DE102008034691A1

DE102008034691A1 - Keramischer Mehrschichtkörper, Induktives Bauelement mit dem Mehrschichtkörper und Verfahren zum Herstellen des Mehrschichtkörpers

Info

Publication number: DE102008034691A1
Application number: DE102008034691A
Authority: DE
Inventors: Roman Dr. Karmazin; Richard Dr. Matz; Steffen Dr. Walter
Original assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Current assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Priority date: 2008-07-01
Filing date: 2008-07-25
Publication date: 2010-03-04

Abstract

Die Erfindung betrifft einen keramischen Mehrlagenkörper mit einer Keramikschicht mit Keramikmaterial, das eine bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, und mindestens einer weiteren Keramikschicht mit weiterem Keramikmaterial, das eine weitere bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, wobei zwischen den Keramikschichten eine Pulverschicht mit Keramikpulver angeordnet ist, das eine Pulver-Dichtbrandtemperatur aufweist, die höher ist als die Keramik-Dichtbrandtemperatur der Keramik und die höher ist als die weitere Keramik-Dichtbrandtemperatur der weiteren Keramik, und der Mehrlagenkörper durch eine Klemmvorrichtung zusammengehalten wird. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen des keramischen Mehrlagenkörpers mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: Bereitstellen eines keramischen Grünkörpers mit mindestens einer keramischen Gründfolie mit dem Keramikmaterial, einer weiteren keramischen Grünfolie mit dem weiteren Keramikmaterial und mindestens einer zwischen den Grünfolien angeordneten Pulverschicht mit dem Keramikpulver und Sintern des Grünkörpers bei einer derartigen Sintertemperatur, dass das Keramikmaterial verdichtet, das weitere Keramikmaterial verdichtet und das Keramikpulver im Wesentlichen unverändert bleibt. Die Pulverschicht fungiert als Sinterstop. Verwendung findet die Erfindung in der Leistungselektronik, beispielsweise in der Realisierung von elektronischen Vorschaltgeräten durch die Integrationsmöglichkeit von induktiven Bauelementen ...

Description

Die Erfindung betrifft einen keramischen Mehrschichtkörper, ein Induktives Bauelement mit dem Mehrschichtkörper und Verfahren zum Herstellen des Mehrschichtkörpers.
Ein Keramischer Mehrschichtkörper bietet hinsichtlich einer Miniaturisierung den Vorteil, dass in dessen Volumen elektrische Bauelemente, beispielsweise Leiterbahnen, Widerstände, Kapazitäten und Induktivitäten integriert werden können. Bekannte Herstellungsverfahren sind die HTCC(High Temperatur Cofired Ceramics)- und LTCC(Low Temperatur Cofired Ceramics)-Technologie. Bei dieser Technologie werden ungesinterte keramische Grünfolien unter Verwendung metallgefüllter, elektrisch leitfähiger Pasten in Stanz- und Siebdruckverfahren mit Durchkontaktierungen und planaren Leitungsstrukturen versehen und anschließend im Stapel zusammen gesintert. Dabei entstehen thermisch belastbare, hermetisch dichte, planare Mehrschicht-Substrate. Diese Mehrschicht-Substrate können als Schaltungsträger weiterer Bauelemente fungieren. Der Vorteil der LTCC-Technologie liegt darin, dass eine Dichtbrandtemperatur so niedrig ist, dass bei relativ niedriger Temperatur schmelzende und elektrisch hochleitfähige Metalle wie Silber oder Kupfer zur Integration der Bauelemente verwendet werden können.
Für viele Anwendungsgebiete, beispielsweise Strom- und Spannungstransformation oder Tiefpassfilter in leistungselektronischen Schaltungen, sind wegen der niedrigeren Frequenzen (im MHz-Bereich) induktive Bauelemente mit besserer magnetischer Kopplung auf Basis magnetischer Werkstoffe erforderlich, die den magnetischen Fluss verstärken und formen können. Hierfür sind zahlreiche Varianten von Spulen- und Transformatorkernen aus ferritischer Keramik verfügbar, die sich nachträglich mit Hilfe von Metallklammern an den erwähnten planaren Schaltungsträgern befestigen lassen.
Die Integration solcher induktiver Bauelemente hat sich wegen divergierender Ansprüche an Material- und Prozesstechnik noch nicht etablieren können. Es treten vor allem zwei Probleme auf:

• Eine Steigerung der magnetischen Leistungsfähigkeit von Ferriten, d. h. eine Erhöhung der Permeabilität des Kernmaterials, mit Hilfe keramischer Technologien geht erfahrungsgemäß einher mit einer Abnahme des spezifischen Widerstandes des Kernmaterials und damit der Reduzierung der wichtigen Gleichspannungs-Isolation zwischen Primär- und Sekundärseite des Transformators.
• Sind Stromwicklungen homogen in Ferrit-Werkstoff eingebettet, so können sich magnetische Feldlinien teilweise auf kürzeren Wegen schließen ohne zur magnetischen Verkopplung der Windungen beizutragen; solche Streuinduktivitäten reduzieren die Leistungsfähigkeit des induktiven Bauelements.

Beide Schwierigkeiten können grundsätzlich durch Einbettung der Strom führenden Windungen in gut isolierendes Material geringer Permeabilität gelöst werden. Eine derartige Lösung ist aus der US 5,349,743 A bekannt. Darin ist ein Verfahren zum Herstellen eines monolithischen keramischen Mehrschichtkörpers mit integriertem Transformator bekannt. Dabei wird auf die LTCC-Technologie zurückgegriffen, wobei ein Werkstoff mit niedriger Permeabilität bei einem relativ hohen spezifischen elektrischen Widerstand und ein Werkstoff mit höherer Permeabilität bei einem relativ niedrigen spezifischen Widerstand verwendet werden. Die Integration dieser beiden Werkstoffe erfolgt durch Ausstanzen von Öffnungen in den Grünfolien des einen Werkstoffs, Füllen der Öffnungen mit Folienstücken oder Folienstapeln des anderen Werkstoffs und anschließendes gemeinsames Sintern. Dieser Prozess, der im Grunde eine laterale Strukturierung von Grünfolien beinhaltet, ist aufwändig und relativ teuer. Darüber hinaus ist die Integration unterschiedlicher Materialien nicht zuletzt auf grund unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten problematisch, so dass die aus der Druckschrift bekannte Lösung nur für spezielle Material-Kombinationen geeignet ist.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, aufzuzeigen, wie verschiedene keramische Werkstoffe in einen keramischen Mehrschichtkörper auf einfache Weise mit hoher Flexibilität integriert werden können.
Zur Lösung der Aufgabe wird ein keramischer Mehrlagenkörper mit einer Keramikschicht mit Keramikmaterial, das eine bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, und mindestens einer weiteren Keramikschicht mit weiterem Keramikmaterial, das eine weitere bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, angegeben, wobei zwischen den Keramikschichten eine Pulverschicht mit Keramikpulver angeordnet ist, das eine Pulver-Dichtbrandtemperatur aufweist, die höher ist als die Keramik-Dichtbrandtemperatur der Keramik und die höher ist als die weitere Keramik-Dichtbrandtemperatur der weiteren Keramik, und der Mehrlagenkörper durch eine Klemmvorrichtung zusammengehalten wird.
Zur Lösung der Aufgabe wird auch ein Verfahren zum Herstellen des keramischen Mehrlagenkörpers mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: Bereitstellen eines keramischen Grünkörpers mit mindestens einer keramischen Grünfolie mit dem Keramikmaterial, einer weiteren keramischen Grünfolie mit dem weiteren Keramikmaterial und mindestens einer zwischen den Grünfolien angeordneten Pulverschicht mit dem Keramikpulver und Sintern des Grünkörpers bei einer derartigen Sintertemperatur, dass das Keramikmaterial verdichtet, das weitere Keramikmaterial verdichtet und das Keramikpulver im Wesentlichen unverändert bleibt.
Der Mehrlagenkörper ist nicht monolithisch, also nicht einstückig. Er besteht aus mindestens zwei Teilen aus unterschiedlichen keramischen Materialien. Die beiden Teile werden durch die Klemmvorrichtung zusammengehalten. Beim Sintern werden nur das Keramikmaterial und das weitere Keramikmaterial verdichtet. Dagegen wird das Keramikpulver nicht verdichtet. Dies bedeutet, dass ein spannungsfreier keramischer Mehrschichtkörper erhalten wird. Auf diese Weise können beispielsweise Keramikmaterialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten verwendet werden. Auch spielt unterschiedliches Schwindungsverhalten der Keramikmaterialien keine Rolle. Es kommt weder beim Sintern noch im Einsatz des Mehrschichtkörpers zu zerstörerischen mechanischen Spannungen. Es resultiert ein zuverlässiges Bauteil.
Es kann eine Keramiklage vorgesehen sein. Gemäß einer besonderen Ausgestaltung sind mehrere Keramiklagen mit dem Keramikmaterial vorhanden, die mindestens einen monolithischen Schichtstapel bilden. Gleiches gilt für die weitere Keramiklage. Vorzugsweise sind mehrere weitere Keramiklagen mit dem weiteren Keramikmaterial vorhanden, die mindestens einen weiteren monolithischen Schichtstapel bilden. Die Pulverschicht mit dem Keramikpulver ist vorzugsweise zwischen dem monolithischen Schichtstapel und dem weiteren monolithischen Schichtstapel angeordnet.
Gemäß einer besondern Ausgestaltung weist der Schichtstapel mindestens eine Durchgangsöffnung auf, in der weiteres Keramikmaterial angeordnet ist. Dabei ist auf einer Oberseite des Schichtstapels ein die Durchgangsöffnung zumindest teilweise bedeckender oberer weiterer Schichtstapel angeordnet, auf einer Unterseite des Schichtstapels ein die Durchgangsöffnung zumindest teilweise bedeckender unterer weiterer Schichtstapel angeordnet und die beiden weiteren Schichtstapel bilden zusammen mit dem weiteren Keramikmaterial einen monolithischen Verbund, der als Klemmvorrichtung zum Zusammenhalten des Mehrlagenkörpers fungiert. Vorzugsweise bilden die beiden weiteren Schichtstapel eine räumlich mehrfach zusammenhängenden Verbund.
Das weitere Keramikmaterial kann als Formmasse in der Durchgangsöffnung des Schichtstapels angeordnet sein. Insbesondere ist in der Durchgangsöffnung des Schichtstapels mindestens ein Öffnungs-Schichtstapel mit übereinander angeordneten weiteren Keramiklagen mit dem weiteren Keramikmaterial angeordnet. Vorzugsweise ist der Öffnungs-Schichtstapel monolithisch.
Die verwendeten Materialien können an sich beliebig sein. Entscheidend ist, dass das Keramikpulver beim Sintern nicht verdichtet. Als besonders geeignet hat sich die Anwendung der LTCC-Technologie herausgestellt. Die in der LTCC-Technologie verwendeten Materialien verdichten bei relativ niedriger Temperatur (Dichtbrandtemperatur). Gemäß einer besonderen Ausgestaltung liegt daher die Keramik-Dichtbrandtemperatur des Keramikmaterials unter 950°C und insbesondere unter 900°C, die weitere Keramik-Dichtbrandtemperatur des weiteren Keramikmaterials unter 950°C und insbesondere unter 900°C und die Pulver-Dichtbrandtemperatur des Keramikpulvers über 1000°C und insbesondere über 1100°C liegt. Somit ist es möglich, das Sintern bei moderaten Temperaturen durchzuführen. Gleichzeitig ist dafür gesorgt, dass das Keramikpulver nicht verdichtet. Es resultiert kein monolithischer Mehrlagenkörper.
Als Keramikpulver eignen sich alle, bei relativ hoher Temperatur verdichtenden Materialien, insbesondere Oxide und Nitride. Gemäß einer besonderen Ausgestaltung ist das Keramikpulver zumindest aus der Gruppe Aluminiumoxid (Al₂O₃), Aluminiumnitrid (AlN) und Zirkoniumoxid (ZrO₂) ausgewählt. Diese Materialien eignen sich besonders in Kombination mit Keramiken, die aus der LTCC-Technologie bekannt sind.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein induktives Bauelement mit mindestens einem keramischen Mehrlagenkörper angegeben, wobei im monolithischen Schichtstapel des Mehrlagenkörpers mindestens eine Windung mindestens einer Induktionsspule des induktiven Bauelements integriert ist und der weitere monolithische Schichtstapel Bestandteil eines Kerns des induktiven Bauelements ist. Die Induktionsspule ist bei spielsweise alleinstehend oder Bestandteil eines Transformators.
Insbesondere im Hinblick auf das induktive Bauelement mit dem keramischen Mehrschichtkörper weist das weitere Keramikmaterial ein ferritisches Keramikmaterial auf und das Keramikmaterial ein dielektrisches Keramikmaterial mit einer im Vergleich zum weiteren Keramikmaterial niedrigeren Permeabilität auf.
Wie bereits angegeben, sind vorzugsweise im Mehrlagenkörper Schichtstapel aus den verschiedenen Keramikmaterialien realisiert. Zum Herstellen eines derartigen Mehrschichtkörpers wird vorzugsweise wie folgt vorgegangen: Zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers werden mehrere keramische Grünfolien zu einem Grünfolienverbund mit einer Grünfolienverbund-Öffnung gestapelt. Ebenso werden zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers mehrere weitere keramische Grünfolien zu mindestens einem weiteren Grünfolienverbund gestapelt. Durch Laminieren, Entbindern und das nachfolgende Sintern werden aus den Grünfolienverbünden die entsprechenden monolithischen Schichtstapel.
Gemäß einer besonderen Ausgestaltung wird zum Anordnen der Pulverschicht eine Schicht mit bei der Sintertemperatur verbrennbaren Material angeordnet. Die Schicht kann eine einen organischen Binder enthaltende Grünfolie mit dem Keramikpulver sein. Vorzugsweise weist das verbrennbare Material Cellulose auf. Beim Sintern in Gegenwart von Sauerstoff wird die Cellulose oxidiert und entweicht als Kohlendioxid. Zurück bleiben die keramischen Pulverpartikel, die die Pulverschicht bilden. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung weist das verbrennbare Material eine flüssige Phase auf. Gemäß dieser Alternative kann eine verbrennbare Beschichtung aus der flüssigen Phase, beispielsweise kolloidales Graphit oder Kohlenstoff, vorgesehen sein, die bereits mit dem Keramikpulver versetzt ist oder beim Trocknen mit diesem beschichtet wird.
Als besonders geeignet hat sich die Verwendung von Aluminiumoxid-Papier herausgestellt. Das Keramikpulver besteht aus Aluminiumoxid. Das Papier verbrennt beim Sintern.
Gemäß einer besonderen Ausgestaltung werden zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers mehrere weitere keramische Grünfolien zu mindestens einem Öffnungs-Grünfolienverbund gestapelt, der in die Grünfolienverbund-Öffnung des Grünfolieverbunds eingesetzt wird. Insbesondere wird der Öffnungs-Grünfolienverbund vor dem Anordnen in der Grünfolienverbund-Öffnung verdichtet. Eventuell wird anschließend entsprechend der Ausmaße der Grünfolienverbund-Öffnung zugeschnitten. Somit lässt sich beispielsweise eine Vielzahl von Öffnungs-Grünfolienverbünden im Nutzen herstellen.
Vorzugsweise wird ein Öffnungs-Grünfolienverbund verwendet, der eine Verbundhöhe aufweist, die größer ist, als eine Öffnungshöhe der Grünfolienverbund-Öffnung, so dass der Öffnungs-Grünfolienverbund den Grünfolienverbund überragt. Damit ist sichergestellt, dass sich der Öffnungs- Grünfolienverbund und die weiteren Grünfolienverbünde beim Sintern miteinander verbinden. Vorzugsweise verdichtet das weitere Keramikmaterial derart, dass die Klemmvorrichtung gebildet wird.
Insbesondere wird ein Öffnungs-Grünfolienverbund verwendet, der eine laterale Verbundausdehnung aufweist, die kleiner ist als eine Öffnungsweite der Grünfolienverbund-Öffnung, so dass der Öffnungs-Grünfolienverbund mit einem Spiel in die Grünfolienverbund-Öffnung eingesetzt werden kann. der Öffnungs-Grünfolienverbund wird nicht passgenau in der Grünfolieverbund-Öffnung angeordnet.
Verwendung findet das induktive Bauelement mit dem keramischen Mehrlagenkörper in der Leistungselektronik, beispielsweise in einem so genannten elektronischen Vorschaltgerät.
Zusammenfassend sind folgende Vorteile der Erfindung hervorzuheben:

– Es können Werkstoffe mit unterschiedlichem Sinter- und Ausdehnungsverhalten gemeinsam im Verbund gesintert werden. Dies ist insbesondere vorteilhaft in der Situation, in der keine elektrisch leitfähigen Durchkontaktierungen in einer Grenzfläche zwischen den verschiedenen Keramikschichten erforderlich sind, z. B. bei Ferritkernen von Transformatoren.
– Ein mit der Erfindung einhergehender Wegfall der sonst notwendigen Anpassung der Materialien aneinander erweitert die kombinierbare Materialpalette und spart Entwicklungsarbeit.
– Im konkreten Fall des Transformators können die gemäß dem Stand der Technik vorgeschlagenen Bauteilstrukturen, insbesondere die dielektrisch isolierte Einbettung der Spulenwindungen, einfach realisiert werden.
– Der Sinterstop an der Grenzfläche zwischen den verschiedenen Keramikschichten führt zu spannungsfrei gesinterter Keramik. Im Fall eines induktiven Bauelements mit Induktionsspule und Ferritkern erreicht der Ferrit eine bessere magnetische Performanz. Außerdem können Ferritdicken eingesetzt werden, die den Wirkungsgrad des jeweiligen Bauteils durch reduzierte magnetische Flussdichte optimal fördern.

Anhand eines Ausführungsbeispiels und der dazugehörigen Figur wird die Erfindung im Folgenden näher beschrieben. Die Figur ist schematisch und stellt keine maßstabsgetreue Abbildung dar.
Gemäß der Erfindung werden Induktionsspule und Ferritkern in einem keramischen Mehrschichtkörper 1 integriert. Die Integration ist in der Figur angedeutet.
Dazu wird Aluminiumoxid-Papier als Sinterstop zwischen den beiden Keramikschichten bzw. zwischen den Keramiken eingesetzt. Dadurch wird zwar das gemeinsame Sintern ermöglicht, jedoch der monolithische Verbund vermieden. Die relevanten Verfahrensschritte sind in der Figur dargestellt. Die Bezifferung der Funktionselemente ist identisch mit Bild 1.
Das induktive Bauelement weist einen im Schichtstapel 1 integrierten Transformator auf. Dazu sind Leiterbahnen 5 und 6, die die primäre und die sekundäre Induktionsspule bilden, in dem Schichtstapel integriert.
Zur Erzielung einer hohen magnetischen Kopplung zwischen der Primär- und der Sekundärwicklung sind die Windungen co-axial übereinander angeordnet, so dass der magnetische Fluss im Windungsmittelpunkt senkrecht zur Hauptfläche des Schichtstapels durch die Sekundärspule greifen kann. Ein magnetisierbarer Ferritkern erhöht die magnetische Flussdichte im Bereich 2, so dass der Anteil unverkoppelter Feldlinien am Gesamtfluss relativ zurückgedrängt wird. Im Ferritkern schließen sich die Feldlinien außerhalb der Spulenwicklungen über die Pfade 7-3-8 bzw. 7-4-8. Die Teile 2, 3, 4 und 7 bilden die charakteristische E-Form des Ferritkerns, der durch die Schichtstapel 7 und 8 geschlossen wird. E-Kerne werden aus magnetischer Keramik gesintert.
Der resultierende E-Kern fungiert auch als Klemmvorrichtung für den gesamten keramischen Mehrlagenköper.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- US 5349743 A [0005]

Claims

Keramischer Mehrlagenkörper 11 mit – einer Keramikschicht mit Keramikmaterial, das eine bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, und – mindestens einer weiteren Keramikschicht mit weiterem Keramikmaterial, das eine weitere bestimmte Keramik-Dichtbrandtemperatur aufweist, wobei – zwischen den Keramikschichten eine Pulverschicht mit Keramikpulver angeordnet ist, das eine Pulver-Dichtbrandtemperatur aufweist, die höher ist als die Keramik-Dichtbrandtemperatur der Keramik und die höher ist als die weitere Keramik-Dichtbrandtemperatur der weiteren Keramik, und – der Mehrlagenkörper durch eine Klemmvorrichtung zusammengehalten wird.
Keramischer Mehrlagenkörper nach Anspruch 1, wobei mehrere Keramiklagen mit dem Keramikmaterial vorhanden sind, die mindestens einen monolithischen Schichtstapel bilden.
Keramischer Mehrlagenkörper nach Anspruch 1 oder 2, wobei mehrere weitere Keramiklagen mit dem weiteren Keramikmaterial vorhanden sind, die mindestens einen weiteren monolithischen Schichtstapel bilden.
Keramischer Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei zwischen dem monolithischen Schichtstapel und dem weiteren monolithischen Schichtstapel die Pulverschicht mit dem Keramikpulver angeordnet ist.
Keramischer Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei – der Schichtstapel mindestens eine Durchgangsöffnung aufweist, in der weiteres Keramikmaterial angeordnet ist, – auf einer Oberseite des Schichtstapels ein die Durchgangsöffnung zumindest teilweise bedeckender oberer weiterer Schichtstapel angeordnet ist, – auf einer Unterseite des Schichtstapels ein die Durchgangsöffnung zumindest teilweise bedeckender unterer weiterer Schichtstapel angeordnet ist und – die beiden weiteren Schichtstapel zusammen mit dem weiteren Keramikmaterial einen monolithischen Verbund bilden, der als Klemmvorrichtung zum Zusammenhalten des Mehrlagenkörpers fungiert.
Keramischer Mehrlagenkörper nach Anspruch 5, wobei in der Durchgangsöffnung des Schichtstapels mindestens ein Öffnungs-Schichtstapel mit übereinander angeordneten weiteren Keramiklagen mit dem weiteren Keramikmaterial angeordnet ist.
Keramischer Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei – die Keramik-Dichtbrandtemperatur des Keramikmaterials unter 950°C und insbesondere unter 900°C liegt, – die weitere Keramik-Dichtbrandtemperatur des weiteren Keramikmaterials unter 950°C und insbesondere unter 900°C liegt und – die Pulver-Dichtbrandtemperatur des Keramikpulvers über 1000°C und insbesondere über 1100°C liegt.
Keramischer Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Keramikpulver zumindest aus der Gruppe Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid und Zirkoniumoxid ausgewählt ist.
Keramischer Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei – das weitere Keramikmaterial ein ferritisches Keramikmaterial aufweist und – das Keramikmaterial ein dielektrisches Keramikmaterial mit einer im Vergleich zum weiteren Keramikmaterial niedrigeren Permeabilität aufweist.
Induktives Bauelement mit mindestens einem keramischen Mehrlagenkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei – im monolithischen Schichtstapel des Mehrlagenkörpers mindestens eine Windung mindestens einer Induktionsspule des induktiven Bauelements integriert ist und – der weitere monolithische Schichtstapel Bestandteil eines Kerns des induktiven Bauelements ist.
Bauelement nach Anspruch 10, wobei die Induktionsspule Bestandteil eines Transformators ist.
Verfahren zum Herstellen des keramischen Mehrlagenkörpers nach einem der Ansprüche 1 bis 9 mit folgenden Verfahrensschritten: – Bereitstellen eines keramischen Grünkörpers mit mindestens einer keramischen Grünfolie mit dem Keramikmaterial, einer weiteren keramischen Grünfolie mit dem weiteren Keramikmaterial und mindestens einer zwischen den Grünfolien angeordneten Pulverschicht mit dem Keramikpulver und – Sintern des Grünkörpers bei einer derartigen Sintertemperatur, dass das Keramikmaterial verdichtet, das weitere Keramikmaterial verdichtet und das Keramikpulver im Wesentlichen unverändert bleibt.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei zum Anordnen der Pulverschicht eine Schicht mit verbrennbarem Material angeordnet wird.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das verbrennbare Material Cellulose aufweist.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, wobei das verbrennbare Material eine flüssige Phase aufweist.
Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Schicht mit dem verbrennbaren Material Aluminiumoxid-Papier ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, wobei zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers mehrere keramische Grünfolien zu einem Grünfolienverbund mit einer Grünfolienverbund-Öffnung gestapelt werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, wobei zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers mehrere weitere keramische Grünfolien zu mindestens einem weiteren Grünfolienverbund gestapelt werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 18, wobei zum Bereitstellen des keramischen Grünkörpers mehrere weitere keramische Grünfolien zu mindestens einem Öffnungs-Grünfolienverbund gestapelt werden der in die Grünfolienverbund-Öffnung des Grünfolieverbunds eingesetzt wird.
Verfahren nach Anspruch 19, wobei der Öffnungs-Grünfolienverbund vor dem Anordnen in der Grünfolienverbund-Öffnung verdichtet wird.
Verfahren nach Anspruch 20, wobei ein Öffnungs-Grünfolienverbund verwendet wird, der eine Verbundhöhe aufweist, die größer ist, als eine Öffnungshöhe der Grünfolienverbund-Öffnung, so dass der Öffnungs-Grünfolienverbund den Grünfolienverbund überragt.
Verfahren nach 20 oder 21, wobei ein Öffnungs-Grünfolienverbund eine laterale Verbundausdehnung aufweist, die kleiner ist als eine Öffnungsweite der Grünfolienverbund-Öffnung, so dass der Öffnungs-Grünfolienverbund mit einem Spiel in die Grünfolienverbund-Öffnung eingesetzt werden kann.
Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 22, wobei das weitere Keramikmaterial verdichtet und die Klemmvorrichtung bildet.
Verwendung eines induktiven Bauelements nach Anspruch 10 oder 11 in der Leistungselektronik.