DE102007025577B4

DE102007025577B4 - Verfahren zur Herstellung von Titanoxidschichten mit hoher photokatalytischer Aktivität

Info

Publication number: DE102007025577B4
Application number: DE102007025577A
Authority: DE
Inventors: Thomas 38112 Neubert; Frank 38100 Neumann; Michael Dr. 38162 Vergöhl
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2007-06-01
Filing date: 2007-06-01
Publication date: 2011-08-25
Anticipated expiration: 2027-06-02
Also published as: JP2010529290A; WO2008145397A1; EP2155922A1; DE102007025577A1; US20100240531A1

Abstract

Verfahren zum vakuumbasierten Abscheiden einer Titanoxidschicht aus der Gasphase auf einem Substrat mittels einer Aufdampftechnik,
wobei mittels der Aufdampftechnik von einer titanoxidhaltigen Quelle, welche Ti₃O₅ enthält oder welche aus Ti₃O₅ besteht, mit einer Abscheiderate von kleiner als 10 nm/s, in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre und bei einer Substrattemperatur von kleiner als 500°C abgeschieden wird und
wobei nach dem Abscheiden das beschichtete Substrat über einen Zeitraum von mindestens 30 min in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 200°C und 1000°C wärmebehandelt wird.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Titanoxidschichten und auf die Verwendung gemäß einem solchen Verfahren hergestellter Titanoxidschichten. Die erfindungsgemäß hergestellten Titanoxidbeschichtungen sind transparent und weisen eine sehr hohe photokatalytische Aktivität auf.
Unter Photokatalyse versteht man eine chemische Reaktion, welche durch Licht auf speziellen (photokatalytischen) Oberflächen ausgelöst wird. Die Geschwindigkeit einer solchen chemischen Reaktion hängt dabei sehr stark von der Beschaffenheit des Materials der Oberfläche (also beispielsweise von der chemischen Zusammensetzung, der Rauhigkeit und den kristallinen Strukturen) und von der Wellenlänge sowie der Intensität des auftreffenden Lichts ab. Das wichtigste photokatalytische Material ist Titandioxid, welches in der anatasen Kristallphase vorliegt (weitere bekannte photokatalytische Materialien sind Zinkoxid, Zinnoxid, Wolframoxid, K₄NbO₇ und SrTiO₃). Zum Auslösen der photokatalytischen Reaktion wird meist UV-Licht oder kurzwelliges, sichtbares Licht verwendet. Durch die Photokatalyse ist es möglich, nahezu sämtliche organischen Materialien abzubauen bzw. zu oxidieren. Verbunden mit dem photokatalytischen Effekt ist häufig eine starke Hydrophilisierung der Oberfläche (insbesondere bei Verwendung von Titandioxid). Der Kontaktwinkel für Wasser sinkt hierbei auf unter 10°, was sich z. B. für Antibeschlagbeschichtungen ausnutzen lässt.
Der Markt für gängige photokatalytische Beschichtungen wird sehr stark vom Titandioxid dominiert, wobei vielfältige Beschichtungstechniken zur Anwendung kommen. Sehr häufig angewandt werden Sol-Gel-Techniken, bei denen feine kristalline Titandioxidpartikel in einer Dispersion auf der zu beschichtenden Oberfläche (Substrat) aufgetragen werden. Es sind auch Beschichtungsverfahren aus der Gasphase bekannt, insbesondere mit Hilfe der Sputterdeposition oder dem Hochraten-Elektronenstrahlverdampfen.
Aus der EP 1 449 583 A1 ist ein Verfahren zum vakuumbasierten Abscheiden einer Titanoxidschicht bekannt. Die Abscheidung erfolgt mit Raten zwischen 18 nm/min und 36 nm/min. Beim Sputtern liegt eine sauerstoffhaltige Atmosphäre mit einem Sauerstoffanteil zwischen 10% und 30% vor. Auch erfolgt eine Wärmebehandlung in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre. Als Substrattemperaturen sind 25°C bis 350°C angegeben. Die Wärmebehandlung wird bei 600°C mit einer Dauer von 60 Minuten durchgeführt.
Die WO 01/71055 A1 beschreibt Titanoxidfilme. Der Oberflächenwiderstand dieser Filme kann mit dem in dieser Schrift angegebenen Herstellungsverfahren zwischen 10⁹ und 10¹³ Ω/☐ kontrolliert werden. Das Aufbringen erfolgt über Sputtern eines Targets, das metallisches Titan enthält unter einer druckreduzierten Atmosphäre. Anschließend erfolgt eine Wärmebehandlung.
Die EP 1 068 899 A1 zeigt eine Mehrschichtstruktur und ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Mehrschichtstruktur. Die Mehrschichtstruktur kann als Photokatalysator verwendet werden. Im Rahmen der Mehrschichtstruktur können Titanoxidfilme realisiert sein.
Wichtige Einsatzgebiete von erfindungsgemäßen photokatalytischen Materialien sind selbstreinigende Gläser, beispielsweise Architektur- bzw. Gebäudeverglasungen oder Fahrzeugverglasungen, selbstreinigende und hydrophile optische Bauelemente, wie Brillen, Spiegel, Linsen, optische Gitter, antibakterielle Oberflächen, Antibeschlagbeschichtungen (wie beispielsweise bei Brillen oder Kfz-Außenspiegeln), Oberflächen zur photokatalytischen Reinigung von Luft, (beispielsweise zum Abbau von Stickoxiden oder Zigarettenrauch) und/oder von Wasser (hier z. B. der Abbau von giftigen, chemischen, organischen Verunreinigungen in Kläranlagen), superhydrophile Oberflächen oder die Zersetzung von Wasser zur Wasserstoffgewinnung. Superhydrophilität bedeutet hierbei, dass der Wasserkontaktwinkel kleiner 10° beträgt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung von Titanoxidbeschichtungen zur Verfügung zu stellen, welche eine sehr hohe photokatalytische Aktivität aufweisen und welches mit kommerziellen, bekannten Vakuumbeschichtungsanlagen durchführbar ist. Aufgabe der Erfindung ist es darüberhinaus, entsprechende Titanoxidbeschichtungen zur Verfügung zu stellen.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich jeweils aus den abhängigen Ansprüchen. Verwendungen der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Titanoxidschichten ergeben sich aus Anspruch 15.
Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben. Das erfindungsgemäße Verfahren ist hierbei so ausgebildet, dass es in einer dem Fachmann bekannten Vakuumbeschichtungsanlage (insbesondere beispielsweise einer Vorrichtung zum Elektronenstrahlbedampfen) ausgeführt werden kann. Die entsprechende, zugrundeliegende Vorrichtung wird somit in der vorliegenden Erfindung nicht näher beschrieben, es werden lediglich die Verfahrensparameter zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer solchen Vorrichtung dargestellt.
Das nachfolgend noch näher beschriebene, erfindungsgemäße Verfahren sowie die daraus erhaltenen Titanoxidschichten weisen gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Titanoxidbeschichtungen die folgenden Vorteile auf:

• Die Titanoxidbeschichtungen weisen eine sehr hohe photokatalytische Aktivität auf: Die gemessenen Aktivitäten der erfindungsgemäß hergestellten Beschichtungen liegen bis zu einem Faktor von 100 höher als die Aktivitäten vergleichbarer (d. h. gleiche Dicke und gleiche Zusammensetzung aufweisender) Titanoxidschichten aus dem Stand der Technik, welche mittels der auf vorbekannte Art und Weise gesteuerten Gasphaseabscheidungsverfahren erzeugt werden.
• Das erfindungsgemäße Verfahren kann mit kommerziellen, bekannten Vakuumbeschichtungsanlagen (PVD-Gasphaseabscheidungsvorrichtungen, PVD = engl. Physical Vapor Deposition) durchgeführt werden.
• Die erfindungsgemäß hergestellten Titanoxidschichten besitzen eine hohe Transparenz im sichtbaren und im nahen infraroten Spektralbereich und sind somit auch für optische Anwendungen (beispielsweise optische Filter, Linsen, Spiegel, Sichtfenster, Instrumentenabdeckungen) geeignet.
• Die erfindungsgemäß hergestellten Schichten weisen eine hohe Härte auf und bieten somit eine große mechanische Abrieb- und Kratzbeständigkeit.

Die vorliegende Erfindung wird nun anhand eines ausführlichen Ausführungsbeispiels beschrieben:
Erfindungsgemäß werden in einem Vakuumbeschichtungsprozess mit einer Aufdampftechnik, bevorzugt in einem PVD-Beschichtungsprozess und hier insbesondere bevorzugt mittels Elektronenstrahlverdampfen Titanoxidschichten (TiO_x) mit x ≤ 2 von einer Ti₃O₅-haltigen Quelle mit einer Schichtdicke von wenigen Nanometern bis etwa 1000 nm, bevorzugt von etwa 5 bis 500 nm und insbesondere bevorzugt von 100 nm bis 150 nm, abgeschieden. Die Abscheidung erfolgt hierbei auf temperaturbeständigen bzw. temperaturstabilen Substraten (beispielsweise Glas, Keramik, Metall oder auch Verbünde hieraus) mittels einer Aufdampftechnik (z. B. Elektronenstrahlverdampfen, thermisches Verdampfen, Laserstrahlverdampfen oder Lichtbogenverdampfen).
Im Falle von Substratmaterialien, von denen Elemente (beispielsweise Natrium) durch Diffusion in die aufgedampfte Titanoxidbeschichtung gelangen können, erfolgt vor dem Abscheiden der Titanoxidbeschichtung zunächst das Abscheiden einer dielektrischen Diffusionssperre auf dem Substrat (ebenfalls mittels der bekannten Gasphaseabscheidungsverfahren). Als solche Diffusionssperre oder Barriereschicht kann insbesondere SiO₂, Al₂O₃, SiN_x oder AlN abgeschieden werden. Besonders bevorzugt wird Siliziumdioxid SiO₂ abgeschieden. Im Falle einer Barriereschicht mit einem mittleren Brechungsindex, der zwischen dem des TiO₂ und dem des Substrats liegt, kann darüberhinaus auch eine Verbesserung der Farbneutralität erfolgen. Dies ist z. B. möglich durch eine Al₂O₃-Zwischenschicht (Schicht zwischen Substrat und aufgebrachter Titanoxidbeschichtung) oder auch durch Zwischenschichten bestehend aus Mischungen, die einen Brechungsindex zwischen 1,7 und 2,0 aufweisen.
Erfindungsgemäß erfolgt die Abscheidung der Titanoxidschicht bei einer geringen Beschichtungsrate von bevorzugt < 10 nm/sec (besonders bevorzugt < 2 nm/sec oder sogar < 0,5 nm/s). Die Leistungssteuerung für die Verdampfungsquelle kann hierbei über in situ Messungen der Beschichtungsrate mittels eines Schwingquarzes geregelt werden. Die Beschichtungsratenregelung kann mit einem Depositionscontroller mittels Schwingquarzschichtdickenmonitor durchgeführt werden. Hierbei wird erfindungsgemäß das Substrat bevorzugt auf einer niedrigen Temperatur, also auf einer Temperatur von < 400°C und bevorzugt von < 100°C gehalten, so dass amorphe TiO_x-Schichten erzeugt werden.
Erfindungsgemäß wird bei einer sauerstoffhaltigen Niederdruckatmosphäre, bevorzugt bei Drücken von < 10^–3 mbar, besonders bevorzugt bei einem Wert von zwischen 10^–4 mbar und 5·10^–4 mbar, beschichtet.
Aufgrund der vorbeschriebenen Verfahrensparameter der Beschichtungsphase ist es möglich, röntgenamorphe Titanoxidschichten mit geringer Dichte abzuscheiden.
Soll die abgeschiedene Titanoxidbeschichtung später als Antireflexbeschichtung eingesetzt werden, so ist es vorteilhaft, ein Schichtsystem abzuscheiden. Das Schichtsystem besteht hierbei bevorzugt aus einem Schichtstapel aus mindestens einer hochbrechenden (z. B. TiO₂ aufweisenden) und mindestens einer niedrigbrechenden Schichtkomponente (welche beispielsweise SiO₂ aufweist). Die genau benötigten Schichtdicken der einzelnen Schichten lassen sich hierbei in Abhängigkeit vom Anwendungszweck jeweils durch Simulationsrechnungen ermitteln. Die Anzahl der insgesamt verwendeten Einzelschichten des Schichtsystems hat Einfluss auf die Qualität des Antireflexsystems (je mehr verwendete, aufeinander aufgebrachte Einzelschichten, desto besser ist im Allgemeinen die Qualität des Antireflexsystems). In der Praxis reichen für einfache Antireflexschichtsysteme bereits vier Einzelschichten. Vorteilhafterweise werden hierbei alternierend hochbrechende und niedrigbrechende Schichten aufeinander angeordnet (d. h. einer hochbrechenden Schicht folgt eine niedrigbrechende, dann wieder eine hochbrechende usw.). Bei einem solchen Schichtsystem wird vorteilhafterweise als oberste (d. h. substratfernste) Schicht eine etwa 10 nm dicke Titanoxidschicht abgeschieden.
Ebenso kann es vorteilhaft sein, beim erfindungsgemäßen Herstellen einer Beschichtung während des Prozesses aus einer zweiten Quelle einen organischen Bestandteil ko-zu-verdampfen. Der ko-verdampfte Bestandteil wird hierbei durch den anschließenden Tempervorgang (siehe nachfolgende Beschreibung) herausgelöst, so dass vorteilhafterweise eine poröse Schicht entsteht. Bei dem ko-verdampften organischen Material handelt es sich bevorzugt um organische Farbpigmente (z. B. Phthalocyanine, Azofarbstoffe und/oder Perylene). Alternativ hierzu oder auch zusätzlich kann zur Steigerung der Aktivierbarkeit bei langwelliger Anregung auch ein anorganisches Material ko-verdampft werden; dabei kann es sich beispielsweise um V, W, Co, Bi, Nb, Mn handeln.
Ein solches Ko-Verdampfen aus einer zweiten (oder dritten) Quelle kann somit insbesondere erfolgen, um bei einer erfindungsgemäß abgeschiedenen Titanoxidschicht eine hohe Aktivierbarkeit bei langwelliger Anregung zu erzeugen.
Nach dem vorbeschriebenen Beschichtungsprozess erfolgt erfindungsgemäß eine Wärmebehandlung des beschichteten Bauteils in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre. Diese Wärmebehandlung erfolgt vorteilhafterweise bei einer nahezu konstanten Temperatur und bei Temperaturen zwischen 300 und 800°C, bevorzugt zwischen 500 und 700°C, besonders bevorzugt bei 600°C, und bei Normaldruck. Der bevorzugte Sauerstoffanteil der sauerstoffhaltigen Atmosphäre beträgt hierbei zwischen 10 und 30 Vol.-% besonders bevorzugt 27 Vol.-%. Es kann auch in Luft wärmebehandelt werden. Die Wärmebehandlung erfolgt hierbei über mindestens 1/2 h, vorteilhafterweise über etwa 1 h.
Aufgrund des zweiten wesentlichen erfindungsgemäßen Schrittes der Wärmebehandlung werden Oxidations- und Kristallisationsprozesse in den Schichten ausgelöst, bei welchen reinanatase TiO₂-Kristallite erzeugt werden. 1 zeigt hierzu das bei einer Röntgenbeugung gemäß der Bragg-Gleichung nλ = 2dsin(Θ) erhaltene Beugungsbild, wobei λ die Wellenlänge der auf die erfindungsgemäß hergestellte Titanoxidschicht eingestrahlten Röntgenstrahlung, d der Abstand der Netzebenen der Kristallite, Θ der Winkel, unter dem die Strahlung auf die Netzebene auftritt und n eine ganze Zahl ist.
1 zeigt auf der Abszisse den Winkel 2Θ und auf der Ordinate die reflektierte Röntgenintensität. Die einzelnen dargestellten Kurven zeigen die entsprechende Beugungsintensität in Abhängigkeit von einer einstündigen Wärmebehandlung bei unterschiedlichen Temperaturen (die Hauptmaxima entsprechen hier der 101- und der 112-Netzebene). Die gezeigten Röntgendiffraktogramme wurden für wärmebehandelte TiO₂-Schichten auf Glas ermittelt.
2 zeigt für das vorbeschriebene Beispiel nach 1 die Kristallitgröße D (in nm), die mit wachsender Temperatur der Wärmebehandlung zunimmt.
3 zeigt für das Beispiel gemäß 1 und 2 die gemessene photokatalytische Aktivität nach der Wärmebehandlung ebenfalls in Abhängigkeit der Behandlungstemperatur (einstündige Wärmebehandlung, Angaben auf der Abszisse in °C). Wie den 2 und 3 zu entnehmen ist, steigt die gemessene photokatalytische Aktivität mit wachsender Kristallitgröße bzw. mit wachsender Temperatur (hiermit steigt die Kristallitgröße an, vgl. 2) zunächst steil an, fällt dann aber für Temperaturen über 700°C wieder stark ab. Überraschenderweise existiert offenbar ein Optimum für die Behandlungstemperatur der Wärmebehandlung, welches im hier beschriebenen Beispiel bei etwa 600°C liegt. Im hier beschriebenen Beispiel wurde mittels Elektronenstrahlverdampfen das Quellmaterial Ti₃O₅ verdampft (Substratmaterial: Quarzglas). Die Beschichtungsrate betrug 0,2 nm/sec bei einem Abstand von Quelle und Substrat von 55 cm und einem Sauerstoffpartialdruck von 2·10^–4 mbar. Die aufgedampfte Schichtdicke betrug 300 nm.
Es wurde darüberhinaus festgestellt, dass es besonders vorteilhaft ist, bezüglich der Wärmebehandlung eine hohe Aufheiz- und Abkühlrate für das beschichtete Substrat anzuwenden (bevorzugt von > 100°C/min), also das Substrat schnell aufzuheizen und am Ende der Wärmebehandlung schnell wieder abzukühlen, um eine hohe photokatalytische Aktivität zu realisieren.
Wegen der für Aufdampfprozesse typischen geringen Dichte der Schichten sind die bei der optimalen Temperatur (hier etwa 600°C) wärmebehandelten Schichten porös und besitzen somit eine große Oberfläche, welche für photokatalytische Reaktionen zur Verfügung steht. Dies erklärt zusammen mit der Kristallinität die gute photokatalytische Aktivität der Schichten. In photokatalytischen Abbaumessungen (beispielsweise photokatalytischer Abbau von Stearinsäure) konnte gezeigt werden, dass derartig hergestellte Schichten eine höhere photokatalytische Aktivität besitzen als andere, mit nicht-erfindungsgemäßem Verfahren hergestellte, vergleichbare Schichten (siehe hierzu 4, welche diverse transparente photokatalytische TiO₂-Beschichtungen bezüglich ihrer photokatalytischen Aktivität vergleicht; die Probe 4 (Abszisse: Probennummer) entspricht hierbei der erfindungsgemäßen Beschichtung).
Wie bereits dargestellt, lassen sich erfindungsgemäß insbesondere Gläser oder temperaturstabile Keramiken mit einer Beschichtung, insbesondere auch einer Antireflexbeschichtung, versehen. Bei den Gläsern kann es sich insbesondere um Brillenglas, Fensterglas, Glas von Haushaltsgegenständen (beispielsweise für Instrumentenabdeckungen bei Herden oder ähnlichem) oder um Glas von Beleuchtungsgegenständen, wie insbesondere Lampen oder Leuchten, handeln.

Claims

Verfahren zum vakuumbasierten Abscheiden einer Titanoxidschicht aus der Gasphase auf einem Substrat mittels einer Aufdampftechnik, wobei mittels der Aufdampftechnik von einer titanoxidhaltigen Quelle, welche Ti₃O₅ enthält oder welche aus Ti₃O₅ besteht, mit einer Abscheiderate von kleiner als 10 nm/s, in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre und bei einer Substrattemperatur von kleiner als 500°C abgeschieden wird und wobei nach dem Abscheiden das beschichtete Substrat über einen Zeitraum von mindestens 30 min in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 200°C und 1000°C wärmebehandelt wird.
Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch Elektronenstrahlverdampfen als Aufdampftechnik.
Verfahren nach Anspruch 1 gekennzeichnet durch thermisches Verdampfen, Laserstrahlverdampfen oder Lichtbogenverdampfen als Aufdampftechnik.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Substrattemperatur von kleiner 400°C, bevorzugt von kleiner 200°C, bevorzugt von kleiner 100°C abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei einem Druck von kleiner als 5·10^–3 mbar, bevorzugt von kleiner als 10^–3 mbar, bevorzugt von kleiner als 5·10^–4 mbar und größer als 10^–4 mbar, besonders bevorzugt von 2·10^–4 mbar abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 300°C und 800°C, bevorzugt zwischen 400°C und 750°C, bevorzugt zwischen 500°C und 700°C, bevorzugt zwischen 550°C und 650°C, besonders bevorzugt bei 600°C wärmebehandelt wird und/oder dass in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei einem Sauerstoffvolumenanteil zwischen 5% und 40%, bevorzugt zwischen 10% und 30%, bevorzugt zwischen 25% und 28%, besonders bevorzugt von 27% wärmebehandelt wird und/oder dass zur Wärmebehandlung Luft als sauerstoffhaltige Atmosphäre verwendet wird und/oder dass bei Normaldruck wärmebehandelt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass über eine Dauer von mindestens 45 min und höchstens drei Stunden, bevorzugt mindestens 50 min und höchstens 1.5 Stunden, bevorzugt zwischen 55 min und 75 min, besonders bevorzugt eine Stunde wärmebehandelt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit einer Abscheiderate von kleiner als 5 nm/s, bevorzugt kleiner als 2 nm/s, besonders bevorzugt kleiner als 0,5 nm/s, abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Titanoxidschicht mit einer Dicke > 0 nm und ≤ 2000 nm, bevorzugt ≥ 2 nm und ≤ 1000 nm, bevorzugt ≥ 5 nm und ≤ 500 nm, bevorzugt ≥ 200 nm und ≤ 300 nm abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf einem Glas, einer Keramik oder einem Metall oder einem Verbund aus mindestens einem der vorgenannten Materialien als Substrat abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das beschichtete Substrat bei konstanter Temperatur wärmebehandelt wird, wobei die konstante Temperatur mit einer Aufheizrate von größer als 50°C pro Minute, bevorzugt größer als 100°C pro Minute eingestellt wird und/oder wobei das beschichtete Substrat am Ende seiner Wärmebehandlung mit einer Abkühlrate von größer als 50°C pro Minute, bevorzugt größer als 100°C pro Minute abgekühlt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch das Ko-Abscheiden, insbesondere das Ko-Verdampfen, eines anorganischen Materials aus einer zweiten Quelle, wobei das anorganische Material insbesondere V, W, Co, Bi, Nb und/oder Mn umfasst.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Abscheiden der Titanoxidschicht auf dem Substrat eine dielektrische Diffusionssperrschicht, welche bevorzugt SiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄ und/oder AlN und besonders bevorzugt SiO₂ umfasst, abgeschieden wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein mehrere Einzelschichten aufweisendes Schichtsystem auf dem Substrat abgeschieden wird, wobei bevorzugt die substratfernste Schicht eine Dicke von größer 2 und kleiner 200 nm, bevorzugt größer 5 und kleiner 50 nm, bevorzugt 10 nm aufweist und/oder wobei bevorzugt alternierend hochbrechende, insbesondere TiO₂ aufweisende, Schichten und niedrigbrechende, insbesondere SiO₂ aufweisende, Schichten abgeschieden werden.
Verwendung einer nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche hergestellten Titanoxidschicht im Bereich von Gebäudeglas, Fensterglas, Autoglas, Spiegelglas, Kfz-Außenspiegelglas, Brillenglas, Glas von Kopierern, Kameraobjektiven, Haushaltsgegenständen, Herden, Möbeln oder Glas von Beleuchtungsgegenständen oder von Lampen oder Leuchten, im Bereich von optischen Bauelementen oder Bauteilen, von Linsen oder optischen Gittern, im Bereich von Keramiken, im Bereich von Schmuck oder im Bereich von Antireflexbeschichtungen, Antibeschlagbeschichtungen, antibakteriell wirkenden Oberflächen, photokatalytisch luft- und/oder wasserreinigenden Oberflächen, superhydrophilen Oberflächen oder zur Zersetzung von Wasser zu Wasserstoff und Sauerstoff ausgebildeten Oberflächen.