DE102006031322A1

DE102006031322A1 - Elektromechanisches Bauteil

Info

Publication number: DE102006031322A1
Application number: DE102006031322A
Authority: DE
Inventors: Henryk Frenzel; Steffen Hendrich; Emanuel Schiele
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 2006-07-06
Filing date: 2006-07-06
Publication date: 2007-09-27

Abstract

Elektromechanisches Bauteil (1) mit einer starren Trägerplatte (2), die einen ersten Abschnitt (3) aufweist, und mit einer flexiblen Trägerfolie (4), die einen zweiten Abschnitt (5) aufweist, wobei auf den Abschnitten (3, 5) Nanodrähte (6, 17, 18) in einem Winkel (α) zur Oberfläche (9) des jeweiligen Abschnitts (3, 5) ausgebildet sind, und wobei der erste und der zweite Abschnitt (3, 5) zumindest teilweise einander überlappen und die Nanodrähte (6, 17, 18) eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen der starren Trägerplatte (2) und der flexiblen Trägerfolie (4) herstellen.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektromechanisches Bauteil mit einer starren Trägerplatte und einer flexiblen Trägerfolie, die miteinander mechanisch und elektrisch verbunden sind, sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben.

Häufig ist es notwendig, flexible Materialien, wie z. B. mit Leiterbahnen bedruckte Plastik- bzw. Kunststofffolie, mit einer starren Trägerplatte, wie beispielsweise eine Leiterplatte oder Platine elektrisch und mechanisch zu verbinden. Es können beispielsweise Kunststofffolien mit elektromechanischen Bauelementen versehen werden oder in Kunststofffolien eingeschlossen werden, die dann über eine elektrische Verbindung, beispielsweise Drähte oder gedruckte Leiterbahnen aus flexiblen Metallisierungen mit weiteren elektrischen Schaltkreisen auf einer festen Platine verbunden werden müssen.

Es besteht beispielsweise die Möglichkeit, die entsprechende Trägerfolie durch FFC-Crimping zu befestigen und eine elektrische Verbindung zu der Leiterplatte herzustellen. FFC-Crimp-Verfahren zur Befestigung von flexiblen flachen Kabeln (FFC = Flexible Flat Cable) sind weit verbreitet.

Ferner sind anisotrope leitfähige Klebemittel bekannt, die in beispielsweise senkrechter Richtung zur Klebefläche zwischen der jeweiligen Leiterplatte und der flexiblen Folie elektrisch leitend sind.

Eine weitere Methode besteht darin, auf den entsprechenden flexiblen Folien und der jeweiligen Platine Metallisierungen anzubringen und im Bügel-Lot-Verfahren die beiden Materialien miteinander zu verbinden.

Die bekannten Verfahren zum Verbinden von starren und flexiblen Trägern haben eine Reihe von Nachteilen. Sowohl beim Crimpen als auch beim Bügellöten sind sowohl der starre wie auch der flexible Träger Spannungen und Kräften ausgesetzt, was zu Brüchen führen kann. Ferner sind viele aufwändige Verfahrensschritte und beim Crimpen zusätzliche Metallpins notwendig. Leitfähige Klebematerialien sind in der Regel teuer und bremsen die Produktion insbesondere bei Massenartikeln durch ihre benötigte Aushärtezeit, Druck und Temperatur.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein elektromechanisches Bauteil der eingangs genannten Art zu schaffen, das eine verbesserte und einfach herzustellende Verbindung zwischen einem flexiblen und einem starren Träger ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch ein elektromechanisches Bauteil mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Ferner löst diese Aufgabe ein Verfahren mit den im Patentanspruch 14 genannten Verfahrensschritten.

Demgemäß ist ein elektromechanisches Bauteil mit einer starren Trägerplatte, die einen ersten Abschnitt aufweist, und mit einer flexiblen Trägerfolie, die einen zweiten Abschnitt aufweist, vorgesehen. Dabei sind auf den Abschnitten Nanodrähte mit einem Winkel zur Oberfläche des jeweiligen Abschnitts ausgebildet, und der erste und der zweite Abschnitt überlappen mindestens teilweise einander. Dabei stellen die Nanodrähte eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen der starren Trägerplatte und der flexiblen Trägerfolie her.

Das erfindungsgemäße elektromechanische Bauteil nutzt die besonderen Eigenschaften der Nanodrähte, die vorzugsweise auf dem jeweiligen Abschnitt einen Nanorasen ausbilden. Bei einem Nanorasen sind eine Vielzahl von Nanodrähten, die eine z. B. im Wesentlichen zylindrische Form aufweisen und vorzugsweise senkrecht zur jeweiligen Oberfläche verlaufen, ausgebildet. Die Querschnittsdurchmesser liegen dabei vorzugsweise zwischen 100 nm und 400 nm, und die Nanodrähte haben eine Höhe bzw. Länge zwischen 1 μm und 3 μm. Nanodrähte haben also ein hohes Aspektverhältnis. Die ähnlich einem Klettverschluss miteinander in Verbindung gebrachten Nanodrähte der beiden Nanorasen können daher ineinander greifen und stellen eine feste mechanische und elektrische Verbindung miteinander her.

Die Dichte der Nanodrähte auf der Oberfläche des jeweiligen Abschnitts ist dabei vorzugsweise derart gewählt, dass die Oberflächen der Nanodrähte des ersten Abschnitts und die Oberflächen der Nanodrähte des zweiten Abschnitts aneinander anschmiegbar sind. Es ist dann z. B. möglich, dass, wenn beim Zusammenfügen der beiden mit Nanorasen belegten Abschnitte Druck und Temperatur ausgeübt wird, die Materialien der Nanodrähte ineinander diffundieren und eine sehr feste robuste Verbindung realisieren.

Die Nanodrähte sind vorzugsweise galvanisch, insbesondere aus einem elektrisch leitfähigen Material gewachsen, wie z. B. Zinn, Silber, Nickel, Kupfer und/oder Gold. Vorteilhafterweise werden zunächst metallische Bereiche auf den Abschnitten ausgebildet, auf denen die Nanodrähte zur Herstellung eines Nanorasens aufgewachsen werden.

Vorzugsweise ist die starre Trägerplatte und die flexible Trägerfolie mit einem weiteren mechanischen Befestigungsmittel befestigt. Als Befestigungsmittel kommen beispielsweise nicht-leitende Klebstoffe oder besondere Pins oder Stecker in Frage, die jedoch lediglich eine mechanische Verstärkung der Verbindung zwischen der Trägerfolie und der Trägerplatte bewirken.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Trägerplatte als Leiterplatte oder Platine mit elektronischen Schaltkreisen ausgebildet. Die flexible Leiterplatte weist zum Beispiel druckempfindliche Sensoren auf. Als Material für den flexiblen Träger kommen beispielsweise Polyimid oder PET in Frage.

In einer Weiterbildung der Erfindung ist die flexible Trägerfolie mit druckempfindlichen Sensoren ausgestattet, die auf einer Sitzfläche angeordnet sind, und die elektronischen Schaltkreise, welche auf der starren Trägerplatte ausgebildet sind, sind als Ausleseelektronik zum Erkennen eines Belegungszustandes der Sitzfläche ausgeführt. Diese Weiterbildung eignet sich besonders zum Einsatz in einem Autositz zum Detektieren des Belegungszustandes der jeweiligen Sitzfläche.

Da insbesondere viele Autositze mit einer entsprechenden Vorrichtung zum Detektieren des Belegungszustandes ausgestattet werden müssen, eignet sich das erfindungsgemäße elektromechanische Bauteile besonders gut, da eine zuverlässige Verbindung zwischen dem flexiblen und dem starren Träger möglich ist und dessen Herstellung nur wenige Verfahrensschritte bei der Produktion erfordert.

Ein Verfahren zum Herstellen eines entsprechenden elektromechanischen Bauteils sieht die folgenden Verfahrensschritte vor:

– galvanisches Aufwachsen von Nanodrähten auf der Oberfläche des ersten Abschnitts und auf der Oberfläche des zweiten Abschnitts, und
– aneinander Legen des ersten Abschnitts und des zweiten Anschnitts derart, dass die Nanodrähte des ersten Abschnitts und die Nanodrähte des zweiten Abschnitts eine elektrische und eine mechanische Verbindung eingehen.

Dabei werden vorzugsweise vor dem galvanischen Aufwachsen der Nanodrähte ein Bereich des ersten und/oder ein Bereich des zweiten Abschnitts metallisiert, und die Nanodrähte werden auf dem metallisierten Bereich aufgewachsen.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele. Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert. Es zeigen dabei:
1: eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen elektromechanischen Bauteils;
2: eine schematische Darstellung von Nanodrähten bzw. Nanorasen;
3: ein Ablaufdiagramm einer Variante des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens für ein elektromechanisches Bauteil;
4: verschiedene Herstellungszustände einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen elektromechanischen Bauteils während seiner Herstellung; und
5: ein Autositz mit einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Detektieren des Belegungszustandes der Sitzfläche.
In den Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, sofern nichts Anderes angegeben ist.
1 zeigt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen elektromechanischen Bauteils 1. Es ist eine starre Trägerplatte 2 als Leiterplatte oder Platine vorgesehen, die an einer Seite, welche der flexiblen Folie 4 zugewandt ist, einen mit dem Bezugszeichen 3 bezeichneten Abschnitt aufweist. Ferner ist eine flexible Trägerfolie 4 vorgesehen, die einen zweiten Abschnitt 5 aufweist, der in der 1 auf der Unterseite der flexiblen Trägerfolie 4 mit einer gepunkteten Linie dargestellt ist. Die starre Trägerplatte weist ferner elektronische Schaltkreise 7 auf, die über Verbindungsleitungen 8 mit dem leitfähigen Abschnitt 3 mit den Nanodrähten verbunden ist.
Der erste Abschnitt 3 der Leiterplatte 2 und der zweite Abschnitt 5 der flexiblen Trägerfolie 4 weisen jeweils aufgewachsene Nanodrähte 6 auf, die einen sogenannten Nanorasen ausbilden. Ferner sind die beiden Abschnitte 3, 5 derart zusammengebracht, sodass die jeweilige Fasern oder Nanodrähte der Rasenflächen bzw. Abschnitte 3, 5 ineinandergreifen und eine feste elektrische und mechanische Verbindung eingehen. Optional ist zur Verstärkung der mechanischen Verbindung ein Befestigungspin 25 vorgesehen, der die Träger 2, 4 zusammenhält. Es sind auch mehrere derartige Pins denkbar.
Die Ausführungsform des erfindungsgemäßen elektromechanischen Bauteils hat insbesondere den Vorteil, dass keine weiteren Fixierungsmittel notwendig sind, die in der Herstellung Zeit und Material kosten. Der Nanorasen kann beispielsweise auch strukturiert auf den Abschnitten 3, 5 ausgebildet werden, sodass Verbindungspads entstehen, wodurch mehrere elektrische und mechanische Verbindungen zwischen der starren Trägerplatte und der flexiblen Trägerfolie 4 ausgebildet werden.
2 zeigt schematisch beispielhafte Formen von verwendeten Nanodrähten 10, 11, 12 zur Ausbildung eines Nanorasens. Auf einer Oberfläche 9, beispielsweise einem metallisierten Bereich auf einem der Abschnitte 3 oder 5 der starren Leiterplatte 2 oder der flexiblen Trägerfolie 4, wie sie in der 1 dargestellt sind, sind im Wesentlichen zylinderförmige Drähte 10, 11, 12 aufgewachsen.
Eine Herstellung dieser Fasern oder Häärchen kann galvanisch erfolgen, indem die jeweiligen Oberflächen 9 zusammen mit einer Metallanode in einem Elekrolyt-Bad galvanisiert werden. Dabei wachsen bei der sogenannten Template-Technik entsprechende haarförmige Nanodrähte 10, 11, 12 auf der Oberfläche. Für diese mikromolekularen Strukturen von Nanodrähten 10, 11, 12 wurde durch Forscher des "Fraunhofer Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration" der Begriff "Nanorasen" geprägt.
Die entsprechenden Nanodrähte 10, 11, 12 haben typischerweise einen Querschnittsdurchmesser D von 300 nm und wachsen in eine Höhe h von etwa 2 μm. Dabei verläuft die Längsachse eines jeweiligen Drahtes in einem nicht verschwindenden Winkel α zur Oberfläche 9 des jeweiligen Substrats bzw. dem jeweiligen Abschnitt 3, 5.
Es ist ferner möglich, die Nanodrähte mit unterschiedlichen Materialien zu wachsen. Beispielsweise kann ein erster Fuß 12a des Nanodrahtes in einem ersten Metall, beispielsweise Gold, gewachsen werden und anschließend ein End- oder Kopfteil 12b des Drahtes in einem zweiten Material, wie beispielsweise Zinn ausgebildet werden. Häufig verjüngen sich die Nanodrähte 10, 11, 12 zu deren Spitze hin, also dem distalen Ende bezüglich der Oberfläche 9 auf etwa 1 μm Querschnittsdurchmesser. Als Materialien eignen sich z. B. Gold, Silber, Nickel, Zinn oder auch Kupfer.
Anhand der 3 und 4 ist eine Variante des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens für ein elektromechanisches Bauteil näher dargestellt. In einem ersten Verfahrensschritt S1 wird zunächst die Leiterplatte 2 mit dem ersten Bereich 3 und bereits darauf ausgebildeten Schaltkreisen 7, die über Verbindungen 8 an den Bereich 3 geführt sind, bereitgestellt. Ferner liegt eine flexible Trägerfolie 4 mit einem zweiten Bereich 5 vor, wobei auf der flexiblen Trägerfolie z. B. druckresistive Sensoren 13 ausgebildet sind, die über eine auf der Folie 4 aufgedruckten Verdrahtung 14 miteinander und an dem Bereich 5 verschaltet sind. Um die druckresistiven Sensoren 13 elektrisch an die Schaltkreise 7 zu koppeln, ist eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen der Leiterplatte 2 und der Trägerfolie 4 notwendig.
In einem nächsten Schritt S2 werden die Bereiche 3 und 5 beispielsweise mit Zinn oder Silber metallisiert. In 4B, die einen Querschnitt der beiden Träger 2, 4 darstellt, sind die metallisierten Bereiche auf dem ersten Abschnitt 3 und auf dem zweiten Abschnitt 5 mit den Bezugszeichen 16 und 15 bezeichnet. Im Folgeschritt S3 werden mittels einer sogenannte Template-Technik Metallmoleküle zu den Nanodrähten 17, 18 galvanisch abgeschieden. Dadurch entsteht auf den metallisierten Bereich 15, 16 jeweils ein Nanorasen. Die beiden Abschnitte 3 und 5 werden zunächst miteinander in Deckung gebracht und dann im Schritt S4 aufeinandergedrückt.
Durch das Zusammendrücken schmiegen sich z. B. die Oberflächen der Nanodrähte 17 der flexiblen Trägerfolie 4 und der Nanodrähte 18 der starren Trägerplatte 2 aneinander. Die entstandene mechanische Verbindung ähnelt der eines Klettverschlusses, wobei die Nanodrähte miteinander "verfilzen". Ferner verstärken Diffusionsvorgänge, d. h. die Diffusion des Materials der Nanodrähte 17 der flexiblen Trägerfolie 4 in das Material der Nanodrähte 18 der starren Trägerplatte 2 und umgekehrt, die Verbindung.
Gegebenenfalls kann zur Verbesserung der Diffusion eine Temperatur beaufschlagt werden. Bei einer Ausführung der Trägerfolie 4 aus Polyimid sind z. B. Temperaturen von 130°C über bis zu 30 Sekunden möglich. Somit entsteht eine feste mechanische und elektrisch leitfähige Verbindung zwischen der Trägerplatte 2 und der flexiblen Trägerfolie 4.
Besonders geeignet ist der Einsatz eines erfindungsgemäßen elektromechanischen Bauteils bei einer Vorrichtung zur Erkennung einer Sitzbelegung. Dabei sind die in 4A als 7 bezeichneten elektronischen Schaltkreise als Ausleseelektronik ausgeführt, die aus den elektrischen Eigenschaften der druckresistiven Sensoren 13 erkennen, ob auf die Sensoren 13 ein Druck durch einen Fahrer oder Beifahrer auf einen Autositz ausgeübt werden.
Aufwändiges Crimpen und der Einsatz metallischen Pins ist nicht notwendig. Damit entfallen im Herstellungsprozess mehrere Verfahrensschritte wie das Crimpen des Pins und ein Einpressen in die Leiterplatte. Eine Belastung der elektronischen Komponenten auf der Leiterplatte durch das Einpressen wird ebenfalls verhindert. Somit kann auch der Platz auf der Leiterplatte durch ein geeignetes Layout besser genutzt werden. Durch die Einsparung des Metallpins und FFC-Crimpens ist eine Kosteneinsparung beim Material und den Herstellungsprozessen möglich.
5 zeigt einen Autositz 19, der eine als Belegungserkennungsvorrichtung ausgeführten erfindungsgemäßen Bauelement ausgestattet ist. Der Sitz weist eine Sitzfläche 20 und eine Lehne 24 auf, wobei in die Sitzfläche eine Trägerfolie 21 mit druckresistiven Sensoren eingearbeitet ist. Ferner ist eine Auswerteelektronik 23 in der Sitzlehne integriert, an die beispielsweise über einen Einschub eine starre Trägerplatte 22 verbunden ist. Die Trägerfolie 21 mit den druckempfindlichen Sensoren ist an die Leiterplatte 22 über Nanorasenflächen, wie es beispielsweise in den 1 und 4 dargestellt ist, mechanisch und elektrisch verbunden.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele näher erläutert wurde, ist sie nicht darauf beschränkt, sondern vielfältig modifizierbar. Insbesondere sind weitere Materialien für die flexible Trägerfolie möglich. Nur beispielhaft sei auf Polyimid oder PET verwiesen. Die flexible Trägerfolie kann neben den druckresistiven Sensoren weitere Elemente enthalten oder mehrschichtig ausgeführt sein. Die den Nanorasen bildenden Nanodrähte können unregelmäßigere Formen als beispielsweise in der 2 dargestellt aufweisen. Es ist ebenfalls denkbar, dass Nanodrähte aus organischen leitfähigen Materialien, wie Kohlenstoff-Nanoröhrchen, gebildet werden.

Claims

Elektromechanisches Bauteil (1) mit einer starren Trägerplatte (2), die einen ersten Abschnitt (3) aufweist, und mit einer flexiblen Trägerfolie (4), die einen zweiten Abschnitt (5) aufweist, wobei auf den Abschnitten (3, 5) Nanodrähte (6, 17, 18) in einem Winkel (α) zur Oberfläche (9) des jeweiligen Abschnitts (3, 5) ausgebildet sind, und wobei der erste und der zweite Abschnitt (3, 5) zumindest teilweise einander überlappen und die Nanodrähte (6, 17, 18) eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen der starren Trägerplatte (2) und der flexiblen Trägerfolie (4) herstellen.
Bauteil (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Nanodrähte (6, 17, 18) eines jeweiligen Abschnitts (3, 5) einen Nanorasen ausbilden.
Bauteil (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige Nanodrähte (10, 11, 12) im Wesentlichen eine zylindrische Form aufweisen, insbesondere mit einem Querschnittsdurchmesser (D) zwischen 100nm und 400nm und einer Höhe (h) zwischen 1μm und 3μm.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Dichte von Nanodrähten (6, 10, 11, 12) auf der Oberfläche (9) eines jeweiligen Abschnitts (3, 5) derart gewählt ist, dass die Oberflächen der Nanodrähte des ersten Abschnitts (3) und die Oberflächen der Nanodrähte (17) des zweiten Abschnitts (5) aneinander schmiegbar sind.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige Nanodrähte (6, 10, 11, 12, 17, 18) galvanisch, inbesondere aus einem elektrisch leitfähigen Material, gewachsen sind.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Material der Nanodrähte (18) des ersten Abschnitts (3) in die Nanodrähte (17) des zweiten Abschnitts (5) diffundiert ist und eine feste Verbindung zwischen den Nanodrähten (17, 18) ausgebildet ist.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einige Nanodrähte (6, 10, 11, 12, 17, 18) Zinn, Silber, Nickel, Kupfer und/oder Gold aufweisen.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und/oder der zweite Abschnitt (3, 5) eine metallisierten Bereich (16, 15) aufweist, auf dem die Nanodrähte (18, 17) ausgebildet sind.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die die starre Trägerplatte (2) und die flexible Trägerfolie (4) mit weiteren mechanischen Befestigungsmitteln (25) miteinander befestigt sind.
Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerplatte (2) als Leiterplatte ausgeführt ist und elektronische Schaltkreise (7) aufweist.
Bauelement (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Trägerplatte (4) aus einem flexiblen Kunststoff, der insbesondere Polyimid und/oder PET aufweist, gefertigt ist.
Bauelement (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem flexiblen Träger (4) druckempfindliche Sensoren (13) ausgebildet sind.
Vorrichtung zum Detektieren des Belegungszustandes einer Sitzfläche (20), insbesondere für einen Autositz (19), mit einem Bauteil nach den Ansprüchen 11 und 12, wobei die flexible Trägerfolie (21) mit den druckempfindlichen Sensoren (13) auf der Sitzfläche (20) angeordnet ist und die elektronischen Schaltkreise (7) als Ausleseelektronik zum Erkennen eines Belegungszustandes der Sitzfläche (20) ausgeführt sind.
Verfahren zum Herstellen eines elektromechanischen Bauteils (1), welches eine starre Trägerplatte (2) mit einem ersten ersten Abschnitt (3), und eine flexible Trägerfolie (4) mit einem zweiten Abschnitt (5) aufweist, mit den Verfahrensschritten: a) galvanisches Aufwachsen (S3) von Nanodrähten (17, 18) auf der Oberfläche des ersten Abschnitts (3) und auf der Oberfläche des zweiten Abschnitts (5); und b) aneinander Legen des ersten Abschnitts (3) und des zweiten Anschnitts (5) derart, dass die Nanodrähte (18) des ersten Abschnitts (3) und die Nanodrähte (17) des zweiten Abschnitts (5) eine elektrische und eine mechanische Verbindung eingehen.
Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem galvanischen Aufwachsen (S3) der Nanodrähte (17, 18) ein Bereich (16) des ersten Abschnitts (3) und/oder ein Bereich (15) des zweiten Abschnitts (5) metallisiert wird und die Nanodrähte (17, 18) auf dem metallisierten Bereich (15, 16) aufgewachsen werden (S2).
Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die aneinander liegenden Abschnitte (3, 5) vorübergehend derart mit einem Druck und/oder einer Temperatur beaufschlagt werden (S4), dass eine feste elektrische und mechanische Verbindung zwischen den Abschnitten (3, 5) entsteht.
Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck und/oder die Temperatur derart gewählt werden, dass das Material der Nanodrähte (18) des ersten Abschnitts (3) in das Material der Nanodrähte (17) des zweiten Abschnitts (5) zumindest teilweise diffundiert.
Verfahren nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche 14-17, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bauteil (1) nach wenigstens einem der vorherigen Ansprüche 1-12 ausgebildet wird.