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DE102007003384B4 - Aktor mit Aktorglied - Google Patents

Aktor mit Aktorglied Download PDF

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DE102007003384B4
DE102007003384B4 DE200710003384 DE102007003384A DE102007003384B4 DE 102007003384 B4 DE102007003384 B4 DE 102007003384B4 DE 200710003384 DE200710003384 DE 200710003384 DE 102007003384 A DE102007003384 A DE 102007003384A DE 102007003384 B4 DE102007003384 B4 DE 102007003384B4
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Thomas Dr.Rer.Nat. Reininger
Marcus Dipl.-Ing. Maier
Lothar Dr.-Ing. Geisbusch
Christian Dipl.-Ing. Bretz (FH)
Matthias von Dipl.-Ing. Zeppelin (FH)
Holger Dr.rer.nat. Steltner
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Abstract

Aktor, insbesondere pneumatischer Zylinder, mit einem in einem Bewegungsraum (12) eines Gehäuses (13a; 13b; 13c) zu einem Endanschlag (27) hin und von dem Endanschlag (27) weg beweglich angeordneten Aktorglied (14a; 14b; 14c) und einer Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung (50; 50') zur Positionsermittlung des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) in dem Bewegungsraum (12) anhand von Mikrowellen (54; 54'), mit einer Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') zum Senden von Mikrowellen (54; 54') in den einen Hohlleiter (56) bildenden Bewegungsraum (12) und zum Empfangen von durch Reflexion der gesendeten Mikrowellen an dem Aktorglied (14a; 14b; 14c) gebildeten Reflexions-Mikrowellen (55; 55') aus dem Bewegungsraum (12), wobei die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') in Richtung des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) vor den Endanschlag (27) vorsteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') an einem Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) des Gehäuses (13a; 13b; 13c) angeordnet ist, der vor den Endanschlag (27) vorsteht.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Aktor, insbesondere einen pneumatischen Zylinder, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Ein Aktor mit einer Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung ist beispielsweise aus der nicht vorveröffentlichten EP 1 752 791 A1 bekannt.
  • Der Aktor ist beispielsweise ein pneumatischer Zylinder, dessen Kolben ein Aktorglied bildet, das in einer Kolbenkammer des Gehäuses linear beweglich angeordnet ist. Die Kolbenkammer bzw. der Bewegungsraum ist an seiner Innenseite elektrisch leitfähig, beispielsweise auf Grund eines aus Metall bestehenden Gehäuses, so dass der Bewegungsraum einen Hohlleiter bildet. Die Mikrowellen breiten sich von der Antennenanordnung in Richtung des Kolbens aus und werden vom Kolben reflektiert. Auswertemittel der Positionsmessvorrichtung ermitteln beispielsweise anhand der Laufzeit zwischen hinlaufender Mikrowelle und rücklaufender Reflexions-Mikrowelle die Position des Kolbens.
  • Die Antennenanordnung, beispielsweise eine Koppelsonde, ist in einer Ausnehmung an einem stirnseitigen Endanschlag des Gehäuses angeordnet. Die Antenne, beispielsweise ein Metalle lement, ist in ein dielektrisches Material, insbesondere Kunststoff, eingebettet, so dass sie geschützt ist und elektrisch von der übrigen Gehäusestruktur, die zur Bildung des Hohlleiters elektrisch leitend ist, isoliert ist. Die Antenne sitzt tief im Innern einer Ausnehmung an der Stirnseite des Gehäuses, die einen geringeren Durchmesser aufweist als die übrige Gehäusestruktur, beispielsweise einen geringeren Durchmesser als ein Mittelabschnitt des Gehäuses, in dem sich das Aktorglied bewegt.
  • Die Ausnehmung dient z. B. dazu, einen Mindestabstand zwischen Antenne und Aktorglied sicherzustellen. Ferner kann die Ausnehmung z. B. eine zentrale Kolbenbefestigungsmutter oder einen Pufferkolben zur Realisierung einer pneumatischen Endlagendämpfung aufnehmen. Der Durchmesser der Ausnehmung ist im Allgemeinen deutlich kleiner als derjenige des Bewegungsraums, damit um die Ausnehmung herum genug Fläche für den Anschlag des Aktorglieds übrig bleibt.
  • Die Ausnehmung ist in einem Kunststoffkörper oder Kunststoffeinsatz ausgeformt, so dass der elektrisch nicht leitende Innenraum, der einen Hohlleiter bildet, im Bereich der Antenne größer ist als die Ausnehmung. Die Ausnehmung kann für Mikrowellen im gewünschten Frequenzbereich einen zu kleinen Durchmesser aufweisen. Ferner beeinflusst der Wechsel des Durchmessers von dem Mittelteil des Gehäuses zu dem engeren Durchmesser der Ausnehmung, wenn diese in einem elektrisch leitenden Gehäusebereich ist.
  • Aus US 7,901,628 geht ein Aktor gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 hervor. Eine Mikrowellenantenne in der Art eines zylindrischen Stabes ist an einem Zylinderdeckel angebracht. Innerhalb eines an dem Deckel angebrachten Isolators verläuft ein Leiter, der zu der Mikrowellenantenne führt. Die zylindrische Mikrowellenantenne steht vor eine Stirnseite des Zylinders vor, ist jedoch in einem zurückversetzten Abschnitt oder einer Bohrung angeordnet, die mit einem pneumatischen Anschluss kommuniziert.
  • US 5,193,433 betrifft einen pneumatischen Zylinder, dessen Kolben eine Ausnehmung für einen am Zylinderdeckel angeordneten Vorsprung aufweist. Durch den Vorsprung verläuft ein Luftkanal, der verschlossen wird, wenn sich der Kolben dem Endanschlag nähert und der am Deckel angeordnete Vorsprung in eine korrespondierende Ausnehmung am Kolben eindringt. Der pneumatische Zylinder gemäß US 5,193,433 weist keine Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung auf.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Aktor mit einer Positionsmessvorrichtung für Mikrowellen bereit zu stellen, bei dem ein optimaler Übertritt der Mikro wellen vom unmittelbaren Antennen-Nahbereich in den Bewegungsraum und umgekehrt möglich ist.
  • Zur Lösung der Aufgabe ist ein Aktor gemäß der technischen Lehre des Anspruchs 1 vorgesehen.
  • Die Antennenanordnung ist an einem Gehäusevorsprung des Gehäuses angeordnet, der vor den Endanschlag vorsteht. Der Gehäusevorsprung kann beispielsweise einen Bestandteil eines Gehäusedeckels des Gehäuses bilden. Ferner ist es möglich, dass der Gehäusevorsprung einen Schutzkörper für die Mikrowellen-Antennenanordnung bildet. Neben dem Gehäusevorsprung ist der Endanschlag für das Aktorglied angeordnet, beispielsweise eine ringförmige Ringanschlagsfläche.
  • Die Antennenanordnung, beispielsweise eine Koppelsonde, steht vor den Endanschlag vor. Somit befindet sich die Mikrowellen-Antennenanordnung in einem Abschnitt des Bewegungsraums oder des Hohlleiters, in dem eine elektromagnetische Welle, z. B. ein oder mehrere Hohlleiter-Moden, ausbreitungsfähig ist. Für die Mikrowellen steht ein hinreichend großer Hohlleiter-Innenumfang zur Verfügung, d. h. im Bereich der Mikrowellen-Antennenanordnung hat das Gehäuse bereits einen großen, am Rand durch elektrisch leitfähiges Material begrenzten Durchmesser. Dadurch ist es möglich, Mikrowellen mit niedrigen, an den Durchmesser des Bewegungsraums angepasste Frequenzen zu verwenden.
  • Auch der Schutz der Mikrowellenanordnung vor Umwelteinflüssen, beispielsweise mechanischen Einflüssen, Druckluft oder dergleichen, ist einfach realisierbar, da der Endanschlag, der mechanisch belastet ist, neben der Mikrowellen-Antennenanordnung, z. B. um diese herum, angeordnet ist.
  • Zweckmäßigerweise ist am Aktorglied eine Ausnehmung vorgesehen, in die die Mikrowellen-Antennenanordnung eintaucht, wenn das Aktorglied an dem Endanschlag anschlägt. Die mechanische Belastung der Mikrowellen-Antennenanordnung ist dadurch gering.
  • Die Ausnehmung am Aktorglied kann beispielsweise an einem Ringvorsprung des Aktorgliedes angeordnet sein. Der Ringvorsprung kann einstückig mit einem Aktor-Körper sein oder durch ein separates Bauelement gebildet werden. Es versteht sich, dass auch ein segmentweiser Vorsprung bzw. Vorsprungsegmente oder Anschlagsegmente denkbar sind, die neben der Ausnehmung angeordnet sind. Ferner ist es möglich, dass von der Ausnehmung mindestens ein Fluid-Ausströmkanal wegführt. Somit wird Fluid, beispielsweise Druckluft, nicht in der Ausnehmung ”eingesperrt”, wenn die Mikrowellen-Antennenanordnung in die Ausnehmung des Aktogliedes eintaucht.
  • Zweckmäßigerweise besteht der Gehäusevorsprung zumindest teilweise aus dielektrischem Material, beispielsweise Kunststoff. Glasfaserverstärktes Polycarbonat (PC) ist beispielsweise möglich.
  • Die Antennenanordnung kann beispielsweise in das dielektrische Material eingegossen sein. Es ist auch möglich, dass der Gehäusevorsprung einen Hohlraum für die Aufnahme der Mikrowellen-Antennenanordnung aufweist. Denkbar ist beispielsweise, dass der Gehäusevorsprung durch eine Schutzhaube oder Schutzkappe für die Mikrowellen-Antennenanordnung gebildet ist.
  • An dem Gehäusevorsprung ist zweckmäßigerweise ein Fluidkanal für Fluid, beispielsweise Druckluft, angeordnet, durch den das Fluid aus dem Bewegungsraum ausströmen oder zum Betätigen des Aktorglieds in den Bewegungsraum einströmen kann. Es versteht sich, dass zum Einströmen oder Ausströmen des Fluids auch separate Kanäle denkbar sind.
  • Der Gehäusevorsprung, der die Mikrowellen-Antennenanordnung enthält, bildet zweckmäßigerweise einen Bestandteil einer Dämpferanordnung zur Verringerung der Endgeschwindigkeit des Aktorglieds im Bereich des Endanschlags. Es versteht sich, dass auch ein separater Gehäusevorsprung einer Dämpferanord nung vorgesehen sein kann, das heißt dass ein Gehäusevorsprung für die Mikrowellen-Antennenanordnung und ein Gehäusevorsprung für die Dämpferanordnung denkbar sind.
  • Neben dem Gehäusevorsprung der Dämpferanordnung ist zweckmäßigerweise mindestens ein mit dem Bewegungsraum kommunizierender Ausströmkanal der Dämpferanordnung angeordnet. Aus diesem Ausströmkanal kann das Fluid aus dem Bewegungsraum gedrosselt ausströmen, während der Fluidkanal im Gehäusevorsprung durch die Ausnehmung am Aktorglied versperrt ist. An dem Ausströmkanal kann eine Drosselanordnung angeordnet sein, die zweckmäßigerweise einstellbar ist. Somit ist die Drosselwirkung und somit die Bremswirkung der Dämpferanordnung variabel. Es versteht sich, dass der Ausströmkanal an sich eine Drosselanordnung bilden kann, beispielsweise weil er einen entsprechend kleinen Querschnitt aufweist.
  • Das Gehäuse des Aktors kann auch einen zweiten Endanschlag aufweisen, an dem eine zweite Dämpferanordnung zur Verringerung der Endgeschwindigkeit des Aktorglieds angeordnet ist. Die zweite Dämpferanordnung weist beispielsweise eine Ausnehmung auf, in die ein Vorsprung des Aktorglieds eintaucht, wenn das Aktorglied an dem zweiten Endanschlag anschlägt. Es ist auch möglich, dass das Aktorglied zwei Ausnehmungen aufweist, von denen eine für die Mikrowellen-Antennenanordnung und eine auf der entgegengesetzten Seite des Aktorglieds angeordnete Ausnehmung für die zweite Dämpferanordnung vorgesehen ist. Dann ist beispielsweise im Bereich des zweiten Endanschlags ein Vorsprung vorgesehen, der in diese zweite Ausnehmung des Aktorgliedes eintaucht.
  • Die Ausnehmung für die Mikrowellen-Antennenanordnung ist beispielsweise in einem Mittenbereich des Aktorgliedes angeordnet. Die jeweilige Ausnehmung ist zweckmäßigerweise koaxial mit der Mikrowellen-Antennenanordnung.
  • Der Endanschlag neben bzw. ”hinter” der Mikrowellen-Antennenanordnung ist zweckmäßigerweise Bestandteil einer metallischen Gesamtstruktur des Gehäuses. Mechanische Belastungen werden von dieser Gesamtstruktur aufgenommen.
  • Das bewegliche Aktorglied reflektiert anhand der Rillenanordnung die Mikrowellen, die mit Hilfe der Mikrowellen-Antennenanordnung in den Bewegungsraum eingekoppelt werden. Anhand einer Laufzeitmessung und/oder anhand eines Phasenvergleichs zwischen ausgesendeten Mikrowellen und empfangenen Mikrowellen, die beispielsweise einen Frequenzbereich von 10 MHz–25 GHz, vorteilhaft 1 GHz–25 GHz, haben, ermittelt die Positionsmessvorrichtung eine Position des Aktorglieds in seinem Bewegungsraum. Die Positionsmessvorrichtung misst z. B. den Abstand des Aktorglieds von einem Endanschlag im Bereich der Mikrowellen-Antennenanordnung.
  • Der Aktor, z. B. ein elektrischer und/oder fluidtechnischer Antrieb, hat ein Gehäuse mit einem elektrisch leitfähigen Bewegungsraum, in dem ein Aktorglied, beispielsweise ein Läufer eines elektrischen Motors oder ein Kolben eines pneumatischen Antriebs, beweglich angeordnet ist. Der Aktor ist zweckmäßigerweise ein Linearaktor. Das Aktorglied ist dann linear beweglich. Auch bei einem Dreh- oder Schwenkantrieb ist das erfindungsgemäße Prinzip einsetzbar.
  • Der Aktor kann elektrisch und/oder fluidtechnisch, beispielsweise pneumatisch oder hydraulisch, angetrieben werden. Auch ein sogenannter Hybrid-Antrieb, der elektrisch und fluidtechnisch antreibbar ist, ist vorteilhaft.
  • Eine weitere Variante der Erfindung kann vorsehen, dass die Positionsmessvorrichtung einen Bestandteil eines Fluidventils bildet, beispielsweise eines pneumatischen Ventils. Das Aktorglied ist in diesem Falle z. B. das Ventilglied des Fluidventils, beispielsweise ein Antriebskolben, mit dem das Ventilglied pneumatisch angetrieben wird.
  • Das Aktorglied weist vorteilhaft eine Rillenanordnung mit mindestens einer Rille zur Reflexion der Mikrowellen auf. Mit Hilfe der Rillenanordnung werden die von der Antennenanordnung gesendeten Mikrowellen reflektiert. Bereits eine Rille verbessert die Reflexionseigenschaften des Aktorgliedes. Zweckmäßigerweise sind zwei, drei oder mehr Rillen vorhanden.
  • Beispielsweise sendet die Mikrowellen-Antennenanordnung Mikrowellen im sogenannten E01-Mode oder im H11-Mode. Wenn die gesendeten E01-Mikrowellen auf das Aktorglied treffen, werden sie zweckmäßigerweise in eine koaxiale TEM-Welle umgewandelt. Die H11-Mikrowellen werden zu H11-Hohlleiterwellen in einer koaxialleiterartigen Struktur. Die Rillen behindern den Stromfluss längs der Außenseite des Aktorglieds, wodurch die Mikrowellen reflektiert werden.
  • Die mindestens eine Rille hat zweckmäßigerweise eine Tiefe entsprechend etwa 1/4 der Wellenlänge der sich im Bereich des Innenraums der mindestens einen Rille ausbreitenden Mikrowellen. Die Rille kann beispielsweise mit Luft gefüllt sein, so dass die Mikrowellen in der Rille eine Wellenlänge entsprechend einer Ausbreitung in Luft aufweisen. Es ist aber auch möglich, dass, wie oben erläutert, der Innenraum mit einem dielektrischen Material ganz oder teilweise gefüllt ist. Die Tiefe der mindestens einen Rille ist dann zweckmäßigerweise abhängig von der Dielektrizitätszahl des dielektrischen Materials. Zweckmäßigerweise ist die Tiefe der Rille kleiner als 1/4 der Wellenlängen der Mikrowellen bezüglich Luft als Ausbreitungsmedium. Die Wellenlänge der Mikrowellen in Luft beträgt beispielsweise λ0, die Wellenlänge λ der Mikrowellen im Bereich des Dielektrikums in der mindestens einen Rille berechnet sich wie folgt:
    Figure 00110001
  • Wobei εr die Dielektrizitätszahl des Dielektrikums ist. Die Tiefe der Rillen beträgt beispielsweise 2–5 mm.
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine Querschnittsansicht eines pneumatischen Zylinders mit einem Kolben, der eine Ausnehmung für einen Gehäuse-Vorsprung aufweist, in dem eine Mikrowellen-Antennenanordnung angeordnet ist,
  • 2 eine Querschnittsansicht eines pneumatischen Zylinders mit einem Kolben, der eine Ausnehmung für einen Gehäuse-Vorsprung aufweist, in dem eine Mikrowellen-Antennenanordnung und ein Kanal einer Dämpferanordnung zur Verringerung der Endgeschwindigkeit des Kolbens angeordnet sind, und
  • 3 eine Querschnittsansicht eines pneumatischen Zylinders ähnlich wie in 2, jedoch mit einem Kolben, der eine erste Ausnehmung für einen Gehäuse-Vorsprung einer Dämpferanordnung und eine zweite Ausnehmung für einen Gehäuse-Vorsprung mit einer Antennenanordnung aufweist.
  • Gleichartige oder gleichwirkende Bestandteile der nachfolgenden Ausführungsbeispiele sind mit denselben Bezugszeichen versehen und werden nur einmal beschrieben.
  • Ein pneumatischer Arbeitszylinder 11a bildet einen Aktor 10a, insbesondere einen fluidtechnischen Aktor. In einem Bewegungsraum 12 eines Aktorgehäuses 13a ist ein Aktorglied 14a linear hin und her beweglich angeordnet. Das Aktorglied 14a ist durch einen Kolben 15a des Arbeitszylinders 11 gebildet. Beim Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen pneumatischen Arbeitszylinder mit einer Kolbenstange, wobei auch kolbenstangenlose Varianten, elektrische Antriebe, kombinierte elektro-pneumatische Antriebe, insbesondere Linearantriebe, ohne weiteres möglich sind.
  • Eine Ventilanordnung 16, die beispielsweise ein 2/2-Ventil aufweist, speist Druckluft 17 aus einer Druckluftquelle 18 über Druckluftanschlüsse 19, 20 in den Bewegungsraum 12 ein bzw. ermöglicht das Ausströmen von Druckluft aus den Druckluftanschlüssen 19, 20, um den Kolben 15a anzutreiben, der den Bewegungsraum 12 in zwei nicht näher bezeichnete Teilkammern trennt. Am Außenumfang 30 des Kolbens 15a ist beispielsweise hierfür eine Dichtung 21a vorgesehen.
  • Ein Mittelteil 22 des Gehäuses 13 wird stirnseitig durch einen Lagerdeckel 23a sowie einen Abschlussdeckel 24a verschlossen, und begrenzt somit den Bewegungsraum bzw. die Kolbenkammer 12. Der Lagerdeckel 23a wird an einer Öffnung 26 mit einer Dichtung von einer Kolbenstange 25 durchdrungen, die ein Kraftabgriffselement des Arbeitszylinders 11a bildet.
  • Eine Positionsmessvorrichtung 50 dient zu einer Positionserfassung des Aktorglieds 14a innerhalb des Bewegungsraums 12, beispielsweise eines Abstandes 28 des Kolbens 15a von einem Endanschlag 27 am Deckel 24a.
  • Die Mikrowellen-Antennenanordnung 51 enthält z. B. eine Koppelsonde zum Senden und Empfangen von Mikrowellen beispielsweise in einem Frequenzbereich von etwa 10 MHz bis 25 GHz. Die Koppelsonde kann z. B. eine metallische Sonde oder ein mit elektrisch leitfähigen Oberflächen versehenes Kunststoffelement sein.
  • Die Mikrowellen-Antennenanordnung 54 ist mit einer Hochfrequenzeinrichtung 52, beispielsweise einer Hochfrequenzplatine oder dergleichen, sowie einer Auswerteeinrichtung 53 verbunden.
  • Mit Hilfe der Hochfrequenzeinrichtung 52 können Mikrowellen 54 erzeugt werden, die die Mikrowellen-Antennenanordnung 54 in den Bewegungsraum 12 einkoppelt. Der Bewegungsraum 12 bildet einen Hohlleiter 56, der die Mikrowellen 54 bis zum Aktorglied 14a leitet, das die Mikrowellen 54 reflektiert und Reflexions-Mikrowellen 55 bildet.
  • Die Mikrowellen-Antennenanordnung 51 kann in einem dielektrischen Abschnitt des Deckels 24a angeordnet sein. Der Deckel 24a besteht ansonsten z. B. aus Metall. Ferner bestehen auch das Mittelteil 22 sowie der Deckel 23a zweckmäßigerweise aus Metall. Jedenfalls ist eine Innenwandung 29 des Mittelteils 22 zur Bildung des Hohlleiters 56 elektrisch leitfähig.
  • Die Hochfrequenzeinrichtung 52 enthält nicht näher bezeichnete Einkopplungselemente und Auskopplungselemente, zum Beispiel Kondensatoren, Millimeterwellen Integrated Circuits (MMICs), Richtkoppler oder dergleichen. Die Hochfrequenzeinrichtung 52 kann die Mikrowellen 54 vorteilhaft in unterschiedlichen Frequenzen, auch mehreren unterschiedlichen, nicht näher bezeichneten Frequenzen, senden, beispielsweise mit Hilfe eines spannungsgesteuerten Oszillators (VCO) oder dergleichen.
  • Die Hochfrequenzeinrichtung 52 sowie die Auswerteeinrichtung 53, die Auswertemittel im Sinne der Erfindung enthält oder bildet, sind elektrisch miteinander verbunden und können auf einer gemeinsamen Trägerstruktur angeordnet sein. Die Hochfrequenzeinrichtung 52 und/oder die Auswerteeinrichtung 53 können im oder am Deckel 24a angeordnet sein.
  • Die Auswerteeinrichtung 53 ermittelt beispielsweise anhand der Laufzeit von Pulsen der Mikrowellen 54, 55 (Pulsradar), anhand von Phasenverschiebungen zwischen hinlaufenden (54; 54') und rücklaufenden Mikrowellen 55 (Interferometer-Verfahren), anhand eines FMCW-Verfahrens (Frequency Modulated Continuous Wave) oder dergleichen die Position die z. B. dem Abstand 51 entspricht, des Aktorglieds 14a innerhalb des Bewegungsraumes 12. Beispielsweise enthält die Auswerteeinrichtung 54 und/oder die Hochfrequenzeinrichtung 52 eine Mischeinrichtung zum Mischen, z. B. zum Multiplizieren der gesendeten Mikrowellen 54 und der reflektierten Mikrowellen 55, einen Prozessor, einen Speicher und/oder weitere elektronische Bauelemente, beispielsweise ASICs (Application Specific Integrated Circuits) oder dergleichen. Die Auswerteeinrichtung 53 sendet ein die jeweilige Position des Aktorglieds 14a repräsentierendes Positionssignal 57 drahtlos mit einer Antenne 58 oder über eine Leitung 59, z. B. an eine übergeordnete Steuerung S.
  • Eine Koppelsonde 60 der Antennenanordnung 51 ist in einem Gehäusevorsprung 36a angeordnet. Der Gehäusevorsprung 36a ist an einer Stirnseite 37 des Gehäuses 13 vorgesehen. Der Gehäusevorsprung 36a kann einstückig mit dem Deckel 24a sein.
  • Es versteht sich, dass die Koppelsonde 60 auch in einem Gehäusevorsprungkörper 38 angeordnet sein kann, der am ansonsten aus Metall bestehende Deckel 24a angeordnet sein kann. Der Vorsprungkörper 38 ist beispielsweise ein an den Deckel 24a angespritzter Kunststoffkörper.
  • Die Koppelsonde 60 steht sozusagen frei vor die Stirnseite 37 vor. Eine dielektrische Ummantelung der Koppelsonde 60 ist vorteilhaft. Für die Mikrowellen 54, 55 steht somit bereits im Bereich der Antennenanordnung 51 und der Koppelsonde 60 der volle Innendurchmesser des Bewegungsraums 12 als Hohlleiterraum zur Verfügung.
  • Korrespondierend zu dem Gehäusevorsprung 38a ist am Aktorglied 14a eine Ausnehmung 39a vorgesehen. Eine Innenkontur der Ausnehmung 39a korrespondiert mit dem Gehäusevorsprung 36a. Die Ausnehmung 39a ist zweckmäßigerweise derart tief, dass eine Stirnseite oder Vorderseite des Gehäusevorsprungs 36a nicht bis zum Boden 41 der Ausnehmung 39a gelangt, wenn der Kolben 15a am Endanschlag 27 auftrifft. Dann schlägt eine ringförmige Anschlagfläche des Kolbens 15a, innerhalb derer die Ausnehmung 39a angeordnet ist, auf eine ebenfalls ringförmige Anschlagfläche 43 des Deckels 24a an. Der Vorsprung 36a und somit die Antennenanordnung 41 stehen vor die ringförmige Anschlagfläche 43 vor. Mechanische Kräfte beim Auftreffen des Kolbens 15a auf den Anschlag 27 werden somit von den Anschlagflächen 42, 43 aufgenommen. Die Mikrowellen-Antennenanordnung 51 ist mechanisch dadurch nicht belastet.
  • An einem Außenumfang 30 eines Aktorkörpers 31a, beispielsweise eines Metallkörpers oder eines elektrisch leitenden, z. B. beschichteten, Kunststoffkörpers des Kolbens 15 ist vorteilhaft eine Rillenanordnung 32a mit Rillen 33a angeordnet.
  • An sich würde die elektrisch nicht leitfähige Dichtung 21a eine der Mikrowellen 54 verschlechtern oder gar verhindern. Durch die Rillenanordnung 32a jedoch werden die Mikrowellen 54 reflektiert, so dass die Reflexions-Mikrowellen 55 gebildet werden.
  • Eine Tiefe 34a der Rillen 33, die beispielsweise einen rechteckigen Querschnitt aufweisen, ist auf die Frequenz oder Wellenlänge der Mikrowellen 54 abgestimmt. Dabei ist die dielektrische Eigenschaft der Dichtung 31a, die sich in Innenräume 35 der Rillen 33a erstreckt, berücksichtigt. Die Tiefe 34a beträgt beispielsweise 1/4 der Wellenlänge der Mikrowellen 54 im Bereich der Innenräume 35, wobei die Wellenlänge der Mikrowellen im Bereich der Innenräume 35, z. B. Luft, in Abhängigkeit der Dielektrizitätszahl des Materials für die Dichtung 21a verringert ist.
  • Ein Kolben 15b eines Arbeitszylinders 11b ist zwischen einem ersten Endanschlag 27 und einem zweiten Endanschlag 65 in einem Bewegungsraum 12 eines Aktorgehäuses 13b linear hin und her beweglich gelagert. Die Endanschläge 27, 65 werden durch Anschlagflächen 43, 63 gebildet, die zweckmäßigerweise ringförmig sind. Vor die Anschlagfläche 43 des Deckels 24b steht ein Gehäusevorsprung 36b vor, in dem die Antennenanordnung 51, das heißt eine Koppelsonde 60, angeordnet ist. Wenn der Kolben 15b am Anschlag 27 auftrifft, tritt der Gehäusevorsprung 36b in eine Ausnehmung 39b am Kolben 15b ein.
  • Auf der anderen Seite des Kolbens 15b ist das umgekehrte Prinzip realisiert: vor den Kolben 15b steht in Richtung des Endanschlags 65 ein Vorsprung 64 vor, der in eine Ausnehmung 66 an einem Anschlagring 67 eintritt, wenn der Kolben 15b am Endanschlag 65 auftrifft. Der Vorsprung 64 ist einstückig mit dem Kolben 15b. Der Anschlagring 67 könnte prinzipiell einen Bestandteil des Deckels 23b bilden, ist vorliegend aber als ein separates Bauteil ausgestaltet.
  • Der Gehäusevorsprung 36b wird durch einen Gehäusevorsprungkörper 38b gebildet. Der Vorsprungkörper 38b besteht zweckmäßigerweise aus dielektrischem Material, beispielsweise aus einem Kunststoff (Polycarbonat oder ein vergleichbares Material). Bevorzugt ist ein Kunststoffmaterial, das eine geringe Feuchtigkeitsaufnahme aufweist, so dass sich die dielektrischen Eigenschaften des Vorsprungkörpers 38b nicht oder nur unwesentlich ändern. Der Deckel 24b besteht ansonsten zweckmäßigerweise aus Metall, so dass die Anschlagfläche 43 eine hohe mechanische Belastbarkeit aufweist. Auch der Deckel 23b besteht im Wesentlichen aus Metall. Somit treffen die ringförmigen Anschlagflächen 42, 62 des Kolbens 15b auf mechanisch belastbare ringförmige Anschlagflächen 43, 63 des Deckel 23b, 24b, während der Gehäusevorsprung 36b sowie der Vorsprung 64 in korrespondierende Ausnehmungen 39b des Kolbens sowie 66 des Deckels 23b im Wesentlichen frei und mechanisch nicht oder kaum belastet eintreten können. Die mechanische Belastung insbesondere der Antennenanordnung 51 ist dadurch gering.
  • Die Vorsprungkörper 38a, 38b haben ein kleines Volumen. Veränderungen der Dielktrizitätseigenschaften des Material der Vorsprungkörper 38a, 38b, beispielsweise aufgrund von Feuchtigkeit oder dergleichen, wirken sich somit auf die Mikrowellen 54, 55 verhältnismäßig wenig aus.
  • Der Gehäusevorsprung 36b hat eine zusätzliche Funktionalität: er bildet einen Bestandteil einer Dämpferanordnung 70 zur Dämpfung eines Aufpralls des Kolbens 15b am Endanschlag 27. Der Vorsprung 64 und die Ausnehmung 66 bilden Bestandteile einer zweiten Dämpferanordnung 71 zur Dämpfung eines Aufpralls des Kolbens 15b am Endanschlag 65. Auf den jeweils letzten Endabschnitten eines Bewegungsweges des Kolbens 15b treten der Gehäusevorsprung 36b in die Ausnehmung 39b und beim Anschlag 65 der Vorsprung 64 in die Ausnehmung 66 ein. Dann sind Kanäle 72, die in Fluidverbindung mit den Anschlüssen 19, 20 stehen, verschlossen. Somit kann Fluid nicht mehr über den jeweils abströmseitigen Fluid-Kanal 72 aus dem Bewegungsraum 12 ausströmen, sondern muss über Ausströmkanäle 73 ausströmen. Die Ausströmkanäle 73 stehen in Fluidverbindung mit den Anschlüssen 19, 20, beispielsweise über eine Verbindung zu den Kanälen 72. Die Ausströmkanäle drosseln das Ausströmen der Luft oder des Fluids aus dem jeweils abströmseitigen Teil des Bewegungsraumes 12. Beispielsweise haben die Ausströmkanäle 73 einen entsprechend kleinen Durchströmquer schnitt. Ferner ist es vorteilhaft, wenn an den Ausströmkanälen 73 Drosseln 74 vorgesehen sind. Die Drosseln 74 sind zweckmäßigerweise einstellbar, so dass auf diesem Wege die Dämpferwirkung oder Bremswirkung der Dämpferanordnungen 70, 71 variabel ist.
  • Die Dämpferanordnungen 70, 71 sind zweckmäßigerweise Bestandteile der Deckel 23b, 24b. Es versteht sich, dass die Dämpferanordnungen 70, 71 auch außerhalb des Aktors 10b angeordnete Komponenten aufweisen können, beispielsweise Ventile oder dergleichen. Ferner ist es denkbar, dass nur eine der Dämpferanordnungen 70 oder 71 vorgesehen ist.
  • Die zweite Dämpferanordnung 71 entspricht einer Dämpferanordnung, die üblicherweise bei pneumatischen Zylindern mit Kolbenstange verwendet wird. Die erste Dämpferanordnung 70, die der Antennenanordnung 51 gegenüberliegt, folgt einem bei Zylindern mit Kolbenstange neuartigen Bauprinzip. Der Vorsprung ist nämlich nicht wie bei der zweiten Dämpferanordnung 71 am Kolben, sondern am Gehäuse angeordnet, während bei der ersten Dämpferanordnung 70 die Ausnehmung am Kolben 15b, der Vorsprung am Gehäuse angeordnet ist. Die Kanäle 72 münden an Mündungen 75 an dem Gehäusevorsprung 36b sowie der Ausnehmung 66.
  • Der Gehäusevorsprung 36b hat eine Doppelfunktion: einerseits bildet er einen Bestandteil der ersten Dämpferanordnung 70 und andererseits dient er als Schutzgehäuse für die Antennenanordnung 51 mit der Koppelsonde 60, insbesondere für deren vorderen Teil. Ein Teilabschnitt des Kanals 72 verläuft in dem Gehäusevorsprung 36a.
  • Es wäre denkbar, dass die Antenne oder Koppelsonde 60 in einem Hohlraum 61 des Gehäusevorsprungkörpers 38b anzuordnen. Der Vorsprungkörper 38b wäre dann eine Art Schutzkappe für die Koppelsonde 60.
  • An der Ausnehmung 39b ist eine Rillenanordnung 32b mit Rillen 33b angeordnet. Die Rillen 33b reflektieren die Mikrowellen 54. Der Kolben 15b enthält z. B. einen Aktorkörper 31b, an dem eine Hülse 44 mit der Rillenanordnung 32b angeordnet ist. Die Hülse 44 ist z. B. in einer Ausnehmung 46 am Aktorkörper 31b, der z. B. aus Kunststoff oder Metall besteht.
  • Die Rillen 33b sind an einem Außenumfang der elektrisch leitenden, z. B. metallischen Hülse 44 angeordnet. Die Hülse 44 besteht beispielsweise aus Metall oder aus außen elektrisch leitend beschichtetem Kunststoff. Die Hülse 44 enthält die Ausnehmung 38b für den Dämpfervorsprung 37b. Prinzipiell wäre es ausreichend, wenn die Rillen 33b am Außenumfang der Hülse 44 vorhanden sind. Im vorliegenden Fall ist auch ein Boden 45 der Hülse 44 aus Metall. Es ist nicht notwendig, dass der vorteilhaft elektrisch leitende Bodenbereich 45 vorhanden ist.
  • Insbesondere bei einem elektrisch leitenden, z. B. aus Metall bestehenden Aktorkörper 31b ist die Rillenanordnung 32b nicht erforderlich.
  • Prinzipiell wäre es auch denkbar, Rillen unmittelbar an der Ausnehmung 46 für die Hülse 44 vorzusehen, z. B. als Ausfräsungen. Sofern der Aktorkörper 31b aus Kunststoff besteht, können diese Rillen beispielsweise mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung versehen sein, beispielsweise durch ein physikalisches oder chemisches Bedampfungsverfahren (Physical Vapor Deposition/PVD; Chemical Vapor Deposition/CVD).
  • Ein Aktor 10c, z. B. ein pneumatischer Zylinder 11c, gleicht teilweise dem Aktor 10b.
  • Eine Positionsmessvorrichtung 50' des Aktors 10c erzeugt mit einer Antennenanordnung 51' Mikrowellen 54' im sogenannten H11-Mode. Im Bereich der Ausnehmung 39b werden die Mikrowellen 54' zu Wellen in einer koaxialleiterartigen Struktur.
  • Die Antennenanordnung 51' ist am Deckel 24c angeordnet. Die Antennenanordnung 51' enthält eine Antenne 60', z. B. eine Koppelsonde. Die Antenne 60' ist innerhalb eines Gehäusevorsprungs 47 angeordnet, der vor den Endanschlag 27 auf der Seite eines Deckels 23c des Arbeitszylinder 11c vorsteht. Der Gehäusevorsprung 47 bildet einen Schutzkörper für die Koppelsonde 60. Am Aktorglied 14c bzw. Kolben 15c ist eine mit dem Gehäusevorsprung 47 korrespondierende Ausnehmung 48 angeordnet. Die Ausnehmung 48 kann eine ringförmige Ausnehmung sein, so dass es auf die jeweilige Drehposition des Kolbens 15 nicht ankommt. Vorteilhaft ist der Kolben 15 jedoch verdrehgesichert, das heißt die Ausnehmung 48 kann sich nur über einen Teilumfang des Kolbens 15 erstrecken. Durch die Verdrehsicherung ist gewährleistet, dass die Ausnehmung 48 beim Auftreffen des Kolbens 14c am Endanschlag 27 die Ausnehmung 48 auf den Gehäusevorsprung 47 ”trifft”. Es ist zweckmäßigerweise zwischen der Ausnehmung 48 und dem Gehäusevorsprung 47 noch ausreichend Spiel, dass der Vorsprung 47 mechanisch nicht oder nur unwesentlich belastet wird.
  • Der Gehäusevorsprung 47 steht vor eine Stirnseite 37c des Deckels 24c vor. Der Gehäusevorsprung 47 wird beispielsweise durch einen aus dielektrischem Material gefertigten Gehäusevorsprungkörper 49 gebildet.
  • Die Koppelsonde 60' steht von einer Längsseitenwandung des Gehäuses 13c nach radial innen vor. Dementsprechend ist die Ausnehmung 48 an einem Randbereich des Aktorglieds 14c angeordnet.
  • Das Aktorglied 14c hat somit zwei Ausnehmungen: die Ausnehmung 46 der ersten Dämpferanordnung 70 sowie die Ausnehmung 48 für die Antennenanordnung 51.
  • Am jeweiligen Außenumfang der Kolben 15b, 15c sind keine Rillen oder Rillenanordnungen vorgesehen, sofern der Aktorkörper 31b aus Kunststoff besteht. Bei einem Aktorkörper aus Metall könnte man eine Rillenanordnung an einen Außenumfang des Aktorkörpers wie in 1 vorgesehen. Am Außenumfang der Kolben 15b, 15c sind Dichtungen 21b, 21c angeordnet.
  • Es versteht sich, dass die Erfindung auch bei einem elektrischen Antrieb oder einem elektro-fluidischen Hybridantrieb realisierbar ist. Beispielsweise könnte der Kolben 15a einen Magneten 102 aufweisen, der durch eine Erregerspulenanordnung 100 angetrieben werden. Die Erregerspulenanordnung 100 bildet eine elektrische Antriebskomponente 101 zum Antrieben des Aktorglieds 15a.

Claims (20)

  1. Aktor, insbesondere pneumatischer Zylinder, mit einem in einem Bewegungsraum (12) eines Gehäuses (13a; 13b; 13c) zu einem Endanschlag (27) hin und von dem Endanschlag (27) weg beweglich angeordneten Aktorglied (14a; 14b; 14c) und einer Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung (50; 50') zur Positionsermittlung des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) in dem Bewegungsraum (12) anhand von Mikrowellen (54; 54'), mit einer Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') zum Senden von Mikrowellen (54; 54') in den einen Hohlleiter (56) bildenden Bewegungsraum (12) und zum Empfangen von durch Reflexion der gesendeten Mikrowellen an dem Aktorglied (14a; 14b; 14c) gebildeten Reflexions-Mikrowellen (55; 55') aus dem Bewegungsraum (12), wobei die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') in Richtung des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) vor den Endanschlag (27) vorsteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') an einem Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) des Gehäuses (13a; 13b; 13c) angeordnet ist, der vor den Endanschlag (27) vorsteht.
  2. Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Aktorglied (14a; 14b; 14c) eine Ausnehmung (39a, 39b, 48) aufweist, in die die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') eintaucht, wenn das Aktorglied (14a; 14b; 14c) an den Endanschlag (27) anschlägt.
  3. Aktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (39a, 39b, 48) an einem Ringvorsprung des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) angeordnet ist.
  4. Aktor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (39a, 39b, 48) koaxial zu der Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') ist.
  5. Aktor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (39a, 39b, 48) an einem Randbereich oder in einem Mittenbereich des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) angeordnet ist.
  6. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') zumindest teilweise in einem dielektrischen Material, insbesondere Kunststoff, angeordnet ist.
  7. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) zumin dest teilweise aus einem dielektrischen Material, insbesondere Kunststoff, besteht.
  8. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) einen Hohlraum (61) zur Aufnahme der Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') aufweist.
  9. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) ein Fluidkanal (72) für Fluid, insbesondere Druckluft, angeordnet ist, durch den das Fluid aus dem Bewegungsraum (12) ausströmen oder zum Betätigen des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) in den Bewegungsraum (12) einströmen kann.
  10. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) einen Bestandteil einer Dämpferanordnung (70) zur Verringerung der Endgeschwindigkeit des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) im Bereich des Endanschlags (27) bildet.
  11. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass neben dem Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) für die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') mindestens ein mit dem Bewegungsraum (12) kommunizierender Ausströmkanal (73) der Dämpferanordnung (70) angeordnet ist, aus dem Fluid aus dem Bewegungsraum (12) ausströmen kann.
  12. Aktor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausströmkanal (73) eine Drosselanordnung (74) bildet oder enthält, mit die den Strom des ausströmenden Fluids begrenzt.
  13. Aktor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drosselanordnung (74) zum Einstellen eines Ausströmquerschnitts für das Fluid verstellbar ist.
  14. Aktor nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der an dem Gehäusevorsprung (36a, 36b; 47) angeordnete Fluidkanal (72) durch das Aktorglied (14a; 14b; 14c) zumindest im wesentlichen verschließbar ist, so dass das Fluid vor dem Auftreffen des Aktorglied (14a; 14b; 14c) auf den Endanschlag (27) über den Ausströmkanal (73) aus dem Bewegungsraum (12) gedrosselt austritt.
  15. Aktor nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktorglied (14a; 14b; 14c) eine Ausnehmung (48) für die Mikrowellen-Antennenanordnung (51; 51') und eine Dämpfer-Ausnehmung (39b) für die Dämpferanordnung (70) aufweist.
  16. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Endanschlag (27) einen Bestandteil einer metallischen Gesamtstruktur des Gehäuses (13a; 13b; 13c) bildet.
  17. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (13a; 13b; 13c) einen zweiten Endanschlag (65) aufweist, und dass im Bereich des zweiten Endanschlags (65) eine zweite Dämpferanordnung (71) zur Verringerung der Endgeschwindigkeit des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) angeordnet ist.
  18. Aktor nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Dämpferanordnung (71) eine Ausnehmung (66) aufweist, in die ein Vorsprung (64) des Aktorglieds (14a; 14b; 14c) eintaucht, wenn das Aktorglied (14a; 14b; 14c) an den zweiten Endanschlag (65) anschlägt.
  19. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktorglied (14a; 14b; 14c) ein Kolben (15a, 15b, 15c) eines pneumatischen oder einer elektro-pneumatischen Antriebs ist.
  20. Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er eine an dem Kolben (15a, 15b, 15c) angeordnete Kolbenstange (25) oder einen Mitnehmer, der einen Schlitz des Gehäuses (13a; 13b; 13c) durchgreift, aufweist, wobei die Kolbenstange (25) und der Mitnehmer Kraftabgriffselemente bilden.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023127896A1 (de) * 2023-10-12 2025-04-17 Vega Grieshaber Kg Bodendeckel mit einer Kühlungseinheit

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010006058A1 (de) * 2009-02-12 2010-08-19 Luk Lamellen Und Kupplungsbau Beteiligungs Kg Hydraulisches Kupplungs- oder Bremsbetätigungssystem
US11344926B2 (en) 2017-08-28 2022-05-31 Koito Manufacturing Co., Ltd. Foreign substance removing device
DE102019122121A1 (de) * 2019-08-16 2021-02-18 Precision Nanosensors Inc Kolben-Zylinder-Einheit mit radial verbauter Kolbenpositionserfassungseinheit
DE102023210012A1 (de) 2023-10-12 2025-04-17 Vega Grieshaber Kg Pneumatik- oder Hydraulikzylinder mit einem Radarsensor
DE102023210014A1 (de) * 2023-10-12 2025-04-17 Vega Grieshaber Kg Arbeitszylinder

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4901628A (en) * 1983-08-11 1990-02-20 General Motors Corporation Hydraulic actuator having a microwave antenna
US5193433A (en) * 1989-05-24 1993-03-16 Ab Mecman Piston sealing and dampening device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2240980A1 (de) * 1972-08-21 1974-03-07 Adam Dipl Ing Elmer Einrichtung zur daempfung des kolbenaufschlages in hydraulischen arbeitszylindern
DE19800306B4 (de) * 1998-01-07 2008-05-15 Vega Grieshaber Kg Antenneneinrichtung für ein Füllstandmeß-Radargerät
IT1313145B1 (it) * 1999-08-04 2002-06-17 Univer Spa Attuatore lineare con dispositivo di smorzamento e di controllo dellavelocita'
US6722260B1 (en) * 2002-12-11 2004-04-20 Rosemount Inc. Hydraulic piston position sensor
ATE388416T1 (de) 2005-08-11 2008-03-15 Festo Ag & Co Abstandsmessvorrichtung mit einer mikrowellen- antennenanordnung und verfahren zu ihrer herstellung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4901628A (en) * 1983-08-11 1990-02-20 General Motors Corporation Hydraulic actuator having a microwave antenna
US5193433A (en) * 1989-05-24 1993-03-16 Ab Mecman Piston sealing and dampening device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023127896A1 (de) * 2023-10-12 2025-04-17 Vega Grieshaber Kg Bodendeckel mit einer Kühlungseinheit

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