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DE102006042088B4 - Apparatus and method for forming an immersion film - Google Patents

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DE102006042088B4
DE102006042088B4 DE102006042088A DE102006042088A DE102006042088B4 DE 102006042088 B4 DE102006042088 B4 DE 102006042088B4 DE 102006042088 A DE102006042088 A DE 102006042088A DE 102006042088 A DE102006042088 A DE 102006042088A DE 102006042088 B4 DE102006042088 B4 DE 102006042088B4
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immersion film
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Urban 69117 Liebel
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Europaisches Laboratorium fuer Molekularbiologie EMBL
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Abstract

Vorrichtung (12) zum Ausbilden eines Immersionsfilmes aus einer Immersionsflüssigkeit zwischen einer Linse (20) eines Mikroskopobjektivs (10) und einem Probenträger,
mit einem objektivfesten Element (26, 30), das einen Immersionsfilmbereich (28) definiert, in dem der Immersionsfilm auszubilden ist,
einer Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42), die geeignet ist, die Beschaffenheit des Immersionsfilmes im Immersionsfilmbereich (28) zu detektieren,
einer Zufuhrvorrichtung (44, 46) zum Zuführen von Immersionsflüssigkeit in den Immersionsfilmbereich (28),
und mit Mitteln zum Steuern oder Regeln der Zufuhr von Immersionsflüssigkeit in Abhängigkeit von der Detektion durch die Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42), wobei die Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42) die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf dessen elektrischer Leitfähigkeit oder dessen induktiver und/oder kapazitiver Wirkung in einem elektromagnetischen Wechselfeld detektiert, oder die Sensoreinrichtung die Beschaffenheit des Immersionsfilms mithilfe eines temperaturabhängigen Widerstandes detektiert, der im Immersionsfilmbereich angeordnet ist.
Device (12) for forming an immersion film from an immersion liquid between a lens (20) of a microscope objective (10) and a sample carrier,
with an objective-fixed element (26, 30) defining an immersion film region (28) in which the immersion film is to be formed,
a sensor device (32, 34, 36, 38, 40, 42) which is suitable for detecting the nature of the immersion film in the immersion film region (28),
a feed device (44, 46) for feeding immersion liquid into the immersion film area (28),
and means for controlling the supply of immersion liquid in response to the detection by the sensor means (32, 34, 36, 38, 40, 42), the sensor means (32, 34, 36, 38, 40, 42) controlling the Nature of the immersion film based on its electrical conductivity or its inductive and / or capacitive effect detected in an alternating electromagnetic field, or the sensor device detects the nature of the immersion film using a temperature-dependent resistor, which is arranged in the immersion film area.

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ausbilden eines Immersionsfilms aus einer Immersionsflüssigkeit zwischen einer Linse eines Mikroskopobjektivs und einem Probenträger.The present invention relates to an apparatus and a method for forming an immersion film from an immersion liquid between a lens of a microscope objective and a sample carrier.

Immersionsflüssigkeiten sind Flüssigkeiten, deren Brechnungsindex nahe an dem Brechungsindex des Glases liegt, welches für Probenträger und Linsen verwendet wird. Wenn ein Luftspalt zwischen einer Eintritts- oder Austrittslinse eines Mikroskopobjektivs (im folgenden kurz ”Objektivlinse” genannt) und einem Probenträger mit solch einer Immersionsflüssigkeit gefüllt wird, erhöht sich die numerische Apertur des Objektivs. Dies führt zum einen zu einer erhöhten Lichtstärke und gestattet außerdem ein erhöhtes Auflösungsvermögen des Objektivs.Immersion liquids are liquids whose refractive index is close to the refractive index of the glass used for sample carriers and lenses. When an air gap between an entrance or exit lens of a microscope objective (hereinafter called "objective lens" for short) and a sample carrier is filled with such an immersion liquid, the numerical aperture of the objective increases. This leads to an increased light intensity and also allows an increased resolution of the lens.

Üblicherweise wird die Immersionsflüssigkeit von Hand mit Hilfe einer Pipette auf die Objektivlinse oder den Probenträger aufgebracht. Dies ist jedoch bei hochauflösenden Mikroskopen schwierig, da bei diesen der Fokus des Objektivs sehr dicht bei der Objektivlinse liegt, beispielsweise in einem Abstand von 0,2 mm davon. Bei hochauflösenden Mikroskopen wird daher der Abstand zwischen der Objektivlinse und dem Probenträger nur Bruchteile eines Millimeters betragen, und es ist nicht ohne weiteres möglich, mit einer Pipette von außen Immersionsflüssigkeit in einen solch engen Spalt einzubringen. Statt dessen muß das Objektiv vor dem Aufbringen der Immersionsflüssigkeit vom Probenträger weg- und danach wieder zum Probenträger hinbewegt werden. Diese Bewegung kann beispielsweise durch Schwenken oder Auf- und Abwärtsfahren des Objektivs realisiert werden. Dadurch wird das Aufbringen der Immersionsflüssigkeit besonders aufwendig.Usually, the immersion liquid is applied by hand with the aid of a pipette to the objective lens or the sample carrier. However, this is difficult with high-resolution microscopes, because in these the focus of the lens is very close to the objective lens, for example, at a distance of 0.2 mm thereof. In high-resolution microscopes, therefore, the distance between the objective lens and the sample carrier will be only fractions of a millimeter, and it is not readily possible to introduce immersion liquid into such a narrow gap with a pipette from the outside. Instead, the objective must be moved away from the sample carrier before the immersion liquid is applied, and then moved back to the sample carrier. This movement can be realized, for example, by pivoting or raising and lowering the lens. As a result, the application of the immersion liquid is particularly complicated.

Eine weitere Schwierigkeit tritt bei automatisierten Mikroskopen auf, bei denen das Objektiv automatisch über den Probenträger gescannt wird, um in kurzer Zeit eine Vielzahl von Proben automatisch untersuchen zu können. Wenn der Probenträger relativ zum Objektiv bewegt wird, kann es sein, daß der Immersionsfilm reißt und das Mikroskop dadurch im Betrieb gestört wird. Außerdem werden automatisierte Mikroskope verwendet, um Bilder von Proben, beispielsweise von lebenden Zellen, über einen fangen Zeitraum aufzunehmen. In diesem Fall wird das Immersionmedium teilweise verdunsten, und es muß daher von Zeit zu Zeit erneuert werden, was ebenfalls aufwendig ist, wenn dies von Hand geschieht.A further difficulty arises in automated microscopes, in which the lens is automatically scanned over the sample carrier in order to be able to automatically examine a large number of samples in a short time. If the sample carrier is moved relative to the objective, it may be that the immersion film breaks and the microscope is disturbed in operation. In addition, automated microscopes are used to capture images of samples, such as living cells, over a period of time. In this case, the immersion medium will partially evaporate, and it must therefore be renewed from time to time, which is also expensive if done by hand.

Gerade bei automatisierten Hochleistungsmikroskopen, bei denen die Verwendung eines Immersionsmediums umständlich ist, wäre es aber aufgrund der dadurch erreichbaren verbesserten Bildqualität, insbesondere der erhöhten Lichtstärke und des gesteigerten Auflösungsvermögens besonders vorteilhaft, eine Immersionsflüssigkeit zu verwenden.Especially in automated high performance microscopes, where the use of an immersion medium is cumbersome, but it would be particularly advantageous to use an immersion liquid due to the thereby achievable improved image quality, in particular the increased light intensity and the increased resolution.

Eine Vorrichtung zum Ausbilden eines Immersionsfilms der eingangs genannten Art ist in der WO 02/093232 A2 offenbart. Die bekannte Vorrichtung umfaßt ein Zufuhrrohr, welches seitlich am Objektiv befestigt ist und durch welches eine Immersionsflüssigkeit in die Nähe der Mitte der Objektivlinse zugeführt wird. Von der Austrittsöffnung des Zufuhrrohres wird die Immersionsflüssigkeit dann durch Kapillarkräfte in den Spalt zwischen der Objektivlinse und dem Probenträger gezogen.An apparatus for forming an immersion film of the type mentioned is in the WO 02/093232 A2 disclosed. The known device comprises a supply tube, which is attached laterally to the lens and through which an immersion liquid is supplied to the vicinity of the center of the objective lens. From the outlet opening of the feed tube, the immersion liquid is then drawn by capillary forces into the gap between the objective lens and the sample carrier.

Um sicherzustellen, daß stets genug Immersionsflüssigkeit vorhanden ist, wird diese bei der bekannten Vorrichtung kontinuierlich im Überfluß zugeführt, und überschüssige Immersionsflüssigkeit wird in einer Auffangrinne, die an einem Objektivkopf des Objektivs vorgesehen ist, gesammelt und mit einer Absaugeinrichtung abgesaugt.To ensure that there is always enough immersion liquid, this is continuously supplied in abundance in the known device, and excess immersion liquid is collected in a gutter, which is provided on a lens head of the lens, and sucked with a suction device.

Die DE 103 33 326 offenbart eine Vorrichtung zum Ausbilden eines Immersionsfilmes aus einer Immersionsflüssigkeit zwischen einer Linse eines Mikroskopobjektivs und einem Probenträger. Die Vorrichtung enthält ein objektivfestes Element in Form einer Schutzvorrichtung, die einen Kapillarkanal zur Aufnahme von überschüssiger Immersionsflüssigkeit umfasst. Bei der vorbekannten Vorrichtung wird die Immersionsflüssigkeit kontinuierlich zugeführt und abgeführt, so dass sich ein gleichförmiger Fluss des Immersionsmediums im Immersionsfilmbereich ergibt. Die Zufuhr von Immersionsflüssigkeit wird nicht gesteuert oder geregelt, es wird jedoch vorgeschlagen, die Abfuhrmenge durch Regelung des Absaug-Unterdrucks so anzupassen, dass das Volumen des Immersionsfilmes im Wesentichen konstant bleibt. Es ist nicht offenbart, wie das Volumen des Immersionsfilmes bestimmt werden kann.The DE 103 33 326 discloses an apparatus for forming an immersion film of an immersion liquid between a lens of a microscope objective and a sample carrier. The device contains an objective-resistant element in the form of a protective device, which comprises a capillary channel for receiving excess immersion liquid. In the prior art device, the immersion liquid is continuously supplied and discharged, resulting in a uniform flow of the immersion medium in the immersion film area. The supply of immersion liquid is not controlled or regulated, but it is proposed to adjust the removal amount by controlling the suction negative pressure so that the volume of the immersion film remains substantially constant. It is not disclosed how the volume of the immersion film can be determined.

Die US 6,980,293 B1 offenbart eine Vorrichtung zur Zufuhr von Immersionsflüssigkeit, bei der die Temperatur der zugeführten Immersionsflüssigkeit geregelt werden kann. Mit der temperierten Immersionsflüssigkeit können Proben temperiert werden, deren Eigenschaften stark von der Temperatur abhängig sind. Als Beispiele werden biologische Proben genannt, deren Reaktionen studiert werden sollen, die ihrerseits stark von der Temperatur der Probe abhängen.The US Pat. No. 6,980,293 B1 discloses an apparatus for supplying immersion liquid in which the temperature of the immersion liquid supplied can be regulated. With the temperature-controlled immersion liquid samples can be tempered, the properties of which are highly dependent on the temperature. Examples are biological samples whose reactions are to be studied, which in turn depend strongly on the temperature of the sample.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, die es gestatten, einen Immersionsfilm zwischen der Linse eines Mikroskopobjektivs und einem Probenträger automatisch und zuverlässig auszubilden, selbst wenn das Mikroskopobjektiv und der Probenträger rasch relativ zueinander bewegt werden und/oder wenn Langzeituntersuchungen an einer Probe vorgenommen werden.The invention has for its object to provide a device and a method of the type mentioned, which allow an immersion film between the lens of a microscope objective and a sample carrier automatically and reliably form, even if the microscope objective and the sample carrier quickly relative are moved to each other and / or if long-term studies on a sample are made.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß sie ein objektivfestes Element umfaßt, das einen Immersionsfilmbereich definiert, in dem der Immersionsfilm auszubilden ist, eine Sensoreinrichtung, die geeignet ist, die Beschaffenheit des Immersionsfilms im Immersionsfilmbereich zu detektieren, eine Zuführvorrichtung zum Zuführen von Immersionsflüssigkeit in den Immersionsfilmbereich und Mittel zum Steuern oder Regeln der Zufuhr von Immersionsflüssigkeit in Abhängigkeit von der Detektion durch die Sensoreinrichtung. Ferner wird sie durch ein Verfahren nach Anspruch 16 gelöst.This object is achieved in a device of the type mentioned above in that it comprises an objectively fixed element which defines an immersion film area in which the immersion film is to be formed, a sensor device which is suitable for detecting the nature of the immersion film in the immersion film area, a feed device for introducing immersion liquid into the immersion film area and means for controlling or regulating the supply of immersion liquid as a function of the detection by the sensor device. Further, it is achieved by a method according to claim 16.

Anders als beim oben genannten Stand der Technik, bei dem die Immersionsflüssigkeit durch das Zufuhrrohr an einem Punkt in der Nähe der Objektivlinse zugeführt wird und im wesentlichen darauf vertraut wird, daß sich durch die Kapillarkräfte ein ausreichender Immersionsfilm zwischen dem Mikroskopobjektiv und dem Probenträger ausbildet, umfaßt die Vorrichtung der Erfindung ein objektivfestes Element, welches einen Immersionsfilmbereich definiert, in dem der Immersionsfilm auszubilden ist. Die Beschaffenheit des Immersionsfilms in diesem Immersionsfilmbereich wird durch die Sensoreinrichtung detektiert. Dabei ist mit der ”Beschaffenheit” des Immersionsfilms nicht eine Vielzahl von detaillierten Eigenschaften des Immersionsfilms gemeint. Vielmehr kommt es darauf an, daß festgestellt werden kann, ob ein für die Zwecke der Immersionsmikroskopie ausreichender Immersionsfilm im Immersionsfilmbereich vorliegt. Wenn beispielsweise mit Hilfe der Sensoreinrichtung festgestellt wird, daß der Immersionsfilm im Immersionsfilmbereich dünn wird oder zu reißen beginnt, kann mit Hilfe der Mittel zum Steuern oder Regeln die Zufuhr von zusätzlicher Immersionsflüssigkeit veranlaßt werden.Unlike the above-mentioned prior art, in which the immersion liquid is supplied through the feed tube at a point near the objective lens and is substantially trusted to form a sufficient immersion film between the microscope objective and the sample carrier by the capillary forces the device of the invention is an objectively fixed element which defines an immersion film region in which to form the immersion film. The nature of the immersion film in this immersion film area is detected by the sensor device. In this case, the "nature" of the immersion film does not mean a large number of detailed properties of the immersion film. Rather, it is important that it can be determined whether there is a sufficient immersion film in the immersion film area for the purpose of immersion microscopy. For example, if it is determined by means of the sensor device that the immersion film in the immersion film region becomes thin or begins to crack, the supply of additional immersion liquid can be caused by means of the control or regulating means.

Der Immersionsfilm zwischen dem Probenträger und der Objektivlinse ist nicht auf den Immersionsfilmbereich beschränkt, sondern kann sich beispielsweise durch Kapillarkräfte auch über diesen hinaus ausdehnen. Der Immersionsfilmbereich ist jedoch der Bereich, in dem die Beschaffenheit des Immersionsfilms mit Hilfe der Sensoreinrichtung überprüft wird. Da der Immersionsfilmbereich in einem objektivfesten Element vorgesehen ist, hat er darüber hinaus den weiteren nützlichen Effekt, daß er das Mitführen des Immersionsfilms unterstützt, wenn die Probe relativ zum Objektiv bewegt wird, wie unten anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert wird.The immersion film between the sample carrier and the objective lens is not limited to the immersion film region, but may also extend beyond it by capillary forces. However, the immersion film area is the area in which the constitution of the immersion film is checked by the sensor device. In addition, since the immersion film portion is provided in an objectively fixed member, it has the further beneficial effect of assisting the entrainment of the immersion film when the sample is moved relative to the objective, as will be explained below with reference to an embodiment.

In einer vorteilhaften Ausführungsform ist das objektivfeste Element als Adapter ausgebildet, der geeignet ist, an einem Mikroskopobjektiv befestigt zu werden. Ein derartiger Adapter kann leicht bei bereits vorhandenen Mikroskopen nachgerüstet werden, bei denen gegenwärtig ohne Immersionsflüssigkeit gearbeitet wird oder die Immersionsflüssigkeit mit der Hand aufgetragen wird.In an advantageous embodiment, the lens-fixed element is designed as an adapter, which is suitable to be attached to a microscope objective. Such an adapter can easily be retrofitted to existing microscopes, which are currently working without immersion liquid or the immersion liquid is applied by hand.

In einer vorteilhaften Ausführungsform detektiert die Sensoreinrichtung die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf dessen elektrischer Leitfähigkeit. Beispielsweise kann die elektrische Leitfähigkeit in einer Richtung quer zur Dickenrichtung des Immersionsfilms über einen Abschnitt des Immersionsfilmbereichs gemessen werden. Falls die Dicke des Immersionsfilms stellenweise abnimmt, kann dies durch eine Abnahme der Leitfähigkeit detektiert werden. In einer vorteilhaften Weiterbildung veranlassen die Mittel zum Steuern oder Regeln die Zufuhr von Immersionsflüssigkeit, wenn die Leitfähigkeit des Immersionsfilms in einer Richtung quer zu dessen Dickenrichtung einen unteren Schwellenwert unterschreitet, und sie beenden die Zufuhr von Immersionsflüssigkeit, wenn die besagte Leitfähigkeit einen oberen Schwellenwert übersteigt.In an advantageous embodiment, the sensor device detects the nature of the immersion film based on its electrical conductivity. For example, the electrical conductivity in a direction transverse to the thickness direction of the immersion film may be measured over a portion of the immersion film area. If the thickness of the immersion film decreases in places, this can be detected by a decrease in conductivity. In an advantageous development, the means for controlling or causing the supply of immersion liquid, when the conductivity of the immersion film in a direction transverse to its thickness direction below a lower threshold, and terminate the supply of immersion liquid, when said conductivity exceeds an upper threshold.

Die soeben beschriebene Ausführungsform setzt jedoch ein leitfähiges Immersionsmedium voraus. Die Erfinder haben festgestellt, daß die Leitfähigkeit von sogenanntem vollentsalztem Wasser fair die oben beschriebene Detektion ausreicht. Falls jedoch noch reineres Wasser oder eine andere, nichtleitende Immersionsflüssigkeit verwendet werden soll, muß die Sensoreinrichtung auf andere Eigenschaften des Immersionsfilms ansprechen. Beispielsweise kann die Sensoreinrichtung in einer alternativen Ausführungsform die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf dessen induktiver und/oder kapazitiver Wirkung in einem elektromagnetischen Wechselfeld detektieren.However, the embodiment just described requires a conductive immersion medium. The inventors have found that the conductivity of so-called deionized water is fair enough to achieve the detection described above. However, if still purer water or other non-conducting immersion liquid is to be used, the sensor device must respond to other properties of the immersion film. For example, in an alternative embodiment, the sensor device can detect the nature of the immersion film based on its inductive and / or capacitive effect in an electromagnetic alternating field.

In einer vorteilhaften Weiterbildung umfaßt die Sensoreinrichtung ferner eine Vorrichtung zum Messen der Temperatur der Immersionsflüssigkeit. Durch die Temperatur können die Meßwerte der Sensoreinrichtung korrigiert bzw. skaliert werden. Beispielsweise ist die Leitfähigkeit von Flüssigkeiten abhängig von deren Temperatur. Um von einer gemessenen Leitfähigkeit noch zuverlässiger auf die Beschaffenheit des Immersionsfilms schließen zu können, ist es vorteilhaft, die Temperatur ebenfalls zu erfassen und die temperaturbedingten Einflüsse auf das Meßergebnis zu kompensieren bzw. herauszurechnen.In an advantageous development, the sensor device further comprises a device for measuring the temperature of the immersion liquid. Due to the temperature, the measured values of the sensor device can be corrected or scaled. For example, the conductivity of liquids depends on their temperature. In order to be able to conclude more reliably from a measured conductivity on the nature of the immersion film, it is advantageous to also detect the temperature and to compensate for the temperature-induced influences on the measurement result or to calculate out.

In einer besonders vorteilhaften Weiterbildung umfaßt das objektivfeste Element eine Platte und ist der Immersionsfilmbereich durch eine Aussparung in der Platte gebildet. Da die Platte objektivfest ist, wird der Immersionsfilm in der Aussparung der Platte und somit im Bereich der Objektivlinse gehalten, wenn der Probenträger relativ zum Objektiv bewegt wird, wie dies beispielsweise beim Probenscannen bzw. sogenanntem ”Screening” der Fall ist. Dies ist eine deutliche Verbesserung gegenüber einer Ausführung, in der der Immersionsfilm lediglich durch Kapillarkraft zwischen der Objektivlinse und dem Probenträger gehalten wird.In a particularly advantageous development, the lens-fixed element comprises a plate and the immersion film region is formed by a recess in the plate. Since the plate is lens-fixed, the immersion film is held in the recess of the plate and thus in the region of the objective lens when the sample carrier relative to the lens is moved, as is the case for example in the case of sample scanning or so-called "screening". This is a significant improvement over a design in which the immersion film is held only by capillary force between the objective lens and the sample carrier.

Vorzugsweise besteht die Platte aus einem elektrisch nichtleitenden Material, insbesondere Kunststoff, einer Keramik oder Teflon. Besonders vorteilhaft ist eine Platte, die aus einem Platinenwerkstoff, insbesondere aus Glasfasergewebe und Epoxidharz besteht. Derartige Platinenplatten sind Massenprodukte und daher preiswert erhältlich. Außerdem können Elektroden und/oder Leitungen der Sensoreinrichtung einfach auf herkömmliche Weise auf Platinenplatten ausgebildet werden.Preferably, the plate is made of an electrically non-conductive material, in particular plastic, a ceramic or Teflon. Particularly advantageous is a plate which consists of a board material, in particular of glass fiber fabric and epoxy resin. Such board plates are mass-produced and therefore inexpensive available. In addition, electrodes and / or leads of the sensor device can be easily formed on board plates in a conventional manner.

In einer vorteilhaften Weiterbildung umfaßt die Zufuhrvorrichtung einen Kanal, der in der Platte ausgebildet ist und mit der Aussparung kommuniziert. Der Kanal kann durch einen Graben in der Platte gebildet sein, der mit einer weiteren Platte abgedeckt ist. Durch die Integration des Kanals in der Platte ergibt sich eine sehr flache Bauform, die besonders bei Hochleistungsmikroskopen vorteilhaft ist, bei denen ein sehr geringer Abstand zwischen dem Objektiv und dem Probenträger eingehalten werden muß.In an advantageous development, the supply device comprises a channel which is formed in the plate and communicates with the recess. The channel may be formed by a trench in the plate, which is covered with another plate. The integration of the channel in the plate results in a very flat design, which is particularly advantageous in high-performance microscopes, in which a very small distance between the lens and the sample carrier must be adhered to.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist die Zufuhrvorrichtung in ihrer Förderrichtung umkehrbar, so daß Immersionsflüssigkeit aus dem Immersionsfilmbereich abgeführt werden kann. Dies kann beispielsweise vorteilhaft sein, um die Immersionsflüssigkeit abzusaugen, wenn mit Hilfe der Sensoreinrichtung festgestellt wird, daß zu viel Immersionsflüssigkeit zugeführt wurde. Zusätzlich oder alternativ kann die Förderrichtung umgekehrt werden, um einen Großteil der Immersionsflüssigkeit abzusaugen, bevor das Objektiv vom Probenträger entfernt wird, um eine Verschmutzung des Mikroskops mit Immersionsflüssigkeit zu verhindern.In an advantageous development, the supply device is reversible in its conveying direction, so that immersion liquid can be removed from the immersion film region. This may be advantageous, for example, to suck the immersion liquid, if it is determined by means of the sensor device that too much immersion liquid was supplied. Additionally or alternatively, the conveying direction can be reversed in order to suck off a large part of the immersion liquid before the objective is removed from the sample carrier in order to prevent contamination of the microscope with immersion liquid.

Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, in der die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert wird. Darin zeigen:Further advantages and features of the present invention will become apparent from the following description in which the invention with reference to an embodiment with reference to the accompanying drawings is explained in more detail. Show:

1 eine Draufsicht auf ein Mikroskopobjektiv, auf dem eine Vorrichtung zum Ausbilden eines Immersionsfilms nach einer Weiterbildung der Erfindung befestigt ist, 1 a plan view of a microscope objective on which an apparatus for forming an immersion film is attached according to a development of the invention,

2 eine teilweise geschnittene Seitenansicht des Mikroskopobjektivs und der Vorrichtung von 1 und 2 a partially sectioned side view of the microscope objective and the device of 1 and

3 einen vergrößerten Ausschnitt aus 2. 3 an enlarged section 2 ,

1 zeigt eine Draufsicht auf ein Mikroskopobjektiv 10, auf den eine Vorrichtung 12 zum Ausbilden eines Immersionsfilms befestigt ist. 2 zeigt eine Seitenansicht des Objektivs 10 und der Vorrichtung 12, bei der die in der Darstellung rechte Hälfte der Vorrichtung 12 entlang der Linie A-A von 1 geschnitten dargestellt ist, und 3 zeigt den durch den Kreis in 2 hervorgehobenen Abschnitt in einer vergrößerten Darstellung. 1 shows a plan view of a microscope objective 10 on which a device 12 is attached to form an immersion film. 2 shows a side view of the lens 10 and the device 12 in which the right half of the device 12 along the line AA of 1 is shown cut, and 3 shows the through the circle in 2 highlighted section in an enlarged view.

Wie am besten in 2 zu erkennen ist, umfaßt das Objektiv 10 einen Objektivkörper 14 und einen Objektivkopf 16, auf dem die Vorrichtung 12 befestigt ist. Der Objektivkopf 16 hat eine innere konische Fläche 18, in deren Zentrum eine Objektivlinse 20 vorgesehen ist, bei welcher es sich um eine Eintritts- oder Austrittslinse des Objektivs 10 handeln kann. Radial außen schließt an die innere konische Fläche 18 eine ringförmige horizontale Fläche 22 des Objektivkopfs 16 an. Die horizontale Fläche 22 wird von einer äußeren konischen Fläche 24 umgeben.How best in 2 can be seen, includes the lens 10 a lens body 14 and a lens head 16 on which the device 12 is attached. The lens head 16 has an inner conical surface 18 , in the center of which is an objective lens 20 is provided, which is an entrance or exit lens of the lens 10 can act. Radial outside connects to the inner conical surface 18 an annular horizontal surface 22 of the lens head 16 at. The horizontal surface 22 is from an outer conical surface 24 surround.

Die Vorrichtung 12 umfaßt eine Platte 26, in der eine Aussparung 28 ausgebildet ist. Wenn die Vorrichtung 12, wie in den Figuren gezeigt, auf dem Objektiv 10 befestigt ist, ragt die innere konische Fläche 18 durch die Aussparung 28 in der Platte hindurch. Die Aussparung 28 der Platte 26 bildet einen Immersionsfilmbereich, der unten näher beschrieben wird.The device 12 includes a plate 26 in which a recess 28 is trained. When the device 12 , as shown in the figures, on the lens 10 attached, the inner conical surface protrudes 18 through the recess 28 in the plate. The recess 28 the plate 26 forms an immersion film area, which is described below.

Die Platte 26 ist mit einem Ring 30 verbunden, der den Objektivkopf 16 umgibt, wenn die Vorrichtung 12 auf dem Objektiv 10 befestigt ist.The plate 26 is with a ring 30 connected to the lens head 16 surrounds when the device 12 on the lens 10 is attached.

In dem gezeigten Ausführungsbeispiel besteht die Platte 26 aus einem handelsüblichen Platinenmaterial, das aus Glasfasergewebe und Epoxidharz besteht, und auch als FR4 oder FR5 bezeichnet wird. Auf der Oberfläche der Platte 26 sind Elektroden 32 bzw. 34 ausgebildet, die parallel zum Rand der Aussparung 28 angeordnet sind. Die Elektroden 32 und 34 sind über zugehörige Leitungen 36 bzw. 38 mit Anschlüssen 40 bzw. 42 verbunden.In the embodiment shown, the plate consists 26 from a commercially available board material consisting of glass fiber fabric and epoxy resin, and also referred to as FR4 or FR5. On the surface of the plate 26 are electrodes 32 respectively. 34 formed parallel to the edge of the recess 28 are arranged. The electrodes 32 and 34 are via associated lines 36 respectively. 38 with connections 40 respectively. 42 connected.

Die Elektroden 32, 34 und die Leitungen 36, 38 werden durch übliche Ätztechniken auf dem Platinenmaterial, aus welchem die Platte 26 gebildet ist, ausgebildet und sind somit äußerst einfach und kostengünstig herzustellen. Die Elektroden 32, 34 und die Leitungen 36, 38 bestehen vorzugsweise aus einer Kupferschicht, die von einer weiteren Schicht aus Hartgold bedeckt ist.The electrodes 32 . 34 and the wires 36 . 38 are made by conventional etching techniques on the board material from which the plate 26 is formed, trained and are thus extremely easy and inexpensive to manufacture. The electrodes 32 . 34 and the wires 36 . 38 are preferably made of a copper layer which is covered by another layer of hard gold.

Wie vor allem in 1 und 3 zu sehen ist, ist in der Platte 26 ein Kanal 44 ausgebildet, der an einem Ende mit der Aussparung 28 und an dem anderen Ende mit einem Schlauch 46 kommuniziert. Der Kanal 44 wird durch einen Graben gebildet, der in die Platte 26 gefräst ist. Beiderseits des Grabens ist die Dicke der Platte 26 etwas reduziert. In diesen Bereich reduzierter Dicke ist eine weitere, dünnere Platte 48 gesetzt, die bündig mit der Oberfläche der Platte 26 abschließt und den Graben bedeckt, um den Kanal 44 nach oben abzuschließen. Die Platte 48 ist in 2 der Deutlichkeit halber ein weiteres Mal unter 48' in einer Seitenansicht und unter 48'' in einer Draufsicht dargestellt.Especially in 1 and 3 is visible in the plate 26 a channel 44 formed at one end with the recess 28 and at that another end with a hose 46 communicated. The channel 44 is formed by a trench, which is in the plate 26 is milled. On both sides of the trench is the thickness of the plate 26 slightly reduced. In this area of reduced thickness is another, thinner plate 48 set flush with the surface of the plate 26 closes and covers the ditch to the channel 44 to complete at the top. The plate 48 is in 2 for the sake of clarity once again 48 ' in a side view and under 48 '' shown in a plan view.

Die Vorrichtung 12 ist in der gezeigten Ausführungsform als Adapter ausgebildet, der auf eine Vielzahl handelsüblicher Objektive aufgesetzt werden kann. In der gezeigten Ausführungsform ist die Unterseite der Platte 26 auf dem äußeren Rand des Ringes 30 festgeklebt, um die Vorrichtung bzw. den Adapter 12 mittels des Ringes 30 an dem Objektivkopf 16 der Objektivs 10 zu befestigen.The device 12 is formed in the embodiment shown as an adapter that can be placed on a variety of commercially available lenses. In the embodiment shown, the underside of the plate 26 on the outer edge of the ring 30 glued to the device or the adapter 12 by means of the ring 30 on the lens head 16 the lens 10 to fix.

Im folgenden wird die Funktion der Vorrichtung 12 beschrieben. Durch eine Schlauchpumpe (nicht gezeigt) wird eine Immersionsflüssigkeit, beispielsweise vollentsalztes Wasser, durch den Schlauch 46 und den Kanal 44 in der Platte 26 in die Aussparung 28 in der Platte 26 zugeführt. Dadurch wird die Aussparung 28 mit der Immersionsflüssigkeit gefüllt. Im Betrieb des Mikroskops ist gegenüber der Linse 20, d. h., in den Darstellungen von 2 und 3 oberhalb des Objektivkopfs 16 ein Probenträger (nicht gezeigt) angeordnet, der die mit dem Mikroskop zu untersuchenden Proben enthält. Der Fokus des Objektivs 10 liegt etwa 0,2 mm oberhalb der Linse 20, und in diesem sehr geringen Abstand ist im Betrieb auch der Probenträger (in den Figuren nicht gezeigt) angeordnet. Die in die Aussparung 28 eingeführte Immersionsflüssigkeit füllt aufgrund der Adhäsionskräfte den Spalt zwischen der Linse 20 und dem Probenträger (nicht gezeigt). Das heißt, es bildet sich ein Immersionsfilm zwischen der Linse 20 (und einem diese umgebenden Teil der inneren konischen Fläche 18) und dem Probenträger (nicht gezeigt) aus.The following is the function of the device 12 described. Through a peristaltic pump (not shown) an immersion liquid, for example deionized water, through the hose 46 and the channel 44 in the plate 26 in the recess 28 in the plate 26 fed. This will make the recess 28 filled with the immersion liquid. In the operation of the microscope is opposite the lens 20 , ie, in the representations of 2 and 3 above the lens head 16 a sample carrier (not shown) containing the samples to be examined by the microscope. The focus of the lens 10 is about 0.2 mm above the lens 20 , and in this very small distance in the operation of the sample carrier (not shown in the figures) is arranged. The in the recess 28 introduced immersion liquid fills the gap between the lens due to the adhesion forces 20 and the sample carrier (not shown). That is, an immersion film is formed between the lens 20 (and a surrounding part of the inner conical surface 18 ) and the sample carrier (not shown).

Im Betrieb kann der Probenträger (nicht gezeigt) relativ zum Objektiv 10 bewegt werden, beispielsweise um eine Vielzahl von Proben automatisch abzuscannen. Die Aussparung 28 hilft dabei, den Immersionsfilm trotz dieser Relativbewegung im Bereich der Linse 20 zu halten. Dennoch geht bei der Relativbewegung ein Teil der Immersionsflüssigkeit aus der direkten Umgebung der Linse 20 verloren. Außerdem kann die Immersionsflüssigkeit bei Langzeituntersuchungen, die beispielsweise an lebenden Zellen vorgenommen werden, trocknen.In operation, the sample carrier (not shown) may be relative to the objective 10 be moved, for example, to automatically scan a variety of samples. The recess 28 Helps the immersion film despite this relative movement in the lens area 20 to keep. Nevertheless, in the case of relative movement, part of the immersion liquid leaves the immediate vicinity of the lens 20 lost. In addition, the immersion liquid can be dried in long-term studies, for example on living cells.

Um sicherzustellen, daß stets genug Immersionsflüssigkeit vorhanden ist, wird in der gezeigten Ausführungsform eine elektrische Spannung, insbesondere eine Wechselspannung zwischen den Elektroden 32 und 34 angelegt, und mit Hilfe einer nicht näher beschriebenen Elektronik wird die Leitfähigkeit des Immersionsfilms zwischen den Elektroden 32, 34, d. h., des Immersionsfilms in der Aussparung 28, gemessen. Man beachte, daß der Immersionsfilm nicht auf die Aussparung 28 beschränkt ist, sondern sich durch Kapillarkräfte auch über diesen hinaus ausbilden kann. Auch muß nicht die gesamte Aussparung 28 zu jeder Zeit vollständig mit dem Immersionsfilm gefüllt sein. Jedoch bildet die Aussparung 28 einen Immersionsfilmbereich, in dem der Immersionsfilm ausgebildet werden soll und in dem seine Beschaffenheit durch die oben beschriebene Leitfähigkeitsmessung kontrolliert wird.To ensure that there is always enough immersion liquid, in the embodiment shown, an electrical voltage, in particular an alternating voltage between the electrodes 32 and 34 applied, and using an unspecified electronics, the conductivity of the immersion film between the electrodes 32 . 34 , ie, the immersion film in the recess 28 , measured. Note that the immersion film is not on the recess 28 is limited, but can also be formed by capillary forces beyond this. Also does not have the entire recess 28 be completely filled with the immersion film at all times. However, the recess forms 28 an immersion film region in which the immersion film is to be formed and in which its constitution is controlled by the above-described conductivity measurement.

Wenn der Immersionsfilm in der Aussparung 28 dünn wird oder beginnt einzureißen, wird dies detektiert, indem sich der Widerstand zwischen den Elektroden 32, 34 erhöht bzw. die Leitfähigkeit des Immersionsfilms im Immersionsfilmbereich abnimmt. Sobald die Leitfähigkeit des Immersionsfilms einen unteren Schwellenwert unterschreitet, wird ein Signal an die Schlauchpumpe (nicht gezeigt) gesendet, woraufhin diese weitere Immersionsflüssigkeit durch den Schlauch 46 und den Kanal 44 in die Aussparung 28 in der Platte 26 nachliefert. Diese Zufuhr der Immersionsflüssigkeit wird beendet, sobald die Leitfähigkeit des Immersionsfilms zwischen den Elektroden 32 und 34 einen oberen Schwellenwert übersteigt. Alternativ kann die Schlauchpumpe auch so gesteuert werden, daß sie ohne einen oberen Schwellenwert der Leitfähigkeit zu überwachen nach dem Einschalten stets für eine gewisse Zeit fördert, die bemessen ist, um eine ausreichende Menge von Immersionsflüssigkeit nachzuliefern.If the immersion film in the recess 28 becomes thin or begins to break down, this is detected by the resistance between the electrodes 32 . 34 increases or decreases the conductivity of the immersion film in the immersion film area. Once the conductivity of the immersion film falls below a lower threshold, a signal is sent to the peristaltic pump (not shown), whereupon this further immersion fluid passes through the tubing 46 and the channel 44 in the recess 28 in the plate 26 subsequently supply. This supply of immersion liquid is stopped as soon as the conductivity of the immersion film between the electrodes 32 and 34 exceeds an upper threshold. Alternatively, the peristaltic pump may also be controlled to continuously monitor for a certain amount of time after being switched on, without monitoring an upper threshold of conductivity, which is sized to replenish a sufficient amount of immersion fluid.

Die Elektroden 32, 34, die Leitungen 36, 38 und die Elektronik zum Bestimmen der Leitfähigkeit des Immersionsfilms bilden eine Ausführungsform der eingangs genannten Sensoreinrichtung, die geeignet ist, die Beschaffenheit des Immersionsfilms zu detektieren. Falls die Immersionsflüssigkeit nichtleitend ist, könnte in einer alternativen Ausführungsform an den Elektroden 32 und 34 ein Wechselfeld erzeugt werden, indem eine elektrische Wechselspannung angelegt wird. Dabei wirken die Elektroden 32, 34 als ”Platten” eines Kondensators, die mit einem Schwingkreis gekoppelt werden könnten. Bei einem dielektrischen Immersionsmedium würde sich die Kapazität dieses Kondensators in Abhängigkeit von der Dicke des Immersionsfilms ändern, und somit die Resonanzfrequenz des Schwingkreises. Somit könnte die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf einer kapazitiven Wirkung desselben detektiert werden.The electrodes 32 . 34 , the wires 36 . 38 and the electronics for determining the conductivity of the immersion film form an embodiment of the above-mentioned sensor device, which is suitable for detecting the nature of the immersion film. If the immersion liquid is non-conductive, in an alternative embodiment, it could be at the electrodes 32 and 34 An alternating field can be generated by applying an alternating electrical voltage. The electrodes act 32 . 34 as "plates" of a capacitor, which could be coupled to a resonant circuit. With a dielectric immersion medium, the capacitance of this capacitor would change depending on the thickness of the immersion film, and thus the resonant frequency of the resonant circuit. Thus, the nature of the immersion film could be detected based on a capacitive effect thereof.

In einer alternativen Ausführungsform kann das Vorhandensein eines ausreichenden Immersionsfilm durch ein kalorimetrisches Meßverfahren überprüft werden. Bei diesem Verfahren wird die unterschiedliche Wärmeleitfähigkeit des den Sensor umgebenden Mediums ausgenutzt. Hierzu wird beispielsweise ein temperaturabhängiger Widerstand, wie ein PTC- oder NTC-Widerstand, als Sensor verwendet, der im Immersionsfilmbereich angeordnet ist. An den Sensor wird ein Strom angelegt, so daß sich der Sensor aufheizt. Abhängig davon, ob der Sensor in dem Immersionsfilm zu liegen kommt und somit durch die Immersionsflüssigkeit gekühlt wird oder nicht, wird sich der Sensor weniger stark oder stärker aufheizen, wodurch sich der Widerstandswert des Sensors entsprechend ändert. Durch Erfassen des Widerstandswertes des Sensors kann somit erkannt werden, ob eine ausreichender Immersionsfilms vorhanden ist.In an alternative embodiment, the presence of a sufficient immersion film can be checked by a calorimetric measurement method. In this method, the different thermal conductivity of the medium surrounding the sensor is utilized. For this purpose, for example, a temperature-dependent resistor, such as a PTC or NTC resistor, is used as the sensor, which is arranged in the immersion film region. A current is applied to the sensor so that the sensor heats up. Depending on whether the sensor comes to lie in the immersion film and is thus cooled by the immersion liquid or not, the sensor will heat up less or more, whereby the resistance value of the sensor changes accordingly. By detecting the resistance value of the sensor can thus be detected whether a sufficient immersion film is present.

In einer vorteilhaften Weiterbildung kann die Pumprichtung der Schlauchpumpe (nicht gezeigt) umgekehrt werden, so daß Immersionsflüssigkeit aus der Aussparung 28 durch den Kanal 44 und den Schlauch 46 abgesaugt werden kann. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn das Objektiv 10 vom Probenträger (nicht gezeigt) entfernt wird, beispielsweise um das Objektiv zu wechseln oder eine neue Probe zu untersuchen, weil dann die nicht mehr benötigte Immersionsflüssigkeit das Mikroskop nicht verschmutzt.In an advantageous development, the pumping direction of the peristaltic pump (not shown) can be reversed, so that immersion liquid from the recess 28 through the channel 44 and the hose 46 can be sucked off. This is particularly advantageous when the lens 10 removed from the sample carrier (not shown), for example, to change the lens or to examine a new sample, because then no longer needed immersion liquid does not contaminate the microscope.

Obgleich in den Zeichnungen und der vorhergehenden Beschreibung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel aufgezeigt und detailliert beschrieben wurde, sollte dies als rein beispielhaft und die Erfindung nicht einschränkend angesehen werden. Es wird darauf hingewiesen, daß nur das bevorzugte Ausführungsbeispiel dargestellt und beschrieben ist, und daß sämtliche Veränderungen und Modifizierungen, die derzeit und künftig im Rahmen der Ansprüche liegen, geschützt werden sollenAlthough a preferred embodiment has been shown and described in detail in the drawings and foregoing description, this should be considered as illustrative and not restrictive of the invention. It should be noted that only the preferred embodiment is shown and described, and that all changes and modifications that are currently and in the future within the scope of the claims to be protected

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1010
Mikroskopobjektivmicroscope objective
1212
Vorrichtung zum Ausbilden eines ImmersionsfilmsApparatus for forming an immersion film
1414
Objektivkörperlens body
1616
Objektivkopflens head
1818
innere konische Flächeinner conical surface
2020
Objektivlinseobjective lens
2222
ringförmige horizontale Flächeannular horizontal surface
2424
äußere konische Flächeouter conical surface
2626
Platteplate
2828
Aussparungrecess
3030
Ringring
3232
Elektrodeelectrode
3434
Elektrodeelectrode
3636
Leiterladder
3838
Leiterladder
4040
AnschlußConnection
4242
AnschlußConnection
4444
Kanalchannel
4646
Schlauchtube
48, 48', 48''48, 48 ', 48' '
Platteplate

Claims (15)

Vorrichtung (12) zum Ausbilden eines Immersionsfilmes aus einer Immersionsflüssigkeit zwischen einer Linse (20) eines Mikroskopobjektivs (10) und einem Probenträger, mit einem objektivfesten Element (26, 30), das einen Immersionsfilmbereich (28) definiert, in dem der Immersionsfilm auszubilden ist, einer Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42), die geeignet ist, die Beschaffenheit des Immersionsfilmes im Immersionsfilmbereich (28) zu detektieren, einer Zufuhrvorrichtung (44, 46) zum Zuführen von Immersionsflüssigkeit in den Immersionsfilmbereich (28), und mit Mitteln zum Steuern oder Regeln der Zufuhr von Immersionsflüssigkeit in Abhängigkeit von der Detektion durch die Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42), wobei die Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42) die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf dessen elektrischer Leitfähigkeit oder dessen induktiver und/oder kapazitiver Wirkung in einem elektromagnetischen Wechselfeld detektiert, oder die Sensoreinrichtung die Beschaffenheit des Immersionsfilms mithilfe eines temperaturabhängigen Widerstandes detektiert, der im Immersionsfilmbereich angeordnet ist.Contraption ( 12 ) for forming an immersion film of an immersion liquid between a lens ( 20 ) of a microscope objective ( 10 ) and a sample carrier, with an objectively fixed element ( 26 . 30 ) containing an immersion film area ( 28 ) in which the immersion film is to be formed, a sensor device ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 ), which is suitable for determining the nature of the immersion film in the immersion film region ( 28 ), a delivery device ( 44 . 46 ) for introducing immersion liquid into the immersion film area ( 28 ), and means for controlling or controlling the supply of immersion liquid as a function of the detection by the sensor device ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 ), wherein the sensor device ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 ) detects the nature of the immersion film based on its electrical conductivity or its inductive and / or capacitive effect in an alternating electromagnetic field, or the sensor device detects the nature of the immersion film by means of a temperature-dependent resistor, which is arranged in the immersion film region. Vorrichtung (12) nach Anspruch 1, bei der das objektivfeste Element als Adapter (26, 30) ausgebildet ist, der geeignet ist, an einem Mikroskopobjektiv (10) befestigt zu werden.Contraption ( 12 ) according to claim 1, wherein the lens-fixed element is used as an adapter ( 26 . 30 ), which is adapted to a microscope objective ( 10 ) to be attached. Vorrichtung (12) nach Anspruch 1, bei der die Steuerungsmittel die Zufuhr von Immersionsflüssigkeit veranlassen, wenn die Leifähigkeit des Immersionsfilmes in einer Richtung quer zu dessen Dickenrichtung einen unteren Schwellenwert unterschreitet, und die Zufuhr von Immersionsflüssigkeit beenden, wenn die besagte Leitfähigkeit einen oberen Schwellenwert übersteigt.Contraption ( 12 ) according to claim 1, wherein the control means causes the supply of immersion liquid when the conductivity of the immersion film in a direction transverse to its thickness direction falls below a lower threshold, and terminate the supply of immersion liquid when said conductivity exceeds an upper threshold. Vorrichtung (12) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Sensoreinrichtung eine Vorrichtung zum Messen der Temperatur der Immersionsflüssigkeit umfaßt.Contraption ( 12 ) according to one of the preceding claims, in which the sensor device comprises a device for measuring the temperature of the immersion liquid. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der das objektivfeste Element eine Platte (26) umfaßt und der Immersionsfilmbereich durch eine Aussparung (28) in der Platte (26) gebildet wird.Device according to one of the preceding claims, wherein the lens-fixed element comprises a plate ( 26 ) and the immersion film area through a recess ( 28 ) in the plate ( 26 ) is formed. Vorrichtung (12) nach Anspruch 5, bei der die Platte (26) aus einem elektrisch nicht leitenden Material, insbesondere Kunststoff, Keramik oder Teflon besteht.Contraption ( 12 ) according to claim 5, wherein the plate ( 26 ) of an electrically non-conductive Material, in particular plastic, ceramic or Teflon exists. Vorrichtung (12) nach Anspruch 6, bei der die Platte (26) aus einem Platinenwerkstoff, insbesondere aus Glasfasergewebe und Epoxidharz besteht.Contraption ( 12 ) according to claim 6, wherein the plate ( 26 ) consists of a board material, in particular glass fiber fabric and epoxy resin. Vorrichtung (12) nach einem der Ansprüche 5 bis 7, bei der die Sensoreinrichtung Elektroden (32, 34) und/oder elektrische Leitungen (36, 38) umfaßt, die als Schichten auf der Platte (26) ausgebildet sind.Contraption ( 12 ) according to one of claims 5 to 7, in which the sensor device comprises electrodes ( 32 . 34 ) and / or electrical lines ( 36 . 38 ), which as layers on the plate ( 26 ) are formed. Vorrichtung (12) nach Anspruch 8, bei der die Schichten eine Kupferschicht umfassen, die mit einer Hartgoldschicht bedeckt ist.Contraption ( 12 ) according to claim 8, wherein the layers comprise a copper layer covered with a hard gold layer. Vorrichtung (12) nach einem der Ansprüche 5 bis 9, bei der die Zufuhrvorrichtung einen Kanal (44) umfaßt, der in der Platte (26) ausgebildet ist und mit der Aussparung (28) kommuniziert.Contraption ( 12 ) according to one of claims 5 to 9, in which the supply device has a channel ( 44 ) contained in the plate ( 26 ) is formed and with the recess ( 28 ) communicates. Vorrichtung (12) nach Anspruch 10 bei der der Kanal (44) durch einen Graben in der Platte (26) gebildet ist, der mit einer weiteren Platte (48) abgedeckt ist.Contraption ( 12 ) according to claim 10, wherein the channel ( 44 ) through a trench in the plate ( 26 ) formed with another plate ( 48 ) is covered. Vorrichtung (12) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Zufuhrvorrichtung eine Schlauchpumpe umfaßt.Contraption ( 12 ) according to any one of the preceding claims, wherein the supply device comprises a peristaltic pump. Vorrichtung (12) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Zufuhrvorrichtung in ihrer Förderrichtung umkehrbar ist, so daß Immersionsflüssigkeit aus dem Immersionsfilmbereich abgeführt werden kann.Contraption ( 12 ) according to one of the preceding claims, wherein the supply device is reversible in its conveying direction, so that immersion liquid can be removed from the immersion film region. Verfahren zum Ausbilden eines Immersionsfilmes aus einer Immersionsflüssigkeit zwischen einer Linse (20) eines Mikroskopobjektivs (10) und einem Probenträger, bei dem die Immersionsflüssigkeit in einen in einem objektivfesten Element (26) ausgebildeten Immersionsfilmbereich (28) zugeführt wird, die Beschaffenheit des Immersionsfilmes im Immersionsfilmbereich (28) mit einer Sensoreinrichtung (33, 34, 36, 38, 40, 42) detektiert wird und die Zufuhr weiterer Immersionsflüssigkeit in Abhängigkeit von der Detektion durch die Sensoreinrichtung (32, 34, 36, 38, 40, 42) geregelt oder gesteuert wird, wobei die Beschaffenheit des Immersionsfilms basierend auf dessen elektrischer Leitfähigkeit oder dessen induktiver und/oder kapazitiver Wirkung in einem elektromagnetischen Wechselfeld detektiert wird, oder die Beschaffenheit des Immersionsfilms mithilfe eines temperaturabhängigen Widerstandes detektiert wird, der im Immersionsfilmbereich angeordnet ist.Method for forming an immersion film from an immersion liquid between a lens ( 20 ) of a microscope objective ( 10 ) and a sample carrier, in which the immersion liquid into a lens-fixed element ( 26 ) formed immersion film area ( 28 ), the nature of the immersion film in the immersion film area ( 28 ) with a sensor device ( 33 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 ) and the supply of further immersion liquid as a function of the detection by the sensor device ( 32 . 34 . 36 . 38 . 40 . 42 ) is controlled or controlled, wherein the nature of the immersion film is detected based on its electrical conductivity or its inductive and / or capacitive effect in an alternating electromagnetic field, or the nature of the immersion film is detected by means of a temperature-dependent resistor, which is arranged in the immersion film region. Verfahren nach Anspruch 14, bei dem eine Vorrichtung (12) nach einem der Ansprüche 1 bis 14 verwendet wird.Method according to Claim 14, in which a device ( 12 ) according to one of claims 1 to 14 is used.
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