DE102005023533A1 - Process for production of a screen printing pattern from a hardened pattern composition with application of a top layer space selectively by laser radiation - Google Patents
Process for production of a screen printing pattern from a hardened pattern composition with application of a top layer space selectively by laser radiation Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005023533A1 DE102005023533A1 DE200510023533 DE102005023533A DE102005023533A1 DE 102005023533 A1 DE102005023533 A1 DE 102005023533A1 DE 200510023533 DE200510023533 DE 200510023533 DE 102005023533 A DE102005023533 A DE 102005023533A DE 102005023533 A1 DE102005023533 A1 DE 102005023533A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- stencil
- laser
- mass
- laser radiation
- template
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41C—PROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
- B41C1/00—Forme preparation
- B41C1/14—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing
- B41C1/145—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing by perforation using an energetic radiation beam, e.g. a laser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
- B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
- B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
- B41N1/242—Backing sheets; Top sheets; Intercalated sheets, e.g. cushion sheets; Release layers or coatings; Means to obtain a contrasting image, e.g. with a carbon sheet or coating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine nach diesem Verfahren hergestellte Siebdruckschablone sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.The The invention relates to a method for producing a screen printing stencil. The invention further relates to a method according to this method screen printing stencil produced and to a device for carrying out the Process.
Bei
einem herkömmlichen
Verfahren zur Herstellung einer Siebdruckschablone, wie es beispielsweise
aus der
Bei modernen Varianten des Verfahrens wird die Deckschicht im Zuge des Aushärteschritts mittels eines Rasterverfahrens (oder Screening-Verfahrens) direkt ortsselektiv belichtet.at modern variants of the process, the topcoat in the course of curing step using a screening method (or screening method) directly exposed in a location-selective manner.
Alternativ
zu den vorstehend beschriebenen „direkten" Verfahren der Schablonenherstellung
sind – z.B.
aus der
Siebdruckverfahren werden – außer zur Herstellung graphischer Drucke – vor allem zur Herstellung elektrischer Schaltungen und Leiterbahnen eingesetzt. Das zu bedruckende Substrat ist in diesem Fall durch einen Schaltungsträger, insbesondere ein Keramiksubstrat oder einen Leiterplattenrohling, gebildet. Anstelle von Druckfarbe werden hierbei als Druckmedium leitende oder isolierende Substanzen herangezogen. Im Zuge des Schaltungsdrucks werden elektrische und elektronische Komponenten, wie Leiterbahnen, Widerstände, Isolationsschichten, Induktivitäten, Glasabdeckungen, Lötpaste und Leitkleber direkt auf den Schaltungsträger aufgedruckt. Im Speziellen wird Siebdrucktechnik gewöhnlich zum Drucken der Kontaktierungen in der Solartechnik eingesetzt. Insbesondere in diesem Anwendungsbereich müssen äußerst feine Bahnen bei gleichzeitig möglichst großer Stärke der Leiterbahnen gedruckt werden.screen printing be - except for Production of graphic prints - before especially for the production of electrical circuits and printed conductors used. The substrate to be printed in this case by a circuit carrier, in particular a ceramic substrate or a circuit board blank, educated. Instead of printing ink are used here as a printing medium used conductive or insulating substances. In the course of circuit pressure become electrical and electronic components, such as tracks, resistors, Insulation layers, inductors, Glass covers, solder paste and conductive adhesive printed directly on the circuit board. Particularly Screen printing technique becomes common used for printing the contacts in solar technology. Especially in this application must extremely fine webs at the same time as possible greater Strength the printed conductors are printed.
Die kleinsten Leiterstrukturen, die mit gängigen kommerziellen Siebdruckverfahren druckbar sind, liegen heute typischerweise auf der Größenordnung von 100μm. Im Zuge der stetig zunehmenden Miniaturisierung elektronischer Schaltungen besteht ein zunehmender Bedarf an Siebdruckschablonen, die das Drucken noch feinerer Strukturen, insbesondere auf der Größenordnung von 10–50 μm, erlauben.The smallest conductor structures, using common commercial screen printing printable are typically on the order of magnitude today of 100μm. In the course of the ever-increasing miniaturization of electronic circuits There is an increasing demand for screen printing stencils that print even finer structures, especially on the order of magnitude of 10-50 μm, allow.
Die Herstellung von Siebdruckschablonen mit Schablonenstrukturen im Sub-Millimeterbereich ist nach den herkömmlichen Herstellungsverfahren mit hohem Aufwand verbunden, der mit zunehmender Miniaturisierung der Schablonenstrukturen überproportional wächst. Ein wesentlicher Grund für den hohen Herstellungsaufwand besteht darin, dass bei der ortsselektiven Belichtung derart feiner Strukturen Staubkörnchen und andere Verunreinigungen in der Luft oder auf der Oberfläche der Deckschicht Störeffekte beim Belichtungsprozess hervorrufen können, die die Qualität der zu fertigenden Schablone bis hin zur völligen Unbrauchbarkeit beeinträchtigen können. Die Herstellung von Siebdruckschablonen für den Schaltungsdruck erfolgt deshalb bisher unter Reinraumbedingungen hoher Güte. Die Belichtung der Deckschicht erfolgt meist unter Vakuum. Die Herstellung dieser Umgebungsbedingungen ist aufwändig und verkompliziert den Ablauf der Arbeitsvorgänge bei der Herstellung einer Siebdruckschablone.The Production of screen printing stencils with stencil structures in Sub-millimeter range is according to the conventional manufacturing process with associated with increasing miniaturization of the Template structures disproportionately grows. An important reason for the high production cost is that in the site-selective Exposure of such fine structures dust grains and other impurities in the air or on the surface the top layer of disruptive effects during the exposure process, which may increase the quality of the manufacturing template to the point of complete uselessness can. The production of screen printing stencils for the circuit printing takes place Therefore so far under clean room conditions of high quality. The exposure of the cover layer usually takes place under vacuum. The production of these environmental conditions is expensive and complicates the flow of operations in the production of a Screen printing stencil.
Ferner
ist aus der
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine insbesondere zum Schaltungsdruck besonders geeignete Siebdruckschablone sowie ein vergleichsweise einfach durchzuführendes Verfahren zur Herstellung einer solchen Siebdruckschablone anzugeben. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, die zur Durchführung eines solchen Verfahrens besonders geeignet ist.Of the Invention is based on the object, in particular for circuit pressure particularly suitable screen printing stencil and a comparatively easy to perform Specify a method for producing such a screen printing stencil. The invention is further based on the object, a device indicate that to carry out such a method is particularly suitable.
Bezüglich des Herstellungsverfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1. Danach ist im Gegensatz zu der mit einem herkömmlichen Herstellungsverfahren verbundenen Vorgehensweise vorgesehen, die Schablonenmasse zunächst vollflächig auszuhärten und die als Deckschicht auf das Siebgewebe aufgebrachte und ausgehärtete Schablonenmasse im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur anschließend ortsselektiv abzutragen, wobei dieser Abtragungsprozess unter Verwendung von Laserstrahlung vorgenommen wird. Diese Laserablation der Deckschicht wird dabei derart vorgenommen, dass nach Beendigung des Abtragungsprozesses das Siebgewebe im Bereich der Schablonenstruktur freigelegt ist.Regarding the Manufacturing process, this object is achieved by The features of claim 1. Thereafter, in contrast to the a conventional one Process of preparation associated with the procedure provided Template mass first entire area cure and the applied as a cover layer on the mesh and cured stencil mass in the area of the proposed template structure subsequently site-selective this ablation process using Laser radiation is made. This laser ablation of the cover layer is done in such a way that after completion of the ablation process the Screen fabric is exposed in the region of the template structure.
Kern des Verfahrens ist somit die lasergestützte und ortselektive Abtragung der vollflächig ausgehärteten Deckschicht. Für die vorausgehende Aufbringung und Aushärtung der Deckschicht sind demgegenüber mehrere alternative Verfahrensvarianten vorgesehen. Danach wird die Deckschicht wahlweise in einem noch unausgehärteten Zustand in Form einer Emulsion oder eines Films auf das Siebgewebe aufgebracht und anschließend ausgehärtet, oder die Schablonenmasse wird in bereits ausgehärteten Zustand in Form eines Films auf das Siebgewebe aufgebracht, insbesondere auflaminiert oder aufgeklebt. Wiederum alternativ ist denkbar, bereits vorgefertigte Siebdruckschablonen mit vollflächig aufgetragener und ausgehärteter Deckschicht als Eingangsprodukt für das Verfahren heranzuziehen, so dass die Aufbringung der Deckschicht und der Aushärteschritt zwar Voraussetzung, aber nicht notwendigerweise selbst Bestandteil des erfindungsgemäßen Verfahrens sind.core of the method is thus the laser-assisted and site-selective ablation the fully cured topcoat. For the previous application and curing of the top layer are in contrast several alternative method variants provided. Thereafter, the cover layer is optional in a still uncured Condition in the form of an emulsion or a film on the mesh applied and then hardened, or the stencil mass is in already cured state in the form of a Films applied to the mesh, in particular laminated or glued. Again, alternatively, is conceivable, already prefabricated Screen printing stencils with full surface applied and cured Cover layer as input product for the process, so that the application of the topcoat and the curing step Although a prerequisite, but not necessarily itself the method according to the invention are.
Als „Aushärtung" ist allgemein eine chemische oder physikalische Stabilisierung (z.B. in Form einer Polymerisierung, Kristallisierung, amorphen Erstarrung, etc.) der Schablonenmasse bezeichnet, im Zuge welcher die Schablonenmasse einen zusammenhängenden Körper bildet, der durch das vorgesehene Druckmedium nicht angelöst oder ausgespült wird. Die „ausgehärtete" Schablonenmasse kann dabei makroskopisch dennoch flexibel, elastisch und/oder biegsam bleiben.As a "cure" is generally one chemical or physical stabilization (e.g., in the form of a Polymerization, crystallization, amorphous solidification, etc.) of the Template mass referred, in the course of which the template mass a coherent one body forms, which are not dissolved by the intended pressure medium or is rinsed out. The "hardened" stencil mass can macroscopically still flexible, elastic and / or flexible stay.
Der Einsatz von Laserablation erlaubt die Realisierung feinster Schablonenstrukturen mit einer Strukturbreite von etwa 10–15 μm bei gleichzeitig sehr geringem Herstellungsaufwand. Ebenso sind mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens Siebdruckschablonen mit quasi beliebig großer Schichtdicke der Deckschicht und hervorragender Konturenschärfe realisierbar. Ein besonderer Vorteil des Verfahrens besteht darin, dass es gegenüber Verschmutzungen der Deckschichtoberfläche und/oder der Umgebungsatmosphäre beim Herstellungsprozess keine oder nur geringe Störempfindlichkeit aufweist. Die Anforderungen an die für den Herstellungsprozess erforderliche Reinraumtechnik können daher deutlich reduziert werden und bei Schablonenstrukturen mit einer minimalen Strukturbreite über 120μm vollständig entfallen. Auch ansonsten ist das Herstellungsverfahren gegenüber den klassischen Verfahren deutlich vereinfacht, insbesondere zumal die Herstellung einer Positivmaske für den Belichtungsprozess ebenso wenig erforderlich ist wie ein Entwicklungs- oder „Stripping"-Prozess nach erfolgter Belichtung.Of the Use of laser ablation allows the realization of the finest stencil structures with a structure width of about 10-15 microns with very little at the same time Production expense. Likewise, by means of the method according to the invention Screen printing stencils with almost arbitrarily large layer thickness of the cover layer and excellent contour sharpness realizable. A particular advantage of the method is that it is opposite Contaminations of the surface layer surface and / or the ambient atmosphere during Manufacturing process has little or no sensitivity to interference. The requirements of the for Therefore, the cleanroom technology required for the manufacturing process can be significantly reduced and stencil structures with a minimal structure width over 120μm completely eliminated. Otherwise, the manufacturing process against the simplifies classical procedures, especially as the Production of a positive mask for the lighting process is just as unnecessary as a development or "stripping" process after done Exposure.
In einer zweckmäßigen Ausführung der Erfindung wird als Schablonenmasse ein unter Lichteinwirkung (insbesondere UV-Lichteinwirkung) aushärtendes Material, insbesondere Polymermaterial, herangezogen, wie es auch bei herkömmlichen Herstellungsverfahren Anwendung findet. Der Aushärteschritt wird in dieser Ausführung des Verfahrens durch vollflächige Belichtung der Deckschicht, insbesondere durch UV-Licht, vorgenommen.In an expedient embodiment of Invention is used as a template mass under the action of light (in particular UV light) hardening Material, in particular polymer material, used, as it also at conventional Manufacturing process applies. The curing step is in this embodiment of the Procedure by full-surface Exposure of the cover layer, in particular by UV light made.
Anstelle eines lichtempfindlichen Materials kann im Zuge des erfindungsgemäßen Verfahrens aber alternativ auch ein unter Temperatureinwirkung, chemischer Behandlung oder sonstigen Umgebungsbedingungen aushärtendes Material herangezogen werden. Insbesondere wird optional ein Schablonenmaterial herangezogen, das unter bloßer Änderung der Umgebungstemperatur oder durch Verdampfung eines Lösungsmittels erstarrt. In ersterem Fall wird die Schablonenmasse als Schmelze auf das Siebgewebe aufgebracht und zum Aushärten abgekühlt. In letzterem Fall erfolgt die Aushärtung der Schablonenmasse durch einen bloßen Trocknungsprozess, der gegebenenfalls durch Temperatureinwirkung beschleunigt werden kann.Instead of a photosensitive material can in the course of the inventive method but alternatively also under temperature effect, chemical treatment or other ambient conditions hardening material used become. In particular, a template material is optionally used, that under mere change the ambient temperature or by evaporation of a solvent stiffens. In the former case, the stencil mass is melted applied to the mesh and cooled to cure. In the latter case takes place the curing the template mass by a mere drying process, the optionally can be accelerated by the action of temperature.
Als Siebgewebe wird im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens vorzugsweise ein Metallgewebe (insbesondere Stahldraht oder Edelstahldraht) oder ein metallisiertes Kunststoffgewebe herangezogen.When Screen fabric is preferably in the context of the inventive method a metal mesh (in particular steel wire or stainless steel wire) or a metallized plastic fabric used.
Vorteilhafterweise erfolgt die Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse zumindest in der unmittelbaren Umgebung des Siebgewebes unter Verwendung von Laserstrahlung im ultra-violetten Spektralbereich. Mit derartiger Laserstrahlung lässt sich zum einen eine besonders hohe Ortsauflösung erreichen. Zum anderen wird bei Verwendung von UV-Laserstrahlung eine besonders hohe Abtragungsselektivität erzielt, bei der die Schablonenmasse effektiv abgetragen wird, das Siebgewebe aber andererseits geschont wird. Geeignete Laserstrahlung im UV-Spektralbereich wird insbesondere mittels eines frequenzverdreifachten Nd-Lasers, insbesondere Nd-YAG-Lasers erzeugt. In einer besonders vorteilhaften Variante dieses Verfahrens wird die UV-Laserstrahlung lediglich für die Materialabtragung in der Umgebung des Siebgewebes herangezogen, während in einem Anfangsstadium der Materialabtragung Bereiche der Schablonenmasse, die vergleichsweise weit von dem Siebgewebe beabstandet sind, unter Verwendung von infra-roter Laserstrahlung abgetragen werden. Zur Erzeugung der letzteren wird insbesondere ein CO2-Laser eingesetzt. Das zweistufige Abtragungsverfahren unter Verwendung von infra-roter bzw. ultra-violetter Laserstrahlung hat insbesondere den Vorteil, dass für Vorarbeiten die hohe Abtragungsrate eines infra-roten Lasers genutzt werden kann und damit Zeit gespart wird, während in der anschließenden Feinarbeitsphase die Vorteile des UV-Lasers, nämlich die geringe Strahldicke und die geeignete Wellenlänge, besonders zum Tragen kommen. Anstelle eines UV-Lasers kann auch ein im sichtbaren Spektralbereich arbeitender Laser, z. B. ein frequenzverdoppelter Nd-YAG-Laser eingesetzt werden.Advantageously, the removal of the cured stencil mass takes place at least in the immediate vicinity of the screen fabric using laser radiation in the ultraviolet Spectral range. With such laser radiation, on the one hand, a particularly high spatial resolution can be achieved. On the other hand, a particularly high erosion selectivity is achieved when using UV laser radiation, in which the stencil mass is effectively removed, but the screen fabric is spared on the other hand. Suitable laser radiation in the UV spectral range is generated in particular by means of a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser. In a particularly advantageous variant of this method, the UV laser radiation is used only for the removal of material in the vicinity of the screen fabric, while in an initial stage of material removal regions of the template mass, which are comparatively far away from the screen fabric, removed using infra-red laser radiation become. To generate the latter, in particular a CO 2 laser is used. The two-stage ablation method using infra-red or ultra-violet laser radiation has the advantage in particular that the high ablation rate of an infra-red laser can be used for preliminary work and time is saved, while in the subsequent fine-work phase the advantages of the UV Lasers, namely the low beam thickness and the appropriate wavelength, especially come into play. Instead of a UV laser can also operate in the visible spectral range laser, z. B. a frequency doubled Nd-YAG laser can be used.
Insbesondere für die besagten Feinarbeiten ist die Intensität der UV-Laserstrahlung derart eingestellt, dass das Siebgewebe bei der Abtragung der umgebenden ausgehärteten Schablonenmasse nicht beeinträchtigt, insbesondere nicht beschädigt wird. Die hierfür einzustellende Laserintensität ist durch die Art des verwendeten Siebgewebes bestimmt und z. B. empirisch festzustellen.Especially for the said fine work is the intensity of the UV laser radiation such adjusted that the sieve fabric in the ablation of the surrounding cured Stencil mass not impaired, especially not damaged becomes. The one for this to set the laser intensity is determined by the type of screen mesh used and z. B. determine empirically.
In einer insbesondere zur Realisierung besonders feiner Schablonenstrukturen vorteilhaften Variante des Verfahrens wird nach dem Aushärten der Schablonenmasse zunächst eine Metallbeschichtung auf die Oberfläche der Deckschicht aufgebracht. Diese Metallbeschichtung hat insbesondere eine Dicke von etwa 1–3 μm und besteht beispielsweise aus Kupfer, Chrom oder Nickel. Die Metallbeschichtung wirkt hierbei als Lochmaske für die Materialabtragung durch infra-rote Laserstrahlung und ist insofern im Bereich der vorgegebenen Schablonenstruktur unterbrochen. Die Wirkung der Metallbeschichtung besteht darin, dass sie die darunterliegende Schablonenmasse gegen die infra-rote Laserstrahlung abschirmt, wodurch ein IR-Laser auch zur Gravur filigraner Schablonenstrukturen einsetzbar ist, zu deren Realisierung der IR-Laser aufgrund der vergleichsweise schlechten Ortsauflösung nicht oder nur mit hoher Ungenauigkeit einsetzbar wäre.In one in particular for the realization of particularly fine template structures advantageous variant of the method is after curing of the Template mass first a metal coating applied to the surface of the cover layer. This metal coating has in particular a thickness of about 1-3 microns and consists for example, copper, chromium or nickel. The metal coating acts as a shadow mask for the material removal by infra-red laser radiation and is so far interrupted in the area of the given template structure. The Effect of the metal coating is that they are the underlying Mask mass shields against the infra-red laser radiation, causing an IR laser can also be used to engrave filigree stencil structures, for their realization of the IR laser due to the comparatively bad spatial resolution could not be used or only with high inaccuracy.
Die im Bereich der Schablonenstruktur vorgesehenen Durchbrüche der Metallbeschichtung können bereits während der Aufbringung der Metallbeschichtung ausgespart bleiben, z.B. indem dieser Bereich der Deckfläche während der Beschichtung wiederum durch eine geeignete Positivmaske abgedeckt wird. Im Sinne einer Verfahrensrationalisierung wird aber bevorzugt die Metallbeschichtung zunächst vollflächig auf der Deckschicht aufgebracht und anschließend im Bereich der vorgesehenen Schablonenstruktur mittels ultra-violetter Laserstrahlung ortsselektiv abgetragen.The provided in the area of the template structure breakthroughs of Metal coating can already during remain exposed to the application of the metal coating, e.g. by making this area the deck area while the coating in turn covered by a suitable positive mask becomes. In terms of process rationalization is preferred the metal coating initially on the entire surface applied to the topcoat and then in the area provided Template structure by means of ultra-violet laser radiation site-selective ablated.
Bezüglich der Siebdruckschablone wird die Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 12. Danach umfasst die Siebdruckschablone ein Siebgewebe, auf dem eine Deckschicht aus einer ausgehärteten Schablonenmasse aufgebracht ist, wobei die Deckschicht im Bereich einer auf der Schichtfläche vorgegebenen Schablonenstruktur durch ortsselektive Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse mittels Laserstrahlung derart ausgeschachtet ist, dass das Siebgewebe in diesem Bereich freiliegt.Regarding the Screen printing template, the object is achieved by the features of claim 12. Thereafter, the screen printing stencil comprises a screen fabric on which a cover layer of a cured stencil mass applied is, wherein the cover layer in the region of a given on the layer surface Template structure by site-selective removal of the hardened template mass is scoured by laser radiation such that the mesh in this area is exposed.
Bezüglich der zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens vorgesehenen Vorrichtung wird die Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 15. Danach umfasst die Vorrichtung eine Laserablationseinheit zur ortsselektiven Abtragung der ausgehärteten Schablonenmasse. Diese Laserablationseinheit umfasst in zweckmäßiger Ausgestaltung eine erste Laserquelle zur Erzeugung von infra-roter Laserstrahlung und eine zweite Laserquelle zur Erzeugung von ultra-violetter Laserstrahlung, die wahlweise ansteuerbar sind. Die Laserablationseinheit kann zwei voneinander unabhängige Laserquellen mit separater Strahlführung umfassen. Insbesondere wird aber ein so genanntes Duo-Lasersystem oder Hybrid-Lasersystem als Laser-Ablationseinheit herangezogen. Die Laserablationseinheit umfasst in bevorzugter Ausführung einen CO2-Laser als erste Laserquelle sowie einen frequenzverdreifachten Nd-Laser, insbesondere Nd-YAG-Laser als zweite Laserquelle.With regard to the apparatus provided for carrying out the above-described method, the object is achieved according to the invention by the features of claim 15. Thereafter, the apparatus comprises a laser ablation unit for the location-selective removal of the hardened stencil mass. This laser ablation unit comprises, in an expedient embodiment, a first laser source for generating infra-red laser radiation and a second laser source for generating ultra-violet laser radiation, which are selectively controllable. The laser ablation unit may comprise two independent laser sources with separate beam guidance. In particular, however, a so-called duo-laser system or hybrid laser system is used as the laser ablation unit. The laser ablation unit comprises in a preferred embodiment a CO 2 laser as the first laser source and a frequency-tripled Nd laser, in particular Nd-YAG laser as a second laser source.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert. Darin zeigen:following Be exemplary embodiments of Invention explained in more detail with reference to a drawing. Show:
Einander entsprechende Teile und Größen sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.each other corresponding parts and sizes are in all figures with the same reference numerals.
Der
Schablonenrahmen
Das
Siebgewebe
Im
Zuge des Verfahrens wird auf das Siebgewebe
Die
Schablonenstruktur
Je
nach Ausführungsbeispiel
durchdringt die Deckschicht
Zu
Beginn des Verfahrens wird auf das in dem Schablonenrahmen
Nach
dem flächigen
Auftragen der Schablonenmasse M wird die Oberfläche
Nach
dem Aushärten
der Schablonenmasse M wird die Deckschicht
Die
Materialabtragung erfolgt mittels einer Laserablationseinheit
Die
Abtragung der Schablonenmasse M erfolgt gemäß
Abweichend
hiervon wir zur Gravur grober Schablonenstrukturen
Die
Materialabtragung wird beendet, wenn die ausgehärtete Schablonenmasse M im
Bereich der Schablonenstruktur
In
den
Im
Zuge dieser Verfahrensvariante wird zunächst analog zu den
Die
Metallbeschichtung
Die
Metallbeschichtung
In
der Umgebung des Siebgewebes
Die
mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren gefertigten Schablonen
- 11
- (Siebdruck-)Schablone(Screen printing) Template
- 22
- Schablonenrahmenstencil frame
- 33
- Siebgewebemesh
- 44
- Deckschichttopcoat
- 55
- Innenflächepalm
- 66
- Schablonenstrukturtemplate structure
- 77
- Oberflächesurface
- 88th
- UV-LichtquelleUV-light source
- 99
- LaserablationseinheitLaserablationseinheit
- 1010
- CO2-LaserCO 2 laser
- 1111
- Nd-YAG-LaserNd-YAG laser
- 1212
- Stelleinheitactuator
- 1313
- Laserstrahllaser beam
- 1414
- Metallbeschichtungmetal coating
- MM
- Schablonenmassetemplate mass
- L1L1
- Laserstrahlunglaser radiation
- L2L2
- Laserstrahlunglaser radiation
- DD
- Strukturbreitestructure width
Claims (16)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200510023533 DE102005023533B4 (en) | 2005-05-21 | 2005-05-21 | Method for producing a screen printing stencil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200510023533 DE102005023533B4 (en) | 2005-05-21 | 2005-05-21 | Method for producing a screen printing stencil |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102005023533A1 true DE102005023533A1 (en) | 2006-11-23 |
| DE102005023533B4 DE102005023533B4 (en) | 2007-06-21 |
Family
ID=37311132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE200510023533 Expired - Fee Related DE102005023533B4 (en) | 2005-05-21 | 2005-05-21 | Method for producing a screen printing stencil |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102005023533B4 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011047702A1 (en) * | 2009-10-23 | 2011-04-28 | Stork Prints Austria Gmbh | Method for producing perforated or partially perforated templates with reliefs |
| JP2023541536A (en) * | 2020-08-14 | 2023-10-03 | デュラルクローム アーゲー | Platen and discharge fluid control system for stencil making |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202007019165U1 (en) | 2007-12-11 | 2010-11-04 | Nb Technologies Gmbh | Template for technical screen printing |
| DE102010000963A1 (en) | 2010-01-18 | 2011-07-21 | Tampoprint AG, 70825 | Method fore manufacturing stencil e.g. electrochemical etching mask that is utilized for electro chemical corroding of metal sheets for marking packagings by spraying process, involves removing covering layer by radiation of laser |
| DE202010011817U1 (en) | 2010-08-25 | 2011-12-05 | Hans und Antonie Priwitzer Ingenieurbüro GBR (vertretungsberechtigte Gesellschafter: Hans Priwitzer, 90596 Schwanstetten; Antonie Priwitzer, 90596 Schwansteten) | screen printing stencil |
| CN111070856A (en) * | 2019-12-20 | 2020-04-28 | 浙江硕克科技有限公司 | Method for manufacturing stainless steel silk screen printing plate in shielding mode |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3637642A1 (en) * | 1986-11-05 | 1988-05-11 | Kissel & Wolf Gmbh | METHOD FOR PRODUCING PRINTING FORMS FOR SCREEN PRINTING |
| DE19651462A1 (en) * | 1996-12-11 | 1998-06-18 | Udo Dr Lehmann | Gravure printing |
| WO2000069632A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Stork Screens B.V. | Method for producing a printing forme, and laser device which can be used in this method |
| DE10233767A1 (en) * | 2001-08-14 | 2003-03-06 | Sefar Ag Thal | Process for producing a stencil for screen printing and coating system |
| EP1261451B1 (en) * | 2000-02-15 | 2004-10-06 | Datacard Corporation | Method for the machining of workpieces by means of several laser beams |
-
2005
- 2005-05-21 DE DE200510023533 patent/DE102005023533B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3637642A1 (en) * | 1986-11-05 | 1988-05-11 | Kissel & Wolf Gmbh | METHOD FOR PRODUCING PRINTING FORMS FOR SCREEN PRINTING |
| DE19651462A1 (en) * | 1996-12-11 | 1998-06-18 | Udo Dr Lehmann | Gravure printing |
| WO2000069632A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Stork Screens B.V. | Method for producing a printing forme, and laser device which can be used in this method |
| EP1261451B1 (en) * | 2000-02-15 | 2004-10-06 | Datacard Corporation | Method for the machining of workpieces by means of several laser beams |
| DE10233767A1 (en) * | 2001-08-14 | 2003-03-06 | Sefar Ag Thal | Process for producing a stencil for screen printing and coating system |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011047702A1 (en) * | 2009-10-23 | 2011-04-28 | Stork Prints Austria Gmbh | Method for producing perforated or partially perforated templates with reliefs |
| CN102844190A (en) * | 2009-10-23 | 2012-12-26 | 斯托克印刷品奥地利有限公司 | Method for producing perforated or partially perforated templates with reliefs |
| JP2013508189A (en) * | 2009-10-23 | 2013-03-07 | ストルク プリンツ オーストリア ゲーエムベーハー | Method for producing perforated or partially perforated template with relief part |
| CN102844190B (en) * | 2009-10-23 | 2015-03-25 | Spg印刷奥地利有限公司 | Method for producing perforated or partially perforated templates with reliefs |
| US9205639B2 (en) | 2009-10-23 | 2015-12-08 | Spgprints Austria Gmbh | Method for producing perforated or partially perforated stencils with a relief |
| JP2023541536A (en) * | 2020-08-14 | 2023-10-03 | デュラルクローム アーゲー | Platen and discharge fluid control system for stencil making |
| JP2023542811A (en) * | 2020-08-14 | 2023-10-12 | デュラルクローム アーゲー | Platen and discharge fluid control system for stencil making |
| JP7496931B2 (en) | 2020-08-14 | 2024-06-07 | デュラルクローム アーゲー | Platen and ejection fluid control system for stencil creation |
| JP7497521B2 (en) | 2020-08-14 | 2024-06-10 | デュラルクローム アーゲー | Platen and ejection fluid control system for stencil creation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102005023533B4 (en) | 2007-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE4447897B4 (en) | Process for the production of printed circuit boards | |
| DE69517400T2 (en) | Process for producing a plastic mask for paste printing, plastic mask for paste printing, and paste printing process | |
| DE4417245A1 (en) | High resolution structured metallisation prodn. | |
| DE19702977C2 (en) | Process for the production of operating, decorative or display elements by means of laser radiation | |
| EP0727925A1 (en) | Process for structured metallizing of the surface of substrates | |
| DE102005023533B4 (en) | Method for producing a screen printing stencil | |
| DE4103834A1 (en) | Circuit board mfr. by channelling into metallic coating - using laser beam brightness variation in conjunction with orthogonal movements of table under process computer control | |
| DE3217983C2 (en) | Method for making a masking mask | |
| WO2009059584A1 (en) | Screen for commercial screen printing | |
| DE102012209371A1 (en) | Method for providing printing form on screen printing fabric for performing printing method that is utilized for manufacturing of strip conductor structures, involves applying mask material by overlamination or curing fabric with solution | |
| DE19951721A1 (en) | Very fine circuit production on polymer involves structurization by erosion with short wavelength electromagnetic radiation using metal coat penetrated by photons and erosion by plasma formed at interface with polymer | |
| DE102007006640A1 (en) | Method for applying a structure to a semiconductor device | |
| DE2638474A1 (en) | METHOD OF MANUFACTURING A PHOTOMASK | |
| DE2400665B2 (en) | METHOD OF MANUFACTURING SOLDER REPELLENT PROTECTION ON CIRCUIT BOARDS WITH CONTINUOUS HOLES | |
| DE3150056A1 (en) | "MASK FOR USE IN LITHOPRAPHIC PROCESSES" | |
| DE3889448T2 (en) | Photo patternable multilayer structure. | |
| DE102006004845A1 (en) | Method and circuit structure using a photoimaged solder mask | |
| DE19833557C1 (en) | Production method for flexographic board used in flexographic printing | |
| DE19630739C1 (en) | Producing mask for laser radiation | |
| DE102004046629A1 (en) | Production process for a component having a printed circuit for automotive technology presses a plate through a template and heats to harden the paste | |
| DE102010000963A1 (en) | Method fore manufacturing stencil e.g. electrochemical etching mask that is utilized for electro chemical corroding of metal sheets for marking packagings by spraying process, involves removing covering layer by radiation of laser | |
| DE10136114B4 (en) | Method for producing a planar circuit carrier | |
| EP1498262A1 (en) | Method and apparatus for producing a screen printing stencil and a screen with a stencil | |
| DE102011110653B4 (en) | Screen printing stencil and method for its production | |
| EP0680247A1 (en) | Screen-printing process for manufacturing printed circuits and arrangement for implementing the process |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |