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Die
Erfindung betrifft ein Speichermedium mit einer optisch veränderbaren
Speicherschicht sowie ein Verfahren zum Einschreiben eines Lithogramms
in ein Speichermedium.
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Aus
dem Stand der Technik sind Speichermedien bekannt, die eine optisch
veränderbare Speicherschicht aufweisen, in die also durch Änderung
einer optischen Eigenschaft der Speicherschicht Information eingeschrieben
werden kann. Dabei kann beispielsweise eine Änderung der
Reflektivität, der Transmission, der Absorption, des Streuverhaltens, eine Änderung
der Phase des reflektierten Lichtes oder eine Kombination dieser
Effekte ausgenutzt werden. Das Einschreiben der Information in die Speicherschicht
erfolgt üblicherweise mittels eines Schreibstrahls, wodurch
es möglich ist, Information individuell in das Speichermedium
einzuschreiben. Als Information können beispielsweise Daten,
Logos, Produktkennzeichnungen, (computergenerierte) Hologramme,
Mikrobilder, Mikroschriften aber auch Lithogramme in die Speicherschicht
eingeschrieben werden. Als Lithogramm wird eine optische Struktur bezeichnet,
die jedenfalls ein Hologramm, insbesondere ein computergeneriertes
Hologramm, aufweist, bevorzugt aber weitere (Sicherheits-)Merkmale
wie Logos, Seriennummern, Farbeffekte beispielsweise in Form von
Mikrobildern oder Mikroschrift enthält.
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Computergenerierte
Hologramme bestehen aus einer oder mehreren Schichten von Punktematrizen
beziehungsweise Punkteverteilungen, die bei einer Beleuchtung mit
einem vorzugsweise kohärenten Lichtstrahl zu einer Rekonstruktion
der in dem Hologramm einkodierten Information führen. Anstelle
des Einbringens einer Punkteverteilung kann dies auch als linienartige
Struktur erfolgen, bei der die Übergänge der einzelnen
Punkt ineinander fließend sind. Mit dem menschlichen Auge
erscheint die Struktur daher linienartig. Im Folgenden wird unter
dem Begriff der Punktverteilung auch eine derartige Linienstruktur verstanden.
Die Punkteverteilung kann dabei beispielsweise als Amplitudenhologramm,
Phasenhologramm oder als Kinoform-, Fresnel- oder Fourier-Hologramm
berechnet sein. Zur Herstellung von computergenerierten Hologrammen
werden diese zuerst berechnet und anschließend mit einer
geeigneten Schreibvorrichtung durch punktweises Einbringen von Energie
in ein Speichermedium eingeschrieben. Die Auflösung der
dabei entstehenden Punktematrix kann im Bereich bis unterhalb von
1 µm liegen. Somit können auf engem Raum Hologramme
mit einer hohen Auflösung geschrieben werden, deren Information
erst durch Beleuchten mit einem Lichtstrahl und Rekonstruieren des
Beugungsbildes ausgelesen werden kann. Die Größe
der Hologramme kann dabei zwischen weniger als 1 mm2 und
mehreren cm2 betragen.
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Ein
großer Vorteil der computergenerierten Hologramme liegt
darin, dass jedes Hologramm ohne großen Aufwand individuell
berechnet werden kann. Somit können in Serie Hologramme
erzeugt werden, die beispielsweise fortlaufende Nummern oder Produktionsparameter
beinhalten. Derartige Hologramme können daher insbesondere
als Sicherheitsmerkmale oder in der Logistik zur Produktverfolgung
auf Verpackungen, Kreditkarten, Eintrittskarten oder Ähnlichem
eingesetzt werden. Mit einer geeigneten Auslesevorrichtung können
die Sicherheitsmerkmale des Hologramms ausgelesen und die Authentizität und
Individualität des Sicherheitsmerkmals kann in einfacher
Weise überprüft werden.
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Aus
dem Stand der Technik sind des weiteren eine Mehrzahl von Schreibvorrichtungen
zum Schreiben von computergenerierten Hologrammen bekannt, die in
die Speicherschicht eines Speichermediums die optischen Strukturen
der Hologramme einschreiben (
WO
02/079881 ,
WO 03/012549 ).
Derartige Schreibvorrichtungen werden auch als Laserlithographen
oder als lithographische Systeme bezeichnet.
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Ebenso
sind eine Mehrzahl von Lesevorrichtungen bekannt, die geeignet sind,
durch Beleuchten der Hologrammfläche mittels eines Lichtstrahls
und einer geeigneten Optik die Rekonstruktion sichtbar oder mittels
Aufnahmemitteln elektronisch darstellbar und auswertbar zu machen
(
DE 101 37 832 ,
WO 2005/111913 ).
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Bei
Speichermedien besteht häufig Unsicherheit darüber,
ob die auf dem Speichermedium gespeicherte Information der Originalinformation
entspricht und/oder ob es sich bei dem Speichermedium um ein originales
Speichermedium handelt. Weder eine Manipulation der Information
noch eine Kopie des Speichermediums kann ohne weiteres erkannt werden.
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Es
ist daher bekannt als Sicherheitsmerkmale Strukturen zu verwenden,
die sichtbares Licht beugen, wie z. B. Hologramme. Die Fälschung
derartiger Sicherheitsmerkmale erfordert einen erheblichen technischen
Aufwand, da die Strukturgrößen im Bereich der
optischen Wellenlänge liegen. Derartige Strukturen sind
meist als reflektierende Strukturen realisiert. Sie können
aber auch als transmittiv beobachtbare/auslesbare Strukturen realisiert
sein.
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Zur
Erhöhung der Sicherheit von Kreditkarten werden diese mit
Hologrammen versehen, die einen Kippeffekt aufweisen, d. h. unter
unterschiedlichen Betrachtungswinkeln einen Farbeffekt hervorrufen.
Diese Hologramme werden in das Speichermedium eingeprest, eine individuelle
Gestaltung ist dabei nicht vorgesehen.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Speichermedium
mit einem individuell gestaltbaren Lithogramm anzugeben, das einen
erhöhten Manipulationsschutz gewährleistet. Ferner
soll ein Verfahren angegeben werden, um ein derartiges Lithogramm
in ein Speichermedium einzubringen.
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Die
Erfindung löst das zuvor erläuterte Problem bei
einem Speichermedium mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch
1 durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1. Eine
nebengeordnete Lösung stellt ein Verfahren gemäß Anspruch
11 bereit. Bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand
der jeweiligen Unteransprüche.
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Die
Lösung des Problems wird nach der Erfindung dadurch erreicht,
dass die Form, beispielsweise die äußere Gestalt,
und/oder die Ausprägung, beispielsweise die Intensität,
der Belichtungspunkte des Lithogramms gezielt variiert ist. Durch
eine solche gezielte Variation wird eine Sicherheitsstruktur in das
Lithogramm zusätzlich zu dem bereits vorhandenen Hologramm
eingebracht. Diese Sicherheitsstruktur ist unter einem ersten Betrachtungswinkel,
unter dem üblicherweise gespeicherte Information ausgelesen
wird, nicht erkennbar, wohl aber unter einem zweiten Betrachtungswinkel.
Erkennbar wird die Sicherheitsstruktur beispielsweise durch eine
(bereichsweise) Farbänderung bis hin zu keiner sichtbaren
Intensität in einem Bereich oder eine Invertierung des
Erscheinungsbildes. In dem Winkelbereich zwischen erstem und zweitem
Betrachtungswinkel wird die Sicherheitsstruktur mit zunehmendem
Winkel immer deutlicher erkennbar.
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Für
die erfindungsgemäße Sicherheitsstruktur wird
der physikalische Effekt der Beugung an den Belichtungspunkten des
Lithogramms genutzt. Aufgrund der Überlagerung der an verschiedenen
Belichtungspunkten gebeugten Wellen ist für die zu beobachtende
Intensität nur die Einhüllende dieser Wellen maßgeblich.
Deren Intensität verändert sich mit zunehmendem
Winkel von der nullten Beugungsordnung und nimmt ausgehend von der
nullten Beugungsordnung zunächst ab. Dieser Effekt wird
als Randwertabfall bezeichnet. Die Ausprägung des Randwertabfalls
ist von der Form und Ausprägung der Belichtungspunkte abhängig.
Dabei gilt, dass je kleiner die Punktgröße ist,
desto „geringer" ist der Randwertabfall; der Nulldurchgang
des Verlaufs der Einhüllenden verschiebt sich also zu größeren
Winkeln. Der Erfindung liegt daher die Idee zugrunde durch eine
gezielte Steuerung der Form und/oder Ausprägung der Belichtungspunkte
einen variierenden Randwertabfall zu generieren und dadurch eine zusätzliche
Sicherheitsstruktur in das Lithogramm einzubringen, die nur unter
bestimmten Betrachtungswinkeln erkennbar ist. Die Variation der Punktausprägung
ist beispielsweise durch die Beleuchtungsintensität des
einzelnen Belichtungspunktes beim Schreibvorgang steuerbar.
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Durch
die vorliegende Erfindung wird eine Möglichkeit bereitgestellt,
bei individuellen Lithogrammen eine Änderung des Erscheinungsbildes
bei verändertem Betrachtungswinkel hervorzurufen. Die Änderung
des Erscheinungsbildes kann beispielsweise darin liegen, dass einzelne
Bereiche des Lithogramms bei geändertem Betrachtungswinkel
farblich verändert oder gar nicht mehr erkennbar sind.
In letzterem Fall ist also die Intensität der Einhüllenden
des reflektierten oder transmittierten Lichtes bei dem jeweiligen
Betrachtungswinkel im Idealfall Null. Durch die Änderung
des Erscheinungsbildes kann in dem Lithogramm insgesamt eine zusätzliche
Struktur, beispielsweise in Form eines Logos oder einer Buchstaben-/Zahlenkombination
oder dergleichen, sichtbar werden.
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Das
Einbringen einer derartigen Sicherheitsstruktur war bei individuell
mittels eines Schreibstrahls eingeschriebenen Lithogrammen bisher
nicht möglich, da eine solche zusätzliche Sicherheitsstruktur
einen sehr genau kontrollierten Belichtungsprozess erfordert. Die
Kontrolle des Belichtungsprozesses mit der notwendigen Genauigkeit
ist mit einem Laserlithographen gemäß der
DE 10 2006 015 609 realisierbar,
deren Offenbarungsgehalt hier vollumfänglich eingeschlossen
wird. Die hohen Anforderungen an die Kontrolle des Belichtungsprozesses
dienen einer erhöhten Sicherheit des Speichermediums, da
dieses nicht beliebig kopierbar ist. Die Kontrolle des Belichtungsprozesses
erfordert Genauigkeiten im Sub-µm-Bereich.
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In
bevorzugter Ausgestaltung weist das Lithogramm mindestens zwei Bereiche
auf, innerhalb derer die Form und Ausprägung der Belichtungspunkte
jeweils im Wesentlichen konstant ist. Die Form und Ausprägung
der Belichtungspunkte eines der beiden Bereiche unterscheidet sich
jedoch von der Form und Ausprägung der Belichtungspunkte des
anderen Bereiches. Für die beiden Bereiche wird dabei ein
unterschiedlicher Randwertabfall erzielt, so dass die Einhüllende
eines der beiden Bereiche mit zunehmendem Betrachtungswinkel zunächst
schneller abfällt als die Einhüllende des anderen
Bereichs. In bevorzugter Ausgestaltung erreicht die Einhüllende
eines Bereichs bei einem durch die Belichtungspunkte definierten
Betrachtungswinkel bereits eine Nullstelle, d. h. dieser Bereich
ist nicht mehr erkennbar oder erscheint dunkler, während
die Einhüllende des anderen Bereichs bei demselben Betrachtungswinkel
noch keine Nullstelle erreicht hat, d. h. der Bereich auch weiterhin
erkennbar ist bzw. heller erscheint. Mit weiter zunehmendem Betrachtungswinkel
invertiert sich dieser Effekt. Je nach Betrachtungswinkel ist somit
nur einer der beiden Bereiche zu erkennen, da die Intensität
der beugenden Struktur in dem anderen Bereich eine Nullstelle aufweist. Bei
einem Winkel nahe der nullten Beugungsordnung hingegen sind beide
Bereiche mit im Wesentlichen der gleichen Intensität sichtbar,
die Sicherheitsstruktur ist für den Betrachter unter diesem
Winkel folglich nicht zu sehen.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung sind die Belichtungspunkte
in dem Lithogramm jeweils elliptisch ausgebildet. Die elliptische
Ausgestaltung ermöglicht insbesondere ein neutrales Intensitätsbild
in Transmission, da die belichtete Fläche trotz unterschiedlichen
Randwertabfalls für derartige Belichtungspunkte identisch
sein kann. Die Sicherheitsstruktur ist dann in Transmission, also
bei nicht beugender Betrachtung, nicht erkennbar. Durch die elliptische
Ausgestaltung wird zudem der Effekt erzielt, dass durch eine Drehung
des Lithogramms in der Ebene der Verlauf des Randwertabfalls verändert wird.
Bei einer Drehung um etwa 90° invertiert sich das zu beobachtende
Bild infolge dessen.
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Vorzugsweise
sind die Belichtungspunkte in zwei Bereichen des Lithogramms elliptisch
ausgebildet und innerhalb der jeweiligen Bereiche im Wesentlichen
konstant. Die Hauptachsen der elliptischen Belichtungspunkte der
beiden Bereiche weisen dabei einen Winkel, vorzugsweise von etwa
90°, zueinander auf. Dies hat zur Folge, das, wie bereits
zuvor erläutert, die Sicherheitsstruktur bei nicht beugender Betrachtung
nicht erkennbar ist, durch eine entsprechende Anordnung der beiden
Bereiche jedoch praktisch jedes beliebige Muster als Sicherheitsstruktur erzielt
werden kann. Zudem ist die Erzeugung reproduzierbarer elliptischer
Belichtungspunkte mit dem Laserlithographen gemäß der
DE 10 2006 015 609 besonders
gut realisierbar.
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Weiter
vorteilhaft ist es, wenn die Sicherheitsstruktur in das Hologramm
integriert ist. Das Hologramm vereint dann mehrere Sicherheitsmerkmale,
wodurch eine Nachahmung und Fälschung weiter erschwert
wird. In bevorzugter Ausgestaltung ist dabei unter dem ersten Betrachtungswinkel
das Hologramm mit einer entsprechenden Lesevorrichtung auslesbar.
Unter dem zweiten Betrachtungswinkel ist die zusätzliche
Sicherheitsstruktur insbesondere auch ohne eine solche Lesevorrichtung
erkennbar.
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Weiter
bevorzugt ist es, dass der erste Betrachtungswinkel im Wesentlichen
senkrechter Betrachtung, also etwa 0° bezogen auf die Senkrechte zur
Speicherebene, entspricht. Die Betrachtung des Hologramms erfolgt
also in Transmission oder Reflektion.
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Ferner
kann vorgesehen sein, dass die Sicherheitsstruktur nicht nur unter
dem zweiten Betrachtungswinkel erkennbar ist, sondern auch unter einem
dritten Betrachtungswinkel. Unter diesem Betrachtungswinkel ist
die Sicherheitsstruktur gegenüber der Betrachtung unter
dem zweiten Betrachtungswinkel invertiert.
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In
weiter bevorzugter Ausgestaltung ist unter dem zweiten Betrachtungswinkel
einer der beiden Bereiche unsichtbar, d. h. es wird keine Intensität
reflektiert beziehungsweise transmittiert, und unter einem dritten
Betrachtungswinkel ist der zweite Bereich unsichtbar oder erscheint
dunkler, der erste Bereich jedoch wieder sichtbar bzw. erscheint
heller. Bei der Ausgestaltung der Sicherheitsstruktur als Hologramm
ist also unter einem ersten Betrachtungswinkel das Hologramm auslesbar,
unter einem zweiten Betrachtungswinkel ein Bereich sichtbar, der
andere hingegen nicht, und unter einem dritten Betrachtungswinkel
der zweite Bereich sichtbar, der erste hingegen nicht.
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Als
erster Betrachtungswinkel eignet sich insbesondere der Winkel, der
der ersten Beugungsordnung entspricht. Die Betrachtung kann beispielsweise
aber auch bei senkrechtem Lichteinfall als senkrechte Betrachtung
oder bei schrägem Lichteinfall unter dem jeweiligen Reflektionswinkel
erfolgen. Der zweite Betrachtungswinkel liegt in bevorzugter Ausgestaltung
im Bereich von etwa 25° bis etwa 65°, vorzugsweise
zwischen etwa 30° und etwa 50°. Sofern nur der
zweite Betrachtungswinkel vorgesehen ist, um die Sicherheitsstruktur
zu erkennen/auszulesen wird der zweite Betrachtungswinkel vorzugsweise
etwas größer, d. h. zwischen etwa 40° und
etwa 65° gewählt. Sofern ein zweiter und ein dritter
Betrachtungswinkel vorgesehen sind, wird der zweite Betrachtungswinkel
bevorzugt etwas kleiner gewählt, d. h. zwischen etwa 25° und
etwa 40°. Der dritte Betrachtungswinkel liegt dann vorzugsweise
im Bereich von etwa 40° bis etwa 80°, weiter vorzugsweise
zwischen etwa 40° und etwa 65°.
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Eine
nebengeordnete Lösung stellt ein Verfahren zum Einschreiben
eines Lithogramms in ein Speichermedium gemäß Anspruch
11 dar. Bei diesem Verfahren ist wesentlich, dass das Lithogramm punktweise,
worunter hier ebenfalls auch ein linienartiges Einschreiben verstanden
wird, in das Speichermedium eingeschrieben wird, beispielsweise
mittels eines Laserlithographen gemäß der
DE 10 2006 015 609 .
Die Einbringung der Belichtungspunkte erfolgt reproduzierbar, d.
h. mehrere Belichtungspunkte können mit im Wesentlichen
gleicher Form und Ausprägung in das Speichermedium eingeschrieben werden.
Bei den erfindungsgemäßen Verfahren werden die
Belichtungspunkte hinsichtlich ihrer Form und/oder Ausprägung
gezielt variiert. Die Variation der Belichtungspunkte erfolgt dabei
so, dass die Anordnung dieser Belichtungspunkte eine Sicherheitsstruktur
darstellt, die unter einem ersten Betrachtungswinkel nicht erkennbar
ist, wohl aber unter einem zweiten Betrachtungswinkel. Durch diese
zusätzliche Sicherheitsstruktur in dem Lithogramm wird die
Fälschung eines solchen Lithogramms erschwert. Das Lithogramm
selbst ist jedoch nach wie vor individuell gestaltbar, insbesondere
kann auch die zusätzliche Sicherheitsstruktur auf den Inhalt
des Hologramms abgestimmt sowie individuell gestaltet sein.
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In
bevorzugter Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Verfahrens werden die Belichtungspunkte bereichsweise mit im Wesentlichen
konstanter Form und Ausprägung eingeschrieben. Zudem werden
im Wesentlichen konstante Belichtungspunkte in mindestens zwei verschiedene
Bereiche eingeschrieben, wobei sich die Belichtungspunkte der unterschiedlichen
Bereiche in Form und/oder Ausprägung unterscheiden. Dadurch
ist es möglich, die Sicherheitsstruktur derart in das Speichermedium
einzubringen, dass diese bei nicht beugender Betrachtung nicht erkennbar
ist, sich bei Betrachtung unter dem zweiten Betrachtungswinkel jedoch
ein verborgenes Muster in dem Lithogramm aufzweigt.
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Ferner
ist es bevorzugt, dass elliptische Belichtungspunkte in das Speichermedium
eingeschrieben werden. Das Einschreiben elliptischer Belichtungspunkte
ist verfahrenstechnisch eine relativ einfache Variante, die Form
und/oder Ausprägung der einzelnen Belichtungspunkte gezielt
zu variieren.
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In
weiter bevorzugter Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Verfahrens werden die elliptischen Belichtungspunkte in den zwei
Bereichen beim Einschreiben mit ihren Hauptachsen in einem Winkel, vorzugsweise
von etwa 90°, zueinander angeordnet. Dadurch werden die
Vorteile der elliptischen Belichtungspunkte und der zwei Bereiche,
wie bereits zuvor beschrieben wurde, zusammen erzielt.
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Verfahrenstechnisch
ist es weiter bevorzugt, dass die Sicherheitsstruktur in das Hologramm
integriert wird. Dadurch kann der Schreibvorgang verkürzt
werden, da beim Einschreiben des Lithogramms mit einem Laserlithographen
dieser nur über die Hologrammfläche gerastert
werden muss. Zugleich erhöht die Kombination aus Hologramm
und zusätzlicher Sicherheitsstruktur aber auch die Komplexität
des Lithogramms, wodurch eine Nachahmung erschwert wird.
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Weitere
Einzelheiten, Merkmale und Ziele der Erfindung werden nachfolgend
anhand einer Zeichnung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher
erläutert. In der Zeichnung zeigt
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1 eine
schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen
Speichermediums mit einzelnen Belichtungspunkten des Lithogramms,
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2 das
Lithogramm aus 1 bei unterschiedlichen Betrachtungswinkeln
mit zugehörigem Intensitätsdiagramm der Einhüllenden
in Abhängigkeit von dem Betrachtungswinkel.
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1 zeigt
ein Speichermedium (
1) mit einer optisch veränderbaren
Speicherschicht. In die Speicherschicht ist ein Lithogramm (
2)
eingebracht, hier nämlich mit einem Laserlithographen gemäß der
DE 10 2006 015 609 punktweise
eingeschrieben. Einzelne Belichtungspunkte (
3) sind in
1 schematisch gezeigt.
Bei dem Lithogramm (
2) handelt es sich um ein Hologramm,
wobei zusätzlich noch weitere Sicherheitsmerkmale wie Logos,
Seriennummern, Farbeffekte und dergleichen vorgesehen sein können. Das
Lithogramm (
2) weist zudem eine Sicherheitsstruktur auf,
die unter einem ersten Betrachtungswinkel nicht erkennbar ist, sondern
erst bei Betrachtung unter einem zweiten Betrachtungswinkel erkennbar wird.
Bei der Sicherheitsstruktur handelt es sich insofern um einen Kippeffekt,
der eine Änderung des Erscheinungsbildes bei verändertem
Betrachtungswinkel bewirkt. Diese Sicherheitsstruktur kann aufgrund des
punktweisen Einbringens des Lithogramms (
2) in die Speicherschicht
individuell ausgestaltet sein.
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Aus 1, 2 sind
zwei unterschiedliche Bereiche A, B in dem Lithogramm ersichtlich.
Beide Bereiche A, B weisen Belichtungspunkte (3) auf, die innerhalb
des jeweiligen Bereichs im Wesentlichen die gleiche Form und Ausprägung
aufweisen, im gezeigten Ausführungsbeispiel nämlich
eine elliptische Form. Ferner ist zu sehen, dass die elliptischen
Belichtungspunkte (3) des jeweiligen Bereichs A, B mit ihren
Hauptachsen zu den Hauptachsen der Belichtungspunkte (3)
des jeweils anderen Bereichs B, A einen Winkel von etwa 90° einnehmen.
Dies hat zur Folge, dass die Sicherheitsstruktur bei einer nicht beugenden
Betrachtung des Lithogramms (2), beispielsweise in Transmission,
nicht erkennbar ist (2a), da die belichtete
Fläche der Belichtungspunkte (3) der beiden Bereiche
A, B identisch ist.
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Aufgrund
der unterschiedlichen Ausgestaltung der Belichtungspunkte der beiden
Bereiche A, B weist die jeweils Einhüllende bei beugender
Betrachtung eine unterschiedliche Winkelabhängigkeit auf, wie
in 2 dargestellt ist. Die Einhüllende des
Bereichs A weist eine Winkelabhängigkeit gemäß Kurve 1,
die Einhüllende des Bereichs B eine Winkelabhängigkeit
gemäß Kurve 2 in 2 auf. Aus
dem jeweiligen Kurvenverlauf wird deutlich, dass zunächst
ein Betrachtungsbereich existiert, in dem beide Kurven 1, 2 im
Wesentlichen die gleiche Intensität aufweisen, d. h. die
beiden Bereich A, B gleichzeitig sichtbar sind (2a).
In der hier gezeigten und insofern bevorzugten Ausgestaltung entspricht
dieser erste Betrachtungswinkel, bei dem idealer Weise dieselbe
Intensität aus den beiden Bereiche A, B vorliegt, einer senkrechten
Betrachtung. Die Betrachtung erfolgt also in Transmission oder Reflexion.
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Mit
zunehmendem Betrachtungswinkel sinkt die Intensität der
Einhüllenden des Bereichs B schneller als die Intensität
der Einhüllenden des Bereichs A. Bei einem zweiten Betrachtungswinkel,
der hier etwa 40° beträgt, ist nur noch der Bereich
A sichtbar, die Intensität der Einhüllenden des
Bereichs B hingegen ist auf 0 abgesunken. Bei diesem zweiten Betrachtungswinkel
ist nun die Sicherheitsstruktur des Lithogramms (2) gut
erkennbar (2b). Vergrößert
sich nun der Betrachtungswinkel weiter, sinkt die Intensität
der Einhüllenden des Bereichs A auf 0 ab, wohingegen sich
die Intensität der Einhüllenden des Bereichs B
wieder erhöht. Idealer Weise sind die Form und/oder Ausprägung
der Belichtungspunkte der beiden Bereiche so aufeinander abgestimmt, dass
die Intensität des Bereichs B bei dem Betrachtungswinkel
ein lokales Maximum aufweist, bei dem die Intensität der
Einhüllenden des Bereichs A auf 0 abgesunken ist, wie dies
in 2 erkennbar ist. Bei diesem dritten Betrachtungswinkel,
der hier etwa 60° entspricht, ist die Sicherheitsstruktur
invertiert erkennbar (2c).
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - WO 02/079881 [0005]
- - WO 03/012549 [0005]
- - DE 10137832 [0006]
- - WO 2005/111913 [0006]
- - DE 102006015609 [0015, 0018, 0024, 0032]