DE102006058819B4

DE102006058819B4 - Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück

Info

Publication number: DE102006058819B4
Application number: DE200610058819
Authority: DE
Inventors: Matthias Dipl.-Math.techn. Mahnke; Frank Dipl.-Ing. Skovgaard-Sörensen (FH)
Original assignee: Siltronic AG
Current assignee: Siltronic AG
Priority date: 2006-12-13
Filing date: 2006-12-13
Publication date: 2010-01-28
Anticipated expiration: 2026-12-14
Also published as: DE102006058819A1

Abstract

Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück, welches eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das über eine, auf der Umfangsfläche des Werkstücks aufgebrachte, Sägeleiste auf einem Tisch befestigte Werkstück durch eine senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbewegung zwischen dem Tisch und dem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung durch das von einem mehrfach über Umlenkrollen gewickelten Sägedraht gebildete Drahtgatter geführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der Sägeleiste gegenüberliegenden Seite der Umfangsfläche des Werkstücks eine Vorverschleißleiste befestigt ist, die vor dem Eindringen des Sägedrahtes des Drahtgatters in das Werkstück durch dieses Drahtgatter geführt und zerspant wird und die so dimensioniert ist, dass zur Zerspanung des Querschnitts der Vorverschleißleiste wenigstens die gesamte Drahtlänge der nachfolgend beim Sägen des Werkstücks genutzten Drahtgatterwicklungen benötigt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück mittels einer Drahtsäge.
Drahtsägen sind beispielsweise geeignet, eine Vielzahl von Halbleiterscheiben, Solarwafer und andere Kristallwafer in einem Arbeitsgang von einem Kristallstück abzutrennen.
In US-5,771,876 ist das Funktionsprinzip einer derartigen Drahtsäge beschrieben.
Drahtsägen besitzen ein Drahtgatter, das von einem Sägedraht gebildet wird, der dazu um zwei oder mehrere Drahtführungs- bzw. Umlenkrollen gewickelt ist.
Der Sägedraht kann mit einem Schneidbelag belegt sein.
Bei Verwendung von Drahtsägen mit Sägedraht ohne fest gebundenes Schneidkorn wird Schneidkorn in Form einer Suspension („Slurry”) während des Abtrennvorganges zugeführt.
Beim Abtrennvorgang durchdringt das auf einem Tisch befestigte Werkstück das Drahtgatter, in dem der Sägedraht in Form parallel nebeneinander liegender Drahtabschnitte angeordnet ist. Die Durchdringung des Drahtgatters wird mit einer Vorschubeinrichtung des Tisches bewirkt, die das Werkstück gegen das Drahtgatter oder das Drahtgatter gegen das Werkstück führt.
Üblicherweise ist das Werkstück auf seiner Umfangsfläche mit einer Sägeleiste verbunden, in die der Sägedraht nach Durchtrennen des Werkstücks einschneidet.
Die Sägeleiste kann beispielsweise eine Graphitleiste sein, die auf der Umfangsfläche des Werkstücks aufgeklebt oder aufgekittet ist. Das Werkstück mit der Sägeleiste wird schließlich auf dem Tisch aufgekittet.
Die abgetrennten Scheiben bleiben nach dem Abtrennen wie die Zähne eines Kammes auf der Sägeleiste fixiert und können so aus der Drahtsäge genommen werden. Später wird die verbliebene Sägeleiste von den Scheiben abgelöst.
JP 20060001034 A offenbart ein Drahtsägeverfahren, bei dem auf der der Sägeleiste gegeüberliegenden Seite eine zweite, stoßabsorbierende Leiste besfestigt ist, in die der Draht zuerst einschneidet, was zu einer Verbesserung der Welligkeit der gesägten Scheiben führt.
In EP 0 798 090 A2 ist offenbart, zu Beginn des Sägevorgangs und bei kleinen Einschnittlängen mit dünnerem Draht zu sägen und bei größeren Einschnittlängen dickeren Sägedraht zu verwenden.
US 2003/0047177 A1 beansprucht ein Drahtsägeverfahren, bei dem der zu zersägende Stab mit einer Schicht aus Keramik, Glas, Polymer, Epoxidharz o. a. beaufschlagt ist, was zu einer Erhöhung der Schnittgenauigkeit- und geradheit im Bereich der äusseren Schneidspalte führt.
Bei den beschriebenen Verfahren gemäß Stand der Technik treten bei einem Teil der abgetrennten Scheiben erhöhte totale Dickenvarianzen (TTV, „total thickness variation”) auf. Im Stand der Technik waren Ursachen hierfür nicht bekannt, demzufolge auch keine Ansätze zur Lösung dieses Problems.
Daher bestand die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück bereitzustellen, bei dem unterschiedliche Dickenvarianzen der abgetrennten Scheiben vermieden werden.
Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück, welches eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das über eine, auf der Umfangsfläche des Werkstücks aufgebrachte, Sägeleiste auf einem Tisch befestigte Werkstück durch eine senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbewegung zwischen dem Tisch und dem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung durch das von einem mehrfach über Umlenkrollen gewickelten Sägedraht gebildete Drahtgatter geführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der Sägeleiste gegenüberliegenden Seite der Umfangsfläche des Werkstücks eine Vorverschleißleiste befestigt ist, die vor dem Eindringen des Sägedrahtes des Drahtgatters in das Werkstück durch dieses Drahtgatter geführt und zerspant wird und die so dimensioniert ist, dass zur Zerspanung des Querschnitts der Vorverschleißleiste wenigstens die gesamte Drahtlänge der nachfolgend beim Sägen des Werkstücks genutzten Drahtgatterwicklungen benötigt wird.
Bei dem Werkstück handelt es sich vorzugsweise um einen zylindrischen Einkristall aus Silicium.
Das Verfahren ist jedoch auch zum Zersägen von nichtzylindrischen Kristallblöcken geeignet, die eine Umfangsfläche beinhalten, also z. B. von Kristallblöcken, die einen quadratischen oder rechteckigen Querschnitt aufweisen.
Als Werkstückmaterial sind Halbleitermaterialien wie z. B. Silicium, Germanium, Galliumarsenid geeignet. Es kann sich dabei auch um polykristallines Material handeln.
Der Sägedraht kommt vorzugsweise von einer Spule und wird mehrfach (z. B. 300–400-mal) um Umlenkrollen gewickelt, so dass ein Drahtgatter entsteht, mit dem entsprechend viele Schnitte an einem Werkstück ausgeführt werden können. Am Ausgang des Drahtgatters wird der gebrauchte Draht vorzugsweise auf einer weiteren Spule aufgewickelt.
Der Draht vollführt vorzugsweise zyklisch Vor- und Rückwärtsbewegungen: Er läuft beispielsweise 300 m vorwärts und wieder 240 m rückwärts, also effektiv ca. 60 m pro Zyklus vorwärts.
Das Verfahren funktioniert in gleicher Weise auch bei Drahtsägeprozessen bei denen der Draht nur in eine Richtung bewegt wird.
Das Werkstück ist über eine Sägeleiste auf einem Tisch befestigt und wird senkrecht von oben in das Drahtgatter eingeführt.
Die Zustell- bzw. Vorschubgeschwindigkeit des Tisches wird vorzugsweise in Abhängigkeit von der Tischposition eingestellt.
Die Beträge der Vorwärts- und Rückwärtsbewegungen lassen sich ebenfalls in Abhängigkeit von der Tischposition variieren.
Die Erfinder haben im Rahmen der Erfindung erkannt, dass die im Stand der Technik beobachtete unterschiedliche Dickenvarianz insbesondere bei den drahtauslaufseitigen Sägespalten auftritt. Drahtauslaufseitig bedeutet in diesem Zusammenhang Sägespalte im Bereich der den Sägedraht aufnehmenden Spule. Das Drahtgatter wird bekanntlich aus mehrfach um Umlenkrollen gewickeltem Sägedraht gebildet, wobei der Sägedraht üblicherweise von einer abgebenden Spule abgewickelt und schließlich von einer aufnehmenden Spule wieder aufgewickelt wird.
Die beobachtete unterschiedliche Dickenvarianz im drahtauslaufseitigen Bereich hängt damit zusammen, dass zu Beginn des Schnittes (bei frisch gerüsteter Maschine) das gesamte Gatter aus unverschlissenem Draht besteht, in diesem Bereich aber im Laufe des Schnittes nur noch Draht ankommt, der schon in allen vorangegangenen Sägespalten Zerspanungsarbeit geleistet hat und infolge von Drahtverschleiß dünner ist als zu Beginn des Schnittes. Eine Scheibe zwischen diesen drahtauslaufseitigen Sägespalten wird im Einschnittsbereich entsprechend dünner als im späteren Verlauf des Schnittes.
Im ersten drahteinlaufseitigen Sägespalt kommt also während des gesamten Sägeprozesses immer neuer unverschlissener Draht von einer Drahtspule. In allen weiteren Sägespalten kommt ab einer gewissen Einschnitttiefe T(n) nur noch Draht an, der an allen vorherigen Sägespalten bereits Zerspanarbeit geleistet hat, also schon entsprechend verschlissen ist. Diese Einschnitttiefe T(n) ist in jedem Sägespalt unterschiedlich und wächst mit größer werdender Sägespaltnummer n. Die Dicke des Drahtes und damit die Schnittbreite ändern sich also für die hinteren Sägespalte über die Schnittposition. Die resultierenden Scheiben der höheren Sägespaltnummern sind im Bereich des Einschnitts entsprechend dünner als im späteren Verlauf des Schnittes.
Erfindungsgemäß wird dies durch Anbringen einer Vorverschleißleiste auf der dem Drahtgatter zugewandten Seite der Umfangsfläche des zu zersägenden Werkstücks verhindert. Hierdurch wird der Draht derart vorverschlissen, dass sich bei Einschnitt in das Werkstück nur noch Draht auf dem Gatter befindet, der schon in allen vorangegangenen Sägespalten Zerspanungsarbeit geleistet hat. Dadurch kommt in jedem Sägespalt während des gesamten Sägevorgangs nur noch Draht einer wenigstens bezüglich der einzelnen Sägespalten gleich bleibenden Drahtstärke an das Werkstück. Damit wird die Dickenvarianz insbesondere der im drahtauslaufseitigen Bereich abgetrennten Scheiben gegenüber dem Stand der Technik verbessert.
Eine erfindungsgemäße, bei Einführung des Werkstückes von oben ins Sägegatter, unten an dem Werkstück angebrachte Vorverschleißleiste dient dazu, den Draht definiert vorzuverschleißen, so dass sich bei Einschnitt in das Werkstück nur noch Draht auf dem Gatter befindet, welcher alle vorhergehenden Sägespalte bereits in der Vorverschleißleiste passiert hat. Hierdurch wird die Dickenänderung des Drahtes in die Vorverschleißleiste verlagert. Die Dickenvarianz der Scheiben mit höheren Sägespaltnummern wird, in Vorschubrichtung gemessen, entsprechend verringert.
Die Dimensionierung der Vorverschleißleiste wird vorzugsweise in Abhängigkeit vom Verhältnis Drahtverschleiß im Vorverschleißleistenmaterial relativ zum Drahtverschleiß im Werkstückmaterial, von der Anzahl der Schnitte innerhalb des Werkstückes, von den Dimensionen des Drahtgatters sowie von der für den Prozess zur Verfügung stehenden Drahtlänge gewählt.
Vorzugsweise wird außerdem eine effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes so eingestellt, dass der Draht homogen über seine Länge verschleißt. Damit wird sichergestellt, dass ab der Einschnitttiefe T(n) nur noch Draht von gleichbleibender Drahtstärke bei Sägespaltnummer n ankommt.
Im alternierenden Prozess (Vorwärts- und Rückwärtsbewegung des Sägedrahtes) bewegt sich der Draht zu Beginn eines Zyklus' während der Zeitspanne Δt_ν um einen Weg Δx_ν nach vorn und direkt anschließend in der Zeitspanne Δt_r um einen Weg Δx_r zurück. Er legt also innerhalb einer Zykluszeit von Δt_z = Δt_ν + Δt_r einen Weg von Δx_z = Δ_ν – Δx_r zurück (vgl. 2).
Somit gilt für die effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes
die durch entsprechende Wahl der Vor- und Rückwärtsbewegungen gegeben ist.
Bei nichtalternierenden Prozessen entspricht die effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes der Drahtgeschwindigkeit (in eine Richtung, z. B. nur vorwärts).
Das Tischvorschubprofil ist im Sägerezept hinterlegt. Dies erfolgt durch Festlegung der angestrebten Zustellgeschwindigkeit in Abhängigkeit von der Tischposition y.
Ein zerspantes Volumen Z eines Sägespaltes ist durch die durchschnittliche Schnittbreite D und die vom Draht überstrichenen Fläche des Werkstückes gegeben. Für ein kreiszylindrisches Werkstück gilt beispielsweise: Z = D·2πR2
Bei einer gegebenen Tischposition y < R hat der Draht erst einen Teil der zu überstreichenden Fläche erreicht, nämlich einen Kreisabschnitt der Höhe h = y + R und eine Einschnittlänge, die durch
gegeben ist.
Für die überstrichene Fläche des Werkstückes in Abhängigkeit von der Tischposition gilt:
wobei l(y) die Eingriffslänge des Drahtes im Werkstück bei Tischposition y bezeichnet.
Die Zerspanrate z ., also der Abtrag pro Zeiteinheit, in Abhängigkeit von der Tischposition ist:
Der Verschleiß des Sägedrahtes wird durch Drahtabrieb und eine entsprechende Änderung des Durchmessers charakterisiert.
Allgemein gilt für den Verschleiß a an einer Drahtposition x:
Hierbei ist f eine Funktion, die vorzugsweise alle für den Verschleiß relevanten Faktoren an einer Tischposition beschreibt.
Vorzugsweise soll a(x) konstant, also unabhängig von x, gehalten werden.
Daher ist für die effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes folgender Zusammenhang bevorzugt:
Vorzugsweise wird aus dieser Bedingung zu jeder Tischposition eine optimierte effektive Drahtgeschwindigkeit bestimmt.
Die Ermittlung der optimalen effektiven Drahtgeschwindigkeiten erfolgt vorzugsweise dadurch, dass der Verschleiß des Sägedrahtes und dessen Abhängigkeiten von Sägeparametern bestimmt werden.
Vorzugsweise verhält sich der Verschleiß des Drahtes proportional zum zerspanten Volumen. Der Verschleiß des Drahtes ist also proportional zur überstrichenen Fläche (die Schnittbreite ist für jeden einzelnen Schnitt konstant):
Vorzugsweise besteht also zwischen der effektiven Geschwindigkeit des Sägedrahtes und dem Produkt aus Einschnittlänge und Vorschubgeschwindigkeit ein proportionaler Zusammenhang.
Zur erfindungsgemäßen Regelung der effektiven Drahtgeschwindigkeit wird vorzugsweise jeweils ein Vorwärts- und Rückwärtsprofil der Drahtbewegung festgelegt.
Zur Bestimmung der optimalen Dimensionierung der Vorverschleißleiste wird vorzugsweise folgendermaßen vorgegangen:
Der relative Verschleiß des Drahtes im Werkstück (z. B. Silicium), in der Sägeleiste (z. B. Kohle) und in der Vorverschleißleiste (vorzugsweise aus den Materialien Kohle oder Glas) wird mittels Korrekturfaktoren berücksichtigt, die vorzugsweise experimentell bestimmt werden.
Der Korrekturfaktor für die Vorverschleißleiste γ_V ergibt sich als das Verhältnis der Drahtlänge l_V, die zur Zerspanung des Vorverschleißleistenmaterials benötigt wird, zur Drahtlänge l_W, die zur Zerspanung eines gleichdimensionierten Stückes des Werkstückmaterials benötigt wird, bei gleichem Verschleiß des Drahtes.
Benötigt man beispielsweise zur Zerspanung von Glas etwa die doppelte Menge Draht bei gleichem Drahtverschleiß wie zur Zerspanung eines gleichdimensionierten Siliziumquerschnittes so ist γ_V = 2. Analog ergibt sich der Korrekturfaktor γ_K für die Sägeleiste.
Die Vorverschleißleiste wird vorzugsweise so dimensioniert, dass zur Zerspanung des effektiven Vorverschleißquerschnitts A mindestens die gesamte genutzte Gatterlänge L_G = NL₀ benötigt wird (L₀ bezeichnet die Länge einer Gatterumschlingung). Die gesamte genutzte Drahtlänge entspricht nicht notwendigerweise der gesamten Drahtlänge des Gatters.
Beispiel 1:
Bei einem über 4 Umlenkrollen mit Radius r = 50 mm geführten Gatter von 310 mm Breite und 310 mm Höhe ist eine Wicklung bzw. Umschlingung L₀ = 4·310 mm + 2πr = 1,27 m lang. Ist die Gatterdichte beispielsweise 1 Gatterumschlingung/mm sind bei einem Werkstück von 200 mm Länge N = 200 Gatterumschlingungen im Eingriff. In diesem Fall beträgt die genutzte Drahtlänge L_G = NL₀ = 254 m.
Für den effektiven Querschnitt der Vorverschleißleiste wird vorzugsweise folgende Bedingung gewählt:
Dabei entspricht L der Drahtlänge für den gesamten Schnitt. A entspricht der vom Sägedraht überstrichenen Fläche und setzt sich im Wesentlichen aus den Querschnitten von Vorverschleißleiste, Werkstück und Sägeleiste zusammen. A_V ist der Querschnitt der Vorverschleißleiste, A_T der Querschnitt der Vorverschleißleiste in Werkstückhöhe. A_W entspricht dem Querschnitt des Werkstücks, A_K dem Querschnitt des gesägten Teils der Sägeleiste (vgl. 3).
Bei den Querschnitten A_Y, A_T und A_K handelt es sich um effektive Querschnittsflächen, d. h. um die um die Faktoren γ_V und γ_K veränderten realen Querschnittsflächen.
Somit hat für den effektiven Querschnitt der Vorverschleißleiste vorzugsweise Bedingung zu gelten:
Hierbei ist der Querschnitt A_T „verschenkte Fläche”, sie sollte im Rahmen der technischen Randbedingungen (Klebefläche, „weicher Übergang” von Vorverschleißleiste ins Werkstück, etc.) möglichst klein gehalten werden.
Vorzugsweise gilt somit (für A_T ≈ 0):
Im Folgenden wird der Gegenstand der Erfindung anhand von Figuren veranschaulicht.
1 zeigt schematisch ein Kristallstück mit Drahtgatter, Drahteinlauf, -auslauf und Sägespalten.
2 zeigt Drahtvor- und Drahtrückwärtsbewegung sowie die effektive Bewegung des Sägedrahtes in einem alternierenden Prozess.
3 zeigt schematisch einen Werkstückquerschnitt mit Sägeleiste und Vorverschleißleiste.
1 zeigt ein Kristallstück 1 und ein frisch gerüstetes Drahtgatter sowie ein Drahtgatter im stationären Zustand.
Dargestellt sind Drahteinlauf, Drahtauslauf und Sägespalten. Im Stand der Technik weist der Draht im Bereich der drahtauslaufseitigen Sägespalten im stationären Zustand eine deutlich geringere Dicke auf als bei frisch gerüstetem Gatter, was damit zusammenhängt, dass der in diesem Bereich ankommende Sägedraht in allen vorangegangenen Sägespalten bereits Zerspanungsarbeit geleistet hat. Dies führt im Stand der Technik zu deutlich schlechteren Gesamtdickenvarianzen (TTV) der im Bereich des Drahtauslaufes abgetrennten Scheiben.
2 zeigt die Vorwärts- und Rückwärtsbewegung des Sägedrahtes in Form der zeitlichen Änderung der Drahtposition. Außerdem ist die effektive Drahtbewegung dargestellt, die aus diesen zyklischen Vorwärts- und Rückwärtsbewegungen resultiert. Die Beschleunigungsphasen wurden für die einfachere Darstellung nicht abgebildet
In 3 ist der Querschnitt eines Kristallstückes mit Radius R dargestellt, auf dem eine Sägeleiste und eine erfindungsgemäße Vorverschleißleiste befestigt sind. Aufgetragen ist auch die Position des Tisches, auf dem das Kristallstück mittels der Sägeleiste befestigt ist. Das Werkstück wird in der gezeigten Darstellung nach unten in ein Drahtgatter eingeführt. Schematisch veranschaulicht sind auch die Querschnitte des Werkstücks und der Sägeleiste, der effektive Querschnitt der Vorverschleißleiste A_V, dessen Höhe h sowie der Querschnitt der Vorverschleißleiste A_T in Werkstückhöhe.
Beispiel 2:
Für ein kreiszylindrisches Werkstück mit Radius R = 150 mm und 200 mm Länge, einer Sägeleiste mit 170 mm Breite sowie einem Schnittende 5 mm oberhalb des Werkstücks (vgl. 3) ergibt sich ein Werkstückquerschnitt von A_W = π·R² ≈ 70700 mm² und ein Querschnitt der zerspanten Sägeleiste von A_K ≈ 2290 mm². Soll dieses Werkstück mit den in Beispiel 1 gegebenen Gatterdimensionen mit einem Draht der Gesamtlänge L = 60 km gesägt werden, so ist als Mindestquerschnitt der Vorverschleißleiste zu wählen:
Bei γ_V = 1 ist eine Vorverschleißleiste mit einer Breite von 30 mm und einer Höhe von 12 mm geeignet. Bei einem entsprechend schwerer zu zerspanenden Material mit γ_V = 2 ist bereits eine Vorverschleißlseiste mit einer Höhe von 6 mm geeignet.

Claims

Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück, welches eine Längsachse und eine Umfangsfläche aufweist, wobei das über eine, auf der Umfangsfläche des Werkstücks aufgebrachte, Sägeleiste auf einem Tisch befestigte Werkstück durch eine senkrecht zur Längsachse gerichtete Relativbewegung zwischen dem Tisch und dem Drahtgatter einer Drahtsäge mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung durch das von einem mehrfach über Umlenkrollen gewickelten Sägedraht gebildete Drahtgatter geführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der Sägeleiste gegenüberliegenden Seite der Umfangsfläche des Werkstücks eine Vorverschleißleiste befestigt ist, die vor dem Eindringen des Sägedrahtes des Drahtgatters in das Werkstück durch dieses Drahtgatter geführt und zerspant wird und die so dimensioniert ist, dass zur Zerspanung des Querschnitts der Vorverschleißleiste wenigstens die gesamte Drahtlänge der nachfolgend beim Sägen des Werkstücks genutzten Drahtgatterwicklungen benötigt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtlänge der genutzten Drahtgatterwicklungen durch L_G = NL₀ gegeben ist, wobei L₀ der Länge einer einzelnen Drahtgatterwicklung und N der Zahl beim Sägen des Werkstücks im Eingriff befindlichen Drahtgatterwicklungen entspricht.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorverschleißleiste so dimensioniert ist, dass der relative Anteil ihres Querschnitts an der gesamten, vom Sägedraht überstrichenen Fläche, welche sich aus dem Querschnitt der Vorverschleißleiste, dem Querschnitt des Werkstücks und dem Querschnitt eines gesägten Teils der Sägeleiste zusammensetzt, mindestens dem relativen Anteil der Länge einer Drahtgatterwicklung an der gesamten Drahtlänge entspricht.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Sägedraht mit einer effektiven Geschwindigkeit bewegt und diese effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes in Abhängigkeit von einer Einschnittlänge des Sägedrahtes in das Werkstück festgelegt wird.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes so eingestellt wird, dass zwischen effektiver Drahtgeschwindigkeit und dem Produkt aus Tischvorschubgeschwindigkeit und Einschnittlänge ein proportionaler Zusammenhang besteht.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die effektive Geschwindigkeit des Sägedrahtes so eingestellt wird, dass der Drahtverschleiß über die gesamte genutzte Drahtlänge konstant ist.