DE102008019054A1

DE102008019054A1 - Differenzdrucksensor

Info

Publication number: DE102008019054A1
Application number: DE200810019054
Authority: DE
Inventors: Wolfgang Dannhauer; Michael Philipps; Anh Tuan Dr. Tham; Roland Prof. Dr. Wertschützky; Timo Kober; Ingmar Stöhr
Original assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date: 2008-04-15
Filing date: 2008-04-15
Publication date: 2009-11-05

Abstract

Ein Differenzdrucksensor mit einem Grundkörper und zwei Messmembranen, wobei die Messmembranen an dem Grundkörper unter Einschluss von zwei Druckkammern befestigt sind, wobei die Messmembranen über einen hydraulischen Kopplungspfad gekoppelt sind, der die Druckkammern und einen Kanal umfasst, der sich durch den Grundkörper zwischen der ersten und der zweiten Druckkammer erstreckt, wobei die Druckkammern und der Kanal mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, wobei die Lage der beiden Membranen eine Funktion der Differenz zwischen einem ersten Druck ist, der auf die erste Messmembran wirkt, und einem zweiten Druck, der auf die zweite Messmembran wirkt, wobei zumindest eine der Messmembranen im Falle einer einseitigen Überlast an dem Grundkörper anliegt und damit eine weitere Auslenkung der Messmembran verhindert, ist dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper in dem Bereich, an dem die Messmembran befestigt ist und an dem die mindestens eine Messmembran im Falle einer einseitigen Überlast anliegt, eine im Wesentlichen ebene Kontur aufweist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Differenzdrucksensor, zum Erfassen der Differenz zwischen einem ersten Mediendruck und einem zweiten Mediendruck, insbesondere einen mikromechanischen Differenzdrucksensor.
Gewöhnlich ist die Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck erheblich geringer als der erste Druck oder der zweite Druck, so dass das Messelement einerseits empfindlich genug sein muss um die Druckdiffferenz hinreichend genau zu bestimmen, und andererseits hinreichend stabil sein muss, um Überlasten in der Größenordnung des Mediendrucks standzuhalten.
Herkömmliche Differenzdrucksensoren können dies gewöhnlich nicht leisten. Sie sind deshalb in ein Messwerk mit einer hydraulischen Druckübertragung zwischen medienberührenden Trennmembranen und dem Sensor eingebaut, wobei das Messwerk weiterhin einem Überlastschutz umfasst. Dieser Überlastschutz umfasst gewöhnlich eine Überlastmembran, die bei Überlasten so weit ausgelenkt wird, dass sie das gesamte Volumen der Übertragungsflüssigkeit einer Druckkammer aufnimmt, die von der Trennmembran verschlossen wird, an welcher der Überdruck ansteht. Auf diese Weise kommt die Trennmembran an einem Membranbett in der Druckkammer zur Anlage, wodurch die Druckeinleitung begrenzt ist.
Wenngleich diese Lösung prinzipiell funktioniert und in der Praxis bewährt ist, so weist sie doch einige Nachteile auf. Der Volumenhub der Überlastmembran ist gewöhnlich auf beiden Seiten der Überlastmembran vorzusehen, wodurch das Volumen des hydraulischen Pfades auf beiden Seiten der Überlastmembran um das Volumen des Volumenhubs zunimmt. Insoweit, als der Volumenhub der Überlastmembran aber mindestens so groß sein muss wie das Volumen in den Druckkammern unter den Trennmembranen bei maximaler Betriebstemperatur, um eben dieses Volumen im Falle einer Überlast aufnehmen zu können, so bewirkt dieses Konzept mehr als eine Verdopplung des Volumens eines hydraulischen Übertragungspfads. Dies erfordert einerseits flexiblere Trennmembranen, um die entsprechend zunehmenden temperaturabhängigen Volumenänderungen aufnehmen zu können, und andererseits bewirkt es eine eingeschränkte Dynamik des Systems, da die Masse der Übertragungsflüssigkeit zunimmt, und eine entsprechend große Hydraulische Kapazität für die Überlastmembran vorzusehen ist. Schließlich führt der beschriebene Ansatz zu größeren und damit teureren Messwerken. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen überlastfesten Differenzdrucksensor bereitzustellen, also einen Differenzdrucksensor, der keine Absicherung durch Überlastmembranen benötigt.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Differenzdrucksensor gemäß Anspruch 1.
Die Erfindung offenbart einen Differenzdrucksensor mit einem Grundkörper und einer ersten Messmembran und einer zweiten Messmembran, wobei die Messmembranen an dem Grundkörper unter Einschluss einer ersten und zweiten Druckkammer befestigt sind, wobei die Messmembranen über einen hydraulischen Kopplungspfad gekoppelt sind, der die erste und die zweite Druckkammer und einen Kanal umfasst, der sich durch den Grundkörper zwischen der ersten und der zweiten Druckkammer erstreckt, wobei die Druckkammern und der Kanal mit einem Übertragungsmedium, beispielsweise mit einer Übertragungsflüssigkeit oder einem Gel gefüllt sind, wobei die Lage der beiden Membranen eine Funktion der Differenz zwischen einem ersten Druck ist der auf die erste Messmembran wirkt, und einem zweiten Druck, der auf die zweite Messmembran wirkt, wobei zumindest eine der Messmembranen im Falle einer einseitigen Überlast an dem Grundkörper anliegt, und damit eine weitere Auslenkung der Messmembranen verhindert, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper in dem Bereich, an dem die Messmembran befestigt ist, und an dem die mindestens eine Messmembran im Falle einer einseitigen Überlast anliegt, eine im wesentlichen ebene Kontur aufweist.
In einer Ausgestaltung der Erfindung sind die Messmembranen in der Gleichgewichtslage des Differenzdrucksensors jeweils aus ihrer individuellen Gleichgewichtslage ausgelenkt, wobei der hydraulische Kopplungspfad eine Menge einer in erster Näherung inkompressiblen Übertragungsflüssigkeit enthält, deren Volumen, größer ist als das zwischen den Messmembranen eingeschlossene Volumen des hydraulischen Kopplungspfads, wenn beide Messmembranen ihre Gleichgewichtslage einnehmen. In einer Weiterbildung der Erfindung weist jede der beiden Messmembranen jeweils dann eine geringere Biegespannung auf als in der Gleichgewichtslage des Differenzdrucksensors, wenn sie an dem Grundkörper anliegt. Insbesondere können die Messmembranen in ihrer Gleichgewichtslage jeweils an dem Grundkörper anliegen.
Der erfindungsgemäße Differenzdrucksensor kann insbesondere ein mikromechanischer Differenzdrucksensor sein, dessen Grundkörper Glas und/oder Keramik, insbesondere LTCC, und/oder Halbleitermaterialien, insbesondere Silizium umfasst.
Die Messmembranen können einen Keramikwerkstoff oder Halbleitermaterialien, insbesondere Silizium, aufweisen, wobei derzeit Silizium bevorzugt ist.
In einer Weiterbildung umfasst der weiterhin mindestens einen Tiefpass, insbesondere in Form einer Drosselvorrichtung. Mit der Drosselvorrichtungen können insbesondere kurze Überlastspitzen bedämpft werden.
Die Drosselvorrichtung kann beispielsweise einen sehr geringen Kanalquerschnitt oder einen porösen Werkstoff, insbesondere ein poröses Halbleitermaterial aufweist.
Die Drosselvorrichtung bzw. der Tiefpass kann gemäß einer Ausgestaltung beispielsweise in dem Kopplungspfad zwischen den Druckkammern angeordnet sein.
In einer anderen Ausgestaltung kann die Drosselvorrichtung bzw. der Tiefpass außerhalb des Kopplungspfades den Messmembranen vorgelagert angeordnet sein, beispielsweise in einem hydraulischen Pfad, über den eine Messmembranen mit einem Druck beaufschlagt wird.
Die Messmembranen können nach einem anderen Gesichtspunkt der Erfindung in ihrem auslenkbaren Bereich auf ihrer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche jeweils eine Vertiefung gegenüber dem Randbereich aufweisen. Diese Vertiefungen bewirken ein reduziertes Flächenträgheitsmoment von axialen Schnitten des auslenkbaren Bereichs. Damit sind die Messmembranen einerseits leichter auszulenken und andererseits kann durch die Gestaltung der Vertiefung die Biegelinie der Messmembranen beeinflusst werden. Dies ist beispielsweise dann vorteilhaft, wenn ein spannungsabhängiger Wandler vorgesehen ist, beispielsweise ein piezoresistiver Wandler, und die Verformung der Messmembran verstärkt im Bereich der piezoresistiven Widerstandselemente erfolgen soll.
Grundsätzlich sind aber beliebige Wandler zum Erfassen der Verformung der Messmembranen geeignet, beispielsweise kapazitive Wandler oder Differenzdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend zwei Druckkammern, wobei zumindest der auslenkbare Bereich der Messmembranen jeweils in einer der Druckkammern angeordnet ist, wobei die Druckkammern jeweils eine Öffnung aufweisen, durch die sie mit einem Druck beaufschlagbar sind.
1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors 1. Der Differenzdrucksensor 1 umfasst einen zylinderscheibenförmigen Grundkörper 10, der LTCC Low Temperature Cofired Ceramic als Werkstoff aufweist. der Grundkörper umfasst weiterhin einen Befüllkanal 11, der sich von der Mantelfläche des Grundkörpers 10 parallel zu dessen Stirnflächen bis etwa zum Zentrum des Grundkörpers erstreckt. Der Befüllkanal 11 ist mittels eines Verschlusselements 12, beispielsweise einer Stahlkugel oder einer Madenschraube, von der Mantelfläche her verschließar.
Der Grundkörper umfasst weiterhin einen Kopplungskanal 13, der sich zwischen den beiden Stirnflächen des Grundkörpers erstreckt, wobei der Befüllkanal mit dem Kopplungskanal hydraulisch in Verbindung steht, um den Kopplungskannal über den Befüllkanal befüllen zu können. Auf der ersten und der zweiten Stirnfläche des Grundkörpers 10 ist eine erste Messmembran 20 bzw. eine zweite Messmembran 21 mittels einer Fügestelle befestigt, insbesondere über so genanntes anodisches Bonden.
In einem Zentralbereich der Messmembranen, der von einem inneren Rand der Fügestellen 22 bzw. 23 begrenzt ist, sind die erste und die zweite Messmembran bezüglich der durch die Fügestelle definierte Ebene auslenkbar. Der Kopplungskanal mündet in dem von den Fügestellen umschlossenen Bereichen in die Stirnflächen des Grundkörpers ein.
Über den Befüllkanal 11, ist das zwischen den Messmembranen eingeschlossene Volumen mit einer Menge einer Übertragungsflüssigkeit befüllt, die so groß ist, dass die Messmembranen 20, 21 aus ihrer Gleichgewichtslage ausgelenkt sind, und zwar über den gesamten Temperaturbereich, für den der Differenzdrucksensor spezifiziert ist.
Der erfindungsgemäße Differenzdrucksensor gemäß dieses Ausführungsbeispiels ist sowohl gegenüber statischen Überlasten als auch gegenüber dynamischen Überlasten überlastfest, so dass er keine zusätzlichen Absicherungen, beispielsweise durch eine Überlastmembran in einem hydraulischen Messwerk benötigt.
Ein statischer Überlastschutz ist dadurch erreicht, dass im Falle einer Überlast jeweils die Messmembran, von deren Seite her die Überlast auftritt, am Grundkörper anliegt. Damit ist eine weitere Auslenkung der Messmembranen zuverlässig verhindert.
Ein dynamischer Überlastschutz wird durch eine Drossel im Kopplungspfad erreicht, die wie ein Tiefpass wirkt. Bei kurzen Druckschlägen baut sich zwischen der Drossel und der Messmembran, auf deren Seite der Druck eingeleitet wurde, ein Druck auf, der nur langsam über die Drossel abgebaut werden kann, wodurch die Messmembran stabilisiert wird.
Die Messmembranen 20, 21 sind jeweils von einem ersten bzw. zweiten Druckgehäusekörper 30, 31, der jeweils druckdicht mit dem nicht auslenkbaren Randbereich der Messmembranen bzw. mit der Oberfläche des Grundkörpers verbunden ist, überdeckt, wobei der Druckgehäusekörper beispielsweise den gleichen Werkstoff wie der Grundkörper aufweisen kann.
Zwischen den Messmembranen und den sie überdeckenden Druckgehäuskörpern wird dadurch jeweils eine Druckeinleitungskammer 32, 33 gebildet, über welche die Messmembranen jeweils mit einem Mediendruck beaufschlagt werden. Die kann beispielsweise über hydraulische Druckmittler 40, 41 geschehen an deren Trennmembranen 42, 43 mit den Mediendrücken beaufschlagt werden, wobei die Druckmittler über Kapillarleitungen 44, 45 an die Druckeinleitungskammern gekoppelt sind.
Das in 2 gezeigte zweite Ausführungsbeispiel weist im wesentlichen äquivalente Komponenten zum ersten Ausführungsbeispiel aus 1 auf. lediglich die Anordnung der Messmembranen zueinander ist hier anders gewählt, indem diese koplanar zueinander angeordnet sind. Diese Anordnung ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn der Differenzdrucksensor in einen Messumformer integriert werden soll, der koplanare Prozessanschlüsse für den ersten und den zweiten Druck aufweist. Gleichermaßen kann aber auch der Differenzdrucksensor gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel an koplanare Prozessanschlüsse angeschlossen werden.
Der Differenzdrucksensor 101 umfasst einen Grundkörper 110 aus LTCC, auf dem eine durchgehende Messmembranplatte 120 aus Si befestigt ist. Die Messmembranplatte 120 enthält eine erste Messmembran 121 und eine zweite Messmembran 122 die jeweils durch einen umlaufenden Rand einer Fügestelle zwischen der Messmembranplatte und dem Grundkörper begrenzt sind. Zwischen den von den Fügestellen begrenzten und von den Messmembranen abgedeckten Bereichen der Oberfläche des Grundkörpers erstreckt sich ein Kopplungskanal 113 in dem eine hydraulische Drossel 114 angeordnet ist. Der Kopplungskanal 113 kommuniziert mit einem Befüllkanal 112, der sich von einer Oberfläche des Grundkörpers zu dem Kopplungskanal 113 erstreckt. Über den Befüllkanal ist der Differenzdrucksensor mit einer Solchen Ölmenge befüllt, dass die Messmembranen 121, 122 über den gesamten Temperaturbereich und spezifizierten Messbereich für den Differenzdruck ausgelenkt sind und jeweils im Falle einer einseitigen statischen Überlast an der Oberfläche des Grundkörpers 110 anliegen und dort abgestützt werden, wodurch auch eine weitere Auslenkung der jeweils anderen Membran zuverlässig verhindert wird.
Die Messmembranen 120, 122 sind von einer Druckgehäuseplatte 130 überdeckt die jeweils druckdicht mit den nicht auslenkbaren Randbereichen der Messmembranen verbunden ist wobei die Druckgehäuseplatte beispielsweise den gleichen Werkstoff wie der Grundkörper aufweisen kann.
Zwischen den beiden Messmembranen und der Druckgehäuseplatte sind durch Aussparungen in der Druckgehäuseplatte Druckeinleitungskammern 132, 133 gebildet, über welche die Messmembranen 121, 122 jeweils mit einem Mediendruck beaufschlagt werden. Dies kann beispielsweise über hydraulische Druckmittler 140, 141 geschehen an deren Trennmembranen 142, 143 mit den Mediendrücken beaufschlagt werden, wobei die Druckmittler über Kapillarleitungen 144, 145 an die Druckeinleitungskammern 132, 133 gekoppelt sind.
Zum Bestimmen des Differenzdrucks sind bei beiden Ausführungsbeispielen die Lagen der Messmembranen zu ermitteln. Die tatsächlichen Lagen der Messmembranen sind bei einer gegebenen Befüllmenge in erster Linie Funktionen der Differenz zwischen einem Druck, der auf die erste Messmembran wirkt, und einem zweiten Druck, der auf die zweite Messmembran wirkt. Insbesondere aufgrund der Kompressibilität der gängigen Übertragungsflüssigkeiten aber auch aufgrund der Kompressibilität der Werkstoffe der Messmembranen und des Grundkörpers, hängt die tatsächlich Lage der Membranen weiterhin vom absoluten Wert des ersten und des zweiten Drucks ab. Eine weitere Einflussgröße auf die Position der Messmembranen ist schließlich die Temperatur des Differenzdrucksensors, welche das Volumen der Übertragungsflüssigkeit abgesehen von dessen druckabhängiger Kompression definiert.
Zur Bestimmung des Differenzdrucks, also der Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck, umfasst der Differenzdrucksensor mindestens einen ersten elektromechanischen Wandler, welcher ein von der Position der ersten Messmembran abhängiges Primärsignal ausgibt, und einen zweiten elektromechanischen Wandler, welcher ein von der Position der zweiten Messmembran abhängiges Primärsignal ausgibt.
Die Wandler können sowohl piezoresistive und/oder kapazitive Wandler umfassen. Wozu entsprechende Widerstandselemente bzw. Elektroden an den Messmembranen vorzusehen sind.
Der Differenzdruck kann anhand der Signale des ersten Wandlers und des zweiten Wandlers bestimmt werden, insbesondere anhand von deren Differenz. Der Differenzdrucksensor umfasst vorzugsweise weiterhin mindestens einen Temperatursensor, der ein Primärsignal ausgibt, welches die Temperatur der zwischen den Messmembranen eingeschlossenen Übertragungsflüssigkeit repräsentiert.
Damit ist erstens eine Korrektur des Differenzdruckmesswerts und zweitens eine Angabe eines Absolutdruckwertes möglich der sich aus der Differenz zwischen dem anhand des Temperatursignals erwarteten Volumen der Übertragungsflüssigkeit die zwischen den Messmembranen eingeschlossen ist, und dem tatsächlichen Volumen, welches sich aus den Positionen der Messmembranen ergibt, die aus den Signalen des ersten und des zweiten Wandlers ableitbar sind.
Ein Vergleich des zwischen den Messmembranen eingeschlossenen Volumens anhand der Positionen der Messmembranen zum erwarteten Volumen anhand der Temperatur ermöglicht weiterhin eine Zustandsanalyse des Differenzdrucksensors, wenn beispielsweise die Abweichung zwischen den beiden Werten zu groß ist bzw. eine zu große Kompression der Übertragungsflüssigkeit voraussetzt, dann ist von einer Leckage auszugehen.
Zur Vervollständigung der Informationen über den Zustand des zu messenden Mediums kann noch mindestens ein in den Zeichnungen nicht dargestellter Absolutdrucksensor in den Differenzdrucksensor integriert sein, welcher den statischen Druck direkt erfasst. Damit ist einerseits eine genauere Korrektur des Differenzdruckmesswerts möglich und andererseits kann eine präzisere Zustandsüberwachung des Sensors erfolgen, da die Ursache einer Abweichung der oben beschriebene Art zwischen dem beobachteten Volumen anhand der Position der Messmembranen und dem anhand der Temperatur geschätzten Volumen nun durch die Berücksichtigung tatsächlich gemessenen Absolutdruckwerts nun besser identifizierbar ist.
Die vorgespannten Messmembranen in der Gleichgewichtslage ermöglichen weiterhin eine effektive Leckerkennung, beispielsweise im Falle eines Membranbruchs. Wenn nämlich der Kopplungspfad über ein Leck mit der Umgebung des Drucksensor kommunizieren kann, wird ein Teil des Übertragungsmediums aus dem Kopplungspfad herausgedrückt, bis beide Messmembranen zur Anlage am Grundkörper gelangen. Dieser Zustand ist unter normalen Prozessbedingungen nicht erreichbar, so dass die entsprechenden Messsignale ohne weiteres als Indiz für eine Leckage interpretiert werden können. Eine Auswerteschaltung des Drucksensors kann in diesem Fall ein entsprechendes Alarmsignal ausgeben.
Zur Ableitung der Messsignale der elektromechanischen Wandler, kann der Grundkörper 10, 110, beispielsweise seitlich über die Messmembranen hervorstehen, so dass Leiterbahnen, welche die Elemente der elektromechanischen Wandler kontaktieren, aus der Grenzfläche bzw. den Grenzflächen zwischen den Messmembranen und dem Grundkörper in dem vorstehenden Bereich der Oberfläche bzw. der Oberflächen des Grundkörpers herausgeführt und dort weiter kontaktiert werden können.
Insbesondere bei einer koplanaren Anordnung der Messmembranen ist zur Ableitung der Messsignale neben der soeben beschriebenen Variante auch eine Kontaktierung der Wandlerelemente über Durchführungen zur Rückseite des Grundkörpers geeignet.

Claims

Differenzdrucksensor mit einem Grundkörper und einer ersten Messmembran und einer zweiten Messmembran, wobei die Messmembranen an dem Grundkörper unter Einschluss einer ersten und zweiten Druckkammer befestigt sind, wobei die Messmembranen über einen hydraulischen Kopplungspfad gekoppelt sind, der die erste und die zweite Druckkammer und einen Kanal umfasst, der sich durch den Grundkörper zwischen der ersten und der zweiten Druckkammer erstreckt, wobei die Druckkammern und der Kanal mit einem Übertragungsmedium, beispielsweise mit einer Übertragungsflüssigkeit oder einem Gel gefüllt sind, wobei die Lage der beiden Membranen eine Funktion der Differenz zwischen einem ersten Druck ist der auf die erste Messmembran wirkt, und einem zweiten Druck, der auf die zweite Messmembran wirkt, wobei zumindest eine der Messmembranen im Falle einer einseitigen Überlast an dem Grundkörper anliegt, und damit eine weitere Auslenkung der Messmembranen verhindert, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper in dem Bereich, an dem die Messmembran befestigt ist, und an dem die mindestens eine Messmembran im Falle einer einseitigen Überlast anliegt, eine im wesentlichen ebene Kontur aufweist.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 1, wobei die Messmembranen in der Gleichgewichtslage des Differenzdrucksensors jeweils aus ihrer individuellen Gleichgewichtslage ausgelenkt sind, wobei der hydraulische Kopplungspfad eine Menge einer im wesentlichen inkompressiblen Übertragungsflüssigkeit enthält, deren Volumen, größer ist als das zwischen den Messmembranen eingeschlossene Volumen des hydraulischen Kopplungspfads, wenn beide Messmembranen ihre Gleichgewichtslage einnehmen.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 1, oder 2 wobei jede der beiden Messmembranen jeweils dann eine geringere Biegespannung aufweist als in der Gleichgewichtslage des Differenzdrucksensors, wenn sie an dem Grundkörper anliegt.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 3, wobei jede der beiden Messmembranen sich jeweils dann in ihrer Gleichgewichtslage befindet, wenn sie an dem Grundkörper anliegt.
Differenzdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Differenzdrucksensor ein mikromechanischer Differenzdrucksensor ist, und der Grundkörper Glas und/oder Keramik, insbesondere LTCC, und/oder Halbleitermaterialien, insbesondere Silizium umfasst.
Differenzdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Differenzdrucksensor weiterhin mindestens einen Tiefpass, insbesondere in Form einer Drosselvorrichtung umfasst.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 6, wobei die Drosselvorrichtung einen porösen Werkstoff, insbesondere ein poröses Halbleitermaterial aufweist.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 6 oder 7, wobei die Drosselvorrichtung bzw. der Tiefpass in dem Kopplungspfad zwischen den Druckkammern angeordnet ist.
Differenzdrucksensor nach Anspruch 6 oder 7, wobei die Drosselvorrichtung bzw. der Tiefpass außerhalb des Kopplungspfades den Messmembranen vorgelagert angeordnet ist.
Differenzdrucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche wobei die Messmembranen in ihrem auslenkbaren Bereich auf ihrer dem Grundkörper abgewandten Oberfläche jeweils eine Vertiefung gegenüber dem Randbereich aufweisen.
Differenzdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend zwei Druckkammern, wobei zumindest der auslenkbare Bereich der Messmembranen jeweils in einer der Druckkammern angeordnet ist, wobei die Druckkammern jeweils eine Öffnung aufweisen, durch die Sie mit einem Druck beaufschlagbar sind.