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DE102004053404A1 - Vorrichtung zur Messung von Materialeigenschaften einer Probe - Google Patents

Vorrichtung zur Messung von Materialeigenschaften einer Probe Download PDF

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Hans Dr. Jelitto
Gerold Prof. Dr. Schneider
Frank Felten
Klaus-Dieter Schmidt
Torben Scholz
Michael Prof. Dr. Swain
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Technische Universitaet Hamburg Harburg
Tutech Innovation GmbH
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Technische Universitaet Hamburg Harburg
Tutech Innovation GmbH
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Abstract

Die Vorrichtung dient zur Messung von Materialeigenschaften einer Probe und weist mindestens einen Aktor zur Aufbringung einer Kraft auf die Probe, eine Halteeinrichtung für die Probe sowie eine Messeinrichtung zur Erfassung der auf die Probe einwirkenden Kraft auf. Der Aktor ist mit einer Steuerung zur Vorgabe einer hinsichtlich ihrer Amplitude modulierten Kraft verbunden.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Materialeigenschaften einer Probe, die mindestens einen Aktor zur Aufbringung einer Kraft auf die Probe, eine Halteeinrichtung für die Probe sowie eine Messeinrichtung zur Erfassung der auf die Probe einwirkenden Kraft aufweist.
  • In der Materialforschung und in der Werkstoffcharakterisierung dienen spezielle Vorrichtungen dazu, materialspezifische Kennwerte zu bestimmen, um das Kurz- und Langzeitverhalten von Werkstoffen unter Belastung zu prüfen. Speziell in der Bruchanalyse von piezoelektrischen Materialien, wie z. B. bei entsprechenden Keramiken, ist es sinnvoll, die Einflüsse von mechanischen und elektrischen Belastungen auf das Versagensverhalten detailliert zu kennen.
  • Für bestimmte Materialanalysen ist es erforderlich, eine Compliance-Messung an Materialproben zu ermöglichen. Die mechanische Compliance oder auch Nachgiebigkeit ist bei elastischer Verformung einer Materialprobe oder eines Werkstücks definiert als die lineare Verschiebung am Kraftangriffspunkt dividiert durch die Kraftänderung. Mit Hilfe der Compliance kann der E-Modul bestimmt werden. Weiterhin können Materialveränderungen wie Verfestigung und Schädigungsentwicklung untersucht, und spezielle Verhaltensweisen wie die von anisotropen oder ferroelastischen Materialien, studiert werden. Die Compliancebestimmung dient auch zur Makrorissdetektion und kann z. B. die optische Risslängenbestimmung bei kontrolliertem Risswachstum unter Zuhilfenahme entsprechender Umrechnungsformeln ersetzen.
  • Eine wichtige Materialkenngröße ist der mechanische Widerstand, den das Material einem wachsenden Riss entgegenstellt, auch Bruchzähigkeit genannt. Diese Bruchzähigkeit hängt mit der sogenannten Energiefreisetzungsrate zusammen. Je größer die Bruchzähigkeit bei konstantem E-Modul ist, desto mehr Energie wird bei der Erzeugung von neuer Rissfläche verbraucht, das heißt, desto größer ist die Energiefreisetzungsrate.
  • Während der Riss in einer Probe wächst, erhöht sich die mechanische Compliance. Das heißt, die mechanische Energiefreisetzungsrate kann auch bestimmt werden, indem die Änderung der mechanischen Compliance während des Rissfortschritts gemessen wird.
  • Komplexer wird es zum einen, wenn die Probe nicht nur mechanisch, sondern auch elektrisch mit einer elektrischen Spannung belastet wird und zum anderen, wenn die Probe piezoelektrische Eigenschaften hat. Gleichung (1) beschreibt die Energiefreisetzungsrate G, die sich aus drei Summanden zusammensetzt, dem mechanischen, dem elektrischen und dem piezoelektrischen Anteil,
    Figure 00030001
    wobei die Größen π potentiell gespeicherte Energie, A Rissfläche, F Kraft, V Spannung, Cm mechanische Compliance, Ce Kapazität und Cp piezoelektrische Compliance bedeuten. Δ ist die Verschiebung am Kraftangriffspunkt, im Folgenden auch Durchbiegung genannt, und Q die Ladung auf der Probe.
  • Bei elektrischer Belastung enthält die Probe (als Kondensator) auch elektrische Energie, die umgesetzt wird und sich in der Änderung der Kapazität der Probe während des Rissfortschritts bemerkbar macht. Bei piezoelektrischen Eigenschaften des Materials gibt es zusätzlich eine Kopplung von mechanischer und elektrischer Wechselwirkung, was sich in der Änderung der piezoelektrischen Compliance widerspiegelt.
  • Während im Bereich der Kunststoffe die Compliance-Methode bereits existiert, ist die Anwendung auf harte und spröde Materialien, wie Keramiken und Hartmetalle, sowie piezoelektrische oder ferroelektrische Materialien in Kombination mit kontrolliertem Rinwachstum neu. Harte und spröde Ma terialien sind z. B. Strukturkeramiken wie Aluminia, Siliziumnitrid und auch Verbundwerkstoffe. Ferroelektrische Materialien sind z. B. Funktionskeramiken wie PZT oder Bariumtitanat.
  • Mit den bislang bekannt gewordenen Vorrichtungen ist es lediglich sequentiell möglich, zunächst Druck-, Zug- oder Biegeversuche zur Ermittlung z. B. der Bruchzähigkeit durchzuführen und anschließend mit separaten Vorrichtungen oder in einem separaten Messvorgang die mechanische oder piezoelektrische Compliance zu erfassen. Es sind somit oft zwei unterschiedliche Versuchsaufbauten erforderlich und die Durchführung der voneinander unabhängigen Messungen hat einen entsprechenden Zeit- und somit auch Kostenaufwand zur Folge.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, dass eine Compliance-Messung in einem Arbeitsgang gleichzeitig zu einer Erfassung weiterer Materialeigenschaften durchgeführt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Aktor mit einer Steuerung zur Vorgabe einer hinsichtlich ihrer Amplitude modulierten Kraft verbunden ist.
  • Es wird eine Vorrichtung bereitgestellt, mit der bei Druck-, Zug- oder Biegeversuchen simultan die mechanische Compliance und bei piezoelektrischen Materialien gleichzeitig auch die piezoelektrische Compliance gemessen werden können. Dies geschieht durch eine geringe Modulation der mechanischen Last und der Aufnahme von entsprechenden Messgrößen, die mit derselben Frequenz variieren. Das Verfahren wurde speziell für Biegebruchversuche realisiert, in denen während des kontrollierten Rissfortschritts simultan die mechanische und die piezoelektrische Compliance mit einem Verfahren aufgenommen wird, das der Lock-in-Technik ähnlich ist. Allerdings ist das realisierte Verfahren allgemeiner anwendbar. Das Messprinzip eignet sich auch für Compliance-Messungen bei verschiedenen Arten von Druck-, Zug- und Biegeversuchen.
  • Ein wesentlicher Aspekt besteht darin, dass in der hier vorgestellten Apparatur ein elektrisch angesteuerter Piezo-Aktor in der Kraftübertragungsstrecke eingebaut ist, um die Kraft geringfügig zu modulieren. Durch die extrem steife Auslegung der Apparatur sind bei sehr steifen Keramik-Proben simultan zu anderen Tests Compliance-Messungen möglich, wobei die Kraftmodulation die Probe kaum zusätzlich belastet. So werden in dem realisierten apparativen Aufbau simultan zum kontrollierten Risswachstum die mechanische und die piezoelektrische Compliance für jede beliebige Risslänge bestimmt.
  • Mit der erfindungsgemäßen Apparatur können die mechanische und piezoelektrische Compliance als auch die Kapazität simultan als Funktion der Risslänge gemessen werden, wobei der zeitliche Aufwand nicht wesentlich größer als bei der Messung einer Risswiderstandskurve (R-Kurve) ist. Daraus ergeben sich die Anteile zur Energiefreisetzung und damit auch die totale Energiefreisetzungsrate als Funktion der Risslänge.
  • Eine elektrisch einfach steuerbare modulierte Kraftaufbringung kann dadurch erfolgen, dass der Aktor als ein piezoelektrischer Aktor ausgebildet ist.
  • Insbesondere ist daran gedacht, dass der Aktor als ein piezokeramischer Aktor ausgebildet ist.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform ist es auch möglich, dass der Aktor als ein NV-Aktor ausgebildet ist.
  • Weiter ist daran gedacht, dass der Aktor als ein Quarz-Aktor ausgebildet ist.
  • Eine weitere Ausführungsform besteht darin, dass der Aktor als ein PZT-Aktor ausgebildet ist.
  • Alternativ ist es auch realisierbar, dass der Aktor als ein PMN-Aktor ausgebildet ist.
  • Eine Messung von Signalen mit kleiner Amplitude wird dadurch unterstützt, dass die Steuerung bzw. die Einrichtung zur Datenaufnahme mindestens einen Lock-in-Verstärker zur Durchführung sowohl einer Amplituden- als auch einer Phasenmessung mindestens eines Parameters aufweist.
  • Gemäß einer Ausführungsvariante ist es möglich, dass die Messeinrichtung zur direkten Erfassung der auf die Probe einwirkenden Kraft ausgebildet ist.
  • Eine einfache Messtechnische Versuchsdurchführung wird dadurch unterstützt, dass die Messeinrichtung zur Erfassung eines mit der auf die Probe einwirkenden Kraft im Zusammenhang stehenden Parameters ausgebildet ist. Hierdurch erfolgt eine indirekte Erfassung der Kraft.
  • Eine weitere Vereinfachung der Messung kann dadurch erfolgen, dass die Steuerung ein Programm aufweist, das durch Kurvenanpassung die Amplituden- und Phasenlagen erfaßt, wodurch ein Lock-in-Verstärker überflüssig wird.
  • Eine hohe Steifigkeit, erforderlich für kontrolliertes Risswachstum, kann dadurch bereitgestellt werden, dass der Aktor und die Halteeinrichtung im Bereich eines geschlossenen Rahmens angeordnet sind.
  • Zur Unterstützung der Auswertung von Energieberechnungen beim kontrollierten Risswachstum, speziell Energiefreisetzungsraten, oder für Kraftverschiebungskurven, ist es zweckmäßig, dass zur Messung einer Durchbiegung der belasteten Probe mindestens ein Wegaufnehmer im Bereich des Rahmens angeordnet ist.
  • Ein kompakter Vorrichtungsaufbau wird dadurch unterstützt, dass der Aktor innenseitig am Rahmen angebracht ist.
  • Eine kompakte Vorrichtungsgestaltung bei gleichzeitig hoher mechanischer Stabilität und fein dosierbarer Krafteinbringung in die Probe wird dadurch bereitgestellt, dass zur Krafteinleitung in die Probe eine Schraube verwendet ist. Die Schraube kann manuell oder motorisch angetrieben werden. Vorzugsweise wird im Bereich des Antriebs ein untersetzendes mechanisches Getriebe verwendet.
  • Eine genaue Durchführung der Messungen wird mechanisch dadurch unterstützt, dass zur Führung eines oberen oder unteren Teiles eines die Halteeinrichtung ausbildenden Auflagers ein Parallelogrammgestänge verwendet ist.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform ist es auch möglich, dass zur Führung mindestens eines der Auflager eine Linearführung verwendet ist.
  • Die Übertragung der Durchbiegung an den Kraftansatzpunkten auf den Wegaufnehmer kann aus zwei V-förmigen Teilen bestehen, die über eine Achse zur besseren Anpassung an die oberen Auflager drehbeweglich miteinander verbunden sind, wobei der V-Ausschnitt die Beobachtung des Rissfortschritts mittels eines Mikroskops ermöglicht.
  • Die Durchführung von reproduzierbaren Messungen wird dadurch unterstützt, dass zur Beseitigung eines Gewindespiels der Schraube eine bei Kraftübertragung unter Vorspannung stehende und am äußeren Rahmen fixierte Platte verwendet ist.
  • Bei der Untersuchung von piezoelektrischen Proben erweist es sich als vorteilhaft, dass an der Probe montierbare Elektroden mit einem Spannungsversorgungsgerät verbunden sind, eine elektronische verstärkerschaltung mindestens einen elektrischen Parameter der Probe bei Belastung erfaßt, ein Frequenzgenerator die in der Probe anliegende Spannung mit einer vorgebbaren Frequenz moduliert und zur Messung eines von der Kapazität der Probe abhängigen Wechselstromes eine zweite Verstärkerschaltung verwendet ist. Der Gleichspannungsanteil dient zur zusätzlichen elektrischen Belastung der Probe und damit zu Testzwecken, der geringe Wechselstromanteil zur Messung der Kapazitätsänderung der Probe während des Experiments.
  • In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung eines Vertikalschnittes durch die Vorrichtung zur Compliance-Messung und
  • 2 eine Darstellung der wesentlichen elektrischen Funktionselemente.
  • Entsprechend der Darstellung in 1 wird die Kraft zur Beaufschlagung der Probe (10) durch Drehung einer Schraube (1), die durch ein Gewindeloch durch einen geschlossenen Rahmen (2) verläuft und über weitere Bauteile, die im folgenden beschrieben werden, auf die Probe (10) aufgebracht. Da die Kraftsteigerung bei kontrolliertem Risswachstum sehr langsam und kontrolliert erfolgen muß, wird die Drehung über ein untersetzendes mechanisches Getriebe (4) (z. B. ZAE-Schneckengetriebe E040B-1300, ZAE-Antriebssysteme) per Handrad (11) oder per motorischem Antrieb auf die Schraube (1) übertragen. Das Getriebe (4) ist über zwei elastische Metallbleche (5) mit dem Rahmen (2) verbunden, wobei sich diese Halterung starr gegen verdrehen des Getriebes um die senkrechte Achse und elastisch gegen vertikale Verschiebung des Getriebes verhält.
  • In einer elastischen Metallplatte (8), die fest oder herausnehmbar in den Rahmen (2) eingesetzt ist, befindet sich ein Gewindeloch, in dem eine weitere Schraube (3) sitzt, welche die Kraft auf den Kraftsensor (14) (z. B. Quarzkraft-Messzelle Typ 9212, Fa. Kistler) überträgt. Diese elastische Platte steht unter Vorspannung und dient dazu, das Gewindespiel bzw. Setzungseffekte der oberen Schraube (1) zu beseitigen. Ebenfalls dient die untere Schraube dem Abstandsausgleich zwischen oberer Schraube (1) und dem Kraftsensor (14). Beide Schrauben (1, 3) sind mit einem Rändelrad zur leichteren Justage vor der Messung versehen.
  • Zwischen oberer Schraube (1) und unterer Schraube (3) ist ein flacher Piezoaktor (12) eingebaut, der es erlaubt, die auf die Probe (10) wirkende Kraft zu modulieren, indem der Aktor (12) mit einer Wechselspannung angesteuert wird. Der Aktor (12) liegt in einer Metallfassung (6), die auf der Oberseite in einer Einsenkung das Ende der oberen Schraube (1) aufnimmt, um ein seitliches Verschieben zu verhindern. Ober- und Unterseite des Aktors (12) sind jeweils durch eine flache Keramikscheibe (7) (z. B. aus Aluminiumoxid) gegen die Metallteile isoliert, wobei ein Keramikmaterial verwendet wird, da es aufgrund seines hohen Elastizitätsmoduls die Steifigkeit der gesamten Apparatur nicht herabsetzt. Kunststoff wäre nicht geeignet. Damit der Aktor (12) nicht seitlich verrutschen und die Fassung (6) berühren kann, wird der Aktor (12) innerhalb der Fassung seitlich von einem schmalen Rahmen aus Kunststoff (13) umgeben.
  • Der Kraftsensor transferiert die Kraft auf das obere Auflager (15) der 4-Punkt-Biegeeinrichtung, welche die Kraft über zwei Rollen auf die zu vermessende Probe (10) überträgt. Dieses obere Auflager (15) wird durch ein Parallelogrammgestänge (9), welches seitlich im Rahmen (2) senkrecht verschiebbar und arretierbar befestigt ist, leicht beweglich und nahezu spielfrei geführt. Dies hat den Vorteil gegenüber einer mechanischen senkrechten Gleitführung, dass der Kraftnebenschluß praktisch vernachlässigbar ist. Die Probe (10) wiederum ist auf dem unteren Auflager (17) auf zwei Rollen gelagert.
  • Unten im Rahmen (2) ist ein induktiver Wegaufnehmer (18) in der Höhe verschiebbar und arretierbar befestigt, der mit seinem Messfühler von unten leicht gegen eine spezielle Halterung (16) drückt, mit der die Durchbiegung der Probe (10) direkt von den Rollen des oberen Auflagers (15) abgenommen wird. Es ist auch möglich die Halterung (16) wegzulassen und den Wegaufnehmer direkt gegen die Probe drücken zu lassen.
  • Die generelle Anordnung, das heißt die Reihenfolge von Getriebe, Aktor, Kraftsensor, Vierpunkt-Biegeauflager, Probe und induktivem Wegsensor kann auch prinzipiell anders aussehen. So kann z. B. der Aktor (12) samt Halterung (6, 7, 13) auch zwischen der unteren Schraube (3) und dem Kraftsensor plaziert sein. Eine völlig andere Möglichkeit ist die folgende Reihenfolge der Bauteile inklusive Probe von oben nach unten: oberes Auflager (welches direkt oben am Rahmen befestig ist), Probe, unteres Auflager mit integriertem Wegsensor, Piezo-Aktor, Schraube zur Kraftübertragung im unteren Teil des Rahmens und schließlich unter dem Rahmen (2) das mechanische Getriebe. Das untere Auflager wird durch das Parallelogrammgestänge geführt werden. Die Vorspannplatte (8) samt Schraube kann entfallen, wenn die Kraftübertragungsschraube von außerhalb unter Zugspannung gehalten wird.
  • Entsprechend der Veranschaulichung in 2 wird die elektrische Last in Form von Hochspannung hochohmig auf eine Elektrode der Probe übertragen. Parallel dazu wird über einen Kondensator bzw. über eine Reihenschaltung von Kondensatoren zur galvanischen Trennung und über einen 1 MΩ-Widerstand mit einem handelsüblichen Frequenzgenerator eine Wechselspannung (10 kHz) auf die Probe gegeben. Durch die galvanische Trennung ist eine Messung von elektrischen und piezoelektrischen Materialparametern bei gleichzeitig anliegender Hochspannung möglich. Der resultierende Wechselstrom wird zur Bestimmung der Probenkapazität genutzt. Die elektrische Schaltung liefert ein Gleichspannungssignal, das mit einer entsprechenden wandlerkarte in den Messcomputer eingelesen wird.
  • Die Isolation des Hochspannungsanschlusses an der Probe (10) gegen elektrische Überschläge zur Apparatur wurde nicht durch ein Silikonölbad, wie meist üblich, erreicht, sondern durch Ummantelung des Hochspannungsanschlusses an der Probe (10) mit einem Thermoplast-Kunststoff.
  • Die durch den Aktor (12) modulierte Kraft (Frequenz 5 Hz) bewirkt eine weitere Modulation des Stroms, der durch den Piezoeffekt von der Probe (10) ausgeht. Ein Messwiderstand (Rmess, 2) von 100 KΩ wandelt den Strom in eine Wechselspannung um. Diese wird mit einer entsprechenden Schaltung verstärkt und auf den Computer gegeben. Die ebenfalls mit 5 Hz modulierten Signale von der Quarz-KraftMessdose und von dem induktiven Wegaufnehmer werden durch handelsübliche Messverstärker verstärkt und ebenfalls zum Messcomputer geleitet.
  • Das Gleichspannungssignal der Kapazitätsmessung ergibt nach entsprechender Kalibrierung direkt die Kapazität der Probe (10). Das Kraft-, das Strom- und das Wegaufnehmersignal sind jeweils mit 5 Hz moduliert. Durch das Anpassen einer Sinuskurve in die sinusförmig modulierten Messsignale können die jeweiligen Amplituden bestimmt werden. Aus diesen lassen sich die Nachgiebigkeiten berechnen, da sie nach den Gleichungen (2) proportional bzw. umgekehrt proportional zu den Größen δΔ, δF und δQ sind.
  • Statt der hier gegebenen Datenauswertung ist auch die Verwendung von drei Lock-in-Verstärkern möglich, um damit die Größen δΔ, δF und δQ zu bestimmen. Die hier vorgestellte Methode mit der Anpassung von Sinuskurven ist jedoch we sentlich weniger aufwendig, da auf den Einsatz von meist recht teuren Lock-in-Verstärkern verzichtet werden kann.
  • Der konstante Anteil (Gleichspannungsanteil) des Kraftsignals wird gegebenenfalls nach Glättung durch ein Tiefpaßfilter im Computer zur Berechnung der Bruchzähigkeit verwendet unter Verwendung der entsprechenden Gleichung (1).
  • Zusätzlich können noch zwei weitere Informationen gewonnen werden. Zum einen läßt sich durch eine Analyse von Kraft und Verschiebung bzw. Durchbiegung der Probe (10) während der Messung die insgesamt eingesetzte Energie ermitteln. Hierzu wird das Produkt aus Durchbiegung (Weg) und Kraft integriert (summiert). Dadurch wird außer der Energie zur Bruchflächenerzeugung auch diejenige Energie gewonnen, die für die plastische Verformung der Probe (10) verbraucht wird. Zum anderen ergibt sich bei der Anpassung der Sinusfunktion automatisch die Phasenverschiebung zwischen der anregenden Kraft und dem durch den Piezoeffekt der Probe (10) entstehenden Stromsignal. Hieraus läßt sich sowohl der Realteil der gemessenen piezoelektrischen Materialkonstanten, als auch deren Imaginärteil berechnen (falls ein solcher existiert).
  • Es wird eine extrem starre Vierpunkt-Biegeeinrichtung bereitgestellt, um ein kontrolliertes Risswachstum durchzuführen und zusätzlich wird ein Piezoaktor in der Kraftübertragungslinie zur Modulation der Kraft verwendet. Die erläuterte elektronische Schaltung dient zur Verstärkung von Signalen mit äußerst kleinen Amplituden unter Belastung durch Hochspannung. Es können somit sehr kleine Kapazitäten und Ströme gemessen werden. Die Messdatenverstärkung erfolgt mit einem Verfahren äquivalent zur sogenannten Lockin-Technik unter Verwendung eines Computers zur Datenauf nahme. Die erforderliche Datenauswertung wird überwiegend bereits während der Messung durchgeführt. Die Messung der Durchbiegung der Probe (10) erfolgt über die beschriebene Vorrichtung (16) direkt von den Kraftangriffspunkten, d.h. von den oberen beiden Vierpunkt-Auflagern. Die Drehmomentenübertragung auf die Zentralschraube wird über ein mechanisches Getriebe durchgeführt. Die beweglichen Auflager sind durch ein Parallelogrammgestänge geführt.
  • Durch die Vorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel kann ein kontrollierbarer Rissfortschritt in der Probe (10) gewährleistet werden und die Genauigkeit von Wegänderungen bei einer Änderung der Kraft ist besser als fünf nm. Die Genauigkeit der Strommessung an der Probe beträgt etwa 0,02 pA, die Genauigkeit der Messung der Änderung der Probenkapazität etwa 0,02 pF. Es sind gleichzeitig unabhängige Messungen für den Strom und die Kapazität möglich. Die unabhängigen Messungen können bei einer anliegenden Hochspannung von bis zu 14 kV durchgeführt werden.
  • Die erläuterte Vorrichtung ermöglicht die Aufnahme einer großen Anzahl verschiedener Messdaten, welche umfassende Informationen zu den Materialeigenschaften bei Verwendung nur eines einzigen Biegestäbchens liefern. Da bei der hier vorliegenden Apparatur ein einzelnes Biegestäbchen pro Einstellung reicht, können mit jedem weiteren Biegestäbchen Parameter wie z. B. die elektrische Last variiert werden, wodurch man bei gleichem experimentellen Aufwand wesentlich mehr und umfassendere Informationen erhält als bisher.

Claims (19)

  1. Vorrichtung zur Messung von Materialeigenschaften einer Probe, die mindestens einen Aktor zur Aufbringung einer Kraft auf die Probe, eine Halteeinrichtung für die Probe sowie eine Messeinrichtung zur Erfassung der auf die Probe einwirkenden Kraft aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) mit einer Steuerung zur Vorgabe einer hinsichtlich Ihrer Amplitude modulierten Kraft verbunden ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein piezoelektrischer Aktor ausgebildet ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein piezokeramischer Aktor ausgebildet ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein Niedervolt-Aktor ausgebildet ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein Quarz-Aktor ausgebildet ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein PZT-Aktor ausgebildet ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) als ein PMN-Aktor ausgebildet ist.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerung mindestens einen Lock-in-Verstärker zur Durchführung sowohl einer Amplituden- als auch einer Phasenmessung mindestens eines Parameters aufweist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung zur direkten Erfassung der auf die Probe (10) einwirkenden Kraft ausgebildet ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung zur Erfassung eines mit der auf die Probe (10) einwirkenden Kraft im Zusammenhang stehenden Parameters ausgebildet ist.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerung ein Programm aufweist, das durch Kurvenanpassung die Amplituden und Phasenlagen der modulierten Messdaten erfaßt.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) und die Halteeinrichtung im Bereich eines geschlossenen Rahmens (2) angeordnet sind.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung einer Durchbiegung der belasteten Probe (10) mindestens ein Wegaufnehmer (18) im Bereich des Rahmens (2) angeordnet ist.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (12) innenseitig am Rahmen (2) angebracht ist.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zur Krafteinleitung in die Probe (10) eine Schraube (1) verwendet ist.
  16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zur Führung eines oberen oder unteren Teiles eines die Halteeinrichtung ausbildenden Auflagers (15, 17) ein Parallelogrammgestänge (9) verwendet ist.
  17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zur Führung mindestens eines der Auflager (15, 17) eine Linearführung verwendet ist.
  18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass zur Beseitigung eines Gewindespiels der Schraube (1) eine bei einer Kraftübertragung unter Vorspannung stehende am äußeren Rahmen (2) fixierte Platte (8) verwendet ist.
  19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass an der Probe (10) montierbare Elektroden mit einem Spannungsversorgungsgerät verbunden sind, eine elektronische Verstärkerschaltung mindestens einen elektrischen Parameter der Probe (10) bei Belastung erfaßt, ein Frequenzgenerator die in der Probe (10) anliegende Spannung mit vorgebbarer Frequenz und Amplitude moduliert und zur Messung eines von der Kapazität der Probe (10) abhängigen Wechselstromes eine zweite Verstärkerschaltung verwendet ist.
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