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DE102005023533A1 - Process for production of a screen printing pattern from a hardened pattern composition with application of a top layer space selectively by laser radiation - Google Patents

Process for production of a screen printing pattern from a hardened pattern composition with application of a top layer space selectively by laser radiation Download PDF

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DE102005023533A1
DE102005023533A1 DE200510023533 DE102005023533A DE102005023533A1 DE 102005023533 A1 DE102005023533 A1 DE 102005023533A1 DE 200510023533 DE200510023533 DE 200510023533 DE 102005023533 A DE102005023533 A DE 102005023533A DE 102005023533 A1 DE102005023533 A1 DE 102005023533A1
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laser
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DE200510023533
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Abstract

Process for production of a screen printing pattern (1) in which a top layer (4) is applied space selectively to a printing cloth (3) from a hardened pattern composition (sic) (M) by means of laser radiation so that the printing cloth is exposed in the region of a predetermined pattern structure. The printing cloth can be a metal cloth or a metallized plastic cloth. Independent claims are included for: (1) a screen printing pattern; a device for preparation of the screen printing pattern including a CO2 laser source.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine nach diesem Verfahren hergestellte Siebdruckschablone sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.The The invention relates to a method for producing a screen printing stencil. The invention further relates to a method according to this method screen printing stencil produced and to a device for carrying out the Process.

Bei einem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone, wie es beispielsweise aus der DE 85 11 549 U1 sowie der DE 2 038 584 B bekannt ist, wird auf das Siebgewebe eine Deckschicht aus einer Schablonenmasse aufgebracht, die unter Lichteinwirkung aushärtet. Die Schablonenmasse wird durch eine Positivmaske, die die Deckschicht im Bereich einer vorgegebenen Schablonenstruktur abschattet, hindurch belichtet. In den außerhalb der Schablonenstruktur gelegenen Bereichen der Deckschicht wird die Schablonenmasse unter Einfluss der Belichtung hart. In den durch die Positivmaske abgeschatteten Bereichen bleibt die Schablonenmasse dagegen weich. Dieser unverhärtene Anteil der Schablonenmasse wird in einem nachfolgenden Arbeitsschritt mittels eines geeigneten Lösungsmittels ausgespült, um im Bereich der Schablonenstruktur das Siebgewebe freizulegen. Die auf diese Weise fertiggestellte Siebdruckschablone ist im Bereich des freigelegten Siebgewebes, und damit im Bereich der Schablonenstruktur farbdurchlässig, während die Siebdruckschablone außerhalb der Schablonenstruktur durch die dort verbliebene harte Deckschicht farbundurchlässig ist. Die Siebdruckschablone kann nun in bekannter Weise für ein graphisches Siebdruckverfahren herangezogen werden, indem Druckfarbe durch die farbdurchlässigen Bereiche der Schablone hindurch auf ein zu bedruckendes Substrat aufgetragen wird.In a conventional method for producing a screen printing stencil, as for example from the DE 85 11 549 U1 as well as the DE 2 038 584 B is known, a cover layer of a stencil composition is applied to the screen fabric, which cures under the action of light. The stencil mass is exposed through a positive mask, which shadows the cover layer in the region of a predetermined template structure. In the areas of the cover layer located outside the template structure, the stencil mass becomes hard under the influence of the exposure. In contrast, in the areas shaded by the positive mask, the stencil mass remains soft. This uncured portion of the stencil mass is rinsed in a subsequent step by means of a suitable solvent to expose the mesh in the area of the stencil structure. The screen printing stencil finished in this way is ink-permeable in the region of the exposed screen fabric, and thus in the region of the stencil structure, while the screen printing stencil is impermeable to color outside the stencil structure by the hard cover layer remaining there. The screen printing stencil can now be used in a known manner for a graphic screen printing process by applying printing ink through the ink-permeable areas of the stencil to a substrate to be printed.

Bei modernen Varianten des Verfahrens wird die Deckschicht im Zuge des Aushärteschritts mittels eines Rasterverfahrens (oder Screening-Verfahrens) direkt ortsselektiv belichtet.at modern variants of the process, the topcoat in the course of curing step using a screening method (or screening method) directly exposed in a location-selective manner.

Alternativ zu den vorstehend beschriebenen „direkten" Verfahren der Schablonenherstellung sind – z.B. aus der EP 0 996 545 B1 (und der zugehörigen deutschen Übersetzung DE 697 180 63 T2 ) – alternative Herstellungsverfahren bekannt, bei denen das Siebgewebe und/oder ein aus der Schablonenmasse bestehender Siebdruckfilm separat voneinander ortsselektiv vorbehandelt werden, so dass bei anschließendem Aufbringen des Siebdruckfilms auf dem Siebgewebe nur außerhalb der vorgesehenen Schablonenstruktur Schablonenmasse an dem Siebgewebe anhaftet.As an alternative to the "direct" methods of stencil production described above, for example from US Pat EP 0 996 545 B1 (and the associated German translation DE 697 180 63 T2 ) - Alternative manufacturing methods are known in which the screen mesh and / or consisting of the stencil mass screen printing film are pretreated separately from each other site selective, so that adhering to the screen fabric next stencil structure on subsequent application of the screen printing film on the screen fabric only.

Siebdruckverfahren werden – außer zur Herstellung graphischer Drucke – vor allem zur Herstellung elektrischer Schaltungen und Leiterbahnen eingesetzt. Das zu bedruckende Substrat ist in diesem Fall durch einen Schaltungsträger, insbesondere ein Keramiksubstrat oder einen Leiterplattenrohling, gebildet. Anstelle von Druckfarbe werden hierbei als Druckmedium leitende oder isolierende Substanzen herangezogen. Im Zuge des Schaltungsdrucks werden elektrische und elektronische Komponenten, wie Leiterbahnen, Widerstände, Isolationsschichten, Induktivitäten, Glasabdeckungen, Lötpaste und Leitkleber direkt auf den Schaltungsträger aufgedruckt. Im Speziellen wird Siebdrucktechnik gewöhnlich zum Drucken der Kontaktierungen in der Solartechnik eingesetzt. Insbesondere in diesem Anwendungsbereich müssen äußerst feine Bahnen bei gleichzeitig möglichst großer Stärke der Leiterbahnen gedruckt werden.screen printing be - except for Production of graphic prints - before especially for the production of electrical circuits and printed conductors used. The substrate to be printed in this case by a circuit carrier, in particular a ceramic substrate or a circuit board blank, educated. Instead of printing ink are used here as a printing medium used conductive or insulating substances. In the course of circuit pressure become electrical and electronic components, such as tracks, resistors, Insulation layers, inductors, Glass covers, solder paste and conductive adhesive printed directly on the circuit board. Particularly Screen printing technique becomes common used for printing the contacts in solar technology. Especially in this application must extremely fine webs at the same time as possible greater Strength the printed conductors are printed.

Die kleinsten Leiterstrukturen, die mit gängigen kommerziellen Siebdruckverfahren druckbar sind, liegen heute typischerweise auf der Größenordnung von 100μm. Im Zuge der stetig zunehmenden Miniaturisierung elektronischer Schaltungen besteht ein zunehmender Bedarf an Siebdruckschablonen, die das Drucken noch feinerer Strukturen, insbesondere auf der Größenordnung von 10–50 μm, erlauben.The smallest conductor structures, using common commercial screen printing printable are typically on the order of magnitude today of 100μm. In the course of the ever-increasing miniaturization of electronic circuits There is an increasing demand for screen printing stencils that print even finer structures, especially on the order of magnitude of 10-50 μm, allow.

Die Herstellung von Siebdruckschablonen mit Schablonenstrukturen im Sub-Millimeterbereich ist nach den herkömmlichen Herstellungsverfahren mit hohem Aufwand verbunden, der mit zunehmender Miniaturisierung der Schablonenstrukturen überproportional wächst. Ein wesentlicher Grund für den hohen Herstellungsaufwand besteht darin, dass bei der ortsselektiven Belichtung derart feiner Strukturen Staubkörnchen und andere Verunreinigungen in der Luft oder auf der Oberfläche der Deckschicht Störeffekte beim Belichtungsprozess hervorrufen können, die die Qualität der zu fertigenden Schablone bis hin zur völligen Unbrauchbarkeit beeinträchtigen können. Die Herstellung von Siebdruckschablonen für den Schaltungsdruck erfolgt deshalb bisher unter Reinraumbedingungen hoher Güte. Die Belichtung der Deckschicht erfolgt meist unter Vakuum. Die Herstellung dieser Umgebungsbedingungen ist aufwändig und verkompliziert den Ablauf der Arbeitsvorgänge bei der Herstellung einer Siebdruckschablone.The Production of screen printing stencils with stencil structures in Sub-millimeter range is according to the conventional manufacturing process with associated with increasing miniaturization of the Template structures disproportionately grows. An important reason for the high production cost is that in the site-selective Exposure of such fine structures dust grains and other impurities in the air or on the surface the top layer of disruptive effects during the exposure process, which may increase the quality of the manufacturing template to the point of complete uselessness can. The production of screen printing stencils for the circuit printing takes place Therefore so far under clean room conditions of high quality. The exposure of the cover layer usually takes place under vacuum. The production of these environmental conditions is expensive and complicates the flow of operations in the production of a Screen printing stencil.

Ferner ist aus der DE 297 08 329 U1 bekannt, eine Siebdruckschablone mit Durchbrüchen zu versehen, in denen sowohl die Deckschicht als auch das Siebgewebe entfernt ist. Diese Durchbrüche sind hierbei mit einem mechanischen Stanzverfahren, Laserschneiden, Wasserstrahlschneiden, Ätzen oder einem ähnlichen Verfahren hergestellt.Furthermore, from the DE 297 08 329 U1 known to provide a screen printing stencil with openings in which both the cover layer and the screen fabric is removed. These breakthroughs are in this case produced by a mechanical punching method, laser cutting, water jet cutting, etching or a similar method.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine insbesondere zum Schaltungsdruck besonders geeignete Siebdruckschablone sowie ein vergleichsweise einfach durchzuführendes Verfahren zur Herstellung einer solchen Siebdruckschablone anzugeben. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, die zur Durchführung eines solchen Verfahrens besonders geeignet ist.Of the Invention is based on the object, in particular for circuit pressure particularly suitable screen printing stencil and a comparatively easy to perform Specify a method for producing such a screen printing stencil. The invention is further based on the object, a device indicate that to carry out such a method is particularly suitable.

Bezüglich des Herstellungsverfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1. Danach ist im Gegensatz zu der mit einem herkömmlichen Herstellungsverfahren verbundenen Vorgehensweise vorgesehen, die Schablonenmasse zunächst vollflächig auszuhärten und die als Deckschicht auf das Siebgewebe aufgebrachte und ausgehärtete Schablonenmasse im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur anschließend ortsselektiv abzutragen, wobei dieser Abtragungsprozess unter Verwendung von Laserstrahlung vorgenommen wird. Diese Laserablation der Deckschicht wird dabei derart vorgenommen, dass nach Beendigung des Abtragungsprozesses das Siebgewebe im Bereich der Schablonenstruktur freigelegt ist.Regarding the Manufacturing process, this object is achieved by The features of claim 1. Thereafter, in contrast to the a conventional one Process of preparation associated with the procedure provided Template mass first entire area cure and the applied as a cover layer on the mesh and cured stencil mass in the area of the proposed template structure subsequently site-selective this ablation process using Laser radiation is made. This laser ablation of the cover layer is done in such a way that after completion of the ablation process the Screen fabric is exposed in the region of the template structure.

Kern des Verfahrens ist somit die lasergestützte und ortselektive Abtragung der vollflächig ausgehärteten Deckschicht. Für die vorausgehende Aufbringung und Aushärtung der Deckschicht sind demgegenüber mehrere alternative Verfahrensvarianten vorgesehen. Danach wird die Deckschicht wahlweise in einem noch unausgehärteten Zustand in Form einer Emulsion oder eines Films auf das Siebgewebe aufgebracht und anschließend ausgehärtet, oder die Schablonenmasse wird in bereits ausgehärteten Zustand in Form eines Films auf das Siebgewebe aufgebracht, insbesondere auflaminiert oder aufgeklebt. Wiederum alternativ ist denkbar, bereits vorgefertigte Siebdruckschablonen mit vollflächig aufgetragener und ausgehärteter Deckschicht als Eingangsprodukt für das Verfahren heranzuziehen, so dass die Aufbringung der Deckschicht und der Aushärteschritt zwar Voraussetzung, aber nicht notwendigerweise selbst Bestandteil des erfindungsgemäßen Verfahrens sind.core of the method is thus the laser-assisted and site-selective ablation the fully cured topcoat. For the previous application and curing of the top layer are in contrast several alternative method variants provided. Thereafter, the cover layer is optional in a still uncured Condition in the form of an emulsion or a film on the mesh applied and then hardened, or the stencil mass is in already cured state in the form of a Films applied to the mesh, in particular laminated or glued. Again, alternatively, is conceivable, already prefabricated Screen printing stencils with full surface applied and cured Cover layer as input product for the process, so that the application of the topcoat and the curing step Although a prerequisite, but not necessarily itself the method according to the invention are.

Als „Aushärtung" ist allgemein eine chemische oder physikalische Stabilisierung (z.B. in Form einer Polymerisierung, Kristallisierung, amorphen Erstarrung, etc.) der Schablonenmasse bezeichnet, im Zuge welcher die Schablonenmasse einen zusammenhängenden Körper bildet, der durch das vorgesehene Druckmedium nicht angelöst oder ausgespült wird. Die „ausgehärtete" Schablonenmasse kann dabei makroskopisch dennoch flexibel, elastisch und/oder biegsam bleiben.As a "cure" is generally one chemical or physical stabilization (e.g., in the form of a Polymerization, crystallization, amorphous solidification, etc.) of the Template mass referred, in the course of which the template mass a coherent one body forms, which are not dissolved by the intended pressure medium or is rinsed out. The "hardened" stencil mass can macroscopically still flexible, elastic and / or flexible stay.

Der Einsatz von Laserablation erlaubt die Realisierung feinster Schablonenstrukturen mit einer Strukturbreite von etwa 10–15 μm bei gleichzeitig sehr geringem Herstellungsaufwand. Ebenso sind mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens Siebdruckschablonen mit quasi beliebig großer Schichtdicke der Deckschicht und hervorragender Konturenschärfe realisierbar. Ein besonderer Vorteil des Verfahrens besteht darin, dass es gegenüber Verschmutzungen der Deckschichtoberfläche und/oder der Umgebungsatmosphäre beim Herstellungsprozess keine oder nur geringe Störempfindlichkeit aufweist. Die Anforderungen an die für den Herstellungsprozess erforderliche Reinraumtechnik können daher deutlich reduziert werden und bei Schablonenstrukturen mit einer minimalen Strukturbreite über 120μm vollständig entfallen. Auch ansonsten ist das Herstellungsverfahren gegenüber den klassischen Verfahren deutlich vereinfacht, insbesondere zumal die Herstellung einer Positivmaske für den Belichtungsprozess ebenso wenig erforderlich ist wie ein Entwicklungs- oder „Stripping"-Prozess nach erfolgter Belichtung.Of the Use of laser ablation allows the realization of the finest stencil structures with a structure width of about 10-15 microns with very little at the same time Production expense. Likewise, by means of the method according to the invention Screen printing stencils with almost arbitrarily large layer thickness of the cover layer and excellent contour sharpness realizable. A particular advantage of the method is that it is opposite Contaminations of the surface layer surface and / or the ambient atmosphere during Manufacturing process has little or no sensitivity to interference. The requirements of the for Therefore, the cleanroom technology required for the manufacturing process can be significantly reduced and stencil structures with a minimal structure width over 120μm completely eliminated. Otherwise, the manufacturing process against the simplifies classical procedures, especially as the Production of a positive mask for the lighting process is just as unnecessary as a development or "stripping" process after done Exposure.

In einer zweckmäßigen Ausführung der Erfindung wird als Schablonenmasse ein unter Lichteinwirkung (insbesondere UV-Lichteinwirkung) aushärtendes Material, insbesondere Polymermaterial, herangezogen, wie es auch bei herkömmlichen Herstellungsverfahren Anwendung findet. Der Aushärteschritt wird in dieser Ausführung des Verfahrens durch vollflächige Belichtung der Deckschicht, insbesondere durch UV-Licht, vorgenommen.In an expedient embodiment of Invention is used as a template mass under the action of light (in particular UV light) hardening Material, in particular polymer material, used, as it also at conventional Manufacturing process applies. The curing step is in this embodiment of the Procedure by full-surface Exposure of the cover layer, in particular by UV light made.

Anstelle eines lichtempfindlichen Materials kann im Zuge des erfindungsgemäßen Verfahrens aber alternativ auch ein unter Temperatureinwirkung, chemischer Behandlung oder sonstigen Umgebungsbedingungen aushärtendes Material herangezogen werden. Insbesondere wird optional ein Schablonenmaterial herangezogen, das unter bloßer Änderung der Umgebungstemperatur oder durch Verdampfung eines Lösungsmittels erstarrt. In ersterem Fall wird die Schablonenmasse als Schmelze auf das Siebgewebe aufgebracht und zum Aushärten abgekühlt. In letzterem Fall erfolgt die Aushärtung der Schablonenmasse durch einen bloßen Trocknungsprozess, der gegebenenfalls durch Temperatureinwirkung beschleunigt werden kann.Instead of a photosensitive material can in the course of the inventive method but alternatively also under temperature effect, chemical treatment or other ambient conditions hardening material used become. In particular, a template material is optionally used, that under mere change the ambient temperature or by evaporation of a solvent stiffens. In the former case, the stencil mass is melted applied to the mesh and cooled to cure. In the latter case takes place the curing the template mass by a mere drying process, the optionally can be accelerated by the action of temperature.

Als Siebgewebe wird im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens vorzugsweise ein Metallgewebe (insbesondere Stahldraht oder Edelstahldraht) oder ein metallisiertes Kunststoffgewebe herangezogen.When Screen fabric is preferably in the context of the inventive method a metal mesh (in particular steel wire or stainless steel wire) or a metallized plastic fabric used.

Vorteilhafterweise erfolgt die Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse zumindest in der unmittelbaren Umgebung des Siebgewebes unter Verwendung von Laserstrahlung im ultra-violetten Spektralbereich. Mit derartiger Laserstrahlung lässt sich zum einen eine besonders hohe Ortsauflösung erreichen. Zum anderen wird bei Verwendung von UV-Laserstrahlung eine besonders hohe Abtragungsselektivität erzielt, bei der die Schablonenmasse effektiv abgetragen wird, das Siebgewebe aber andererseits geschont wird. Geeignete Laserstrahlung im UV-Spektralbereich wird insbesondere mittels eines frequenzverdreifachten Nd-Lasers, insbesondere Nd-YAG-Lasers erzeugt. In einer besonders vorteilhaften Variante dieses Verfahrens wird die UV-Laserstrahlung lediglich für die Materialabtragung in der Umgebung des Siebgewebes herangezogen, während in einem Anfangsstadium der Materialabtragung Bereiche der Schablonenmasse, die vergleichsweise weit von dem Siebgewebe beabstandet sind, unter Verwendung von infra-roter Laserstrahlung abgetragen werden. Zur Erzeugung der letzteren wird insbesondere ein CO2-Laser eingesetzt. Das zweistufige Abtragungsverfahren unter Verwendung von infra-roter bzw. ultra-violetter Laserstrahlung hat insbesondere den Vorteil, dass für Vorarbeiten die hohe Abtragungsrate eines infra-roten Lasers genutzt werden kann und damit Zeit gespart wird, während in der anschließenden Feinarbeitsphase die Vorteile des UV-Lasers, nämlich die geringe Strahldicke und die geeignete Wellenlänge, besonders zum Tragen kommen. Anstelle eines UV-Lasers kann auch ein im sichtbaren Spektralbereich arbeitender Laser, z. B. ein frequenzverdoppelter Nd-YAG-Laser eingesetzt werden.Advantageously, the removal of the cured stencil mass takes place at least in the immediate vicinity of the screen fabric using laser radiation in the ultraviolet Spectral range. With such laser radiation, on the one hand, a particularly high spatial resolution can be achieved. On the other hand, a particularly high erosion selectivity is achieved when using UV laser radiation, in which the stencil mass is effectively removed, but the screen fabric is spared on the other hand. Suitable laser radiation in the UV spectral range is generated in particular by means of a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser. In a particularly advantageous variant of this method, the UV laser radiation is used only for the removal of material in the vicinity of the screen fabric, while in an initial stage of material removal regions of the template mass, which are comparatively far away from the screen fabric, removed using infra-red laser radiation become. To generate the latter, in particular a CO 2 laser is used. The two-stage ablation method using infra-red or ultra-violet laser radiation has the advantage in particular that the high ablation rate of an infra-red laser can be used for preliminary work and time is saved, while in the subsequent fine-work phase the advantages of the UV Lasers, namely the low beam thickness and the appropriate wavelength, especially come into play. Instead of a UV laser can also operate in the visible spectral range laser, z. B. a frequency doubled Nd-YAG laser can be used.

Insbesondere für die besagten Feinarbeiten ist die Intensität der UV-Laserstrahlung derart eingestellt, dass das Siebgewebe bei der Abtragung der umgebenden ausgehärteten Schablonenmasse nicht beeinträchtigt, insbesondere nicht beschädigt wird. Die hierfür einzustellende Laserintensität ist durch die Art des verwendeten Siebgewebes bestimmt und z. B. empirisch festzustellen.Especially for the said fine work is the intensity of the UV laser radiation such adjusted that the sieve fabric in the ablation of the surrounding cured Stencil mass not impaired, especially not damaged becomes. The one for this to set the laser intensity is determined by the type of screen mesh used and z. B. determine empirically.

In einer insbesondere zur Realisierung besonders feiner Schablonenstrukturen vorteilhaften Variante des Verfahrens wird nach dem Aushärten der Schablonenmasse zunächst eine Metallbeschichtung auf die Oberfläche der Deckschicht aufgebracht. Diese Metallbeschichtung hat insbesondere eine Dicke von etwa 1–3 μm und besteht beispielsweise aus Kupfer, Chrom oder Nickel. Die Metallbeschichtung wirkt hierbei als Lochmaske für die Materialabtragung durch infra-rote Laserstrahlung und ist insofern im Bereich der vorgegebenen Schablonenstruktur unterbrochen. Die Wirkung der Metallbeschichtung besteht darin, dass sie die darunterliegende Schablonenmasse gegen die infra-rote Laserstrahlung abschirmt, wodurch ein IR-Laser auch zur Gravur filigraner Schablonenstrukturen einsetzbar ist, zu deren Realisierung der IR-Laser aufgrund der vergleichsweise schlechten Ortsauflösung nicht oder nur mit hoher Ungenauigkeit einsetzbar wäre.In one in particular for the realization of particularly fine template structures advantageous variant of the method is after curing of the Template mass first a metal coating applied to the surface of the cover layer. This metal coating has in particular a thickness of about 1-3 microns and consists for example, copper, chromium or nickel. The metal coating acts as a shadow mask for the material removal by infra-red laser radiation and is so far interrupted in the area of the given template structure. The Effect of the metal coating is that they are the underlying Mask mass shields against the infra-red laser radiation, causing an IR laser can also be used to engrave filigree stencil structures, for their realization of the IR laser due to the comparatively bad spatial resolution could not be used or only with high inaccuracy.

Die im Bereich der Schablonenstruktur vorgesehenen Durchbrüche der Metallbeschichtung können bereits während der Aufbringung der Metallbeschichtung ausgespart bleiben, z.B. indem dieser Bereich der Deckfläche während der Beschichtung wiederum durch eine geeignete Positivmaske abgedeckt wird. Im Sinne einer Verfahrensrationalisierung wird aber bevorzugt die Metallbeschichtung zunächst vollflächig auf der Deckschicht aufgebracht und anschließend im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur mittels ultra-violetter Laserstrahlung ortsselektiv abgetragen.The provided in the area of the template structure breakthroughs of Metal coating can already during remain exposed to the application of the metal coating, e.g. by making this area the deck area while the coating in turn covered by a suitable positive mask becomes. In terms of process rationalization is preferred the metal coating initially on the entire surface applied to the topcoat and then in the area provided Template structure by means of ultra-violet laser radiation site-selective ablated.

Bezüglich der Siebdruckschablone wird die Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 12. Danach umfasst die Siebdruckschablone ein Siebgewebe, auf dem eine Deckschicht aus einer ausgehärteten Schablonenmasse aufgebracht ist, wobei die Deckschicht im Bereich einer auf der Schichtfläche vorgegebenen Schablonenstruktur durch ortsselektive Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse mittels Laserstrahlung derart ausgeschachtet ist, dass das Siebgewebe in diesem Bereich freiliegt.Regarding the Screen printing template, the object is achieved by the features of claim 12. Thereafter, the screen printing stencil comprises a screen fabric on which a cover layer of a cured stencil mass applied is, wherein the cover layer in the region of a given on the layer surface Template structure by site-selective removal of the hardened template mass is scoured by laser radiation such that the mesh in this area is exposed.

Bezüglich der zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens vorgesehenen Vorrichtung wird die Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 15. Danach umfasst die Vorrichtung eine Laserablationseinheit zur ortsselektiven Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse. Diese Laserablationseinheit umfasst in zweckmäßiger Ausgestaltung eine erste Laserquelle zur Erzeugung von infra-roter Laserstrahlung und eine zweite Laserquelle zur Erzeugung von ultra-violetter Laserstrahlung, die wahlweise ansteuerbar sind. Die Laserablationseinheit kann zwei voneinander unabhängige Laserquellen mit separater Strahlführung umfassen. Insbesondere wird aber ein so genanntes Duo-Lasersystem oder Hybrid-Lasersystem als Laser-Ablationseinheit herangezogen. Die Laserablationseinheit umfasst in bevorzugter Ausführung einen CO2-Laser als erste Laserquelle sowie einen frequenzverdreifachten Nd-Laser, insbesondere Nd-YAG-Laser als zweite Laserquelle.With regard to the apparatus provided for carrying out the above-described method, the object is achieved according to the invention by the features of claim 15. Thereafter, the apparatus comprises a laser ablation unit for the location-selective removal of the hardened stencil mass. This laser ablation unit comprises, in an expedient embodiment, a first laser source for generating infra-red laser radiation and a second laser source for generating ultra-violet laser radiation, which are selectively controllable. The laser ablation unit may comprise two independent laser sources with separate beam guidance. In particular, however, a so-called duo-laser system or hybrid laser system is used as the laser ablation unit. The laser ablation unit comprises in a preferred embodiment a CO 2 laser as the first laser source and a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser as a second laser source.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:following Be exemplary embodiments of Invention explained in more detail with reference to a drawing. Show:

1 in Draufsicht eine schematisch vereinfachte Rohform einer Siebdruckschablone mit einem in einem Schablonenrahmen aufgespannten Siebgewebe, 1 in plan view a schematically simplified raw form of a screen printing stencil with a screen fabric frame spanned in a stencil frame,

2 in Darstellung gemäß 1 die fertiggestellte Siebdruckschablone mit einer im Bereich einer Schablonenstruktur ausgeschachteten Deckschicht, 2 in illustration according to 1 the finished screen printing stencil with a deck excavated in the area of a template structure layer,

3 in perspektivischer Ansicht einen stark vergrößerten Ausschnitt einer realistischen Siebdruckschablone gemäß 2, 3 in perspective view a greatly enlarged section of a realistic screen printing stencil according to 2 .

49 ein Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone gemäß 2, anhand von sechs schematischen, ausschnitthaften Schnittdarstellungen durch die Siebdruckschablone in aufeinanderfolgenden Stadien des Verfahrens, und 4 - 9 a method for producing a screen printing stencil according to 2 by means of six schematic, sectional sectional views through the screen printing stencil in successive stages of the process, and

1014 in Darstellung gemäß 49 eine alternative Ausführungsvariante des Verfahrens. 10 - 14 in illustration according to 4 - 9 an alternative embodiment of the method.

Einander entsprechende Teile und Größen sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.each other corresponding parts and sizes are in all figures with the same reference numerals.

1 zeigt eine Siebdruckschablone 1 (nachfolgend kurz Schablone 1) in einem zu Beginn des nachfolgend beschriebenen Verfahrens vorliegenden Rohzustand. In diesem Zustand umfasst die Schablone 1 einen Schablonenrahmen 2 (oder Siebdruckrahmen), in welchem ein Siebgewebe 3 aufgespannt ist. 1 shows a screen printing stencil 1 (hereafter short stencil 1 ) in a raw state present at the beginning of the process described below. In this state, the template includes 1 a template frame 2 (or screen frame), in which a screen mesh 3 is stretched.

Der Schablonenrahmen 2 ist vorzugsweise aus einem Stahl-, Edelstahl- oder Aluminium-Rohrprofil mit quadratischem, rechteckigem oder trapezförmigem Querschnitt gebildet. Im dargestellten Beispiel sind vier Abschnitte des Rohrprofils an den Ecken zu einem rechteckigen, geschlossenen Rahmen verschweißt, wobei insbesondere auf eine gute Planlage des Schablonenrahmens 2 geachtet ist.The template frame 2 is preferably formed from a steel, stainless steel or aluminum tube profile with a square, rectangular or trapezoidal cross-section. In the example shown, four sections of the pipe section are welded at the corners to form a rectangular, closed frame, wherein in particular a good flatness of the template frame 2 respected.

Das Siebgewebe 3 ist aus Stahl- oder Edelstahldraht oder aus metallisiertem Kunststoffgeflecht, insbesondere Polyesterfaden, gebildet. Das Siebgewebe 3 ist mit homogener Spannung auf den Schablonenrahmen 2 aufgebracht und wird im Vorfeld des Verfahrens von Verunreinigungen, Staub- und Fettrückständen befreit.The mesh 3 is made of steel or stainless steel wire or metallized plastic braid, in particular polyester thread formed. The mesh 3 is with homogeneous tension on the template frame 2 applied and is freed in the run-up to the process of impurities, dust and grease residues.

Im Zuge des Verfahrens wird auf das Siebgewebe 3 eine Deckschicht 4 (2) derart aufgebracht, dass die von dem Schablonenrahmen 2 umrahmte Innenfläche 5 zumindest einen für den Druck zu verwendenden Flächenbereich durch die Deckschicht 4 abgedeckt und damit gegenüber Druckfarbe oder anderen Druckmedien abgedichtet ist. Lediglich im Bereich einer innerhalb der Innenfläche 5 vorgegebenen Schablonenstruktur 6 ist die Deckschicht 4 in dem in 2 gezeigten fertigen Zustand der Schablone 1 ausgespart bzw. ausgeschachtet, so dass in diesem Bereich das Siebgewebe 3 zu beiden Planseiten der Schablone 1 freiliegt. Die Schablone 1 ist somit in fertiggestelltem Zustand im Bereich der Schablonenstruktur 6 für Druckfarbe oder andere Druckmedien durchlässig.In the course of the procedure is applied to the mesh 3 a cover layer 4 ( 2 ) are applied such that the from the template frame 2 framed inner surface 5 at least one surface area to be used for the printing through the cover layer 4 covered and thus sealed against printing ink or other printing media. Only in the area of one within the inner surface 5 predetermined template structure 6 is the topcoat 4 in the 2 shown finished state of the template 1 recessed or excavated, so that in this area the mesh 3 to both plan pages of the template 1 exposed. The template 1 is thus in the finished state in the area of the template structure 6 permeable to printing inks or other print media.

Die Schablonenstruktur 6 kann eine beliebige, der vorgesehenen Anwendung angepasste Form innerhalb der Innenfläche 5 einnehmen, insbesondere filigran verzweigt oder kreisringförmig geschlossen ausgebildet sein oder aus mehreren voneinander getrennten Flächen bestehen.The template structure 6 can be any, the intended application adapted form within the inner surface 5 take, in particular filigree branched or circular closed be formed or consist of several separate surfaces.

Je nach Ausführungsbeispiel durchdringt die Deckschicht 4 das Siebgewebe 3 mehr oder weniger stark, liegt somit entweder im Wesentlichen einseitig auf dem Siebgewebe 3 auf oder bettet letzteres vollständig und beidseitig ein.Depending on the embodiment penetrates the cover layer 4 the mesh 3 more or less strong, is thus either essentially one-sided on the mesh 3 on or embeds the latter completely and on both sides.

3 zeigt einen stark vergrößerten Ausschnitt durch eine Schablone 1, wie sie mit dem nachfolgend näher geschilderten Verfahren herstellbar ist. In der dargestellten Ausführung ist die Schablonenstruktur 6 durch eine Anzahl von zueinander parallelen Streifen gebildet, die jeweils durch stegartige Streifen der Deckschicht 4 getrennt sind. Zu erkennen ist aus 3 insbesondere das im Bereich der Schablonenstruktur 6 freiliegende Siebgewebe 3. 3 shows a greatly enlarged section through a template 1 , as it can be produced by the method described in more detail below. In the illustrated embodiment, the template structure is 6 formed by a number of mutually parallel strips, each by web-like strips of the cover layer 4 are separated. To recognize is off 3 especially in the area of the template structure 6 exposed mesh 3 ,

Zu Beginn des Verfahrens wird auf das in dem Schablonenrahmen 2 aufgespannte, gereinigte Siebgewebe 3 (4) die zunächst noch weiche, insbesondere viskose Schablonenmasse M aufgetragen (5) und gegebenenfalls mechanisch geglättet. Als Schablonenmasse M wird vorzugsweise eine lichtempfindliche polymere Emulsion oder ein lichtempfindlicher Film verwendet, die bzw. der unter Lichteinwirkung chemisch aushärtet.At the beginning of the process is on the in the template frame 2 clamped, cleaned screen mesh 3 ( 4 ) the initially soft, in particular viscous template mass M is applied ( 5 ) and optionally mechanically smoothed. As the stencil material M, it is preferable to use a photosensitive polymeric emulsion or a photosensitive film which chemically cures under the action of light.

Nach dem flächigen Auftragen der Schablonenmasse M wird die Oberfläche 7 der Deckschicht 4 mittels einer UV-Lichtquelle 8 bestrahlt, um die Schablonenmasse 4 auszuhärten. Zu beachten ist hierbei, dass im Gegensatz zu herkömmlichen Verfahren die Schablone 1 vollflächig bestrahlt wird, wodurch die Schablonenmasse M innerhalb der gesamten Deckfläche 4 fest wird (6).After the areal application of the template mass M, the surface becomes 7 the topcoat 4 by means of a UV light source 8th irradiated to the stencil mass 4 cure. It should be noted here that, in contrast to conventional methods, the template 1 irradiated over the entire surface, whereby the template mass M within the entire top surface 4 becomes fixed ( 6 ).

Nach dem Aushärten der Schablonenmasse M wird die Deckschicht 4 nun unter Verwendung von Laserablation ortsselektiv abgetragen, um das Siebgewebe 3 im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur 6 wieder freizulegen.After curing of the template mass M, the cover layer 4 now selectively removed using laser ablation to the mesh 3 in the area of the intended template structure 6 to expose again.

Die Materialabtragung erfolgt mittels einer Laserablationseinheit 9. Bei der Laserablationseinheit 9 handelt es sich um ein Duo-Lasersystem, das zur Erzeugung von Laserstrahlung L1 im infra-roten Spektralbereich einen CO2-Laser als erste Laserquelle, und zur Erzeugung von Laserstrahlung L2 im ultra-violetten Spektralbereichen einen frequenzverdreifachten Nd-YAG-Laser 11 als zweite Laserquelle umfasst. Die Laserablationseinheit 9 umfasst des Weiteren eine Stelleinheit 12, die nach Art eines XY-Schreibers zur zweidimensionalen Versetzung des von der Laserablationseinheit 9 erzeugten Laserstrahls 13 bezüglich der Oberfläche 7 der Deckschicht 4 ausgebildet ist. Die Versetzung des Laserstrahls 13 gegenüber der Schablone 1 erfolgt hierbei wahlweise, indem die Laserablationseinheit 9 oder Teile davon gegenüber der ortsfesten Schablone 1 verstellt werden und/oder durch Verschiebung der Schablone 1 gegenüber dem ortsfesten Laserstrahl 13.The material removal takes place by means of a laser ablation unit 9 , In the laser ablation unit 9 is a duo-laser system that generates a laser beam L1 in the infra-red spectral range, a CO 2 laser as the first laser source, and to generate laser radiation L2 in the ultra-violet spectral range of a frequency-tripled Nd-YAG laser 11 as a second laser source. The laser ablation unit 9 further comprises an actuator 12 that is the way of one XY-writer for two-dimensional displacement of the laser ablation unit 9 generated laser beam 13 concerning the surface 7 the topcoat 4 is trained. The displacement of the laser beam 13 opposite the template 1 This is done optionally by the laser ablation unit 9 or parts of it relative to the stationary template 1 be adjusted and / or by shifting the template 1 opposite the stationary laser beam 13 ,

Die Abtragung der Schablonenmasse M erfolgt gemäß 7 in einem ersten Abtragungsschritt unter Verwendung der infra-roten Laserstrahlung L1. Hierbei wird die vergleichsweise hohe Ablationsrate des CO2-Lasers 10 ausgenutzt, um Bereiche der Schablonenmasse M, die von dem Siebgewebe 3 vergleichsweise weit beabstandet sind, schnell abzutragen. Der erste Abtragungsschritt wird bei hinreichender Annäherung an das Siebgewebe 3 beendet, um letzteres nicht der vergleichsweise hohen Wärmeentwicklung bei der IR-Ablation auszusetzen. Der das Siebgewebe 3 unmittelbar umgebende Bereich der Schablonenmasse M wird in einem zweiten Abtragungsschritt gemäß 8 unter Einsatz der ultra-violetten Laserstrahlung L2 abgetragen, die aufgrund der vergleichsweise kleinen Wellenlänge und der vergleichsweise geringen Strahlbreite zu diesem Zweck besonders geeignet ist.The removal of the template mass M takes place according to 7 in a first ablation step using the infra-red laser radiation L1. This is the comparatively high ablation rate of the CO 2 laser 10 exploited to areas of the template mass M, that of the screen mesh 3 are relatively widely spaced, quickly ablate. The first ablation step will be at sufficient approximation to the mesh 3 stopped so as not to expose the latter to the comparatively high heat development in the IR ablation. The the sieve fabric 3 immediately surrounding region of the template mass M is in a second removal step according to 8th removed using the ultra-violet laser radiation L2, which is particularly suitable for this purpose due to the relatively small wavelength and the relatively small beam width.

Abweichend hiervon wir zur Gravur grober Schablonenstrukturen 6 zur Zeiteinsparung auch ausschließlich IR-Laserstrahlung L1, zur Gravur besonders feiner Schablonenstrukturen 6 auch ausschließlich UV-Laserstrahlung L2 eingesetzt.Deviating from this, we engrave rough template structures 6 to save time also only IR laser radiation L1, for engraving very fine stencil structures 6 also used exclusively UV laser radiation L2.

Die Materialabtragung wird beendet, wenn die ausgehärtete Schablonenmasse M im Bereich der Schablonenstruktur 6 vollständig entfernt ist, so dass das Siebgewebe 3 in diesem Bereich sowohl zu der Oberfläche 7 als auch zu der dieser entgegengesetzten Seite freiliegt (9).The material removal is terminated when the cured stencil mass M in the region of the template structure 6 is completely removed, leaving the screen mesh 3 in this area both to the surface 7 as well as to the opposite side ( 9 ).

In den 10 bis 14 ist eine demgegenüber modifizierte Verfahrensvariante dargestellt, die vor allem zur Realisierung besonders filigraner Schablonenstrukturen 6 besonders geeignet ist.In the 10 to 14 On the other hand, a modified variant of the method is shown which, in particular, is used to realize particularly filigree template structures 6 is particularly suitable.

Im Zuge dieser Verfahrensvariante wird zunächst analog zu den 4 bis 6 die Schablonenmasse M auf dem Siebgewebe 3 aufgebracht und ausgehärtet. Auf die Oberfläche 7 der ausgehärteten Deckschicht 4 wird nunmehr (durch Bedampfen, Aufsputtern, etc.) eine Metallbeschichtung 14 aus Kupfer, Chrom oder Nickel mit einer Stärke von etwa 1–3 μm aufgebracht, die als Lochmaske für den späteren Abtragungsvorgang dient.In the course of this process variant is first analogous to the 4 to 6 the template mass M on the mesh 3 applied and cured. On the surface 7 the cured topcoat 4 becomes now (by steaming, sputtering, etc.) a metal coating 14 made of copper, chromium or nickel with a thickness of about 1-3 microns applied, which serves as a shadow mask for the subsequent removal process.

Die Metallbeschichtung 14 wird hierzu zunächst gemäß 10 vollflächig über die gesamte Innenfläche 5 auf der Deckschicht 4 aufgebracht. In einem darauf folgenden Arbeitsschritt gemäß 11 wird die Metallbeschichtung 14 im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur 6 durch Laserablation unter Verwendung der ultra-violetten Laserstrahlung L2 entfernt.The metal coating 14 this is first according to 10 all over the entire inner surface 5 on the topcoat 4 applied. In a subsequent step according to 11 becomes the metal coating 14 in the area of the intended template structure 6 removed by laser ablation using the ultra-violet laser radiation L2.

Die Metallbeschichtung 14 schirmt während des ersten Abtragungsschritts die außerhalb der Schablonenstruktur 6 gelegenen Bereiche der Deckschicht 4 gegen die infra-rote Laserstrahlung L1 ab und somit verhindert, dass besonders filigrane Bereiche der Schablonenstruktur 6 durch die hinsichtlich ihrer Ortsauflösung vergleichsweise unpräzise infra-rote Laserstrahlung L1 verletzt werden (12).The metal coating 14 shields the outside of the template structure during the first ablation step 6 lying areas of the cover layer 4 against the infra-red laser radiation L1 and thus prevents particularly filigree areas of the template structure 6 be injured by the in terms of their spatial resolution comparatively imprecise infra-red laser radiation L1 ( 12 ).

In der Umgebung des Siebgewebes 3 liegende Bereiche der Schablonenmasse M werden wiederum in dem zweiten Abtragungsschritt unter Verwendung von ultravioletter Laserstrahlung L2 abgetragen (13), so dass nach Beendigung des Verfahrens das Siebgewebe im Bereich der Schablonenstruktur 6 wiederum freigelegt ist (14).In the vicinity of the mesh 3 lying areas of the template mass M are again removed in the second removal step using ultraviolet laser radiation L2 ( 13 ), so that after completion of the process, the mesh in the area of the template structure 6 is again exposed ( 14 ).

Die mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren gefertigten Schablonen 1 weisen insbesondere eine Schablonenstruktur 6 auf, die an ihren engsten Stellen eine (minimale) Strukturbreite bis zu 10μm aufweist. Als Strukturbreite D ist hierbei insbesondere der Abstand gebildet, der zwischen gegenüberliegenden Schachtwänden der im Bereich der Schablonenstruktur 6 ausgeschachteten Deckschicht 4 gebildet ist (siehe 14).The templates made with the method described above 1 in particular, have a template structure 6 on, which has at its narrowest points a (minimum) structure width up to 10μm. In this case, in particular the distance which is formed between opposing shaft walls in the region of the template structure is formed as the structure width D 6 excavated cover layer 4 is formed (see 14 ).

11
(Siebdruck-)Schablone(Screen printing) Template
22
Schablonenrahmenstencil frame
33
Siebgewebemesh
44
Deckschichttopcoat
55
Innenflächepalm
66
Schablonenstrukturtemplate structure
77
Oberflächesurface
88th
UV-LichtquelleUV-light source
99
LaserablationseinheitLaserablationseinheit
1010
CO2-LaserCO 2 laser
1111
Nd-YAG-LaserNd-YAG laser
1212
Stelleinheitactuator
1313
Laserstrahllaser beam
1414
Metallbeschichtungmetal coating
MM
Schablonenmassetemplate mass
L1L1
Laserstrahlunglaser radiation
L2L2
Laserstrahlunglaser radiation
DD
Strukturbreitestructure width

Claims (16)

Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone (1), bei welchem eine auf ein Siebgewebe (3) aufgebrachte Deckschicht (4) aus einer ausgehärteten Schablonenmasse (M) mittels Laserstrahlung (L1, L2) ortsselektiv abgetragen wird, so dass das Siebgewebe (3) im Bereich einer vorgebenden Schablonenstruktur (6) freigelegt ist.Method for producing a screen printing stencil ( 1 ), in which one on a mesh ( 3 ) applied cover layer ( 4 ) out of a hardened stencil mass (M) by means of laser radiation (L1, L2) is selectively removed, so that the screen mesh ( 3 ) in the area of a predefined template structure ( 6 ) is exposed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufbringung der Deckschicht (4) die Schablonenmasse (M) in einem unausgehärteten Zustand auf das Siebgewebe (3) aufgetragen und vollflächig ausgehärtet wird.A method according to claim 1, characterized in that for applying the cover layer ( 4 ) the template mass (M) in an uncured state on the mesh ( 3 ) is applied and cured over the entire surface. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufbringung der Deckschicht (4) die Schablonenmasse (M) in einem bereits ausgehärtetem Zustand in Form eines Films auf das Siebgewebe (3) aufgebracht wird.A method according to claim 1, characterized in that for applying the cover layer ( 4 ) the template mass (M) in an already cured state in the form of a film on the screen fabric ( 3 ) is applied. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Schablonenmasse (M) ein unter Lichteinwirkung aushärtendes, insbesondere polymeres Material herangezogen wird, und dass der Aushärteschritt durch vollflächige Belichtung der Deckschicht (4) vorgenommen wird.Method according to one of claims 1 or 2, characterized in that as stencil mass (M) a light-curing, in particular polymeric material is used, and that the curing step by full-surface exposure of the cover layer ( 4 ) is made. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass als Siebgewebe (3) ein Metallgewebe oder ein metallisiertes Kunststoffgewebe verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that as Siebgewebe ( 3 ) a metal mesh or a metallized plastic fabric is used. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zur Abtragung eines das Siebgewebe (3) umgebenden Teils der ausgehärteten Schablonenmasse (M) ultra-violette Laserstrahlung (L2) verwendet wird.Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that at least for the removal of a sieve fabric ( 3 ) surrounding part of the cured stencil mass (M) ultra-violet laser radiation (L2) is used. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass zur Applikation der ultra-violetten Laserstrahlung (L2) ein frequenzverdreifachter Nd-Laser, insbesondere Nd-YAG-Laser (11) verwendet wird.A method according to claim 6, characterized in that for applying the ultra-violet laser radiation (L2) a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser ( 11 ) is used. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Intensität der ultravioletten Laserstrahlung (L2) derart eingestellt wird, dass das Siebgewebe (3) bei der Abtragung der umgebenden ausgehärteten Schablonenmasse (M) nicht beeinträchtigt wird.A method according to claim 6 or 7, characterized in that the intensity of the ultraviolet laser radiation (L2) is adjusted such that the screen mesh ( 3 ) is not affected in the removal of the surrounding cured stencil mass (M). Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass im Zuge der Materialabtragung in einem ersten Abtragungsschritt ein von dem Siebgewebe (3) beabstandeter erster Teil der abzutragenden ausgehärteten Schablonenmasse (M) unter Verwendung von infra-roter Laserstrahlung (L1) entfernt wird, und dass in einem zweiten Abtragungsschritt ein das Siebgewebe (3) umgebender Teil der ausgehärteten Schablonenmasse (M) unter Verwendung von ultra-violetter Laserstrahlung (L2) abgetragen wird.Method according to one of claims 6 to 8, characterized in that in the course of material removal in a first removal step, one of the screen fabric ( 3 ) spaced first part of the ablated cured stencil mass (M) using infra-red laser radiation (L1) is removed, and that in a second removal step a the Siebgewebe ( 3 ) surrounding portion of the cured stencil mass (M) is removed using ultra-violet laser radiation (L2). Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Abtragung des Schablonenmaterials (M) auf den die Schablonenstruktur (6) umgebenden Bereich der Oberfläche (7) der ausgehärteten Schablonenmasse (M) eine Metallbeschichtung (14), insbesondere aus Cu, Cr oder Ni, als Maske für die Materialabtragung durch infrarote Laserstrahlung (L1) aufgebracht wird.A method according to claim 9, characterized in that before the removal of the stencil material (M) on the stencil structure ( 6 ) surrounding area of the surface ( 7 ) of the cured stencil mass (M) a metal coating ( 14 ), in particular of Cu, Cr or Ni, as a mask for the material removal by infrared laser radiation (L1) is applied. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallbeschichtung (14) in einem ersten Schritt vollflächig aufgetragen, und in einem zweiten Schritt ortsselektiv im Bereich der Schablonenstruktur (6) mittels ultravioletter Laserstrahlung (L2) entfernt wird.Method according to claim 10, characterized in that the metal coating ( 14 ) in a first step applied over the entire surface, and in a second step site-selective in the area of the template structure ( 6 ) is removed by means of ultraviolet laser radiation (L2). Siebdruckschablone (1) mit einem Siebgewebe (3) sowie mit einer darauf aufgebrachten Deckschicht (4) aus einer ausgehärteten Schablonenmasse (M), wobei die Deckschicht (4) im Bereich einer vorgegebenen Schablonenstruktur (6) ausgeschachtet ist, so dass das Siebgewebe (3) freiliegt, dadurch gekennzeichnet, dass die Deckschicht (4) durch ortsselektive Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse (M) mittels Laserstrahlung (L1, L2) ausgeschachtet ist.Screen printing stencil ( 1 ) with a mesh ( 3 ) as well as with a cover layer applied thereto ( 4 ) from a cured stencil mass (M), wherein the top layer ( 4 ) in the region of a given template structure ( 6 ), so that the mesh ( 3 ) is exposed, characterized in that the cover layer ( 4 ) is excavated by location-selective removal of the cured stencil mass (M) by means of laser radiation (L1, L2). Siebdruckschablone (1) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Siebgewebe (3) ein Metallgewebe oder ein metallisiertes Kunststoffgewebe ist.Screen printing stencil ( 1 ) according to claim 12, characterized in that the screen cloth ( 3 ) is a metal mesh or a metallized plastic fabric. Siebdruckschablone (1) nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Schablonenstruktur (6) eine minimale Strukturbreite (D) in der Größenordnung von 10μm aufweist.Screen printing stencil ( 1 ) according to claim 12 or 13, characterized in that the template structure ( 6 ) has a minimum feature width (D) of the order of 10 μm. Vorrichtung zur Herstellung einer Siebdruckschablone (1) unter Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 11, mit einer Laserablationseinheit (9) zur ortsselektiven Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse (M).Device for producing a screen-printing stencil ( 1 ) using the method according to one of claims 1 to 11, with a laser ablation unit ( 9 ) for the location-selective removal of the hardened template mass (M). Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserablationseinheit (9) wahlweise ansteuerbar eine erste Laserquelle (10), insbesondere einen CO2-Laser (10), zur Erzeugung von infra-roter Laserstrahlung (L1), sowie eine zweite Laserquelle (11), insbesondere einen frequenzverdreifachten Nd-Laser, insbesondere Nd-YAG-Laser (11), zur Erzeugung von ultra-violetter Laserstrahlung (L2) umfasst.Device according to claim 15, characterized in that the laser ablation unit ( 9 ) selectively controllable a first laser source ( 10 ), in particular a CO 2 laser ( 10 ), for generating infra-red laser radiation (L1), and a second laser source ( 11 ), in particular a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser ( 11 ) for generating ultra-violet laser radiation (L2).
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