-
Die
Erfindung betrifft einen Drucksensor mit einem Grundkörper,
einer mit dem Grundkörper unter Bildung einer Messkammer
druckdicht mittels einer Fügestelle verbundenen Messmembran,
einem elektromechanischen Wandler, der dazu dient, eine druckabhängige
Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal
umzuwandeln, und einem durch den Grundkörper hindurch führenden
Primärsignalpfad, über den der Wandler elektrisch
anschließbar ist.
-
Drucksensoren
im hier verwendeten Sinn umfassen Absolutdrucksensoren, die den
absoluten Druck eines Messmediums gegen Vakuum messen, Relativdrucksensoren,
die die Differenz zwischen dem Druck in einem Messmedium und dem
aktuellen Atmosphärendruck messen, sowie Differenzdrucksensoren,
die eine Druckdifferenz zwischen einem ersten und einem zweiten
Mediendruck erfassen.
-
Sie
finden heute weit gefächerte Anwendung in nahezu allen
Bereichen der industriellen Messtechnik.
-
Entsprechende
Drucksensoren werden von der Anmelderin unter der Bezeichnung Cerabar
hergestellt und in Verkehr gebracht.
-
Diese
Drucksensoren weisen bevorzugt keramische Grundkörper und
Membranen auf, da Keramik für die Anwendung in der Druckmesstechnik
besonders vorteilhafte thermische, chemische und mechanische Eigenschaften
aufweist, die unter anderem eine hohe Langzeitstabilität
der erzielbaren Messergebnisse und einen innerhalb weiter Temperaturbereiche
verhältnismäßig spannungsfreien Einbau des
Sensors in entsprechende in der Regel metallische Sensorgehäuse
und/oder Prozessanschlüsse erlauben.
-
Dabei
erfolgt der elektrische Anschluss des Wandlers typischer Weise über eine
auf der membran-zugewandten Seite des Grundkörpers aufgebrachte
Elektrode des Wandlers und einen in eine zylindrische, durch den
Grundkörper hindurch führende Öffnung
eingesetzten Metallstift. Die elektrische Verbindung zwischen Metallstift
und Elektrode wird dabei beispielsweise dadurch bewirkt, dass die
zylindrische Öffnung an deren membran-zugewandten Ende einen
sich trichterförmig in membran-zugewandter Richtung aufweitenden
Abschnitt aufweist. Die Elektrode des Wandlers erstreckt sich über
die innere Mantelfläche dieses Trichters. Der elektrische
Kontakt wird hergestellt, indem der Metallstift passgenau in den
Grundkörper eingesetzt und gegen ein auf der membran-abgewandten
Seite des Grundkörpers angesetztes Widerlager gepresst
wird. Dadurch wird das dem Widerlager gegenüber liegende
Ende des Metallstifts gegen die auf der Mantelfläche des
Trichters aufgebrachte Elektrode gepresst. Diese Kaltverschweißung
bewirkt einen zuverlässigen elektrischen Kontakt.
-
Zusätzlich
wird ein zwischen dem Metallstift und der zylindrischen Öffnung
bestehender Ringspalt auf der messmembran-abgewandten Seite des Grundkörpers
mittels eines Aktivlots abgedichtet. Um die elektrische Kontaktierung
des über den Metallstift verlaufenden Primärsignalpfads
auf der messmembran-abgewandten Seite mittels einer Weichlotverbindung
zu ermöglichen, wird hierzu ein Aktivlot eingesetzt, das
mit dem anschließenden Weichlötprozess kompatibel
ist. Hierzu eignen sich beispielsweise Ag-Cu-Aktivlote. Diese Lote
weisen jedoch eine deutlich niedrigere Löttemperatur auf
als die Aktivhartlote, die bevorzugt zum Fügen der Messmembran
mit dem keramischen Grundkörper eingesetzt werden. Dies führt
dazu, dass beim Fügen von Messmembran und Grundkörper
in einem Hochvakuumlötprozess bis zum Erreichen der Löttemperatur
des hierfür verwendeten Aktivhartlots Komponenten des auf
der messmembran-abgewandten Seite des Grundkörpers aufgebrachten
Aktivlots aufgrund ihrer unterschiedlichen Dampfdruckwerte unterschiedlich
stark abdampfen. Hierdurch kann sich zum einen die Zusammensetzung
des Aktivlots nachteilig verändern. Zum anderen kann hierdurch
eine Kontamination des Aktivhartlots bzw. der damit zu verlötenden
Oberflächen auf der messmembran-zugewandten Seite des Grundkörpers
erfolgen. Es bleibt damit nur ein enges Fenster von Prozessparametern,
bei denen die Herstellung dieser Drucksensoren im Hochvakuumlötprozess überhaupt
erfolgen kann.
-
Eine
Lösung dieses Problems ist in der am 3.07.2007 angemeldeten
Deutschen Patentanmeldung mit
dem Aktenzeichen 10 2007 030 910.6 der Anmelderin beschrieben.
Dabei wird in dem Grundkörper auf dessen messmembran-abgewandten
Seite eine an die zylindrische Öffnung angrenzende Ausnehmung
vorgesehen, die mittels eines metallischen Körpers verschlossen
wird. Dieser metallische Körper weist eine ebene der Messkammer
zugewandte Fläche auf, die mittels einer, ein Aktivhartlot aufweisenden,
die Öffnung druckdicht verschließenden Fügestelle
mechanisch mit dem Grundkörper und elektrisch leitend mit
dem Metallstift verbunden ist. Die Weichlötfähigkeit
dieser Kontaktstelle ist nun über das Material des metallischen
Körpers bzw. über eine entsprechende Beschichtung
desselben gegeben. Dementsprechend muss das Aktivlot für die
Fügung von metallischem Körper und Grundkörper
nicht mehr in Abhängigkeit von dem nachfolgenden Weichlötprozess
ausgewählt werden. Es kann nun ein Aktivhartlot eingesetzt
werden, bei dem die oben genannten Probleme nicht mehr auftreten.
Dies wird durch die Verwendung eines Aktivhartlots bewirkt, das
eine Löttemperatur aufweist, die nicht mehr als 50°C,
vorzugsweise nicht mehr als 25°C niedriger ist, als die
des Aktivhartlot, das für die Fügung von Messmembran
und Grundkörper eingesetzt wird. Vorzugsweise wird für
die beiden Fügungen das gleiche Aktivhartlot eingesetzt.
Derzeit bevorzugt sind ternäre Aktivhartlote, die eine
Zr-Ni-Legierung und Titan aufweisen, wie sie beispielsweise in der
EP 0 490 807 B1 beschrieben
sind.
-
Um
den Metallstift passgenau in den Grundkörper einsetzen
zu können und eine zuverlässige elektrische Verbindung
zu der Elektrode herstellen zu können, ist hier jedoch
eine verhältnismäßig präzise Fertigung
des Grundkörpers erforderlich. Dabei muss insb. sichergestellt
sein, dass der Metallstift auf keinen Fall in die Messkammer hineinragt.
Da der Abstand zwischen Grundkörper und Messmembran in
Abhängigkeit von dem zu messenden auf die Messmembran einwirkenden
Druck sehr gering sein kann, könnte dies unter Umständen
zu einer Beeinträchtigung der druck-abhängigen
Auslenkung der Messmembran führen. Bei kapazitiven Drucksensoren
befindet sich auf der dem Grundkörper zugewandten Innenseite
der Messmembran eine Gegenelektrode, die zusammen mit der auf dem
Grundkörper aufgebrachten Messelektrode einen Kondensator
bildet, dessen druck-abhängige Kapazität das eigentliche
Messsignal des Wandlers bildet. In diesem Fall könnte ein
in die Messkammer hineinragender Metallstift bei einer ausreichend
großen Messmembranauslenkung zu einem Kurzschluss führen,
der den Drucksensor unbrauchbar macht.
-
Keramische
Grundkörper werden heutzutage aus einem Granulat gefertigt,
dass in eine vorgefertigte Form eingefüllt wird. Anschließend
wird das Granulat gepresst, in dem ein entsprechend geformter Pressstempel
passgenau in die Form hineingepresst wird, und es wird das gepresste
Granulat gesintert.
-
Auf
diese Weise lässt sich die zylindrische, durch den Grundkörper
führende Öffnung und eine daran angrenzende Ausnehmung
mit sehr geringen Fertigungstoleranzen herstellen. Dabei werden
die zylindrische Öffnung und die Ausnehmung durch die vorgefertigte
Form granulatfrei gehalten, und der Pressstempel weist eine ebene
Pressfläche auf. Durch das Verpressen gegebenenfalls entstehende Inhomogenitäten
konzentrieren sich dabei in der Regel auf der dem Pressstempel zugewandten
Oberseite der Keramik und können nachträglich
durch Abschleifen entfernt werden. Um auch geringe Toleranzen der
Dicke des Grundkörpers einhalten zu können, wird
die durch das Abschleifen bewirkte Reduktion der Dicke durch ein
entsprechende Schleifzugabe berücksichtigt.
-
Versucht
man jedoch, auf die gleiche Weise einen Grundkörper herzustellen,
der eine zylindrische Öffnung aufweist, deren eines Ende
trichterförmig verbreitert ist und an dessen anderem Ende
eine Ausnehmung für den metallischen Körper vorgesehen
ist, so treten deutlich größere Fertigungstoleranzen
auf. Inhomogenitäten, die sich an den beiden gegenüberliegenden
Grundkörperoberflächen ausbilden, können
hier zwar auch abgeschliffen werden, dies führt jedoch
dazu, dass sich die Höhe des für die Aufnahme
des Metallstifts im Inneren des Grundkörpers zur Verfügung
stehenden Innenraums, die durch die Höhe der zylindrischen Öffnung
und des daran anschließenden trichterförmigen
Bereichs vorgegebenen ist, verändern kann. Dementsprechend
müsste jeder Grundkörper einzeln ausgemessen und
die Länge des Metallstifts entsprechend angepasst werden.
Alternativ könnte der Grundkörper ohne die Ausnehmung
für den metallischen Körper gefertigt werden und
diese Ausnehmung nachträglich unter Einhaltung sehr geringer
Fertigungstoleranzen in den Grundkörper eingefräst
werden. Beide Verfahren sind teuer und aufwendig und insb. für
eine Serienfertigung in großen Stückzahlen zu
umständlich und zu zeitaufwendig.
-
Dieses
Problem tritt nicht nur bei keramischen Grundkörpern auf,
sondern natürlich auch bei allen anderen Grundkörpern,
die aus Kostengründen und/oder aus fertigungstechnischen
Gründen nicht hochpräzise mit sehr geringen Fertigungstoleranzen herstellbar
sind.
-
Es
ist eine Aufgabe der Erfindung, einen Drucksensor der eingangs genannten
Art anzugeben, bei dem der Primärsignalpfad auch dann auf
zeiteffiziente kostengünstige Weise über einen
in den Grundkörper eingesetzten Metallstift geführt
werden kann, wenn der Grundkörper fertigungsbedingte Toleranzen
aufweist.
-
Hierzu
besteht die Erfindung in einem Drucksensor mit
- – einem
Grundkörper,
- – einer mit dem Grundkörper unter Bildung
einer Messkammer druckdicht mittels einer ersten Fügestelle
verbundenen Messmembran, und
- – einem elektromechanischen Wandler, der dazu dient,
eine druckabhängige Verformung der Messmembran in ein elektrisches
Primärsignal umzuwandeln, bei dem
- – im Grundkörper eine zylindrische durch den Grundkörper
führende Öffnung vorgesehen ist,
- – auf einer der Messmembran zugewandten Seite des Grundkörpers
eine topfförmige, in die Öffnung mündende
erste Ausnehmung vorgesehen ist, deren Innenfläche mit
einer Elektrode des Wandlers ausgekleidet ist, und
- – ein Metallstift in die Öffnung eingesetzt
ist,
- – der ein vollständig in der ersten Ausnehmung angeordnetes,
zu einem Schließkopf verformtes Stiftende aufweist, das
flächig auf der die Ausnehmung auskleidenden Elektrode
aufliegt, und
- – dessen dem Schließkopf gegenüberliegendes Ende
bündig mit einem von der Messmembran abgewandten Ende der Öffnung
abschließt. Gemäß einer Weiterbildung
- – umfasst die erste Fügestelle ein Aktivhartlot,
- – ist auf einer von der Messmembran abgewandten Seite
des Grundkörpers eine an die Öffnung angrenzende
zweite Ausnehmung vorgesehen, und
- – ist die zweite Ausnehmung mittels eines metallischen
Körpers verschlossen, der eine ebene, der Messkammer zugewandte
Fläche aufweist, die mittels einer zweiten, ein Aktivhartlot
aufweisenden, die Öffnung druckdicht verschließenden
Fügestelle mechanisch mit dem Grundkörper und elektrisch
leitend mit dem Metallstift verbunden ist.
-
Gemäß einer
bevorzugten Ausgestaltung besteht der Metallstift aus Tantal.
-
Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausgestaltung besteht der metallische Körper
aus einer Mo-Ti-Zr Legierung, und die erste und die zweite Fügestelle
umfassen ein ternäres Aktivhartlot, insb. ein eine Zr-Ni
Legierung und Ti ausweisendes Aktivhartlot.
-
Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung bestehen der Grundkörper und die
Messmembran aus Keramik, insb. aus Korund.
-
Weiter
umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen
Drucksensors, bei dem
- – ein Widerlager
am Grundkörper angesetzt wird, dass bündig mit
dem von der topfförmigen Ausnehmung abgewandten Ende der Öffnung
abschließt,
- – ein Metallstift derart in die Öffnung eingesetzt wird,
dass er auf dem Widerlager aufsitzt und in die topfförmige
Ausnehmung hinein ragt, und
- – der Metallstift mittels eines Pressstempels derart
gegen das Widerlager gepresst wird, dass dessen in die topfförmige
Ausnehmung hinein ragendes Stiftende derart verformt wird, dass
es den Schließkopf bildet, der flächig auf der
die Ausnehmung auskleidenden Elektrode aufliegt.
-
Die
Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung,
in denen ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, näher
erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit den
gleichen Bezugszeichen versehen.
-
1 zeigt
einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Drucksensor;
und
-
2 zeigt
zeigt den Grundkörper des Drucksensors von 1 zusammen
mit einem Widerlager und einem gegen das Widerlager in den Grundkörper
eingesetzten Metallstift.
-
1 zeigt
einen Schnitt durch einen erfindungsgemäßen Drucksensor
mit einem im wesentlichen zylindrischen Grundkörper 1 und
einer mit dem Grundkörper 1 unter Bildung einer
Messkammer 3 druckdicht verbundenen kreisscheibenförmigen Messmembran 5.
Je nach Zielsetzung des Drucksensors herrscht in der Messkammer 3 ein
anderer Gegendruck zu einem auf die Außenseite der Messmembran 5 einwirkenden
Druck p. Bei einem Relativdrucksensor ist der Gegendruck der Atmosphärendruck
in der Umgebung des Sensors, der über eine hier nicht dargestellte
Referenzdruckzufuhr in die Messkammer 3 eingeleitet ist.
Bei einem Absolutdrucksensor ist die Messkammer 3 entsprechend evakuiert.
Grundkörper 1 und Messmembran 5 bestehen
vorzugsweise aus Keramik, insb. aus Korund. Die Messmembran 5 und
der Grundkörper 1 sind an deren Rand mittels einer
Fügestelle 7 druckdicht und gasdicht miteinander
verbunden. Dabei definiert die Fügestelle 7 den
Abstand zwischen der Messmembran 5 und dem Grundkörper 1.
Für diese Fügestelle 7 wird vorzugsweise
ein Aktivhartlot eingesetzt. Besonders bevorzugt sind die eingangs
genannten ternären Aktivhartlote, die eine Zr-Ni-Legierung
und Titan aufweisen.
-
Die
Messmembran 5 ist druckempfindlich, d. h. ein auf sie einwirkender
Druck p bewirkt eine Auslenkung der Messmembran 5 aus deren
Ruhelage. Der Drucksensor weist einen elektromechanischen Wandler
auf, der dazu dient eine druckabhängige Verformung der
Messmembran 5 in ein elektrisches Primärsignal
umzuwandeln. Hierzu eignen sich beispielsweise kapazitive oder resistive
Wandler. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel eines
kapazitiven Drucksensors umfasst der Wandler eine auf einer der Messmembran 5 zugewandten
Seite des Grundkörpers 1 aufgebrachte Elektrode 9 und
eine auf der Innenseite der Messmembran 5 angeordnete Gegenelektrode 11.
Elektrode 9 und Gegenelektrode 11 bilden einen
Kondensator, dessen Kapazität sich in Abhängigkeit
von der druck-bedingten Auslenkung der Messmembran 5 ändert.
Die druck-abhängige Kapazität bzw. deren Änderung
wird über eine an die Elektrode 9 und die Gegenelektrode 11 angeschlossene, hier
nicht dargestellte Messschaltung erfasst und in ein druck-abhängiges
Messsignal umgewandelt, dass dann zur Anzeige, zur weiteren Verarbeitung und/oder
Auswertung zur Verfügung steht.
-
Die
Elektrode 9 wird über einen durch den Grundkörper 1 hindurch
nach außen geführten Primärsignalpfad
elektrisch kontaktiert. Hierzu ist im Grundkörper 1 eine
zylindrische durch den Grundkörper 1 hindurch
führende Öffnung 13 vorgesehen, in die
ein Metallstift 15 eingesetzt ist. Der Metallstift 15 besteht
vorzugsweise aus dem gleichen Werkstoff wie die Elektrode 9,
vorzugsweise aus Tantal.
-
Auf
der der Messmembran 5 zugewandten Seite des Grundkörpers 1 ist
eine topfförmige Ausnehmung 17 vorgesehen, die
in die Öffnung 13 mündet und deren Innenfläche
mit der Elektrode 9 des Wandlers ausgekleidet ist. Der
Metallstift 15 weist ein vollständig in der topfförmigen
Ausnehmung 17 angeordnetes zu einem Schließkopf 19 verformtes
Stiftende auf, das flächig auf der die Ausnehmung 17 auskleidenden
Elektrode 9 aufliegt, und dessen dem Schließkopf 19 gegenüberliegendes
Stiftende 21 bündig mit einem von der Messmembran 5 abgewandten
Ende 25 der Öffnung 13 abschließt.
-
Bei
der Herstellung dieser erfindungsgemäßen Drucksensoren
wird dabei derart verfahren, dass ein Widerlager 23 am
Grundkörper 1 angesetzt wird, das bündig
mit dem von der topfförmigen Ausnehmung 17 abgewandten
Ende 25 der Öffnung 13 abschließt.
Dies ist in 2 dargestellt. Das Widerlager 23 verschließt
die Öffnung 13 bündig. Anschließend wird
der Metallstift 15 derart in die Öffnung 13 eingesetzt,
dass dessen eines Stiftende 21 auf dem Widerlager 23 aufsitzt
und dessen anderes Stiftende 27 in die topfförmige
Ausnehmung 17 hinein ragt. Der auf diese Weise abgestützte
Metallstift 15 wird nun mittels eines Pressstempels 29 derart
gegen das Widerlager 23 gepresst, dass dessen in die topfförmige Ausnehmung 17 hinein
ragendes Stiftende 27 derart verformt wird, dass es, wie
bei einem Niet, den Schließkopf 19 bildet, der
dann flächig auf der die Ausnehmung 17 auskleidenden
Elektrode 9 aufliegt. Das Pressen des Schließkopfes 19 bewirkt
eine Kaltverschweißung zwischen der der Elektrode 9 zugewandten,
die Öffnungsmündung radial umschließenden
Unterseite des Schließkopfes 19, durch die ein zuverlässiger
elektrischer Anschluss an die Elektrode 9 entsteht.
-
Aufgrund
der topfförmigen Ausnehmung 17 und der Verformung
des Stiftendes 27 in den Schließkopf 19 ist
es möglich, durchaus erhebliche Toleranzen der Abmessungen
des Grundkörper 1 auszugleichen. Dieser Vorteil
gilt natürlich in erste Linie für Toleranzen in
der Höhe der Öffnung 13 und der Höhe der
topfförmigen Ausnehmung 17. Einerseits ist durch
das Widerlager 23 sichergestellt, dass das Stiftende 21 passgenau
bündig mit der Öffnung 13 abschließt.
Anderseits ist durch die topfförmige Ausnehmung 17 und
die Verformung des Stiftendes 27 in den Schließkopf 19 sichergestellt,
dass der Metallstift 15 auch bei starken Abweichungen der
Grundkörpermaße von den vorgegebenen Sollmaßen
genügend Platz zur Aufnahme der gegebenenfalls überschüssigen
Metallstiftlänge zur Verfügung steht. Dadurch
ist sichergestellt, dass der Metallstift 15 nicht übersteht und
somit niemals mit der Messmembran 5 in Berührung
gelangt. Damit ist es möglich, in der Serienfertigung für
alle Sensoren Metallstifte 15 einer vorgegebenen Länge
einzusetzen. Ein genaues Ausmessen der tatsächlichen Grundkörpermaße
und/oder eine Anpassung der Stiftlänge ist nicht erforderlich.
-
Dieser
Vorteil der Toleranzverträglichkeit gilt natürlich
auch im Hinblick auf den Durchmesser der Öffnung 13.
Der Durchmesser muss lediglich die Einführung des Metallstift 15 erlauben,
er muss aber nicht passgenau auf den Durchmesser des Metallstifts 15 abgestimmt
sein, da der elektrische Kontakt nicht über den zylindrischen
Bereich des Metallstifts 15 erfolgt, sondern über
den durch die Pressung automatische perfekt in der Form angepassten
Schließkopf 19. Dabei werden durch die Pressung
von der Endform des Schließkopfs 19 auch Unebenheiten der
Bodenfläche der topfförmigen Ausnehmung 17, die
zwangsläufig zu Unebenheiten der Elektrode 9 in diesem
Bereich führen, berücksichtigt.
-
Ein
weiterer Vorteil der topfförmigen Ausnehmung 17 besteht
darin, dass die Elektrode 9 problemlos durch Sputtern aufgebracht
werden kann.
-
Besonders
vorteilhaft ist die Erfindung aus den eingangs erläuterten
Gründen in Verbindung mit einem Drucksensor einsetzbar,
bei dem auf der von der Messmembran 5 abgewandten Seite
des Grundkörpers 1 eine an die Öffnung 17 angrenzende
zweite Ausnehmung 31 vorgesehen ist, die mittels eines metallischen
Körpers 33 verschlossen ist. Der metallische Körper 33 weist
eine ebene der Messkammer 3 zugewandte Fläche
auf, die mittels einer zweiten ein Aktivhartlot aufweisenden die Öffnung 13 druckdicht
verschließenden Fügestelle 35 mechanisch
mit dem Grundkörper 1 und elektrisch leitend mit
dem Metallstift 15 verbunden ist. Vorzugsweise wird für diese
Fügestelle 35 das gleiche Aktivhartlot verwendet,
dass auch für die Fügestelle 7 zwischen
der Messmembran 5 und dem Grundkörper 1 eingesetzt wird.
Der metallische Körper 33 ist vorzugsweise ein kreisscheibenförmiges
Metallplättchen, z. B. ein Metallplättchen mit
einer Dicke von etwa 200 μm und einem Durchmesser von etwa
4 mm, und dient als Weichlotkontaktpunkt. Hierzu besteht es entweder aus
einem Material, das als solches für eine Weichlötung
geeignet ist, oder es weist eine entsprechende Beschichtung auf.
Hierzu eignet sich beispielsweise Wolfram oder eine Legierung, die
Molybdän und Kupfer bzw. Molybdän, Titan und Zirkonium
enthält. Vorzugsweise wird ein metallischer Körper 33 aus
einer Mo-Ti-Zr Legierung verwendet, auf dessen nach außen
weisenden Oberfläche eine 2 μm starke Ni-Schicht
aufgebracht ist, die mit einer 10 nm starken Au-Schicht gegen Oxidation
geschützt ist. Vor dem Aufbringen der Ni-Schicht wurde
die Oberfläche mittels Sputterätzen vorbehandelt. Über
diesen Weichlotkontaktpunkt können weitere Schaltungen an
den elektromechanischen Wandler angeschlossen werden. Die Herstellung
dieser Weichlotkontakte kann auch in automatisierten Verfahren erfolgen.
Unter Schutzgas kann hierbei ggf. auf Flussmittel verzichtet werden.
-
- 1
- Grundkörper
- 3
- Messkammer
- 5
- Messmembran
- 7
- erste
Fügestelle
- 9
- Elektrode
- 11
- Gegenelektrode
- 13
- Öffnung
- 15
- Metallstift
- 17
- topfförmige
Ausnehmung
- 19
- Schließkopf
- 21
- dem
Schließkopf gegenüberliegendes Stiftende
- 23
- Widerlager
- 25
- Ende
der Öffnung
- 27
- in
die Ausnehmung hineinragendes Stiftende
- 29
- Pressstempel
- 31
- Ausnehmung
- 33
- metallischer
Körper
- 35
- zweite
Fügestelle
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste
der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert
erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information
des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen
Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt
keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
- - DE 102007030910 [0008]
- - EP 0490807 B1 [0008]