[go: up one dir, main page]

DE102006011264A1 - Verfahren und Sensorvorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe - Google Patents

Verfahren und Sensorvorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe Download PDF

Info

Publication number
DE102006011264A1
DE102006011264A1 DE102006011264A DE102006011264A DE102006011264A1 DE 102006011264 A1 DE102006011264 A1 DE 102006011264A1 DE 102006011264 A DE102006011264 A DE 102006011264A DE 102006011264 A DE102006011264 A DE 102006011264A DE 102006011264 A1 DE102006011264 A1 DE 102006011264A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor
temperature
physical quantity
coefficients
equation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102006011264A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukihiko Kariya Tanizawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Publication of DE102006011264A1 publication Critical patent/DE102006011264A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07Hall effect devices
    • G01R33/072Constructional adaptation of the sensor to specific applications
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/028Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
    • G01D3/036Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
    • G01D3/0365Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)

Abstract

Eine physikalische Größe wird dadurch erfasst, dass eine Beziehung zwischen einem Ausgangssignal eines Sensors und der durch den Sensor zu bestimmenden physikalischen Größe approximiert wird, indem eine Temperaturcharakteristik einer Nichtlinearität des Sensors bezüglich der physikalischen Größe und eine Temperaturcharakteristik von Parametern, die das Augangssignal des Sensors beeinflussen, die Koeffizienten einer quadratischen Gleichung bilden. Jeder der Koeffizienten wird durch eine Gleichung höherer Ordnung mit der Temperatur als einer unabhängigen Variable approximiert, und die Temperaturkoeffizienten werden im Voraus gespeichert. Die in einer Speichereinheit (22) gespeicherten Temperaturkoeffizienten und die Echtzeit-Temperatur werden in die Gleichung höherer Ordnung substituiert. Die gewonnenen Koeffizienten und das Ausgangssignal des Sensors werden in die quadratische Gleichung substituiert, um den tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe zu berechnen.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe zur Korrektur der Beziehung zwischen einer zu erfassenden physikalischen Größe und einem Sensorausgangssignal, um die physikalische Größe zu erfassen, sowie eine Sensorvorrichtung, die das Erfassungsverfahren verwendet.
  • In jüngster Zeit wurden verschiedene Typen von Steuerungen bzw. Regelungen, die die Steuerung bzw. Regelung einer Umwandlung von von verschiedenen Arten von Sensoren zur Erfassung physikalischer Größen wie etwa der Temperatur, des Drucks, des Magnetfeldes, etc. ausgegebenen Sensorsignalen in digitale Daten und die Steuerung bzw. Regelung zum Beispiel des Betriebs eines Motors in einem Fahrzeug unter Verwendung der so gewonnenen digitalen Daten, etc. umfassen, ausgeführt. Was diese Sensoren betrifft, so besitzen sie normalerweise Parameter, die von der Temperatur abhängen, wie etwa Offset oder Empfindlichkeit, so dass sie den Nachteil haben, dass die oben genannten Sensorsignale unterschiedliche Werte anzeigen, je nach Umgebungstemperatur des Sensors zum Erfassungszeitpunkt, obwohl die gewünschte physikalische Größe, d.h. die Größe, die erfasst werden soll, diese Unterschiede in Wirklichkeit nicht besitzt. Wenn aufgrund der Charakteristik des Sensors der Unterschied zwischen dem tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe und dem durch das Sensorsignal gelieferten scheinbaren Betrag, wie es oben beschrieben ist, zunimmt, ist die Zuverlässigkeit der oben beschriebenen Regelung bzw. Steuerung selbst stark herabgesetzt. Daher ist bisher eine Korrek tur des Sensorsignals unter Zugrundelegung der Temperaturcharakteristik des Sensors, wie es oben beschrieben ist, ausgeführt worden. Ein Verfahren, das eine Sensorvorrichtung verwendet und in der JP-A-11-44585 (Druckschrift 1) beschrieben ist, ist als ein Beispiel des Korrekturverfahrens bekannt.
  • Das heißt, gemäß dieser Sensorvorrichtung ist die Beziehung zwischen der Veränderung des Betrages der physikalischen Größe und der des Sensorsignals in etwa linear, d.h., durch einen linearen Ausdruck gegeben, der den Offset und die Empfindlichkeit berücksichtigt, um einen Korrekturkoeffizient zur Korrektur des Ausgangssignals von dem Sensor auf einen Wert, der die Temperatur des Sensors zu diesem Zeitpunkt berücksichtigt, zu bestimmen. Der so bestimmte Korrekturkoeffizient wird in geeigneter Weise gespeichert, und wenn eine physikalische Größe erfasst wird, wird die Temperatur des Sensors bestimmt, und die im Einzelfall erfasste physikalische Größe (die in Echtzeit erfasste physikalische Größe) wird unter Verwendung des Temperatur-Korrekturfaktors, der die so bestimmte Temperatur berücksichtigt, korrigiert.
  • Bei einigen Sensorvorrichtungen verändern sich die Parameter wie etwa der Offset, die Empfindlichkeit, etc. in vielen Fällen nicht linear mit der Temperatur. Aufgrund der nicht-linearen Temperaturcharakteristik dieser Parameter ist hier der funktionale Zusammenhang zwischen dem Sensorsignal und dem Betrag der physikalischen Größe komplizierter. Darüber hinaus wird in der oben beschriebenen herkömmlichen Sensorvorrichtung die Beziehung zwischen der zu erfassenden physikalischen Größe und dem Sensorsignal in Anbetracht des Offsets, der Empfindlichkeit etc. linear approximiert. Daher wird, wenn die Sensorvorrichtung auf einen Sensor angewendet wird, bei dem die oben beschriebenen Parameter selbst nicht-lineare Temperaturcharakteristiken aufweisen, wie etwa ein Infrarotsensor, der eine Thermosäule verwendet, ein Magnetsensor, der einen Magnetwiderstandssensor verwendet, ein Stromsensor oder dergleichen, unvermeidlich die Erfassungsgenauigkeit herabgesetzt.
  • Angesichts dieser Situation ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe, in dem selbst bei einem Sensor mit Parametern wie etwa Offset, Empfindlichkeit, etc., die in Abhängigkeit von der Temperatur nicht-linear variieren, die betreffende Temperaturcharakteristik sicher korrigiert und eine gewünschte physikalische Größe mit hoher Genauigkeit erfasst werden kann, sowie eine Sensorvorrichtung, die das Erfassungsverfahren verwendet, bereitzustellen.
  • Um das oben genannte Ziel zu erreichen, wird gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung die Beziehung zwischen einem Ausgangssignal eines Sensors und einem tatsächlichen Betrag einer von dem Sensor zu bestimmenden physikalischen Größe durch eine quadratische Gleichung approximiert, deren Koeffizienten von der nichtlinearen Temperaturcharakteristik des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und der Temperaturcharakteristik von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, gebildet werden, wobei jeder der Koeffizienten durch eine Gleichung höherer Ordnung, mit der Temperatur als unabhängiger Variable, approximiert wird, der Temperaturkoeffizient hiervon in einer Speichereinheit im Voraus gespeichert wird, und auf der Grundlage des Echtzeit-Ausgangssignals des Sensors (a) die Verarbeitung der Substitution des in der Speichereinheit gespeicherten Temperaturkoeffizienten und der Echtzeit-Temperatur in die Gleichung höherer Ordnung, um die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und die Temperaturcharakteristik der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, zu bestimmen, und (b) die Verarbeitung der Substitution der so gewonnenen Koeffizienten und des Ausgangssignals des Sensors in die quadratische Gleichung, um den tatsächlichen Betrag der zu bestimmende physikalische Größe zu berechnen, ausgeführt werden, um den tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe zu bestimmen.
  • Gemäß dem Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe, wie es oben beschrieben ist, wird die Beziehung zwischen dem Ausgangssignal des Sensors und der von dem Sensor bestimmten tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe durch eine quadratische Gleichung approximiert, und die Koeffizienten der quadratischen Gleichung werden durch die Gleichung höherer Ordnung approximiert. Daher wird die Temperaturcharakteristik auch bei einem Sensor sicher kompensiert, der als Folge von Änderungen der Temperatur ein nicht-lineares Verhalten zeigt. Folglich wird der tatsächliche Betrag der physikalischen Größe selbst, die durch die Ausführung der Verarbeitung von (a) und (b) erfasst (berechnet) wird, was der Berechnung der Lösungen dieser Gleichungen entspricht, notwendigerweise sehr genau erfasst.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt des Verfahrens zur Erfassung der physikalischen Größe kann, wenn die Empfindlichkeit und der Offset des Sensors als die Parameter verwendet werden, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, und die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe, die Temperaturcharakteristik der Empfindlichkeit und die Temperaturcharakteristik des Offsets, die jeweils einem Koeffizienten der quadratischen Gleichung entsprechen, durch die Gleichung höherer Ordnung, die eine quadratische Gleichung ist und die Temperatur als unabhängige Variable enthält, approximiert werden, die Zeit, die erforderlich ist, bis der tatsächliche Betrag der physikalischen Größe erfasst ist, durch Reduzierung der durch die Ausführung der Verarbeitung von (a) auferlegten Belastung in geeigneter Weise verkürzt werden.
  • Gemäß einem dritten Aspekt des Verfahrens zur Erfassung einer physikalischen Größe ist es vorteilhaft, den tatsächlichen Betrag X der physikalischen Größe durch die folgende Gleichung: X = –{(co – c1)/B}·[1 + {A·(co – c1)/B2}]zu berechnen, wobei die Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe mit A bezeichnet wird, die Empfindlichkeit des Sensors mit B bezeichnet wird, der Offset des Sensors mit C0 bezeichnet wird und das Ausgangssignal des Sensors mit C1 bezeichnet wird.
  • Gemäß dieser Gleichung wird die quadratische Gleichung zur Definition der Beziehung zwischen dem Ausgangssignal des Sensors und dem tatsächlichen Betrag der von dem Sensor zu bestimmenden physikalischen Größe als Reihe entwickelt, und die quadratische Gleichung wird bezüglich dem Betrag X der physikalischen Größe dadurch approximiert, dass nur die ersten zwei Terme der Entwicklung berücksichtigt werden. Wenn der tatsächliche Betrag der physikalischen Größe aus dem Ausgangssignal durch Verwenden der Berechnungsgleichung berechnet wird, wie es oben beschrieben ist, könnte die Berechnungsbelastung weiter verringert werden, so dass die Berechnungszeit weiter verkürzt werden könnte. Insbesondere führt die Berechnung der quadratischen Gleichung, wenn das Ausgangssignal des Sensors in Form von digitalen Daten behandelt wird, zu einer Berechnung eines Polynoms höherer Ordnung, so dass nicht nur die Verringerung der Dimension einer zur Berechnung erforderlichen Schaltung, sondern auch die Berechnungszeit der physikalischen Größe nicht vernachlässigbar ist. In diesem Sinne wird gemäß dem Verfahren zur Erfassung der physikalischen Größe unter Verwendung der obigen Berechnungsgleichung die routinemäßige Verarbeitung wie etwa die Verarbeitung (a) und die Verarbeitung (b) schnell ausgeführt, und nicht nur die Berechnungszeit der physikalischen Größe kann verkürzt werden, sondern auch die Schaltungsdimension kann in geeigneter Weise verkleinert werden.
  • Gemäß einem vierten Aspekt umfasst eine Sensorvorrichtung eine Einheit zur Eingabe des Ausgangssignals eines Sensors zur Erfassung einer physikalischen Größe, eine Speichereinheit, wobei, wenn die Beziehung zwischen einem eingegebenen Ausgangssignal des Sensors und einem tatsächlichen Betrag einer von dem Sensor zu bestimmenden physikalischen Größe durch eine quadratische Gleichung approximiert wird, deren Koeffizienten durch die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und der Temperaturcharakteristik von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, gebildet sind, und jeder der Koeffizienten durch eine Gleichung höherer Ordnung mit der Temperatur als unabhängiger Variable approximiert wird, die Speichereinheit die Temperaturkoeffizienten hiervon speichert, und eine Berechnungseinheit, um die in der Speichereinheit gespeicherten Temperaturkoeffizienten und die Echtzeit-Temperatur in die Gleichung höherer Ordnung zu substituieren, um die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und die Temperaturcharakteristik der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflus sen, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, zu bestimmen, und um die so gewonnenen Koeffizienten und das Ausgangssignal des Sensors in die quadratische Gleichung zu substituieren, um den tatsächlichen Betrag der zu bestimmende physikalische Größe zu berechnen und so den tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe zu erfassen.
  • Gemäß der so aufgebauten Sensorvorrichtung kann das Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe gemäß dem ersten Aspekt mit Hilfe der Berechnungseinheit zuverlässig ausgeführt werden. Demzufolge kann, selbst wenn ein Sensor, bei dem Parameter wie etwa ein Offset, die Empfindlichkeit, etc. als Folge einer Temperaturänderung eine Nichtlinearität zeigen, die betreffende Temperaturcharakteristik sicher kompensiert werden, und die gewünschte physikalische Größe kann mit Hilfe der Sensorvorrichtung mit hoher Genauigkeit erfasst werden, wie es oben beschrieben ist.
  • Ferner, wenn die Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, die Empfindlichkeit und der Offset des Sensors sind, führt gemäß einem fünften Aspekt die Berechnungseinheit in der oben beschriebenen Sensorvorrichtung die Berechnung dadurch aus, dass die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe, die Temperaturcharakteristik der Empfindlichkeit und die Temperaturcharakteristik des Offsets, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, durch die Gleichung höherer Ordnung, die eine quadratische Gleichung ist und die Temperatur als unabhängige Variable enthält, approximiert werden, so dass das Verfahren zur Erfassung der physikalischen Größe gemäß dem zweiten Aspekt von der Berechnungseinheit zuverlässig ausgeführt werden kann. Demzufolge kann die Berechnungslast selbst bei der wie oben be schriebene Sensorvorrichtung verringert werden, und die zur Erfassung der tatsächlichen physikalischen Größe erforderliche Zeit kann verkürzt werden.
  • In der oben beschriebenen Sensorvorrichtung ist es gemäß einem sechsten Aspekt vorteilhaft, dass die Berechnungseinheit den tatsächlichen Betrag X der physikalischen Größe durch die Gleichung: X = –{(c0 – c1)/B}·[1 + {A·(c0 – c1)/B2}]berechnet, wobei die Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe mit A bezeichnet wird, die Empfindlichkeit des Sensors mit B bezeichnet wird und das Ausgangssignal des Sensors mit C1 bezeichnet wird.
  • Wie es oben beschrieben ist, ist diese Berechnungsgleichung eine Approximationsgleichung zur Berechnung des tatsächlichen Betrages der von dem Sensor erfassten physikalischen Größe auf der Grundlage des eingegebenen Sensorausgangssignals, jedoch kann durch Berechnen des tatsächlichen Betrages der physikalischen Größe aus dem Sensorausgangssignal mit dieser Approximationsgleichung die Berechnungsbelastung der Berechnungseinheit weiter reduziert und die Berechnungszeit verkürzt werden, wobei die erforderliche Genauigkeit und die Zuverlässigkeit gewährleistet werden können.
  • Ferner ist gemäß einem siebten Aspekt die Sensorvorrichtung gemäß dem sechsten Aspekt so ausgelegt, dass die Einheit zur Eingabe des Ausgangssignals des Sensors mit einem AD-Wandler ausgestattet ist, um das eingegebene Ausgangssignal des Sensors in ein digitales Signal mit einer vorbestimmten Auflösung umzuwandeln, und die Berechnungseinheit umfasst einen Digitalsignalprozessor zur Ausführung der betreffenden Berechnung auf der Grundlage des umgewandelten digitalen Signals und der Daten, die einen jeweiligen Temperaturkoeffizienten anzeigen, welche in der Speichereinheit (espeichert sind. Demzufolge ist die Sensorvorrichtung besonders effektiv. Das heißt, da die Berechnung der quadratischen Gleichung in dem Digitalsignalprozessor zu einer Berechnung eines Polynoms höherer Ordnung führt, ist die Verkleinerung der Größe der Schaltung des Digitalsignalprozessors und die Verkürzung der Berechnungszeit nicht zu vernachlässigen. In diesem Sinne kann, wenn den tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe unter Verwendung der oben beschriebenen Berechnungsgleichung (Approximationsgleichung) berechnet wird, die Verarbeitung, bis der tatsächliche Betrag der physikalischen Größe bestimmt ist, von dem Digitalsignalprozessor schnell ausgeführt werden, so dass die Berechnungszeit der physikalischen Größe verkürzt ist und die Schaltungsdimension des Digitalsignalprozessors reduziert werden kann.
  • Gemäß einem achten Aspekt ist die Sensorvorrichtung gemäß dem siebten Aspekt so ausgelegt, dass die Speichereinheit einen elektrisch beschreibbaren ROM umfasst, und die Daten, die einen jeweiligen Temperaturkoeffizienten anzeigen, sind von außen beschreibbar. Demzufolge kann der Temperaturkoeffizient durch das Schreiben der Daten, die den Temperaturkoeffizienten anzeigen, flexibler eingestellt werden, und die Temperaturcharakteristik kann mit einem höheren Grad an Freiheit oder enger kompensiert werden.
  • Gemäß einem neunten Aspekt kann die Sensorvorrichtung gemäß dem sechsten Aspekt so ausgelegt sein, dass die Beziehung zwischen dem eingegebenen Sensorausgangssignal und dem tatsächlichen Betrag der von dem Sensor erfassten physikalischen Größe in dem ROM als temperaturabhängige Daten in Form einer Karte (Kartendaten) gespeichert sind, die durch Sammeln der Berechnungsergebnisse der Berechnungseinheit zusammen mit der Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und der Temperaturcharakteristik der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, gewonnen werden, und die von dem Sensor ausgegebene Information zur Auswahl der Kartendaten werden dem ROM zugeführt, wodurch der tatsächliche Betrag X der physikalischen Größe X direkt aus dem ROM gelesen wird. Selbst in Fall eines Sensors, bei dem die Parameter wie etwa ein Offset, die Empfindlichkeit, etc. in Abhängigkeit von der Temperatur nicht linear variieren, kann die Temperaturcharakteristik davon sicher kompensiert werden, und die physikalische Größe kann mit hoher Genauigkeit erfasst werden.
  • Die obigen und weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung sind aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung, die unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung gemacht wurde, deutlicher ersichtlich. In den Zeichnungen sind:
  • 1 ein Blockdiagramm, das einen Aufbau einer Sensorvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 ein Schaubild, das ein Beispiel der Beziehung zwischen einem AD-Umwandlungswert (Sensorausgangssignal) und einem geschätzten Wert (tatsächlicher Betrag der physikalischen Größe) zeigt;
  • 3 eine Tabelle, die die Beziehungen zwischen den entsprechenden Temperaturkoeffizienten, die verwendet werden, wenn eine physikalische Größe erfasst wird, und einem entsprechenden Parameter des Offsets, der Empfind lichkeit und Nichtlinearität unter der Annahme der in 2 gezeigten Beziehung darstellt;
  • 4 ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Berechnung zeigt, die von einem Digitalsignalprozessor ausgeführt wird, der einen Berechnungsabschnitt der Sensorvorrichtung gemäß der Ausführungsform bildet;
  • 5 ein Flussdiagramm, das den Verarbeitungsfluss der von einem Steuerungsabschnitt der Sensorvorrichtung gemäß der Ausführungsform ausgeführten Verarbeitung zeigt; und
  • 6 ein Blockdiagramm, das eine Modifikation des Berechnungsabschnitts der Sensorvorrichtung der Ausführungsform zeigt.
  • Nachfolgend sind bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
  • Eine Ausführungsform, in der ein Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe und eine Sensorvorrichtung, die das Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe verwendet, auf eine Stromsensorvorrichtung zur magnetischen Erfassung, d.h. einer Erfassung auf der Grundlage des Betrages einer elektrischen Feldstärke oder eines magnetischen Vektors, der dem Betrag eines Stroms entspricht, der Stärke des in einem Stromweg fließenden Stroms unter Verwendung eines magnetischen Erfassungselements wie etwa einen Magnetwiderstandselement oder dergleichen angewendet wird, ist mit Bezug auf die 1 bis 5 beschrieben.
  • Wie es in 1 gezeigt ist, umfasst die Sensorvorrichtung im Wesentlichen einen Eingangsabschnitt 10, der mit einem Sensor verbunden ist, einen Berechungsabschnitt (eine Berechnungseinheit) 20, einen Ausgangsabschnitt 30 und einen Steuerungsabschnitt 40 zur Steuerung der Operation jedes Abschnitts. In dieser Ausführungsform umfasst der mit dem Eingangsabschnitt 10 verbundene Sensor zwei Sensoren, einen Stromsensor vom Magnettyp und einen Temperatursensor wie oben beschrieben.
  • Der Stromsensor umfasst einen Sensorchip mit einem Magnetwiderstandselement, das zum Beispiel eine Halbbrükkenschaltung umfasst, und einen Vormagnetisierungsmagneten, um einen magnetisches Feld (einen magnetischen Vektor) zu erzeugen, dem das Magnetwiderstandselement ausgesetzt ist, die beide auf einem Substrat ausgebildet sind. Das Substrat ist an einem Stromweg wie etwa einer Stromschiene als ein Stromerfassungsziel (ein zu untersuchendes Objekt) des Stromsensors angeordnet, wobei das Substrat aus einem Gußmaterial aus Harz oder dergleichen formgegossen ist. In diesem Aufbau wird der Winkel des Summenvektors aus einem von dem in der Busschiene fließenden Strom erzeugten magnetischen Vektor und dem magnetischen Vektor des Vormagnetisierungsmagneten in Verbindung mit dem Strom verändert. Der Stromsensor erfasst die Winkelveränderung des Summenvektors wie oben beschrieben, um die Stärke des in der Stromschiene fließenden Stroms zu erfassen, und gibt das ursprüngliche Sensorsignal OX, das der so erfassten Stromstärke entspricht, aus.
  • Ferner ist der Temperatursensor als eine Vollbrückenschaltung ausgebildet, in der wie bei dem in der Druckschrift 1 offenbarten Sensor ein temperaturempfindliches Widerstandselement, das aus einem Diffusionswiderstand gebildet ist (Bereich des Temperaturkoeffizienten von etwa 1500 bis etwa 1700 pm/°C), und ein Diffusionswiderstnad (Referenzwiderstandselement), der zum Beispiel aus CrSi gebildet ist, welches ein Material ist, dessen Temperaturkoeffizient nahe bei Null liegt, abwechselnd miteinander verbunden werden. Der Temperatursensor legt eine Brückenspannung an die Brückenschaltung an und gibt ein Temperaturerfassungssignal OT auf der Grundlage der Veränderung des Widerstandswertes des Temperaturerfassungswiderstandselements aus, wenn sich die Temperatur während des Zustandes, in dem die Spannung angelegt ist, verändert, d.h. wenn sich die Potentialdifferenz wischen den gegenüberliegenden Verbindungspunkten des Temperaturerfassungswiderstandselements und des Referenzwiderstandselements verändert. Hier können das ursprüngliche Sensorsignal OX und das Temperaturerfassungssignal OT unterschiedliche Signale sein.
  • Zum Beispiel dient in dem Fall, in dem die Sensorvorrichtung wie oben beschrieben mit dem Sensor verbunden ist, der Eingangsabschnitt 10 der Umwandlung des ursprünglichen Sensorsignals OX, eingegeben von dem Stromsensor, und des Temperaturerfassungssignals OT, eingegeben von dem Temperatursensor, in das entsprechende digitale Signal mit vorbestimmter Auflösung. Das heißt, der Eingangsabschnitt 10 umfasst insbesondere einen Verstärker 11, der mit dem Stromsensor verbunden ist, einen Verstärker 12, der mit dem Temperatursensor verbunden ist, einen Multiplexer 13 und einen AD-Wandler 14 zur Ausführung der Umwandlung in die digitalen Signale wie es in 1 gezeigt ist. Hier ist der Multiplexer 13 eine Schaltung zur Auswahl entweder eines von dem Verstärker 11 verstärkten Sensorsignals PX oder eines von dem Verstärker 12 verstärkten Temperatursignals PT auf der Grundlage eines Schaltsignals von dem Steuerungsabschnitt 40 und zur Ausgabe des ausgewählten Signals an den AD-Wandler 14. Somit wird die Umwandlung des von dem Multiplexer 13 eingegebenen Signals mit der vorbestimmten Auflösung in das digitale Signal durch den AD-Wandler 14 von einem von dem Steuerungsabschnitt 40 ausgegebenen Umwand lungsstartsignal getriggert. Wenn die Umwandlung von dem Signal in das entsprechende digitale Signal abgeschlossen ist, gibt der AD-Wandler 14 ein Umwandlungsende-Signal, das den Abschluss der Umwandlung anzeigt, an den Steuerungsabschnitt 40 aus. Anschließend gibt der AD-Wandler 14 das digitale Signal, das dem verstärkten Sensorsignal PX, und das digitale Signal, das dem verstärkten Temperatursignal PT entspricht, als einen AD-Umwandlungswert C1 bzw. als Temperaturdaten T an den Berechnungsabschnitt 20 aus.
  • Ferner umfasst der Berechnungsabschnitt 20 in der Sensorvorrichtung einen Digitalsignalprozessor 21 und einen ROM (eine Speichereinheit) 22. Eine Mehrzahl von Temperaturkoeffizienten (nachstehend beschrieben), die verwendet werden, um die Berechnung (nachstehend beschrieben) durch den Digitalsignalprozessor 21 auszuführen, werden im Voraus gespeichert. Der Digitalsignalprozessor 21 ist mit einer Mehrzahl von Registern 21a ausgestattet und speichert den AD-Umwandlungswert Cr des Sensorsignals oder die von dem AD-Wandler 14 in das Register 21a eingegebenen Temperaturdaten T. Wenn das Berechnungsstartsignal von dem Controller 40 eingegeben wird, führt der Digitalsignalprozessor 21 eine vorbestimmte logische Operation aus, um den tatsächlichen Betrag (geschätzter Wert X) der von dem Stromsensor zu bestimmenden physikalischen Größe, das heißt, das digitale Signal, das dem Betrag des in der Stromschiene fliegenden Stroms entspricht, auf der Grundlage des AD-Umwandlungswertes C1, der Temperaturdaten T und des Temperaturkoeffizienten zu berechnen. Wenn die logische Operation abgeschlossen ist, gibt der Digitalsignalprozessor 21 ein Operationsende-Signal an den Steuerungsabschnitt 40 aus. Der Digitalsignalprozessor 21 führt die obige Operation synchron mit einem Taktsignal aus, das von dem Steuerungsabschnitt 40 geliefert wird.
  • Nachfolgend ist die logische Operation (Berechnung), die von dem Digitalsignalprozessor 21 ausgeführt wird, ausführlicher beschrieben. Die logische Operation wird als Standardverarbeitung zur Berechnung des geschätzten Wertes X durch Substitution des AD-Umwandlungswertes C1, der Temperaturdaten T und des Temperaturkoeffizienten in den folgenden logischen Ausdruck ausgeführt. Zuerst ist ein Beispiel zur Ableitung des operativen Ausdrucks, der in der oben beschriebenen Operation verwendet wird, mit Bezug auf die 2 beschrieben.
  • [Ableitung des operativen Ausdrucks]
  • In dieser Ausführungsform werden als die Temperaturcharakteristik des Sensors die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der Intensität eines Magnetfeldes und die Temperaturcharakteristik von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, d.h. einen Offset und die Empfindlichkeit, betrachtet. Demzufolge wird, wenn die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X durch die nachstehende quadratische Gleichung definiert ist, wobei die Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der Intensität des Magnetfeldes (der Betrag des magnetischen Vektors) mit A bezeichnet wird, die Empfindlichkeit des Sensors mit B bezeichnet wird und der Offset des Sensors mit Co bezeichnet wird, AD-Umwandlungswert C1 = A·X2 + B·X + Co
  • Die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und der Offset Co sind durch quadratische Gleichungen approximiert, die jeweils die Temperaturdaten T als eine unabhängige Variable verwenden. Das heißt, wenn die Temperaturkoeffizienten der Nichtlinearität A mit N0 bis N2 bezeichnet werden, die Temperaturkoeffizienten der Empfindlichkeit B mit S0 bis S2 bezeichnet werden und die Tempe raturkoeffizienten des Offsets Co mit O0 bis O2 bezeichnet werden, so sind die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und der Offset Co wie folgt definiert: Nichtlinearität A = N2·T2 + N1·T + N0 Empfindlichkeit B = B2·T2 + B1·T + B0 Offset Co = O2·T2 + O1·T + O0
  • 2 ist ein Schaubild, das die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X zeigt, wenn die Temperaturcharakteristik wie oben beschrieben approximiert ist. 3 ist eine Tabelle, die die quadratischen Gleichungen, die die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und den Offset Co definieren, und die jeweiligen Temperaturkoeffizienten der quadratischen Gleichung zeigt. Die Werte der Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 werden im Voraus in dem ROM 22 gespeichert, der Teil des Berechnungsabschnitts 22 ist.
  • Hier gilt, wenn die quadratische Gleichung, die die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X zeigt, nach dem geschätzten Wert X aufgelöst wird, Geschätzter Wert X = {–B ± (B2 – 4·A·C)1/2}/2·A)
  • Wenn diese Gleichung für den Fall gelöst wird, in dem die Empfindlichkeit B positiv ist, könnte der geschätzte wert X von dem Digitalsignalprozessor 21 verarbeitet werden. Jedoch ist die Berechnung in dem Digitalsignalprozessor 21 auf der Grundlage dieser Gleichung eine Berechnung eines Polynoms höherer Ordnung, das als Ergebnis der Reihenentwicklung der betreffenden Gleichung gewonnen wird, und somit sind die Berechnungsbelastung, die bis der geschätzte Wert X berechnet ist auferlegt wird, und die Berechnungszeit nicht zu vernachlässigen. Daher kann gemäß dieser Ausführungsform die durch die Berechnung des geschätzten Werts X dem Digitalsignalprozessor 21 auferlegte Belastung reduziert und die Berechnungszeit gemäß der nachfolgenden Prozedur verkürzt werden.
  • Das heißt, wenn (1 + X)1/2 in einer Reihe entwickelt wird, erhält man das folgende Polynom höherer Ordnung: (1 + X)2 = 1 + (1/2)·X – (1/8)·X2 + ...
  • Die quadratische Gleichung, die die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X zeigt, wird durch Verwenden der Terme des Polynoms bis zur zweiten Ordnung aufgestellt. Anschließend wird durch Definition von C = Co – C1 der nachfolgende operative Ausdruck (Approximationsgleichung) abgeleitet: Geschätzter Wert X = –(C/B)·{1 + A·(C/B)2}
  • In dem Digitalsignalprozessor 21 dieser Ausführungsform wird der geschätzte Wert durch Verwenden dieser Approximationsgleichung berechnet. Das heißt, der Digitalsignalprozessor 21 substituiert die Echtzeit-Temperaturdaten T in die quadratische Gleichung, die die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und den Offset Co definiert, und substituiert ferner jeden Parameter der so berechneten Nichtlinearität A, Empfindlichkeit B und des Offsets Co in die Approximationsgleichung, um den geschätzten Wert X zu berechnen.
  • 4 ist ein Flussdiagramm, das die von dem Digitalsignalprozessor 21 ausgeführte Berechnung zeigt, und die Verarbeitungsprozedur der Berechnung ist nachstehend mit Bezug auf das Flussdiagramm beschrieben.
  • [Prozedur der Berechnung]
    • 1. Die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und der Offset Co werden alle aus den in dem Register 21a gespeicherten Echtzeit-Temperaturdaten T und den in dem ROM 22 gespeicherten Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 berechnet (Schritt S100 von 4).
    • 2. Die Variable C (=Co-C1) wird unter Verwendung des Offsets Co und des AD-Umwandlungswertes C1 berechnet (Schritt S101 von 4).
    • 3. Die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und die Variable C werden in die oben beschriebene Approximationsgleichung eingesetzt, um den geschätzten Wert X zu berechnen (Schritt S102 von 4).
    • 4. Der geschätzte Wert X wird in einem Ausgaberegister in dem Register 21a gespeichert (Schritt S103 von 4).
  • Die Berechnung, die die digitale Umwandlung in dem AD-Wandler 14 enthält, kann von einem Mikrocomputer oder dergleichen ausgeführt werden. In diesem Fall kann die Berechnung wie oben beschrieben die Verarbeitung in einer elektronischen Steuerungsvorrichtung sein, die zur Motorsteuerung oder dergleichen verwendet wird. Jedoch ist, wie oben beschrieben, der Inhalt der betreffenden Berechnung die Standardverarbeitung, und somit kann durch Einstellen dieser Verarbeitung als eine so genannte DSP (Digital Signal Processor) – basierende Operation des Digitalsignalprozessors 21 wie in dieser Ausführungsform die Berechnung des geschätzten Werts X mit hoher Geschwindigkeit ausgeführt werden, und die Echtzeit-Performance kann geeignet gewährleistet werden.
  • Ferner umfasst in der in 1 gezeigten Sensorvorrichtung der Ausgangsabschnitt 30 einen DA-Wandler 31 und eine Spannungsverstärkerstufe 32. Wenn ein Datenempfangssignal von dem Steuerungsabschnitt 40 dem Ausgangsabschnitt 30 eingegeben wird, empfängt der Ausgangsabschnitt 30 einen geschätzten Wert, der in dem Ausgaberegister des Registers 21a des Digitalsignalprozessors 31 gespeichert ist, wandelt den geschätzten Wert X in dem DA-Wandler 31 in das analoge Signal um und gibt anschließend das so umgewandelte analoge Signal an die Spannungsverstärkerstufe 32 weiter. wie es oben beschrieben ist, können durch Umwandeln des geschätzten Wertes X, der dem digitalen Wert entspricht, in das analoge Signal, selbst wenn die Sensorvorrichtung und die elektronische Steuerungsvorrichtung in einem bestimmten Abstand zueinander angeordnet sind, diese über eine Signalleitung miteinander verbunden sein.
  • Die Umwandlung des geschätzten Wertes X in das analoge Signal ist optional, und der Ausgangsabschnitt 30 kann, beispielsweise wenn die Sensorvorrichtung in der elektronischen Steuerungsvorrichtung installiert ist und es kein Problem hinsichtlich der Anzahl von Drähten (der Anzahl von Signalleitungen) dazwischen gibt, weggelassen werden, und der geschätzte Wert X, der den digitalen Wert enthält, kann direkt zu dem Steuerungsabschnitt (Mikrocomputer) in der elektronischen Steuerungsvorrichtung ausgegeben werden. Ferner kann jeder Aufbau für den Ausgangsabschnitt 30 verwendet werden, und er kann so aufgebaut sein, das er eine Parallel-Seriell-Umwandlungsschaltung umfasst, und die Übertragung des geschätzten Werts X zu der elektronischen Steuerungsvorrichtung kann über eine serielle Datenübertragung erfolgen.
  • In der in 1 gezeigten Sensorvorrichtung ist der Steuerungsabschnitt 40 mittels einer wohl bekannten Logikschaltung aufgebaut und steuert zentral den Multiplexer 13 und den AD-Wandler 14 des Eingangsabschnitts 10, den Digitalsignalprozessor 21 des Berechnungsabschnitts 20 und den DA-Wandler 31 des Ausgangsabschnitts 30 synchron zu einem von einem Schwingkreis 41 eingegebenen Taktsignal. 5 ist ein Flussdiagramm, das die von dem Steuerungsabschnitt 40 ausgeführte Verarbeitung zeigt, und die Prozedur dieser Verarbeitung ist nachstehend mit Bezug auf das Flussdiagramm beschrieben.
    • 1. Ein Eingangsschaltsignal, das anzeigt, das das verstärkte Sensorsignal PX ausgewählt wird, wird an den Multiplexer 13 ausgegeben (Schritt S200 von 5).
    • 2. Das Umwandlungsstartsignal wird an den AD-Wandler 14 ausgegeben (Schritt S201 von 5), wodurch die Umwandlung des verstärkten Sensorsignals PX in das digitale Signal gestartet wird.
    • 3. Die Rückkehr des Umwandlungsende-Signals von dem AD-Wandler 14 wird erwartet (Schritt S202 in 5).
    • 4. Nachdem das Umwandlungsende-Signal von dem AD-Wandler 14 zurückgekehrt ist, das heißt, nachdem der AD-Umwandlungswert C1 berechnet ist, wird ein Eingangsschaltsignal, das anzeigt, dass das verstärkte Temperatursignal PT ausgewählt wird, zu dem Multiplexer 13 ausgegeben (Schritt S203 von 5).
    • 5. Das Umwandlungsstartsignal wird an den AD-Wandler 14 ausgegeben (Schritt S204 von 5), wodurch die Umwandlung des verstärkten Temperatursignals PT in das digitale Signal gestartet wird.
    • 6. Die Rückkehr des Umwandlungsende-Signals von dem AD-Wandler 14 wird erwartet (Schritt S205 von 5).
    • 7. Nachdem das Umwandlungsende-Signal von dem AD-Wandler 14 zurückgekehrt ist, das heißt, nachdem die Temperaturdaten T gewonnen wurden, werden das Berechnungsstartsignal und das Taktsignal an den Digitalsignalprozessor 21 ausgegeben (Schritt S206 von 5). Demzufolge wird die oben beschriebene Berechnung in dem Digitalsignalprozessor 21 ausgeführt.
    • 8. Die Rückkehr des Berechnungsende-Signals von dem Digitalsignalprozessor 21 wird erwartet (Schritt S207 von 5).
    • 9. Nachdem das Berechnungsende-Signal von dem Digitalsignalprozessor 21 zurückgekehrt ist, das heißt, nachdem der geschätzte Wert X berechnet ist, wird das Datenempfangssignal an den DA-Wandler 31 ausgegeben (Schritt S208 von 5), wodurch der berechnete geschätzte Wert X in das analoge Signal umgewandelt wird.
  • Ferner ist der Steuerungsabschnitt 40 auch mit einer Schaltung zur Ausführung einer Verstärkungseinstellung, einer Nullpunktseinstellung etc. der Verstärker 11, 12 des Eingangsabschnitts 10 ausgestattet. Die Verstärkungseinstellung, die Nullpunktseinstellung etc. der Verstärker 11, 12 erfolgt zum Beispiel mit Hilfe dieser Schaltung beim Herstellungsprozess.
  • Gemäß dem Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe und der Sensorvorrichtung, die das Erfassungsverfahren gemäß dieser Ausführungsform verwendet, können die folgenden Effekte erzielt werden.
    • 1. Die Beziehung zwischen dem Ausgangssignal des Sensors (AD-Umwandlungswert C1) und dem tatsächlichen Betrag (geschätzter Wert X) der physikalischen Größe, bestimmt durch den Sensor, wird durch eine quadratische Gleichung approximiert, und die Koeffizienten dieser quadratischen Gleichung, das heißt, die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und der Offset Co, werden ebenfalls durch eine quadratische Gleichung approximiert, die die Temperaturdaten T als eine unabhängige Variable verwenden. Daher wird die Temperaturcharakteristik des Sensors sicher kompensiert. Ferner werden die Nichtlinearität A, die Empfindlichkeit B und der Offset Co auf der Grundlage der Echtzeit-Temperaturdaten T berechnet, so dass der geschätzte Wert X mit hoher Genauigkeit berechnet werden kann.
    • 2. Die Temperaturcharakteristik der Parameter der Nichtlinearität A, der Empfindlichkeit B und des Offset Co wird durch die quadratische Gleichung unter Verwendung der Temperaturdaten T als unabhängiger Variable approximiert. Die Temperaturcharakteristik, die ursprünglich durch eine Gleichung höherer Ordnung definiert ist, wird durch die quadratische Gleichung approximiert, wodurch die zur Ausführung der Berechnung in dem Digitalsignalprozessor 21 erforderliche Belastung verringert und die Berechnungszeit verkürzt werden kann. Selbst wenn die Temperaturcharakteristik durch die quadratische Gleichung approximiert wird, kann der geschätzte Wert X mit praktisch ausreichender Genauigkeit berechnet werden.
    • 3. In dem Digitalsignalprozessor 21 wird die quadratische Gleichung, die die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X definiert, als Reihe entwickelt, um ein Polynom zu erhalten, und die Approximationsgleichung für den geschätzten Wert X, die die Terme des Polynoms bis zum quadratischen Term verwendet, wird zur Ausführung der Berechnung verwendet. Daher kann die Be rechnungszeit stark verkürzt werden, und die Berechnungsbelastung kann verringert werden. Ferner kann durch Berechnung des geschätzten Werts X mit der Approximationsgleichung die Schaltungsdimension des Digitalsignalprozessors 21 verringert werden.
    • 4. Die Verarbeitung bis der geschätzte Wert X aus dem AD-Umwandlungswert C1, der dem Ausgangssignal des Sensors entspricht, den Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 und den Echtzeit-Temperaturdaten T berechnet ist, wird von der DSP (Digital Signal Processing) – basierenden Verarbeitung des Digitalsignalprozessors 21 ausgeführt, so dass der geschätzte wert X äußerst schnell berechnet werden kann.
    • 5. Die in dem ROM 22 gespeicherten Daten sind auf nur neun Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 begrenzt, so dass ein ROM mit einer geringen Speicherkapazität als ROM 22 verwendet werden kann, was die Miniaturisierung der Sensorvorrichtung vorantreibt bzw. begünstigt.
  • Das Verfahren zur Erfassung einer physikalischen Größe und die Sensorvorrichtung ist nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform begrenzt, und verschiedene Modifikationen, die nachstehend beschrieben sind, können an der oben beschriebenen Ausführungsform durchgeführt werden.
    • 1. In der oben beschriebenen Ausführungsform wird, um die Berechnungsbelastung des Digitalsignalprozessors 21 zu verringern, die quadratische Gleichung, die die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X angibt, in einer Reihe entwickelt, und die Approximationsgleichung wird abgeleitet, indem nur die Terme des Polynoms bis zum quadratischen Term verwendet werden, die durch die Reihenentwicklung gewonnen werden, und der geschätzte Wert X wird unter Verwendung dieser Approximationsgleichung gewonnen. Jedoch wird die Anzahl der Terme des zur Ableitung der betreffenden Approximationsgleichung verwendeten Polynoms auf jede beliebige Zahl festgelegt, und wenn der Digitalsignalprozessor 21 eine noch Rechenkapazitäten besitzt, kann die Approximationsgleichung unter Verwendung der Terme des Polynoms bis zu dem quadratischen Term abgeleitet werden. In diesem Fall kann die Temperaturcharakteristik des Sensors mit hoher Genauigkeit kompensiert werden.
    • 2. In der oben beschriebenen Ausführungsform werden die Daten der für die Berechnung des Digitalsignalprozessors 21 gelieferten Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 im Voraus in dem ROM 22 gespeichert. Alternativ können die Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 für jeden Sensor gesondert bestimmt werden, und die Daten der so bestimmten Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 werden getrennt in dem ROM 22 gespeichert. Insbesondere wird der ROM 22 durch einen elektrisch beschreibbaren Flash-Speicher, EEPROM oder dergleichen, ersetzt. Ferner ist, wie es in 1 durch eine strichpunktierte Linie gezeigt ist, eine Eingangsschaltung (I/O) 50 zwischen einem Personalcomputer 51 und dem Steuerungsabschnitt 40 vorgesehen, und der Inhalt des ROM 22 wird über die Eingangs-/Ausgangs-Schaltung 50 in geeigneter Weise geändert.
  • In dem oben beschriebenen Aufbau ist die Prozedur der Registrierung der optimalen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 für jeden Sensor mit Bezug auf das Blockdiagramm von 1 beschrieben.
    • 1. Zuerst wird in dem Steuerungsabschnitt 40 der in dem Register 21a des Digitalsignalprozessors 21 gespeicherte AD-Umwandlungswert C1 empfangen und über die Eingangs-/Ausgangs-Schaltung 50 zu dem Personalcomputer (der Berechnungsvorrichtung) 51 ausgegeben.
    • 2. Der Personalcomputer 51 berechnet auf der Grundlage des AD-Umwandlungswerts C1 die optimalen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 und gibt eine Einstellungsanweisung zum Schreiben der so berechneten Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 in den ROM 22 über die Eingangs-/Ausgangs-Schaltung 50 an den Steuerungsabschnitt 40 aus.
    • 3. Auf der Grundlage der Eingabe der Temperaturkoeffizieten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 und der Einstellungsanweisung von dem Personalcomputer 51 schreibt der Steuerungsabschnitt 40 die Werte (Daten) der Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, So bis S2 und N0 bis N2 in den ROM 22.
    • 4. Ferner gibt der Personalcomputer 51, um zu überprüfen, ob die Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 in den ROM 22 geschrieben wurden, über die Eingangs-/Ausgangs-Schaltung 50 eine Anweisung, die anzeigt, dass das Einlesen des Speicherinhalts des ROM 22 erwünscht ist, an den Steuerungsabschnitt 40.
    • 5. Wenn die Anweisung, die anzeigt, dass das Einlesen des Inhalts des ROM 22 erwünscht ist, in den Steuerungsabschnitt 40 eingegeben wird, liest der Steuerungsabschnitt 40 die in dem ROM 22 gespeicherten Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 aus und gibt die Werte (Daten) der ausgelesenen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 über die Eingangs-/Ausgangs-Schaltung 50 an den Personalcomputer 51.
    • 6. Durch Vergleichen der Werte der ausgegebenen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 mit den eingegebenen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 beurteilt der Personalcomputer, ob das Schreiben in den ROM 22 sicher ausgeführt wurde.
  • Wie es oben beschrieben ist, kann die Temperaturcharakteristik des zu verbindenden Sensors durch Speichern der optimalen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 in dem ROM 22 für jeden Sensor zuverlässig kompensiert werden, selbst wenn die Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 für jeden Sensor verschieden sind. In diesem Fall ist ein Beispiel der Speicherung der optimalen Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis Sa und N0 bis N2 für jeden Sensor beschrieben worden. Jedoch können verschiedene Typen als die Werte der Temperaturkoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2, die in dem ROM 22 registriert werden sollen, angewendet werden. Zum Beispiel wird eine Mehrzahl von optimalen Temperatukoeffizienten O0 bis O2, S0 bis S2 und N0 bis N2 für jeden Sensor im Voraus bestimmt, und der Durchschnittswert hiervon wird in dem ROM 22 eingetragen.
  • Jeder Aufbau kann für den Berechnungsabschnitt 20 verwendet werden. Zum Beispiel kann der Berechnungsabschnitt 20 statt des Digitalsignalprozessors 21 einen ROM 61 und einen ROM 62 umfassen, wie es in 6 gezeigt ist. Die Temperaturdaten DT, die dem digitalen Signal des verstärkten Temperatursignals PT entsprechen, und die Temperatur T, die den Temperaturdaten DT entsprechen, werden im Voraus als Kartendaten gespeichert. Wenn die Temperaturdaten DT in den ROM 61 eingegeben werden, bestimmt der ROM 61 die Temperaturdaten T, die den Temperaturdaten DT entsprechen, zum Beispiel die Temperaturdaten T1 von den Kartendaten, und gibt die Temperaturdaten T1 an den ROM 62 aus. Ferner ist die Beziehung zwischen dem AD-Umwandlungswert C1 und dem geschätzten Wert X, der die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und die Temperaturcharakteristik der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, d.h. die Empfindlichkeit B und den Offset Co, enthält, als temperaturbasierende Kartendaten gespeichert, die die gleichen integrierten Ergebnisse wie die Berechnung des Digitalsignalprozessors 21 enthalten. Der geschätzte Wert X wird auf der Grundlage der Lieferung der Temperaturinformation zur Auswahl der Kartendaten und der Ausgangsinformation des Sensors vom ROM 61 direkt aus dem ROM 62 ausgelesen. Das heißt, in diesem Fall wird, wenn die Temperaturdaten T1 von dem ROM 61 eingegeben werden und der AD-Umwandlungswert C1 von dem Eingangsabschnitt 10 eingegeben wird, die gekrümmte Linie, die den Temperaturdaten T1 entspricht, von den Kartendaten ausgewählt, und der geschätzte Wert x, der dem AD-Umwandlungswert C1 entspricht, wird auf der ausgewählten gekrümmten Linie bestimmt. Wenn alle in dem Rom 612 und ROM 62 gespeicherten Kartendaten ausgelesen sind, kann eine geeignete Interpolationsberechnung angewendet werden. Durch Lieferung der Echtzeit-Temperaturinformation und der Ausgangsinformation des Sensors an den ROM 62, kann selbst bei der so aufgebauten Sensorvorrichtung die Temperaturcharakteristik sicher kompensiert werden, selbst für einen Sensor, bei dem die Parameter wie etwa der Offset Co, die Empfindlichkeit B, etc. durch die Temperatur nicht-linear variiert werden, und die physikalische Größe kann mit hoher Genauigkeit erfasst werden.
  • Der mit der Sensorvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung verbundene Sensor ist nicht auf den Stromsensor (Stromsensor vom magnetisch erfassenden Typ), der oben beschrieben ist, begrenzt. Die Sensorvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist auf einen Sensor anwendbar, in dem die Parameter wie etwa die Empfindlichkeit B, der Offset Co, etc. durch die Temperaturänderung nichtlinear verändert werden.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Erfassung eines tatsächlichen Betrages einer physikalischen Größe, mit den Schritten: – Approximieren einer Beziehung zwischen einem Ausgangssignal eines Sensors und des durch den Sensor zu bestimmenden tatsächlichen Betrages der physikalischen Größe, indem eine Temperaturcharakteristik einer Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und Temperaturcharakteristiken von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, Koeffizienten einer quadratischen Gleichung bilden; – Approximieren jedes der Koeffizienten durch eine Gleichung höherer Ordnung mit der Temperatur als unabhängiger Variable; – Speichern des Temperaturkoeffizienten hiervon in einer Speichereinheit (22) im Voraus; und – Ausführen, auf der Grundlage eines Echtzeit-Ausgangssignals des Sensors, der Schritte: – Substituieren des in der Speichereinheit (22) gespeicherten Temperaturkoeffizienten und der Echtzeit-Temperatur in die Gleichung höherer Ordnung, um die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und die Temperaturcharakteristik der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, zu bestimmen; und – Substituieren der so gewonnenen Koeffizienten und des Ausgangssignals des Sensors in die quadratische Gleichung, um den tatsächlichen Betrag der physikalische Größe, die bestimmt werden soll, zu berechnen und somit die tatsächliche physikalische Größe zu erfassen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfindlichkeit und der Offset des Sensors als die Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, verwendet werden, und die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe, die Temperaturcharakteristik der Empfindlichkeit und die Temperaturcharakteristik des Offsets, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, jeweils durch die Gleichung höherer Ordnung, die eine quadratische Gleichung ist und die Temperatur als unabhängige Variable enthält, approximiert werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die tatsächliche physikalische Größe durch die Gleichung: X = –{(Co – C1)/B}·[1 + {A·(Co – C1)/B2}]berechnet wird, wobei die Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe mit A bezeichnet ist, die Empfindlichkeit des Sensors mit B bezeichnet ist, der Offset des Sensors mit Co bezeichnet ist und das Ausgangssignal des Sensors mit C1 bezeichnet ist.
  4. Sensorvorrichtung zur Erfassung eines tatsächlichen Betrages einer physikalischen Größe, mit: – einer Einheit (10) zur Eingabe des Ausgangssignals eines Sensors zur Erfassung einer physikalischen Größe; – einer Speichereinheit (22), wobei, wenn die Beziehung zwischen einem Ausgangssignal eines Sensors und eines tatsächlichen Betrages der physikalischen Größe, die von dem Sensor bestimmt werden soll, durch eine quadratische Gleichung approximiert wird, deren Koeffizienten von der Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und den Temperaturcharakteristiken von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, gebildet sind und die Koeffizienten jeweils durch eine Gleichung höherer Ordnung mit der Temperatur als unabhängiger Variable approximiert werden, die Speichereinheit (22) der Speicherung der Temperaturkoeffizienten dient; und – einer Berechnungseinheit (20) zur Substitution der in der Speichereinheit (22) gespeicherten Temperaturkoeffizienten und der Echtzeit-Temperatur in die Gleichung höherer Ordnung, um die Temperaturcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und die Temperaturcharakteristiken der Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung sind, zu bestimmen, und zur Substitution der so gewonnenen Koeffizienten und des Ausgangssignals des Sensors in die quadratische Gleichung, um den zu bestimmenden tatsächliche Betrag der physikalischen Größe zu berechnen und so die tatsächliche physikalische Größe zu erfassen.
  5. Sensorvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Parameter, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, die Empfindlichkeit und der Offset des Sensors sind und die Berechnungseinheit (20) die Berechnung durch Approximation der Tempera turcharakteristik der Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe, die Temperaturcharakteristik der Empfindlichkeit und die Temperaturcharakteristik des Offsets, die die Koeffizienten der quadratischen Gleichung bilden, mit einer Gleichung höherer Ordnung, die eine Gleichung zweiten Grades ist und die Temperatur als unabhängige Variable enthält, ausführt.
  6. Sensorvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Berechnungseinheit (20) den tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe X durch Ausführen der Gleichung: X = –{(Co – C1)/B}·[1 + {A·(Co – C1)/B2}]berechnet, wobei die Nichtlinearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe mit A bezeichnet ist, die Empfindlichkeit des Sensors mit B bezeichnet ist, der Offset des Sensors mit Co bezeichnet ist und das Ausgangssignal des Sensors mit C1 bezeichnet ist.
  7. Sensorvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit (10) zur Eingabe des Ausgangssignals des Sensors mit einem AD-Wandler (14) zur Umwandlung des eingegebenen Ausgangssignals des Sensors in ein digitales Signal mit einer vorbestimmten Auflösung ausgestattet ist, und dass die Berechnungseinheit (20) einen Digitalsignalprozessor (21) zur Ausführung der betreffenden Berechnung auf der Grundlage des so umgewandelten digitalen Signals und der in der Speichereinheit (22) gespeicherten Daten, die die jeweiligen Temperaturkoeffizienten anzeigen, umfasst.
  8. Sensorvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Speichereinheit (22) einen elektrisch beschreibbaren ROM (22) umfasst und die Daten, die die jeweiligen Temperaturkoeffizienten anzeigen, von außen beschreibbar sind.
  9. Sensorvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Beziehung zwischen dem eingegebenen Sensorausgangssignal und dem von dem Sensor erfassten tatsächlichen Betrag der physikalischen Größe in dem ROM (22) in Form von temperaturabhängigen Kartendaten gespeichert ist, die durch Sammeln der Berechnungsergebnisse der Berechnungseinheit (20) zusammen mit der Temperaturcharakteristik der Nichtliniearität des Sensors selbst bezüglich der physikalischen Größe und der Temperaturcharakteristik von Parametern, die das Ausgangssignal des Sensors beeinflussen, gewonnen werden, wobei die Temperaturinformationen und die Ausgangssignalinformationen des Sensors zur Auswahl der Kartendaten dem ROM zugeführt werden, so dass der Wert des tatsächlichen Betrages der physikalischen Größe direkt aus dem ROM gelesen wird.
DE102006011264A 2005-03-31 2006-03-10 Verfahren und Sensorvorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe Ceased DE102006011264A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-105018 2005-03-31
JP2005105018A JP4736508B2 (ja) 2005-03-31 2005-03-31 物理量検出方法及びセンサ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102006011264A1 true DE102006011264A1 (de) 2006-10-05

Family

ID=36999112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006011264A Ceased DE102006011264A1 (de) 2005-03-31 2006-03-10 Verfahren und Sensorvorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7231312B2 (de)
JP (1) JP4736508B2 (de)
DE (1) DE102006011264A1 (de)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7322743B2 (en) * 2005-07-25 2008-01-29 Caterpillar Inc. Temperature measurement system and method
US7830690B2 (en) * 2006-10-30 2010-11-09 Intel Corporation Memory module thermal management
CN101188047A (zh) * 2006-11-17 2008-05-28 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 多通道差动信号监测电路
JP2008309626A (ja) * 2007-06-14 2008-12-25 Oki Electric Ind Co Ltd 感磁出力ic
US8350563B2 (en) * 2010-10-12 2013-01-08 Allegro Microsystems, Inc. Magnetic field sensor and method used in a magnetic field sensor that adjusts a sensitivity and/or an offset over temperature
US9395391B2 (en) 2013-03-15 2016-07-19 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and associated method that can store a measured threshold value in a memory device during a time when the magnetic field sensor is powered off
US10845434B2 (en) 2012-01-06 2020-11-24 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having a temperature compensated threshold on power up
US8736260B2 (en) 2012-01-06 2014-05-27 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and associated method that can establish a measured threshold value and that can store the measured threshold value in a memory device
EP2871488B1 (de) * 2012-06-29 2017-08-16 Asahi Kasei Microdevices Corporation Vorrichtung zum ausgleich einer elektromotorischen hallkraft und verfahren zum ausgleich einer elektromotorischen hallkraft
JP5658715B2 (ja) * 2012-07-25 2015-01-28 旭化成エレクトロニクス株式会社 ホール起電力信号検出装置
US9134383B2 (en) 2012-12-28 2015-09-15 Asahi Kasei Microdevices Corporation Hall device, magnetic sensor having same, and signal correcting method thereof
JP5878883B2 (ja) * 2013-02-26 2016-03-08 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気センサの温度特性補正方法
JP6237982B2 (ja) * 2013-04-23 2017-11-29 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器及び移動体
CN105094025B (zh) * 2014-04-30 2018-03-20 台达电子企业管理(上海)有限公司 变送器及其监测系统
US10718682B2 (en) * 2015-02-05 2020-07-21 Hella Kgak Hueck & Co. Method for calibrating at least one sensor, in particular a pressure sensor, having at least one signal-conducting connection to at least one signal converter
EP3542126B1 (de) * 2016-11-18 2024-09-04 Zygo Corporation Verfahren und vorrichtung zur optimierung der optischen leistung von interferometern
JP6897107B2 (ja) * 2017-01-17 2021-06-30 日立金属株式会社 電流センサの信号補正方法、及び電流センサ
US10839920B2 (en) 2017-09-29 2020-11-17 Allegro Microsystems, Llc Circuit having a low power charge pump for storing information in non-volatile memory during a loss of power event
US10430296B2 (en) 2017-09-29 2019-10-01 Allegro Microsystems, Llc Circuit and method for storing information in non-volatile memory during a loss of power event
US10834632B2 (en) * 2018-09-21 2020-11-10 At&T Intellectual Property I, L.P. Energy-efficient wireless communications for advanced networks with low-resolution digital-to-analog converters
US12455301B2 (en) 2023-12-11 2025-10-28 Allegro Microsystems, Llc Hall plate current sensor having stress compensation

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3996590A (en) * 1961-02-02 1976-12-07 Hammack Calvin M Method and apparatus for automatically detecting and tracking moving objects and similar applications
JP2574023B2 (ja) * 1988-12-30 1997-01-22 株式会社豊田中央研究所 物理量検出装置
US5361218A (en) * 1992-08-11 1994-11-01 Itt Corporation Self-calibrating sensor
JPH0688847A (ja) 1992-09-08 1994-03-29 Advantest Corp 温度特性測定方法
JP3390619B2 (ja) * 1997-01-17 2003-03-24 シャープ株式会社 高周波加熱装置の温度検出器
US5939693A (en) * 1998-02-02 1999-08-17 Motorola Inc. Polynomial calculator device, and method therefor
JP2000162066A (ja) * 1998-11-26 2000-06-16 Denso Corp センサ装置
US6307496B1 (en) 1999-10-04 2001-10-23 Denso Corporation Sensing apparatus including an A/D conversion circuit for detecting a physical quantity

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006284375A (ja) 2006-10-19
JP4736508B2 (ja) 2011-07-27
US20060224350A1 (en) 2006-10-05
US7231312B2 (en) 2007-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006011264A1 (de) Verfahren und Sensorvorrichtung zur Erfassung einer physikalischen Größe
DE112012005548B4 (de) Ausgangswertkorrekturverfahren für eine Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse, Ausgangskorrekturverfahren für einen Sensor für eine physikalische Grösse, Sensorvorrichtung für eine physikalische Grösse und Ausgangswertkorrekturvorrichtung für einen Sensor für eine physikalische Grösse
DE19846461B4 (de) Sensoreinstellschaltung
DE602004008330T2 (de) Sensordriftkompensation nach charge
DE10131229B4 (de) Eine physikalische Größe erfassender Sensor
DE69834242T2 (de) Strahlungsthermometer und verfahren zu seiner justierung
DE69423100T2 (de) Dehnungsmessaufnehmer mit integrierter temperaturerfassung
DE102009026425B4 (de) Luftströmungsmessvorrichtung und Luftströmungskorrekturverfahren
DE19653592A1 (de) Von einem Mikroprozessor gesteuerte Sensor-Konditionierungs-Schaltung
EP2758755B1 (de) Verfahren zur erfassung einer strömungseigenschaft eines strömenden fluiden mediums
DE69232453T2 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE19920961A1 (de) Luftdurchflußmengen-Meßvorrichtung
DE112010003591T5 (de) Sensorreaktionskalibrierung zur Linearisierung
DE10392816T5 (de) Vorrichtung und Verfahren für einen kompensierten Sensor-Ausgang
DE69427937T2 (de) Steuereinrichtung für eine Brennkraftmaschine und Luftdurchflussmesser dafür
DE112017002858T5 (de) Thermisches Feuchtigkeitsmessgerät
WO2006069745A1 (de) Verfahren zum korrigieren einer durch eine elektrische spannungsmessung indirekt durchgeführten elektrischen strommessung
CH684805A5 (de) Verfahren zur Wandlung eines gemessenen Signals, Wandler zu dessen Ausführung sowie Messanordnung.
DE3719532A1 (de) Kraftmesseinrichtung
DE19619247C2 (de) Luftdurchflußmesser vom Heizwiderstandstyp
DE4211997A1 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zur elektrischen Kompensation des Temperatureinflusses auf das Meßsignal von mechanoelektrischen Meßwandlern
DE69824712T2 (de) Polynomiale rechnervorrichtung
DE4315336B4 (de) Verfahren und Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen
DE112019002105T5 (de) Vorrichtung zum erfassen von physikalischen grössen
DE4446775B4 (de) Verfahren zur Kompensation der thermischen Offsetdrift von Sensoren

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20120316

R016 Response to examination communication
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final