[go: up one dir, main page]

DE102006008977A1 - Fixing device for membranes has heat exchanger mounted with at least some flexibility relative to carrier - Google Patents

Fixing device for membranes has heat exchanger mounted with at least some flexibility relative to carrier Download PDF

Info

Publication number
DE102006008977A1
DE102006008977A1 DE200610008977 DE102006008977A DE102006008977A1 DE 102006008977 A1 DE102006008977 A1 DE 102006008977A1 DE 200610008977 DE200610008977 DE 200610008977 DE 102006008977 A DE102006008977 A DE 102006008977A DE 102006008977 A1 DE102006008977 A1 DE 102006008977A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heat exchanger
carrier
aperture
hollow body
elastic hollow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE200610008977
Other languages
German (de)
Other versions
DE102006008977B4 (en
Inventor
Jens Melcher
Michael Nagel
Wolfgang Erbkamm
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Anlagentechnik GmbH filed Critical Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority to DE200610008977 priority Critical patent/DE102006008977B4/en
Publication of DE102006008977A1 publication Critical patent/DE102006008977A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102006008977B4 publication Critical patent/DE102006008977B4/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F9/00—Casings; Header boxes; Auxiliary supports for elements; Auxiliary members within casings
    • F28F9/001—Casings in the form of plate-like arrangements; Frames enclosing a heat exchange core
    • F28F9/002—Casings in the form of plate-like arrangements; Frames enclosing a heat exchange core with fastening means for other structures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F2255/00—Heat exchanger elements made of materials having special features or resulting from particular manufacturing processes
    • F28F2255/02—Flexible elements

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)

Abstract

A fixing device includes a heat exchanger in a cavity between a membrane and a carrier. The heat exchanger (8) is mounted with at least some flexibility relative to the carrier (4). An elastic hollow body (7) can be placed against a buffer surface (15) of the heat exchanger. The contact surface (16) of the heat exchanger can be pressed by the elastic hollow body to the side of the membrane (1) facing the processing cavity.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Befestigung und Kühlung von Blenden in Prozessräumen von Vakuumprozessanlagen mit einem Wärmetauscher, welcher integrierte Hohlprofile zum Kühlmedientransport und Kontaktflächen zur Wärmeleitung aufweist und in einem Zwischenraum zwischen einer Blende und einem Träger zur Befestigung an einer Vakuumkammerwand angeordnet ist, und mit einer Halterung zur Fixierung der Blende, wobei eine dem Prozessraum abgewandte Seite der Blende mit der Kontaktfläche des Wärmetauscher korrespondiert.The The invention relates to a device for fastening and cooling of Apertures in process spaces of vacuum process plants with a heat exchanger, which integrated Hollow profiles for cooling medium transport and contact surfaces for heat conduction and in a space between a diaphragm and a carrier is arranged for attachment to a vacuum chamber wall, and with a holder for fixing the diaphragm, wherein a process space opposite side of the diaphragm corresponds to the contact surface of the heat exchanger.

Aus der Druckschrift DE 297 17 418 U1 ist eine solche Vorrichtung zur Befestigung und Kühlung von Blenden bekannt. Darin wird eine Vakuumkammer einer Durchlaufanlage zur Beschichtung von platten- oder scheibenförmigen Substraten beschrieben. Die beidseitig des Beschichtungsraumes angeordneten Blenden sind beispielsweise zur Dunkelraumabschirmung vorgesehen und auch als Anoden betreibbar. Sie sind in dieser Dokumentation aus Profilschienen mit L-förmigen Querschnitt ausgebildet, wobei der senkrechte Schenkel jeder Blende auf der Oberfläche der Hohlprofilzuschnitte anliegt und befestigt ist, die wiederum an den Wänden der Vakuumkammer im Bereich zwischen der Ebene des Targets und des Substrats angeordnet sind. Diese Hohlprofilzuschnitte sind jeweils mit übereinander liegenden Kanälen versehen, die von einem Kühlmittel, zur Kühlung der Blenden durchflossen sind und somit als Wärmetauscher fungieren. Zur Vermeidung des elektrischen Kontaktes und des Wärmeeintrages von den Blenden in die Vakuumkammerwände sind zur Befestigung der Hohlprofilzuschnitte an den Vakuumkammerwänden elektrisch und thermisch isolierende Zwischenstücke als Isolationskörper vorgesehen.From the publication DE 297 17 418 U1 Such a device for mounting and cooling of diaphragms is known. Therein a vacuum chamber of a continuous system for coating plate or disk-shaped substrates is described. The diaphragms arranged on both sides of the coating space are provided, for example, for dark space screening and can also be operated as anodes. They are formed in this document from L-shaped profile rails, the vertical leg of each panel abutting and fixed on the surface of the hollow section blanks which in turn are disposed on the walls of the vacuum chamber in the region between the plane of the target and the substrate. These hollow profile blanks are each provided with superimposed channels, which are traversed by a coolant for cooling the diaphragm and thus act as a heat exchanger. To avoid the electrical contact and the heat input from the diaphragm into the vacuum chamber walls, electrically and thermally insulating intermediate pieces are provided as insulation bodies for fastening the hollow profile blanks to the vacuum chamber walls.

In der betreffenden Ausführung erfolgt die flächige Blendenbefestigung an den als Wärmetauscher fungierenden Hohlprofilzuschnitten durch Einhängen mit je einem Ansatzes an den senkrechten Schenkeln der Blenden, die jeweils von oben in die kongruent geformten Holprofilzuschnitte eingreifen. Somit liegt der senkrechte Schenkel der Blende durch die Gewichtskraft vor allen Dingen des horizontalen Schenkel der Blende flächig an der Oberfläche des Wärmetauschers an, um den Wärmekontakt herzustellen. Mittels dieser Blendenaufhängung wird ein Austausch der Blenden erleichtert, der sich nach gewisser Nutzungszeit der Blenden erforderlich macht, da sich das Blendenblech durch die Strahlungswirkung während des Vakuumprozesses unvermeidbar deformiert und bei Beschichtungsprozessen gegebenenfalls Schichtmaterial auf den Blenden abgeschieden wird, das langfristig zu Störungen im Beschichtungsprozess führt.In the relevant execution the areal takes place Aperture attachment to the as a heat exchanger acting hollow profile blanks by hanging with one approach on the vertical legs of the panels, each from the top in engage the congruent shaped Holprofilzuschnitte. Thus lies the vertical leg of the panel by the weight in front of everyone Things of the horizontal leg of the diaphragm surface on the surface of the heat exchanger on to the thermal contact manufacture. By means of this panel suspension is an exchange of Apertures made easier after a certain period of use of the aperture required because the aperture plate by the radiation effect while the vacuum process inevitably deformed and coating processes if necessary, layer material is deposited on the panels, the long-term disruption leads in the coating process.

Nachteilig an dieser Befestigungsmethode der Blenden ist, dass sich infolge der prozessbedingten Deformierung der Blenden der flächige Kontakt zwischen der Blende und der Oberfläche des Wärmetauscher, an der die Blende anliegt, vermindert und nur noch ein punktueller Wärmeleitkontakt besteht. Damit verschlechtert sich der Wärmeübergang und folglich die Kühlung der Blenden, was deren Lebensdauer stark mindert.adversely At this attachment method of the panels is that as a result the process-related deformation of the aperture of the surface contact between the aperture and the surface the heat exchanger, at which the aperture is applied, diminished and only one point heat conducting consists. This deteriorates the heat transfer and consequently the cooling of the Apertures, which greatly reduces their lifespan.

In der Praxis sind alternativ Halterungen der Blenden am Wärmetauscher durch Schraubverbindungen bekannt. Diese verbessern zwar den flächigen Kontakt der Blenden zum Wärmetauscher geringfügig, erhöhen jedoch den Aufwand beim Wechsel der Blenden und können bei Beschichtungsprozessen unerwünscht zusputtern. Punktuell entstehende Wärmekontaktstellen können auch hierbei nicht vermieden werden.In In practice, brackets are alternatively brackets on the heat exchanger known by screw. Although these improve the surface contact the panels to the heat exchanger slightly increase However, the effort when changing the aperture and can at Coating processes undesirable zusputtern. Pointing heat contacts can also this can not be avoided.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, die Vorrichtung zur Befestigung und Kühlung von Blenden der eingangs genannten Art so zu gestalten, dass mit geringem Aufwand ein hoher Wärmeleitkontakt zwischen Blende und Wärmetauscher dauerhaft gewährleistet wird.task The invention is therefore, the device for fastening and cooling of aperture of the type mentioned to be designed so that with low Effort a high Wärmeleitkontakt between the aperture and the heat exchanger permanently guaranteed becomes.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass der Wärmetauscher zumindest teilweise relativ zum Träger flexibel gelagert ist, wobei ein mit einem Druckmittel befüllbarer elastischer Hohlkörper derart an einer Pufferfläche des Wärmetauschers anlegbar ist, dass eine Kontaktfläche des Wärmetauschers mittels dem elastischen Hohlkörper an die dem Prozessraum abgewandten Seite der Blende anpressbar ist. Als Druckmittel wird hierbei ein Medium verstanden, welches einen zu dem Druck in der Vakuumkammer relativ höheren Druck aufweist.These Task is solved by that the heat exchanger is at least partially stored flexibly relative to the carrier, wherein a fillable with a pressure medium elastic hollow body in such a way on a buffer surface of the heat exchanger can be applied, that a contact surface of the heat exchanger by means of the elastic hollow body can be pressed against the side facing away from the process space of the diaphragm. When Pressure medium is understood here as a medium, which one to having the pressure in the vacuum chamber relatively higher pressure.

Hierbei wird durch einen zwischen dem flexibel gelagerten Wärmetauscher und einem festen Gegenlager, zum Beispiel dem Träger, befindlichen und mit dem Druckmittel befüllten Hohlkörper eine Druckkraft rückseitig auf die Pufferfläche des Wärmetauscher aufgebracht, sodass der Wärmetauscher mit seiner Kontaktfläche gegen die prozessabgewandte Seite der fest fixierten Blende angepresst wird. Für die Druckkrafterzeugung durch den elastischen Hohlkörper ist als Druckmittel beispielsweise Luft verwendbar, welches mit einem höheren absoluten Druck im Hohlkörper gegenüber dem Druck in der Vakuumkammer eine Druckdifferenz aufbaut und den elastischen Hohlkörper ausdehnt. Für eine Fixierung der Blende gegenüber dem flexibel gelagerten Wärmetauscher ist es erforderlich, die Halterung der Blende mit Festpunkten jenseits des Wärmetauschers, zum Beispiel am Träger, zu realisieren. Diese Maßnahmen erhöhen den Wärmeleitkontakt zwischen der Blende und dem Wärmetauscher weitgehend unabhängig von eventuellen Flächentoleranzen in der Anlage der Blende an der Kontaktfläche des Wärmetauschers. Die Wärme kann so mit geringerem Wärmewiderstand von der Blende an die kühlwasserführenden Hohlprofile im Wärmetauscher abgeführt werden.In this case, by a between the flexibly mounted heat exchanger and a fixed abutment, for example, the carrier, and filled with the pressure medium hollow body, a compressive force applied to the back of the buffer surface of the heat exchanger, so that the heat exchanger with its contact surface against the process side facing away from the fixed aperture is pressed. For the pressure force generation by the elastic hollow body, for example air can be used as a pressure medium, which builds up a pressure difference with a higher absolute pressure in the hollow body with respect to the pressure in the vacuum chamber and expands the elastic hollow body. For a fixation of the diaphragm relative to the flexibly mounted heat exchanger, it is necessary to realize the mounting of the diaphragm with fixed points beyond the heat exchanger, for example on the carrier. These measures increase the Wärmeleitkontakt between the diaphragm and the heat exchanger largely independent of any surface tolerances in the system of the aperture on the contact surface of the heat exchanger. The heat can be dissipated with less heat resistance of the panel to the cooling water-carrying hollow sections in the heat exchanger.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung bildet das geschlossene Hohlprofil die Pufferfläche und die Kontaktfläche. Somit sind insbesondere die kühlwasserführenden Kanäle des Wärmetauschers direkt an die Blende anpressbar, womit der Wärmeleitkontakt noch effizienter gestaltet werden kann. Dies wird beispielsweise bei einem Wärmetauscher realisiert, welcher mehrere parallel zueinander verlaufende Hohlprofile aufweist, die untereinander mit geringfügig elastischen Verbindungsstegen, wie Flachstahl oder Blechen, verbunden sind. Entlang dieser Hohlprofile ist der druckbeaufschlagte, elastische Hohlkörper zugeordnet, so dass sich die einzelnen Kontaktflächen der Hohlprofile nicht nur eben an die Blende anpressen lassen, sondern mittels der differenzierbaren Ausdehnung des elastischen Hohlkörpers an die Neigung und Formgebung der Blende, insbesondere an eine durch die Strahlungseinwirkung des Vakuumprozesses verformten Blende, weitestgehend anpassen. Somit wird der günstige Wärmeleitkontakt zwischen der Blende und den kühlwasserführenden Kanälen des Wärmetauschers auch nach einer Verformung der Blende weitestgehend aufrechterhalten.In an advantageous embodiment forms the closed hollow profile the buffer area and the contact area. Thus, in particular, the cooling water leading channels of the heat exchanger Can be pressed directly to the panel, making the Wärmeleitkontakt even more efficient can be designed. This is for example in a heat exchanger realized, which several mutually parallel hollow sections having, with each other with slightly elastic connecting webs, like flat steel or sheets are connected. Along these hollow sections is associated with the pressurized, elastic hollow body, so that the individual contact surfaces of the Not only can hollow sections be pressed against the panel, but also by means of the differentiable expansion of the elastic hollow body the inclination and shaping of the aperture, in particular to a the radiation effect of the vacuum process deformed aperture, adapt as much as possible. Thus, the favorable Wärmeleitkontakt between the Aperture and the cooling water leading channels of the heat exchanger maintained as far as possible after deformation of the diaphragm.

Besonders zweckmäßig ist es, wenn der Wärmetauscher eine Führung aufweist und mit einem Führungsbolzen am Träger befestigt ist. Dieser Führungsbolzen in der Führung des Wärmetauschers geführt und beispielsweise im Träger verschraubt, bildet eine Loslagerverbindung des Wärmetauschers zum Träger, die die Lage des Wärmetauschers gegen eine vertikale Verschiebung sichert und zugleich die horizontale flexible Beweglichkeit des Wärmetauschers erlaubt. Die Führung am Wärmetauscher kann zum Beispiel eine Bohrung, sein, die sich an den Verbindungsstegen zwischen den geschlossenen Hohlprofilen befindet.Especially is appropriate it if the heat exchanger a guide has and with a guide pin on the carrier is attached. This guide pin in the lead of the heat exchanger guided and for example in the carrier screwed, forms a floating bearing connection of the heat exchanger to the carrier, the location of the heat exchanger against a vertical displacement secures and at the same time the horizontal flexible mobility of the heat exchanger allowed. The leadership at the heat exchanger can be, for example, a hole, located at the connecting webs located between the closed hollow sections.

Ergänzend dazu ist es von Vorteil, dass der Führungsbolzen federbelastet ist. Dies erzeugt eine Vorspannung des Wärmetauschers gegen den elastischen Hohlkörper, so dass ein optimaler Sitz des elastischen Hohlkörpers an der Pufferfläche des Wärmetauschers in jeder Betriebsphase des Hohlkörpers gewährleistet ist.Additional to It is advantageous that the guide pin spring loaded. This creates a bias of the heat exchanger against the elastic hollow body, so that an optimal fit of the elastic hollow body on the buffer surface of the heat exchanger in each phase of operation of the hollow body guaranteed is.

Darüber hinaus ist es dienlich, dass der Wärmetauscher und/oder das geschlossene Hohlprofil Schlauchverbindungen für die Kühlwasserversorgung aufweisen. Sind der Kühlwasser-Vor- und Rücklaufanschluss am flexibel gelagerten Wärmetauscher oder auch die geschlossenen Hohlprofile untereinander nicht wie üblich biegesteif, sondern mit flexiblen Schlauchverbindungen ausgestattet, ist einerseits die Beweglichkeit der genannten Bauteile spannungsfrei gewährleistet und sind andererseits mögliche Undichtheiten, die an biegesteifen Verbindungsstellen infolge einer Biegespannung entstehen können, vermieden.Furthermore it is beneficial that the heat exchanger and / or the closed hollow profile hose connections for the cooling water supply exhibit. Are the cooling water advantages and return port on the flexibly mounted heat exchanger or the closed hollow profiles with each other not as usual rigid, but equipped with flexible hose connections, on the one hand ensures the mobility of said components stress-free and on the other hand are possible Leaks in rigid joints due to a Bending stress can arise avoided.

Erfindungsgemäß ist des Weiteren vorgesehen, dass der elastische Hohlkörper in einem offenen Hohlprofilrahmen angeordnet ist, welcher am Träger befestigt ist. Dieser Hohlprofilrahmen bewerkstelligt wirkungsvoll das statische Gegenlager und zugleich eine Führung des Hohlkörpers, so dass dieser sich nicht vertikal verschieben kann und seine Druckkraft punktgenau gegen die jeweiligen Pufferflächen des Wärmetauschers ausüben kann.According to the invention is the Further provided that the elastic hollow body in an open hollow profile frame is arranged, which is attached to the carrier is. This hollow profile frame effectively accomplishes the static Counter bearing and at the same time a guide of the hollow body, so that it can not move vertically and its pressure force pinpoint against the respective buffer surfaces of the heat exchanger exercise can.

Eine günstige Ausgestaltung ergibt sich daraus, dass die Halterung die Blende am Träger fixiert. Neben der statischen Trägereigenschaft für die Anbauteile der erfinderischen Vorrichtung ist der Träger mittels Isolatoren gegen über der Vakuumkammerwand elektrisch isoliert ausgeführt. Die Befestigung der Blende an dem Träger realisiert somit die Fixierung der Blende unabhängig vom flexibel gelagerten Wärmetauscher, wobei eine elektrische wie auch eine weitestgehend thermische Energieableitung von der Blende an die Vakuumkammerwand vermieden wird.A favorable Design results from the fact that the holder the aperture on the carrier fixed. In addition to the static carrier property for the Attachments of the inventive device is the carrier by means Insulators against over the vacuum chamber wall made electrically isolated. The attachment of the panel on the carrier thus realizes the fixation of the diaphragm irrespective of the flexibly mounted heat exchanger, wherein an electrical as well as a largely thermal energy dissipation is avoided by the diaphragm to the vacuum chamber wall.

Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Halterung der Blende als formschlüssige Steckverbindung gestaltet ist. Wie bereits oben erläutert, besteht auf Grund des prozessbedingten Verschleißes der Blende die Notwendigkeit des häufigen Austausches der Blenden. Mit dieser Befestigungsmethode kann die Blende bei Bedarf ohne aufwändige Montageleistungen schnell und leicht gewechselt werden.Especially is appropriate it, if the holder of the panel designed as a positive plug connection is. As explained above, exists due to the process-related wear of the aperture the need of the frequent Replacement of the irises. With this attachment method, the Aperture when needed without elaborate Installation services can be changed quickly and easily.

In einer vorzugsweisen Fortbildung der formschlüssigen Steckverbindung ist diese als Haltewinkel mit Haltestift ausgebildet. Die Blende weist hierbei solche Öffnungen und Formteile auf, dass diese in den beispielsweise unten angeordneten Haltewinkel von oben eingehangen und mit dem folglich oben angeordneten Haltestift punktuell arretiert werden kann, so dass die Blende mit der prozessabgewandten Seite an der Kontaktfläche des Wärmetauschers bündig anliegt oder in einem geringen Abstand der Kontaktfläche vorgelagert ist, ohne horizontal oder vertikal verschoben werden zu können. Die Druckbelastung auf den Wärmetauscher in Richtung der Blende sorgt dann für einen optimalen Kontakt zwischen der vorgehängten oder vorgesteckten Blende und dem Wärmetauscher. Der Haltewinkel kann alternativ als eine längserstreckte Profilschiene oder aus einem Winkelpaar ausgeführt sein.In a preferred development of the positive connection is this formed as a bracket with retaining pin. The aperture points in this case, such openings and moldings that these in the example arranged below Bracket mounted from above and thus arranged at the top Retaining pin can be selectively locked, so that the aperture with the process-remote side is flush with the contact surface of the heat exchanger or in front of a small distance of the contact surface, without horizontally or to be moved vertically. The pressure load on the heat exchanger in the direction of the aperture then ensures optimal contact between the curtain or plugged aperture and the heat exchanger. The bracket may alternatively be considered an elongated one Profile rail or be executed from an angle pair.

Erfindungsgemäß ist es außerdem vorgesehen, dass der elastische Hohlkörper mit der freien Atmosphäre verbunden ist. Ein Druckluftanschluss am elastischen Hohlkörper zur Erzeugung der des Differenzdruckes zwischen dem Inneren des Hohlkörpers und der Umgebung ist entbehrlich, sobald in der Vakuumkammer ein ausreichender Vakuumdruck herrscht. Somit kann bereits der Differenzdruck, der sich zwischen dem Druck in der den elastischen Hohlkörper umgebenden Vakuumkammer und dem atmosphärischen Druck im elastischen Hohlkörper aufbaut, dazu dienen, die Druckkraft auszuüben.According to the invention, it is also provided that the elastic hollow body is connected to the free atmosphere. A compressed air connection at the elastic hollow body for generating the differential pressure between the interior of the hollow body and the environment is unnecessary as soon as there is sufficient vacuum pressure in the vacuum chamber. Thus, even the differential pressure, which builds up between the pressure in the vacuum chamber surrounding the elastic hollow body and the atmospheric pressure in the elastic hollow body, serve to exert the pressure force.

In einem Ausführungsbeispiel soll die Erfindung näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung (1) zeigt die erfinderische Vorrichtung zur Befestigung und Kühlung einer Blende 1 in einer Schnittdarstellung, angeordnet an einer Vakuumkammerwand 2. Diese Darstellung zeigt vereinfachend nur eine Seite der in einer Vakuumkammer spiegelseitig und beidseitig des Prozessraumes 3 angeordneten, erfinderischen Vorrichtung. An der Vakuumkammerwand 2 (nur gestrichelt dargestellter Ausschnitt) ist zunächst der Träger 4 befestigt, wobei die Befestigung mittels Isolatoren 5 elektrisch von der Vakuumkammer abgeschirmt ist. Die U-profilförmige Ausführung des Trägers 4 dient gleichzeitig zum Schutz der Isolatoren 5 vor der unerwünschten Beschichtung. Auf diesem Träger 4 ist der offene Hohlprofilrahmen 6 angeordnet, der einen elastischen Hohlkörper, beispielsweise einen Gummischlauch 7 umfasst. Zwischen diesem Hohlprofilrahmen 6 und der Blende 1 befindet sich der Wärmetauscher 8 mit dem als geschlossenem Hohlprofil ausgebildeten Kühlkanal 9, durch welchen das Kühlmedium, z.B. Wasser gefördert wird. Der Wärmetauscher 8 ist mit einem federbelasteten Führungsbolzen 10 flexibel gelagert am Träger 4 befestigt, so dass der Wärmetauscher 8 mit der Federkraft vorgespannt am Hohlprofilrahmen 6 anliegt. Die Halterung 11 der Blende 1 befestigt die Blende 1 mittels eines entsprechend geformten Haltewinkels 12 und eines Haltestiftes 13 so am Träger 4, dass diese dem flexibel gelagerten Wärmetauscher 8 feststehend vorgelagert ist. zur Überbrückung des Abstandes der Blende 1 zum Träger 4 können alternativ Bauteile für weitere, nicht erfindungsrelevante Funktionen an der erfinderischen Vorrichtung einbezogen werden, die diesbezüglich als Distanzstücke 14 dienen. Während des Vakuumprozesses wird im Prozessraum 3 ein Vakuumdruck von beispielsweise 10–2 bis 10–5 mbar erzeugt, der erheblich unter dem atmosphärischen Druck von ca. 1 bar liegt. Hierbei baut sich eine Druckdifferenz zwischen dem Prozessraum 3 und dem mit der Atmosphäre verbundenen Innenraum des Gummischlauches 7 auf, so dass dieser sich ausdehnt und eine ausreichende Druckkraft auf die Pufferfläche 15 des Kühlkanals ausübt. Infolge dessen, wird der Wärmetauscher 8, geführt durch den Führungsbolzen 10 und gegen dessen Federkraft wirkend, horizontal verschoben, bis die Kontaktflächen 16 des Kühlkanals 9 an die dem Prozessraum 3 abgewandte Seite 17 der Blende 1 angepresst werden. In dieser Ausführung werden die vorbeschriebenen Vorteile bei der erfindungsgemäßen Befestigung und Kühlung der Blende 1 effizient bewirkt.In one embodiment, the invention will be explained in more detail. The accompanying drawing ( 1 ) shows the inventive device for mounting and cooling a panel 1 in a sectional view, arranged on a vacuum chamber wall 2 , This illustration shows simplistic only one side of the mirror side in a vacuum chamber and on both sides of the process chamber 3 arranged, inventive device. At the vacuum chamber wall 2 (only shown in dashed section) is first the carrier 4 fastened, with the attachment by means of insulators 5 is electrically shielded from the vacuum chamber. The U-profile design of the beam 4 also serves to protect the insulators 5 before the unwanted coating. On this carrier 4 is the open hollow profile frame 6 arranged, which is an elastic hollow body, such as a rubber hose 7 includes. Between this hollow profile frame 6 and the aperture 1 is the heat exchanger 8th with the designed as a closed hollow profile cooling channel 9 through which the cooling medium, eg water is conveyed. The heat exchanger 8th is with a spring-loaded guide pin 10 flexibly mounted on the carrier 4 attached, leaving the heat exchanger 8th with the spring force biased on the hollow profile frame 6 is applied. The holder 11 the aperture 1 attaches the bezel 1 by means of a correspondingly shaped bracket 12 and a holding pin 13 so on the carrier 4 in that this is the flexibly mounted heat exchanger 8th is fixed upstream. for bridging the distance of the diaphragm 1 to the carrier 4 Alternatively, components for other, not relevant to the invention functions can be included in the inventive device, in this regard as spacers 14 serve. During the vacuum process is in the process room 3 a vacuum pressure of, for example, 10 -2 to 10 -5 mbar generated, which is considerably below the atmospheric pressure of about 1 bar. This builds a pressure difference between the process space 3 and the interior of the rubber hose connected to the atmosphere 7 so that it expands and a sufficient pressure force on the buffer surface 15 of the cooling channel exerts. As a result, the heat exchanger 8th , guided by the guide pin 10 and acting against the spring force, horizontally shifted until the contact surfaces 16 of the cooling channel 9 to the process room 3 opposite side 17 the aperture 1 be pressed. In this embodiment, the above-described advantages in the attachment and cooling of the diaphragm according to the invention 1 efficiently effected.

11
Blendecover
22
VakuumkammerwandVacuum chamber wall
33
Prozessraumprocess space
44
Trägercarrier
55
Isolatoreninsulators
66
offener Hohlprofilrahmenopen Dished frame
77
elastischer Hohlkörper, Gummischlauchelastic Hollow body rubber tube
88th
Wärmetauscherheat exchangers
99
geschlossenes Hohlprofil, Kühlkanalclosed Hollow profile, cooling channel
1010
federbelasteter Führungsbolzenspring-loaded guide pins
1111
Halterungbracket
1212
Haltewinkelbracket
1313
Haltestiftretaining pin
1414
Distanzstückspacer
1515
Pufferflächebuffer area
1616
Kontaktflächencontact surfaces
1717
abgewandte Seite der Blendefacing away Side of the aperture

Claims (10)

Vorrichtung zur Befestigung und Kühlung von Blenden in Prozessräumen von Vakuumprozessanlagen mit einem Wärmetauscher, welcher integrierte geschlossene Hohlprofile zum Kühlmedientransport und Kontaktflächen zur Wärmeleitung aufweist und in einem Zwischenraum zwischen einer Blende und einem Träger zur Befestigung an einer Vakuumkammerwand angeordnet ist, und mit einer Halterung zur Fixierung der Blende, wobei eine dem Prozessraum abgewandte Seite der Blende mit der Kontaktfläche des Wärmetauschers korrespondiert, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmetauscher (8) zumindest teilweise relativ zum Träger (4) flexibel gelagert ist, wobei ein mit einem Druckmittel befüllbarer elastischer Hohlkörper (7) derart an einer Pufferfläche (15) des Wärmetauschers (8) anlegbar ist, dass eine Kontaktfläche (16) des Wärmetauschers (8) mittels dem elastischen Hohlkörper (7) an die dem Prozessraum (3) abgewandten Seite (17) der Blende (1) anpressbar ist.Device for fastening and cooling of diaphragms in process spaces of vacuum process plants with a heat exchanger, which has integrated closed hollow sections for cooling medium transport and contact surfaces for heat conduction and is arranged in a space between a diaphragm and a support for attachment to a vacuum chamber wall, and with a holder for fixing the aperture, wherein a side facing away from the process space of the aperture corresponds to the contact surface of the heat exchanger, characterized in that the heat exchanger ( 8th ) at least partially relative to the carrier ( 4 ) is flexibly mounted, wherein a fillable with a pressure medium elastic hollow body ( 7 ) in such a way on a buffer surface ( 15 ) of the heat exchanger ( 8th ) can be applied, that a contact surface ( 16 ) of the heat exchanger ( 8th ) by means of the elastic hollow body ( 7 ) to the process space ( 3 ) facing away ( 17 ) the aperture ( 1 ) can be pressed. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das geschlossene Hohlprofil (9) die Pufferfläche (15) und die Kontaktfläche (16) bildet.Apparatus according to claim 1, characterized in that the closed hollow profile ( 9 ) the buffer area ( 15 ) and the contact area ( 16 ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmetauscher (8) eine Führung aufweist und mit einem Führungsbolzen am Träger befestigt ist.Device according to one of claims 1 or 2, characterized in that the heat exchanger ( 8th ) has a guide and is fastened with a guide pin on the carrier. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Führungsbolzen federbelastet ist.Device according to claim 3, characterized in that that the guide pin spring loaded. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmetauscher (8) und/oder das geschlossene Hohlprofil (9) Schlauchverbindungen für die Kühlwasserversorgung aufweisen.Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the heat exchanger ( 8th ) and / or the closed hollow profile ( 9 ) Have hose connections for the cooling water supply. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der elastische Hohlkörper (7) in einem offenen Hohlprofilrahmen (6) angeordnet ist, welcher am Träger (4) befestigt ist.Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the elastic hollow body ( 7 ) in an open hollow profile frame ( 6 ), which on the carrier ( 4 ) is attached. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (11) die Blende (1) am Träger (4) fixiert.Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the holder ( 11 ) the aperture ( 1 ) on the carrier ( 4 ) fixed. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (11) der Blende (1) als formschlüssige Steckverbindung gestaltet ist.Device according to claim 7, characterized in that the holder ( 11 ) the aperture ( 1 ) is designed as a positive connection. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die formschlüssige Steckverbindung als Haltewinkel (12) mit Haltestift (13) ausgebildet ist.Apparatus according to claim 7, characterized in that the positive-locking plug-in connection as a bracket ( 12 ) with retaining pin ( 13 ) is trained. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der elastische Hohlkörper (7) mit der freien Atmosphäre verbunden ist.Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the elastic hollow body ( 7 ) is associated with the free atmosphere.
DE200610008977 2006-02-23 2006-02-23 Device for fixing diaphragms in process spaces of vacuum process plants Expired - Fee Related DE102006008977B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200610008977 DE102006008977B4 (en) 2006-02-23 2006-02-23 Device for fixing diaphragms in process spaces of vacuum process plants

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200610008977 DE102006008977B4 (en) 2006-02-23 2006-02-23 Device for fixing diaphragms in process spaces of vacuum process plants

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102006008977A1 true DE102006008977A1 (en) 2007-08-30
DE102006008977B4 DE102006008977B4 (en) 2008-01-24

Family

ID=38319877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200610008977 Expired - Fee Related DE102006008977B4 (en) 2006-02-23 2006-02-23 Device for fixing diaphragms in process spaces of vacuum process plants

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102006008977B4 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29717418U1 (en) * 1997-09-26 1998-01-22 Leybold Systems GmbH, 63450 Hanau Device for applying thin layers on a substrate
EP1628322A1 (en) * 2004-08-17 2006-02-22 Applied Films GmbH & Co. KG Support structure for a shield

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29717418U1 (en) * 1997-09-26 1998-01-22 Leybold Systems GmbH, 63450 Hanau Device for applying thin layers on a substrate
EP1628322A1 (en) * 2004-08-17 2006-02-22 Applied Films GmbH & Co. KG Support structure for a shield

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006008977B4 (en) 2008-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2702608A1 (en) Substrate treatment installation
EP2194207B1 (en) Holding device for the glass pane of a balustrade railing
DE202005012993U1 (en) Supporting structure for solar installations has photovoltaic solar modules with a longitudinal support running horizontally and extended module supports running crosswise
DE3244391A1 (en) DEVICE FOR COATING SUBSTRATES BY PLASMAPOLYMERISATION
DE112019007040T5 (en) Heat pump cycle device and heat pump water heater
DE102006008977B4 (en) Device for fixing diaphragms in process spaces of vacuum process plants
DE202012104004U1 (en) cycle press
DE102012006717A1 (en) Target adapted to an indirect cooling device
DE102011087037A1 (en) Heat insulation housing for a refrigeration device
DE102013011074A1 (en) Target adapted to an indirect cooling device with cooling plate
DE102012109885B3 (en) Electrical installation device
DE202012006447U1 (en) Device for supplying power to a motor vehicle with a radiator block
DE10129666A1 (en) ceiling element
EP1457614B1 (en) Cladding for walls and ceiling in the form of a thermal exachange surface
AT523027B1 (en) Fastening for a thermal insulation layer in an integral rail vehicle.
DE202017106284U1 (en) Fixed glazing system for fixing a glazing bead with definable contact pressure
DE102015003279B4 (en) Surface heat exchanger and process for its manufacture
EP1606557B1 (en) Radiating surface structure
DE102006010872B4 (en) Coating system with coolable aperture
WO2010071909A1 (en) Assembly apparatus for wall elements to be equipped on both sides
DE102014206723A1 (en) Door with transparent panels for a household refrigerator as well as household refrigeration appliance
CN211228946U (en) Waterproof board easy to assemble
DE102011010832A1 (en) Fastening unit for fastening solar collectors on e.g. tiled roofs, has roller fixedly or lockably attached at end of lever in region formed between clamp and pressure plate, where eccentric groove is inserted over circumference of roller
DE102013107159B4 (en) Device for fixing L-plates
CN215337730U (en) Liftable furnace gate guide rail device

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee