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DE102007024166A1 - Metal substrate for a superconducting thin-film strip conductor - Google Patents

Metal substrate for a superconducting thin-film strip conductor Download PDF

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DE102007024166A1
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Abstract

Ein hochtemperatur-supraleitender Dünnschicht-Bandleiter, bestehend aus einem Metallsubstrat, einer darauf chemisch erzeugten Pufferschicht und einer darauf chemisch erzeugten, supraleitenden Beschichtung zeichnet sich durch eine hohe Texturierung der Pufferschicht aus, wenn das Metallsubstrat eine Oberflächenrauhigkeit rms < 50 nm, bevorzugt rms < 10 nm, hat und die Pufferschicht unmittelbar, ohne Zwischenschicht, kristallographisch unrotiert gegenüber der kristallinen Struktur des Metallsubstrats auf dessen Oberfläche aufgewachsen ist.A high-temperature superconducting thin-film strip conductor comprising a metal substrate, a buffer layer chemically produced thereon and a superconducting coating chemically produced thereon is characterized by high texturing of the buffer layer if the metal substrate has a surface roughness rms <50 nm, preferably rms <10 nm, and the buffer layer has grown directly, without an intermediate layer, crystallographically unrotated with respect to the crystalline structure of the metal substrate on its surface.

Description

Die Erfindung betrifft einen hochtemperatur-supraleitenden Dünnschicht-Bandleiter und insbesondere dessen Metallsubstrat.The The invention relates to a high temperature superconducting thin film ribbon conductor and in particular its metal substrate.

Hochtemperatur-supraleitende Dünnschicht-Bandleiter, kurz Coated Conductors, im Folgenden HTSL-CC, werden nach dem Stand der Technik ausgehend von einem texturierten Metallband hergestellt. Das Band, im Folgenden als Metallsubstrat bezeichnet, besteht aus einem vorzugsweise kubisch flächenzentriert kristallisierenden Metall (z. B. Ni, Cu, Au). Besonders geeignet ist Nickel, insbesondere Nickel mit einigen at-% Wolfram, vergl. DE 101 43 680 C1 . Das texturierte Metallsubstrat wird mit einer Pufferschicht überzogen, die dazu dient, die Textur des Metallsubstrats auf die anschließend in bekannter Weise erzeugte, supraleitende Schicht zu übertragen. Für die Pufferschicht besonders geeignet sind Materialien, die eine geringe Gitterfehlanpassung sowohl zum Metallsubstrat als auch zu der kristallinen, hochtemperatur-supraleitenden Dünnschicht haben. Verwendet werden sowohl Materialien, die um 45% rotiert auf dem Metallsubstrat aufwachsen, z. B. Lanthanzirkonat und andere Materialien mit Fluorid- oder Pyrochlorstruktur, als auch solche, die unrotiert aufwachsen und häufig Perowskitstruktur, z. B. Strontiumtitanat und Kalziumtitanat, oder Spinellstruktur, z. B. Strontiumruthenat und Neodymnickelat, haben.High-temperature superconducting thin-film band conductors, in the following Coated Conductors, hereinafter HTSC-CC, are produced according to the prior art starting from a textured metal strip. The strip, referred to below as the metal substrate, consists of a metal which preferably crystallizes face centered in a cubic manner (eg Ni, Cu, Au). Particularly suitable is nickel, in particular nickel with a few at% tungsten, cf. DE 101 43 680 C1 , The textured metal substrate is coated with a buffer layer which serves to transfer the texture of the metal substrate to the superconducting layer subsequently produced in a known manner. Particularly suitable for the buffer layer are materials having a low lattice mismatch with both the metal substrate and the crystalline, high temperature superconducting thin film. Both materials that are rotated by 45% on the metal substrate are used, eg. As lanthanum and other materials with fluoride or pyrochlore, as well as those that grow unrotated and often perovskite, z. Strontium titanate and calcium titanate, or spinel structure, e.g. Strontium ruthenate and neodymium nickelate.

Aus „Effect of sulphur an cube texture formation in microalloyed nickel substrate tapes" (J. Eickemeyer et al.), Physica C 418 (2005) 9–15 , „Growth of Oxide seed layers an Ni and other technologically interesting metal substrates: issues related to formation and control of Sulfur superstructures for texture optimization" (C. Cantoni et al.), IEEE Transactions an Applied Superconductivity, Vol 13, No. 2, 2003 und weiteren Veröffentlichungen ist bekannt, dass eine sich normalerweise schon aus Verunreinigungen des Metallsubstrats bildende Chalkogenid-Überstruktur, insbesondere eine Schwefelüberstruktur, das epitaktische Wachstum von Pufferschichten begünstigt, die mittels einer physikalischen Methode, insbesondere durch Bedampfung des Metallsubstrats im Hochvakuum, abgeschieden werden. Deshalb wird im Stand der Technik das Ziel verfolgt, eine möglichst einheitliche Überstruktur mit hohem Bedeckungsgrad reproduzierbar zu erzeugen. Das physikalische Abscheiden der Pufferschicht ist jedoch ein kostenintensives Verfahren, das sich deshalb für die Herstellung von HTSL-CC oder auch nur deren Trägersubstrat nicht eignet.Out "Effect of sulfur on cube texture formation in microalloyed nickel substrate tapes" (J. Eickemeyer et al.), Physica C 418 (2005) 9-15 . "Sulfur superstructures for texture optimization" (C.Cantoni et al.), IEEE Transactions at Applied Superconductivity, Vol. 13, No. 2, "Growth of oxide seed layers on Ni and other technologically interesting metal substrates. 2003 and other publications it is known that a chalcogenide superstructure, in particular a sulfur superstructure, which normally forms from impurities of the metal substrate, favors the epitaxial growth of buffer layers which are deposited by means of a physical method, in particular by vapor deposition of the metal substrate in a high vacuum. Therefore, in the prior art, the goal is pursued to reproducibly produce as uniform a superstructure as possible with a high degree of coverage. However, the physical deposition of the buffer layer is a costly process, which is therefore not suitable for the production of HTSC-CC or even their carrier substrate.

Ebenfalls bekannt und wesentlich kostengünstiger ist die Herstellung von HTSL-CC mittels chemischer Beschichtungsverfahren (CSD/MOD), vgl. „Chemical solution deposition of <100> orientated SrTiO3 buffer layers an Ni substrates"; J.T. Dawley et al.; J. Mater. Res., Vol. 17, No.7, 2002 . Gute Ergebnisse wurden auf Ni-Substrat mit Schwefelüberstruktur, auf welche man Lantanzirkonat aufwachsen lässt, erzielt, vgl. „Detailed investigations an La2Zr207 buffer layers for YBCO coated conductors prepared by chemical solution deposition" (K. Knoth et al.), Acta Materialica 55, 2007, 517–529 .Also known and much cheaper is the production of HTSC-CC by means of chemical coating method (CSD / MOD), cf. "Chemical solution deposition of <100> oriented SrTiO3 buffer layers on Ni substrates"; JT Dawley et al., J. Mater. Res., Vol. 17, No.7, 2002 , Good results have been obtained on Ni substrate with sulfur superstructure on which lanthanum zirconate is grown, cf. "Detailed investigations on La2Zr207 buffer layers for YBCO coated conductors prepared by chemical solution deposition" (Knoth K. et al.), Acta Materialica 55, 2007, 517-529 ,

Vergleichbare Ergebnisse lassen sich jedoch mit Materialien, die nicht wie Lantanzirkonat um 45° rotiert, sondern unrotiert aufwachsen, z. B. Strontiumtitanat, nicht erzielen, uzw. auch dann nicht, wenn, wie an sich bekannt, ein Metallsubstrat mit geringer Oberflächenrauhigkeit verwendet wurde. Die aufgebrachten Strontiumtitanatschichten sind untexturiert oder nur schwach texturiert.comparable However, results can be obtained with materials that are not like Lantanzirkonat rotated by 45 °, but grow up unrotated, z. Strontium titanate, not achieve, uzw. even if, as is known, a metal substrate with low surface roughness was used. The applied strontium titanate layers are untextured or only slightly textured.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen auf chemischen Weg erzeugten HTSL-CC mit hochtexturierter Pufferschicht und insbesondere ein Metallsubstrat als Ausgangsmaterial hierfür zur Verfügung zu stellen.Of the Invention is based on the object produced by a chemical route HTSC-CC with highly textured buffer layer and in particular a Metal substrate as a starting material available for this to deliver.

Dies gelingt erfindungsgemäß durch das im Anspruch 1 angegebene Verfahren, bei dem man eine Überstruktur von der Oberfläche des Metallsubstrats vor dem Aufbringen der Pufferschicht entfernt.This succeeds according to the invention by the in the claim 1 specified method, in which one has a superstructure of the surface of the metal substrate before applying the Buffer layer removed.

Überraschenderweise hat sich nämlich gezeigt, dass eine Überstruktur, insbesondere eine Chalkogenid-Überstruktur und vor allem eine Schwefelüberstruktur, die bei mittels physikalischer Methoden erzeugten Pufferschichten und bei mittels chemischer Verfahren erzeugter Pufferschichten mit Fluorid- oder Pyrochloridstrutkur notwendig ist, im Falle einer chemischen Beschichtung mit unrotiert aufwachsenden Materialien wie solchen mit Perowskit- oder Spinnell-Struktur im Gegenteil die Ausbildung einer guten Textur verhindert.Surprisingly It has been shown that a superstructure in particular a chalcogenide superstructure and above all a sulfur superstructure, which by means of physical Methods generated buffer layers and by means of chemical processes produced buffer layers with fluoride or Pyrochloridstrutkur necessary, in the case of a chemical coating with unrotated growing materials such as those with perovskite or spinnell structure on the contrary prevents the formation of a good texture.

Dieses Ergebnis ist sowohl von der Art der Entfernung der Überstruktur (mechanisches Polieren, Elektropolieren, Strahlen mit Strahlkörpern, z. B. Trockeneispartikeln oder selektives Ätzen mit schwach konzentrierter Salpetersäure) als auch von der Art der chemischen Beschichtungstechnologie, also Schleuderbeschichtung, Tauchbeschichtung oder Aufdrucken (slot-die-casting, ink-jet-printing) ebenso unabhängig wie von den Parametern des nachfolgenden Prozesses wie Glühtemperatur, Atmosphäre und Haltezeit.This Result is both of the type of removal of the superstructure (mechanical polishing, electropolishing, blasting with blasting, z. B. dry ice particles or selective etching with weak concentrated nitric acid) as well as the type of chemical coating technology, ie spin coating, Dip-coating or printing (slot-die-casting, ink-jet-printing) as independent as from the parameters of the following Process such as annealing temperature, atmosphere and holding time.

Die besten Ergebnisse werden erhalten, wenn das Substrat im Zuge der Entfernung der Überstruktur auf eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 10 nm poliert wird.The best results are obtained when the substrate in the course of Removal of the superstructure to a surface roughness of less than 10 nm is polished.

Vorteilhaft wird für die Pufferschicht ein Material verwendet, dessen Gitterkonstante von derjenigen des Metallsubstrats weniger als ±15%, vorzugsweise weniger als ±10%, abweicht.Advantageous For the buffer layer, a material is used whose Lattice constant of that of the metal substrate less than ± 15%, preferably less than ± 10%, deviates.

Im Weiteren bezieht sich die Erfindung auf die Verwendung eines biaxial texturierten Metallsubstrats mit den im Anspruch 8 angegebenen Merkmalen.in the Further, the invention relates to the use of a biaxial textured metal substrate having the features specified in claim 8.

Die Pufferschicht kann insbesondere aus einem Material bestehen, dessen Gitterkonstante von derjenigen des Metallsubstrats um weniger als ± 15%, bevorzugt weniger als ±10% abweicht. Insbesondere kommen jedoch Materialien in Betracht, deren Gitterkonstante sich von derjenigen des Metallsubstrats im Bereich von –5% bis +15% unterscheidet.The Buffer layer may in particular consist of a material whose Lattice constant of that of the metal substrate by less than ± 15%, preferably deviates less than ± 10%. In particular, come however, materials in which the lattice constant is different from those of the metal substrate in the range of -5% to + 15%.

Die Erfindung stellt damit einen hochtemperatur-supraleitenden Dünnschicht-Bandleiter mit den Merkmalen des Anspruchs 10 zur Verfügung.The Invention thus provides a high temperature superconducting thin film ribbon conductor with the features of claim 10 available.

Besonders geeignet als Metallsubstrat ist Nickel oder eine Nickellegierung, die 85 at%, vorzugsweise 90 at% Nickel enthält. In diesem Fall eignen sich als Pufferschichtmaterialien vor allem Titanate, Ruthenate, Manganate, Nickelate, und Cuprate, z. B. CaTiO3, La2NiO4, Sr2RuO4, NdBa2Cu3Ox, Gd2CuO4, SrTiO3, Nd2CuO4, BaTiO3, (CaxSr1-x)TiO3 und (SrxBa1-x)TiO3.Especially suitable as a metal substrate is nickel or a nickel alloy, containing 85 at%, preferably 90 at% nickel. In this Case are suitable as buffer layer materials, especially titanates, Ruthenates, manganates, nickelates, and cuprates, e.g. CaTiO3, La2NiO4, Sr2RuO4, NdBa2Cu3Ox, Gd2CuO4, SrTiO3, Nd2CuO4, BaTiO3, (CaxSr1-x) TiO3 and (Srx Ba1-x) TiO3.

Beispiele:Examples:

Es wurden zwei verschiedene Ni (5 at% W) Metallsubstrate der Firma evico verwendet (Bandbreite 10 mm, Banddicke 80 μm). Diese Metallsubstrate wiesen beide eine Würfeltextur (001) mit einer Halbwertsbreite (FWHM) von 5,5° auf.It were two different Ni (5 at% W) metal substrates of the company evico used (belt width 10 mm, belt thickness 80 μm). These Metal substrates both had a cube texture (001) half-width (FWHM) of 5.5 °.

Beide Substrate wurden einer gleichen Walzumformung unterzogen und anschließend in einem batch-Glühprozess rekristallisiert. Durch langsame Abkühlung im batch-Glühprozess bildete sich auf beiden Substraten eine Schwefelüberstruktur aus.Both Substrates were subjected to equal roll forming and then recrystallized in a batch annealing process. By slow Cooling in the batch annealing process formed Both substrates from a sulfur superstructure.

Die Rauhigkeit der beiden Metallsubstrate wurde mittels AFM Mikroskop wie folgt gemessen:

  • Substrat 1: rms = 40 nm
  • Substrat 2: rms = 5 nm
The roughness of the two metal substrates was measured by AFM microscope as follows:
  • Substrate 1: rms = 40 nm
  • Substrate 2: rms = 5 nm

Ein Teil des Substrats 1 wurde mechanisch poliert. Die Politur erfolgte auf einem Poliertisch (Fa. Struers) mit einer 0,1 μm Diamantsuspension. Die Rauhigkeit des Substrates konnte durch die Politur auf rms = 5 nm herabgesetzt werden. Durch das Polieren wurden alle anhaftenden Oberflächenschichten, also auch die Schwefelüberstruktur, entfernt. Da vor der Beschichtung keine Glühbehandlung mehr erfolgte, konnte diese Struktur auch nicht nachgebildet werden.

  • Substrat 1 (poliert): rms = 5 nm
A part of the substrate 1 was mechanically polished. The polishing took place on a polishing table (Struers) with a 0.1 μm diamond suspension. The roughness of the substrate could be reduced by the polishing to rms = 5 nm. Polishing removes all adherent surface layers, including the sulfur superstructure. Since no annealing was done before the coating, this structure could not be replicated.
  • Substrate 1 (polished): rms = 5 nm

Alle Substrate wurden im Ultraschallbad zunächst mit Aceton und anschließend mit Isopropanol jeweils 5 min gereinigt.All Substrates were sonicated first with acetone and then cleaned with isopropanol for 5 min each.

Für die nachfolgenden Versuche standen also folgende Substrate zur Verfügung:

  • Substrat 1: rms = 40 nm; Schwefelüberstruktur
  • Substrat 2: rms = 5 nm; Schwefelüberstruktur
  • Substrat 3: rms = 5 nm; keine Schwefelüberstruktur, d. h. Substrat 1, jedoch poliert
The following substrates were therefore available for the following experiments:
  • Substrate 1: rms = 40 nm; Sulfur superstructure
  • Substrate 2: rms = 5 nm; Sulfur superstructure
  • Substrate 3: rms = 5 nm; no sulfur superstructure, ie substrate 1, but polished

Es wurden drei Beschichtungslösungen hergestellt:

  • Lösung 1: reines Strontiumtitanat (STO)
  • Lösung 2: Nb-dotiertes STO, elektrisch leitend
  • Lösung 3: Ca-dotiertes STO, bessere Gitteranpasssung zu Ni Substrat
Three coating solutions were prepared:
  • Solution 1: pure strontium titanate (STO)
  • Solution 2: Nb-doped STO, electrically conductive
  • Solution 3: Ca-doped STO, better lattice matching to Ni substrate

Für Lösung 1 wurden 0,15 mol Ti(OCH2CH2CH2CH3)4 in Acetylaceton im mol-Verhältnis 1:2 gelöst. Anschließend wurden 0,15 mol Sr-Acetat in Eisessig im mol-Verhältnis 1:5 gelöst. Beide Lösungen wurden zusammengeführt und mit einer Mischung aus Eisessig und Methoxyethanol auf 500 ml so verdünnt, dass das Gesamtverhältnis von Eisessig und Methoxyethanol 1:2 betrug. Die Lösung wurde anschließend filtriert um möglicherweise aufgetretenen Niederschlag zu entfernen. Die ICP-OES Analyse (SPECTRO Genesis) ergab eine stöchiometrische 0,3 molare Lösung.For solution 1, 0.15 mol of Ti (OCH 2 CH 2 CH 2 CH 3) 4 were dissolved in acetylacetone in a molar ratio of 1: 2. Subsequently, 0.15 mol of Sr acetate were dissolved in glacial acetic acid in a molar ratio of 1: 5. Both solutions were combined and diluted to 500 ml with a mixture of glacial acetic acid and methoxyethanol such that the total ratio of glacial acetic acid and methoxyethanol was 1: 2. The solution was then filtered over possibly precipitate to be removed. The ICP-OES analysis (SPECTRO Genesis) gave a stoichiometric 0.3 molar solution.

Für Lösung 2 wurden 0,1425 mol Ti(OCH2CH2CH2CH3)4 in Acetyl-aceton im mol-Verhältnis 1:2 gelöst und mit 0,0075 mol Nb(OCH2CH3)5 gelöst in Butanol versetzt. Alle weiteren Schritte wurden wie für Lösung 1 durchgeführt, so dass eine 0,3 molare Beschichtungslösung für ein Strontiumtitanat mit 5% Nb-Dotierung erhalten wurde.For Solution 2 was 0.1425 moles of Ti (OCH 2 CH 2 CH 2 CH 3) 4 in acetylacetone dissolved in a molar ratio of 1: 2 and with 0.0075 mol Nb (OCH 2 CH 3) 5 dissolved in butanol. All further Steps were performed as for solution 1, so that a 0.3 molar coating solution for a strontium titanate with 5% Nb doping was obtained.

Lösung 3 wurde wie Lösung 1 hergestellt, jedoch wurde statt 0,15 mol Sr-Acetat eine Mischung aus 0,135 mol Sr-Acetat und 0,015 mol Ca-Acetat eingesetzt. Es wurde eine 0,3 molare Beschichtungslösung für ein Ca-substituiertes Strontiumtitanat erhalten.solution 3 was prepared as solution 1, but instead of 0.15 mol Sr acetate a mixture of 0.135 mol Sr acetate and 0.015 mol Ca acetate used. It became a 0.3 molar coating solution for a Ca-substituted strontium titanate.

Alle gereinigten Substrate wurden mit allen Lösungen wie folgt beschichtet:
Die gereinigten Substrate von 5 cm Länge wurden auf einem Spin-Coater bei 500/min zunächst mit einer um den Faktor 6 verdünnten Beschichtungslösung beschichtet. Die Verdünnung erfolgte mit einer Mischung 2:1 aus Eisessig und Methoxyethanol. Anschließend erfolgte die Temperaturbehandlung unter 10% H2 in N2 bei einer Temperatur von 800°C für 5 min. Durch die Verdünnung der Lösungen entstand im ersten Beschichtungsschritt ein so genannter seed-layer, d. h. eine nicht zusammenhängende Schicht (Bedeckung zwischen 20–80%), deren Inseln als Kristallisationskeime für nachfolgende Schichten wirken.
All purified substrates were coated with all solutions as follows:
The cleaned substrates of 5 cm in length were first coated on a spin coater at 500 / min with a coating solution diluted by a factor of 6. The dilution was carried out with a 2: 1 mixture of glacial acetic acid and methoxyethanol. Subsequently, the temperature treatment was carried out under 10% H2 in N2 at a temperature of 800 ° C for 5 min. The dilution of the solutions produced in the first coating step a so-called seed layer, ie a discontinuous layer (coverage between 20-80%) whose islands act as nucleation nuclei for subsequent layers.

Unter den gleichen Bedingungen erfolgten zwei weitere Beschichtungen und Temperaturbehandlungen, jedoch mit unverdünnten Lösungen. Die resultierende Gesamtschichtdicke lag nach 3 Beschichtungen bei jeweils 250 nm. Die Schichtdicke wurde mittels eines Profilmeters über eine Schichtkante gemessen.Under the same conditions were followed by two more coatings and Temperature treatments, but with undiluted solutions. The resulting total layer thickness was included after 3 coatings 250 nm in each case. The layer thickness was transferred by means of a profile meter measured a layer edge.

Versuche zur Variation der Glühtemperatur zwischen 750 und 900°, sowie der Glühatmosphäre zwischen 5–15 H2 in N2 zeigten keinen signifikanten Einfluss auf das Versuchsergebnis. Bei einer Verwendung einer Tauchbeschichtungsanlage (dip coating) müssen alle Lösungen bei einer Beschichtungsgeschwindigkeit von 10 m/h um den Faktor 2 verdünnt werden um gleiche Ergebnisse zu erreichen. Höhere Tauchgeschwindigkeiten verlangen geringere Verdünnungen.tries for varying the annealing temperature between 750 and 900 °, and the glow atmosphere between 5-15 H2 in N2 showed no significant influence on the test result. When using a dip coating system All solutions must be at a coating speed of 10 m / h by a factor of 2 to be the same results to reach. Higher dive speeds require less Dilutions.

Für die 3 Substrate wurden folgende Ergebnisse für Lösung 1 (STO) beobachtet:
Als Maß für die Textur wurde das Verhältnis I von 200 (32°) zu 110 (47°) Reflex verwendet Ab einem Wert von ca. 5 kann von einer guten Textur ausgegangen werden. Substrat 1 Substrat 2 Substrat 3 I (200)/I (110) 1 2 6
For the 3 substrates the following results for solution 1 (STO) were observed:
As a measure of the texture, the ratio I was used from 200 (32 °) to 110 (47 °) reflex. From a value of about 5, a good texture can be assumed. Substrate 1 Substrate 2 Substrate 3 I (200) / I (110) 1 2 6

Ergebnis:Result:

Die Entfernung der Schwefelüberstruktur bei Substrat 3 verbessert bei gleicher Oberflächenrauhigkeit wie Substrat 2 die Textur der Pufferschicht um das Dreifache.The Removal of sulfur superstructure in substrate 3 improved with the same surface roughness as substrate 2 the texture the buffer layer threefold.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 10143680 C1 [0002] - DE 10143680 C1 [0002]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • - „Effect of sulphur an cube texture formation in microalloyed nickel substrate tapes" (J. Eickemeyer et al.), Physica C 418 (2005) 9–15 [0003] "Effect of sulfur on cube texture formation in microalloyed nickel substrate tapes" (J. Eickemeyer et al.), Physica C 418 (2005) 9-15 [0003]
  • - „Growth of Oxide seed layers an Ni and other technologically interesting metal substrates: issues related to formation and control of Sulfur superstructures for texture optimization" (C. Cantoni et al.), IEEE Transactions an Applied Superconductivity, Vol 13, No. 2, 2003 [0003] - "Growth of Oxide seed layers on Ni and other technologically interesting metal substrates: issues related to formation and control of Sulfur superstructures for texture optimization" (C. Cantoni et al.), IEEE Transactions on Applied Superconductivity, Vol 13, No. 2 , 2003 [0003]
  • - „Chemical solution deposition of <100> orientated SrTiO3 buffer layers an Ni substrates"; J.T. Dawley et al.; J. Mater. Res., Vol. 17, No.7, 2002 [0004] "Chemical solution deposition of <100> oriented SrTiO3 buffer layers on Ni substrates"; JT Dawley et al., J. Mater. Res., Vol. 17, No.7, 2002 [0004]
  • - „Detailed investigations an La2Zr207 buffer layers for YBCO coated conductors prepared by chemical solution deposition" (K. Knoth et al.), Acta Materialica 55, 2007, 517–529 [0004] - "Detailed investigations on La2Zr207 buffer layers for YBCO coated conductors prepared by chemical solution deposition" (K.Knoth et al.), Acta Materialica 55, 2007, 517-529 [0004]

Claims (12)

Verfahren zum Bearbeiten eines biaxial texturierten Metallsubstrats als Ausgangsmaterial für einen hochtemperatur-supraleitenden Dünnschicht-Bandleiter (HTSL-CC), bestehend aus dem Metallsubstrat, einer darauf chemisch erzeugten, kristallografisch unrotiert gegenüber dem Metallsubstrat aufgewachsenen Pufferschicht und darauf einer chemisch erzeugten supraleitenden Beschichtung, dadurch gekennzeichnet, dass eine Überstruktur des Metallsubstrats vor dem Erzeugen der Pufferschicht entfernt wird.A method for processing a biaxially textured metal substrate as a starting material for a high-temperature superconducting thin-film strip conductor (HTSC) consisting of the metal substrate, a buffer layer chemically generated thereon, crystallographically unrotated with respect to the metal substrate, and then a chemically generated superconducting coating, characterized in that a superstructure of the metal substrate is removed before the generation of the buffer layer. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Chalkogenid-Überstruktur entfernt wird.Method according to claim 1, characterized in that that a chalcogenide superstructure is removed. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat auf eine Oberflächenrauhigkeit rms < 50 nm, vorzugsweise rms < 20 nm, beson ders bevorzugt rms < 10 nm, hin bearbeitet wird.Method according to claim 1 or 2, characterized that the metal substrate to a surface roughness rms <50 nm, preferably rms <20 nm, especially it prefers rms <10 nm, is processed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Überstruktur durch Polieren entfernt wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that the superstructure by Polishing is removed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass für die Pufferschicht ein Material verwendet wird, dessen Gitterkonstante von derjeni gen des Metallsubstrats um weniger als ± 15 vorzugsweise weniger als ± 10%, abweicht.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that for the buffer layer, a material is used, the lattice constant of derjeni conditions of the metal substrate less than ± 15, preferably less than ± 10%, differs. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat nach dem Entfernen der Überstruktur gereinigt wird.Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that the metal substrate after removal the superstructure is cleaned. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat im Ultraschallbad gereinigt wird.Method according to Claim 6, characterized that the metal substrate is cleaned in an ultrasonic bath. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat enfettet wir, insbesondere unter Verwendung von Aceton und Isopropanol.Method according to claim 6 or 7, characterized that the metal substrate enfettet us, in particular using of acetone and isopropanol. Verwendung eines biaxial texturierten Metallsubstrats ohne Überstruktur und mit einer Oberflächenrauhigkeit rms < 50 nm, vorzugsweise rms < 20 nm, besonders bevorzugt rms < 10 nm, als Ausgangsmaterial für einen hochtemperatur-supraleitenden Dünnschicht-Bandleiter (HTSL-CC), bestehend aus einem Metallsubstrat, einer darauf chemisch erzeugten, kristallografisch unrotiert gegenüber dem Metallsubstrat aufgewachsenen Pufferschicht und darauf einer chemisch erzeugten supraleitenden Beschichtung.Use of a biaxially textured metal substrate without superstructure and with a surface roughness rms <50 nm, preferably rms <20 nm, especially preferably rms <10 nm, as a starting material for a high-temperature superconducting Thin-film strip conductor (HTSC-CC) consisting of a metal substrate, a chemically generated, crystallographically unrotated opposite the buffer layer grown on the metal substrate and thereon one chemically generated superconducting coating. Verwendung eines Metallsubstrats gemäß Anspruch 9, wobei die Pufferschicht aus einem Material besteht, dessen Gitterkonstante von derjenigen des Metallsubstrats um weniger als ±15%, bevorzugt weniger als ±10%, abweicht.Use of a metal substrate according to claim 9, wherein the buffer layer consists of a material whose lattice constant from that of the metal substrate by less than ± 15%, preferably less than ± 10%, deviates. Hochtemperatur-supraleitender Dünnschicht-Bandleiter (HTSL-CC), bestehend aus einem Metallsubstrat, einer darauf chemisch erzeugten Pufferschicht und darauf einer chemisch erzeugten, supraleitenden Beschichtung, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat eine Oberflächenrauhigkeit rms < 50 nm, vorzugsweise rms < 20 nm, besonders bevorzugt rms < 10 nm, hat und dass die Pufferschicht unmittelbar, ohne Zwischenschicht, kristallografisch unrotiert gegenüber der kristallinen Struktur des Metallsubstrats auf dessen Oberfläche aufgewachsen ist.High-temperature superconducting thin-film strip conductor (HTSC-CC), consisting of a metal substrate, one on it chemically generated buffer layer and then a chemically generated, superconducting Coating, characterized in that the metal substrate is a Surface roughness rms <50 nm, preferably rms <20 nm, especially preferably rms <10 nm, and that the buffer layer immediately, without interlayer, Crystallographically unrotated towards the crystalline Structure of the metal substrate grown on its surface is. Metallsubstrat für einen der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens 85 at%, vorzugsweise 90 at% Nickel enthält.Metal substrate for one of the preceding Claims, characterized in that it is at least 85 at%, preferably 90 at% nickel.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008058768A1 (en) * 2008-11-24 2010-05-27 Zenergy Power Gmbh Process for producing metal substrates for HTS layer arrangements

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103069508A (en) * 2011-06-30 2013-04-24 古河电气工业株式会社 Superconducting thin film substrate and superconducting thin film, and superconducting thin film substrate manufacturing method
JP5950900B2 (en) 2011-11-15 2016-07-13 古河電気工業株式会社 Superconducting wire substrate, manufacturing method of superconducting wire substrate, and superconducting wire
CN114812430B (en) * 2022-03-08 2023-02-17 上海超导科技股份有限公司 Sample-setting analysis method for microstructure of superconducting tape

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10143680C1 (en) 2001-08-30 2003-05-08 Leibniz Inst Fuer Festkoerper Process for the production of metal strips with high-grade cube texture
US20060073979A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 American Superconductor Corp. Architecture for high temperature superconductor wire
US20070179063A1 (en) * 2006-01-10 2007-08-02 American Superconductor Corporation Fabrication of sealed high temperature superconductor wires

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5217754A (en) * 1987-07-27 1993-06-08 Trustees Of The University Of Pennsylvania Organometallic precursors in conjunction with rapid thermal annealing for synthesis of thin film ceramics
US5356474A (en) * 1992-11-27 1994-10-18 General Electric Company Apparatus and method for making aligned Hi-Tc tape superconductors
US6451450B1 (en) * 1995-04-10 2002-09-17 Ut-Battelle, Llc Method of depositing a protective layer over a biaxially textured alloy substrate and composition therefrom
US5741377A (en) * 1995-04-10 1998-04-21 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Structures having enhanced biaxial texture and method of fabricating same
US6458223B1 (en) * 1997-10-01 2002-10-01 American Superconductor Corporation Alloy materials
US6428635B1 (en) * 1997-10-01 2002-08-06 American Superconductor Corporation Substrates for superconductors
GB2336849B (en) * 1998-04-27 2003-02-26 Telcon Ltd Substrate materials
US7033637B1 (en) * 1999-01-12 2006-04-25 Microcoating Technologies, Inc. Epitaxial thin films
JP2002535224A (en) * 1999-01-12 2002-10-22 マイクロコーティング テクノロジーズ,インコーポレイティド Epitaxial thin film
US6231666B1 (en) * 1999-07-20 2001-05-15 Sandia Corporation Process for forming epitaxial perovskite thin film layers using halide precursors
US6527856B2 (en) * 2000-04-20 2003-03-04 International Business Machines Corporation Method for changing surface termination of a perovskite oxide substrate surface
KR100544561B1 (en) * 2000-08-07 2006-01-23 아이지씨-수퍼파워, 엘엘씨 High current coating high temperature superconducting tape manufacture
US20040069991A1 (en) * 2002-10-10 2004-04-15 Motorola, Inc. Perovskite cuprate electronic device structure and process
US7510641B2 (en) * 2003-07-21 2009-03-31 Los Alamos National Security, Llc High current density electropolishing in the preparation of highly smooth substrate tapes for coated conductors
JP4200843B2 (en) * 2003-08-04 2008-12-24 住友電気工業株式会社 Thin film superconducting wire and manufacturing method thereof
JP2005056754A (en) * 2003-08-06 2005-03-03 Sumitomo Electric Ind Ltd Superconducting wire and method for manufacturing the same
US8227019B2 (en) * 2003-12-15 2012-07-24 Superpower Inc. High-throughput ex-situ method for rare-earth-barium-copper-oxide (REBCO) film growth
JP2005276465A (en) * 2004-03-23 2005-10-06 Sumitomo Electric Ind Ltd Superconducting wire
DE102004038030B4 (en) 2004-08-05 2007-10-25 Trithor Gmbh Process for producing a high-temperature superconductor
WO2007009095A2 (en) * 2005-07-13 2007-01-18 Los Alamos National Security, Llc Coated conductors
JP4741326B2 (en) * 2005-09-07 2011-08-03 株式会社フジクラ Oxide superconducting conductor and manufacturing method thereof
JP4411265B2 (en) * 2005-10-21 2010-02-10 財団法人国際超電導産業技術研究センター Rare earth tape-shaped oxide superconductor and method for producing the same
DE102006018301B4 (en) 2006-04-20 2009-07-16 Zenergy Power Gmbh Wet-chemical process for the preparation of a HTSL
DE102006029947B4 (en) 2006-06-29 2013-01-17 Basf Se Method for applying a metallic cover layer to a high-temperature superconductor
US7627356B2 (en) * 2006-07-14 2009-12-01 Superpower, Inc. Multifilament AC tolerant conductor with striated stabilizer and devices incorporating the same
KR100766052B1 (en) * 2006-11-10 2007-10-12 학교법인 한국산업기술대학 Manufacturing method of high temperature superconducting wire for filament type
US7879763B2 (en) * 2006-11-10 2011-02-01 Superpower, Inc. Superconducting article and method of making
DE102008058768B4 (en) 2008-11-24 2011-12-15 Zenergy Power Gmbh Process for producing metal substrates for HTS layer arrangements

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10143680C1 (en) 2001-08-30 2003-05-08 Leibniz Inst Fuer Festkoerper Process for the production of metal strips with high-grade cube texture
US20060073979A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 American Superconductor Corp. Architecture for high temperature superconductor wire
US20070179063A1 (en) * 2006-01-10 2007-08-02 American Superconductor Corporation Fabrication of sealed high temperature superconductor wires

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Chemical solution deposition of <100> orientated SrTiO3 buffer layers an Ni substrates"; J.T. Dawley et al.; J. Mater. Res., Vol. 17, No.7, 2002
"Detailed investigations an La2Zr207 buffer layers for YBCO coated conductors prepared by chemical solution deposition" (K. Knoth et al.), Acta Materialica 55, 2007, 517-529
"Effect of sulphur an cube texture formation in microalloyed nickel substrate tapes" (J. Eickemeyer et al.), Physica C 418 (2005) 9-15
"Growth of Oxide seed layers an Ni and other technologically interesting metal substrates: issues related to formation and control of Sulfur superstructures for texture optimization" (C. Cantoni et al.), IEEE Transactions an Applied Superconductivity, Vol 13, No. 2, 2003

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008058768A1 (en) * 2008-11-24 2010-05-27 Zenergy Power Gmbh Process for producing metal substrates for HTS layer arrangements
DE102008058768B4 (en) * 2008-11-24 2011-12-15 Zenergy Power Gmbh Process for producing metal substrates for HTS layer arrangements

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