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DE102005052758A1 - Substrathalterungseinrichtung zur Verwendung in einem Positionsmessgerät - Google Patents

Substrathalterungseinrichtung zur Verwendung in einem Positionsmessgerät Download PDF

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DE102005052758A1
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DE
Germany
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substrate
holding device
substrate holding
position measuring
laser
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DE102005052758A
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Inventor
Klaus Rinn
Michael Ferber
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KLA Tencor MIE GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems CMS GmbH
Vistec Semiconductor Systems GmbH
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Publication date
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Substrathalterungseinrichtung (41) zur Verwendung in einem Positionsmessgerät (1) zur Bestimmung der Position eines Substrates (30, 45), das von der Substrathalterungseinrichtung (41) getragen wird, mittels eines Laser-Interferometersystems (29), wobei die Substrathalterungseinrichtung (41) eine verfahrbare Tischkonstruktion (26, 42) sowie einen der Tischkonstruktion fest zugeordneten Tischspiegel (9, 43) zur Reflexion eines Laserstrahls des Laser-Interferometersystems (29) aufweist, wobei vorgeschlagen wird, dass die messkritischen, einander räumlich fest zugeordneten Komponenten der Substrathalterungseinrichtung (41) in der Verbindungskette von Tischspiegel (9, 43) zu Substrat (30, 45) aus Materialstrukturen gefertigt sind, deren Elastizitätsmodul um höchstens 15% von demjenigen des Substrates (30, 45) abweicht. Hierdurch kann der negative Einfluss von Luftdruckschwankungen auf die laserinterferometrische Positionsmessung stark vermindert werden.
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