensorträgerelement
auf, das zumindest eine elektrische Leitung aufweist. Darüber
hinaus weist der Massenstromsensor einen Sensorchip auf, der eine erste
Chipseite und eine zweite gegenüberliegende Chipseite aufweist.
Der Sensorchip ist mit seiner zweiten Chipseite mit dem Sensorträgerelement
gekoppelt. Auf der ersten Chipseite ist das zumindest eine Sen sorelement
angeordnet. Das zumindest eine Sensorelement ist mittels zumindest
einer elektrischen Verbindung mit der zumindest einen elektrischen
Leitung des Sensorträgerelementes elektrisch gekoppelt.
Vorzugsweise erfolgt die elektrische Kontaktierung der zumindest
einen elektrischen Verbindung mit der zumindest einen elektrischen
Leitung des Sensorträgerelementes direkt neben einer Verbindungsstelle
der zweiten Chipseite des Sensorchips mit dem Sensorträgerelement.
Dies hat den Vorteil, dass der Massenstromsensor besonders zuverlässig
betreibbar ist.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung des ersten und zweiten Aspekts
umfasst die zumindest eine elektrische Verbindung zumindest eine
Oberflächenleiterbahn, die entlang einer Oberfläche
des Sensorchips angeordnet ist. Dies hat den Vorteil, dass die elektrische
Verbindung besonders einfach ausführbar ist. So kann die
zumindest eine Oberflächenleiterbahn beispielsweise als
zumindest eine auf die Oberfläche des Sensorchips aufgeklebte
Leiterbahn ausgebildet sein. Grundsätzlich ist es auch
möglich, dass zumindest eine der zumindest einen elektrischen
Verbindung die zumindest eine Oberflächenleiterbahn umfasst
und zumindest eine weitere der zumindest einen elektrischen Verbindung
die zumindest eine elektrische Durchkontaktierung umfasst.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des ersten und zweiten
Aspekts weist der Massenstromsensor eine Auswerteeinheit auf, die
mittels der zumindest einen elektrischen Leitung des Sensorträgerelementes
mit dem zumindest einen Sensorelement elektrisch gekoppelt ist.
Die Auswerteeinheit ist ausgebildet, mittels des zumindest einen
Sensorelementes den Massenstrom des Fluidstromes zu ermitteln. Dies
hat den Vorteil, dass die Wandung als Medientrennung aufgrund der
elektrischen Kopplung des Sensorelementes mit der elektrischen Leitung des
Sensorträgerelementes besonders einfach und zuverlässig
ausgebildet werden kann. Insbesondere kann die Auswerteeinheit besonders
zuverlässig von dem Strömungskanal räumlich
getrennt werden und somit vor Feuchtigkeit und Partikeln in dem
Fluidstrom geschützt werden.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des ersten und zweiten
Aspekts ist das Sensorträgerelement als Leadframe ausgebildet.
Beispielsweise ist das als Leadframe ausgebildete Sensorträgerelement
als Blechstanzbauelement ausgebildet und weist bereits eine elektrische
Leitfähigkeit auf. Dies hat den Vorteil, dass bereits das
Sensorträgerelement als zumindest eine elektrische Leitung
ausgebildet ist und zur elektrischen Kopplung des zumindest einen
Sensorelementes mit vorzugsweise der Auswerteeinheit nutzbar ist.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des ersten und zweiten
Aspekts ist der erste Sensorchip zumindest als Teil einer Medientrennung
ausgebildet. Die Medientrennung ist ausgebildet, die Auswerteeinheit
von dem Fluidstrom räumlich zu trennen. Dies ermöglicht
eine besonders einfache und kostengünstige Ausführung
der Medientrennung.
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Die
Erfindung zeichnet sich gemäß einem dritten Aspekt
aus durch ein Kraftfahrzeug, das zumindest einen Massenstromsensor
gemäß dem ersten oder zweiten Aspekt aufweist.
Vorzugsweise weist das Kraftfahrzeug eine Brennkraftmaschine auf.
Dabei ist der zumindest eine Massenstromsensor vorzugsweise in einem
Ansaugtrakt der Brennkraftmaschine angeordnet und in diesem insbesondere
während eines Betriebs der Brennkraftmaschine einem Luftstrom
als Fluidstrom ausgesetzt.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind im Folgenden anhand der schematischen Zeichnungen näher
erläutert. Es zeigen:
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1 eine
erste Ausführungsform eines Massenstromsensors im Querschnitt,
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2 eine
zweite Ausführungsform eines Massenstromsensors im Querschnitt,
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3 ein
Massenstromsensor als Teil einer Medientrennung im Querschnitt.
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Elemente
gleicher Konstruktion oder Funktion sind figurenübergreifend
mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.
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In 1 ist
eine erste Ausführungsform eines Massenstromsensors LMM
im Querschnitt dargestellt. Der Massenstromsensor LMM kann beispielsweise
in einem Luftmassensensor in einem Kraftfahrzeug angeordnet sein.
Der Massenstromsensor LMM ist zumindest teilweise in einem Strömungskanal
FC angeordnet und in diesem einem Fluidstrom FF, so z. B. einem
Luftstrom, aussetzbar. Der Strömungskanal FC ist beispielsweise
als Bypasskanal eines Gehäusekörpers ausgebildet,
der mit dem Massenstromsensor LMM beispielsweise Bestandteil einer
Massenstromsensorvorrichtung ist, z. B. des Luftmassensensors, die
vorzugsweise stromabwärts zu einem Luftfilter in einem
Ansaugtrakt einer Brennkraftmaschine des Kraftfahrzeugs angeordnet
ist.
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Eine
Strömungsrichtung des Fluidstromes FF in dem Strömungskanal
FC ist in 1 senkrecht in die Figurenebene
hinein verlaufend.
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Der
Massenstromsensor LMM weist einen ersten Sensorchip CHP1, so z.
B. einen Silizium-Chip, auf, der eine erste und eine zweite Chipseite
CHP1_1, CHP1_2 umfasst. Auf der ersten Chipseite CHP1_1 ist ein
Sensorelement SU angeordnet, insbesondere integriert. Das Sensorelement
SU umfasst eine Membran M auf der beispielsweise ein oder mehrere
Temperatursensoren TS angeordnet sind. Der erste Sensorchip CHP1
ist ausgebildet und vorgesehen, in dem Strömungskanal FC
angeordnet zu werden und mit seiner ersten Chipseite CHP1_1 dem
Fluidstrom FF ausgesetzt zu sein. Die zweite Chipseite CHP1_2 ist
jedoch dem Fluidstrom abgewandt angeordnet und diesem nicht ausgesetzt.
Mittels des Sensorelementes SU ist ein Massenstrom des Fluid stromes
FF erfassbar. Der erste Sensorchip CHP1 weist ferner eine elektrische
Durchkontaktierung V auf, die in der 1 vertikal
durch den ersten Sensorchip CHP1 von der ersten zu der zweiten Chipseite
CHP1_1, CHP1_2 verläuft. Die elektrische Durchkontaktierung
V ist beispielsweise als eine Kupfersäule (Copper Pillar
Bump) in dem ersten Sensorchip CHP1 ausgebildet. Alternativ kann
die elektrische Durchkontaktierung V aber auch als Lotkugel (Solder
Ball Bump) oder als eine andere einem Fachmann bekannte Ausführung
ausgebildet sein. Die elektrische Durchkontaktierung V ist auf der
ersten Chipseite CHP1_1 des ersten Sensorchips CHP1 mit einem ersten
Ende einer ersten elektrischen Leitung CP1 elektrisch gekoppelt.
Ein zweites Ende der ersten elektrischen Leitung CP1 ist mit dem
Temperatursensor TS des Sensorelementes SU elektrisch gekoppelt.
Grundsätzlich können auch andere oder zusätzliche
Bauelemente auf der Membran M des Sensorelementes SU angeordnet
sein und mit weiteren ersten elektrischen Leitungen CP1 elektrisch
gekoppelt sein. Die zumindest eine erste elektrische Leitung CP1
ist beispielsweise als eine integrierte Leiterbahn auf dem ersten
Sensorchip CHP1 ausgebildet. Im Bereich der zweiten Chipseite CHP1_2
des ersten Sensorchips CHP1 ist die elektrische Durchkontaktierung
V mit einem elektrischen Kontakt SP elektrisch gekoppelt. Der elektrische
Kontakt SP ist beispielsweise als ein Lotpunkt oder ein elektrisch
leitender Klebepunkt ausgebildet. Auch andere dem Fachmann bekannte
elektrische Kontakte SP sind verwendbar.
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Der
erste Sensorchip CHP1 kann auch mehr als eine elektrische Durchkontaktierung
V und mehr als eine erste elektrische Leitung CP1 aufweisen.
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Alternativ
oder zusätzlich zu der elektrischen Durchkontaktierung
V kann die jeweilige erste elektrische Leitung CP1 auch mit ihrem
jeweils ersten Ende mit einer Oberflächenleiterbahn SCP
elektrisch gekoppelt sein, die entlang einer Oberfläche
des ersten Sensorchips CHP1 angeordnet ist (gepunktet dargestellt
in 1). Grundsätzlich ist es auch möglich, dass
bei mehreren ersten elektrischen Leitungen CP1, zumindest eine der
zumindest einen ersten elektrischen Leitung CP1 mit zumindest einer
Oberflächenleiterbahn SCP elektrisch gekoppelt ist, während
zumindest eine andere der zumindest einen ersten elektrischen Leitung
CP1 mit der zumindest einen elektrischen Durchkontaktierung V elektrisch
gekoppelt ist.
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Die
erste elektrische Leitung CP1 und die elektrische Durchkontaktierung
V und/oder die Oberflächenleiterbahn SCP können
als eine elektrische Verbindung zwischen der ersten Chipseite CHP1_1 und
der zweiten Chipseite CHP1_2 des ersten Sensorchips CHP1 bezeichnet
werden, die das Sensorelement SU mit dem zumindest einen elektrischen Kontakt
SP auf der zweiten Chipseite CHP1_2 des ersten Sensorchips CHP1
elektrisch koppelt.
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Der
Massenstromsensor LMM weist ferner ein Sensorträgerelement
LF auf, das vorzugsweise als Leadframe ausgebildet ist. Das als
Leadframe ausgebildete Sensorträgerelement LF ist beispielsweise
als Blechstanzbauelement ausgebildet und weist von sich aus bereits
eine elektrische Leitfähigkeit auf. Alternativ kann das
Sensorträgerelement LF aber auch als Leiterplatte ausgebildet
sein. Das Sensorträgerelement LF weist zumindest eine zweite elektrische
Leitung CP2 auf, die im Falle des Leadframes als das Leadframe selbst
ausgebildet ist. Ist das Sensorträgerelement LF als Leiterplatte
ausgebildet, ist die zumindest eine zweite elektrische Leitung CP2
beispielsweise als eine aufgeklebte Leiterbahn ausgebildet. Das
Sensorträgerelement LF weist zumindest einen elektrischen
Kontaktbereich CA auf, der mit einem Ende der zumindest einen zweiten elektrischen
Leitung CP2 elektrisch gekoppelt ist.
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Der
erste Sensorchip CHP1 ist vorzugsweise mittels eines Klebers AD
mit seiner zweiten Chipseite CHP1_2 mit dem Sensorträgerelement
LF gekoppelt. Der Kleber AD ist vorzugsweise elektrisch nichtleitend
ausgebildet. Der erste Sensorchip CHP1 ist derart auf dem Sensorträgerelement
LF angeordnet, dass der zumindest eine elektrische Kontakt SP auf der
zweiten Chipseite CHP1_2 des ersten Sensorchips CHP1 mit dem zumindest
einen elektrischen Kontaktbereich CA des Sensorträgerelementes
LF elektrisch gekoppelt ist, wobei der Kleber AD in diesem Bereich
vorzugsweise nicht aufgetragen ist. Die elektrische Kopplung kann
beispielsweise mittels des Lotpunktes oder mittels des elektrisch
leitenden Klebepunktes erfolgen.
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Vorzugsweise
weist der Massenstromsensor LMM einen zweiten Sensorchip CHP2 auf,
der beispielsweise auch als Silizium-Chip ausgebildet ist. Der zweite
Sensorchip CHP2 weist eine Auswerteeinheit auf, so z. B. eine integrierte
Auswerteeinheit. Die Auswerteeinheit auf dem zweiten Sensorchip CHP2
ist mit einem weiteren Ende der zumindest einen zweiten elektrischen
Leitung CP2 des Sensorträgerelementes LF elektrisch gekoppelt
und somit mit der Sensoreinheit SU auf dem ersten Sensorchip CHP1.
Die Auswerteeinheit des zweiten Sensorchips CHP2 ist ausgebildet,
mittels des Sensorelementes SU ein Sensorsignal, das repräsentativ
ist für den ermittelten Massenstrom des Fluidstromes FF,
zu ermitteln und ausgangsseitig zur Verfügung zu stellen.
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Der
Massenstromsensor LMM weist den ersten und zweiten Sensorchip CHP1,
CHP2 auf und ist somit als Zweichipsensor ausgebildet. Der erste
Sensorchip CHP1 ist während eines Betriebs der Brennkraftmaschine
des Kraftfahrzeugs dem Fluidstrom FF ausgesetzt. Der zweite Sensorchip
CHP2 ist vorzugsweise auch während des Betriebs der Brennkraftmaschine
nicht dem Fluidstrom FF ausgesetzt, da mit dem Fluidstrom FF mitgeführte
Partikel sowie Feuchtigkeit zu einer Schädigung der Auswerteeinheit
auf dem zweiten Sensorchip CHP2 führen könnten.
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Der
Gehäusekörper der Massenstromsensorvorrichtung
weist eine Wandung W auf, die derart zwischen dem ersten und zweiten Sensorchip
CHP1, CHP2 des Massenstromsensors LMM angeordnet ist, dass der zweite
Sensorchip CHP2 von dem Strömungskanal FC räumlich
getrennt ist. Die Wandung W ist vorzugsweise als Dichtlippe ausgebildet
und an einer Kontaktstelle der Dichtlippe mit dem Sensorträgerelement
LF mit diesem verklebt. Die Kontaktstelle ist im Bereich des Sensorträgerelementes
LF, in dem die zumindest eine zweite elektrische Leitung CP2 verläuft.
Aufgrund der in dem Sensorträgerelement LF integrierten
oder auf dem Sensorträgerelement LF aufgebrachten zumindest
einen zweiten elektrischen Leitung CP2 kann die Wandung W besonders geeignet
mit dem Sensorträgerelement LF in Kontakt treten. Die Wandung
W stellt eine Medientrennung dar, die ausgebildet ist, den Strömungskanal
FC, in dem der erste Sensorchip CHP1 angeordnet ist, von dem zweiten
Sensorchip CHP2 mit der Auswerteeinheit räumlich zu trennen.
Insbesondere durch die Ausbildung der zumindest einen zweiten elektrischen Leitung
CP2 des Sensorträgerelementes LF ist die Wandung W besonders
einfach ausführbar, da keine freiverlaufende Bonddrähte
oder sonstige freiverlaufende elektrische Leiter zwischen dem ersten
und zweiten Sensorchip CHP1, CHP2 vorhanden sind. Dies hat ferner
den Vorteil, dass die Massenstromsensorvorrichtung mit dem Massenstromsensor LMM
besonders zuverlässig hergestellt und betrieben werden
kann.
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In 2 ist
eine zweite Ausführungsform des Massenstromsensors LMM
im Querschnitt mit dem Sensorträgerelement LF und dem ersten
und zweiten Sensorchip CHP1, CHP2 dargestellt. Der erste Sensorchip
CHP1 ist mit seiner zweiten Chipseite CHP1_2 mit dem Sensorträgerelement
LF gekoppelt, so z. B. mittels des Klebers AD. Das Sensorelement SU
auf der ersten Chipseite CHP1_1 des ersten Sensorchips CHP1 ist
mit dem zweiten Ende der zumindest einen ersten elektrischen Leitung
CP1 elektrisch gekoppelt. Das Sensorelement SU, insbesondere zumindest
eine Komponente des Sensorelementes SU, ist mit dem ersten Ende
der zumindest einen ersten elektrischen Leitung CP1 mit der zumindest
einen Oberflächenleiterbahn SCP elektrisch gekoppelt. Der zumindest
eine elektrische Kontakt SP ist di rekt neben einer Verbindungsstelle
des ersten Sensorchips CHP1 mit dem Sensorträgerelement
LF angeordnet. Das Sensorträgerelement LF weist den elektrischen Kontaktbereich
CA auf, der im Vergleich zu der 1 nicht
unter der zweiten Chipseite CHP1_2 des ersten Sensorchips CHP1 angeordnet
ist. Auch dadurch kann die Wandung W derart zwischen dem ersten und
zweiten Sensorchip CHP1, CHP2 mit dem Sensorträgerelement
LF in Kontakt treten, dass eine zuverlässige Medientrennung
zwischen dem Fluidstrom FF und der Auswerteeinheit auf dem zweiten Sensorchip
CHP2 gewährleistet ist.
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In 3 ist
der Massenstromsensor LMM mit der Wandung W im Querschnitt dargestellt.
Die Wandung W ist nicht in Kontakt mit der zumindest einen zweiten
elektrischen Leitung CP2 des Sensorträgerelementes LF oder
mit dem Sensorträgerelement LF. Die Wandung W ist vorzugsweise
mit einer Seite der Wandung W in Kontakt mit einer Stirnseite FS des
ersten Sensorchips CHP1. Die Stirnseite FS ist dem zweiten Sensorchip
CHP2 zugewandt. Dadurch bildet der erste Sensorchip CHP1, insbesondere
die Stirnseite FS des ersten Sensorchips CHP1, mit der Wandung W
die Medientrennung zwischen dem ersten und zweiten Sensorchip CHP1,
CHP2. Dies ermöglicht eine besonders kostengünstige
und zugleich zuverlässige Ausführung des Massenstromsensors
LMM, da die zumindest eine zweite elektrische Leitung CP2 des Sensorträgerelementes
LF nicht in Kontakt ist mit der Wandung W und somit keine Gefahr
einer Beschädigung der zumindest einen zweiten elektrischen
Leitung CP2 des Sensorträgerelementes LF besteht.
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Bezugszeichenliste
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- AD
- Kleber
- CA
- elektrischer Kontaktbereich
- CHP1
- erster Sensorchip
- CHP1_1
- erste Chipseite
- CHP1_2
- zweite Chipseite
- CHP2
- zweiter Sensorchip
- CP1
- erste elektrische
Leitung
- CP2
- zweite elektrische
Leitung
- FC
- Strömungskanal
- FF
- Fluidstrom
- ES
- Stirnseite
- LF
- Sensorträgerelement
- LMM
- Massenstromsensor
- M
- Membran
- SCP
- Oberflächenleiterbahn
- SP
- elektrischer Kontakt
- SU
- Sensorelement
- TS
- Temperatursensor
- V
- elektrische Durchkontaktierung
- W
- Wandung
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 19724659
A1 [0003]
- - DE 4219454 C2 [0004]