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Stand der Technik
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Die
Erfindung betrifft einen Piezoaktor nach den gattungsgemäßen
Merkmalen des Anspruchs 1.
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Piezoaktoren
werden beispielsweise in Piezoinjektoren eingesetzt, welche zur
zeitpunkt- und mengengenauen Dosierung von Kraftstoff in periodisch
arbeitenden Verbrennungsmotoren verwendet werden.
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Ein
Piezoinjektor besteht im Wesentlichen aus einem Haltekörper
und einem in dem Haltekörper angeordneten Piezoaktormodul,
bestehend aus einem Kopf- und einem Fußteil sowie einem
zwischen Kopf- und Fußteil angeordneten Piezoaktor aus
einem oder mehreren Piezoelementen. Das Piezoaktormodul ist mit
einer Düsennadel verbunden, sodass durch Anlegen oder Wegnahme
einer Spannung an die Piezoelemente eine Düsenöffnung
freigegeben oder verschlossen wird.
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Es
ist an sich bekannt, dass zum Aufbau eines zuvor erwähnten
Piezoaktors oder Piezoaktormoduls Piezoelemente so eingesetzt werden,
dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts eine Steuerung
des Nadelhubs eines Ventils oder dergleichen vorgenommen werden
kann. Die Piezoelemente sind aus Piezolagen aus einem Material mit einer
geeigneten Kristallstruktur so aufgebaut, dass bei Anlage einer äußeren
elektrischen Spannung an Innenelektroden, die die Piezolagen jeweils
einschließen, eine mechanische Reaktion der Piezoelemente
erfolgt. Die Innenelektroden sind über beispielsweise entlang
dem Piezoaktor verlaufende Außenelektroden elektrisch kontaktiert.
Bei dem Material handelt es sich vorwiegend um ein als Blei-Zirkonat-Titanat
(PZT) bekanntes Keramikmaterial.
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In
Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche
der elektrischen Spannung stellt die mechanische Reaktion einen
Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung dar. Derartige Piezoaktoren
eignen sich beispielsweise für Anwendungen, bei denen Hubbewegungen
unter hohen Betätigungskräften und hohen Taktfrequenzen
ablaufen.
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Piezoaktoren
werden derzeit standardmäßig als Vielschichtbauteile
ausgeführt. Um bei dünnen Schichten eine abwechselnde
Polarität zwischen den Elektroden zu erreichen, werden
diese in einem sogenannten Interdigitaldesign angeordnet. Dieses
bedingt, dass an der Kontaktierungsstelle jeweils nur jede zweite
Elektrode pro Seite bis zum Rand des Piezoaktors geführt
ist. Um die so aufgebauten Piezoaktoren betreiben zu können,
muss eine Polarisierung der Einzelschichten erfolgen. Da sich an
den Stellen ohne gegenpolige Elektroden, also an den Randbereichen,
wo jeweils nur die Elektroden einer Polarität bis zum Rand
des Piezoaktors geführt sind, kein elektrisches Feld aufbauen
kann, erfolgt dort keine Polung und dieser Bereich des Piezoaktors
bleibt auch im Betrieb passiv.
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Einen
weiteren passiven Bereich stellt die sogenannte Isolationszone dar.
Bei der Einzelaktortechnik ist es möglich, Innenelektroden
in einem so genannten halb- oder vollvergrabenen Design aufzubringen.
Das bedeutet, dass jede Innenelektrode nur an bestimmten Stellen
bis zum Rand des Bauteils geführt wird. An allen anderen
Stellen wird ein Rand unbedruckt belassen, um so die Isolation am
Mantel des Piezoaktors sowie insbesondere an der Außenkontaktierung
der jeweils gegenpoligen Elektroden zu verwirklichen. Diese Zonen
ohne Innenelektroden stehen ab dem Polungsvorgang unter erhöhter
mechanischer Spannung, da das Material durch die Polarisation eine
Längung in Polarisationsrichtung erfährt. Durch
die Dehnung des aktiven Bereichs im Betrieb entsteht zusätzlich
eine mechanische Mehrbelastung in den inaktiven Randbereichen, was
zu einer unerwünschten Rissbildung an diesen Stellen führt.
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Durch
DE 196 15 695 C1 ist
ein Verfahren bekannt, bei dem eine A-Platz-Dotierung an den Elektroden
zum Zweck einer Verbesserung der mechanischen Eigenschaften im Bereich
der Elektroden durchgeführt wird.
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Durch
die
DE 198 60 00 B4 ist
ein Verfahren zur Kompensation des Bleiverlustes während
des Sinterns durch Austauschvorgänge mit einem Sinterhilfsmittel
bekannt.
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Nachteilig
an den bekannten, auf Diffusionsvorgängen beruhenden Verfahren
ist, dass sie weder die Rissanfälligkeit noch den sogenannten
Klemmeffekt, bei dem die inaktiven Bereiche die aktiven, die Dehnung
anregenden Bereiche hemmen, verringern.
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Offenbarung der Erfindung
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Die
Erfindung geht aus von einem Piezoaktor umfassend mindestens ein
Piezoelement aus einem Keramikmaterial mit einer geeigneten Kristallstruktur mit
darin eingebrachten, mittels Außenelektroden elektrisch
kontaktierten Innenelektroden. Erfindungsgemäß handelt
es sich bei dem Keramikmaterial um ein durch Dotierung mit mindestens
einem Dotierstoff herge stelltes gradiertes Keramikmaterial, mit
bereichsweise unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften, welche
fließend ineinander übergehen.
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Durch
das gradierte Keramikmaterial mit in Abhängigkeit von den
lokalen elektromechanischen Beanspruchungen durch Dotierung lokal
angepassten unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften wird im
Vergleich zum Stand der Technik eine Funktionsverbesserung des Piezoaktors
erreicht. Dabei wird einerseits gezielt der Rissbildung an hochbelasteten
Stellen entgegengewirkt, sowie andererseits die Leistungsfähigkeit
des Piezoaktors hinsichtlich der im Betrieb erreichbaren Gesamtdehnung
durch das Verringern des Klemmeffekts der inaktiven Bereiche verbessert.
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Vorteile
der Erfindung gegenüber dem Stand der Technik ergeben sich
insbesondere dadurch, dass durch den erfindungsgemäß vorgeschlagenen Einsatz
eines in seinen mechanischen Eigenschaften gradierten Keramikmaterials
an den mechanisch stärker belasteten Stellen des Piezoaktors
ein Herabsetzen der maximal auftretenden Zugspannungen erreicht
werden kann. Somit ist es möglich, die auftretenden Kräfte
bzw. Spannungen in diesen Bereichen unterhalb der kritischen Werte
für Rissbildung und Risspropagation des jeweiligen Materials
zu halten. Rissbildung kann somit an funktionskritischen Stellen,
im Idealfall im gesamten Piezoaktor vermieden werden. Zusätzlich
verringert sich durch die durch das Dotieren verringerte Steifigkeit
im inaktiven Bereich der Klemmeffekt, was zu einem größeren
Hub des Piezoaktors führt.
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Eine
vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das Keramikmaterial
ein PZT-Keramikmaterial ist.
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Vorzugsweise
ist der mindestens eine Dotierstoff ein A- oder B-Platz Donator.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfasst der mindestens
eine Dotierstoff mindestens ein die elektromechanischen Eigenschaften
durch Veränderung des Perovskitgitters sowie das Kornwachstum
während des Sinterprozesses bei der Herstellung des Keramikmaterials
aus einem Ausgangsmaterial beeinflussendes Element.
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Das
mindestens eine Element ist vorzugsweise Lanthan (La) und/oder Bismuth
(Bi) und/oder Neodym (Nd) und/oder Tantal (Ta) und/oder Antimon (Sb).
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Eine
vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass die bereichsweise
unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften ortsselektiv durch
eine unterschiedliche Konzentration des mindestens einen Dotierstoffs
erzeugt sind. Das gradierte Keramikmaterial weist demnach bereichsweise eine
unterschiedliche Konzentration des mindestens einen Dotierstoffs auf,
wodurch in Abhängigkeit von der Konzentration ortsselektiv
unterschiedliche mechanische Eigenschaften erzeugt sind. Die Besonderheit
liegt dabei im ortsselektiven Einstellen der mechanischen Kennwerte
des PZT- bzw. Keramikmaterials durch Dotierung mit Elementen, beispielsweise
mit Lanthan (La), Bismuth (Bi), Neodym (Nd), Tantal (Ta) oder Antimon
(Sb), als A- oder B-Platz Donatoren. Diese beeinflussen die elektromechanischen
Eigenschaften durch Veränderung des Perovskitgitters sowie
das Kornwachstum während des Sinterprozesses bei der Herstellung
des Keramikmaterials aus einem Ausgangsmaterial. Damit ändern sich
durch die Dotierung auch die makroskopischen Eigenschaften des PZT-Materials
in Abhängigkeit von der Konzentration der Dotierstoffe.
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Eine
andere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass
der mindestens eine Dotierstoff in einem Druckschritt auf einzelne
Piezolagen und/oder Piezoelemente und/oder den gesamten Piezoaktor
aufgebracht ist.
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Dabei
sind vorzugsweise die Stellen bedruckt, welche frei von Innenelektroden
sind.
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Eine
besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass
der mindestens eine Dotierstoff nach dem Laminieren des gesamten
Piezoaktors über eine Beschichtung, beispielsweise einen
Lack oder eine Tauchbeschichtung, appliziert ist.
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Der
mindestens eine Dotierstoff ist vorzugsweise nach dem Laminieren
des gesamten Piezoaktors durch Umhüllen des Grünlings
mit einer dotierten Keramikmaterial-Folie, beispielsweise in einem
Kaltlaminierschritt, appliziert.
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Gemäß einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform soll die dünne
Keramikfolie in Form eines extrudierten Röhrchens als Isolationsschicht
zum Einsatz kommen. Insbesondere ein über den Umfang in
seiner Wandstärke angepasstes Röhrchen (tailored
tube) stellt eine vorteilhafte Möglichkeit dar, diese Schicht
auf den Piezoaktor aufzubringen und gleichzeitig die Nachbearbeitung
zu vereinfachen. Wird als Material für diese Röhrchen,
wie zuvor beschrieben, eine entsprechend dotierte Keramik eingesetzt,
so kann insbesondere auch ein in radialer Richtung gradierter Werkstoff
nach dem Sinterprozess und eine durchpolarisierte Isolationszone
erzielt werden mit den Vorteilen in der Handhabung eines Röhrchens
im Verhältnis zu einer Folie. Darüber hinaus ist
es möglich, den Gedanken des sogenannten tailored tube auf
den Werkstoff zu erweitern. Durch eine Dotierung der Keramikpaste
in der Extrusionsdüse während der Herstellung
des Röhrchens ist eine unterschiedlich starke Dotierung
in Umfangsrichtung möglich. Somit können besonders
rissanfällige Bereiche, wie beispielsweise die Zone der
Außenanbindung der Innenelektroden gezielt weicher eingestellt
werden.
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Ein
zusätzlicher Vorteil ergibt sich durch ein Ausnutzen der
einfachen Herstellung des Röhrchens in einem Extrusionsprozess.
Neben den geometrischen Variationen in Umfangsrichtung kann dieses selektive
Gestalten auch am Werkstoff selbst erfolgen. Dabei ist besonders
vorteilhaft, dass das Röhrchen in Umfangsrichtung bei der
Herstellung unterschiedlich stark mit den erfindungsgemäßen
Dotierstoffen versetzt werden kann. Wird ein so erzeugtes Röhrchen
als Isolationszone auf einen sogenannten Aktorgrünling
aufgebracht, so entstehen durch die unterschiedlich starken Dotierungen
unterschiedlich steile Gradienten in Umfangsrichtung sowie radial am
Piezoaktor. Damit ist es möglich, sehr gezielt Bereiche
mit unterschiedlichen mechanischen Kennwerten einzustellen.
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Kurze Beschreibung der Zeichnung
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
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1 Eine
schematische Darstellung eines Piezoinjektors mit einem Piezoaktor
in einem Längsschnitt.
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2a bis 2c schematische
Schnitte eines erfindungsgemäßen Piezoaktors im
Längsschnitt (2a und 2b) und
in einem Querschnitt (2c) vor dem Sintern.
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3a und 3b schematische
Schnitte eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Piezoaktors mit einer Dotierung im Bereich des Mantels vor dem Sintern.
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4a und 4b schematische
Schnitte eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Piezoaktors mit einer Dotierung im Bereich des Mantels nach dem
Sintern.
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5a und 5b schematische
Schnitte eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Piezoaktors mit einer Dotierung im Bereich der Piezolagen vor dem
Sintern.
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6a und 6b schematische
Schnitte eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Piezoaktors mit einer Dotierung im Bereich der Piezolagen nach dem
Sintern.
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Ausführungsformen
der Erfindung
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Ein
in 1 dargestellter Piezoinjektor 1 umfasst
im Wesentlichen einen Haltekörper 2 und einen in
dem Haltekörper 2 angeordnetes Piezoaktormodul 3,
das unter anderem einen Aktorkopf 4 und einen Aktorfuß 5 aufweist.
Es sind dabei zwischen dem Aktorkopf 4 und dem Aktorfuß 5 mehrere übereinander gestapelte
Piezoelemente 6 zur Bildung des eigentlichen Piezoaktors 16 als
Vielschichtbauteil vorhanden, wobei Schichten jeweils aus Piezolagen
aus Piezokeramik und diese einschließende Innenelektroden 7 und 8 bestehen.
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Die
Innenelektroden 7 und 8 der Piezoelemente 6 sind
mit Außenelektroden 10 und 11 und dann über
ein Steckerteil 9 elektrisch kontaktiert. Das Piezoaktormodul 3 ist über
einen Koppler 12 mit einer Düsennadel 13 verbunden.
Durch Anlegen einer Spannung an die Piezoelemente 6 über
die Innenelektroden 7 und 8 und die daraus folgende
mechanische Reaktion wird, wie in der Beschreibungseinleitung erläutert,
eine Düsenöffnung 14 freigegeben. Das
Piezoaktormodul 3 wird bei der dargestellten Anwendung
nach 1 als Piezoinjektor 1 in einem Raum 15 von
einem mit dem Piezoinjektor 1 zu dosierenden Medium, typischerweise
einem Kraftstoff für einen Verbrennungsmotor umströmt.
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Um
bei dünnen Schichten eine abwechselnde Polarität
zwischen den Innenelektroden 7 und 8 zu erreichen,
werden diese in einem ab 2a ff
deutlicher erkennbaren, sogenannten Interdigitaldesign angeordnet.
Dieses bedingt, dass an den Außenelektroden 10 und 11,
Ober die die Innenelektroden 7 und 8 nach außen
elektrisch kontaktiert sind, im Verlauf des Stapels aus mehreren
Piezoelementen 6 von oben nach unten oder von unten nach
oben jeweils nur jede zweite Innenelektrode 7 oder 8 pro
Seite bis zur der jeweiligen Außenelektrode 10 oder 11 geführt ist.
Um den so aufgebauten Piezoaktor 16 betreiben zu können,
muss eine Polarisierung der durch die Piezolagen bzw. Piezoelemente 6 gebildeten
Einzelschichten erfolgen. Da sich an den Stellen ohne gegenpolige
Innenelektroden 7, 8, also an den Randbereichen,
wo jeweils nur die Innenelektroden 7 oder 8 einer
Polarität bis zum Rand des Piezoaktors 16 geführt
sind, kein durch die Pfeile 20 angedeutetes elektrisches
Feld aufbauen kann, erfolgt dort keine Polung und dieser Bereich
des Piezoaktors 16 bleibt auch im Betrieb passiv.
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Der
Piezoaktor ist 16 dabei vorzugsweise durch ein Schutzschichtsystem 17 mit
einem Mantel 21 bzw. aus einer oder mehreren funktionalen
Mantelschichten vor schädlichen Substanzen des umgebenden
Kraftstoffs geschützt. In 2b ist
ein Detailschnitt ohne Außenelektroden gezeigt und 2c zeigt
einen Querschnitt durch den Piezoaktor 16 im Bereich der
Innenelektrode 8.
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Einen
weiteren passiven Bereich kann eine beispielsweise beim Sintern
gezielt herstellbare Isolationszone darstellen. Dabei wird jede
Innenelektrode 7, 8 nur an bestimmten Stellen
bis zum Rand des Piezoaktors 16 geführt. An allen
anderen Stellen wird ein Rand unbedruckt belassen, um so die Isolation am
Mantel des Piezoaktors 16 sowie insbesondere an der Kontaktierung
der jeweils gegenpoligen Innenelektroden 7, 8 mit
der jeweiligen Außenelektrode 10, 11 zu
verwirklichen. Diese Zonen ohne Innenelektroden 7, 8 stehen
ab dem Polungsvorgang unter erhöhter mechanischer Spannung,
da das Material durch die Polarisation eine Längung in
Polarisationsrichtung erfährt. Durch die Dehnung des aktiven
Bereichs im Betrieb entsteht zusätzlich eine mechanische
Mehrbelastung in den inaktiven Randbereichen, was zu einer unerwünschten
Rissbildung an diesen Stellen führt.
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Außerdem
hemmen die inaktiven Bereiche die aktiven, die Dehnung anregenden
Bereiche. Dies ist als Klemmeffekt bekannt.
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Um
durch Verringerung des Klemmeffekts und Verhinderung von Rissbildung
und Risspropagation eine Funktionsverbesserung des Piezoaktors 16 zu
erreichen, ist erfindungsgemäß eine Verwendung eines
im Folgenden als gradierter Werkstoff bezeichneten Werkstoffs, insbesondere
eines Keramikmaterials mit bereichsweise unterschiedlichen mechanischen
Eigenschaften vorgesehen, welche fließend ineinander übergehen.
Dabei wird einerseits gezielt der Rissbildung an hochbelasteten
Stellen entgegengewirkt, sowie andererseits die Leistungsfähigkeit des
Piezoaktors 16 hinsichtlich der im Betrieb erreichbaren
Gesamtdehnung durch das Verringern des Klemmeffekts der inaktiven
Bereiche verbessert.
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Die
Besonderheit liegt dabei im ortsselektiven Einstellen der mechanischen
Kennwerte des PZT- bzw. Keramikmaterials durch Dotierung mit Elementen,
beispielsweise mit Lanthan (La), Bismuth (Bi), Neodym (Nd), Tantal
(Ta) oder Antimon (Sb), als A- oder B-Platz Donatoren. Diese beeinflussen
die elektromechanischen Eigenschaften durch Veränderung
des Perovskitgitters sowie das Kornwachstum während des
Sinterprozesses. Damit ändern sich durch die Dotierung
auch die makroskopischen Eigenschaften des PZT-Materials in Abhängigkeit
von der Konzentration der Dotierstoffe.
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Vorteile
der Erfindung gegenüber dem Stand der Technik ergeben sich
insbesondere dadurch, dass durch den erfindungsgemäß vorgeschlagenen Einsatz
eines in seinen mechanischen Eigenschaften gradierten Werkstoffes
an den genannten, mechanisch stärker belasteten Stellen
ein Herabsetzen der maximal auftretenden Zugspannungen in den PZT-Keramiken
erreicht werden kann. Somit ist es möglich die auftretenden
Kräfte bzw. Spannungen in diesen Bereichen unterhalb der
kritischen Werte für Rissbildung und Risspropagation des
jeweiligen Materials zu halten. Rissbildung kann somit an funktionskritischen
Stellen, im Idealfall im gesamten Piezoaktor vermieden werden. Zusätzlich
verringert sich durch die durch das Dotieren verringerte Steifigkeit im
inaktiven Bereich der Klemmeffekt, was zu einem größeren
Hub des Piezoaktors führt.
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Wie
bereits in der Beschreibungseinleitung beschrieben, entstehen durch
aktive und passive Zonen im Piezoaktor 16 Regionen mit
unterschiedlichen Spannungszuständen. Keramiken sind insbesondere empfindlich
auf Rissbildung unter Zugspannung. In den passiven Bereichen, welche üblicherweise
im Bereich des Mantels 21 sowie in den Kontaktierungszonen
zwischen den Innenelektroden 7, 8 und den Außenelektroden 10, 11 auftreten,
kommt es aus funktionalen Gründen, insbesondere der Isolation
der gegenpoligen Innenelektroden 7, 8, zwingend
zu solchen Zugspannungen. Neben der erhöhten Rissanfälligkeit
bewirken die passiven Bereiche Verluste in der gesamt erreichbaren
Dehnung des Piezoaktors. Durch den sogenannten Klemmeffekt verringern
die passiven Bereiche die Gesamtdehnung dadurch, dass sie durch
die aktiven Bereiche mitgestreckt werden müssen. Je nach
mechanischer Steifigkeit des passiven Materials sowie Anbindung
an den aktiven Bereich äußert sich dieser Effekt
nicht nur in den passiven Bereichen der PZT-Keramik, sondern auch
bei Ummantelungsmaterialien.
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Um
beiden Effekten, dem Klemmeffekt, sowie der Rissbildung entgegenzuwirken,
wird das PZT-Material erfindungsgemäß lokal durch
Dotierstoffe derart verändert, dass sich die mechanischen Eigenschaften
deutlich in Richtung eines kleineren bzw. geringeren E-Moduls verändern.
In der Folge werden die dort auftretenden Kräfte bei gleicher
Dehnung signifikant verringert. Dies wiederum bewirkt, dass einerseits
die Dehnung des aktiven Bereichs weniger gehemmt wird, also der
Klemmeffekt verringert wird, andererseits ein Überschreiten
der Kraft- bzw. Spannungsschwelle für Risswachstum sowie vorzugsweise
Rissbildung in der Keramik vermieden werden kann bzw. vermieden
wird. Der Dotierstoff kann über unterschiedliche Verfahren
selektiv eingebracht werden.
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Eine
Möglichkeit gemäß 3a und 3b besteht
darin, einen der zuvor beschriebenen Dotierstoffe als Dotierung 22 nach
dem Laminieren des gesamten Piezoaktors 16 über
eine als Mantel dienende Beschichtung, beispielsweise einen Lack
oder eine Tauchbeschichtung, oder durch Umhüllen des Grünlings
mit einer dotierten PZT-Folie, beispielsweise in einem Kaltlaminierschritt,
zu applizieren. Nach dem Laminieren durch Übereinanderschichten
der Piezolagen bzw. Piezoelemente 6 erhält man
dann den Piezoaktor 16 in einem in der 3a und 3b dargestellten
Grünzustand, einem sogenannten Grünling. Während
des Sinterproszesses verteilt sich die Dotierung 22 aus
der Beschichtung über Diffussionsprozesse im Piezoaktor 16,
sodass sich ein Gradient 23 in der Dotierstoffkonzentration
ergibt, wie es aus 4a und 4b ersichtlich
ist.
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Alternativ
oder zusätzlich ist es auch möglich, gemäß 5a und 5b eine
Dotierung 24 in einem Druckschritt auf die einzelnen Piezolagen
der Piezoelemente 6 des Piezoaktors 16 aufzubringen. Dabei
werden bevorzugt die Stellen bedruckt, welche nicht mit Innenelektroden 7, 8 versehen
sind. Nach dem Laminieren durch Übereinanderschichten der Piezolagen
bzw. Piezoelemente 6 erhält man dann auch hier
den Piezoaktor 16 in einem in der 5a und 5b dargestellten
Grünzustand, einem sogenannten Grünling. Während
des Sinterprozesses verteilt sich dann auch hier die Dotierung 24 aus
der Druckschicht über Diffussionsprozesse im Piezoaktor 16,
sodass sich hier lokal begrenzt ein Gradient 25 in der
Dotierstoffkonzentration ergibt, wie es aus 6a und 6b ersichtlich
ist.
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Ausgehend
von beiden zuvor beschriebenen Grünzuständen des
Piezoaktors 16 stellt sich während des Sinterprozesses
aufgrund der Konzentrationsunterschiede und resultierenden Diffusionsvorgängen
somit ein Gradient in der Dotierstoffkonzentration im Piezoaktor 16 ein.
Dieser Gradient bewirkt insbesondere einen kontinuierlichen Übergang
hinsichtlich der mechanischen Eigenschaften des PZT-Materials mit
entsprechend positiven Effekten im Spannungsverlauf.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 19615695
C1 [0008]
- - DE 1986000 B4 [0009]