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DE102007047554B3 - Method for cleaning the apertures of pressure masks comprises using a nozzle head for at least one part of the apertures - Google Patents

Method for cleaning the apertures of pressure masks comprises using a nozzle head for at least one part of the apertures Download PDF

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DE102007047554B3
DE102007047554B3 DE200710047554 DE102007047554A DE102007047554B3 DE 102007047554 B3 DE102007047554 B3 DE 102007047554B3 DE 200710047554 DE200710047554 DE 200710047554 DE 102007047554 A DE102007047554 A DE 102007047554A DE 102007047554 B3 DE102007047554 B3 DE 102007047554B3
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Germany
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nozzle head
apertures
nozzle
section
slots
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DE200710047554
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German (de)
Inventor
Ömer AYDIN
Dirk Dipl.-Ing. Wormuth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
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Publication date
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Aperturen von Druckmasken bzw. einen zur Anwendung in diesem Verfahren geeigneten Düsenkopf (11). Erfindungsgemäß ist dieser mit einem beispielsweise durch Schlitze (12) gebildete Düsenquerschnitt versehen, der mittels Ventilen durch Zuschalten oder Abschalten einzelner Schlitze vorteilhaft auf die Geometrie der Aperturen der zu reinigenden Druckmaske (nicht dargestellt) eingestellt werden kann. Hierdurch ist vorteilhaft eine besonders effektive Reinigung möglich. Alternativ zu einer Ausbildung ab- und zuschaltbarer Öffnungen (beispielsweise Schlitze) kann der Düsenkopf (11) auch in Form eines bestimmten Musters von Aperturen der Schablone ausgeführt sein. Diese Muster von Aperturen bilden beispielsweise beim Druck das Bedruckungsmuster bestimmter zu montierender Bauelemente aus.The invention relates to a method for cleaning apertures of printing masks or a nozzle head (11) suitable for use in this method. According to the invention, this is provided with a nozzle cross section formed, for example, by slots (12), which can advantageously be adjusted by means of valves by connecting or disconnecting individual slots to the geometry of the apertures of the print mask to be cleaned (not shown). As a result, a particularly effective cleaning is possible. As an alternative to forming detachable and connectable openings (for example slots), the nozzle head (11) can also be designed in the form of a specific pattern of apertures of the template. For example, these patterns of apertures form the printing pattern of certain components to be mounted during printing.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung der Aperturen von Druckmasken sowie einen Düsenkopf zur Durchführung des Verfahrens.The The invention relates to a process for the purification of the apertures of Printmasks and a nozzle head to carry out of the procedure.

Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise in der US 2005/0183599 A1 beschrieben. Es kommt ein Reinigungsautomat zum Einsatz, in dem die Druckmaske, die standardmäßig in einem Rahmen eingespannt ist und beispielsweise aus einem dünnen Blech besteht, eingespannt werden kann. Die Aperturen der Druckmaske, d. h. die Öffnungen, die beispielsweise für eine Lot- oder Klebstoffapplikation auf eine unter der Druckmaske befindliche Unterlage wie z. B. eine Leiterplatte dienen, müssen in regelmäßigen Abständen von Rückständen des zu applizierenden Mediums gereinigt werden. Dies geschieht in dem beschriebenen Reinigungsautomaten. Zunächst wird mittels einer Papierrolle, die durch Abwickeln stets sauberes Papier zur Verfügung stellt, eine mechanische Reinigung von beispielsweise Lotresten vorgenommen. Zusätzlich werden diese Lotreste von der Druckmaske durch einen Düsenkopf abgesaugt, der eine längliche Ausbildung aufweist und dessen Düsenquerschnitt sich über die längliche Geometrie des Düsenkopfes erstreckt. Der Düsenkopf weist vorzugsweise eine Länge auf, die die Breite der zu reinigenden Druckmaske übertrifft, so dass der Düsenkopf nur einmalig über die Druckmaske geführt werden muss (in Richtung quer zur Längsausdehnung des Düsenkopfes), damit die vollständige Fläche der Druckmaske einer Absaugbehandlung unterworfen wird. Dabei werden auch die in der Druckmaske vorhandenen Aperturen überstrichen und Rückstände des zu applizierenden Mediums (insbesondere Lot) abgesaugt.Such a method is for example in the US 2005/0183599 A1 described. A cleaning machine is used, in which the printing mask, which is clamped in a frame as standard and consists of a thin sheet, for example, can be clamped. The apertures of the print mask, ie the openings which, for example, for a solder or adhesive application to a document located under the print mask such. B. serve a circuit board must be cleaned at regular intervals of residues of the medium to be applied. This happens in the described cleaning machine. First, a mechanical cleaning of, for example, solder residues is made by means of a paper roll, which always provides clean paper by unwinding. In addition, these solder residues are sucked from the printing mask through a nozzle head, which has an elongated design and whose nozzle cross-section extends over the elongated geometry of the nozzle head. The nozzle head preferably has a length which exceeds the width of the print mask to be cleaned, so that the nozzle head must be guided only once over the print mask (in the direction transverse to the longitudinal extent of the nozzle head), so that the entire surface of the print mask is subjected to a suction treatment. In this case, the existing in the print mask apertures are painted over and residues of the medium to be applied (especially solder) sucked.

Der Wirkungsgrad der Absaugung ist vorrangig von dem am Düsenquerschnitt anliegenden Unterdruck abhängig. Dieser variiert in Abhängigkeit der Dichte von Aperturen bzw. deren Größe, da es hiervon abhängt, wie groß der vom Düsenquerschnitt durch das Material der Druckmaske abgedeckte Teil ausfällt. Im ungünstigsten Falle kann bei einer geringen Abdeckung des Düsenquerschnitts der erzeugbare Unterdruck so stark abfallen, dass keine genügende Absaugleistung für die Rückstände erzielt werden kann.Of the Efficiency of the extraction is primarily of the nozzle cross-section dependent vacuum dependent. This varies depending on the density of apertures or their size, since it depends on how big the from the nozzle cross section through the material of the print mask covered part fails. In the worst case can at a low coverage of the nozzle cross-section the producible negative pressure drop so much that no sufficient suction power for the Residues can be achieved can.

Gemäß der DE 10 2005 042 299 A1 ist es bekannt, dass Druckmaschinen für die Bedruckung mit Lotpaste mit einer Vorrichtung gereinigt werden können, die zu diesem Zwecke Flüssigkeit abgibt. Hierbei handelt es sich um ein Lösungsmittel, welches die Verunreinigungen aus den zu reinigenden Druckmasken spülen soll. Es wird vorgeschlagen, diese Flüssigkeit über mehrere Zuführdüsen an die Druckmaske heranzuführen, wobei diese Flüssigkeitsdüsen in Gruppen unabhängig voneinander mit Reinigungsflüssigkeit versorgt werden können.According to the DE 10 2005 042 299 A1 It is known that printing machines for the printing with solder paste can be cleaned with a device that emits liquid for this purpose. This is a solvent intended to purge the contaminants from the printmasks to be cleaned. It is proposed to introduce this liquid via several feed nozzles to the printing mask, wherein these liquid nozzles can be supplied in groups independently with cleaning liquid.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Reinigung von Aperturen von Druckmasken zur Verfügung zu stellen, mit dem eine vergleichsweise wirkungsvolle Reinigung der Aperturen durch Ansaugen oder Ausblasen möglich ist.The The object of the invention is a process for purification of apertures of printmasks to provide with the one comparatively effective cleaning of the apertures by suction or blowing out possible is.

Diese Aufgabe wird mit dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass für zumindest einen Teil der Aperturen ein Düsenkopf verwendet wird, dessen Düsenquerschnitt verändert werden kann und während des Bewegens des Düsenkopfes an die jeweilige Ausdehnung der Aperturen quer zur Bewegungsrichtung angepasst wird. Im Falle eines Absaugens wird hierdurch vorteilhaft erreicht, dass der Düsenquerschnitt immer nur gerade so groß gewählt werden kann, wie dies unter Berücksichtigung der Geometrie der Aperturen in der Druckmaske zum Absaugen erforderlich ist. Hierbei geht es um diejenige Ausdehnung der Aperturen, die sich quer zur Verschieberichtung des Düsenkopfes beim Überstreichen der Druckmaske ausbildet. Genauso lässt sich im Falle eines Ausblasens der Aperturen mit Druckluft erreichen, dass diese nur in dem Bereich der Aperturen durch den Düsenquerschnitt austritt und auf diesem Wege verhindert wird, dass durch den Düsenquerschnitt austre tende Luft außerhalb der Aperturen der Druckmaske auf das Material der Druckmaske auftrifft. Hierdurch wird die Gefahr einer nicht vorhersehbaren Verteilung von Rückständen auf der Druckmaske verringert. Sowohl beim Ausblasen als auch beim Absaugen der Druckmaske ist außerdem vorteilhaft ein vergleichsweise geringer Volumenstrom des Mediums (beispielsweise Luft) notwendig, da durch die Anpassung des Düsenquerschnittes immer der geringstmögliche Düsenquerschnitt gewählt werden kann.These The object is achieved by the method mentioned in the present invention solved that for at least a part of the apertures a nozzle head is used, whose nozzle cross section are changed can and while moving the nozzle head to the respective extent of the apertures transverse to the direction of movement is adjusted. In the case of a suction, this is advantageous achieved that the nozzle cross section always just so big can be chosen like this considering the geometry of the apertures in the print mask required for aspiration is. This is about the extent of the apertures that are transverse to the displacement direction of the nozzle head when painting the printmask forms. The same is true in the case of a blow-out the apertures with compressed air reach that only in the area the apertures through the nozzle cross section emerges and in this way is prevented by the nozzle cross section Exhaling air outside the apertures of the printmask impinges on the material of the printmask. This creates the risk of unpredictable distribution of residues reduced the printmask. Both during blowing and during suction the printmask is as well advantageously a comparatively low volume flow of the medium (For example, air) necessary because by the adjustment of the nozzle cross-section always the least possible Nozzle area chosen can be.

Unter einer Anpassung des öffnungsseitigen Düsenquerschnittes ist im weitesten Sinne der Erfindung jede Art von Anpassung zu verstehen. Diese kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass der Düsenquerschnitt verstellbar ausgestaltet ist, d. h. dass beispielsweise eine Schlitzdüse vorgesehen ist, die sich durch einen Verschiebemechanismus in ihrer Größe vergrößern oder verkleinern lassen kann. Es ist aber auch möglich, mehrere kleinere Düsenöffnungen vorzusehen, die den öffnungsseitigen Düsenquerschnitt in ihrer Gesamtheit ergeben. Durch einzelnes Ab- und Zuschalten dieser Düsenöffnungen lässt sich damit der Düsenquerschnitt an den aktuellen Anwendungsfall anpassen. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, Düsenköpfe zu verwenden, die an einen bestimmten Anwendungsfall direkt angepasst sind, und in ihrer Geometrie daher nur für diesen Anwendungsfall geeignet sind. Die verschiedenen Varianten der Erfindung werden im Folgenden noch näher erläutert.Under an adjustment of the opening-side nozzle cross-section is to be understood in the broadest sense of the invention, any type of adaptation. This can be done, for example, that the nozzle cross-section is adjustable, d. H. that provided for example a slot nozzle is that increase in size by a displacement mechanism or can make it smaller. But it is also possible, several smaller nozzle openings provide the opening side Nozzle area in their entirety. By switching off and on individually these nozzle openings let yourself so that the nozzle cross-section adapt to the current application. One more way is to use nozzle heads, which are directly adapted to a specific application, and in their geometry therefore only for suitable for this application. The different variants The invention will be explained in more detail below.

Wie sich den obigen Ausführungen entnehmen lässt, kann eine Anpassung des Düsenquerschnittes an die Aperturen der Druckmaske also in einzelnen Stufen (wobei hierbei nicht notwendigerweise eine genaue Übereinstimmung zwischen der Ausdehnung des Düsenquerschnittes und der Ausdehnung der Aperturen erreicht wird) oder durch eine genaue geometrische Anpassung (wobei hierbei eine Deckungsgleichheit zwischen dem Düsen querschnitt und den zu reinigenden Aperturen erreicht werden kann) erfolgen. Im Vergleich zu dem Reinigungsverfahren gemäß der US 2005/0183599 A1 bewirkt aber die Anpassung in jedem Fall, dass der Düsenquerschnitt nicht ohne Rücksicht auf die Geometrie der Aperturen über die gesamte Breite der Druckmaske wirkt, sondern dass der Düsenquerschnitt lediglich im Bereich der Aperturen durch Düsenöffnungen gebildet wird. Insbesondere erstreckt sich der Düsenquerschnitt hinsichtlich der Ausdehnung der Druckmaske quer zur Verfahrrichtung des Düsenkopfes nicht auf alle Bereiche der Druckmaske, in denen sich keine Aperturen befinden.As can be seen from the above explanations, adaptation of the nozzle cross-section to the apertures of the print mask can thus be carried out in individual stages (whereby an exact match between the extension of the nozzle cross-section and the extent of the apertures is not necessarily achieved) or by exact geometrical adaptation ( in this case a congruence between the nozzle cross-section and the apertures to be cleaned can be achieved) take place. Compared to the cleaning method according to US 2005/0183599 A1 but causes the adjustment in each case that the nozzle cross section does not work regardless of the geometry of the apertures over the entire width of the print mask, but that the nozzle cross section is formed only in the region of the apertures through nozzle openings. In particular, the nozzle cross-section with respect to the extension of the printing mask transversely to the direction of travel of the nozzle head does not extend to all areas of the printing mask in which there are no apertures.

Es ist vorgesehen, dass der Düsenkopf länglich ausgebildet ist und quer zu seiner Längsausdehnung über die Druckmaske bewegt wird, wobei der Düsenquerschnitt an die Ausdehnung der Aperturen quer zur Bewegungsrichtung angepasst ist. Dies bedeutet mit anderen Worten, dass bei der Anpassung des Düsenquerschnittes die Bewegungsrichtung des Düsenkopfes berücksichtigt wird, wobei bei einer länglichen Ausdehnung des Düsenkopfes nur die Ausdehnung der Aperturen in Richtung der Längsausdehnung des Düsenkopfes interessiert. Wird dieser über die betreffende Apertur hinweggeführt, entspricht die Überdeckung der aktuellen Düsenöffnung im Idealfall gerade der Breite der Apertur, über die der Düsenkopf gerade hinweggeführt wird. Hierdurch lässt sich vorteilhaft ein besonders rationelles Verfahren erreichen, da der Düsenkopf mit einer konstanten Geschwindigkeit über die Druckmaske hinweggeführt werden kann.It is provided that the nozzle head elongated is formed and transverse to its longitudinal extent over the Pressure mask is moved, the nozzle cross-section of the expansion the apertures are adjusted transversely to the direction of movement. this means in other words, that when adjusting the nozzle cross section, the direction of movement of the nozzle head considered being at an elongated Expansion of the nozzle head only the extent of the apertures in the direction of the longitudinal extent of the nozzle head Interested. Will this over the respective aperture passed away, corresponds to the overlap the current nozzle opening in Ideally just the width of the aperture, over which the nozzle head just taken away becomes. This leaves advantageously achieve a particularly efficient process, because the nozzle head be passed over the printing mask at a constant speed can.

Erfindungsgemäß ist der Düsenquerschnitt veränderbar ausgeführt und wird während des Bewegens des Düsenkopfes an die jeweilige Ausdehnung der Aperturen angepasst. Hierbei können auch Aperturen mit einer vergleichsweise komplizierten Geometrie einfach abgesaugt werden. Außerdem steht auf diesem Wege immer die maximal mögliche Absaug- bzw. Ausblasleistung zur Verfügung, da der Düsenkopf immer optimal an die augenblicklichen geometrischen Verhältnisse der Druckmaske angepasst ist.According to the invention Nozzle cross section changeable accomplished and will be during moving the nozzle head adapted to the respective extent of the apertures. This can also be done Apertures with a comparatively complicated geometry easy be sucked off. Furthermore in this way always the maximum possible suction or blow-out to disposal, because the nozzle head always optimally adapted to the current geometrical conditions the printmask is adjusted.

Besonders vorteilhaft ist es bei dem genannten Verfahren, wenn die Oberfläche der Druckmaske optisch vermessen wird und die Anpassung des Düsenquerschnittes durch Veränderung desselben bzw. durch Auswahl eines Düsenkopfes mit geeignetem Muster unter Auswertung der optischen Vermessung vorgenommen wird. Hierbei entsteht sozusagen eine intelligente Reinigungsvorrichtung, die durch eine automatische optische Inspektion (AOI) sicherstellt, dass sich der Reinigungsautomat jeweils auf die zu reinigende Druckmaske einstellt. Die optische Inspektion kann gleichzeitig dazu verwendet werden, den Verschmutzungsgrad der zu reinigenden Druckmaske zu ermitteln und infolgedessen den Ablauf des Reinigungsverfahrens zu beeinflussen. Insbesondere können die gewählten Reinigungszeiten verändert werden, so dass bei wenig verschmutzten Druckmasken vorteilhaft Reinigungszeit eingespart werden kann. Dies ist einer Effizienzsteigerung des Verfahrens zuträglich. Zuletzt ist es auch möglich, mit der automatischen optischen Inspektion das Reinigungsverfahren selbst zu überwachen, so dass in Abhängigkeit des Reinigungsfortschrittes in den Reinigungsprozess eingegriffen werden kann.Especially It is advantageous in the said method, when the surface of the Printmask is optically measured and the adjustment of the nozzle cross-section through change the same or by selecting a nozzle head with a suitable pattern is carried out under evaluation of the optical measurement. in this connection arises, so to speak, an intelligent cleaning device that through an automatic optical inspection (AOI) ensures that the cleaning machine in each case on the print mask to be cleaned established. The optical inspection can be used simultaneously become, the degree of contamination of the print mask to be cleaned determine and consequently the course of the cleaning process to influence. In particular, you can the chosen ones Cleaning times are changed, so that with little soiled print masks advantageous cleaning time can be saved. This is an increase in efficiency of the process conducive. Finally, it is also possible with the automatic optical inspection, the cleaning process self-monitor, so that in dependence the cleaning progress in the cleaning process intervened can be.

Selbstverständlich kann ein Reinigungsautomat auch ohne ein automatisches optisches Inspektionssystem betrieben werden. Sind beispielsweise Verschmutzungsgrad bzw. Geometrie der zu reinigenden Druckmaske bekannt, so kann in Abhängigkeit dieser bekannten Daten das Reinigungsverfahren beeinflusst werden. Insbesondere kann der Düsenquerschnitt an die vorliegenden Aperturen angepasst werden. Dies kann ebenfalls vorteilhaft automatisch durch Auswertung der zu einer bestimmten Druckmaske gehörenden Daten erfolgen.Of course you can a cleaning machine even without an automatic optical inspection system operate. Are, for example, degree of contamination or geometry the printmask to be cleaned, so may in dependence this known data will affect the cleaning process. In particular, the nozzle cross section adapted to the existing apertures. This can also be done advantageous automatically by evaluating the to a particular printmask belonging Data is done.

Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf einen Düsenkopf zur Reinigung der Aperturen von Druckmasken, aufweisend eine längliche Ausdehnung und einen Düsenquerschnitt, der sich über die Länge des Düsenkopfes erstreckt. Ein derartiger Düsenkopf ist in der eingangs genannten US 2005/0183599 A1 beschrieben.Furthermore, the invention relates to a nozzle head for cleaning the apertures of printing masks, comprising an elongated extension and a nozzle cross-section which extends over the length of the nozzle head. Such a nozzle head is in the aforementioned US 2005/0183599 A1 described.

Es ergibt sich demzufolge weiterhin die Aufgabe, einen Düsenkopf zur Reinigung der Aperturen von Druckmasken anzugeben, mit dem die Effizienz der Reinigung der Druckmasken verbessert werden kann.It Consequently, the task continues to be a nozzle head for cleaning the apertures of printing masks, with which the Efficiency of cleaning the print masks can be improved.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem oben genannten Düsenkopf zur Reinigung der Aperturen von Druckmasken erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Düsenquerschnitt aus mehreren Einzelöffnungen, insbesondere Schlitzen zusammengesetzt ist, wobei sich der Düsenquerschnitt in Längsrichtung des Düsenkopfes dadurch an die Ausdehnung der Aperturen anpassen lässt, dass die Einzelöffnungen einzeln oder in Gruppen geöffnet und verschlossen werden. Durch einen Düsenkopf der angegebenen Art ist es daher vorteilhaft auf einfache Weise möglich, den Düsenquerschnitt stufenweise an bestimmte Ausführungen von zu reinigenden Druckmasken anzupassen. Jeweils diejenigen Einzelöffnungen, die sich oberhalb des Druckmaskenmaterials, d. h. außerhalb der Aperturen, befinden, werden verschlossen. Dies kann durch geeignete Ventile in den Ansaug- bzw. Ausblasleitungen erfolgen. Eine andere Möglichkeit besteht darin, die Einzelöffnungen selbst ventilartig als Absperrschieber auszuführen, so dass durch eine geeignete Verstellung der Einzelöffnungen ein Verschließen oder Öffnen möglich ist. Geöffnet bleiben jeweils die Einzelöffnungen, die sich oberhalb oder unterhalb der jeweils zu reinigenden Apertur befinden. Auf diese Weise wird der Volumenstrom beim Absaugen bzw. Ausblasen jeweils nur auf die hierzu notwendigen Einzelöffnungen beschränkt. Hierdurch lassen sich die oben bereits beschriebenen Vorteile erreichen, insbesondere eine effektive Reinigung der Druckmaske.This object is achieved according to the invention with the above-mentioned nozzle head for cleaning the apertures of printing masks, that the nozzle cross section of several individual openings, in particular slots is composed, whereby the nozzle cross section in the longitudinal direction of the nozzle head can thereby adapt to the extent of the apertures, that the Single openings can be opened and closed individually or in groups. By a nozzle head of the specified type, it is therefore advantageous in a simple manner possible to adjust the nozzle cross-section gradually to certain versions of print masks to be cleaned. Each one Openings which are located above the printing mask material, ie outside the apertures, are closed. This can be done by suitable valves in the intake and exhaust pipes. Another possibility is to perform the individual openings themselves valve-like as a gate valve, so that by a suitable adjustment of the individual openings closing or opening is possible. The individual openings which are located above or below the respective aperture to be cleaned remain open in each case. In this way, the volume flow during suction or blowing is limited only to the necessary individual openings. As a result, the advantages already described above can be achieved, in particular effective cleaning of the printing mask.

Gemäß einer Ausgestaltung dieser Erfindung ist vorgesehen, dass sich die Einzelöffnungen in der Projektion quer zur Längenausdehnung des Düsenkopfes überschneiden. Hierdurch kann vorteilhaft sichergestellt werden, dass zwischen den benachbarten Einzelöffnungen des Düsenquerschnittes keine Bereiche entstehen, in denen die Druckmaske keiner Absaugung unterworfen wird. Die Überschneidung führt vorteilhaft dazu, dass auch in Bereichen, in denen die Aperturen genau in einem Zwischenbereich zwischen zwei Einzelöffnungen liegen, zuverlässig abgesaugt werden können. Um eine Überschneidung der Einzelöffnungen, gesehen in Verschieberichtung des Düsenkopfes (also in der Projektion quer zur Längenausdehnung) zu ermöglichen, müssen die Einzelöffnungen beispielsweise in zwei Reihen hintereinander angeordnet werden.According to one Embodiment of this invention is provided that the individual openings in the projection across the length of the nozzle head overlap. This can be advantageously ensured that between the adjacent single openings the nozzle cross-section no Areas arise where the print mask is not subjected to suction becomes. The overlap leads advantageous to that too in areas where the apertures are exactly in one Intermediate area between two individual openings, reliably sucked off can be. To an overlap the single openings, seen in the direction of displacement of the nozzle head (ie in the projection transverse to the longitudinal extent) to enable have to the single openings for example, be arranged in two rows one behind the other.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung wird erhalten, wenn die Einzelöffnungen, insbesondere die Schlitze schräg zur Längenausdehnung des Düsenkopfes ausgerichtet sind. Hierdurch kann insbesondere bei Aperturen, deren Kanten rechtwinklig bzw. parallel zur Längenausdehnung des Düsenkopfes verlaufen, ein günstiger stufenloser Eingriff der Einzelöffnungen an den Kanten der Aperturen erreicht werden. Außerdem lässt sich auf diese Weise die bereits erwähnte Überschneidung der Einzelöffnungen erreichen, da insbesondere schlitzartige Einzelöffnungen derart angeordnet werden können, dass jeweils der Beginn eines Schlitzes mit jeweils dem Ende des benachbarten Schlitzes sich überschneidet.A Further embodiment of the invention is obtained when the individual openings, especially the slits at an angle for length expansion of the nozzle head are aligned. As a result, in particular at apertures whose Edges at right angles or parallel to the longitudinal extension of the nozzle head run, a cheaper continuous engagement of the individual openings can be achieved at the edges of the apertures. In addition, it can be in this way the already mentioned overlap the single openings reach, in particular because slot-like individual openings arranged in such a way that can be in each case the beginning of a slot, each with the end of the adjacent Slot overlaps.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Schlitze in dem Düsenkopf drehbar angeordnet sind, derart, dass die Ausrichtung der Schlitze zur Längsausdehnung des Düsenkopfes veränderlich ist. Hierdurch kann vorteilhaft erreicht werden, dass, obwohl die Schlitze eine bestimmte Länge aufweisen, die nur ganz oder gar nicht als Düsenquerschnitt zur Verfügung gestellt werden kann, eine Anpassung an die Breite der Aperturen möglich ist. Wird der betreffende geöffnete Schlitz nämlich um seine Mittelachse gedreht, so wird die auf der Druckmaske überstrichene Breite in Richtung der Bewegung des Düsenkopfes breiter oder schmaler. Vorteilhaft kann die Drehung der Schlitze auch gleichzeitig als Drehschieber zum Öffnen bzw. Verschließen der Schlitze verwendet werden.Especially It is advantageous if the slots are rotatably arranged in the nozzle head are such that the orientation of the slots to the longitudinal extent of the nozzle head is changeable. This can advantageously be achieved that, although the slots a certain length have, provided only wholly or not as a nozzle cross-section can be adapted to the width of the apertures is possible. Will that open Slot namely rotated around its central axis, so is the swept across the printmask width in the direction of the movement of the nozzle head wider or narrower. Advantageously, the rotation of the slots also at the same time as a rotary valve to open or closing the slots are used.

Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Gleiche oder sich entsprechende Bauelemente sind in der Zeichnung jeweils mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden nur insoweit mehrfach erläutert, wie sich Unterschiede zwischen den einzelnen Figuren ergeben. Es zeigenFurther Details of the invention are described below with reference to the drawing described. Same or corresponding components are in each provided with the same reference numerals of the drawing and are only explained several times how differences arise between the individual figures. It demonstrate

1 den schematischen Aufbau eines Ausführungsbeispieles des erfindungsgemäßen Düsenkopfes mit Einzelöffnungen, 1 the schematic structure of an embodiment of the nozzle head according to the invention with individual openings,

2 eine perspektivische Ansicht der 1, wobei Ventilmechanismen im Unterschied zu 1 als Schieber realisiert sind, 2 a perspective view of 1 , where valve mechanisms are different from 1 realized as a slide,

3 ein anderes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Düsenkopfes mit drehbar angeordneten Schlitzen als Einzelöffnungen zum Absaugen oder Ausblasen. 3 another embodiment of the nozzle head according to the invention with rotatably arranged slots as individual openings for suction or blowing.

In 1 ist ein Düsenkopf 11 schematisch dargestellt. Dieser ist länglich ausgebildet, d. h., dass er im Verhältnis zu seiner Breite b eine verhältnismäßig große Länge l aufweist (es ist nur das eine Ende des Düsenkopfes 11 dargestellt). Der Düsenkopf ist weiterhin mit Einzelöffnungen in Form von Schlitzen 12 ausgestattet, die in ihrer Gesamtheit den Düsenquerschnitt ausmachen. Schematisch ist weiterhin dargestellt, wie die einzelnen Schlitze 12 mit Leitungen 13 verbunden sind, über die ein Ausblasen von Luft bzw., wie in 1 dargestellt, ein Ansaugen von Luft erfolgen kann. Hierzu sind die Leitungen 13 mit mehreren Vakuumkammern 14 verbunden, wobei durch Öffnen und Schließen von Ventilen 15 ein Absaugen von Verunreinigungen und Rückständen von einer nicht näher dargestellten Druckmaske erfolgen kann. Die Verwendung mehrerer Vakuumkammern hat dabei den Vorteil, dass für den Fall, dass in einem Bereich, versorgt von einer Vakuumkammer, das Vakuum zusammenbricht, die restlichen Schlitze, die mit anderen Vakuumkammern verbunden sind, in ihrer Funktion nicht beeinträchtigt werden. Die Vakuumkammern dienen dabei zusätzlich als Puffer für eventuelle Spitzen hinsichtlich des durch die Schlitze 12 strömenden Volumenstroms, da das Vakuum erst zusammenbricht, wenn ein weitgehender Druckausgleich zwischen Vakuumkammer 14 und Umgebung erreicht ist. Die Vakuumkammern sind, um diesem Druckausgleich ständig entgegenzuwirken, in nicht dargestellter Weise mit Vakuumpumpen verbunden.In 1 is a nozzle head 11 shown schematically. This is elongate, that is, that it has a relatively large length l in relation to its width b (it is only the one end of the nozzle head 11 shown). The nozzle head is still with individual openings in the form of slots 12 equipped, which make up the nozzle cross-section in its entirety. Schematically is further shown how the individual slots 12 with wires 13 connected via the a blow out of air or, as in 1 shown, a suction of air can take place. These are the lines 13 with several vacuum chambers 14 connected, whereby by opening and closing of valves 15 a suction of impurities and residues can be done by a pressure mask, not shown. The use of several vacuum chambers has the advantage that in the event that in a region supplied by a vacuum chamber, the vacuum collapses, the remaining slots, which are connected to other vacuum chambers, are not impaired in their function. The vacuum chambers also serve as a buffer for any peaks in terms of through the slots 12 flowing volume flow, since the vacuum collapses only when a large pressure equalization between the vacuum chamber 14 and environment is reached. The vacuum chambers are to counteract this pressure compensation constantly connected in a manner not shown with vacuum pumps.

Alternativ, wenn auch in 1 nicht dargestellt, könnten auch jeweils mehrere Schlitze über ein einziges Ventil geschaltet werden. Hierbei könnten die Schlitze jeweils nur in Gruppen zugeschaltet und abgeschaltet werden. Hierbei entsteht ein geringerer Komponentenaufwand, dafür wird die Variabilität des so vereinfachten Düsenkopfes allerdings etwas eingeschränkt.Alternatively, albeit in 1 not shown, also several slots could each be switched via a single valve. In this case, the slots could only be switched on and off in groups. This results in a lower component cost, but the variability of the so simplified nozzle head is somewhat limited.

Werden die in 1 dargestellten Vakuumkammern 14 auch mit einer Druckluftpumpe versehen, so ist es auch möglich, die in 1 dargestellte Apparatur zum Ausblasen durch die Schlitze 12 zu verwenden. In den Vakuumkammern 14 würde dann ein Überdruck erzeugt werden, welcher durch die Leitungen 13 und die Schlitze 12 entspannt werden könnte, sobald die Ventile 15 geöffnet werden. Es ist auch denkbar, die in 1 dargestellte Apparatur je nach Anwendungsfall zum Ausblasen oder Absaugen zu verwenden, wenn beide Pumpentypen parallel vorgesehen werden.Will the in 1 illustrated vacuum chambers 14 Also provided with a compressed air pump, so it is also possible in the 1 illustrated apparatus for blowing through the slots 12 to use. In the vacuum chambers 14 Then an overpressure would be generated, which through the lines 13 and the slots 12 could be relaxed once the valves 15 be opened. It is also conceivable that in 1 shown apparatus to use depending on the application for blowing or suction, if both pump types are provided in parallel.

Außerdem ist in 1 dargestellt, dass die Schlitze 12 alle dieselbe Länge s aufweisen. Die Schlitze sind kaskadenartig in zwei Reihen hintereinander angeordnet, und zwar derart, dass sich jeweils benachbarte Schlitze um den Betrag Δs überschneiden.It is also in 1 shown that the slots 12 all have the same length s. The slots are cascaded in two rows one behind the other, in such a way that each adjacent slots overlap by the amount Δs.

In 2 kann man erkennen, dass die Schlitze 12 auch als Absperrschieber ausgebildet sein können. In diesem Fall fallen die gesonderten Ventile 15 gemäß 1 weg. Vielmehr sind die Gehäuse 16, in denen die Schlitze 12 ausgebildet sind, in einem Trägerbauteil 17 versenkbar angeordnet. Durch Versenken der Gehäuse 16 werden die kommunizierenden Öffnungen (nicht dargestellt) zwischen den Schlitzen 12 und den ebenfalls nicht dargestellten Leitungen zu den nicht dargestellten Vakuumkammern unterbrochen. Dies macht das Vorsehen gesonderter Ventile entbehrlich. Das Schalten der Gehäuse 16 kann beispielsweise mittels eines elektromagnetischen Antriebes (ebenfalls nicht dargestellt) erfolgen.In 2 You can tell that the slots 12 can also be designed as a gate valve. In this case, the separate valves fall 15 according to 1 path. Rather, the housing 16 in which are the slots 12 are formed in a support member 17 retractable. By sinking the housing 16 The communicating openings (not shown) are between the slots 12 and the lines also not shown broken to the vacuum chambers, not shown. This makes the provision of separate valves dispensable. The switching of the housing 16 For example, by means of an electromagnetic drive (also not shown).

Bei der Variante des Düsenkopfes 11 gemäß 3 sind die Gehäuse 16 der Schlitze 12 drehbar in dem Trägerbauteil 17 angeordnet. Hierdurch lässt sich erreichen, dass die Ausrichtung der Schlitze 12 sich durch Drehung der Gehäuse 16 verändern lässt. Hierbei entstehen abhängig von der Länge s der Schlitze in der Projektion entlang einer Bewegungsrichtung B des Düsenkopfes effektiv auf die Breitenausdehnung der Aper turen wirkende Schlitzbreiten p, wobei p = s ist, wenn der Schlitz 12 senkrecht zur Bewegungsrichtung B ausgerichtet ist. Dargestellt in 3 sind zwei benachbarte Schlitze 12 in einer Winkelstellung von α = 45° zur Bewegungsrichtung B, wobei sich das Verhältnis zwischen p und s zu sinα ergibt. Bei α = 45° ergibt sich die dargestellte Überschneidung der benachbarten Schlitze 12 Δp.In the variant of the nozzle head 11 according to 3 are the housings 16 the slots 12 rotatably in the carrier component 17 arranged. This allows you to achieve that the alignment of the slots 12 by turning the housing 16 can change. Hereby, depending on the length s of the slits in the projection along a direction of movement B of the nozzle head, slit widths p effectively acting on the width dimension of the actuators arise, where p = s when the slit 12 is aligned perpendicular to the direction of movement B. Shown in 3 are two adjacent slots 12 in an angular position of α = 45 ° to the direction of movement B, where the ratio between p and s to sinα results. At α = 45 ° results in the illustrated overlap of the adjacent slots 12 Ap.

Das äußerste Gehäuse 16 ist durch Drehung 18 so verstellt worden, dass der Schlitz 12 parallel zur Bewegungsrichtung B ausgerichtet ist. Dies ist die Stellung des Schlitzes 12, in dem eine Verbindung mit den nicht dargetellten Leitungen verschlossen wird. Insofern wirken die Gehäuse 16 gemäß 3 als Drehschieber, wobei der Absperrmechanismus nicht näher dargestellt ist. Sobald der Schlitz aus der Stellung parallel zur Bewegungsrichtung B (α = 0) herausgedreht wird, ist wieder eine Verbindung des Schlitzes 12 mit dem nicht dargestellten Leitungssystem gewährleistet, wobei durch Variation der Winkelstellung in Abhängigkeit der Breite der zu reinigenden Apertur p eingestellt werden kann.The outermost case 16 is by rotation 18 adjusted so that the slot 12 is aligned parallel to the direction of movement B. This is the position of the slot 12 , in which a connection with the not dargetellten lines is closed. In that sense, the housing act 16 according to 3 as a rotary valve, wherein the shut-off mechanism is not shown in detail. Once the slot is rotated out of the position parallel to the direction of movement B (α = 0), again is a connection of the slot 12 ensured with the conduit system, not shown, wherein by varying the angular position as a function of the width of the aperture to be cleaned p can be adjusted.

Claims (6)

Verfahren zur Reinigung der Aperturen (24) von Druckmasken (22), bei dem ein länglicher Düsenkopf (11) mit einem öffnungsseitigen Düsenquerschnitt an die zu reinigende Druckmaske (22) angenähert wird, quer zu seiner Längsausdehnung (l) über die Druckmaske (22) bewegt wird und Verunreinigungen durch Ausblasen oder Absaugen aus den Aperturen (24) entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, dass für zumindest einen Teil der Aperturen (24) ein Düsenkopf 11 verwendet wird, dessen Düsenquerschnitt verändert werden kann und während des Bewegens des Düsenkopfes (11) an die jeweilige Ausdehnung der Aperturen (24) quer zur Bewegungsrichtung (B) angepasst wird.Process for cleaning the apertures ( 24 ) of printmasks ( 22 ), in which an elongate nozzle head ( 11 ) with an opening-side nozzle cross section to the print mask to be cleaned ( 22 ), transversely to its longitudinal extent (l) via the printing mask ( 22 ) is moved and impurities by blowing or suction from the apertures ( 24 ), characterized in that for at least a part of the apertures ( 24 ) a nozzle head 11 is used whose nozzle cross-section can be changed and during the movement of the nozzle head ( 11 ) to the respective extent of the apertures ( 24 ) is adjusted transversely to the direction of movement (B). Verfahren Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche der Druckmaske (22) optisch vermessen wird und die Anpassung des Düsenquerschnittes durch Veränderung desselben oder Auswahl eines Düsenkopfes (11) mit geeignetem Muster unter Auswertung der optischen Vermessung vorgenommen wird.Method according to claim 1, characterized in that the surface of the printing mask ( 22 ) is measured optically and the adjustment of the nozzle cross-section by changing the same or selecting a nozzle head ( 11 ) is carried out with a suitable pattern under evaluation of the optical measurement. Düsenkopf zur Reinigung der Aperturen (24) von Druckmasken zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1 oder 2, aufweisend eine längliche Ausdehnung und einen Düsenquerschnitt, der sich über die Länge des Düsenkopfes erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenquerschnitt aus mehreren Einzelöffnungen zusammengesetzt ist, wobei der Düsenquerschnitt in Längsrichtung des Düsenkopfes an die Ausdehnung der Aperturen (24) anpassbar ist und wobei Einzelöffnungen einzeln oder in Gruppen öffenbar und verschließbar sind.Nozzle head for cleaning the apertures ( 24 ) of printing masks for carrying out the method according to claim 1 or 2, comprising an elongated extension and a nozzle cross-section extending over the length of the nozzle head, characterized in that the nozzle cross section is composed of a plurality of individual openings, wherein the nozzle cross-section in the longitudinal direction of the nozzle head the extent of the apertures ( 24 ) and wherein individual openings can be opened and closed individually or in groups. Düsenkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Einzelöffnungen in der Projektion quer zur Längenausdehnung des Düsenkopfes (11) überschneiden.Nozzle head according to claim 3, characterized in that the individual openings in the projection transversely to the longitudinal extent of the nozzle head ( 11 ) overlap. Düsenkopf nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelöffnungen schräg zur Längsausdehnung des Düsenkopfes (11) ausgerichtet sind.Nozzle head according to one of claims 3 or 4, characterized in that the individual openings obliquely to the longitudinal extent of the nozzle head ( 11 ) are aligned. Düsenkopf nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass Schlitze (12) in dem Düsenkopf (11) drehbar angeordnet sind, wobei die Ausrichtung der Schlitze (12) zur Längsausdehnung des Düsenkopfes (11) veränderbar ist.Nozzle head according to one of claims 3 to 5, characterized in that slots ( 12 ) in the nozzle head ( 11 ) are rotatably arranged, wherein the orientation of the slots ( 12 ) to the longitudinal extent of the nozzle head ( 11 ) is changeable.
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