DE102006044366A1 - Simultaneous cutting of disks from a cylindrical workpiece by saw wires measures the density of the abrasive suspension in the tank, for replacement when at a threshold level - Google Patents
Simultaneous cutting of disks from a cylindrical workpiece by saw wires measures the density of the abrasive suspension in the tank, for replacement when at a threshold level Download PDFInfo
- Publication number
- DE102006044366A1 DE102006044366A1 DE102006044366A DE102006044366A DE102006044366A1 DE 102006044366 A1 DE102006044366 A1 DE 102006044366A1 DE 102006044366 A DE102006044366 A DE 102006044366A DE 102006044366 A DE102006044366 A DE 102006044366A DE 102006044366 A1 DE102006044366 A1 DE 102006044366A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- tank
- density
- sawing suspension
- suspension
- sawing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 5
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 3
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem zylindrischen Werkstück.The The invention relates to a method for separating a plurality of Slices of a cylindrical workpiece.
Zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem zylindrischen Werkstück wird üblicherweise eine Drahtsäge verwendet.To the simultaneously separating a plurality of slices from a cylindrical one Workpiece is usually a wire saw used.
Drahtsägen sind beispielsweise geeignet, eine Vielzahl von Halbleiterscheiben, Solarwafer und andere Kristallwafer in einem Arbeitsgang von einem Kristall abzutrennen.Wire saws are for example, a variety of semiconductor wafers, solar wafers and other crystal wafers in a single pass of a crystal separate.
In
Drahtsägen besitzen üblicherweise ein Drahtgatter, das von einem Sägedraht gebildet wird, der um zwei oder mehrere Drahtführungs- bzw. Umlenkrollen gewickelt ist.Wire saws usually have a wire gate made of a saw wire is formed, which is wound around two or more Drahtführungs- or deflection rollers is.
Beim Abtrennvorgang durchdringt das an einem Tisch befestigte Werkstück das Drahtgatter, in dem der Sägedraht in Form parallel nebeneinander liegender Drahtabschnitte angeordnet ist. Die Durchdringung des Drahtgatters wird mit einer Vorschubeinrichtung des Tisches bewirkt, die das Werkstück gegen das Drahtgatter oder das Drahtgatter gegen das Werkstück führt.At the Separation process penetrates the attached to a table workpiece the wire gate, in which the saw wire arranged in the form of parallel adjacent wire sections is. The penetration of the wire gate is provided with a feed device the table causes the workpiece against the wire gate or the wire gate against the workpiece leads.
Beim Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück ist es üblich, dass das Werkstück mit einer Sägeleiste verbunden ist, in die der Sägedraht nach Durchtrennen des Werkstücks einschneidet.At the Separating slices from a workpiece, it is common for the workpiece to be fitted with a saw bar connected to the saw wire after cutting the workpiece cuts.
Die Sägeleiste kann beispielsweise eine Graphitleiste sein, die auf der Umfangsfläche des Werkstücks aufgeklebt oder aufgekittet wird. Das Werkstück mit der Sägeleiste wird schließlich auf dem Tisch aufgekittet.The saw strip For example, it may be a graphite strip adhered to the peripheral surface of the workpiece or is puttied. The workpiece with the saw bar finally becomes puttied on the table.
Die abgetrennten Scheiben bleiben nach dem Abtrennen wie die Zähne eines Kammes auf der Sägeleiste fixiert und können so aus der Drahtsäge genommen werden. Später wird die verbliebene Sägeleiste von den Scheiben abgelöst.The separated slices remain like the teeth of one after separation Comb on the saw bar fixed and can taken out of the wire saw become. Later becomes the remaining saw bar detached from the slices.
Der beim Drahtsägen verwendete Sägedraht kann mit einem Schneidbelag belegt sein.Of the when wire sawing used saw wire can be covered with a cutting surface.
Bei Verwendung von Drahtsägen mit Sägedraht ohne fest gebundenes Schneidkorn wird Schneidkorn in Form einer Sägesuspension („Slurry"), die eine Trägerflüssigkeit („Basis", z.B. Glykol oder Öl) und ein Abrasivmittel (z.B. SiC oder Al2O3) umfasst, während des Abtrennvorganges zugeführt.When using wire saws with saw wire without firmly bonded cutting grain, cutting grain in the form of a slurry, comprising a carrier liquid ("base", eg, glycol or oil) and an abrasive (eg, SiC or Al 2 O 3 ), while the separation process supplied.
Dabei wird die Sägesuspension auf das sich bewegende Drahtgatter der Drahtsäge aufgegeben, welches während der gesamten Prozesszeit zwischen Drahtgatter und einem Tank der Drahtsäge im Kreis prozessiert wird.there becomes the sawing suspension abandoned on the moving wire gate of the wire saw, which during the total process time between wire gate and a tank of wire saw in a circle is processed.
Die Sägesuspension benetzt den Sägedraht, wobei das in der Sägesuspension befindliche Abrasivmittel die eigentliche Zerspanungsarbeit leistet. Dabei verschleißt das Abrasivmittel.The sawing suspension wets the saw wire, taking that in the sawing suspension Abrasivmittel performs the actual cutting work. there wear the abrasive.
Nach dem Zerspanungsvorgang fließt die Sägesuspension in den Tank zurück und transportiert dabei zerspantes Volumen des Werkstücks ab. Die Sägesuspension wird dadurch in ihrer Zusammensetzung ständig verändert.To the cutting process flows the sawing suspension back to the tank and transports shredded volume of the workpiece. The sawing suspension is thus constantly changing in composition.
Die Konzentration des Werkstück- und des Drahtmaterials im Tank steigt kontinuierlich an. Im Tank wird die Sägesuspension, um Sedimentation des Abrasivmittels zu verhindern, ständig gerührt.The Concentration of the workpiece and the wire material in the tank increases continuously. In the tank is the sawing suspension, to prevent sedimentation of the abrasive, constantly stirred.
Da sich die Menge des verschlissenen Abrasivmittels und des Werkstück- und Drahtmaterials stetig erhöht, würde es zu einem „Umkippen" der Sägesuspension kommen, wenn nicht regelmäßig gebrauchte Sägesuspension gegen unverbrauchte ausgetauscht würde.There the amount of worn abrasive and workpiece and Wire material steadily increased, it would to a "tip over" of the sawing suspension come if not used regularly sawing suspension would be exchanged for unspent.
Die geschieht im Stand der Technik nach Beendigung des Schnittes, indem wenigstens ein Teil der gebrauchten Sägesuspension im Tank durch unverbrauchte Sägesuspension ersetzt wird. Dazu wird ein Teil der gebrauchten Suspension aus dem Tank entnommen und frische Sägesuspension in den Tank nachgefüllt. Dieser Vorgang wird als Regenerieren bezeichnet.The happens in the prior art after completion of the cut, by at least part of the used sawing suspension in the tank Unused sawing suspension is replaced. This is part of the used suspension taken from the tank and fresh sawing suspension refilled in the tank. This process is called regeneration.
Dies führt allerdings im Stand der Technik zu relativ hohen Hilfsstoffkosten beim Drahtsägen.This leads however in the prior art to relatively high additive costs in wire sawing.
Somit stellte sich die Aufgabe, nach Wegen zu suchen, Hilfsstoffe beim Drahtsägen wirtschaftlicher einzusetzen und damit einen kostengünstigeren Drahtsägeprozess zu ermöglichen.Consequently The task was to look for ways to aid in the wire saws use more economically and thus a more cost-effective wire sawing process to enable.
Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zum gleichzeitigen Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem zylindrischen Werkstück, bei dem mit Hilfe einer Vorschubeinrichtung das Werkstück durch das Drahtgatter einer Drahtsäge geführt wird, während das Drahtgatter mit einer aus einem Tank entnommenen, ein Abrasivmittel beinhaltenden Sägesuspension einer bestimmten Dichte besprüht wird, wobei verbrauchte Sägesuspension und zerspantes Volumen des Werkstücks nach dem Zerspanungsvorgang in den Tank geführt werden, wodurch die Gesamtdichte der im Tank befindlichen Sägesuspension zunimmt, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte der im Tank befindlichen Sägesuspension ständig gemessen und bei Erreichen einer definierten Grenzdichte der im Tank befindlichen Sägesuspension unverbrauchte Sägesuspension in den Tank nachgefüllt wird.The object of the invention is achieved by a method for simultaneously separating a plurality of slices from a cylindrical workpiece in which by means of a feed device, the workpiece is passed through the wire gate of a wire saw, while the wire gate with a removed from a tank containing an abrasive Sawing suspension of a certain density is sprayed, whereby spent sawing suspension and zerspantes volume of the workpiece are performed after the cutting process in the tank, whereby the total density of the sawing suspension in the tank increases, characterized in that the density of the sawing suspension in the tank is constantly measured and Er rich a defined limit density of the sawing suspension in the tank unconsumed sawing suspension is refilled into the tank.
Bei dem zylindrischen Werkstück handelt es sich vorzugsweise um einen Einkristall aus Silicium und bei der Vielzahl der von dem Werkstück abgetrennten Scheiben vorzugsweise um Scheiben aus monokristallinem Silicium.at the cylindrical workpiece it is preferably a single crystal of silicon and in the plurality of slices separated from the workpiece, preferably around slices of monocrystalline silicon.
Es kommen jedoch beispielsweise auch Kristallblöcke aus anderen Halbleitermaterialien als Silicium in Betracht wie Galliumarsenid oder Germanium.It However, for example, crystal blocks come from other semiconductor materials as silicon, such as gallium arsenide or germanium.
Das Verfahren eignet sich auch zum Abtrennen von Scheiben von polykristallinen Werkstücken.The Method is also suitable for separating slices of polycrystalline Workpieces.
Der Sägedraht kommt vorzugsweise von einer Spule und wird mehrfach (z.B. 300–400-mal) um Umlenkrollen gewickelt, so dass ein Drahtgatter entsteht, mit dem entsprechend viele Schnitte an einem Werkstück ausgeführt werden können. Am Ausgang des Drahtgatters wird der gebrauchte Draht vorzugsweise auf einer weiteren Spule aufgewickelt.Of the saw wire preferably comes from a spool and is multiply (e.g., 300-400 times) wrapped around pulleys so that a wire gate arises with the corresponding many cuts can be made on a workpiece. At the Output of the wire gate is the used wire preferably wound up on another spool.
Der Draht vollführt zyklisch Vor- und Rückwärtsbewegungen: Er läuft beispielsweise 300 m vorwärts und wieder 240 m rückwärts, also effektiv ca. 60 m pro Zyklus vorwärts.Of the Wire performs cyclic forward and backward movements: He runs for example, 300 m forward and again 240 m backwards, so effectively about 60 m per cycle forward.
Das Werkstück ist vorzugsweise über eine Sägeleiste an einem Tisch befestigt und wird senkrecht von oben in das Drahtgatter eingeführt. Die Vorschubgeschwindigkeit des Tisches wird in Abhängigkeit von der Tischposition eingestellt. Die Beträge der Vorwärts- und Rückwärtsbewegungen lassen sich ebenfalls in Abhängigkeit von der Tischposition variieren.The workpiece is preferably over a saw bar attached to a table and becomes perpendicular from above into the wire gate introduced. The feed speed of the table is dependent set from the table position. The amounts of forward and backward movements are also possible dependent on vary from the table position.
Durch den Eintrag von zerspanten Volumen des Werkstücks im Tank erhöht sich die Dichte der im Tank befindlichen Sägesuspension.By the entry of machined volume of the workpiece in the tank increases the density of the sawing suspension in the tank.
Bei Erreichen einer definierten Grenzdichte wird im erfindungsgemäßen Verfahren eine bestimmte Menge unverbrauchte Sägesuspension in den Tank eingebracht.at Achieving a defined limit density is in the process according to the invention a certain amount of fresh sawing suspension introduced into the tank.
Dadurch wird die Sägesuspension verdünnt und die Dichte der Sägesuspension liegt wieder unterhalb der Grenzdichte.Thereby becomes the sawing suspension diluted and the density of the sawing suspension is again below the limit density.
Wird beim Erreichen der Grenzdichte eine vordefinierte Menge an frischer Suspension in den Tank nachgefüllt, verringert sich die Gesamtdichte der Sägesuspension im Tank, da die frische Sägesuspension noch nicht eingestellt ist. Die Konzentration an schneidfähigem Abrasivmittel erhöht sich dadurch wieder.Becomes upon reaching the boundary density, a predefined amount of fresh Refill filled in the tank, decreases the total density of the sawing suspension in the tank, as the fresh sawing suspension not yet set. The concentration of cutting abrasive elevated by doing so again.
Somit kann sichergestellt werden, dass die Dichte der im Tank befindlichen Sägesuspension im wesentlichen zu keinem Zeitpunkt die definierte Grenzdichte überschreitet.Consequently can be ensured that the density of the tank sawing suspension essentially at no time exceeds the defined limit density.
Erfindungsgemäß wird die Dichte der im Tank befindlichen Sägesuspension während des gesamten Prozesses gemessen.According to the invention Density of the sawing suspension in the tank during the whole process measured.
Es ist auch möglich, eine bestimmte Grenzviskosität festzulegen, diese zu messen und entsprechend unverbrauchte Sägesuspension nachzufüllen, so dass jene Grenzviskosität nicht überschritten wird.It is possible, too, a certain intrinsic viscosity determine to measure them and correspondingly unused sawing suspension to refill, so that intrinsic viscosity not exceeded becomes.
Vorzugsweise wird die jeweils bei Erreichen der Grenzdichte nachzufüllende Menge an Sägesuspension zu Beginn des Schnittes vorgegeben.Preferably becomes the amount to be refilled each time the limit density is reached on sawing suspension specified at the beginning of the cut.
Es könnte beispielsweise in Schritten zu je 5 Liter nachgefüllt werden, d.h. jeweils bei Erreichen der Grenzdichte werden 5 Liter unverbrauchte Slurry in den Tank gefüllt.It could For example, in 5-liter increments, i.e. each time the limit density reaches 5 liters unused Slurry filled in the tank.
Damit der Tank nicht überläuft, wird vorzugsweise ein Teil der gebrauchten Sägesuspension während des Prozesses entnommen.In order to the tank will not overflow preferably a part of the used sawing suspension during the Taken process.
Besonders bevorzugt ist es, den Prozess mit einer gegenüber dem eigentlichen Tankvolumen entsprechend reduzierten Menge an Sägesuspension im Tank zu starten.Especially it is preferable to the process with a respect to the actual tank volume to start according to reduced amount of sawing suspension in the tank.
Das Verfahren lässt sich automatisieren, indem die vorgewählte Menge an unverbrauchter Sägesuspension in einem Vorlagebehälter bereitgestellt wird und bei Erreichen der Grenzdichte automatisch in den Tank geführt wird. Anschließend wird der Vorlagebehälter neu befüllt.The Procedure leaves automate by selecting the selected amount of unspent sawing suspension in a storage container is provided and upon reaching the limit density automatically in led the tank becomes. Subsequently becomes the original container refilled.
Dieser Vorgang wird erfindungsgemäß während des gesamten Prozesses jeweils dann wiederholt, wenn die definierte Grenzdichte erneut erreicht ist.This Operation is inventively during the entire process is repeated whenever the defined Boundary density is reached again.
Somit wird jeweils dann und nur dann frische Sägesuspension nachgefüllt, wenn es prozessbedingt erforderlich ist.Consequently is then refilled then and only then fresh sawing suspension, if it is required by the process.
Da sich die Dichte der Sägesuspension infolge des höheren Eintrags an zerspanten Volumen bei zu zersägenden, längeren Werkstücken schneller ändert als bei kürzeren Werkstücken, wird bei längeren Werkstücken die entsprechende Grenzdichte schneller erreicht und demzufolge in diesem Fall eine höhere Gesamtmenge an Sägesuspension bei einer erhöhten Anzahl von Nachfüllvorgängen nachchargiert. Das erfindungsgemäße Verfahren trägt also der Tatsache, dass bei einem langen Werkstück pro Zeiteinheit mehr zerspantes Volumen entsteht, welches zu einer schnelleren Erhöhung der Dichte der Sägesuspension führt, Rechnung, indem die Chargierzyklen entsprechend verkürzt werden.Since the density of the sawing suspension changes faster due to the higher entry at machined volume for longer workpieces to be sawn than for shorter workpieces, the corresponding boundary density is reached faster for longer workpieces and consequently in this case a higher total amount of sawing suspension with an increased number of Refilling replenished. The inventive method thus contributes to the fact that in a long workpiece per unit time more zerspantes volume is created, which leads to a faster increase in the density of Sägesus pension, by shortening the charging cycles accordingly.
Bei kurzen Werkstücken hat dies andererseits zur Folge, dass weniger Sägesuspension benötigt und anders als im Stand der Technik auch weniger Sägesuspension zugeführt wird, was zu deutlichen Kosteneinsparungen führt.at short workpieces On the other hand, this has the consequence that less sawing suspension is needed and unlike in the prior art, less sawing suspension is supplied, which leads to significant cost savings.
Vorzugsweise wird je nach Werkstücklänge nur eine solche Gesamtmenge an Sägesuspension nachchargiert bzw. es erfolgen nur soviele Nachfüllvorgänge, dass die Grenzdichte und/oder -viskosität während des Prozesses zu keinem Zeitpunkt überschritten wird.Preferably depending on the workpiece length only such a total amount of sawing suspension recharged or there are only so many refills that the boundary density and / or Viscosity during the Process never exceeded becomes.
Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin, dass sich durch Zugabe von jeweils kleinen Mengen an Sägesuspension und dementsprechend erhöhter Zahl an Nachfüllvorgängen der Schwankungsbereich („Range") der Dichte (bzw. Viskosität) der im Tank befindlichen Sägesuspension auf ein Minimum reduzieren läßt.One a significant advantage of the method according to the invention is that by addition of small amounts of sawing suspension and accordingly increased Number of refills of the Range of variation of the density (or range) Viscosity) the sawing suspension in the tank to a minimum.
Der dabei zu erreichende Range ist zum einen von der Art der Sägesuspension abhängig (Dichte, Trägerflüssigkeit und Mischungsverhältnis), zum anderen davon, wie genau sich der entsprechende Vorlagebehälter füllen läßt und schließlich auch von der Genauigkeit der Messsensorik.Of the This range to be achieved is on the one hand by the nature of the sawing suspension dependent (Density, carrier liquid and mixing ratio), on the other hand, how exactly the corresponding reservoir can be filled and finally from the accuracy of the measuring sensors.
Insgesamt werden durch das erfindungsgemäße Verfahren stabilere Verhältnisse beim Drahtsägen geschaffen.All in all be through the inventive method more stable conditions when wire sawing created.
Außerdem wird nur eine Gesamtmenge an frischer, unverbrauchter Sägesuspension nachgefüllt und verbraucht, die für den Prozess erforderlich ist. Daraus ergibt sich gegenüber dem Stand der Technik eine deutliche Einsparung an Hilfstoffkosten.In addition, will only a total amount of fresh, unused sawing suspension refilled and consumed for the process is needed. This results in relation to the Prior art, a significant saving in the cost of auxiliary materials.
Da sich alle Inhaltsstoffe, und damit auch deren physikalische Eigenschaften, bei einer eingestellten Sägesuspension im Gleichgewicht befinden, ist für die Überwachung der Qualität der Sägesuspension die Dichte als Messgröße besonders gut geeignet, da sie eindeutig durch die Mengenverhältnisse (Basis, Abrasivmittel, zerspantes Volumen) in der Sägesuspension bestimmt und darüber hinaus leicht messbar ist. Gleiches gilt für die Viskosität.There all ingredients, and therefore their physical properties, with a set sawing suspension to be in equilibrium is for The supervision the quality the sawing suspension the density as a measure especially well suited as it is clearly by the proportions (Base, abrasive, chipped volume) in the sawing suspension determined and above It is also easy to measure. The same applies to the viscosity.
Die zu definierende Grenzdichte hängt davon ab, welche Trägerflüssigkeit (also z.B. Glykol oder Öl) benutzt, außerdem davon, wie hoch der Siliciumanteil und der Eisenanteil in der Sägesuspension sein darf, was wiederum von der weiteren Verwendung der abzutrennenden Scheiben abhängt.The depends on defining boundary density from which carrier liquid (ie, glycol or oil) used, as well of how high the silicon content and the iron content in the sawing suspension may be, which in turn depends on the further use of the Slices depends.
Vorzugsweise liegt die Grenzdichte bei 1,6–1,7 kg/l.Preferably the limit density is 1.6-1.7 kg / l.
Die Minimaldichte der Sägesuspension im Tank ist vorzugsweise durch die Dichte der jeweils verwendeten, unverbrauchten Sägesuspension gegeben.The Minimum density of the sawing suspension in the tank is preferably used by the density of each, unused sawing suspension given.
Beispielexample
Das maximale Tankvolumen beträgt 200 Liter.The maximum tank volume is 200 liters.
Die Startfüllung des Tanks mit unverbrauchter Sägesuspension beträgt 120 Liter (reduzierte Tankfüllung).The start filling the tank with unused sawing suspension is 120 liters (reduced tank filling).
Erfindungsgemäß werden bei Erreichen der Grenzdichte jeweils 10 (alternativ: 20) Liter unverbrauchte Sägesuspension nachgefüllt.According to the invention when reaching the limit density, 10 (alternatively 20) liters Unused sawing suspension refilled.
Nach 8 (alternativ: 4) Nachfüllungen erfolgt Austausch eines Teils der Tankfüllung und Nachfüllen von unverbrauchter Sägesuspension derart, dass der Füllstand des Tanks wieder 120 Liter beträgt.To 8 (alternatively: 4) refills replacement of a part of the tank filling and refilling of Unused sawing suspension such that the level the tank is again 120 liters.
Figurencharacters
Im Folgenden wird der Gegenstand der Erfindung anhand von Figuren veranschaulicht.in the The subject matter of the invention is illustrated below with reference to figures.
Beispiel und Vergleichsbeispiel beziehen sich auf das Abtrennen von Siliciumscheiben von einem Silicium-Einkristall: im Vergleichsbeispiel gemäß Stand der Technik mit Standardregenerierung der Sägesuspension und im Beispiel erfindungsgemäß mit dichtegesteuertem Nachchargieren von Sägesuspension. Dadurch werden die Vorzüge des erfindungsgemäßen Verfahrens gegenüber dem Stand der Technik deutlich.example and Comparative Example relate to the separation of silicon wafers of a silicon single crystal: in Comparative Example according to Stand the technique with standard regeneration of the sawing suspension and in the example according to the invention with density-controlled Recharging of sawing suspension. This will give you the benefits the method according to the invention across from the prior art clearly.
Beispiel:Example:
Vergleichsbeispiel:Comparative Example:
In
Es zeigt sich also eine deutliche Verbesserung der Range der Dichte der im Tank befindlichen Sägesuspension im Vergleich zum Stand der Technik.It Thus, there is a clear improvement in the range of the density the sawing suspension in the tank in comparison to the prior art.
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102006044366A DE102006044366B4 (en) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | A method of separating a plurality of slices from a cylindrical workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102006044366A DE102006044366B4 (en) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | A method of separating a plurality of slices from a cylindrical workpiece |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102006044366A1 true DE102006044366A1 (en) | 2008-04-03 |
| DE102006044366B4 DE102006044366B4 (en) | 2008-12-18 |
Family
ID=39133975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102006044366A Expired - Fee Related DE102006044366B4 (en) | 2006-09-20 | 2006-09-20 | A method of separating a plurality of slices from a cylindrical workpiece |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102006044366B4 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010007459A1 (en) | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Siltronic AG, 81737 | A method of separating a plurality of slices from a crystal of semiconductor material |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5771876A (en) * | 1995-05-26 | 1998-06-30 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Wire saw for and method of cutting off slices from a workpiece |
| JP2000141362A (en) * | 1998-11-11 | 2000-05-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Control device in changing working fluid of wire saw |
-
2006
- 2006-09-20 DE DE102006044366A patent/DE102006044366B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5771876A (en) * | 1995-05-26 | 1998-06-30 | Wacker Siltronic Gesellschaft Fur Halbleitermaterialien Ag | Wire saw for and method of cutting off slices from a workpiece |
| JP2000141362A (en) * | 1998-11-11 | 2000-05-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Control device in changing working fluid of wire saw |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010007459A1 (en) | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Siltronic AG, 81737 | A method of separating a plurality of slices from a crystal of semiconductor material |
| US8844511B2 (en) | 2010-02-10 | 2014-09-30 | Siltronic Ag | Method for slicing a multiplicity of wafers from a crystal composed of semiconductor material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102006044366B4 (en) | 2008-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102014208187B4 (en) | Process for the simultaneous cutting of a large number of slices with a particularly uniform thickness from a workpiece | |
| DE10122628B4 (en) | Method for separating slices from a workpiece | |
| DE19959414A1 (en) | Device for simultaneously separating number of discs from workpiece has framesaw with number of individual wires and device for holding workpiece and turning it about longitudinal axis | |
| EP3478437A1 (en) | Method and device for resuming the wire sawing process of a workpiece after an unscheduled interruption | |
| DE102006060358A1 (en) | Apparatus and method for sawing a workpiece | |
| DE8424074U1 (en) | Tool holding device | |
| DE112012004819T5 (en) | Method for cutting a workpiece | |
| DE10393928B4 (en) | Universal band saw blade | |
| DE102008030826A1 (en) | Wire sawing | |
| DE102006050330B4 (en) | A method for simultaneously separating at least two cylindrical workpieces into a plurality of slices | |
| DE102006044366B4 (en) | A method of separating a plurality of slices from a cylindrical workpiece | |
| DE2726843C2 (en) | Method and device for feeding a dressing tool | |
| DE602004010360T2 (en) | Wire sawing | |
| DE3344155T (en) | Automatic wire feeding device for an electric discharge machine | |
| CN103372922A (en) | Method of cutting ingot by wire-cutting mesh | |
| DE202008008720U1 (en) | Wire sawing | |
| EP2275241B1 (en) | Wire saw and method for cutting a workpiece by wire saw | |
| DE10035590B4 (en) | Wire saw and method for separating slices from a workpiece | |
| DE9214364U1 (en) | Supply system | |
| DE102004058194A1 (en) | Saw-strip, has two surfaces fixed to crystal piece and carrier plate, respectively, where strip cuts semi conductor disc from piece using wire saw and separates from strip by drilling holes in strip | |
| DE333896C (en) | Method and drill for achieving a feed for rock drilling machines | |
| AT13543U1 (en) | TOOL CARRIER FOR A TILE CUTTING DEVICE | |
| DE102017011825A1 (en) | Method for separating elongated workpieces made of wood, plastic and the like in slats and processing machine for carrying out such a method | |
| EP0008050A1 (en) | Method and device for working rod-shaped stock material | |
| WO2005087420A1 (en) | Device for separating profile pieces |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |