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DE102006003877B4 - Vibrometer - Google Patents

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DE102006003877B4
DE102006003877B4 DE102006003877A DE102006003877A DE102006003877B4 DE 102006003877 B4 DE102006003877 B4 DE 102006003877B4 DE 102006003877 A DE102006003877 A DE 102006003877A DE 102006003877 A DE102006003877 A DE 102006003877A DE 102006003877 B4 DE102006003877 B4 DE 102006003877B4
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vibrometer
micromirror
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grid
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Joachim Dr. Barenz
Rainer Baumann
Hans Dieter Dr. Tholl
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/004Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

Vibrometer (1, 23), umfassend eine Strahlungsquelle (z.B. 2) für kohärente Strahlung, einen Strahlteiler (4) zur Zerlegung des Ausgangsstrahls (13) der Strahlungsquelle (z.B. 2) in einen Messstrahl (14) zur Beobachtung eines schwingenden Objekts (17) und in einen Referenzstrahl (15), eine Strahlführungseinrichtung zur Überlagerung des vom schwingenden Objekt (17) rücklaufenden Messstrahls (18) mit dem Referenzstrahl (15), und einen Detektor (10) zur zeit- und/oder ortsaufgelösten Aufnahme der Überlagerungsmuster, gekennzeichnet, durch ein im Strahlengang des rücklaufenden Messstrahls (18) angeordnetes Mikrospiegelraster (8), durch eine Empfangsoptik (7) zur Abbildung des schwingenden Objekts (17) auf das Mikrospiegelraster (8), und durch eine Abbildungsoptik (9) zur Abbildung des Mikrospiegelrasters (8) auf den Detektor (10).

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Vibrometer gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Die Erfindung betrifft weiter die Verwendung eines derartigen Vibrometers sowie ein Verfahren zur Erzeugung eines Schwingungsbildes eines schwingenden Objekts.
  • Ein Vibrometer der eingangs genannten Art kann beispielsweise dem Prospekt „Möglichkeiten/Grundlagen der Vibrometrie" der Polytec GmbH, Polytec-Platz 1–7, D-76337 Waldbronn, entnommen werden. In einem derartigen Vibrometer wird beispielsweise mittels eines Lasers kohärentes Licht erzeugt und mittels eines Strahlteilers in einen Mess- und in einen Referenzstrahl aufgeteilt. Der Messstrahl trifft auf ein schwingendes Objekt, läuft von diesem reflektiert zurück und wird nach dem Prinzip eines Interferometers zur Überlagerung mit dem Referenzstrahl gebracht. Aufgrund der Schwingungen des Objekts ergibt sich ein charakteristisches Überlagerungs- oder Interferenzmuster, aus welchem auf das Schwingungsverhalten des schwingenden Objekts zurückgeschlossen werden kann. Wird beispielsweise mittels eines Detektors die Intensitätsvariation des Überlagerungsmusters mit der Zeit beobachtet, so kann aus dieser Variation direkt auf die Schwingungsfrequenz des Objekts bzw. seiner angestrahlten Oberfläche zurückgeschlossen werden. Die Modulationsfrequenz des Interferenzmusters ist hierbei direkt proportional zur Geschwindigkeit des schwingenden Objekts.
  • Zur Erfassung des dreidimensionalen Schwingungsverhaltens des schwingenden Objekts ist es bekannt, die Messstrahlen aus orthogonalen Richtungen auf das Objekt zu richten, um somit Wegdifferenzen in drei Raumrichtungen beobachten zu können. Zur Erzeugung eines ortsaufgelösten Schwingungsbildes des schwingenden Objekts ist es weiter bekannt, das schwingende Objekt bzw. seine Oberfläche mit dem Messstrahl abzuscannen und somit für jeden Messpunkt das spezifische Schwingverhalten zu ermitteln. Nachteiligerweise erfordert sowohl die 3D- als auch die ortsaufgelöste Vibrometrie einen hohen Zeitaufwand bei der Ermittlung des Schwingungsverhaltens.
  • Aus der US 4 768 381 A ist ebenfalls ein Vibrometer gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 bekannt, mit dem dreidimensionale Vibrationen eines Objekts gemessen werden können, indem das von einer Lichtquelle erzeugte und an einer reflektierenden konisch-konkaven Oberfläche eines Elements, welches auf das zu untersuchende Objekt aufgesetzt wird, reflektierte Licht gemessen wird.
  • Die EP 0 564 112 A2 zeigt eine Empfangs-Sende-Einrichtung für ein Zielidentifikationssystem für Flugzeuge. Dabei kommt ein Laser-Vibrometer zum Einsatz. Auf ein Array von Fotodetektoren wird die von einem Ziel reflektierte Laserstrahlung gelenkt. Auf das gleiche Array wird gleichzeitig auch eine Referenz-Laserstrahlung gelenkt, die mittels eines Strahlteilers in eine Anzahl von separaten Referenzstrahlen derart aufgeteilt wurde, dass auf jedem Fotodetektor des Arrays ein separater Referenz-Strahl fokussierbar ist.
  • Die US 2005-0 046 824 A1 offenbart ein optisches Velocimeter zur Bestimmung der zweidimensionalen Bewegungsgeschwindigkeit eines Messobjekts. Hierbei wird kohärentes Licht über ein Beugungsgitter in drei Lichtflüsse unterteilt. Mittels eines optisches Systems wird dafür gesorgt, dass sich die optischen Achsen der Lichtflüsse in einem Detektionspunkt auf dem Messobjekt schneiden. Das von dem Detektionspunkt gestreute und aufgrund der Bewegung des Messobjekts frequenzverschobene Licht wird dann von zwei Licht-Empfangsbereichen empfangen und in ein elektrisches Signal umgesetzt, um die Bewegungsgeschwindigkeit des Messobjekts in zwei Richtungen bestimmen zu können.
  • Aus der US 6323 949 B1 ist eine optische Messmethode und eine Vorrichtung bekannt, mit denen die Bestimmung des Zustands eines Objekts auf quasielastischer Interaktion zwischen dem Objekt und von dem Objekt ausgesendeten Licht bestimmbar ist. Dabei passiert das von einer Lichtquelle ausgesendete Licht ein diffraktives optisches Element und interagiert mit einem Objekt. Das Licht, welches mit dem Objekt interagiert hat, wird gesammelt und detektiert. Der Zustand des Objektes wird dabei über die Ausgestaltung des diffraktiven optischen Elements definiert.
  • Die EP 1 610 088 A1 zeigt eine Vorrichtung zum optischen Vermessen eines Objekts. Dabei wird ein Interferometer so in den Strahlengang eines konfokalen Autofokusmikroskops eingekoppelt, dass der Messstrahl des Interferometers gleichzeitig der Fokus des Mikroskops ist. Hierdurch wird gewährleistet, dass die interferometrische Bewegungsmessung immer im Fokus des verwendeten Mikroskops durchgeführt wird.
  • Aus der DE 198 01 959 A1 ist ein optischer Aufbau zur berührungslosen Schwingungsmessung bekannt. Hierzu wird ein Laserinterferometer verwendet, bei dem das vom Laser kommende Licht über einen Lichtleiter zu einem Messkopf geführt wird. Eine Aufteilung des Lichtes in einen Messstrahl und in einen Referenzstrahl erfolgt dabei erst nach Durchlaufen zumindest eines Teiles des Lichtleiters.
  • Die DE 198 06 240 B4 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zur flächenhaften Schwingungsanalyse. Um auch eine Schwingungsanalyse für komplizierte Werkstücke durchführen zu können, wird ein Laserinterferometer eingesetzt, bei dem mittels einer Steuereinheit das Werkstück mit einem Laserstrahl abgetastet wird. Um eine gute Ortsauflösung zu erreichen, werden für einen Abtastvorgang Messpunkte einzeln und/oder in zumindest einem in seiner Kontur anpassbarem Raster frei auf dem Messobjekt positioniert, wobei verschiedene Messpunkt-Teilmengen in unterschiedliche Klassen eingeteilt und abhängig von ihrer Klassenzugehörigkeit ausgewertet werden.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Vibrometer anzugeben, welches hinsichtlich der notwendigen Messzeit gegenüber einem Vibrometer der herkömmlichen Art verbessert ist. Weiter soll eine Verwendung für ein derartiges Vibrometer angegeben werden. Auch ist es Aufgabe der Erfindung, ein hinsichtlich der notwendigen Messzeit verbessertes Verfahren zur Erstellung eines Schwingungsbildes eines schwingenden Objektes anzugeben.
  • Die auf eine Vorrichtung gerichtete Aufgabe wird für ein Vibrometer gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass ein Mikrospiegelraster im Strahlengang des rücklaufenden Messstrahls angeordnet ist, wobei eine Empfangsoptik zur Abbildung des schwingenden Objekts auf das Mikrospiegelraster und eine Abbildungsoptik zur Abbildung des Mikrospiegelrasters auf den Detektor vorgesehen sind.
  • Die Erfindung geht dabei von der Überlegung aus, zur Analyse des Schwingungsverhaltens des zu untersuchenden Objektes dieses nicht mittels des Messstrahls zu scannen, sondern durch eine Abbildung des Interferenzmusters auf dem Detektor zu ersetzen. Hierdurch entfällt der aufwändige Scannvorgang, wodurch sich nicht nur die Messzeit verringert, sondern sich zudem ein einfacherer Aufbau des Vibrometers ergibt. In einem weiteren Schritt geht die Erfindung von der Überlegung aus, dass sich ein einfacher und schneller Detektor zur Auswertung des Interferenzmusters einsetzen lässt, wenn ein Mikrospiegelraster im Abbildungsstrahlengang verwendet wird. Ein derartiges, in Spalten und Zeilen angeordnete Mikrospiegel umfassendes Mikrospiegelraster erlaubt nämlich eine selektive Auswahl einzelner Abbildungsausschnitte, indem nur die gewünschten Mikrospiegel auf den Detektor gerichtet werden.
  • Mit anderen Worten erlaubt die Erfindung, ein Schwingungsbild des zu untersuchenden Objektes aufzunehmen, in dem nicht der Messstrahl zeitaufwändig über das Objekt geführt, sondern eine selektive Abbildung des Objekts auf den Detektor erfolgt. Dabei verkürzt sich die notwendige Messzeit mindestens um diejenige Teilzeit, die zum Führen des Messstrahls über das Objekt erforderlich wäre.
  • Hinsichtlich des Aufbaus der Strahlführungseinrichtung, die zur Überlagerung des Mess- und des Referenzstrahls notwendig ist, ist die Erfindung nicht einge schränkt. Beispielsweise kann der Aufbau dem eines bekannten Michelson-Interferometers gleichen, wobei in einem Zweig der Messstrahl von dem schwingenden Objekt und in dem anderen Zweig der Referenzstrahl von einem Spiegel reflektiert wird. Die Strahlteilung kann mit herkömmlichen Strahlteilern, aber auch mit nichtlinearen optischen Elementen durchgeführt werden. Zur Strahlführung können Spiegel, Prismen und insbesondere auch Lichtleitfasern eingesetzt sein.
  • Die notwendige Messzeit des Vibrometers hängt von der angestrebten Auflösung der Schwingungsfrequenz und der Anzahl der ausgewerteten Messpunkte ab. Die Frequenzauflösung legt hierbei die Messzeit pro Messpunkt fest; die gesamte Messzeit pro Fläche hängt linear von der Anzahl der Messpunkte ab. Die Messzeit für eine gewünschte Auflösung der Schwingungsfrequenz von 1 Hz beträgt beispielsweise pro Messpunkt 1 Sekunde. Damit benötigt man zur Auswertung von N Messpunkten N Sekunden. Könnten die N Messpunkte mit einem Mosaik von Detektorelementen parallel beobachtet werden, so würde sich die benötigte Messzeit auf 1 Sekunde verringern. Für jedes Rasterelement wäre ein Wandler für optische in elektrische Energie und eine Elektronik erforderlich, die die aufgenommene Information, wie beispielsweise Intensität, Amplitude oder Frequenz, verarbeitet. Ein derart aufwändiges Element ist für eine kommerzielle Realisierung nicht geeignet.
  • Vorteilhafterweise erlaubt jedoch der Einsatz eines Mikrospiegelrasters die Verwendung eines einfachen, wenige Rasterelemente aufweisenden Detektors, und insbesondere eines Einzeldetektors. Hierzu muss lediglich mit den eingangs geschilderten Vorteilen bezüglich der Messzeit eine selektive Abbildung des Interferenzbildes auf den Detektor durch Ausrichtung einzelner Mikrospiegel erfolgen. Mit einem Mikrospiegelraster wird demnach mit vertretbarer Messzeit ein Abbilden des Vibrometers mit einem kostengünstigen Detektor möglich.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist eine Sendeoptik zur Ausrichtung des weglaufenden Messstrahls auf das schwingende Objekt vorgesehen. Hierdurch wird beispielsweise eine Aufweitung oder Fokussierung des Messstrahls möglich. Ebenso gut ist es jedoch auch vorstellbar, die Strahlungsquelle bereits so auszugestalten, dass der auf das Objekt treffende Messstrahl bereits eine gewünschte Querschnittsfläche aufweist.
  • Zweckmäßigerweise wird im Referenzstrahlengang ein Frequenzschieber, insbesondere eine Bragg-Zelle, angeordnet. Mittels eines derartigen Frequenzschie bers, der insbesondere auch als ein nichtlineares optisches Element ausgeführt sein kann, wird die Frequenz des Referenzstrahls gegenüber der Frequenz des Messstrahls verschoben. Im Falle der Bragg-Zelle geschieht dies durch eine durcheilende akustische Welle, an der der Referenzstrahl gebeugt wird. Durch die Verschiebung der Frequenz des Referenzstrahls ist es möglich, nicht nur die Geschwindigkeit oder Frequenz des schwingenden Objekts zu analysieren, sondern zusätzlich seine Bewegungsrichtung. Die Modulationsfrequenz des Interferenzmusters ist hierbei von der Bewegungsrichtung des Objektes abhängig.
  • Zur Detektion der Bewegungsrichtung des schwingenden Objekts kann weiter vorteilhaft auch die Polarisationsrichtung der Strahlung ausgenutzt werden. Hierzu kann der Strahlteiler als ein polarisationsempfindliches Element ausgeführt sein. Zur Strahlteilung kann der Strahlteiler generell als ein teilreflektives oder diffraktives Element ausgestaltet sein.
  • Die Überlagerung von Mess- und Referenzstrahl kann auf dem Detektor selbst erfolgen. Ebenso gut ist es jedoch auch möglich, die Strahlführungseinrichtung derart auszubilden, dass die Überlagerung von Mess- und Referenzstrahl auf dem Mikrospiegelraster stattfindet. Im ersteren Fall interferiert ein vom Mikrospiegelraster in den Detektor abgebildeter Bildpunkt des schwingenden Objekts erst im Detektor mit dem Referenzstrahl. Im zweiten Fall ergibt sich das Interferenzmuster bereits auf dem Mikrospiegelraster, ehe es insbesondere selektiv auf dem Detektor abgebildet wird. Durch die zweite Variante ergibt sich eine vereinfachte Strahlführung, da der Mess- und der Referenzstrahl gemeinsam im optischen System geführt werden. Allerdings kann durch Interferenz Bildinformation ausgelöscht werden.
  • Zweckmäßigerweise ist in dem Vibrometer eine Steuereinheit zur Ansteuerung des Mikrospiegelrasters und einer Signalverarbeitungseinheit zur Auswertung der Detektorsignale integriert. Dabei ist in einer bevorzugten Variante die Steuereinheit dafür eingerichtet, die Mikrospiegel zeitlich nacheinander jeweils einzeln auf den Detektor auszurichten, und die Signalverarbeitungseinheit ist dafür eingerichtet, aus den derart erhaltenen Detektorsignalen ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts zu erzeugen. Auf diese Weise werden Bildpunkte des schwingenden Objekts mit der möglichen Schaltfrequenz des Mikrospiegelrasters nacheinander auf den Detektor abgebildet, so dass deren Interferenzmuster mit dem Referenzstrahl beobachtet werden kann. Bereits ge genüber einem scannenden Vibrometer ergibt sich hierbei eine Verkürzung der Messzeit, da die Verschiebung des Messstrahls entfällt.
  • Die Messzeit kann vorteilhafterweise weiter verringert werden, wenn die Mikrospiegel nacheinander mit einer Frequenz auf den Detektor ausgerichtet werden, die gegenüber einer zur Auflösung einer maximalen Schwingungsfrequenz erforderlichen Grenzfrequenz erhöht ist. Soll beispielsweise bei einer Auflösung von 1 Hz eine maximale Schwingungsfrequenz von 10 Hz detektiert werden, so beträgt die zur Auflösung erforderliche Grenzfrequenz nach dem Nyquist-Theorem das Doppelte der maximalen Schwingungsfrequenz, nämlich 20 Hz. Folglich muss jeder Messpunkt mit einem zeitlichen Abstand von nicht mehr als 50 Millisekunden über einen Zeitraum von 1 Sekunde auf den Detektor gerichtet werden, um für jeden Messpunkt aus dem Überlagerungsmuster die für das Schwingungsbild notwendige Information zu gewinnen. Werden die Mikrospiegel nacheinander mit einer höheren Frequenz als der erforderlichen Grenzfrequenz auf den Detektor ausgerichtet, so ermöglicht dies eine Verringerung der Messzeit. Dies gelingt dadurch, dass in der Zeit zwischen zwei Messtakten eines Messpunktes, wobei in jedem Messtakt der Mikrospiegel auf den Detektor ausgerichtet ist, weitere Mikrospiegel auf den Detektor ausgerichtet werden. Mit anderen Worten wird jeder Mikrospiegel zeitlich versetzt gegen den Detektor ausgerichtet, wobei jeder Mikrospiegel separat betrachtet mit der Taktung der Grenzfrequenz ausgerichtet wird und der zeitliche Abstand der Ausrichtung aufeinander folgender Mikrospiegel einer höheren Frequenz entspricht, deren Maximalwert durch die maximal mögliche Ansteuerfrequenz des Mikrospiegelrasters gegeben ist. Hierdurch kann die Messzeit deutlich weiter verkürzt werden.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung wird das Mikrospiegelraster derart angesteuert, dass die Mikrospiegel zeitlich nacheinander in einer jeweils vorgegebenen Gruppierung auf den Detektor ausgerichtet werden, wobei die Signalverarbeitungseinheit aus den derart erhaltenen Detektorsignalen mit einer mathematischen Transformation ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts erzeugt. Bei dieser Variante werden Gruppen von Mikrospiegeln gemeinsam auf den Detektor ausgerichtet. Damit werden mehrere Bildpunkte des Überlagerungsmusters gemeinsam durch den Detektor aufgenommen. Bei entsprechender Vorgabe der gemeinsam auf den Detektor ausgerichteten Mikrospiegel kann mittels einer mathematischen Transformation aus den gesamt aufgenommenen Detektorsignalen auf den Intensitätsverlauf in jedem einzelnen Bildpunkt des Überlagerungsmusters zurückgerechnet werden. Da die Mikro spiegel gruppenweise auf den Detektor ausgerichtet werden, ist es hierdurch möglich, die zum Erzielen einer gewünschten Auflösung erforderliche Messzeit deutlich zu verringern. Zum Zurückrechnen eignet sich als mathematische Transformation insbesondere eine Hadamard-Transformation. Diese ist beispielsweise in M. Harwit, Hadamard Transform Optics, Academic Press, 1979, im Kapitel 3 „Basic Theory of Hadamard Transform Spectrometers and Imagers" auf Seiten 44 ff beschrieben.
  • Zur Erzeugung des ortsaufgelösten Schwingungsbilds des zu untersuchenden Objekts kann z.B. aus dem gewonnenen Intensitätsverlauf jedes einzelnen Bildpunkts des Überlagerungsmusters durch eine Frequenzanalyse, beispielsweise durch eine Fourier-Transformation, auf das jeweilige Schwingungsspektrum geschlossen werden. Im Falle einer linearen mathematischen Transformation zur Rückrechnung aus den Gruppeninformationen ist es unerheblich, ob die Frequenzanalyse gleich mit den erhaltenen Detektorsignalen, d.h. den Rohdaten, durchgeführt und anschließend die Transformation angewendet wird, oder ob zunächst die mathematische Transformation auf die Rohdaten angewendet und die Frequenzanalyse mit den transformierten Rohdaten durchgeführt wird.
  • Zur Verringerung des Signal/Rausch-Verhältnisses ist es zweckmäßig, Streulicht zu unterdrücken. Hierzu sind die Mikrospiegel des Mikrospiegelrasters derart ausgestaltet, dass sie jeweils zwei Kippstellungen einnehmen können, wobei jeder Mikrospiegel eintreffende Strahlung in der ersten Kippstellung auf den Detektor und in der zweiten Kippstellung in eine Lichtfalle lenkt. Durch diese Ausgestaltung wird erzielt, dass den Detektor nur diejenige Strahlung erreicht, die von auf den Detektor ausgerichteten Mikrospiegeln stammt. Streustrahlung von nicht auf den Detektor ausgerichteten Mikrospiegeln wird durch die Lichtfalle reduziert.
  • Hinsichtlich der Verwendungsangabe wird die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das beschriebene Vibrometer zur Identifizierung eines schwingenden Objekts oder einer signifikanten Eigenschaft des schwingenden Objekts anhand seiner Schwingungscharakteristik eingesetzt wird.
  • Beispielsweise kann durch die Vibration eines laufenden Motors ein aktives Fahrzeug von einer bloßen Attrappe unterschieden werden. Insbesondere bei einem militärischen Einsatz des Vibrometers ist es somit möglich, zur Identifizierung realer Fahrzeuge eine weitere Eigenschaft, nämlich deren Vibration, heranzuziehen.
  • In einer zweckmäßigen Ausgestaltung wird die Schwingungscharakteristik dem zu identifizierenden Objekt insbesondere durch eine definierte Schwingungsvorrichtung vorgegeben. Hierzu kann den zu identifizierenden Objekten, wie insbesondere Fahrzeugen, Flugzeugen oder Gebäuden, eine spezifische Schwingungscharakteristik aufgeprägt werden, anhand derer diese der eigenen Seite zugehörend identifiziert werden können. Mittels einer derartigen Verwendung ist demnach eine Freund-Feind-Unterscheidung möglich.
  • Die auf ein Verfahren gerichtete Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 14 erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das schwingende Objekt mittels des Messstrahls auf ein Mikrospiegelraster abgebildet wird, und dass das Mikrospiegelraster auf den Detektor abgebildet wird.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind den auf ein Verfahren gerichteten Unteransprüchen zu entnehmen.
  • Die für das Vibrometer geschilderten Vorteile sind sinngemäß auf die verfahrensgemäßen Ausgestaltungen zu übertragen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand einer Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigen:
  • 1 schematisch eine erste Variante eines abbildenden Vibrometers mit Mikrospiegelraster,
  • 2 schematisch eine zweite Variante eines abbildenden Vibrometers mit Mikrospiegelraster und
  • 3 schematisch die Verwendung eines Vibrometers zur Identifizierung eines schwingenden Objekts.
  • In 1 ist schematisch ein Vibrometer 1 dargestellt, welches als Strahlungsquelle einen Laser 2, einen Strahlteiler 4, eine Sendeoptik 5, eine Empfangsoptik 7, ein Mikrospiegelraster 8, eine Abbildungsoptik 9 und einen Detektor 10 umfasst.
  • Der Laser 2 emittiert einen kohärenten Ausgangsstrahl 13, der durch den Strahlteiler 4 in einen Messstrahl 14 und in einen Referenzstrahl 15 aufgeteilt wird. Mittels der Sendeoptik 5 wird der Messstrahl 14 aufgeweitet und auf das zu un tersuchende schwingende Objekt 17 gerichtet. Das schwingende Objekt 17 führt – durch die Pfeile angedeutet – Schwingungen aus.
  • An dem schwingenden Objekt 17 wird der Messstrahl 14 reflektiert. Der rücklaufende Messstrahl 18 durchläuft die Empfangsoptik 7, die die beleuchtete Oberfläche des schwingenden Objekts 17 auf das Mikrospiegelraster 8 abbildet. Das Mikrospiegelraster 8 wird mittels der Abbildungsoptik 9 auf dem Detektor 10 abgebildet. Auf dem Detektor 10 interferiert der von dem Mikrospiegelraster 8 auf den Detektor ausgerichtete Teil der Objektabbildung mit dem Referenzstrahl 15, so dass der Detektor 10 das sich bildende Interferenz- oder Überlagerungsmuster beobachtet.
  • Zur Auswertung der enthaltenen Detektorsignale ist der Detektor 10 mit einer Signalverarbeitungseinheit 20 verbunden. Die Signalverarbeitungseinheit 20 ist mit einer Steuereinheit 21 kombiniert, die zur Ansteuerung mit dem Mikrospiegelraster 8 verbunden ist. Die Steuereinheit 21 steuert das Mikrospiegelraster 8 beispielsweise derart an, dass einzelne Mikrospiegel zeitlich nacheinander in einer jeweils vorgegebenen Gruppierung auf den Detektor 10 ausgerichtet werden. In einem Messzyklus werden dabei mit der durch das Mikrospiegelraster 8 möglichen Ansteuerfrequenz eine vorgegebene Anzahl von durch die jeweilige Anordnung der Mikrospiegel im Mikrospiegelraster 8 definierte Gruppen auf den Detektor 10 ausgerichtet. Aus den derart erhaltenen Detektorsignalen wird mittels einer Hadamard-Transformation in der Signalverarbeitungseinheit 20 auf den zeitlichen Intensitätsverlauf des Überlagerungsmusters jedes durch die Größe des Mikrospiegel definierten Abbildungspunktes zurückgeschlossen. Durch eine Frequenzanalyse wird ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts 17 erzeugt.
  • In 2 ist schematisch ein alternatives Vibrometer 23 dargestellt. Das Vibrometer 23 unterscheidet sich von dem in 1 gezeigten Vibrometer 1 dadurch, dass die Sendeoptik 5 im Ausgangsstrahl 13 angeordnet ist, und dass der Strahlteiler 4 den abgeteilten Referenzstrahl 15 auf das Mikrospiegelraster 8 richtet. Weiter ist in den Referenzstrahl 15 eine Bragg-Zelle 22 eingesetzt, wodurch der Referenzstrahl 15 eine Frequenzverschiebung erfährt. Hierdurch ist die Detektion der Schwingungsrichtung möglich.
  • Durch diese Ausgestaltung findet in dem Vibrometer 23 die Überlagerung des rücklaufenden Messstrahls 18 und des Referenzstrahls 15 auf dem Mikrospiegel raster 8 statt. In diesem Fall wird durch selektive Ansteuerung der einzelnen Mikrospiegel des Mikrospiegelrasters 8 jeweils ein oder mehrere Bildpunkte des Interferenzmusters in den Detektor 10 abgebildet.
  • Die Detektoren 10 in den Vibrometern 1 und 23 sind jeweils als Einzeldetektoren in Form schneller Photomultiplier ausgebildet. Es wird jeweils der zeitliche Verlauf der aufgenommenen Intensität aufgenommen.
  • In 3 ist eine Verwendung des Vibrometers 1 gemäß 1 zur Gewinnung von Aufklärungsdaten dargestellt. Hierzu überfliegt eine Drohne 24 ein Gelände 26 mit offenem Bewuchs 27 sowie Bäumen 28. Weiter befindet sich in dem Gelände 26 ein Lastkraftwagen 29, von dem es unklar ist, ob er real oder eine Attrappe ist.
  • Die das Gelände 26 überfliegende Drohne 24 ist neben einer Vielzahl anderer Sensoren, wie Kameras und Infrarotdetektoren, mit einem Vibrometer 1 gemäß 1 ausgerüstet. Über den eingezeichneten Strahlengang 30 misst das Vibrometer 1 Schwingungen des anvisierten Objekts. Vorliegend detektiert das Vibrometer 1 eine Motorschwingung des Lastkraftwagens 29, so dass nun eindeutig darauf geschlossen werden kann, dass ein realer Lastkraftwagen 29 vorliegt. Der Einsatz des Vibrometers 1 ergänzt somit die weiter von dem Lastkraftwagen 29 mit den übrigen Sensoren erhaltenen Informationen, so dass für entsprechend einzuleitende Maßnahmen die notwendigen Entscheidungsgründe vorliegen.
  • 1
    Vibrometer
    2
    Laser
    4
    Strahlteiler
    5
    Sendeoptik
    7
    Empfangsoptik
    8
    Mikrospiegelraster
    9
    Abbildungsoptik
    10
    Detektor
    13
    Ausgangsstrahl
    14
    Messstrahl
    15
    Referenzstrahl
    17
    schwingendes Objekt
    18
    rücklaufender Messstrahl
    20
    Signalverarbeitungseinheit
    21
    Steuereinheit
    22
    Bragg-Zelle
    23
    Vibrometer
    24
    Drohne
    26
    Gelände
    27
    Bewuchs
    28
    Baum
    29
    Lastkraftwagen
    30
    Strahlengang

Claims (24)

  1. Vibrometer (1, 23), umfassend eine Strahlungsquelle (z.B. 2) für kohärente Strahlung, einen Strahlteiler (4) zur Zerlegung des Ausgangsstrahls (13) der Strahlungsquelle (z.B. 2) in einen Messstrahl (14) zur Beobachtung eines schwingenden Objekts (17) und in einen Referenzstrahl (15), eine Strahlführungseinrichtung zur Überlagerung des vom schwingenden Objekt (17) rücklaufenden Messstrahls (18) mit dem Referenzstrahl (15), und einen Detektor (10) zur zeit- und/oder ortsaufgelösten Aufnahme der Überlagerungsmuster, gekennzeichnet, durch ein im Strahlengang des rücklaufenden Messstrahls (18) angeordnetes Mikrospiegelraster (8), durch eine Empfangsoptik (7) zur Abbildung des schwingenden Objekts (17) auf das Mikrospiegelraster (8), und durch eine Abbildungsoptik (9) zur Abbildung des Mikrospiegelrasters (8) auf den Detektor (10).
  2. Vibrometer (1, 23) nach einem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (10) als ein Detektor mit wenigen Rasterelementen ausgeführt ist.
  3. Vibrometer (1, 23) nach einem Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Detektor (10) um einen Einzeldetektor handelt.
  4. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Sendeoptik (5) zur Ausrichtung des weglaufenden Messstrahls auf das schwingende Objekt (17).
  5. Vibrometer (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen im Referenzstrahlengang angeordneten Frequenzschieber.
  6. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Frequenzschieber um eine Bragg-Zelle (22) handelt.
  7. Vibrometer (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlteiler (4) als ein teilreflektives, diffraktives oder polarisationsempfindliches Element ausgeführt ist.
  8. Vibrometer (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlführungseinrichtung zur Überlagerung von Mess- und Referenzstrahl (14, 15) auf dem Mikrospiegelraster (8) ausgebildet ist.
  9. Vibrometer (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuereinheit (21) zur Ansteuerung des Mikrospiegelrasters (8) und eine Signalverarbeitungseinheit (20) zur Auswertung der Detektorsignale umfasst ist.
  10. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (21) dafür eingerichtet ist, die Mikrospiegel zeitlich nacheinander jeweils einzeln auf den Detektor (10) auszurichten, und dass die Signalverarbeitungseinheit (20) dafür eingerichtet ist, aus den derart erhaltenen Detektorsignalen ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts (17) zu erzeugen.
  11. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (21) dafür eingerichtet ist, die Mikrospiegel nacheinander mit einer Frequenz auf den Detektor (10) auszurichten, die gegenüber einer zur Auflösung einer maximalen Schwingungsfrequenz erforderlichen Grenzfrequenz erhöht ist.
  12. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (21) dafür eingerichtet ist, die Mikrospiegel zeitlich nacheinander in einer jeweils vorgegebenen Gruppierung auf den Detektor (10) auszurichten, und dass die Signalverarbeitungseinheit (20) dafür eingerichtet ist, aus den derart erhaltenen Detektorsignalen mittels einer mathematischen Transformation ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts (17) zu erzeugen.
  13. Vibrometer (1, 23) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der mathematischen Transformation um eine Hadamard-Transformation handelt.
  14. Vibrometer (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrospiegel des Mikrospiegelrasters (8) derart ausgestaltet sind, dass sie jeweils zwei Kippstellungen einnehmen können, wobei jeder Mikrospiegel eintreffende Strahlung in der ersten Kippstellung auf den Detektor (10) und in der zweiten Kippstellung in eine Lichtfalle lenkt.
  15. Verwendung eines Vibrometers (1, 23) nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Identifizierung eines schwingenden Objekts (17) oder einer signifikanten Eigenschaft des schwingenden Objekts (17) anhand seiner Schwingungscharakteristik.
  16. Verwendung eines Vibrometers (1, 23) nach Anspruch 15, wobei die Schwingungscharakteristik dem zu identifizierenden Objekt durch eine definierte Schwingungsvorrichtung vorgegeben wird.
  17. Verfahren zur Erzeugung eines Schwingungsbildes eines schwingenden Objekts (17), – wobei ein Ausgangsstrahl einer kohärenten Strahlung erzeugt und in einen Messstrahl (14) und in einen Referenzstrahl (15) zerlegt wird, – wobei der Messstrahl (14) auf ein schwingendes Objekt (17) gerichtet wird, – wobei der vom Objekt (17) zurücklaufende Messstrahl (18) mit dem Referenzstrahl (15) überlagert wird, und – wobei das Überlagerungsmuster zeitlich und/oder räumlich aufgelöst mittels eines Detektors (10) beobachtet und hieraus auf das Schwingungsbild geschlossen wird, dadurch gekennzeichnet, – dass das schwingende Objekt (17) mittels des Messstrahls (14) auf ein Mikrospiegelraster (8) abgebildet wird, und – dass das Mikrospiegelraster (8) auf den Detektor (10) abgebildet wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz des Referenzstrahls (15) verschoben wird.
  19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Mess- (14) und der Referenzstrahl (15) auf dem Mikrospiegelraster (8) überlagern.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrospiegel des Mikrospiegelrasters (8) zeitlich nacheinander jeweils einzeln auf den Detektor (10) ausgerichtet werden, und dass aus den derart erhaltenen Detektorsignalen ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts (17) erzeugt wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrospiegel nacheinander mit einer Frequenz auf den Detektor (10) ausgerichtet werden, die gegenüber einer zur Auflösung einer maximalen Schwingungsfrequenz erforderlichen Grenzfrequenz erhöht ist.
  22. Verfahren nach Anspruch 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrospiegel zeitlich nacheinander in einer jeweils vorgegebenen Gruppierung auf den Detektor (10) ausgerichtet werden, und dass aus den derart erhaltenen Detektorsignalen mittels einer mathematischen Transformation ein ortsaufgelöstes Schwingungsbild des schwingenden Objekts (17) erzeugt wird.
  23. Verfahren nach Anspruch 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der mathematischen Transformation um eine Hadamard-Transformation handelt.
  24. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrospiegel des Mikrospiegelrasters (8) eintreffende Strahlung in einer ersten Kippstellung auf den Detektor (10) und in einer zweiten Kippstellung in eine Lichtfalle lenken.
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