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DE102007032300A1 - Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung - Google Patents

Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung Download PDF

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DE102007032300A1
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Roland Dr. Weiss
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Siemens Corp
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    • G01R15/18Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using inductive devices, e.g. transformers
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    • G01MEASURING; TESTING
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Abstract

Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung, umfassend: - wenigstens zwei Fluxgate-Sensoren, bestehend jeweils aus einer Erregerspule, einer Induktionsspule und einem magnetischen Kern, - wenigstens einen den zu messenden Strom führenden Leiter, umfassend wenigstens zwei Leiterabschnitte, denen jeweils ein Fluxgate-Sensor zugeordnet ist, wobei an den Induktionsspulen wenigstens ein ein Maß für den über den Leiter geführten Messstrom darstellendes Messsignal abgreifbar ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung.
  • Die galvanisch getrennte Stromerfassung, sei es die Messung von Gleich- oder Wechselstrom, erfolgt heute vornehmlich über Messsysteme umfassend Hall- oder AMR-Sensoren. Diese Sensortypen zeichnen sich durch eine hohe Messgenauigkeit aus. Nachteilig bei derartigen Stromerfassungssystemen ist jedoch die große Bauform und das erhebliche Gewicht. Ein derartiger Stromsensor zur Erfassung eines Spitzenstroms von 600 A weist beispielsweise ein Gewicht von ca. 1 kg auf. Dieses hohe Gewicht resultiert primär aus der Tatsache, dass aus Gründen der Störsicherheit diese Stromsensoren direkt oder indirekt über einen ringförmigen Flusskonzentrator nach dem Prinzip des Durchflutungsgesetztes arbeiten. Die große Bauform und das hohe Gewicht machen solche Systeme für verschiedene Anwendungen (im Automobilbereich, im Bereich der Robotik oder bei Industrieantrieben etc.) unattraktiv.
  • Der Erfindung liegt damit das Problem zu Grunde, einen einfach aufgebauten, mit geringer Baugröße und geringem Gewicht herstellbaren Stromsensor anzugeben.
  • Zur Lösung dieses Problems ist ein Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung vorgesehen, umfassend:
    • – wenigstens zwei Fluxgate-Sensoren bestehend jeweils aus einer Erregerspule, einer Induktionsspule und einem magnetischen Kern,
    • – wenigstens einen den zu messenden Strom führenden Leiter umfassend wenigstens zwei Leiterabschnitte, denen jeweils ein Fluxgate-Sensor zugeordnet ist,
    wobei an den Induktionsspulen wenigstens ein Maß für den über den Leiter geführten Messstrom darstellendes Messsignal abgreifbar ist.
  • Die Erfindung schlägt einen neuen Stromsensortyp vor, der aus wenigstens zwei separat arbeitenden Fluxgate-Sensoren besteht, die beide einem gemeinsamen, den zu messenden Strom führenden Leiter zugeordnet sind, dort jedoch den Strom über jeweils einen separaten Leiterabschnitt des Leiters messen. An den Induktionsspulen ist wenigstens ein Messsignal abgreifbar, das ein Maß für den über den Leiterabschnitt geführten Messstrom darstellt. Entweder wird an jeder Induktionsspule ein Messsignal abgegriffen, die beide miteinander verknüpft und ein Differenzwert gebildet wird, bei dem etwaige externe Störkomponenten nicht mehr enthalten sind. Alternativ können die beiden Induktionsspulen auch so verschaltet sein, dass über sie nur ein Messsignal abgegriffen werden kann. Durch entsprechende Ansteuerung und Auswertung des oder der Signale, insbesondere nach dem Verfahren der Auswertung der zweiten harmonischen Oberwelle oder der Auswertung der Pulsposition und Pulshöhe des oder der erfassten Signalpulse, kann eine sehr hohe Messgenauigkeit bei gleichzeitiger hoher Störsicherheit erreicht werden.
  • Der Aufbau eines Fluxgate-Sensors ist an und für sich bekannt, ein solcher Sensor umfasst eine Erregerspule, die mit einem Erregerstrom betrieben wird, wobei die Bestromung über eine geeignete angesteuerte Stromquelle erfolgt. Ferner ist ein magnetischer Kern vorgesehen, der über die Erregerspule, die mit einem hochfrequenten Signal angesteuert wird, alternierend magnetisiert wird. Weiterhin ist eine Induktionsspule vorgesehen, in die über den Kern in Abhängigkeit seiner variierenden Magnetisierung ein Induktionsstrom induziert wird, der ursächlich für das an einer Induktionsspule abgreifbare Messsignal ist. Ein solcher Fluxgate-Sensor kann als integrierter, planarer Sensor ausgeführt werden, in dem die entsprechenden Spulen bzw. der Kern als dünne Schichten abgeschieden werden, so dass mithin eine sehr kleine Bauform erreicht werden kann.
  • Das Funktionsprinzip ist nun derart, dass die Magnetisierungshysterese des weichmagnetischen Kerns jedes Fluxgate-Sensors in Abhängigkeit des über einen Leiterabschnitt geführten Messstroms, der ein Magnetfeld erzeugt, verschoben wird. Hieraus resultiert, dass auch das aus der Erregerspulenbestromung resultierende Induktionssignal variiert, abhängig davon, wie hoch der anliegende Messstrom bzw. die Verschiebung der Hysteresekurve ist. Nachdem bei dem erfindungsgemäßen Stromsensor beide Fluxgate-Sensoren mit dem selben Messstrom beaufschlagt und die beiden Erregerspulen mit dem selben Erregerstrom betrieben werden, werden ein oder zwei den Messstrom beschreibende Messsignale an den jeweiligen Induktionsspulen abgegriffen, das oder die in der beschriebenen Weise z. B. über die Oberwellenanalyse verarbeitet werden.
  • Die Fluxgate-Sensoren sind zweckmäßigerweise auf einem isolierenden Substrat angeordnet, das wiederum auf dem Leiter angeordnet ist. Hierüber ergibt sich also quasi eine Art Sandwich-Aufbau, der eine sehr kompakte Bauweise ermöglicht, insbesondere, wenn wie beschrieben die Sensoren als Dünnschichtbauelemente ausgeführt werden.
  • Der Leiter selbst ist bevorzugt ein U-förmiger Leiter, wobei jeweils ein U-Leiterschenkel einen Leiterabschnitt bildet. Die beiden Fluxgate-Sensoren liegen also quasi nebeneinander, unter ihnen verläuft der U-Leiter, über den der Messstrom geführt ist. Nachdem die Stromrichtung über den U-Leiter wechselt, also in den jeweiligen Leiterabschnitten entgegengesetzt ist, stellen sich auch zwangsläufig entgegengesetzte, vom Messstrom erzeugte und die Hysteresekurve der weichmagnetischen Sensorkerne quasi „vorspannende" und verschiebende Magnetfelder ein. Alternativ zur Verwendung eines U-Leiter wäre auch die Verwendung eines geschlitzten Leiters, der also in zwei separate Leiterabschnitte über eine bestimmte Leiterlänge aufgetrennt ist, denkbar.
  • Wie beschrieben wird die Auswertung der beiden Messsignale zweckmäßigerweise über das Differenzfeld-Messprinzip, wie es von Gradiometern her bekannt ist, vorgenommen, es wird also ein Differenzsignal aufgenommen bzw. gebildet. Die beiden Induktionsspulen können entweder derart miteinander gekoppelt sein, dass über beide ein einziges Messsignal in Form einer Differenzspannung abgreifbar ist. Alternativ kann auch an jeder Induktionsspule ein Messsignal abgreifbar sein, wobei ferner eine Einrichtung zur Bildung eines Differenzsignals aus den beiden Messsignalen vorgesehen ist.
  • Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn am Stromsensor selbst eine Filter- und/oder Verstärkungseinrichtung für die Messsignale vorgesehen ist. Nachdem die abgegriffenen Messsignale bzw. das Differenzsignal im mV- oder μV-Bereich liegen, ist vorteilhaft eine Filterung und Verstärkung zweckmäßig. Insbesondere bei einer Auswertung der zweiten harmonischen Oberwelle ist ein sehr schmalbandiges Filtern zweckmäßig, was durch einen geeigneten Bandpass-Filter hoher Güte erreicht werden kann. Das Rauschen kann weitgehend abgeschnitten werden, eine hohe Signalqualität und ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis kann erreicht werden.
  • Weiterhin ist zweckmäßigerweise am Stromsensor selbst eine Einrichtung zur Durchführung von Korrektur- oder Kompensationsmaßnahmen bezüglich der Messsignale vorgesehen. Dies kann beispielsweise eine Offset-Korrektur sein, um einen etwaigen Signaloffset von Haus aus zu unterdrücken und ein bereits korrigiertes Differenzsignal ausgeben zu können. Denkbar ist auch eine Linearisierung oder eine Temperaturkompensation, soweit im jeweiligen Einsatzbereich eine Signalbeeinflussung über die Umgebungstemperatur möglich ist.
  • Besonders zweckmäßig ist es, wenn eine Einrichtung zur Ermittlung und Ausgabe der Höhe des Messstroms anhand des oder der Messsignale vorgesehen ist, d. h., die sensorseitig vorgesehene Einrichtung ermittelt unmittelbar den Messstrom, gegebenenfalls nach vorheriger Signalfilterung und Verstärkung bzw. Korrektur und Kompensation. Das vom Sensor gelieferte Ausgangssignal ist also eines, das unmittelbar das Messergebnis selbst angibt.
  • Weiterhin kann, um die Eigenständigkeit des Stromsensors noch weiter zu erhöhen, auch eine Einrichtung zur Steuerung der Bestromung der Erregerspulen über eine Stromquelle vorgesehen sein, welche Stromquelle mit dem Sensor gekoppelt wird.
  • Das Vorsehen der verschiedenen Einrichtungen, die bevorzugt insgesamt in Form einer integrierten Schaltung realisiert sind, ermöglicht eine sehr hohe Integrationstiefe und Miniaturisierbarkeit der relevanten Einrichtungen bzw. des Stromsensors selbst. Es kommt also eine vollständige Treiber- und Auswerteschaltung zur Signalerzeugung und Signalverarbeitung zum Einsatz, die bevorzugt auch eine Anschlusseinrichtung zum Anschließen einer externen Verarbeitungseinrichtung in Form eines geeigneten Interfaces aufweist.
  • Die Integration der einen oder aller beschriebener Einrichtungen, bevorzugt als vollständige Treiber- und Auswerteschaltung, erfolgt zweckmäßigerweise im oder am Substrat selbst. D. h., im oder am Substrat wird ein geeigneter IC mit den relevanten Komponenten vorgesehen oder ausgebildet, der die Mikrocontroller-Funktion darstellt.
  • Wenngleich ein hochfunktioneller Stromsensor bereits durch Verwendung nur zweier Fluxgate-Sensoren aufgebaut werden kann, sieht eine zweckmäßige Erfindungsausgestaltung den Einsatz mehrerer Fluxgate-Sensor-Paare vor, wobei jeweils einer der Fluxgate-Sensoren dem einen Leiterabschnitt und der andere dem anderen Leiterabschnitt zugeordnet ist, oder wobei jedem Sensorpaar ein separater Leiter mit zwei Leiterabschnitten zugeordnet ist. Hiernach kommen also mehrere entsprechende Sensor-Paare zum Einsatz, was für eine weitere Erhöhung der Störsicherheit des Sensors von Vorteil ist. Dabei können nach einer ersten Erfindungsalternative nach wie vor nur zwei Leiterabschnitte vorgesehen sein, denen jeweils die Hälfte aller Fluxgate-Sensoren, mithin also jeweils ein Sensor eines Paares, zugeordnet ist. Denkbar ist es aber auch, separate Leiter, also eine Mehrzahl beispielsweise U-förmiger Leiter vorzusehen, die alle mit demselben Messstrom beaufschlagt werden. Dabei ist es auch denkbar, vier Fluxgate-Sensoren, also zwei Sensor-Paare, zu einer Wheatestone'schen Brücke zu schalten. Sind mehrere Sensoren oder Sensorpaare vorgesehen, ist es zweckmäßig, diesen nur eine gemeinsame Einrichtung, also eine gemeinsame vollständige Treiber- und Auswerteschaltung zuzuordnen, die die gesamte Signalerzeugung und -verarbeitung steuert bzw. vornimmt.
  • Zweckmäßigerweise weist der Stromsensor ein entsprechendes Gehäuse auf, an dem ein oder mehrere geeignete Anschlussmittel vorgesehen sind, um den Sensor mit den verschiedenen externen Arbeitskomponenten wie der Stromquelle oder einer nachgeschaltete Signalaufnahmeeinrichtung oder Signalverarbeitungseinrichtung etc. zu koppeln.
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus dem im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:
  • 1 eine Prinzipdarstellung eines Stromsensors einer ersten Ausführung als Aufsicht,
  • 2 eine Seitenansicht des Stromsensors aus 1,
  • 3 eine Prinzipdarstellung der Funktionskomponenten des Stromsensors aus den 1 und 2,
  • 4 eine Prinzipdarstellung der Magnetisierungsverhältnisse im Stromsensor während der Messung,
  • 5 eine Aufsicht auf einen Stromsensor einer zweiten Ausführungsform und
  • 6 eine Seitenansicht des Stromsensors aus 5.
  • 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Stromsensor 1, umfassend zwei eine Kantenlänge von wenigen mm bis in den Zentimeter-Bereich aufweisende Fluxgate-Sensoren 2, 3, die auf einem gemeinsamen Substrat 4 angeordnet sind. Jeder Fluxgate-Sensor umfasst eine außen liegende Induktionsspule 5, 6, eine dieser nach innen gesehen folgende Erregerspule 7, 8 und einen magnetischen Kern 9, 10. Die Spulen 5, 6, 7, 8 sind als Flächenspulen, bevorzugt als sehr dünne Schichtspulen, ausgebildet, wobei die oberen und unteren flächigen Spulenabschnitte über eine hier nicht näher gezeigte Verbindung miteinander gekoppelt sind. Dies gilt sowohl für die Induktionsspulen 5, 6 als auch die Erregerspulen 7, 8. Der jeweilige magnetische Kern 9, 10 kann aus einem beliebigen Material sein, solange er hinreichende weichmagnetische Eigenschaften aufweist. Denkbar wäre z. B. ein Kern aus CoFe oder CoFeB oder NiFi. Zweckmäßigerweise kann ein solcher Kern aber auch als Schichtstapel aus einander abwechselnd angeordneten weichmagnetischen Schichten und diese pinnenden antiferromagnetischen Schichten ausgebildet sein. Ein solcher Kern kann als extrem dünnes, kleines Bauteil ausgebildet werden. Die Dicke einer solchen weichmagnetischen Schicht ist ≤ 100 nm, insbesondere ≤ 30 nm, die Dicke einer antiferromagnetischen Schicht, die bevorzugt aus IrMn, also einem natürlichen Antiferromagneten, gebildet ist, ist bevorzugt ≤ 12 nm, insbesondere ≤ 10 nm. Über einen solchen Schichtkern ist es möglich, innerhalb der weichmagnetischen Schichten quasi ein Eindomänenverhalten zu realisieren, was besonders vorteilhaft ist, als hierdurch die Hysteresekurve des Schichtkerns stark gekrümmt werden kann, was für die Signalauflösung und die Auswertung des Messsignals durch Auswerten der zweiten harmonischen Oberschwingung von Vorteil ist. Nachdem alle Schichten sehr dünn sind, zeigen sie quasi alle das gleiche weichmagnetische Verhalten, so dass sich über den Kern ein sehr homogenes magnetisches Verhalten einstellt. Bevorzugt sind mindestens zehn weichmagnetische Schichten und mindestens elf antiferromagnetische Schichten, die also jede weichmagnetische Schicht an beiden Seiten umfassen und damit pinnen, vorgesehen. Je nach den benötigten magnetischen Eigenschaften können beliebig viele Schichten vorgesehen sein.
  • Im gezeigten Beispiel sind die beiden Induktionsspulen 5, 6 über eine Verbindungsleitung 11 miteinander gekoppelt, so dass zwischen ihnen ein Messsignal in Form der Messsignal spannung UMess abgreifbar ist, also ein Differenzsignal zwischen beiden Induktionsspulen 5, 6. Die Erregerspulen sind mit einer Stromleitung 12 verbunden, über die ein Erregerstrom IErr an die Erregerspulen 7, 8 gelegt wird, verbunden. Diese Stromleitung 12 ist über die beiden Erregerspulen 7, 8 geführt.
  • Unterhalb des Substrats ist ein Leiter 13 vorgesehen, der eine U-Form aufweist und zwei längliche Leiterschenkel 14, 15 besitzt. Der Fluxgate-Sensor 2 ist dem Leiterschenkel 14 und der Fluxgate-Sensor 3 dem Leiterschenkel 15 zugeordnet. Über den Leiter 13 wird der in seiner Höhe zu erfassende Messstrom IMess geführt, wie in 1 dargestellt ist.
  • 3 zeigt eine Prinzipdarstellung des Aufbaus eines Stromsensors 1, wobei hier noch weitere Funktionseinrichtungen dargestellt sind, die als integrierter Schaltkreis im oder am Substrat 4 ausgebildet sein können und der Signalauswertung und Erzeugung eines auszugebenden, die Messstromhöhe anzeigenden Signals dient. Gezeigt sind exemplarisch die beiden Fluxgate-Sensoren 2, 3 sowie das an ihnen abgegriffene Messsignal UMess. Dieses wird zunächst einer Verstärkereinrichtung 16 gegeben, der eine Filtereinrichtung 17, beispielsweise ein schmaler Bandpassfilter nachgeschaltet ist, über den das Messsignal schmalbandig digital gefiltert werden kann. Nachgeschaltet ist eine weitere Verstärkereinrichtung 18, der im gezeigten Beispiel ein Analog-Digital-Wandler 19 nachgeschaltet ist. Gegebenenfalls kann, wie gestrichelt dargestellt ist, auch optional ein Gleichrichter 20 dem Analog-Digital-Wandler vorgeschaltet sein. Dem Analog-Digital-Wandler 19 ist eine weitere Einrichtung 21 nachgeschaltet, die der weiteren Signalverarbeitung und Signalauswertung dient. Dort erfolgt beispielsweise eine Offset-Korrektur, eine Linearisierung des ermittelten Messsignals oder eine Temperaturkompensation, sofern erforderlich. Des Weiteren kann dort die Regelung der hier nicht näher gezeigten Stromquelle, über die die Erregerspulen 7, 8 betrieben wird, erfolgen. Die Erregerspulen 7, 8 werden beispielsweise mit einem Strom von 20 mA und einer Frequenz von 10 kHz betrieben. Weiterhin kann ein Analog/Digital-Interface vorgesehen sein, um eine Kopplung des Stromsensors mit externen Geräten zu ermöglichen. In der Einrichtung 21 erfolgt besonders zweckmäßig auch die Berechnung des Messstroms, also die Ermittlung der tatsächlichen Höhe des Messstroms, wozu in der Einrichtung 21, bei der es sich um einen geeigneten Mikrocontroller oder dergleichen Prozessor handelt, geeignete Kalibrierdaten hinterlegt sind, die zur Auswertung des aufbereiteten Messsignals dienen. Die gesamte Stromsensoranordnung befindet sich in einem geeigneten Gehäuse, wenngleich dieses hier nicht näher dargestellt ist.
  • Das Funktionsprinzip des Stromsensors 1 ergibt sich anschaulich aus 4, in der die magnetischen Verhältnisse bzw. Vorgänge dargestellt sind. In dem Bildabschnitt a) ist die Hysteresekurve eines weichmagnetischen Kerns dargestellt. Die angegebene Achsskalierung ist lediglich exemplarischer Natur.
  • Wird nun der Messstrom IMess, bei dem es sich um einen Gleich- oder einen Wechselstrom handeln kann, über den Leiter 13 geführt, so erzeugt dieser ein externes Magnetfeld, wie im Figurenteil b) in 4 dargestellt ist. Im Falle eines Gleichstroms ist dieses externe Magnetfeld über die Zeit konstant, im Falle eines Wechselstroms variiert es. In jedem Fall kommt es über dieses externe Magnetfeld HExt zu einer Verschiebung der Hysteresekurve aus Bildteil a) entlang der x-Achse. Wird nun der Erregerstrom IErr als hochfrequenter Wechselstrom – dessen Frequenz bei Messung eines Wechselstroms deutlich höher ist als die Frequenz des zu messenden Stroms – an die Erregerspulen angelegt, so wird über diesen Erregerstrom kontinuierlich die Hysteresekurve durchlaufen, jedoch um die Feldkomponente des externen Magnetfelds Hext verschoben, wie anschaulich in 4 gezeigt ist. Durch diese „magnetische Vorspannung" über das externe Magnetfeld HExt wird ersichtlich nicht die gesamte Hysteresekurve durchlaufen, vielmehr nimmt der Anteil, in dem sich der weichmagnetische Kern im Wesentlichen der Sättigung befindet, deutlich zu, wie sich aus Bildteil c) ergibt. Dort ist die magnetische Flussdichte über die Zeit aufgetragen. Ersichtlich sind die unteren Kurvenabschnitte deutlich ausgeprägter und laufen zu höheren Werten als die oberen Kurvenabschnitte, nachdem im gezeigten Beispiel die Hystereseschleife bedingt durch das externe Magnetfeld HExt verstärkt im linken unteren Schleifenast gemäß Figurenteil a), also in der negativen Sättigung durchlaufen wird.
  • Auf Grund dieser Veränderung der Hystereseschleife über das externe Magnetfeld, also den zu messenden Messstrom IMess und der daraus ergebende Veränderung der Magnetisierung über das Erregerfeld HErr resultierend aus dem Erregerstrom IErr ergeben sich zwangsläufig in den Induktionsspulen entsprechend variierende Induktionssignale, deren Höhe abhängig von dem externen Magnetfeld HExt und mithin abhängig vom zu messenden Messstrom IMess ist. Die abgegriffene Messspannung UMess als Messsignal ist folglich ein Maß für den Messstrom IMess. Dieser kann anhand geeigneter Kalibrierdaten aus dem Messsignal, hier also der Messspannung UMess ermittelt werden.
  • Die 5 und 6 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Stromsensors 1, dessen Aufbau dem Stromsensor 1 aus den 1 und 2 entspricht. Lediglich entfallen ist die Verbindungsleitung 11, über die die beiden Induktionsspulen 5, 6 beim Stromsensor 1 aus den 1 und 2 miteinander gekoppelt sind, um über diese beiden lediglich ein Messsignal UMess abzugreifen. Beim Stromsensor 1 aus den 5 und 6 werden zwei Messsignale UMess abgegriffen, also an jeder Induktionsspule 5, 6 ein separates Messsignal. Diese Messsignale werden anschließend über eine geeignete Einrichtung zur Bildung eines Differenzsignals weiterverarbeitet und anhand dieses gebildeten einen Signals dann die Stromhöhe ermittelt. Das Funktionsprinzip des Stromsensors 1 aus den 5 und 6 ist jedoch grundsätzlich das Gleiche wie das des Stromsensors 1 aus den 1 und 2.

Claims (16)

  1. Stromsensor zur Gleich- oder Wechselstrommessung, umfassend: – wenigstens zwei Fluxgate-Sensoren (2, 3) bestehend jeweils aus einer Erregerspule (7, 8), einer Induktionsspule (5, 6) und einem magnetischen Kern (9, 10), – wenigstens einen den zu messenden Strom führenden Leiter (13) umfassend wenigstens zwei Leiterabschnitte (14, 15), denen jeweils ein Fluxgate-Sensor (2, 3) zugeordnet ist, wobei an den Induktionsspulen (5, 6) wenigstens ein ein Maß für den über den Leiter (13) geführten Messstrom (IMess) darstellendes Messsignal (UMess) abgreifbar ist.
  2. Stromsensor mach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluxgate-Sensoren (2, 3) auf einem isolierenden Substrat (4) angeordnet sind, das auf dem Leiter (13) angeordnet ist.
  3. Stromsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Leiter (13) ein U-förmiger Leiter ist, wobei jeweils ein U-Leiterschenkel einen Leiterabschnitt (14, 15) bildet.
  4. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beide Induktionsspulen (5, 6) miteinander gekoppelt sind, so dass über beide Induktionsspulen (5, 6) ein Messsignal UMess in Form eines Differenzsignals abgreifbar ist.
  5. Stromsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass an jeder Induktionsspule (5, 6) ein Messsignal abgreifbar ist und eine Einrichtung zur Bildung eines Differenzsignals aus den beiden Messsignalen (UMess) vorgesehen ist.
  6. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Filter- und/oder Verstärkungseinrichtung (21) für die Messsignale vorgesehen ist.
  7. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung (21) zur Durchführung von Korrektur- oder Kompensationsmaßnahmen bezüglich der Messsignale vorgesehen ist.
  8. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung (21) zur Ermittlung und Ausgabe der Höhe des Messstroms aus den Messsignalen oder dem Differenzsignal vorgesehen ist.
  9. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung (21) zur Steuerung der Bestromung der Erregerspulen über eine Stromquelle vorgesehen ist.
  10. Stromsensor nach einem der oder allen Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige oder alle Einrichtungen (21) im oder am Substrat (4) angeordnet ist.
  11. Stromsensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige oder alle Einrichtungen (21) in Form einer substratseitig vorgesehenen integrierten Schaltung realisiert sind.
  12. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Fluxgate-Sensor-Paare (2, 3) vorgesehen sind, wobei jeweils einer der Fluxgate-Sensoren (2, 3) dem einen Leiterabschnitt (14) und der andere dem anderen Leiterabschnitt (15) zugeordnet ist, oder wobei jedem Sensor-Paar (2, 3) ein separater Leiter (13) mit zwei Leiterabschnitten (14, 15) zugeordnet ist.
  13. Stromsensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass vier Fluxgate-Sensoren (2, 3) zu einer Wheatestone'schen Brücke geschaltet sind.
  14. Stromsensor nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass allen Sensoren (2, 3) eine oder mehrere gemeinsame Einrichtungen (11) zugeordnet sind.
  15. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anschlusseinrichtung zum Anschließen einer externen Verarbeitungseinrichtung vorgesehen ist.
  16. Stromsensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Sensorgehäuse vorgesehen ist.
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