[go: up one dir, main page]

DE102007003060A1 - Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology - Google Patents

Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology Download PDF

Info

Publication number
DE102007003060A1
DE102007003060A1 DE102007003060A DE102007003060A DE102007003060A1 DE 102007003060 A1 DE102007003060 A1 DE 102007003060A1 DE 102007003060 A DE102007003060 A DE 102007003060A DE 102007003060 A DE102007003060 A DE 102007003060A DE 102007003060 A1 DE102007003060 A1 DE 102007003060A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
quality
edge
measuring
image sensor
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102007003060A
Other languages
German (de)
Inventor
Susanne Dipl.-Wirtsch.-Ing. Töpfer
Karina Dipl.-Wirtsch.-Ing. Weißensee
Gerhard Prof. Dr. Ing. habil. Linß
Uwe Dr. Ing. Nehse
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technische Universitaet Ilmenau
Original Assignee
Technische Universitaet Ilmenau
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universitaet Ilmenau filed Critical Technische Universitaet Ilmenau
Priority to DE102007003060A priority Critical patent/DE102007003060A1/en
Priority to PCT/EP2008/050314 priority patent/WO2008087104A1/en
Priority to EP08701448A priority patent/EP2115695A1/en
Publication of DE102007003060A1 publication Critical patent/DE102007003060A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/10—Segmentation; Edge detection
    • G06T7/13—Edge detection
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection
    • G06T2207/30164—Workpiece; Machine component

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Mit der vorliegenden Erfindung soll ein Verfahren zur Bestimmung der Güte eines Messpunktes bei der Kantendetektion für die optische Längenmesstechnik bereitgestellt werden, so dass für die Berechnung von Geometrieelementen nicht nur die Messpunkte, sondern auch deren jeweilige Güte verwendet werden und somit die Geometrieelemente mit einer geringeren Unsicherheit berechnet werden können. Erfindungsgemäß wird neben der Kantendetektion auch der Signalverlauf im Strukturübergangsbereich, bezugnehmend auf einen idealen Signalverlauf nach den fünf verschiedenen Kriterien (Qualitätskennzahlen), bewertet. Das vorliegende Verfahren kann an allen Koordinatenmessgeräten angewendet werden, bei denen mindestens ein Bildsensor als Teil der Messsensorik vorhanden ist.The present invention is intended to provide a method for determining the quality of a measuring point in edge detection for optical length measuring technology, so that not only the measuring points but also their respective quality are used for the calculation of geometric elements and thus the geometric elements with a lower uncertainty can be calculated. According to the invention, in addition to the edge detection, the signal course in the structure transition area, with reference to an ideal signal course, is evaluated according to the five different criteria (quality indicators). The present method can be applied to all coordinate measuring machines in which at least one image sensor is present as part of the measuring sensor system.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Güte eines Messpunktes bei der Kantendetektion in der optischen Längenmesstechnik.The The invention relates to a method for determining the quality a measuring point in edge detection in optical length measuring technology.

In der optischen Längenmesstechnik werden häufig Koordinatenmessgeräte eingesetzt. Unter einem Koordinatenmessgerät soll in Anlehnung an WO 02/084215 ein Gerät mit mehreren Antrieben, deren jeweilige Position mit Hilfe von Maßstäben bestimmt werden kann, verstanden werden, wobei die Messsensorik relativ zum Werkstück in den 3 Koordinaten x, y und z bewegt werden kann. Die Messsensorik kann dabei aus einem Sensor oder aus mehreren unterschiedlichen Sensoren (Multisensorik) bestehen. Das vorliegende Verfahren kann an allen Koordinatenmessgeräten angewendet werden, bei denen mindestens ein Bildsensor als Teil der Messsensorik vorhanden ist. Außerdem kann das vorliegende Verfahren an allen Messgeräten eingesetzt werden, die über mindestens einen Bildsensor verfügen, jedoch über keine Bewegungsachsen (Bildsensor als stand-alone Lösung), beispielsweise in der Automatisierungstechnik.Coordinate measuring machines are frequently used in optical length measuring technology. Under a coordinate measuring machine is based on WO 02/084215 a device with a plurality of drives whose respective position can be determined by means of scales, be understood, the measurement sensor can be moved relative to the workpiece in the 3 coordinates x, y and z. The measuring sensor system can consist of one sensor or of several different sensors (multi-sensors). The present method can be applied to all coordinate measuring machines in which at least one image sensor is present as part of the measuring sensor system. In addition, the present method can be used on all measuring devices that have at least one image sensor, but no movement axes (image sensor as a stand-alone solution), for example in automation technology.

Beim Lösen einer Messaufgabe mit einem optischen Koordinatenmessgerät muss der Bediener vor Beginn der Messung ein Kantenortkriterium auswählen. Das Kantenortkriterium ist eine mathematische Berechnungsvorschrift, die aus einem Intensitätsübergang im Bild den zugehörigen Kantenort bestimmt. Je nach Ausprägung des Intensitätsübergangs im Bild sind unterschiedliche Kantenortkriterien für die Messpunktgenerierung geeignet.At the Solving a measurement task with an optical coordinate measuring machine the operator must specify an edge location criterion before starting the measurement choose. The edge location criterion is a mathematical one Calculation rule, which consists of an intensity transition in the picture determines the associated edge location. Depending on the severity the intensity transition in the picture are different Edge location criteria suitable for measuring point generation.

Bei der Kantendetektion in der optischen Längenmesstechnik werden jedoch auch Messpunkte generiert, die z. B. in Bildbereichen mit einem geringen Kontrast aufgenommen wurden, und daher eine höhere Antastunsicherheit besitzen. Messpunkte, die bei sehr gutem Kontrast aufgenommen wurden, besitzen eine geringe Antastunsicherheit. Bisher wird die Güte eines Messpunktes nicht erfasst. Somit fließen alle Punkte bei der nachfolgenden Berechnung der Geometrieelemente als gleichwertig ein.at edge detection in optical length measuring technology However, measuring points are generated, the z. In picture areas were recorded with a low contrast, and therefore a higher Possess impulse uncertainty. Measuring points, with very good contrast were recorded, possess a low Antastunsicherheit. So far the quality of a measuring point is not recorded. Thus flow all points in the subsequent calculation of the geometry elements as equal to one.

Aus der WO 2005/050133 ist ein Verfahren zum Berechnen von Geometrieelementen und Verknüpfungen zwischen diesen mittels mit einem Koordinatenmessgerät gemessener Messpunkte bekannt. Hierbei werden jedoch Messpunkte mit einer hohen Unsicherheit mit derselben Priorität bei der Geometrieelementeberechnung berücksichtigt wie Messpunkte mit einer niedrigen Unsicherheit. Folglich wird nicht die gesamte durch den Bildsensor zur Verfügung stehende Information für die Lösung der Messaufgabe genutzt. Das berechnete Geometrieelement kann je nach Berechnungsverfahren Lage- und Formfehler besitzen, die bei Berücksichtigung der unterschiedlichen Güte der Messpunkte nicht oder nur in reduziertem Umfang auftreten. Im Stand der Technik sind bisher keine Verfahren bekannt, bei denen die Güte der Messpunkte bei der Kantendetektion in der optischen Längenmesstechnik bestimmt wird.From the WO 2005/050133 For example, a method of computing geometry elements and joins between them by means of measuring points measured with a coordinate measuring machine is known. Here, however, measurement points with a high uncertainty with the same priority are taken into account in the geometry element calculation as measuring points with a low uncertainty. Consequently, not all the information available by the image sensor is used to solve the measurement task. Depending on the calculation method, the calculated geometric element can have positional and form errors that do not occur, or only to a limited extent, when taking into account the different quality of the measuring points. In the prior art, no methods have hitherto been known in which the quality of the measuring points in the case of edge detection in optical length measuring technology is determined.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein Verfahren zur Bestimmung der Güte eines Messpunktes bei der Kantendetektion für die optische Längenmesstechnik bereitzustellen, so das für die Berechnung von Geometrieelementen nicht nur die Messpunkte sondern auch deren jeweilige Güte verwendet werden kann und somit die Geometrieelemente mit einer geringeren Unsicherheit berechnet werden können.task Therefore, the present invention is a method for the determination the quality of a measuring point in the edge detection for to provide the optical length measuring technique, so that for the calculation of geometric elements not only the Measuring points but also their respective quality can be used can and thus the geometric elements with a lower uncertainty can be calculated.

Erfindungsgemäß gelingt die Lösung dieser Aufgabe mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches.According to the invention succeeds the solution of this task with the features of the first Claim.

Bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Unteransprüchen angegeben.preferred Embodiments of the invention Method are specified in the subclaims.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand einer Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:The The invention will be described in more detail below with reference to a drawing explained. It shows:

1 – Bewertung der Güte eines Messpunktes, der an einem typischen Intensitätsverlaufs entlang eines Suchstrahls, aufgenommen an einer Kante mittels Auflichtbeleuchtung, gemessen wurde 1 - Evaluation of the quality of a measurement point, which was measured on a typical intensity profile along a search beam, recorded on an edge by incident light illumination

Der Begriff „Güte eines Messpunktes" beinhaltet die Bewertung der Eignung des Intensitätsverlaufes an einer Kante für die präzise Kantenortbestimmung. Eine Kante beinhaltet eine Änderung der mittleren Intensität im Bild. Der Begriff „Güte" bezieht sich dabei auf die Realisierung minimaler stochastischer Messabweichungen. Systematische Messabweichungen werden nicht betrachtet, da diese definitionsgemäß durch geeignete Korrektur- oder Kalibrierverfahren erfasst und korrigiert werden.Of the Term "quality of a measuring point" includes the Evaluation of the suitability of the intensity course at a Edge for precise edge location. A Edge involves a change in mean intensity in the picture. The term "goodness" refers to it on the realization of minimal stochastic errors. Systematic errors are not considered because these by definition by appropriate correction or Calibration procedures are recorded and corrected.

Die Analyse des Intensitätsverlaufs an einer Kante im Bild dient als Basis für die Bestimmung der Güte des Messpunktes. Die Bewertung der Güte des Messpunktes mit Hilfe verschiedener Qualitätskennzahlen ist in 1 dargestellt. Der Kantenort wird hierbei suchstrahlbasiert bestimmt. Daher ist in allen angegebenen Formeln und Gleichungen (Tabelle 2) die Intensität I der Pixel stets nur von einer Ortskoordinate, nämlich der Suchstrahlkoordinate xS abhängig. Der Kantenort kann jedoch auch nicht suchstrahlbasiert bestimmt werden. Die Art der Kantenortbestimmung im Sinne von suchstrahlbasiert oder nicht suchstrahlbasiert ist für die Anwendbarkeit des vorliegenden Verfahrens unerheblich.The analysis of the intensity curve at an edge in the image serves as the basis for the determination of the quality of the measuring point. The evaluation of the quality of the measuring point by means of various quality indicators is in 1 shown. The edge location is determined by search beam based. Therefore, in all given formulas and equations (Table 2), the intensity I of the pixels always depends only on one location coordinate, namely the search beam coordinate x S. However, the edge location can not be determined search-beam-based. The type of edge location determination in the sense of search-beam-based or non-search-beam-based is irrelevant to the applicability of the present method.

In Anlehnung an die I++/DME Spezifikation liegt der Wertebereich von Qualitätskennzahlen zwischen 0 und 100. Je höher die Qualitätskennzahl ist, desto schlechter ist die vorhandene Qualität. Folglich ist die Güte eines Messpunktes exzellent, wenn ihre Qualitätskennzahl QK gleich Null ist.Based on the I ++ / DME specification, the value range of quality codes is between 0 and 100. The higher the quality index, the worse the existing quality. Consequently, the quality of a measurement point is excellent if its quality index Q K is zero.

Die Qualitätskennzahl QK für die Güte eines Messpunktes kann sich aus beliebig vielen einzelnen Qualitätskennzahlen zusammensetzen. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens werden fünf einzelne Kriterien (Qualitätskennzahlen) für die Bewertung der Güte eines Messpunktes angewendet. Die Formeln für die Berechnung der einzelnen Qualitätskennzahlen sind in Tabelle 2 aufgeführt. Dieses Qualitätskennzahlensystem enthält keine Redundanzen, das heißt, ein und dasselbe Merkmal des Intensitätsverlaufes wird nicht zweimal bewertet.The quality index Q K for the quality of a measuring point can be composed of any number of individual quality indicators. In a preferred embodiment of the method according to the invention, five individual criteria (quality indicators) are used for the evaluation of the quality of a measuring point. The formulas for the calculation of the individual quality indicators are listed in Table 2. This quality score system does not contain redundancies, that is, one and the same feature of the intensity history is not scored twice.

Die Qualitätskennzahl QR dient der Bewertung des Rauschens des Intensitätsverlaufs sI. Hierbei werden lediglich die Gebiete rechts und links des Intensitätsübergangs der Kante im Bild ausgewertet. Eine mögliche Erweiterung dieser Qualitätskennzahl besteht darin, das Rauschen nicht auf die Quantisierungsstufen Qn des Bildsensors sondern auf den Kontrast K entlang des Suchstrahls zu beziehen. Das ermöglicht eine viel schärfere Bewertung des Intensitätsverlaufes. Weiterhin entspricht diese Erweiterung einer Bewertung des Signal-Rausch-Abstandes anstelle der reinen Bewertung des Rauschens wie in Tabelle 2 angegeben.The quality index Q R is used to evaluate the noise of the intensity profile s I. Here, only the areas to the right and left of the intensity transition of the edge in the image are evaluated. A possible extension of this quality index is to refer the noise not to the quantization levels Q n of the image sensor but to the contrast K along the search beam. This allows a much sharper evaluation of the intensity profile. Furthermore, this extension corresponds to an evaluation of the signal-to-noise ratio instead of the mere evaluation of the noise as indicated in Table 2.

Die Qualitätskennzahl für den Kantenanstieg QA wird im einfachsten Fall aus den zwei Messpunkten über und unter dem mittleren Niveau IE bestimmt. Je größer der Anstieg ist, desto genauer lässt sich der Kantenort berechnen.The quality index for the edge increase Q A is determined in the simplest case from the two measuring points above and below the mean level I E. The larger the increase, the more accurate the edge location can be calculated.

Die Qualitätskennzahl für die Form QF des Intensitätsübergangs liefert eine Aussage über die Abweichung von einem Sprungsignal. Sie ist zu QA nicht redundant. Beispielsweise kann die Qualitätskennzahl QA exzellent sein, die Qualitätskennzahl QF jedoch vergleichsweise schlecht. Das trifft zu, wenn der Intensitätsübergang zwar im mittleren Intensitätsbereich sehr steil verläuft aber im oberen oder unteren Intensitätsbereich extrem flach verläuft; beispielsweise bei Messungen an höhenausgedehnten Messobjekten. Je nach angewendetem Kantenortkriterium kann das zu einer Verschiebung des detektierten Kantenorts führen.The quality index for the form Q F of the intensity transition provides information about the deviation from a jump signal. It is not redundant to Q A. For example, the quality index Q A can be excellent, but the quality index Q F is comparatively poor. This is true if the intensity transition is very steep in the middle intensity range but extremely flat in the upper or lower intensity range; for example, for measurements on height-extended measuring objects. Depending on the applied edge location criterion, this can lead to a shift of the detected edge location.

Die Qualitätskennzahl Kantenbreite QB bewertet die Breite des Intensitätsübergangs. Im Vergleich zu QB und QA liefert nur QF die Möglichkeit gestörte Intensitätsübergänge zu identifizieren. Diese können beispielsweise bei Auflichtbeleuchtung auftreten und sind häufig durch unerwünschte direkte Reflexionen an der Oberfläche des Messobjektes charakterisiert.The quality index edge width Q B evaluates the width of the intensity transition. Compared to Q B and Q A , only Q F provides the possibility to identify disturbed intensity transitions. These can occur, for example, in reflected light illumination and are frequently characterized by unwanted direct reflections on the surface of the measurement object.

Die Qualitätskennzahl QE dient für die Bewertung der Eindeutigkeit. Diese Qualitätskennzahl dient der Detektion starker Störungen des Intensitätsverlaufs. Bei Messungen im Auflicht überlagert sich das Reflexionsmuster von der Oberfläche des Messobjektes mit den Beugungseffekten an der Kante. Im Ergebnis können Intensitätsverläufe auftreten, die das mittlere Niveau IE mehr als einmal schneiden. Die präzise Kantenortbestimmung an einem derartigen Signalverlauf ist sehr schwierig. Eine mögliche Erweiterung der Kennzahl QE ist die Berücksichtigung der Entfernung zwischen dem wahrscheinlichem Kantenort im Intervall [xS1..xS2] und dem Ort des zweiten oder dritten Durchgangs.The quality index Q E is used for the assessment of uniqueness. This quality indicator is used to detect strong disturbances of the intensity profile. For measurements in incident light, the reflection pattern overlaps the surface of the measurement object with the diffraction effects at the edge. As a result, intensity traces can occur which intersect the mean level I E more than once. Precise edge location determination on such a waveform is very difficult. A possible extension of the measure Q E is the consideration of the distance between the probable edge location in the interval [x S1 ..x S2 ] and the location of the second or third pass.

Allgemein gilt, dass die Gesamtqualitätskennzahl für die Güte eines Messpunktes für Intensitätsverläufe, die im Auflicht aufgenommen wurden, im Mittel wesentlich schlechter als für im Durchlicht aufgenommene Intensitätsverläufe ist.Generally is true that the overall quality score for the Quality of a measuring point for intensity gradients, which were recorded in the reflected light, on average substantially worse as recorded in transmitted light intensity gradients is.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird demnach neben der Kantendetektion auch der Signalverlauf im Strukturübergangsbereich bezugnehmend auf einen idealen Signalverlauf nach den fünf oben erläuterten verschiedenen Kriterien (Qualitätskennzahlen) bewertet.With the process according to the invention is therefore in addition the edge detection also the signal curve in the structure transition area referring to an ideal waveform after the fifth above explained various criteria (quality indicators) rated.

Der ideale Signalverlauf entspricht einem Sprungeingang, der durch das beugungsbegrenzte optische Abbildungssystem auf den Bildsensor abgebildet und dort in Abhängigkeit von der Bittiefe des Bildsensors detektiert wird. Je mehr der tatsächliche Signalverlauf dem des idealen Signalverlaufs ähnelt, desto geringer ist die Antastunsicherheit des Messpunktes bzw. desto höher ist seine Güte.The ideal signal curve corresponds to a jump input, which is imaged by the diffraction-limited optical imaging system onto the image sensor and detected there as a function of the bit depth of the image sensor. The more the actual waveform resembles that of the ideal waveform, the less the probing uncertainty of the measuring point or the higher its quality.

Aus den fünf Einzelbewertungen wird die Gesamtgüte des Messpunktes durch gewichtete Addition gebildet. Die 5 Einzelkriterien sind z. B. Rauschen, Kantenbreite, Kantenanstieg, Kanteneindeutigkeit sowie Kantenform. Je nach Wunsch des Anwenders kann die Wichtung der Einzelkriterien zueinander variiert werden bzw. können auch Kriterien unberücksichtigt bleiben. Das kann zum Beispiel bei Implementierungen, die nicht auf einem PC laufen, aus rechentechnischen Gründen sinnvoll sein.Out the five individual ratings will be the overall quality of the measuring point formed by weighted addition. The 5 individual criteria are z. Noise, edge width, edge slope, edge uniqueness as well as edge shape. Depending on the user's request, the weighting the individual criteria are mutually varied or can also disregard criteria. That can for example in implementations that do not run on a PC, from computational Reasons be meaningful.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist eine Reihe von Vorteilen auf, da mit ihm bisher ungenutzte, aber immer vorliegende Informationen für die Lösung einer Messaufgabe genutzt werden. Die Parameter eines Messpunktes in der I++ DME Spezifikation beinhalten unter anderem auch den Parameter Q für die Güte des Messpunktes. Dieser Parameter kann bei optischen Messungen mit Bildsensoren mit Hilfe des vorliegenden erfindungsgemäßen Verfahrens mit einem Wert gefüllt werden (jeder Messpunkt ist mit einer Angabe zu seiner Güte versehen), so dass bei der Berechnung der Geometrieelemente eine höhere Genauigkeit erreicht werden kann. Die Erkennung und Eliminierung von Ausreißern für die hochpräzise Geometriemessung wird stark vereinfacht und der rechentechnische Aufwand der Ausreißerfilter wird verringert.

Figure 00080001
Tabelle 2 – Teil 1
Figure 00090001
Tabelle 2 – Teil 2 The inventive method has a number of advantages, since previously unused, but always present information for the solution of a measurement task can be used with him. The parameters of a measuring point in the I ++ DME specification include, among other things, the parameter Q for the quality of the measuring point. In the case of optical measurements with image sensors, this parameter can be filled with a value by means of the present inventive method (each measuring point is provided with an indication of its quality), so that a higher accuracy can be achieved in the calculation of the geometry elements. The detection and elimination of outliers for the high-precision geometry measurement is greatly simplified and the computational outlay of the outlier filters is reduced.
Figure 00080001
Table 2 - Part 1
Figure 00090001
Table 2 - Part 2

xS x S
SuchstrahlkoordinateSuchstrahlkoordinate
I(xS)I (x S)
Intensität des Suchstrahlsintensity of the search beam
xpa x pa
Bildpunktmittenabstand im SuchstrahlPixel pitch in the search beam
nn
Anzahl der Pixel im Suchstrahlnumber the pixels in the search beam
Qn Q n
Anzahl der Quantisierungsstufen des Bildsensorsnumber the quantization levels of the image sensor
sI s i
Standardabweichung der Intensitätswertestandard deviation the intensity values
sI,Int s I, Int
sI der Intensitätswerte im Interval Ints I of the intensity values in the interval Int
Iint I int
mittlere Intensität im Interval Intmiddle Intensity in the interval Int
δ(xS)δ (x S)
Dirac ImpulsDirac pulse
bk b k
gemessene Kantenbreitemeasured edge width
bk,ideal b k, ideal
ideale Kantenbreiteideal edge width
IA I A
gemessener maximaler Kantenanstiegmeasured maximum edge increase
tt
Kantenzahlnumber of edges
ΓΓ
Schwellwertfunktionthreshold function
IE I E
Schwellwertthreshold
ΨKM Ψ KM
Kreuzkorrelation zw. Kantensignal und Mcross correlation between edge signal and M
MM
Referenzmusterreference pattern
ΔΔ
Verschiebung zwischen M und I(xS)Shift between M and I (x S )

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list The documents listed by the applicant have been automated generated and is solely for better information recorded by the reader. The list is not part of the German Patent or utility model application. The DPMA takes over no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - WO 02/084215 [0002] WO 02/084215 [0002]
  • - WO 2005/050133 [0005] WO 2005/050133 [0005]

Claims (11)

Verfahren zur Bestimmung der Güte eines Messpunktes bei der Kantendetektion in der optischen Längenmesstechnik dadurch gekennzeichnet, dass gleichzeitig mit der Bestimmung des jeweiligen Messpunktes (Kantendetektion) die vorherrschenden Messbedingungen durch den ermittelten Signalverlauf am Strukturübergang (Kante) mit verschiedenen Einzelkriterien bewertet werden.Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in the optical length measuring technique , characterized in that simultaneously with the determination of the respective measuring point (edge detection), the prevailing measuring conditions are evaluated by the determined signal waveform at the structure transition (edge) with different individual criteria. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Güte eines Messpunktes aus der gewichteten Addition mehrerer Einzelkriterien ermittelt wird.Method according to claim 1, characterized that the goodness of a measurement point from the weighted addition several individual criteria is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass die Güte des Messpunktes anhand eines einzelnen oder einer beliebigen Kombination mehrerer Einzelkriterien, wie z. B. Rauschen, Kantenbreite, Kantenanstieg, Kanteneindeutigkeit und Kantenform bestimmt wird.Method according to one of claims 1 or 2, characterized in that the quality of the measuring point using a single or any combination of several Individual criteria, such. Noise, edge width, edge slope, Edge uniqueness and edge shape is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, dass für die Bildaufnahme eine Grauwertkamera verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that for the image recording a gray scale camera is used. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, dass für die Bildaufnahme eine Farbbildkamera verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that for the image recording a color camera is used. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Messung suchstrahlbasiert erfolgt.Method according to one of claims 1 to 5 characterized in that the measurement is carried out search beam based. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Messung nicht suchstrahlbasiert erfolgt.Method according to one of claims 1 to 5 characterized in that the measurement is not search beam based he follows. Präzisionsmessgerät, insbesondere Koordinatenmessgerät zur maßlichen Erfassung von Werkstücken anhand eines Bildsensors dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Ausführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 vorhanden sind.Precision measuring device, in particular Coordinate measuring device for dimensional recording of Workpieces characterized by an image sensor, characterized in that means for carrying out the method according to one of the Claims 1 to 7 are present. Präzisionsmessgerät, insbesondere Koordinatenmessgerät zur maßlichen Erfassung von Werkstücken, mit mehreren Sensoren (Multisensorik), wovon mindestens einer ein Bildsensor ist, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Ausführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 vorhanden sind.Precision measuring device, in particular Coordinate measuring device for dimensional recording of Workpieces with multiple sensors (multisensors), of which at least one is an image sensor, characterized in that Means for carrying out the method according to a of claims 1 to 7 are present. Messgerät ohne Bewegungsachsen (stand-alone Bildsensor), zur maßlichen Erfassung von Werkstücken, mit einem oder mehreren Sensoren (Multisensorik), wovon mindestens einer ein Bildsensor ist, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Ausführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 vorhanden sind.Measuring device without motion axes (stand-alone Image sensor), for the dimensional registration of workpieces, with one or more sensors (multisensors), of which at least one is an image sensor, characterized in that means for Execution of the method according to a of claims 1 to 7 are present. Messgerät mit einer oder zwei Bewegungsachsen, zur maßlichen Erfassung von Werkstücken, mit einem oder mehreren Sensoren (Multisensorik), wovon mindestens einer ein Bildsensor ist, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Ausführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 vorhanden sind.Measuring device with one or two movement axes, for dimensional recording of workpieces, with a or more sensors (multi-sensor), of which at least one Image sensor is, characterized in that means for execution the method according to one of the claims 1 to 7 are present.
DE102007003060A 2007-01-15 2007-01-15 Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology Ceased DE102007003060A1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007003060A DE102007003060A1 (en) 2007-01-15 2007-01-15 Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology
PCT/EP2008/050314 WO2008087104A1 (en) 2007-01-15 2008-01-12 Method for determining the quality of a measuring point, in particular for determination of edge location, and optical precision measuring device
EP08701448A EP2115695A1 (en) 2007-01-15 2008-01-12 Method for determining the quality of a measuring point, in particular for determination of edge location, and optical precision measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007003060A DE102007003060A1 (en) 2007-01-15 2007-01-15 Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007003060A1 true DE102007003060A1 (en) 2008-07-17

Family

ID=39267747

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007003060A Ceased DE102007003060A1 (en) 2007-01-15 2007-01-15 Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2115695A1 (en)
DE (1) DE102007003060A1 (en)
WO (1) WO2008087104A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008025896A1 (en) 2008-05-23 2009-11-26 Landesamt für Mess- und Eichwesen Thüringen Method for determining the measurement uncertainty in geometry measurement
WO2012038349A1 (en) 2010-09-23 2012-03-29 Carl Mahr Holding Gmbh Method for optically scanning an edge in or on a surface region
WO2019007568A1 (en) * 2017-07-03 2019-01-10 Volume Graphics Gmbh METHOD FOR DETERMINING UNSECURITIES IN MEASUREMENT DATA FROM A MEASUREMENT OF AN OBJECT
DE102018218095B4 (en) 2018-09-28 2022-01-13 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Procedure for edge determination of a measurement object in optical metrology and coordinate measuring machine

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104165894B (en) * 2014-06-23 2017-08-08 中国计量学院 A kind of detection means for curve surface work pieces surface defect
DE102017212339A1 (en) 2017-07-19 2019-01-24 Robert Bosch Gmbh Method and device for evaluating image sections for correspondence formation
CN108107860A (en) * 2017-12-26 2018-06-01 内蒙古蒙牛乳业（集团）股份有限公司 Determine the method and system of characterization processes

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19654067A1 (en) * 1996-10-21 1998-04-23 Zeiss Carl Fa Method for measuring edges on workpieces
US5969273A (en) * 1998-02-12 1999-10-19 International Business Machines Corporation Method and apparatus for critical dimension and tool resolution determination using edge width
WO2002084215A1 (en) 2001-04-18 2002-10-24 Carl Zeiss Method for automatic adjustment of focus and lighting and for objectivated scanning of edge site in optical precision measuring technique
WO2004103181A1 (en) * 2003-05-21 2004-12-02 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Apparatus and method for recording the movement of organs of the body
WO2005050133A1 (en) 2003-11-14 2005-06-02 Werth Messtechnik Gmbh Method for the automatic measurement using coordinate measuring instruments
US20060109486A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 Holon Co., Ltd. Method of deciding measurement value

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19654067A1 (en) * 1996-10-21 1998-04-23 Zeiss Carl Fa Method for measuring edges on workpieces
US5969273A (en) * 1998-02-12 1999-10-19 International Business Machines Corporation Method and apparatus for critical dimension and tool resolution determination using edge width
WO2002084215A1 (en) 2001-04-18 2002-10-24 Carl Zeiss Method for automatic adjustment of focus and lighting and for objectivated scanning of edge site in optical precision measuring technique
WO2004103181A1 (en) * 2003-05-21 2004-12-02 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Apparatus and method for recording the movement of organs of the body
WO2005050133A1 (en) 2003-11-14 2005-06-02 Werth Messtechnik Gmbh Method for the automatic measurement using coordinate measuring instruments
US20060109486A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 Holon Co., Ltd. Method of deciding measurement value

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Román-Roldan, R., u.a.: A measure of quality for evaluating methods of segmentation end edge de- tection. Pattern Recognition 34 (2001), 969-980
Román-Roldan, R., u.a.: A measure of quality for evaluating methods of segmentation end edge detection. Pattern Recognition 34 (2001), 969-980 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008025896A1 (en) 2008-05-23 2009-11-26 Landesamt für Mess- und Eichwesen Thüringen Method for determining the measurement uncertainty in geometry measurement
WO2012038349A1 (en) 2010-09-23 2012-03-29 Carl Mahr Holding Gmbh Method for optically scanning an edge in or on a surface region
DE102010037746A1 (en) 2010-09-23 2012-03-29 Carl Mahr Holding Gmbh Method for optically sensing an edge in or on a surface area
DE102010037746B4 (en) * 2010-09-23 2013-01-24 Carl Mahr Holding Gmbh Method for optically sensing an edge in or on a surface area
US9280721B2 (en) 2010-09-23 2016-03-08 Carl Mahr Holding Gmbh Method for optically scanning an edge in or on a surface region
WO2019007568A1 (en) * 2017-07-03 2019-01-10 Volume Graphics Gmbh METHOD FOR DETERMINING UNSECURITIES IN MEASUREMENT DATA FROM A MEASUREMENT OF AN OBJECT
US11430099B2 (en) 2017-07-03 2022-08-30 Volume Graphics Gmbh Method for determining uncertainties in measurement data of an object using superimposed statistical noise
DE102018218095B4 (en) 2018-09-28 2022-01-13 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Procedure for edge determination of a measurement object in optical metrology and coordinate measuring machine

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008087104A1 (en) 2008-07-24
EP2115695A1 (en) 2009-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2040026B1 (en) Method and system for calibrating an apparatus for measuring the shape of a reflective surface
DE102007003060A1 (en) Method for determining the quality of a measuring point in edge detection in optical length measuring technology
EP2619525B1 (en) Method for optically scanning an edge in or on a surface region
EP2101143A1 (en) Method and device for recording the shape of transparent refractive objects
DE102014106837A1 (en) Drift compensation / parallel minimization
EP2865988A1 (en) Shape measuring light sensor
WO2020221818A1 (en) Gear inspection method and device
DE102014106839B4 (en) Drift compensation for an electronic pen
EP2578988A1 (en) Scanning white-light interferometer and method for spatially resolved optical measurement of the surface geometry of an object
DE112021000951T5 (en) lidar detection arrays
DE19953063A1 (en) Method for three-dimensional optical measurement of object surfaces
DE4125688C2 (en) Distance detection device
DE102007017649A1 (en) A method for determining the focal position of at least two edges of structures on a substrate
DE102017116869A1 (en) Device for determining highly loaded positions in a machine tool
DE102011000088A1 (en) Method for determining structures and/or geometry of workpiece, involves defining path to be passed and/or sequence of executions for specified range and/or fixed amount of measuring points and/or measuring elements
EP3795942B1 (en) Device and method for inspecting flat objects and for detecting boundary layers of said objects
DE4444661B4 (en) Method for non-contact measurement of speed
DE102008062043A1 (en) Method and system for checking the accuracy of a sensor
DE102014204683A1 (en) Method and control device for calibrating an acceleration sensor
EP1843132B1 (en) Method for initialising a position measurement system
DE102020209843B3 (en) Method for determining a distance between a cleaning robot and an obstacle
DE10328145A1 (en) Imaging characteristics measuring method for transparent object e.g. optical component, using light transmitted through object for providing images of spaced raster structures at receiver
EP3798570B1 (en) Optical measuring system and method for calibrating an optical measuring system, and calibration object for an optical measuring system
DE4408864C1 (en) Distant transversal target speed determn. method for e.g. tank warfare simulation
DE102021209296A1 (en) Method for determining the movement of an object equipped with at least one video camera for image capture

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU, 98693 ILMENAU, DE

Owner name: CARL MAHR HOLDING GMBH, 37073 GOETTINGEN, DE

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU, 98693 ILMENAU, DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final