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DE102005023115B4 - Verfahren zum Überwachen einer Fluid-Durchflußmessung und Sensorsystem für eine Fluid-Durchflußmessung - Google Patents

Verfahren zum Überwachen einer Fluid-Durchflußmessung und Sensorsystem für eine Fluid-Durchflußmessung Download PDF

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DE102005023115B4
DE102005023115B4 DE102005023115A DE102005023115A DE102005023115B4 DE 102005023115 B4 DE102005023115 B4 DE 102005023115B4 DE 102005023115 A DE102005023115 A DE 102005023115A DE 102005023115 A DE102005023115 A DE 102005023115A DE 102005023115 B4 DE102005023115 B4 DE 102005023115B4
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sensor system
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fluid flow
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Michael Dipl.-Wirtsch. Ing. Nuber
Ralf Dipl.-Ing. Müller
Rüdiger Dipl.-Ing. Ballas (FH)
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Technische Universitaet Darmstadt
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Technische Universitaet Darmstadt
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Abstract

Verfahren zum Überwachen einer Durchflußmessung für Fluide, bei dem eine von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige, erste Meßgröße und eine von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige, zur ersten Meßgröße unterschiedliche, zweite Meßgröße simultan erfaßt und/oder ermittelt werden, wobei zu den beiden Meßgrößen proportionale Fluiddurchflußwerte ermittelbar sind, die miteinander verglichen werden, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Meßgröße mit Hilfe eines gleichen – entweder piezoelektrischen, kapazitiven, induktiven oder resistiven – physikalischen Grundmeßprinzips erfaßt und/oder ermittelt werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überwachen einer Fluid-Durchflußmessung und ein Sensorsystem für eine Fluid-Durchflußmessung, welches Sensorsystem mit einer Selbstüberwachungsfunktion versehen ist.
  • Marktuntersuchungen haben gezeigt, daß Anwender von Durchflußsensoren auf dem Gebiet der Prozeßmeßtechnik einen großen Bedarf an Sensoren mit Selbstüberwachungseigenschaf ten oder Selbstdiagnose haben, womit Störungen am Sensor, verursacht durch Ablagerungen, Gas- oder Flüssigkeitseinschlüsse oder Fremdkörper innerhalb der Meßstrecke, Alterungseffekte, interne Störungen des Sensors (Elektronikausfälle u. ä.), Umwelteinflüsse etc., detektiert und unter Umständen beseitigt werden können.
  • Es ist bekannt, bei zu regelnden Prozessen, wie Kühlmittelkreisläufen und/oder Gasversorgungsleitungssystemen oder dergleichen, eine Prozeßgrößen, wie den Durchfluß, erfassende Sensorik einzusetzen, deren Funktionsweise dadurch überwacht oder diagnostiziert werden kann, daß mit Hilfe der Prozeßhistorie der Prozeßgrößenistzustand mit einer dazu vergleichbaren Prozeßsituation aus der Vergangenheit verglichen wird. Zeigt der Vergleich deutliche Abweichungen, ist von einem Fehlverhalten auszugehen. Diese bekannte Methode setzt eine genaue Kenntnis des zu sensierenden Prozesses sowie die zu erwartenden Sollergebnisse voraus, die nicht nur von den sensorspezifischen Eigenschaften, sondern vor allem auch von der Beeinflußbarkeit des Sensors durch die Prozeßumgebung abhängig sind. Eine derartige Sensorüberwachung auf der Basis von Vergleichswerten aus der Prozeßhistorie ist in dem Artikel „Selbstüberwachung, ihre Grenzen und übergreifende Überwachung am Beispiel von Füllstand-Sensorsystemen”, Johannes Prock, „atp” (Automatisierungstechnische Praxis”), Heft 5/2003, beschrieben. Bei dieser bekannten Selbstüberwachung ist die Prozeßumgebungsabhängigkeit von Nachteil, weil bei Änderung der Prozeßcharakteristik, beispielsweise durch Einbau neuer andersartiger Feldgeräte, wie Ventile, folglich die ursprünglichen Vergleichswerte aus der Prozeßhistorie für die Überwachung untauglich werden. Probedurchläufe werden notwendig, um auf das geänderte Prozeßverhalten abgestimmt Sollvergleichswerte der Sensorüberwachung bereitzustellen. Ähnlich Probleme entstehen, wenn neue Sensorik in einem bewährten unveränderten Prozeß eingesetzt werden soll. Wegen der Individualität und Vielfältigkeit von Durchflußprozessen ist das Überwachungssystem des neuen Sensors an die Umstände des jeweiligen Prozesses anzupassen.
  • Weiterhin ist bekannt, eine Sensor-Selbstüberwachung auf der Ebene der elektronischen Komponenten des Sensors zu schaffen, bei der die Überwachung der elektronischen Verarbeitung von Meßsignalen im Vordergrund steht. Mittels der Elektroniküberwachung können aber Störungen oder Fehler, die beim unmittelbaren physischen Abgreifen der in Abhängigkeit mit der Prozeßgröße stehenden physikalischen Meßgröße entstehen können, also nicht elektronikbedingt sind, nicht erfaßt werden. Derartige Störungen werden meist präventiv dadurch beseitigt, daß die Sensorik durch aufwendige Wartungsarbeiten visuell kontrolliert wird. Dabei kann es die unberechenbare Störanfälligkeit der Sensorik sein, welche die Wartungshäufigkeit festlegt.
  • DE 199 63 638 A1 offenbart ein Verfahren zur Funktionsüberwachung einer Zylinderabschaltung bei mehrzylindrigen Verbrennungsmotoren. Dabei werden Meßwerte eines Hitzdrahtluftmassenmessers und des Saugrohrdrucks, der Drehzahl und der Zylinderzahl herangezogen. Aus US 6,484,590 B1 ist ein Verfahren zur Durchflußmessung mittels eines Durchflußmessers sowie eines Druck- und Temperatursensors bekannt. Dabei wird ein die Strömungsrate des Fluids repräsentierender Ausgabewert berechnet, indem Wirbel in dem Fluid erzeugt werden. Anschließend wird ein erster Satz Fluidparameter der Fluidströmung zugeordnet, um eine erste Beziehung zu erhalten. Anschließend wird der Bezug der Fluidströmung zu einem zweiten Fluidparametersatz hergestellt, um eine zweite Beziehung zu erhalten. Bei dem bekannten Verfahren werden die ersten und zweiten Fluidparametersätze überwacht. Anschließend wird ein erster Strömungswert aus dem ersten Fluidparametersatz und der ersten Beziehung berechnet. Anschließend wird die zweite Beziehung auf der Basis des ersten Strömungswerts eingestellt. Schließlich wird der Ausgabewert aus dem zweiten Satz Fluidparameter sowie der zweiten eingestellten Beziehung berechnet.
  • WO 2005/001586 A2 offenbart die Verwendung einer Anordnung einer Vielzahl von Drucksensoren an unterschiedlichen Positionen in einer Durchflußleitung. Aus WO 03/102511 A2 ist ein Durchflußmesser zur Charakterisierung einer 2-Phasenströmung bekannt, wobei der Durchflußmesser in einem bestimmten Abstand von einem Störkörper zur Bestimmung der Wirbelablösefrequenz angeordnet ist.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Überwachen einer Fluid-Durchflußmessung und ein Sensorsystem für eine Fluid-Durchflußmessung mit einer Selbstüberwachungs- und/oder Diagnosefunktion bereitzustellen, mit dem die Nachteile des Standes der Technik überwunden werden, insbesondere ein Selbstüberwachungsmechanismus für das Meßverfahren und für die Meßsensorik bereitzustellen, die prozeßunabhängig arbeitet und bei Erhöhung der Diagnosezuverlässigkeit den Wartungsaufwand verringert.
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale von Patentanspruch 1 oder Patentanspruch 12 gelöst.
  • Danach ist ein Verfahren und ein Sensorsystem zum Überwachen einer Fluid-Durchflußmessung vorgeschlagen, bei dem eine von dem zu messenden Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige erste Meßgröße, wie der Wirkdruck der Fluiddurchfluß-Strömung, und eine von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige, zur ersten Meßgröße unterschiedliche, zweite Meßgröße, wie die Wirbelablösefrequenz an einem in der Durchflußströmung angeordneten Störkörper, erfaßt und/oder ermittelt werden, wobei die erste und zweite Meßgröße auf der Basis eines gleichen physikalischen – entweder piezoelektrischen, kapazitiven, induktiven oder resistiven – Grundmeßprinzips simultan erfaßt und/oder ermittelt werden und die aus den beiden Meßgrößen ermittelten Fluiddurchflußwerte miteinander verglichen werden.
  • Das erfindungsgemäße Sensorsystem zur Fluid-Durchflußmessung umfaßt eine Grundsensorik zum simultanen Erfassen und/oder Ermitteln einer von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängigen, ersten Meßgröße, wie des Wirkdrucks der Fluiddurchflußströmung, und einer von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängigen, zur ersten Meßgröße unter schiedlichen, zweiten Meßgröße, wie der Wirbelablösefrequenz an einem Durchfluß-Störkörper, wobei die Grundsensorik für die Erfassung und/oder Ermittlung sowohl der ersten als auch der zweiten Meßgröße gemäß einem gleichen physikalischen – entweder piezoelektrischen, kapazitiven, induktiven oder resistiven – Grundmeßprinzip arbeitet und eine mit der Grundsensorik verbundene Einrichtung zum Vergleichen der aus den beiden Meßgrößen der Grundsensorik ermittelten Fluiddurchflußwerte vorgesehen ist.
  • Gemäß der Erfindung wird der Durchfluß mittels mindestens zweier unterschiedlicher Meßverfahren, bei denen mindestens zwei unterschiedliche Meßgrößen sensiert werden, auf der Basis des gleichen physikalischen Meßprinzips durchgeführt. Beispielsweise wird gemäß dem ersten Meßverfahren eine Wirkdruckmessung in der Durchflußströmung und gemäß dem zweiten Meßverfahren eine Wirbel- oder Vortexablösefrequenz-Messung an einem in der Durchflußströmung angeordneten Störkörper vorgenommen. Beide Messungen werden mit ein und demselben physikalischen Meßprinzip, beispielsweise mit Hilfe eines piezoelektrischen Sensors, umgesetzt, wodurch ein diversitär redundantes Überwachungssystem für die Durchflußmessung bereitgestellt ist.
  • Es hat sich herausgestellt, daß die häufigsten Störungsphänomene, wie Ablagerungen, Gas- oder Flüssigkeitseinschlüsse, Abrasionen etc., verschiedene Meßverfahren, wie Wirkdruckmessung oder Vortexablösefrequenz-Messung, unterschiedlich stark und charakteristisch beeinträchtigen. Dieses unterschiedliche Störverhalten wird genutzt, um den Fehlerursprung am Sensor lokalisieren zu können. Da erfindungsgemäß die unterschiedlichen Meßverfahren auf dem gleichen physikalischen Meßprinzip beruhen, kann die Unsicherheitsquelle der defekten Meßprinzipsdurchführung ausgeschlossen oder auch angenommen werden. Eine auf das angewandte Meßprinzip zurückgehende Störung kann durch einen Vergleich von bekannten sensorikspezifischen Störungskenndaten und Istwerten beider Meßgrößenresultate identifiziert werden.
  • Mit der Erfindung ist es möglich, den Wartungsbedarf erheblich zu reduzieren, weil auch Störungen am strukturellen Aufbau des Sensors selbst erfaßt werden können, ohne den Durchflußprozeß unterbrechen zu müssen.
  • Anhand der erfaßten Istwerte der ersten und zweiten Meßgröße sowie anhand der Vergleichswerte zwischen der ersten und zweiten Meßgröße können ein Fehlverhalten oder ein fehlerfreies Arbeiten der Sensorik zum Erfassen und/oder Ermitteln der ersten und der zweiten Meßgröße detektiert werden.
  • Um ein fehlerhaftes oder fehlerfreies Erfassen und/oder Ermitteln der ersten und/oder zweiten Meßgröße detektieren zu können, ist eine Vergleichseinrichtung vorgesehen, bei der die erfaßten Istwerte der ersten und zweiten Meßgröße kontrolliert werden sowie auch deren Vergleichswerte.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist eine Zusatzsensorik zum simultanen Erfassen und/oder Ermitteln der ersten Meßgröße und der zur ersten Meßgröße unterschiedlichen zweiten Meßgröße vorgesehen, wobei die Zusatzsensorik auf der Basis eines zum Grundmeßprinzip unterschiedlichen, physikalischen und für die erste und zweite Meßgröße gleichen Zusatzmeßprinzips arbeitet. Für den Fall, daß das Grundmeßprinzip auf dem piezoelektrischen Phänomen beruht, ist also gemäß der Weiterbildung das Zusatzmeßprinzip auf einem anderen physikalischen Phänomen, wie einem kapazitiven, induktiven oder resistiven Phänomen, begründet.
  • Vorzugsweise ist die Grundsensorik zum Erfassen der ersten und zweiten Meßgröße an einem in der Durchflußströmung anzuordnenden Störkörper zum Erzeugen von sensierbaren Wirbeln, wie Vortices, im Leebereich des Störkörpers positioniert. Die Grundsensorik ist dabei dazu ausgelegt, den Wirkdruck der Durchflußstörung als erste Meßgröße sowie eine Vortexablösefrequenz als zweite Meßgröße zu erfassen. Dies kann vorzugsweise durch einen piezoelektrischen Körper, der insbesondere die Form eines idealen Störkörpers aufweist, in der Durchflußströmung realisiert sein.
  • Gemäß der Weiterbildung ist die Zusatzsensorik ebenfalls an dem Störkörper positioniert. So wie die Grundsensorik erfaßt die Zusatzsensorik den Wirkdruck sowie die Vortexablösefrequenz, allerdings mittels eines anderen Meßprinzips.
  • Vorzugsweise ist die Grundsensorik durch einen piezoelektrischen Basissensor gebildet. Dieser kann durch einen Stapel aus piezoelektrischen Schichten gebildet sein, welcher Stapel insbesondere einen monomorphen, bimorphen oder multimorphen Aufbau aufweisen kann. Der Schichtaufbau ist mit seiner Grundfläche orthogonal zur Strömungsrichtung ausgerichtet.
  • Bei einer bevorzugten Ausführung ist der Störkörper zumindest teilweise aus piezoelektrischem Material, vorzugsweise vollständig aus piezoelektrischem Material, gebildet.
  • Die Zusatzsensorik kann durch einen kapazitiven, induktiven oder resistiven Sensor gebildet sein. Beispielsweise kann der Zusatzsensor ein Dehnmeßstreifen sein, der auf das den Störkörper bildende piezoelektrische Material aufgebracht sein kann.
  • Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist eine Zusatzvergleichseinrichtung vorgesehen, die mit der Grundsensorik und der Zusatzsensorik verbunden ist. Die Zusatzvergleichseinrichtung ist dazu ausgelegt, die erste und zweite Meßgröße der jeweiligen Sensoriken miteinander und insbesondere mit gespeicherten Sollmeß-Kenndaten der jeweiligen Sensorik zu vergleichen. Mit der Zusatzvergleichseinrichtung ist es möglich, einen detektierten Fehler demjenigen Sensorteil für die erste oder zweite Meßgröße zuzuordnen, der gestört ist. Beispielsweise könnten bei Abrasionserscheinungen Störungen eher bei der Erfassung der Wirbelablösefrequenz zu erwarten sein, weil durch die die Geometrie des Störkörpers ändernde Abrasion die Vortexbildung im Leebereich des Störkörpers stark beeinträchtigt wird. Hingegen könnte Abrasion die Wirkdruckmessung weit weniger stark verfälschen.
  • Um die notwendigen Vergleiche vorzunehmen, kann eine Auswerteeinheit vorgesehen sein, welche anhand der Ist- und Vergleichswerte Fehler und Störgrößen ermitteln kann. Die Auswerteeinheit kann durch herkömmliche Elektronikkomponenten gebildet sein.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist das Sensorsystem mit einem Stellglied, wie einem piezoelektrischen Aktor, versehen, der die Position der Grundsensorik und/oder der Zusatz sensorik ändern kann. Das Stellglied hat die Aufgabe, sollten beispielsweise durch Abrasion oder Ablagerung an der jeweiligen Sensorik Meßfehler induziert werden, durch Veränderung der Position der jeweiligen Sensorik Meßfehler auszugleichen. Sollte beispielsweise der piezoelektrische Sensor durch Strömungsverschleiß Abrasionen aufweisen, kann das Stellglied derart angesteuert, insbesondere durchströmt sein, daß der piezoelektrische Sensor um das Maß der Abrasion nachgeführt wird.
  • Vorzugsweise sind das Stellglied und die Sensorik in einem einzigen Bauteil geeint, nämlich in einem piezoelektrischen Körper, der sowohl über Abgreifen von sich innerhalb des Körpers aufbauenden Ladungsverschiebungen Meßgrößen erfassen als auch sich durch Ansteuerung mit einer elektrischen Spannung auslenken kann. Dabei kann auch der Störkörper in weiterer Funktionsunion durch den piezoelektrischen Körper gebildet sein.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist eine Einrichtung zum Rekalibrieren der Grundsensorik und/oder der Zusatzsensorik vorgesehen. Die Rekalibrierung kann beispielsweise durch Beaufschlagung bestimmter Stromstärken oder Ansteuerung mit einer bestimmten elektrischen Spannung zum Simulieren von Volumendurchflußraten realisiert werden, was von der Zusatzsensorik überwacht werden kann und umgekehrt.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung hat das Sensorsystem eine Abschaltung zumindest eines Teils der jeweiligen Sensoriken, der die erste und zweite Messgröße erfasst, wobei die Abschaltung durch die Auswerteeinheit aktivierbar ist, sobald die Auswerteeinheit eine irreparable Fehler- oder Störgröße identifiziert und einem Teil der für den Fehler oder der Störgröße verantwortlichen Sensorik zugeordnet hat.
  • Bei irreparablen Störungen und Fehlern bei der Erfassung einer bestimmten Meßgröße auf der Basis eines bestimmten Meßprinzips kann eine Abschaltung des entsprechenden Teils der dafür verantwortlichen Sensorik vorgenommen werden.
  • Weitere Vorteile, Eigenschaften und Merkmale der Erfindung werden durch die folgende Beschreibung bevorzugter Ausführungen der Erfindung deutlich, in denen zeigen:
  • 1 eine schematische Draufsicht auf eine von einer Flüssigkeit durchflossene Leitung, in der ein Sensor gemäß der Erfindung angeordnet ist;
  • 2 eine schematische Seitenansicht der Anordnung gemäß 1;
  • 3 eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sensorsystems in einer ersten Ausführung;
  • 4a eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sensorsystem in einer zweiten Ausführung;
  • 4b eine vergrößerte Detailansicht eines in dem erfindungsgemäßen Sensorsystem gemäß 4a integrierten kapazitiven Zusatzsensors;
  • 5 eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sensorsystem gemäß einer dritten Ausführung;
  • 6 eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Sensorsystem gemäß einer vierten Ausführung; und
  • 7 ein Blockschaltbild zur Rekalibrierung eines erfindungsgemäßen Sensorsystems.
  • In den 1 und 2 ist eine Leitung mit der Bezugsziffer 1 versehen, in der eine Strömung 3 von links nach rechts durch Pfeile angedeutet ist.
  • In das Leitungsinnere ragend ist ein erfindungsgemäßes Sensorsystem mit einem Basissensor 5 aus piezoelektrischem Material angeordnet. Der Basissensor 5 ist in Form eines Störkörpers geformt, der dazu geeignet ist, Vortices oder Wirbel 7, die durch Ringelpfeile angedeutet sind, im Leebereich sich von dem Basissensor 5 ablösend auszubilden. Dabei ist die Störkörperform derart ausgewählt, daß bei Ablösung erfaßbare Kräfte an dem Sensor angreifen, die detektierbare elektrische Ströme in dem Basissensor 5 erzeugen.
  • Ein Beispiel für die Form eines meßbereichsoptimierten Störkörpers ist in dem Artikel „Parameterabhängigkeit der Durchfluß-Frequenz-Kennlinie von Vortex-Zählern im Bereich klei ner Reynoldszahlen” von Andreas Breier und Heinz Gatzmanga in „Technisches Messen 62”, Heft 1/1995 auf Seite 16 angegeben.
  • Durch die Umströmung des als Störkörper ausgebildeten Basissensors 5 wird letzterer aufgrund des an der strömungszugewandten Seite des Basissensors 5 wirkenden Wirkdrucks in Strömungsrichtung ausgelenkt. Aufgrund des piezoelektrischen Meßprinzips werden proportional zum Wirkdruck Ladungsverschiebungen innerhalb des piezoelektrischen Materials erzeugt, welche durch eine nicht dargestellte Signalverarbeitung erfaßt werden können. Das erfaßte Wirkdrucksignal ist im wesentlichen frequenzfrei und ändert sich mit der Durchflußänderung annähernd linear.
  • Alternativ kann der Wirkdruck über einen sogenannten Kompensationsbetrieb erfaßt werden, bei dem nicht die elektrischen Ladungsänderungen im piezoelektischen Material erfaßt werden, sondern das piezoelektrische Material derart mit Spannung beaufschlagt wird, daß der Basissensor 5 sich stets in der definierten Lage befindet, die mittels einer integrierten Wegsensorik (19) überwacht wird. Um den Basissensor 5 stets in der festgelegten Position trotz unterschiedlicher Durchflüsse zu halten, sind mehr oder weniger starke Spannungen nötig, die wiederum einen Rückschluß auf die Geschwindigkeit bzw. den Wirkdruck der Flüssigkeitsströmung zulassen.
  • Erfindungsgemäß ist ein weiteres von der Wirkdruckmessung unterschiedliches Meßverfahren in dem piezoelektrischen Sensor 5 impliziert, das die Frequenz der sich von dem Basissensor 5 ablösenden Wirbel 7 aufgrund entsprechender Schwingungsauslenkung des Basissensors 5 piezoelektrisch erfaßt. Das Wirbelablösefrequenzsignal stellt ein Zittersignal bestimmter Amplitude und Frequenz dar, welches einfach von dem im wesentlichen konstanten Wirkdrucksignal ausfilterbar ist und ebenfalls eine Proportionalität zu dem zu messenden Durchfluß darstellt.
  • Das erfindungsgemäße Sensorsystem bietet also zwei unterschiedliche Meßverfahren, nämlich die Wirkdruckmessung und die Wirbel- oder Vortexdurchflußmessung mit Hilfe ein und desselben physikalischen Meßprinzips, nämlich dem piezoelektrischen.
  • In 2 ist eine besondere Ausführung des erfindungsgemäßen Sensorsystems dargestellt. Das Sensorsystem hat, verglichen mit dem in den 1 und 2 dargestellten System, einen piezoelektrischen Basissensor 15, der aus einem Stapel piezoelektrischer Schichten aufgebaut ist. Dabei ist eine monomorphe, bimorphe oder multimorphe Struktur vorgesehen.
  • Zudem hat das Sensorsystem gemäß 3 außer dem piezoelektrischen Sensor 15 einen Zusatzsensor 19 in Form eines Dehnmeßstreifens, der an der stromaufwärtigen Seite des piezoelektrischen, den Störkörper bildenden Basissensors 15 angeordnet ist. Auch der Dehnmeßstreifen erfaßt den im wesentlichen konstanten Wirkdruck sowie die Vortexablösefrequenz.
  • In den 4a und 4b ist eine weitere Ausführung eines erfindungsgemäßen Sensorsystems dargestellt, das sich von dem Sensorsystem nach 3 dahingehend unterscheidet, daß für den Zusatzsensor 19 ein kapazitives Meßprinzip verwendet wird, das durch einen in 4b angedeuteten Kondensator mit den Elektroden 21 und 23 realisiert ist, die zahnartig ineinandergreifen. Durch die Kapazitätsänderung aufgrund einer Auslenkung des Basissensors 15 kann der Wirkdruck sowie die Vortex-Ablösefrequenz ermittelt werden.
  • Das in 5 dargestellte Sensorsystem unterscheidet sich von dem Sensorsystem gemäß den 3, 4a und 4b darin, daß für den Zusatzsensor 19 ein Plattenkondensator eingesetzt wird.
  • Das erfindungsgemäße Sensorsystem nach 6 unterscheidet sich von denen nach 3, 4a, 4b und 5 dadurch, daß für den Zusatzsensor 19 ein induktives Meßprinzip herangezogen wird, das beispielsweise durch eine an der stromaufwärtigen Seite des piezoelektrischen Sensors 15 angebrachten, inneren Flachspule 29 realisiert ist, zu der in einem Abstand eine exter ne Flachspule 31 angeordnet ist, wobei der Abstand zwischen den Spulen proportional zu dem zu erfassenden Wirkdruck der Durchflußströmung sowie der Vortexablösefrequenz ist.
  • Mit Hilfe des Zusatzsensors 19 werden jeweils Meßsignale für den Wirkdruck sowie für die Vortexablösefrequenz ermittelt, wodurch eine doppelte diversitäre Redundanz für die Durchflußmessung geschaffen ist. Mit dem Vergleich der piezoelektrischen Meßgrößen können Fehler detektiert werden, die meßverfahrenspezifisch sind, also können Störungen ermittelt werden, für welche die Meßverfahren, Wirkdruckmessung und Vortexablösefrequenzmessung, unterschiedlich anfällig sind. Durch die Verwendung des zusätzlichen Meßprinzips, das ebenfalls Wirkdruck und Vortexablösefrequenz ermittelt, kann ohne weiteres detektiert werden, ob ein meßprinzipspezifischer Fehler aufgetreten ist.
  • Mit der Erfindung ist es also möglich, eine Selbstdiagnose für Sensoren bereitzustellen.
  • Des weiteren kann das erfindungsgemäße Sensorsystem eine Rekalibrierung der einzelnen Sensorteile selbst durchführen, ohne dazu ausgebaut werden zu müssen oder den Durchflußprozeß anhalten zu müssen.
  • Ein beispielhaftes erfindungsgemäßes Rekalibrierungsverfahren ist in 7 angedeutet. Eine Elektronik 41 ist dazu ausgelegt, den piezoelektrischen Sensor 5, 15 mit einer definierten elektrischen Spannung U zum Simulieren des Wirkdrucks und einer bestimmten Spannungsfrequenz f zum Simulieren der Vortexablösung zu beaufschlagen. Die damit induzierte Auslenkung Δx wird von dem Zusatzsensor 19 erfaßt. Der Zusatzsensor 19 gibt die gemessene Kalibrierungsgröße, beispielsweise Widerstandsänderung ΔR, Kapazitätsänderung ΔC, Induktivitätsänderung ΔL, an die Elektronik 41 weiter, die in einer Anzeige 43 angezeigt werden kann. Über die Anzeige 43 kann eine Bedienperson auch die angelegte Spannung U und die Frequenz f kontrollieren.
  • Sollten Änderungen wegen der von einer nicht dargestellten Auswerteeinheit errechneten Kalibrierungsergebnisse notwendig sein, wird der piezoelektrische Basissensor 5, 15 mit einer Spannung beaufschlagt, um ihn in die vordefinierte, kalibrierte Ruhelage zu verbringen, die mittels des Zusatzsensors 15 überwacht wird.
  • Sollten sich Fehler herausstellen, die irreparabel sind und einer der vier Messungen, nämlich Wirkdruckmessung durch den piezoelektrischen Sensor 5, 15, Vortexablösefrequenzmessung durch den piezoelektrischen Sensor 5, 15, Wirkdruckmessung durch Zusatzsensor 19, Vortexablösefrequenzmessung durch Zusatzsensor 19, zugeordnet werden können, so kann eine nicht dargestellte Auswerteeinheit das Abschalten desjenigen Sensorteils bewirken, dem der irreparable Fehler zugeordnet ist, und einen Austausch des Sensorteils bei der nächsten Hauptwartung anzeigen.
  • Die in der vorstehenden Beschreibung, den Figuren und den Ansprüchen offenbarten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Realisierung der Erfindung in den verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.
  • 1
    Leitung
    3
    Strömung
    5, 15
    Basissensor
    7
    Wirbel
    19
    Zusatzsensor, Plattenkondensator
    21, 23
    Elektroden
    29
    innere Flachspule
    31
    externe Flachspule
    41
    Elektronik
    43
    Anzeige
    ΔR
    Widerstandsänderung
    ΔC
    Kapazitätsänderung
    ΔL
    Induktivitätsänderung
    Δx
    Auslenkung
    f
    Frequenz
    U
    Spannung

Claims (26)

  1. Verfahren zum Überwachen einer Durchflußmessung für Fluide, bei dem eine von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige, erste Meßgröße und eine von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängige, zur ersten Meßgröße unterschiedliche, zweite Meßgröße simultan erfaßt und/oder ermittelt werden, wobei zu den beiden Meßgrößen proportionale Fluiddurchflußwerte ermittelbar sind, die miteinander verglichen werden, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Meßgröße mit Hilfe eines gleichen – entweder piezoelektrischen, kapazitiven, induktiven oder resistiven – physikalischen Grundmeßprinzips erfaßt und/oder ermittelt werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem anhand der erfaßten Istwerte der ersten und zweiten Meßgröße sowie der Vergleichswerte zwischen der ersten und zweiten Meßgröße ein fehlerhaftes oder fehlerfreies Erfassen und/oder Ermitteln der ersten und/oder zweiten Meßgröße detektiert wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die erste und zweite Meßgröße piezoelektrisch erfaßt und/oder ermittelt werden.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die erste und zweite Meßgröße außer mit dem Grundmeßprinzip noch mittels eines weiteren, von dem Grundmeßprinzip unterschiedlichen Zusatzmeßprinzips simultan erfaßt und/oder ermittelt werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem die erste und zweite Meßgröße gemäß dem Zusatzmeßprinzip kapazitiv, induktiv, resistiv erfaßt und/oder ermittelt werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, bei dem die erste und zweite Meßgröße gemäß dem Zusatzmeßprinzip jeweils mit der ersten und zweiten Meßgröße gemäß dem Grundmeßprinzip verglichen werden.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die ersten und zweiten Meßgrößen gemäß der jeweiligen Meßprinzipien mit Sollmeßkenndaten verglichen werden.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, bei dem anhand des Vergleichs der Meßgrößen gemäß der jeweiligen Meßprinzipien miteinander einerseits und mit Sollmeßkenndaten andererseits ein fehlerhaftes oder fehlerfreies Erfassen und Ermitteln der ersten und/oder zweiten Meßgröße detektiert wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem eine mit einer Störung identifizierte Einrichtung zum Erfassen und/oder Ermitteln der ersten und zweiten Meßgröße anhand der Ergebnisse des Vergleichs der Meßgrößen gemäß der jeweiligen Meßprinzipien miteinander und mit den Sollmeßkenndaten rekalibriert wird.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei beim Detektieren eines irreparablen Fehlers die fehlerhafte Meßgrößenerfassung und/oder -ermittlung außer Betrieb gesetzt wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem die erste Meßgröße der Wirkdruck der Fluiddurchfluß-Strömung und die zweite Meßgröße die Wirbelablösefrequenz an einem in der Durchflußströmung angeordneten Störkörper sind.
  12. Sensorsystem für eine Fluiddurchflußmessung umfassend eine Grundsensorik zum simultanen Erfassen und/oder Ermitteln einer von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängigen, ersten Meßgröße und einer von dem Fluiddurchfluß zumindest indirekt abhängigen, zur ersten Meßgröße unterschiedlichen, zweiten Meßgröße, wobei zu den beiden Meßgrößen proportionale Fluiddurchflußwerte ermittelbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundsensorik für die Erfassung und/oder Ermittlung sowohl der ersten als auch der zweiten Meßgröße gemäß einem gleichen – entweder piezoelektrischen, kapazitiven, induktiven oder resisitven – physikalischen Grundmeßprinzip arbeitet, wobei eine mit der Grundsensorik verbundene Einrichtung zum Vergleichen der Fluiddurchflußwerte vorgesehen ist.
  13. Sensorsystem nach Anspruch 12, bei dem die Grundsensorik an einem in der Durchflußströmung anzuordnenden Störkörper zum Erzeugen von sensierbaren Wirbeln im Leebereich des Störkörpers positioniert ist und den Wirkdruck der Durchflußströmung sowie eine Wirbelablösefrequenz am Störkörper erfaßt.
  14. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 12 oder 13, bei dem die Grundsensorik durch einen piezoelektrischen Basissensor (5, 15) gebildet ist.
  15. Sensorsystem nach Anspruch 14, bei dem der piezoelektrische Basissensor (5, 15) aus einen Stapel aus piezoelektrischen Schichten besteht, der insbesondere einen monomorphen, bimorphen oder multimorphen Aufbau aufweist.
  16. Sensorsystem nach Anspruch 13 und nach einem der Ansprüche 13 bis 15, bei dem piezoelektrisches Material zumindest einen Teil, vorzugsweise die Ganzheit des Störkörpers zum Erzeugen von sensierbaren Wirbeln im Leebereich des Störkörpers bildet.
  17. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 12 bis 16, mit einer Zusatzsensorik zum simultanen Erfassen und/oder Ermitteln der ersten Meßgröße und der zur ersten Meßgröße unterschiedlichen, zweiten Meßgröße, wobei die Zusatzsensorik auf der Basis eines zum Grundmeßprinzip unterschiedlichen physikalischen, für die erste und zweite Meßgröße gleichen Zusatzmeßprinzips arbeitet.
  18. Sensorsystem nach Anspruch 13 und nach Anspruch 17, bei dem die Zusatzsensorik an dem Störkörper positioniert ist.
  19. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 17 bis 18, bei dem die Zusatzsensorik durch einen kapazitiven, induktiven oder resistiven Sensor gebildet ist.
  20. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 17 bis 19, bei dem die Zusatzsensorik (19) einen Dehnmeßstreifen aufweist.
  21. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 17 bis 20, bei dem eine mit der Grundsensorik und der Zusatzsensorik verbundene Zusatzvergleichseinrichtung vorgesehen ist, welche die Meßgrößen der jeweiligen Sensoriken miteinander und insbesondere mit gespeicherten Sollmeßkenndaten der Grundsensorik und der Zusatzsensorik vergleicht.
  22. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 12 bis 21, bei dem eine Auswerteeinheit zum Errechnen von Fehler- oder Störgrößen mit der Vergleichseinrichtung und/oder der Zusatzvergleichseinrichtung verbunden ist.
  23. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 12 bis 22, mit einem Stellglied, wie einem piezoelektrischen Aktor, zum Ändern der Position der Grundsensorik und/oder der gegebenenfalls anspruchsgemäß vorhandenen Zusatzsensorik.
  24. Sensorsystem nach Anspruch 23, bei dem das Stellglied und die Grundsensorik und ein Störkörper zum Erzeugen von sensierbaren Wirbeln im Leebereich des Störkörpers gemäß einer Funktionsunion in einem einzigen Bauteil realisiert sind, das piezoelektrisches Material aufweist.
  25. Sensorsystem nach Anspruch 22 und nach einem der Ansprüche 23 oder 24, bei dem die Auswerteeinheit eine Einrichtung zum Rekalibrieren der Grundsensorik und/oder der Zusatzsensorik aufweist, welche Rekalibrierungseinrichtung mit dem Stellglied verbunden ist.
  26. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 12 bis 25, bei dem die erste Meßgröße der Wirkdruck der Fluiddurchfluß-Strömung und die zweite Meßgröße die Wirbelablösefrequenz an einem in der Durchflußströmung angeordneten Störkörper sind.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL2172654T5 (pl) * 2008-10-01 2014-04-30 Grundfos Management As Agregat z pompą wirową
CN102636238B (zh) * 2012-05-08 2013-12-11 新特能源股份有限公司 一种涡街流量计检测装置
DE102015114197A1 (de) * 2015-08-26 2017-03-02 Bürkert Werke GmbH Strömungsmesser
DE102018132311A1 (de) * 2018-12-14 2020-06-18 Endress + Hauser Flowtec Ag Meßsystem zum Messen eines Strömungsparameters eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids
DE102019107370A1 (de) 2019-03-22 2020-09-24 Vaillant Gmbh Verfahren und Anordnung zur Messung eines Strömungsparameters in oder an einer von einem Fluid durchströmbaren Vorrichtung
US12253394B2 (en) * 2019-11-20 2025-03-18 Board Of Regents, The University Of Texas System Velocity measurements using a piezoelectric sensor
DE102020205846A1 (de) 2020-05-08 2021-11-11 Vega Grieshaber Kg Füll- und Grenzstandsensor mit kalorimetrischer Sensorik
DE102022114875A1 (de) * 2022-06-13 2023-12-14 Endress+Hauser SE+Co. KG Messsystem

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19963638A1 (de) * 1999-12-29 2001-07-12 Bosch Gmbh Robert Überwachung der Funktion einer Zylinderabschaltung bei mehrzylindrigen Verbrennungsmotoren
US6484590B1 (en) * 1997-03-27 2002-11-26 Rosemount Inc. Method for measuring fluid flow
WO2003102511A2 (en) * 2002-05-31 2003-12-11 University Of Sussex Monitoring of two-phase fluid flow using a vortex flowmeter
WO2005001586A2 (en) * 2003-06-24 2005-01-06 Cidra Corporation System and method for operating a flow process

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4382377A (en) * 1980-05-16 1983-05-10 Siemens Aktiengesellschaft Pressure sensor for an internal combustion engine
DE3032578C2 (de) * 1980-08-29 1983-11-03 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Verfahren und Vorrichtung zur dynamischen und dichteunabhängigen Bestimmung des Massenstroms
JPS5827015A (ja) * 1981-08-11 1983-02-17 Mitsubishi Electric Corp 自動車用空気流量計測装置
GB2135446B (en) * 1983-02-11 1986-05-08 Itt Ind Ltd Fluid flow measurement
GB2177204B (en) * 1985-06-26 1988-09-14 British Gas Plc Measurement of fluid flows
US4807481A (en) * 1986-10-20 1989-02-28 Lew Hyok S Three-in-one vortex shedding flowmeter
GB8720356D0 (en) * 1987-08-28 1987-10-07 Thorn Emi Flow Measurement Ltd Fluid meter
US5209125A (en) * 1989-12-22 1993-05-11 The Foxboro Company Piezoelectric pressure sensor
GB2246630B (en) * 1990-06-14 1994-11-09 Tokyo Gas Co Ltd Fluid flowmeter
US6212975B1 (en) * 1998-12-28 2001-04-10 The Foxboro Company Adaptive filter with sweep filter analyzer for a vortex flowmeter
US6957586B2 (en) * 2003-08-15 2005-10-25 Saudi Arabian Oil Company System to measure density, specific gravity, and flow rate of fluids, meter, and related methods

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6484590B1 (en) * 1997-03-27 2002-11-26 Rosemount Inc. Method for measuring fluid flow
DE19963638A1 (de) * 1999-12-29 2001-07-12 Bosch Gmbh Robert Überwachung der Funktion einer Zylinderabschaltung bei mehrzylindrigen Verbrennungsmotoren
WO2003102511A2 (en) * 2002-05-31 2003-12-11 University Of Sussex Monitoring of two-phase fluid flow using a vortex flowmeter
WO2005001586A2 (en) * 2003-06-24 2005-01-06 Cidra Corporation System and method for operating a flow process

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