DE102004053884A1 - Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation - Google Patents
Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004053884A1 DE102004053884A1 DE200410053884 DE102004053884A DE102004053884A1 DE 102004053884 A1 DE102004053884 A1 DE 102004053884A1 DE 200410053884 DE200410053884 DE 200410053884 DE 102004053884 A DE102004053884 A DE 102004053884A DE 102004053884 A1 DE102004053884 A1 DE 102004053884A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- temperature
- pressure
- signal
- sensor
- measuring cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 25
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
- G01D3/0365—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Ein Messwertaufnehmer umfasst einen Sensor zum Erfassen einer Messgröße und zum Ausgeben eines von der Messgröße abhängigen Primärsignals; einen ersten Temperatursensor, welcher ein erstes Temperatursignal ausgibt; einen zweiten Temperatursensor, welcher ein zweites Temperatursignal ausgibt, wobei der zweite Temperatursensor vom ersten Temperatursensor beabstandet ist; eine Korrektureinrichtung, welche ein die Messgröße repräsentierendes Zwischensignal generiert, welches von dem Primärsignal und dem ersten Temperatursignal abhängt; eine Temperaturanalyseeinrichtung, welche eine Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal herstellt, wobei abhängig von der Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal eine Korrektur des Zwischensignals mittels einer zweiten Korrektureinrichtung erfolgt.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation. Messwertaufnehmer sind Geräte zum Erfassen einer Prozessgröße wie Druck, Massen- oder Volumendurchfluss eines Mediums, Füllstand, eines pH-Werts, einer Stoffkonzentration, usw. Diese Messwertaufnehmer können eine Temperaturabhängigkeit aufweisen, die das Primärsignal eines messgrößenspezifischen Sensors verfälscht und insoweit zu kompensieren ist.
- Die Erfindung wird exemplarisch an Druckaufnehmern erläutert, sie bezieht sich aber gleichermaßen auf Messwertaufnehmer für andere Prozessgrößen.
- Druckaufnehmer umfassen gewöhnlich eine Druckmesszelle die mit einem zu messenden Druck beaufschlagbar ist. Die Druckmesszelle wandelt den Druck in ein elektrisches oder optisches Primärsignal, welches mittels geeigneter Schaltungen analog und/oder digital aufbereitet wird. Es ist bekannt, dass die Temperatur eines Mediums dessen Druck gemessen wird bzw. allgemeiner die Umgebungstemperatur der Druckmesszelle einen Einfluss auf das Primärsignal der Druckmesszelle hat. Insoweit ist es üblich, einen Temperaturmesswert bei der Aufbereitung des Primärsignals zu berücksichtigen. Dies kann grundsätzlich an beliebigen Stellen des Signalpfads erfolgen. D.h. es kann beispielsweise das Primärsignal der Druckmesszelle um den Temperatureffekt korrigiert werden, bevor es weiter verarbeitet wird, oder es kann ein bereits aufbereitetes Signal in Abhängigkeit eines temperaturabhängigen Signals weiter verarbeitet werden.
- In Anwendungsfällen bei denen ein Druckaufnehmer ausgeprägten Temperaturgradienten ausgesetzt ist, kann eine Korrektur mit einem einzigen Temperaturmesswert jedoch zu unbefriedigenden Ergebnissen hinsichtlich des ermittelten Druckmesswerts führen. Dies wird beispielsweise in der Patentschrift
DE 39 33 512 C2 (Banholzer et al.) berücksichtigt, in der vorgeschlagen wird, neben der Temperatur der Druckmesszelle noch die Temperatur des Temperatur einer Trennmembran zu erfassen, die dem Medienruck ausgesetzt und von der Druckmesszelle beabstandet ist. - Die gängigen Methoden zur Kompensation von Temperaturfehlern bei inhomogenen Temperaturverteilungen sind jedoch sehr aufwendig, was einerseits den Speicherplatzbedarf und andererseits die Rechenzeit betrifft, da beide Temperaturmesswerte bei der Ermittlung des Druckmesswerts berücksichtigt werden müssen.
- Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Messwertaufnehmer, insbesondere Druckaufnehmer, bereitzustellen, der die beschriebenen Nachteile des Stands der Technik überwindet. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Messwertaufnehmer gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 1.
- Der erfindungsgemäße Messwertaufnehmer umfasst
einen Sensor zum Erfassen einer Messgröße und zum Ausgeben eines von der Messgröße abhängigen Primärsignals;
einen ersten Temperatursensor, welcher ein erstes Temperatursignal ausgibt;
einen zweiten Temperatursensor welcher ein zweites Temperatursignal ausgibt, wobei der zweite Temperatursensor vom ersten Temperatursensor beabstandet ist;
eine Korrektureinrichtung, welche ein die Messgröße repräsentierendes Zwischensignal generiert, welches von dem Primärsignal und dem ersten Temperatursignal abhängt;
eine Temperaturanalyseeinrichtung, welche eine Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal herstellt, wobei abhängig von der Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal eine Korrektur des Zwischensignals mittels einer zweiten Korrektureinrichtung erfolgt. - Der Sensor kann beispielsweise eine Druckmesszelle, ein Durchflusssensor, ein Füllstandssensor o.ä. sein. Die Messgröße kann dementsprechend beispielsweise ein Druck, eine Durchflussrate, ein Füllstand o.ä. sein.
- Die nachfolgenden Ausführungen stellen wieder auf Druckaufnehmer ab, sie gelten aber sinngemäß für andere Messwertaufnehmer.
- Die Korrektureinrichtungen und die Temperaturanalyseeinrichtung können jede beliebige geeignete Form von analogen und oder digitalen elektronischen oder elektro-optischen Schaltungen sowie Software-Elemente aufweisen, wobei letztere in einem Mikroprozessor oder Signalprozessor ausgeführt werden können. Gleichermaßen sind Kombinationen der genannten Elemente zur Realisierung der Erfindung geeignet.
- Der erfindungsgemäße Druckaufnehmer kann weiterhin Mittel zur Aufbereitung, beispielsweise Linearisierung, des ersten und zweiten Temperatursignals aufweisen. Mit der Bezeichnung Temperatursignal kann dementsprechend im folgenden ein aufbereitetes bzw. linearisiertes Temperatursignal oder ein Rohsignal bezeichnen. Die Mittel zur Aufbereitung der Temperatursignale können beispielsweise in einer Sensorelektronik oder in die Temperaturanalyseeinrichtung integriert sein.
- Die Temperaturanalyseeinrichtung kann in einer Weiterbildung der Erfindung beispielsweise eine Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal oder davon abhängigen Signalen bilden und diese Differenz zur weiteren Korrektur des Druckmesswertes der zweiten Korrektureinrichtung zuführen.
- Bei einer Differenz von Null zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal kann die Korrektureinrichtung das Zwischensignal beispielsweise lediglich mit einer linearen temperaturunabhängigen Skalierungsfunktion skalieren. Die Skalierungsfunktion kann beispielsweise auch eine auch eine Konstante sein, die insbesondere den Wert eins annimmt.
- In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann die Temperaturanalyseeinrichtung die Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal mit mindestens einer Toleranzkenngröße, z.B. mindestens einem Toleranzwert, oder einem Toleranzband vergleichen. Sobald die Differenz den Toleranzwert über- bzw. unterschreitet oder außerhalb des Toleranzbandes liegt, wird die zweite Korrektur ausgelöst, in welche beispielsweise die Differenz oder eine Funktion der Differenz als Eingangsparameter eingehen kann.
- Der Toleranzwert und das Toleranzband können fest vorgegeben oder eine Funktion des ersten Temperatursignals sein. In diesem Fall kann die Anpassung der Toleranzkenngrößen an den aktuellen Wert des ersten Temperatursignals mit einer niedrigeren Rate erfolgen als beispielsweise die Ermittlung eines Druckwertes.
- Gleichermaßen kann die Temperaturanalyseeinrichtung die Beziehung zwischen dem ersten und zweiten Temperatursignal mit einer niedrigeren Rate ermitteln, als die Bestimmung eines Druckwerts. Dies ist gerechtfertigt, solange die Zeitskala der Temperaturänderungen wesentlich länger ist als die Zeitskala von Änderungen des zu messenden Drucks.
- Die Erfindung realisiert damit, dass der Einfluss eines Temperaturgradienten nur dann in die Ermittlung eines Druckmesswertes eingeht, wenn dieser Gradient beachtlich ist.
- In einer Ausgestaltung umfasst der Druckaufnehmer weiterhin eine Prozessankopplung, die räumlich beabstandet zur Druckmesszelle angeordnet ist. Der erste Temperatursensor ist so positioniert, dass er eine Temperatur der Druckmesszelle erfasst. Der erste Temperatursensor kann entweder in die Druckmesszelle integriert oder in der Nähe zur Druckmesszelle positioniert sein. Der zweite Temperatursensor ist nahe der Prozessankopplung positioniert, um eine Temperatur der Prozessankopplung zu erfassen.
- In dieser Ausgestaltung der Erfindung umfasst der Druckaufnehmer beispielsweise eine piezoresistive Druckmesszelle mit einer Brückenschaltung, wobei der erste Temperatursensor gemeinsam mit der Druckmesszelle auf einem Halbleiterbauelement, beispielsweise einem Si-Chip, integriert ist. Das Primärsignal der Druckmesszelle ergibt sich aus dem Brückendiagonalsignal und das Temperatursignal des ersten Temperatursensors aus der Brückenimpedanz.
- Die Prozessankopplung kann beispielsweise einen hydraulischen Druckmittler mit einer flexiblen Trennmembran und einem Druckmittlerkörper umfassen, wobei der Druckmittlerkörper eine Druckkammer aufweist, welche von der Trenmmembran druckdicht verschlossen wird. Auf die Trennmembran wirkt im bestimmungsgemäßen Einsatz des Druckaufnehmers ein Prozessmedium ein, dessen Druck zu messen ist. Der Druck wird durch die Trennmembran bis auf einen Übertragungsfehler aufgrund der der nicht vernachlässigbaren Steifigkeit der Trennmembran in die Druckkammer übertragen. Dieser Übertragungsfehler wird nachfolgend als Trennmembranfehler bezeichnet. Der Trennmembranfehler weist eine ausgeprägte Temperaturabhängigkeit auf, da das Volumen der Übertragungsflüssigkeit in dem hydraulischen Pfad temperaturabhängig ist und sämtliche Volumenschwankungen unter der Trennmembran aufgenommen werden müssen. Sofern die Trennmembran vertikal von der Druckmesszelle beabstandet sind, können gleichermaßen temperaturabhängige Dichteschwankungen der Übertragungsflüssigkeit beachtlich sein, da diese proportional in den hydrostatischen Druck des hydraulischen Pfades eingehen. Der zweite Temperatursensor, kann beispielsweise nahe der Druckkammer oder in der Druckkammer positioniert sein. Dies ist insoweit vorteilhaft, als die Druckkammer nahe an dem Prozessmedium positioniert ist, und das Prozessmedium eine häufige Ursache von Temperaturschwankungen ist. Zudem ist ein relativ großer Anteil der Übertragungsflüssigkeit in der Druckkammer angeordnet. So dass die Temperatur der Übertragungsflüssigkeit in der Druckkammer für den Beitrag der Prozessankopplung zum Temperaturfehler bestimmend ist.
- Sofern der Beitrag der Prozessankopplung zum Temperaturfehler größer ist als der Beitrag der Temperaturschwankungen der Druckmesszelle, kann es vorteilhaft sein, mit dem ersten Temperatursensor eine Temperatur der Prozessankopplung zu erfassen und ihn entsprechend zu positionieren. Mit dem zweiten Temperatursensor ist dann entsprechend eine Temperatur der Druckmesszelle zu ermitteln.
- In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung umfasst der Druckaufnehmer eine Druckmesszelle, die im Betrieb unmittelbar einem Prozessmedium ausgesetzt werden kann. In diesem Fall dient also die Druckmesszelle selbst als Prozessankopplung. Zumindest ein Teil der Schaltungen zur Realisierung der ersten und zweiten Korrektureinrichtungen und der Temperaturanalyseeinrichtung ist beabstandet von der Druckmesszelle angeordnet. Der erste Temperatursensor ist bei dieser Ausgestaltung der Erfindung nahe der Druckmesszelle angeordnet oder in diese integriert. Der zweite Temperatursensor erfasst eine Temperatur der beabstandet zur Druckmesszelle angeordneten Schaltungen. Zu diesem Zweck ist er nahe den Schaltungen angeordnet oder in diese integriert.
- Der erfindungsgemäße Druckaufnehmer kann weiterhin eine Ausgabeeinheit umfassen, welche den korrigierten Druckmesswert ausgibt oder anzeigt.
- Bei der Verarbeitung des Primärsignals des Drucksensors durch die erste Korrektureinrichtung kann neben der Temperaturkompensation anhand des ersten Temperatursignals zugleich eine Linearisierung erfolgen, so dass das Zwischensignal bis auf Einflüsse einer Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal eine lineare Funktion des Druckes ist.
- Die Erfindung wird nun anhand eines Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:
-
1 : Eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers; und -
2 : Ein Blockdiagramm der Schaltungskomponenten eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers. - Der Druckaufnehmer in
1 umfasst ein Sensormodul1 , in dem eine piezoresistive Druckmesszelle2 in einer Messzellenkammer angeordnet ist. Die Signale der Druckmesszelle enthalten einerseits Druckinformationen (Brückendiagonalsignal) und andererseits Temperaturinformationen (Brückenimpedanz). Die Signale der Druckmesszelle werden zunächst einer Sensorelektronik25 zugeführt, in welcher eine erste Aufbereitung der Sensorsignale erfolgt, beispielsweise eine Digitalisierung. - Der Druckaufnehmer umfasst weiterhin ein Prozessankopplungsmodul, welches in diesem Fall als einen Druckmittler mit einem Druckmittlerkörper
6 umfasst. An einer Stirnfläche des Druckmittlerkörpers6 ist eine Trennmembran7 befestigt, wobei zwischen Trennmembran7 und Druckmittlerkörper eine Druckkammer8 ausgebildet ist. Von der Druckkammer8 erstreckt sich ein hydraulischer Pfad zur Messzellenkammer. Der hydraulische Pfad umfasst eine Kapillarleitung9 , die sich zwischen dem Sensormodul und dem Druckmittlerkörper6 erstreckt. Das Prozessankopplungsmodul umfasst weiterhin einen zweiten Temperatursensor10 , der in einem Sackloch in dem Druckmittlerkörper angeordnet ist, so dass er eine Temperatur des Druckmittlerkörpers in der Nähe der Druckkammer8 erfasst. Das Ausgangssignal des zweiten Temperatursensors10 wird der Sensorelektronik25 über eine elektrische Leitung als ein zweites Temperatursignal zugeführt. - Das zweite Temperatursignal wird von der Sensorelektronik ebenfalls aufbereitet, beispielsweise digitalisiert.
- Die aufbereiteten Signale werden anschließend beispielsweise über eine digitale Schnittstelle einer Hauptelektronik
3 zugeführt. Die Hauptelektronik umfasst die erste und zweite Korrektureinrichtung, die Temperaturanalyseeinrichtung sowie eine Ausgabeeinheit. - Der korrigierte Druckmesswert wird über die Ausgabeeinheit, beispielsweise ein 4...20 mA Stromregler ausgegeben.
- Der Ablauf der Korrektur des Druckmesswertes wird nun anhand von
2 erläutert. Das Primärsignal P des Drucksensors21 und das erste Temperatursignal T1 des ersten Temperatursensors22 werden (ggf. nach einer Aufbereitung durch die Sensorelektronik25 ) der ersten Korrektureinrichtung31 zugeführt. Die erste Korrektureinrichtung31 führt eine Linearisierung und eine Temperaturkompensation des Primärsignals anhand eines Polynommodells durch. Das Resultat wird als Zwischensignal einer zweiten Korrektureinrichtung33 zugeführt. Die zweite Temperatureinrichtung empfängt außerdem ein Signal von einer Temperaturanalyseeinrichtung32 , die im einfachsten Fall eine Differenz zwischen dem ersten Temperatursignal T1 und einem zweiten Temperatursignal T2 eines zweiten Temperatursensors T2 bildet und dieses Differenzsignal ausgibt. Die zweite Korrektureinrichtung33 führt eine weitere Korrektur des Zwischensignals anhand eines Gradientenmodells durch, welches den Einfluss von Temperaturgradienten auf den Messwert berücksichtigt. - Der solchermaßen korrigierte Wert wird über eine Ausgabeeinheit
34 ausgegeben.
Claims (12)
- Messwertaufnehmer umfassend: Einen Sensor zum Erfassen einer Messgröße und zum Ausgeben eines von der Messgröße abhängigen Primärsignals; einen ersten Temperatursensor, welcher ein erstes Temperatursignal ausgibt; einen zweiten Temperatursensor welcher ein zweites Temperatursignal ausgibt, wobei der zweite Temperatursensor vom ersten Temperatursensor beabstandet ist; eine Korrektureinrichtung, welche ein die Messgröße repräsentierendes Zwischensignal generiert, welches von dem Primärsignal und dem ersten Temperatursignal abhängt; eine Temperaturanalyseeinrichtung, welche eine Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal herstellt, wobei abhängig von der Beziehung zwischen dem ersten Temperatursignal und dem zweiten Temperatursignal eine Korrektur des Zwischensignals mittels einer zweiten Korrektureinrichtung erfolgt.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 1, wobei der Messwertaufnehmer ein Druckaufnehmer ist, der Sensor eine Druckmesszelle umfasst, und die Messgröße ein Druck ist.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin umfassend: Mittel zur Aufbereitung, beispielsweise Linearisierung, des ersten und zweiten Temperatursignals aufweisen.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Temperaturanalyseeinrichtung eine Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal oder davon abhängigen Signalen bildet und diese Differenz zur weiteren Korrektur der Messgröße, bzw. des Druckmesswertes der zweiten Korrektureinrichtung zuführt.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 4, wobei bei einer Differenz von Null zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal die Korrektureinrichtung das Zwischensignal lediglich mit einer linearen temperaturunabhängigen Skalierungsfunktion skaliert, wobei die Skalierungsfunktion eine auch eine Konstante sein kann kann.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 4, wobei die Temperaturanalyseeinrichtung die Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperatursignal mit mindestens einer Toleranzkenngröße, vergleicht.
- Messwertaufnehmer nach Anspruch 6, wobei die Toleranzkenngröße eine Funktion des ersten Temperatursignals ist.
- Druckaufnehmer nach Anspruch 2 oder einem davon abhängigen Anspruch, weiterhin umfassend: eine Prozessankopplung, die räumlich beabstandet zur Druckmesszelle angeordnet ist, wobei der erste Temperatursensor so positioniert ist, dass er eine Temperatur der Druckmesszelle erfasst, und der zweite Temperatursensor so positioniert ist, dass er eine Temperatur der Prozessankopplung erfasst.
- Druckaufnehmer nach Anspruch 8, wobei die Druckmesszelle eine piezoresistive Druckmesszelle ist.
- Druckaufnehmer nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Prozessankopplung einen hydraulischen Druckmittler umfasst.
- Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei die Druckmesszelle im Betrieb unmittelbar einem Prozessmedium ausgesetzt ist, und zumindest ein Teil der Schaltungen zur Realisierung der ersten und zweiten Korrektureinrichtungen und der Temperaturanalyseeinrichtung beabstandet von der Druckmesszelle angeordnet ist.
- Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 2 bis 11, wobei bei der Verarbeitung des Primärsignals des Drucksensors durch die erste Korrektureinrichtung neben der Temperaturkompensation anhand des ersten Temperatursignals zugleich eine Linearisierung erfolgt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200410053884 DE102004053884A1 (de) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200410053884 DE102004053884A1 (de) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102004053884A1 true DE102004053884A1 (de) | 2006-05-24 |
Family
ID=36313538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE200410053884 Ceased DE102004053884A1 (de) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102004053884A1 (de) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006050924A1 (de) * | 2006-10-28 | 2008-04-30 | Techem Energy Services Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung temperaturabhängiger Kennlinien sowie deren Linearisierung |
| JP2011153515A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-08-11 | Liebherr Werk Ehingen Gmbh | 建設機械用の制御システム及びその制御システムの動作方法 |
| WO2011128047A1 (en) * | 2010-04-12 | 2011-10-20 | Aktiebolaget Skf | Load on object derived from natural-mode series modelling |
| WO2016207015A1 (de) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Feldgerät mit kompensationsschaltung zur eliminierung von umgebungseinflüssen |
| CN107976275A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-01 | 上海立格仪表有限公司 | 一种多温度阶梯补偿压力变送器 |
| EP3364167A1 (de) * | 2017-02-15 | 2018-08-22 | Omron Corporation | Sensorvorrichtung |
| WO2022148641A1 (de) * | 2021-01-11 | 2022-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur bestimmung von temperaturbedingten abweichungen für ein sensorsystem und sensorsystem |
| DE102021113265A1 (de) | 2021-05-21 | 2022-11-24 | Vega Grieshaber Kg | Drucksensor mit Kompensationseinheit und Verfahren zur Kompensation |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3212611C2 (de) * | 1982-04-05 | 1991-02-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
| DE3933512C2 (de) * | 1989-10-06 | 1993-02-18 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7864 Maulburg, De | |
| DE19533505A1 (de) * | 1995-09-04 | 1997-03-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Kompensieren des durch eine äußere Einflußgröße verursachten Fehlverhaltes von Meßeinrichtungen |
| DE19703359A1 (de) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Telefunken Microelectron | Verfahren zur Temperaturkompensation bei Meßsystemen |
| DE19741037C1 (de) * | 1997-09-18 | 1999-08-19 | Hartmann & Braun Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Korrektur eines Differenzdrucksignals |
| DE19848362A1 (de) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Bosch Gmbh Robert | Schaltungsanordnung zur Kompensation der Temperaturnichtlinearität der Kennlinien von in einer Brückenschaltung geschalteter piezoresistiver Meßwiderstände |
| DE10044078A1 (de) * | 2000-09-07 | 2002-04-04 | Grieshaber Vega Kg | Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren |
| DE10150691A1 (de) * | 2001-10-17 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßaufnehmer mit Trennmembran und Temperaturkompensation |
| DE10257322A1 (de) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag, Reinach | Prozeß-Meßgerät |
| EP1460401A1 (de) * | 2001-12-28 | 2004-09-22 | Fujikin Incorporated | Drucksensor, drucksteuerung und temperaturdriftkorrekturvorrichtung einer strömungssteuerung des drucktyps |
-
2004
- 2004-11-04 DE DE200410053884 patent/DE102004053884A1/de not_active Ceased
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3212611C2 (de) * | 1982-04-05 | 1991-02-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
| DE3933512C2 (de) * | 1989-10-06 | 1993-02-18 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7864 Maulburg, De | |
| DE19533505A1 (de) * | 1995-09-04 | 1997-03-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Kompensieren des durch eine äußere Einflußgröße verursachten Fehlverhaltes von Meßeinrichtungen |
| DE19703359A1 (de) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Telefunken Microelectron | Verfahren zur Temperaturkompensation bei Meßsystemen |
| DE19741037C1 (de) * | 1997-09-18 | 1999-08-19 | Hartmann & Braun Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Korrektur eines Differenzdrucksignals |
| DE19848362A1 (de) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Bosch Gmbh Robert | Schaltungsanordnung zur Kompensation der Temperaturnichtlinearität der Kennlinien von in einer Brückenschaltung geschalteter piezoresistiver Meßwiderstände |
| DE10044078A1 (de) * | 2000-09-07 | 2002-04-04 | Grieshaber Vega Kg | Druckmesszelle mit Temperatursensoren und Druckmessverfahren |
| DE10150691A1 (de) * | 2001-10-17 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Druckmeßaufnehmer mit Trennmembran und Temperaturkompensation |
| EP1460401A1 (de) * | 2001-12-28 | 2004-09-22 | Fujikin Incorporated | Drucksensor, drucksteuerung und temperaturdriftkorrekturvorrichtung einer strömungssteuerung des drucktyps |
| DE10257322A1 (de) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag, Reinach | Prozeß-Meßgerät |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006050924B4 (de) * | 2006-10-28 | 2017-01-05 | Techem Energy Services Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung temperaturabhängiger Kennlinien sowie deren Linearisierung |
| DE102006050924A1 (de) * | 2006-10-28 | 2008-04-30 | Techem Energy Services Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung temperaturabhängiger Kennlinien sowie deren Linearisierung |
| JP2011153515A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-08-11 | Liebherr Werk Ehingen Gmbh | 建設機械用の制御システム及びその制御システムの動作方法 |
| EP2339415A3 (de) * | 2009-12-23 | 2013-09-18 | Liebherr-Werk Ehingen GmbH | Steuersystem für Baumaschinen und Verfahren zum Betrieb des Steuersystems |
| WO2011128047A1 (en) * | 2010-04-12 | 2011-10-20 | Aktiebolaget Skf | Load on object derived from natural-mode series modelling |
| US10746581B2 (en) | 2015-06-23 | 2020-08-18 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Field device with compensation circuit for eliminating environmental influences |
| CN108200773A (zh) * | 2015-06-23 | 2018-06-22 | 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 | 具有用于消除环境影响的补偿电路的现场装置 |
| WO2016207015A1 (de) * | 2015-06-23 | 2016-12-29 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Feldgerät mit kompensationsschaltung zur eliminierung von umgebungseinflüssen |
| EP3364167A1 (de) * | 2017-02-15 | 2018-08-22 | Omron Corporation | Sensorvorrichtung |
| CN107976275A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-01 | 上海立格仪表有限公司 | 一种多温度阶梯补偿压力变送器 |
| WO2022148641A1 (de) * | 2021-01-11 | 2022-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur bestimmung von temperaturbedingten abweichungen für ein sensorsystem und sensorsystem |
| DE102021113265A1 (de) | 2021-05-21 | 2022-11-24 | Vega Grieshaber Kg | Drucksensor mit Kompensationseinheit und Verfahren zur Kompensation |
| US12025517B2 (en) | 2021-05-21 | 2024-07-02 | Vega Grieshaber Kg | Pressure sensor with a compensation unit and method for compensation |
| DE102021113265B4 (de) * | 2021-05-21 | 2025-10-09 | Vega Grieshaber Kg | Drucksensor mit Kompensationseinheit und Verfahren zur Kompensation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69531258T3 (de) | Druckübertrager mit entfernter trennmembran und korrektur der temperatur sowie höhe ( auch membransteifheit ) | |
| DE69023930T2 (de) | Messwertgeber mit ausgedehnter messfähigkeit und anteilig nutzbare mittel zum überlastungsschutz. | |
| EP3044559B1 (de) | Durchflussmessanordnung mit wirkdruckleitungen und verfahren zum erkennen von verstopften wirkdruckleitungen | |
| DE19882239B3 (de) | Wirbel-Durchflußmesser mit Signalverarbeitung | |
| DE102015109009B4 (de) | Stromsensorchip mit Magnetfeldsensor | |
| DE10131229B4 (de) | Eine physikalische Größe erfassender Sensor | |
| EP3047249B1 (de) | Druckmessumformer | |
| DE102009026425B4 (de) | Luftströmungsmessvorrichtung und Luftströmungskorrekturverfahren | |
| DE102010002157A1 (de) | Druckmessaufnehmer und Differenzdruckmessaufnehmer | |
| DE102014101945A1 (de) | Messumformer mit Überwachungsfunktion | |
| DE29903260U1 (de) | Meßumformer | |
| US8910524B2 (en) | Linked bridge pressure transducer assemblies | |
| DE3111318A1 (de) | Verfahren zur bestimmung des zugwiderstandes und/oder der gasdurchlaessigkeit eines prueflings sowie einrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens | |
| DE102004053884A1 (de) | Messwertaufnehmer mit Temperaturkompensation | |
| DE112018007013T5 (de) | Sensorvorrichtung | |
| EP3084359B1 (de) | Verfahren sowie messanordnung nach dem differenzdruckprinzip mit nullpunktabgleich | |
| EP2554964A2 (de) | Druck- und Temperaturmessvorrichtung | |
| EP3729037B1 (de) | Verfahren zum bereitstellen von kalibrierten druckmessumformern | |
| DE3615876C2 (de) | ||
| DE2739975A1 (de) | Schlauchwaage mit elektrischer niveauanzeige | |
| DE10352308B4 (de) | Kalibriervorrichtung und Kalibrierverfahren für Differenzdrucksensoren | |
| DE102010063166B4 (de) | Bausatz zur Herstellung von Druckmessgeräten und daraus hergestellte Druckmessgeräte | |
| DE102021205378A1 (de) | Sensorstruktur und Drucksensor | |
| AT523414B1 (de) | Verfahren zur Bestimmung der Schüttdichte von Schüttgut in einem mobilen Brecher | |
| DE10163564A1 (de) | Feldgerät |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8131 | Rejection |