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DE102008018820A1 - Schleusenvorrichtung zum Ein- und Ausbringen von Behältern in und aus einer Vakuumbehandlungskammer - Google Patents

Schleusenvorrichtung zum Ein- und Ausbringen von Behältern in und aus einer Vakuumbehandlungskammer Download PDF

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DE102008018820A1
DE102008018820A1 DE102008018820A DE102008018820A DE102008018820A1 DE 102008018820 A1 DE102008018820 A1 DE 102008018820A1 DE 102008018820 A DE102008018820 A DE 102008018820A DE 102008018820 A DE102008018820 A DE 102008018820A DE 102008018820 A1 DE102008018820 A1 DE 102008018820A1
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DE
Germany
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lock
chambers
lid
lock device
bottles
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Withdrawn
Application number
DE102008018820A
Other languages
English (en)
Inventor
Konrad Senn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Krones AG
Original Assignee
Krones AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krones AG filed Critical Krones AG
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber

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Abstract

Schleusenvorrichtung zum Ein- und Ausbringen von Behältern (3) in und aus einer Vakuumbehandlungskammer (17), mit einem drehbaren Schleusenrad (5) mit mehreren jeweils von einem in dem Schleusenrad vorgesehenen Durchgang (22), einem Deckel (23) und einem Bodenelement (25) gebildeten Kammern (7) zur Aufnahme der Behälter, wobei die Kammern einzeln durch Anheben des jeweiligen Deckels bzw. durch Absenken des jeweiligen Bodenelements geöffnet und über einen zentralen Drehverteiler (35) evakuiert werden können. Mit der Vorrichtung kann die Anzahl der benötigten Absaugvorrichtungen minimiert und die Evakuierungsdauer flexibel angepasst werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Schleusenvorrichtung zum kontinuierlichen Ein- und Ausbringen von Behältern in und aus einer Vakuumbehandlungskammer.
  • Derartige Schleusenvorrichtungen werden z. B. für vakuumgestützte Beschichtungsprozesse benötigt, um z. B. die Gasdichtigkeit von PET-Flaschen zu erhöhen, die dazu üblicherweise bei einem Unterdruck von etwa 10 bis 40 mbar behandelt werden. Ein kontinuierliches Ein- bzw. Ausschleusen ist dabei für einen wirtschaftlichen Herstellungsprozess unabdingbar.
  • Eine gattungsgemäße Schleuseneinrichtungen ist z. B. aus der EP 0943699 B1 bekannt. Diese Schleuse umfasst ein Karussellgehäuse mit einem in diesem drehbar gelagerten Schleusenkammerrad, in dem umfangsseitig Schleusenkammern mit Öffnungen zum Be- und Entladen von zu schleusenden Behältern vorgesehen sind.
  • Das Karussellgehäuse umfasst Saugstutzen zum Evakuieren der Schleusenkammern, die durch umfangsseitige Dichtungen auf dem Schleusenrad voneinander atmosphärisch abgedichtet sind. Die Schleusenkammern zwischen der Beschickungsstation bzw. der Entladestation im Außenraum und dem evakuierten Behandlungsraum bilden eine differentielle Druckstufe, wobei der Schleusenkammerdruck umlaufend in Richtung des Behandlungsraums von dem im Außenraum üblicherweise herrschenden atmosphärischen Druck auf den in den Behandlungsraum herrschenden Unterdruck abnimmt.
  • Diese Anordnung hat jedoch den Nachteil, dass für die differentielle Druckstufe mehrere Absaugvorrichtungen benötigt werden und dass die Evakuierung einzelner Kammern auf den Zeitraum begrenzt ist, zu dem sich die Öffnung der jeweiligen Kammer über einer Absaugöffnung befindet. Somit ist die Evakuierungsdauer durch die Größe der Kammer und die Drehgeschwindigkeit vorgegeben. Es ist jedoch wünschenswert, die Anzahl der Druckstufen zu reduzieren und die Evakuierungsdauer flexibel anpassen zu können.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Schleusenvorrichtung so zu verbessern, dass ein kontinuierliches Ein- und Ausbringen von Behältern in und aus dem Vakuumbeschichtungsraum in einen Raum mit Atmosphärendruck ohne die vorgenannten Einschränkungen ermöglicht wird.
  • Diese Aufgabe wird mit einer Schleusenvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und einem Verfahren gemäß Anspruch 10 gelöst. Demnach umfasst die Schleuse ein drehbares Schleusenrad mit mehreren, jeweils von einem in dem Schleusenrad vorgesehenen Durchgang, einem Deckel und einem Bodenelement gebildeten Kammern zur Aufnahme der Behälter, wobei die Kammern einzeln durch Anheben des jeweiligen Deckels bzw. durch Absenken des jeweiligen Bodenelements geöffnet werden können. Die Schleuse umfasst ferner mindestens einen in dem Schleusenrad vorgesehenen und mit den Kammern verbundenen Drehverteiler, über den die Kammern evakuiert werden können.
  • Mit dieser Anordnung können die Kammern über den Drehverteiler während einer flexibel vorwählbare Zeitdauer und mit nur einer Absaugvorrichtung evakuiert werden.
  • Vorteilhafterweise sind die Kammern jeweils über einen Kanal mit dem Drehverteiler verbunden, und es sind Absperrvorrichtungen vorgesehen, mit denen die Kanäle unabhängig voneinander verschlossen werden können. Damit lassen sich die Kammern nacheinander kontrolliert evakuieren.
  • In einer günstigen Ausführungsform werden die Absperrvorrichtungen mit einer Hubkurve gesteuert. Die ermöglicht eine kostengünstige und zuverlässige Ansteuerung.
  • Vorzugsweise können die Deckel und die Bodenelemente jeweils getrennt voneinander gehoben und gesenkt werden. Dies ermöglicht das Beschicken/Entladen der Kammern unter Normaldruck bzw. Unterdruck, während der Vakuumbereich gegen den Normaldruckbereich abgedichtet ist.
  • Vorzugsweise werden die Deckel und die Bodenelemente mit mindestens einer Hubkurve gesteuert. Die ermöglicht eine kostengünstige und zuverlässige Ansteuerung.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Bodenelement als ein nach oben hin offenes Gefäß zur Aufnahme einer handelsüblichen Flasche ausgebildet ist. Dadurch erübrigt sich ein Absenken des Behälters bei dessen Übergabe auf der Unterseite des Schleusenrads.
  • Vorzugsweise ist an den Deckeln jeweils eine Halterung für mindestens einen Behälter vorgesehen. Dadurch werden die Behälter beim Anheben des Deckels aus den Kammern gehoben.
  • In einer besonders günstigen Ausführungsform ragt die Halterung bei geschlossenem Deckel unter dem Schleusenrad hervor. Dies ermöglicht einen einfachen Zugang bei der Übergabe des Behälters auf der Unterseite des Schleusenrads.
  • In einer günstigen Ausführungsform sind zwischen den Deckeln und dem Schleusenrad sowie zwischen den Bodenelementen und dem Schleusenrad Dichtelemente vorgesehen. Dadurch kann der Normaldruckbereich während der Behälterübergabe gasdicht gegen den Vakuumbereich abgedichtet werden.
  • Das zugrunde liegende technische Problem wird erfindungsgemäß ferner durch ein Verfahren zum kontinuierlichen Ein- und Ausbringen von Behältern mit der erfindungsgemäßen Schleusenvorrichtung gelöst, bei dem die Kammern während der Evakuierung jeweils mit den Deckeln und den Bodenelementen verschlossen sind; bei dem das jeweilige Bodenelement zur Übergabe der Behälter in dem Vakuumbehandlungsraum abgesenkt wird und der Deckel geschlossen ist; und bei dem der jeweilige Deckel zur Übergabe der Behälter in einem Außenraum angehoben wird und das Bodenelement mit dem Schleusenrad dicht abschließt. Dies ermöglicht eine einfache Behälterübergabe bei einer kontinuierlichen Abdichtung des Unterdruckbereichs gegen den Außenbereich.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines bevorzugten und in Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 einen schematischen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung mit angrenzenden Übergabesternen in der Draufsicht,
  • 2 einen schematischen Längsschnitt durch einen Teilbereich der erfindungsgemäßen Schleusenvorrichtung aus 1 mit geschlossener Kammer;
  • 3 einen schematischen Längsschnitt durch einen Teilbereich der erfindungsgemäßen Schleusenvorrichtung aus 1 mit einer zum Außenbereich geöffneten Kammer;
  • 4 einen schematischen Längsschnitt durch einen Teilbereich der erfindungsgemäßen Schleusenvorrichtung aus 1 mit einer zum Vakuumbereich geöffneten Kammer.
  • 1 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung 1 für Flaschen 3, bei der ein Schleusenrad 5 mit Kammern 7 in Richtung der Pfeile A–D in einem Gehäuse 9 durch einen nicht dargestellten Motor kontinuierlich gedreht wird. In dem durch den Pfeil A symbolisierten Abschnitt der Drehbewegung werden die Flaschen aus einem unter Normaldruck stehenden Beschickungs- und Entladebereich 11 mit Hilfe der angrenzenden Übergabesterne 13, 15 in die Kammern 7 eingespeist und nach erfolgter Behandlung aus diesen wieder entnommen. Im Abschnitt B werden die mit den Flaschen 3 bestückten Kammern 7 evakuiert. Die Flaschenübergabe vor/nach der Behandlung erfolgt im Abschnitt C mit Hilfe der im Vakuumbereich 17 angeordneten Übergabesterne 19, 21. Im Abschnitt D werden die behandelten Flaschen 3 wieder belüftet.
  • 2 zeigt einen Schnitt entlang der Linie E durch die Schleusenkammer 7 in einem Zustand während der Evakuierung. Die Kammer 7 wird von einem in dem Schleusenrad 5 vorgesehen Durchgang 22, einem vertikal verschiebbaren Deckel 23 und einem ebenfalls vertikal verschiebbaren Bodenelement 25 gebildet. Zwischen dem Schleusenrad 5 und dem Deckel 23 bzw. dem Bodenelement 25 sind um den Durchgang 22 herum Dichtungen 27 bzw. 29 vorgesehen. Der äußere Bereich des Schleusenrads 5 ist zum Gehäuse 9 hin durch eine nicht dargestellte Dichtung, wie z. B. einen Wellendichtring, abgedichtet.
  • Eine an dem Deckel 23 vorgesehene Klammer 31 hält die Flasche 3. In dem Bodenelement 25 ist ein Hohlraum 32 zur Aufnahme einer handelsüblichen Flasche 3 ausgebildet.
  • Ein Kanal 33 verbindet die Kammer 7 mit einem zentralen Drehverteiler 35, wobei F die Drehachse des Schleusenrads 5 bezeichnet. Am Übergang zwischen dem Kanal 33 und dem Drehverteiler 35 ist eine Absperrvorrichtung 37 vorgesehen, die mit einer geeigneten Ansteuerung, wie z. B. einer (nicht dargestellten) Hubkurve, geöffnet wird.
  • 3 zeigt die Anordnung aus 2 während der Flaschenübergabe im oben gelegenen Beschickungs- und Entladebereich 11. Zu diesem Zweck wird der Deckel 23, und mit ihm die Flasche 3, mit Hilfe einer geeigneten Ansteuerung, wie z. B. einer (nicht dargestellten) Hubkurve angehoben. Das Ventil 37 ist dabei geschlossen, und das Bodenelement 25 dichtet die Kammer 7 nach unten hin ab.
  • In analoger Weise zeigt 4 die Kammer 7 während der Flaschenübergabe im unten gelegenen Vakuumbereich 17. In diesem Fall wird das Bodenelement 25, nicht jedoch die Flasche 3, mit Hilfe einer geeigneten Ansteuerung, wie z. B. einer (nicht dargestellten) Hubkurve abgesenkt. Das Ventil 37 ist dabei ebenfalls geschlossen, und der Deckel 23 dichtet den Vakuumbereich 17 nach oben hin ab.
  • Schleusenrad 5 und Gehäuse 9 bestehen bevorzugt aus gefrästem Stahl. Jedoch sind auch andere Materialien und Herstellungsverfahren denkbar. Der Deckel 23 und das Bodenelement 25 können z. B. aus Metall oder Kunststoff gefertigt werden. In Abweichung zum gezeigten Ausführungsbeispiel müssen die Kammern 7 jedoch keinen runden Querschnitt aufweisen und können jeweils auch mehrere Flaschen 3 aufnehmen. In diesem Fall ist am Deckel 23 eine entsprechende Anzahl von Halterungen 31 vorzusehen. Ebenso kann die Anzahl der im Schleusenrad 5 ausgebildeten Kammern 7 von der 1 abweichen.
  • Wie den 2 und 4 zu entnehmen ist, umschließt das Bodenelement 25 die Flasche 3 über deren gesamte Höhe, und die Klammer 31 ragt bei geschlossenem Deckel 23 unter dem Schleusenrad 5 hervor. Somit ist der Hals der Flasche 3 bzw. die Halterung 31 nach Absenken des Bodenelements 25 von der Seite her zugänglich, wodurch eine einfache Flaschenübergabe zu/von einem Übergabestern ermöglicht wird.
  • Die Absperrvorrichtung 37 ist z. B. ein Kugelventil, Schieber oder Stößel und kann sowohl in dem Kanal 33 als auch an dessen Übergang zu dem Drehverteiler 35 angeordnet sein. Die Steuerung des Ventils 37 erfolgt vorzugsweise mit einer (nicht dargestellten) Hubkurve, die es jeweils bei der gewünschten Kammerposition öffnet bzw. wieder schließt. Alternativ sind jedoch auch servogesteuerte Schieber oder Kugelventile denkbar bzw. eine Kombination unterschiedlicher Steuerungen.
  • Die Absaugung über den Drehverteiler 35 erfolgt mit geeigneten Pumpen (nicht gezeigt), wobei in dem Drehverteiler 35 vorzugsweise ein solcher Druck herrscht, dass in der Kammer 7 unmittelbar vor dem Absenken des Bodenelements 25 näherungsweise der gleiche Druck herrscht wie im Vakuumbereich 17. Dadurch wird der Druck im Vakuumbereich 17 durch die Flaschenübergabe nicht oder nur unwesentlich beeinflusst.
  • Es ist jedoch auch möglich, den Vakuumbereich 17 durch kontinuierliche Absaugung auf einem im Wesentlichen konstanten Druckniveau zu halten und die Kammer 7 nur bis zu einem darüber liegenden Druckniveau zu evakuieren. Beim Absenken des Bodenelements 25 im Vakuumbereich 17 erfolgt dann ein Druckausgleich.
  • In diesem Fall kann das höhere Druckniveau im Drehverteiler 35 für eine teilweise Belüftung der Kammern 7 während des Ausschleusens der Flaschen 3 verwendet werden, indem die Ventile 37 im Abschnitt D, also vor Anheben des Deckels 23, geöffnet und wieder verschlossen werden. Vorzugsweise werden die Kammern 7 jedoch passiv belüftet, indem während des Ausschleusens ein Verbindung zu dem unter Normaldruck stehenden Außenraum hergestellt wird, z. B. durch eine (nicht dargestellte) verschließbare Öffnung in dem Deckel 23 oder einen (nicht dargestellten) verschließbaren Kanal im Schleusenrad 5.
  • Das Anheben des Deckels 23 bzw. das Absenken des Bodenelements 27 erfolgt über einen nicht dargestellten Mechanismus, z. B. kurvengesteuert oder mit Hilfe eines pneumatischen Hubantriebs.
  • Die Dichtungen 25 und 29 können z. B. als O-Ringe ausgebildet sein und an dem Deckel 23, dem Bodenelement 29 und/oder dem Schleusenrad 5 angebracht sein.
  • Nachfolgend wir die Funktionsweise der im Ausführungsbeispiel gezeigten Schleusenvorrichtung 1 erläutert.
  • Das Schleusenrad 5 dreht sich kontinuierlich. Eine zu behandelnde Flasche 3 wird zunächst mit dem Übergabestern 13 an die Halteklammer 31 eines geöffneten Deckels 23 übergeben und der Deckel 23 anschließend abgesenkt. Das Bodenelement 25 schließt dabei dicht mit dem Schleusenrad 5 ab. Nach Öffnen des Ventils 37 wird die geschlossene Kammer 7 mit der Flasche 3 bis zum Zieldruck evakuiert und das Ventil 37 wieder geschlossen. Nach Erreichen des Vakuumbereichs 17 wird das Bodenelement 25 abgesenkt und die Flasche an den Übergabestern 19 zur Behandlung übergeben. Der Deckel 23 bleibt dabei geschlossen. Nach erfolgter Behandlung wird die Flasche mit dem Übergabestern 21 an eine Halteklammer 31 des geschlossenen Deckels übergeben und das Bodenelement wieder angehoben. Die geschlossene Kammer 7 wird daraufhin belüftet, der Deckel 23 wieder angehoben und die behandelte Flasche mit dem Übergabestern 15 ausgeschleust.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 0943699 B1 [0003]

Claims (10)

  1. Schleusenvorrichtung (1) zum kontinuierlichen Ein- und Ausbringen von Behältern (3) in und aus einer Vakuumbehandlungskammer (17), mit einem drehbaren Schleusenrad (5) mit mehreren jeweils von einem in dem Schleusenrad vorgesehenen Durchgang (22), einem Deckel (23) und einem Bodenelement (25) gebildeten Kammern (7) zur Aufnahme der Behälter, wobei die Kammern einzeln durch Anheben des jeweiligen Deckels bzw. durch Absenken des jeweiligen Bodenelements geöffnet werden können; und mit mindestens einem in dem Schleusenrad vorgesehenen und mit den Kammern verbundenen Drehverteiler (35), über den die Kammern evakuiert werden können.
  2. Schleusenvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammern (7) jeweils über einen Kanal (33) mit dem Drehverteiler (35) verbunden sind, und dass Absperrvorrichtungen (37) vorgesehen sind, mit denen die Kanäle unabhängig voneinander verschlossen werden können.
  3. Schleusenvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Absperrvorrichtungen (37) mit einer Hubkurve gesteuert werden.
  4. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Deckel (23) und die Bodenelemente (25) jeweils getrennt voneinander gehoben und gesenkt werden können.
  5. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Deckel (23) und die Bodenelemente (25) mit mindestens einer Hubkurve gesteuert werden.
  6. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bodenelement (25) als ein nach oben hin offenes Gefäß zur Aufnahme einer handelsüblichen Flasche (3) ausgebildet ist.
  7. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an den Deckeln (23) jeweils eine Halterung (31) für mindestens einen Behälter (3) vorgesehen ist.
  8. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (31) bei geschlossenem Deckel (23) unter dem Schleusenrad (5) hervor ragt.
  9. Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Deckeln (23) und dem Schleusenrad (5) sowie zwischen den Bodenelementen (25) und dem Schleusenrad (5) Dichtelemente (27, 29) vorgesehen sind.
  10. Verfahren zum kontinuierlichen Ein- und Ausbringen von Behältern mit der Schleusenvorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kammern (7) während der Evakuierung jeweils mit den Deckeln (23) und den Bodenelementen (25) verschlossen sind; – das Bodenelement (25) zur Übergabe der Behälter (3) in dem Vakuumbehandlungsraum (17) abgesenkt wird und der Deckel (23) geschlossen ist; und – der Deckel zur Übergabe der Behälter in einem Außenraum angehoben wird und das Bodenelement mit dem Schleusenrad (5) dicht abschließt.
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