DE102008036623A1

DE102008036623A1 - Verwendung eines Wälzlagers zur Lagerung rotierender Bauteile in Vakuumeinirchtungen sowie Vakuumeinrichtung

Info

Publication number: DE102008036623A1
Application number: DE102008036623A
Authority: DE
Inventors: Ralf Dipl.-Ing. Adamietz; Rainer Dipl.-Ing. Hölzer; Markus Dipl.-Ing. Henry
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2008-08-06
Filing date: 2008-08-06
Publication date: 2010-02-11
Also published as: WO2010015501A1; CN102105653A; US20110255999A1; CN102105653B; EP2310632A1; JP2011530053A

Abstract

Ein Wälzlager zur Lagerung rotierender Bauteile in Vakuumeinrichtungen weist mehrere zwischen Lagerelementen (12, 14) angeordnete Wälzkörper (10) auf. Ein Lagerraum (26) ist beispielsweise beidseitig durch Dichtelemente (22, 24) verschlossen. Die Dichtelemente (22, 24) weisen einen geringen Dichtspalt (s) auf. Erfindungsgemäß erfolgt ein Verwenden derartiger Wälzlager in Vakuumbereichen, in denen ein Druck von weniger als 10-3 mbar herrscht.

Description

Die Erfindung betrifft die Verwendung eines Wälzlagers zur Lagerung rotierender Bauteile in Vakuumeinreichtungen sowie eine Vakuumeinrichtung.
Vakuumeinrichtungen, wie Vakuumpumpen, weisen in einem Schöpfraum angeordnete Pumpelemente auf. Bei den Pumpelementen handelt es sich beispielsweise um Wälzkolben, Schraubenrotoren und dergleichen. Die Pumpelemente sind üblicherweise jeweils von einer rotierenden Welle getragen. Jede Welle ist üblicherweise von jeweils zwei Lageranordnungen getragen. Häufig weisen die Lageranordnungen fettgeschmierte Wälzlager auf. Die Verwendung von beliebigen Wälzlagern bei Vakuumpumpen ist nur in Bereichen zweckmäßig, in denen der Druck 10^–3 mbar nicht unterschreitet.
Die rotierenden Bauteile, wie insbesondere die Rotorwelle, sind somit üblicherweise durch fettgeschmierte Wälzlager gelagert. Nach herrschender Fachmeinung ist es hierbei erforderlich, die Wälzlager derart anzuordnen, dass sie keinem hohen Vakuum ausgesetzt sind. Derzeit verwendete Wälzlager sind nur für Drücke bis 10^–3 mbar freigegeben. Bei niedrigeren Drücken von weniger als 10^–3 mbar besteht die Gefahr, dass das Schmiermittel aus dem Lagerraum, in dem sich die Wälzkörper befinden, zu großen Mengen herausgesaugt wird, so dass sich die Lager-Lebensdauer erheblich verringert.
Um fettgeschmierte Wälzlager verwenden zu können, müssen diese daher in einem Bereich angeordnet sein, in dem kein zu hohes Vakuum herrscht. Hierzu sind häufig aufwändige Konstruktionen erforderlich. Beispielsweise werden die Pumpenrotoren von Turbomolekularpumpen auf fliegend gelagerten Wellen angeordnet, um das Wälzlager in einem Bereich mit ausreichend hohem Druck anordnen zu können. Der auf Grund der fliegenden Lagerung entstehende freie Kragarm der Welle führt dazu, dass die Baulänge der Wellen beschränkt ist und ferner erhebliche Lagerbelastungen auftreten. Ferner sind derartige Konstruktionen teuer und aufwändig.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, anstelle von fettgeschmierten Wälzlagern Magnetlager vorzusehen. Bei Magnetlagern handelt es sich jedoch um teure Bauteile, die ferner auch zusätzlich mit Fanglagern kombiniert werden müssen, um bei Ausfall des Magnetlagers Notlaufeigenschaft zu gewährleisten.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Konstruktion von Vakuumeinrichtungen zu vereinfachen, die auch bei relativ niedrigen Drücken von insbesondere weniger als 10^–3 mbar einsetzbar sind.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 bzw. 13.
Untersuchungen haben ergeben, dass Wälzlager mit entsprechend ausgebildeten Dichtelementen auch in Vakuumbereichen eingesetzt werden können, in denen Drücke von weniger als 10^–3 mbar, insbesondere sogar weniger als 10^–5 mbar oder sogar weniger als 10^–7 mbar herrschen. Überraschenderweise wurde somit festgestellt, dass entgegen der herrschenden Lehrmeinung und auch der Herstellerangaben entsprechender fettgeschmierter Wälzlager der Einsatz derartiger Wälzlager auch in Bereichen mit niedrigen Drücken möglich ist. Entsprechende Überlegungen haben ergeben, dass auch bei einem Druck von weniger als 10^–3 mbar eine unverminderte Lagerlebensdauer erzielt werden kann.
Das erfindungsgemäß verwendete Wälzlager weist zwei Lagerelemente auf, zwischen denen die Wälzkörper in dem Lagerraum angeordnet sind. Bei den Lagerelementen handelt es sich beispielsweise um einen inneren und einen äußeren Lagerring. Ebenso kann einer der beiden Lagerringe entfallen und unmittelbar durch die Welle selbst oder das die Welle umgebende Gehäuse ausgebildet sein, so dass eines der beiden Lagerelemente durch die Welle bzw. ein die Welle umgebendes Bauteil, wie ein Gehäuse, umgeben ist. Des Weiteren ist mindestens ein Dichtelement vorgesehen, das in axialer Richtung eine zumindest einseitige Abdichtung des Lagerraums gegenüber einem Vakuumbereich gewährleistet. Durch das beispielsweise im Wesentlichen ringförmig ausgebildete Dichtelement ist der Lagerraum, in dem die Wälzkörper und das Schmiermittel angeordnet sind, gegenüber dem Vakuumbereich abgegrenzt. Um ein Austreten bzw. Heraussaugen des insbesondere fetthaltigen Schmiermittels in den Vakuumbereich auch bei niedrigen Drücken im Vakuumbereich zu verhindern bzw. stark zu verringern, ist das Dichtelement erfindungsgemäß zur Ausbildung einer Spaltdichtung zu einem der beiden Lagerelemente in einem Abstand mit insbesondere geringer Spaltbreite angeordnet. Das Dichtelement ist ferner mit dem anderen Lagerelement mittelbar oder unmittelbar fest verbunden.
Handelt es sich bei dem Lagerelement beispielsweise um einen äußeren Lagerring, kann das Dichtelement unmittelbar fest mit dem Lagerring oder auch fest mit einem Bauteil, wie einem Gehäuse, das den Lagerring hält, fest verbunden sein. Ist der beispielsweise äußere Lagerring stationär, so ist auch das Dichtelement stationär angebracht. Um in dem Vakuumbereich niedrige Drücke von insbesondere weniger als 10^–3 mbar zu ermöglichen, ohne dass zu große Mengen an Schmiermittel aus dem Lager herausgesaugt werden, ist der Abstand zwischen dem Dichtelement und einem der beiden Lagerelemente, d. h. die Spaltbreite, kleiner als die mittlere freie Weglänge der Moleküle in dem Vakuumbereich. Vorzugsweise wird hierbei von der mittleren freien Weglänge der Moleküle von Luft bei 20°C ausgegangen.
Vorzugsweise gilt für die Spaltbreite s:
wobei p der Druck in dem Vakuumbereich in mbar ist und das Dichtelement zwischen dem entsprechenden Vakuumbereich und dem Lagerraum vorgesehen ist. Hierbei ist x ∊ Rmit 0.5 ≤ x ≤ 12.
x ist für jedes Gas spezifizierbar im Intervall 0.5 bis 12.
In bevorzugter Ausführungsform ist die Spaltbreite bzw. der Abstand s kleiner als 20%, insbesondere kleiner als 10% und besonders bevorzugt kleiner als 5% eines Lagerelementeabstandes h. Unter dem Lagerelementeabstand h wird hierbei der Abstand der beiden Lagerelemente bzw. der seitliche lichte Abstand, d. h. die seitliche Öffnung des Lagers, verstanden. Besonders bevorzugt ist es, dass sowohl die vorstehende Formel für die Spaltbreite in Abhängigkeit des Drucks als auch die Bedingung für die Spaltbreite in Abhängigkeit des Lagerelementeabstandes erfüllt sind.
In bevorzugter Ausführungsform sind zwei einander gegenüberliegende Dichtelemente vorgesehen, um den Lagerraum beidseitig abzudichten. Ggf. können die beiden Dichtelemente unterschiedlich ausgestaltet sein, insbesondere eine unterschiedliche Spaltbreite, d. h. einen unterschiedlichen Abstand zu dem entsprechenden Lagerelement aufweisen. Dies liegt darin begründet, dass der Druck auf den beiden Lagerseiten unterschiedlich sein kann und beispielsweise auf einer der beiden Seiten ein Dichtelement mit größerer Spaltbreite ausreichend ist. Hierdurch können die Herstellungskosten reduziert werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das mindestens eine Dichtelement mit dem äußeren Lagerelement fest verbunden. Dies führt dazu, dass der Dichtspalt zwischen dem inneren Lagerelement, bei dem es sich beispielsweise auch um das rotierende Bauteil selbst handeln kann, und dem Dichtelement ausgebildet ist. Hierdurch wird die Länge des Dichtspalts möglichst kurz gehalten. Dies hat den Vorteil, dass sich die Fläche, durch die Schmiermittel austreten kann, verringert. Ggf. ist es somit zweckmäßig, bei einem Wälzlager mit einem inneren Lagerelement, wie einem Lagerring, das Dichtelement derart auszugestalten, dass dieses am inneren Lagerring vorbeigeführt ist und die wirksame Spaltbreite zwischen dem Dichtelement und der Welle ausgebildet ist. Hierdurch kann auch bei Lagern mit Innenring eine geringe Spaltlänge realisiert werden. Erfindungswesentlich ist bei dieser Ausführungsform, dass das Dichtelement einen geringen Abstand zu einem der beiden Lagerelemente oder einem mit diesem Lagerelement verbundenen Bauteil aufweist. Der erfindungsgemäß schmale Dichtspalt, durch den niedrige Drücke in dem angrenzenden Vakuumbereich zugelassen werden können, ist somit entsprechend der gewählten Konstruktion unmittelbar zwischen dem Dichtelement und dem Lagerelement oder auch zwischen dem Dichtelement und dem mit dem entsprechenden Lagerelement verbundenen Bauteil, wie der rotierenden Welle, vorgesehen.
Der Abstand ist in Umfangsrichtung vorzugsweise konstant, so dass es sich bei dem Spalt um einen Ring konstanter Breite handelt.
Bevorzugt ist es, den Lagerraum, in dem die Wälzkörper und das Schmiermittel vorgesehen sind, möglichst klein auszugestalten. Die Formgebung der Dichtelemente kann somit derart gewählt werden, dass diese einen geringen Abstand zu den Wälzkörpern oder einem die Wälzkörper tragenden Käfig aufweisen.
Ferner betrifft die Erfindung eine Vakuumeinrichtung, insbesondere eine Vakuumpumpe, mit einem vorstehend beschriebenen Wälzlager, insbesondere in den beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen, wobei das Wälzlager in einem Vakuumbereich angeordnet ist, in dem Drücke von weniger als 10^–3 mbar zulässig sind. Dies bedeutet, dass auch beim Auftreten von Drücken von weniger als 10^–3 mbar in diesem Bereich eine unveränderte Lagerlebensdauer gegenüber dem Betrieb bei anderen Drücken zu erwarten ist.
Die Vakuumpumpe weist in einem Schöpfraum angeordnete Pumpelemente, wie Wälzkolben, Schraubenrotoren oder dergleichen auf. Die Pumpenelemente sind üblicherweise jeweils mit einer rotierenden Welle verbunden, die von mindestens zwei Lageranordnungen getragen wird. Eine der beiden Lageranordnungen kann erfindungsgemäß in einem Vakuumbereich mit entsprechend niedrigem Druck angeordnet sein.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist die erfindungsgemäße Vakuumeinrichtung insbesondere eine bevorzugte Ausführungsform des vorstehend beschriebenen Wälzlagers auf.
Eine weitere unabhängige Erfindung stellt das Wälzlager selbst, insbesondere in den vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen dar.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
1 eine schematische Schnittansicht einer ersten Ausführungsform eines Wälzlagers, das erfindungsgemäß verwendet werden kann,
2 eine schematische Schnittansicht einer zweiten Ausführungsform eines Wälzlagers, das erfindungsgemäß verwendet werden kann, und
3 eine schematische, stark vereinfachte Schnittansicht einer Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einem in einem Niedrig-Druckbereich angeordneten Wälzlager.
Bei der in 1 dargestellten ersten Ausführungsform eines Wälzlagers sind die als Kugeln ausgebildeten Wälzkörper 10 zwischen einem inneren Lagerelement bzw. Lagerring 12 und einem äußeren Lagerelement bzw. Lagerring 14 angeordnet. Die Wälzkörper 10 sind von einem Käfig 16 gehalten. Auf beiden Seiten 18, 20, die jeweils einen Vakuumbereich ausbilden, ist jeweils ein Dichtelement 22, 24 angeordnet. Zwischen den beiden Dichtelementen 22, 24 ist der die Wälzkörper 10 aufnehmende und mit Schmiermittel, wie Fett, gefüllte Lagerraum 26 ausgebildet. Die beiden im dargestellten Ausführungsbeispiel gekröpft ausgebildeten Dichtelemente 22, 24 sind über Halteelemente, wie Sicherungsringe 28, fest mit dem äußeren Lagerring verbunden.
Die Dichtelemente sind derart ausgebildet, dass sie zu dem inneren Lagerring 12 einen Abstand s aufweisen, wobei sich die Spaltbreite bzw. der Abstand s bzgl. des Dichtelements 22 und des Dichtelements 24 unterscheiden können. Dies ist von der Verwendung des erfindungsgemäßen Wälzlagers und dem in den beiden Vakuumbereichen 18, 20 herrschenden Druck abhängig. Die Spaltbreite s ist vorzugsweise kleiner als die mittlere freie Weglänge der Moleküle des das Wälzlager umgebenden Vakuums bzw. in den Vakuumbereichen 18, 20 herrschenden Vakuums. Dies kann erfindungsgemäß kleiner als 10^–3 mbar sein. Die dargestellte Ausführungsform des Wälzlagers weist auf Grund der asymmetrischen Ausgestaltung des inneren Lagerrings 12 auf den beiden Seiten unterschiedliche Lagerelementeabstände h auf. Hierbei wird unter dem Lagerelementeabstand h der lichte Abstand zwischen den beiden Lagerelementen bzw. Lagerringen 12, 14 verstanden.
Bei der in 2 dargestellten zweiten Ausführungsform sind ähnliche oder identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.
In diesem Ausführungsbeispiel (2) ist der innere Lagerring 12 auf einer Welle 30 angeordnet und durch ein Halteelement 32 zur Fixierung gegen einen Lagerabsatz 34 gedrückt. Der äußere Lagerring 14 ist in einem Gehäuseelement 36 angeordnet und über ein beispielsweise mit einer Feder 38 vorgespanntes Halteteil 40 fixiert. Das Halteteil 40 ist entsprechend dem äußeren Lagerring 14 mit dem Gehäuse 36 verbunden. Das Halteteil 40 dient somit ferner auch als Dichtelement und weist daher erfindungsgemäß zwischen einer in Richtung der Welle 30 weisenden Innenseite 42 und einer Oberseite 44 der Welle 30 einen Abstand s auf. Der Dichtspalt s weist wiederum die erfindungsgemäß geringe Breite in Abhängigkeit des in dem Vakuumbereich 18 herrschenden Drucks auf. Der Lagerraum 26 umfasst im dargestellten Ausführungsbeispiel ferner in den Dichtelementen 40 und 46 vorgesehene Speicherräume 51, 52, in denen ebenfalls Schmiermittel aufgenommen ist.
Auf der gegenüberliegenden, in Richtung des Vakuumbereichs 20 weisenden Seite des Lagers ist als Dichtelement ein Bauteil 46 ebenfalls fest mit dem Gehäuse 36 verbunden. Eine in Richtung der Welle 30 weisende Innenfläche 48 des Dichtelements 46 weist erfindungsgemäß zu einer Oberseite 50 des Halteteils 32 einen geringen Abstand s auf. Ggf. kann in dem Bereich des Dichtspalts s auch das Halteteil 32 kürzer ausgebildet sein, so dass der Dichtspalt s unmittelbar zwischen der Fläche 48 des Dichtelements 46 und der Oberseite 44 der Welle 30 ausgebildet ist.
Wie anhand des Halteteils 40 in 2 dargestellt, weist die in Richtung der Welle 30 weisende Innenseite 42 eine Breite b auf. Je größer die Breite b ist, desto besser ist die Dichtwirkung des Spaltes. Die Breite b beträgt mindestens s. Entsprechendes gilt für die Spaltbreiten anders ausgestalteter Dichtelemente, wie beispielsweise der Dichtelemente 22, 24 und 46.
Um den Schmiermittelverlust aus dem Lagerraum 26 weiter zu verringern bzw. einen größeren Spaltabstand auswählen zu können, kann auf der Oberseite 44 der Welle 30 ein als aktives Förderelement wirkendes Gewinde 45 vorgesehen sein. Durch das Gewinde 45 werden Schmiermittel-Moleküle, die sich auf der Welle 30 ablagern, wieder in Richtung des Lagerraums 26 gefördert. Zusätzlich oder anstatt des Gewindes 45 kann auf der gegenüberliegenden Seite, d. h. an der innenliegenden Seite 42, ein entsprechendes Gewinde vorgesehen sein. Das Gewinde muss nur eine geringe Tiefe aufweisen, so dass spiralförmige Vertiefungen als aktives Förderelement ausreichend sind. Selbst die beim Drehen der Welle 30 entstehenden Drehriefen wirken als aktives Förderelement. Zu berücksichtigen ist, dass die spiralförmigen Vertiefungen in Richtung des Lagerraums 26 spiralförmig sind, so dass eine Förderung in Richtung des Lagerraums 26 erfolgt.
Wie insbesondere aus dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ersichtlich ist, ist es erfindungswesentlich, dass der Lagerraum 26, in dem die Wälzkörper 10 und das Schmiermittel angeordnet ist, gegenüber einem oder beiden Vakuumbereichen 18, 22 lediglich eine geringe Verbindung in Form des schmalen Dichtspalts s aufweist. Des Weiteren ist es wesentlich, dass ein Dichtspalt s vorgesehen ist, damit sich die einander gegenüberliegenden, gegeneinander rotierenden Teile nicht berühren. Dies ist insbesondere auf Grund der hohen Drehzahlen erforderlich.
Die beiden vorstehend anhand der 1 und 2 beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen von Wälzlagern bzw. Lageranordnungen können erfindungsgemäß in Vakuumbereichen eingesetzt werden, in denen Drücke von vorzugsweise weniger als 10^–3 mbar herrschen.
Entsprechende oder ähnliche Lager können, wie in 3 schematisch dargestellt, in einer Turbomolekularpumpe eingesetzt werden. Die in 3 schematisch dargestellte Turbomolekularpumpe weist in einem Pumpengehäuse 60 eine Rotorwelle 62 auf. Die Rotorwelle 62 trägt als Pumpelement ein Rotorelement 64. Das Rotorelement 64 weist Rotorscheiben 66 auf, zwischen denen Statorscheiben 68 angeordnet sind. Die stationären Statorscheiben 68 sind durch Statorringe 70 gehalten.
Die in 3 schematisch dargestellte Turbomolekularpumpe saugt Medium in Richtung eines Pfeils 72 an und stößt dieses sodann in Richtung eines Pfeils 74 aus. Auf der in 3 rechten Seite, der Saugseite der Turbomolekularpumpe, herrscht ein niedriger Druck von vorzugsweise weniger als 10^–3 mbar. Erfindungsgemäß kann eine Lageranordnung 76, bei der es sich beispielsweise um ein Lager handelt, wie es anhand der 1 oder 2 beschrieben ist, im Vakuumbereich 20 angeordnet sein. Die Welle ist auf der in der 3 linken Seite durch ein weiteres Lager 78, bei dem es sich ggf. auch um ein einfacher ausgebildetes Wälzlager handeln kann, gelagert.

Claims

Verwendung eines Wälzlagers zur Lagerung rotierender Bauteile in Vakuumeinrichtungen, mit mehreren zwischen zwei Lagerelementen (12, 14) in einem Lagerraum (26) angeordneten Wälzkörpern (10), und mindestens einem Dichtelement (22, 24, 40, 46) zur zumindest einseitigen Abdichtung des Lagerraums (26) gegenüber einem Vakuumbereich (18, 20), wobei das Dichtelement (22, 24, 40, 46) mit einem der beiden Lagerelemente (14) oder einem mit dem Lagerelement verbundenen Bauteil (36) fest verbunden ist und zur Ausbildung einer Spaltdichtung in einem Abstand (s) zum anderen Lagerelement (12) oder einem mit diesem Lagerelement verbundenen Bauteil (30, 32) angeordnet ist, wobei der Abstand (s) kleiner ist als die mittlere freie Weglänge der Moleküle in dem Vakuumbereich (18, 20), dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in dem Vakuumbereich (18, 20) kleiner als 10^–3 mbar ist.
Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in dem Vakuumbereich (18, 20) kleiner als 10^–5 mbar, insbesondere kleiner als 10^–7 mbar ist.
Verwendung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass für den Abstand (s) gilt:
wobei p der Druck in dem Vakuumbereich (18, 20) in mbar ist und wobei x ∊ Rmit 0.5 ≤ x ≤ 12.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (s) kleiner als 20%, insbesondere kleiner als 10% und besonders bevorzugt kleiner als 5% eines Lagerelementeabstandes (h) ist.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch zwei einander gegenüberliegende Dichtelemente (22, 24; 40, 46) zur beidseitigen Abdichtung des Lagerraums (26).
Verwendung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Dichtelemente (22, 24; 40, 46) insbesondere auf Grund der auf den beiden Lagerseiten Vakuumbereiche (18, 20) herrschenden unterschiedlichen Drücken einen unterschiedlichen Abstand (s) aufweisen.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Dichtelement (22, 24) mit dem äußeren Lagerelement fest verbunden ist.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (s) in Umfangsrichtung konstant ist.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Dichtelement (22, 24) zur Ausbildung eines kleinen Lagerraums (26) einen geringen Abstand zu den Wälzkörpern (10) oder einem die Wälzkörper (10) tragenden Käfig (16) aufweist.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Breite (b) eines Dichtelements (40) im Bereich der Spaltdichtung mindestens s beträgt.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch ein im Bereich des Dichtelements (40, 46) angeordnetes, aktives Förderelement (45) zum Zurückfördern austretenden Schmiermittels in den Lagerraum (26).
Verwendung nach Anspruch 11, bei welchem das aktive Förderelement spiralförmige Vertiefungen aufweist, die in einer in Richtung einer Rotorwelle (30) weisenden Innenseite (42, 48) des Dichtelements (40, 46) und/oder in einer Oberfläche (44) der Rotorwelle (30) im Bereich des Dichtelements (40, 46) vorgesehen sind.
Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, mit in einem Schöpfraum angeordneten Pumpelementen (66, 68), mindestens einer die Pumpelemente (36, 38) tragenden, rotierenden Welle (62), mindestens zwei die Welle (62) tragenden Lageranordnungen (76, 78), wobei es sich bei zumindest einer der Lageranordnungen (76) um ein Wälzlager handelt, mit mehreren zwischen zwei Lagerelementen (12, 14) in einem Lagerraum (26) angeordneten Wälzkörpern (10), und mindestens einem Dichtelement (22, 24, 40, 46) zur zumindest einseitigen Abdichtung des Lagerraums (26) gegenüber einem Vakuumbereich (18, 20), wobei das Dichtelement (22, 24, 40, 46) mit einem der beiden Lagerelemente (14) oder einem mit dem Lagerelement verbundenen Bauteil (36) fest verbunden ist und zur Ausbildung einer Spaltdichtung in einem Abstand (s) zum anderen Lagerelement (12) oder einem mit diesem Lagerelement verbundenen Bauteil (30, 32) angeordnet ist, wobei der Abstand (s) kleiner ist als die mittlere freie Weglänge der Moleküle in dem Vakuumbereich (18, 20), dadurch gekennzeichnet, dass ein Druck von weniger als 10^–3 mbar im Vakuumbereich zulässig ist.
Vakuumeinrichtung nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch ein Wälzlager gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12.