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DE102004058410B4 - Vielschichtbauelement mit ESD-Schutzelementen - Google Patents

Vielschichtbauelement mit ESD-Schutzelementen Download PDF

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DE102004058410B4 DE102004058410.9A DE102004058410A DE102004058410B4 DE 102004058410 B4 DE102004058410 B4 DE 102004058410B4 DE 102004058410 A DE102004058410 A DE 102004058410A DE 102004058410 B4 DE102004058410 B4 DE 102004058410B4
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Abstract

Elektrisches Bauelement,bei dem durch zwei überlappende Innenelektroden (IE10, IE20) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein erster Varistor (V1) gebildet ist, und bei dem durch zwei in einer Ebene liegenden Innenelektroden (IE10, IE11) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein zweiter Varistor (V21) gebildet ist, wobei das elektrische Bauelement einen Grundkörper (GK) aufweist, an dessen Seitenflächen Außenkontakte (1, 2, 3, 4) angeordnet sind, mit im Grundkörper (GK) angeordneten, an die Außenkontakte (1, 2, 3, 4) angeschlossenen Innenelektroden (IE10, IE11, IE20),wobei eine erste Innenelektrode (IE10) und eine zweite Innenelektrode (IE11) in einer ersten Ebene (E1) nebeneinander angeordnet sind,wobei eine mit der ersten Innenelektrode (IE10) überlappende dritte Innenelektrode (IE20) in einer zweiten Ebene (E2) angeordnet ist,wobei der erste Varistor (V1) durch die erste Innenelektrode (IE10), die dritte (IE20) Innenelektrode und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist, wobei der zweite Varistor (V21) durch die erste Innenelektrode (IE10), die zweite Innenelektrode (IE11) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist, wobei das elektrische Bauelement weitere zweite Innenelektroden (IE12, IE13, IE14) aufweist, wobei zweite Varistoren (V22, V23, V24) jeweils durch die erste Innenelektrode (IE10), eine der weiteren zweiten Innenelektrode (IE12, IE13, IE14) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet sind, und wobei der Abstand zwischen zwei zweiten Innenelektroden (IE11, IE12, IE13, IE14) mindestens doppelt so groß ist wie der Abstand zwischen der ersten Innenelektrode (IE10) und einer jeden der zweiten Innenelektroden (IE11, IE12, IE13, IE14).

Description

  • Die Erfindung betrifft ein elektrisches Vielschichtbauelement, das ESD-Schutzelemente umfasst.
  • Aus der Druckschrift DE 199 31 056 A1 ist ein keramisches Vielschichtvaristor bekannt, das einander gegenüberliegende Innenelektroden aufweist. Die mit dem gleichen elektrischen Potential verbundenen Innenelektroden sind übereinander angeordnet. Die mit verschiedenen elektrischen Potentialen verbundenen Elektrodenstapel sind nebeneinander angeordnet. Dieses Bauelement wird als ESD-Schutz von Hochfrequenzschaltungen und Datenleitungen eingesetzt.
  • DE 39 30 000 A1 zeigt einen laminierten Varistor, bei dem erste und zweite Endbereiche entsprechender erster und zweiter Innenelektroden an jeweils zugehörigen Endflächen eines Varistorteils freiliegen, der die Form eines rechteckigen Parallelepipeds aufweist. Weitere elektrische Bauelemente sind aus WO 03 / 063 185 A2, JP H11 - 297 508 A, EP 1 369 881 A2 und DE 103 92 149 T5 bekannt.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Vielschichtbauelement mit ESD-Schutzelementen anzugeben, das sowohl als ESD-Schutz von Hochfrequenzschaltungen und Datenleitungen als auch als ESD-Schutz von Versorgungsleitungen geeignet ist.
  • Diese Aufgabe ist durch ein Bauelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den weiteren Ansprüchen hervor.
  • Es wird ein elektrisches Bauelement angegeben, bei dem durch zwei überlappende Elektroden und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein erster Varistor (mit relativ großer Kapazität und Leistungsverträglichkeit) gebildet ist, und bei dem durch zwei in einer Ebene liegenden Innenelektroden und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein zweiter Varistor (mit einer aufgrund seines vorzugsweise kleinen aktiven Volumens relativ kleinen Kapazität) gebildet ist.
  • Damit gelingt es, in einem Grundkörper Varistoren mit verschiedenen Kapazitäten und Stromtragfähigkeiten zu realisieren, die zum ESD-Schutz von verschiedenen Leitungen einer elektrischen Schaltung benutzt werden können.
  • Das Vielschichtbauelement weist einen Grundkörper auf, an dessen Seitenflächen Außenkontakte angeordnet sind, die an im Grundkörper angeordnete Innenelektroden angeschlossen sind. Der Grundkörper weist mehrere Schichten aus Varistorkeramik (z. B. ZnO-Bi, ZnO-Pr) auf, zwischen denen Metallisierungsebenen mit darin ausgebildeten Elektrodenstrukturen angeordnet sind.
  • Ein erster Varistor ist durch ein Paar übereinander angeordneter Innenelektroden und die dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet. Ein zweiter Varistor ist durch zwei nebeneinander angeordnete Innenelektroden und die zwischen ihren zueinander gewandten Seitenflächen angeordnete Varistorkeramik gebildet.
  • Der zweite Varistor, der sich durch eine geringe Kapazität auszeichnet, ist als ESD-Schutz für eine Hochfrequenz- oder Datenleitung geeignet und kann zwischen dieser Schnellsignalleitung und Masse angeschlossen sein. Der erste Varistor, der sich durch eine höhere Stromimpulstragfähigkeit sowie eine deutlich höhere Kapazität auszeichnet, kann dabei zwischen einer Strom- oder Spannungsversorgungsleitung und Masse angeschlossen sein.
  • In einer Ebene des Bauelements können mehr als nur eine oder zwei Innenelektroden vorgesehen sein.
  • Zwei in vertikaler Richtung einander gegenüber liegende Hauptflächen der übereinander angeordneten Innenelektroden spannen ein aktives Volumen des ersten Varistors auf. Das aktive Volumen des ersten Varistors beträgt vorzugsweise mindestens 0,001 mm3. Zwei in horizontaler Richtung einander gegenüber liegende Seitenflächen der nebeneinander angeordneten Innenelektroden spannen ein aktives Volumen des zweiten Varistors auf, das vorzugsweise maximal 10% des aktiven Volumens des ersten Varistors beträgt.
  • Der Abstand zwischen den nebeneinander angeordneten Innenelektroden beträgt in einer bevorzugten Variante mindestens 20 µm.
  • Der erste und der zweite Varistor teilen vorzugsweise dieselbe Innenelektrode, die in einer Variante an Masse angeschlossen ist, welche z. B. ein gemeinsames Bezugspotential für Hochfrequenz- oder Datenleitungen und Versorgungsleitungen darstellt.
  • Die an die Masse angeschlossene Innenelektrode - vorzugsweise in der entsprechenden Ebene die Elektrode mit der größten Fläche - wird im weiteren als die erste Elektrode und die in derselben Ebene angeordneten, neben der ersten Elektrode liegenden Innenelektroden als zweite Elektroden bezeichnet. Die in der weiteren Ebene angeordnete, der ersten Elektrode gegenüberliegende Innenelektrode wird als dritte Elektrode und die in derselben Ebene angeordneten, neben der dritten Elektrode liegenden Innenelektroden als vierte Elektroden bezeichnet.
  • In der ersten Ebene angeordnete zweite Varistoren sind jeweils durch die erste Elektrode, jeweils eine der zweiten Elektroden und die dazwischen liegende Varistorkeramik gebildet. In der zweiten Ebene angeordnete, weitere zweite Varistoren sind jeweils durch die dritte Elektrode, jeweils eine der vierten Elektroden und die dazwischen liegende Varistorkeramik gebildet.
  • Die erste Elektrode ist in der jeweiligen Ebene vorzugsweise mittig angeordnet. Möglich ist aber auch, dass die erste Elektrode zu einer Seite der ersten Ebene angeordnet ist und die zweiten Elektroden zur gegenüberliegenden Seite dieser Ebene angeordnet sind.
  • Die übereinander angeordneten Innenelektroden weisen vorzugsweise im wesentlichen gleich große Flächen auf.
  • Der Abstand zwischen zwei zweiten Elektroden istmindestens doppelt so groß wie der Abstand zwischen der ersten und einer der zweiten Elektroden.
  • Alle auf die erste Ebene, erste Elektrode und zweite Elektrode bezogene Merkmale sind - soweit technisch sinnvoll - auf die zweite Ebene, dritte Elektrode und vierte Elektroden übertragbar.
  • In der ersten Ebene können auch mehrere erste Elektroden bzw. eine geteilte erste Elektrode vorgesehen sein.
  • Vorzugsweise ist die erste Ebene in einer lateralen Richtung in zwei Randbereiche und einen dazwischen angeordneten Mittenbereich aufgeteilt, wobei die erste Elektrode im Mittenbereich und die zweiten Elektroden in den Randbereichen angeordnet sind, wobei der Mittenbereich frei von den zweiten Elektroden ist.
  • Die Anschlüsse der ersten und der dritten Elektrode sind vorzugsweise zu den einander gegenüberliegenden Seitenflächen des Grundkörpers herausgeführt. Die Anschlüsse der ersten und der dritten Elektrode können alternativ zur gleichen Seite des Grundkörpers oder zu verschiedenen, senkrecht aufeinander stehenden Seitenflächen des Grundkörpers herausgeführt sein.
  • Die Anschlüsse der zweiten bzw. der vierten Elektroden können zu gleichen Seitenflächen des Grundkörpers wie die erste bzw. die dritte Elektrode herausgeführt sein. Dabei sind nur zwei Seitenflächen des Grundkörpers mit Außenkontakten belegt. Möglich ist aber auch, alle Seitenflächen des Grundkörpers mit mindestens einem Außenkontakt zu belegen.
  • Die erste und die zweite Ebene weisen vorzugsweise im wesentlichen gleich dimensionierte und gleich angeordnete Elektrodenstrukturen auf.
  • Einander zugeordnete zweite und vierte Elektroden können übereinander oder zueinander versetzt angeordnet und an denselben Außenkontakt angeschlossen sein.
  • Die in verschiedenen Ebenen ausgebildeten zweiten Varistoren, deren Elektroden übereinander angeordnet sind, sind auf einer Seite vorzugsweise an denselben Außenkontakt angeschlossen. Die in derselben Ebene ausgebildeten zweiten Varistoren sind vorzugsweise an verschiedene Außenkontakte angeschlossen, wobei jeder Außenkontakt an eine eigene Signalleitung anschließbar ist. Damit gelingt es, durch ein einziges kompaktes Bauelement mehrere Schnellsignalleitungen zu entstören.
  • In einer Variante kann mehr als nur ein erster Varistor mit hoher Kapazität ausgebildet sein, der durch eine weitere erste Elektrode, eine ihr in vertikaler Richtung gegenüber liegende weitere dritte Elektrode und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist. Zwei erste Varistoren können auch eine gemeinsame Elektrode aufweisen, die an Masse anschließbar ist, wobei diese Varistoren auf der anderen Seite an jeweils einen eigenen Außenkontakt angeschlossen bzw. an die jeweils eigene Versorgungsleitung anschließbar sind.
  • Der erste Varistor kann in einer Variante durch einen Stapel der übereinander angeordneten Elektroden (anstellen nur eines Paares übereinander angeordneter Innenelektroden) realisiert sein. Dabei sind erste und dritte Elektroden in vertikaler Richtung abwechselnd angeordnet. Es können auch mehrere erste und zweite Ebenen (mit zweiten bzw. vierten Elektroden) vorgesehen sein, die abwechselnd angeordnet sind.
  • Das Vielschichtbauelement ist vorzugsweise zur Oberflächenmontage geeignet. Dabei sind die Außenkontakte derart gestaltet, dass sie jeweils über die Seitenfläche des Grundkörpers hinausgehen und teilweise zumindest auf der unteren Hauptfläche des Grundkörpers angeordnet sind.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert. Die Figuren zeigen anhand schematischer und nicht maßstabsgetreuer Darstellungen verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung. Gleiche oder gleich wirkende Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Es zeigen schematisch
    • 1A ein Varistorbauelement mit einem ersten und zwei zweiten Varistoren im Querschnitt,
    • 1B die Draufsicht auf die erste Ebene des Bauelements gemäß 1A,
    • 1C die Draufsicht auf die zweite Ebene des Bauelements gemäß 1A,
    • 1D die Draufsicht auf das Bauelement gemäß 1A von oben (links), auf eine erste Seitenfläche (in der Mitte) und auf eine zweite Seitenfläche (rechts),
    • 1E das Ersatzschaltbild des Bauelements gemäß den 1A bis 1D,
    • 2A ein Bauelement mit einem ersten Varistor und vier zweiten Varistoren im Querschnitt,
    • 2B die Draufsicht auf die erste Ebene des Bauelements gemäß 2A,
    • 2C die Draufsicht auf die zweite Ebene des Bauelements gemäß 2A,
    • 2D eine Ansicht des Bauelements gemäß 2A bis 2C von oben,
    • 3A ein Varistorbauelement mit einem ersten Varistor und je vier in jeder Ebene ausgebildeten zweiten Varistoren
    • 3B die Draufsicht auf die erste Ebene des Bauelements gemäß 3A,
    • 3C die Draufsicht auf die zweite Ebene des Bauelements gemäß 3A,
    • 3D die Ansicht des Bauelements gemäß 3A bis 3C von oben (links) und von der Seite (rechts),
    • 3E ein elektrisches Ersatzschaltbild des Bauelements gemäß den 3A bis 3D.
  • 1A bis 1D zeigen verschiedene Ansichten eines Bauelements, das nicht Gegenstand der Ansprüche ist, mit einem Grundkörper GK, das mehrere Schichten aus Varistorkeramik aufweist, zwischen denen eine erste Metallisierungsebene E1 mit darin ausgebildeten Innenelektroden IE10, IE11 sowie eine zweite Metallisierungsebene E2 mit darin ausgebildeten Innenelektroden IE20, IE21 angeordnet sind.
  • Die 1A entspricht einem Querschnitt durch das Bauelement entlang der in 1B und 1C gezeigten Linie A-A'. 1B zeigt die erste Ebene E1 und 1C die zweite Ebene E2 des Bauelements gemäß 1A. Die erste Innenelektrode IE10 weist eine größere Fläche als die neben ihr angeordnete zweite Innenelektrode IE11 auf. Die unterhalb der ersten Innenelektrode IE10 angeordnete dritte Innenelektrode IE20 weist eine größere Fläche als die neben ihr bzw. unterhalb der zweiten Innenelektrode IE11 angeordnete vierte Innenelektrode IE21 auf.
  • Die Innenelektrode IE10 ist an einen Außenkontakt 1 und die Innenelektrode IE20 an einen Außenkontakt 2 angeschlossen. Die Innenelektroden IE11, IE21 sind an einen weiteren Außenkontakt 3 angeschlossen. Die Außenkontakte 1 und 2 sind auf gegenüberliegenden ersten Seitenflächen des Grundkörpers GK angeordnet. Der Außenkontakt 3 ist auf einer zweiten Seitenfläche des Grundkörpers GK angeordnet, die senkrecht zu den ersten Seitenflächen steht. In dieser Variante sind nur drei Seitenflächen mit Außenkontakten belegt.
  • Ein erster Varistor (Varistor V1 in 1E) ist durch die einander gegenüberliegenden Innenelektroden IE10, IE20 und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet. Die erste Innenelektrode IE10 und die dritte Innenelektrode IE20 weisen vorzugsweise die gleichen Flächen auf.
  • Ein zweiter Varistor V21 ist durch die in der ersten Ebene E1 nebeneinander angeordneten Innenelektroden IE10, IE11 und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet. Ein weiterer zweiter Varistor V25 ist durch die in der zweiten Ebene E2 nebeneinander angeordneten Innenelektroden IE20, IE21 und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet.
  • Unter einem aktiven Volumen eines Varistors versteht man das Volumen eines zwischen zwei Elektroden angeordnetes Varistormaterials. Das aktive Volumen des ersten Varistors V1 ist zwischen den einander zugewandten Hauptflächen der Innenelektroden IE10 und IE20 aufgespannt und beträgt mindestens 0,001 mm3. Das aktive Volumen des zweiten Varistors V21 ist zwischen einander gegenüberliegenden Seitenflächen der ersten Innenelektrode IE10 und der zweiten Innenelektrode IE11 aufgespannt. Das aktive Volumen des zweiten Varistors V21 ist deutlich - z. B. um mindestens eine Größenordnung, in einer bevorzugten Variante um mindestens zwei Größenordnungen - kleiner als das aktive Volumen des ersten Varistors V1.
  • In 1D ist links eine Ansicht des Bauelements gemäß 1A bis 1C von oben, in der Mitte die Draufsicht auf die erste Seitenfläche und rechts die Draufsicht auf die zweite Seitenfläche des Bauelements gezeigt. Die Außenkontakte 1, 2, 3 gehen über die jeweilige Seitenfläche hinaus und sind teilweise auf einer Hauptfläche (vorzugsweise Unterseite) des Grundkörpers angeordnet, wobei sie zur Oberflächenmontage geeignete elektrische Anschlüsse des Bauelements bilden.
  • In diesem Beispiel sind die mit dem gleichen elektrischen Potential verbundenen Innenelektroden IE11 und IE21 übereinander angeordnet. In einer Variante der Erfindung ist es möglich, dass diese Elektroden gegeneinander lateral versetzt sind.
  • Es ist vorteilhaft, wenn die erste und die dritte Innenelektrode IE10, IE20 an die auf den einander gegenüberliegenden Seitenflächen angeordneten Außenkontakte angeschlossen sind. Möglich ist aber auch, die Innenelektroden IE10, IE20 an die Außenkontakte anzuschließen, die auf den zueinander senkrecht angeordneten Seitenflächen oder auf der gleichen Seitenfläche angeordnet sind.
  • Alle Außenkontakte des Bauelementes können wie in 3D auf einander gegenüberliegenden ersten Seitenflächen des Bauelements angeordnet sein, wobei die senkrecht dazu stehenden zweiten Seitenflächen des Grundkörpers frei von Außenkontakten sind. Möglich ist aber auch, dass alle Seitenflächen des Grundkörpers, wie in der Variante gemäß 2D, mit Außenkontakten belegt sind.
  • In 2A ist eine weitere Variante der Erfindung gezeigt, bei der in der ersten Ebene E1 die erste Innenelektrode IE10 zwischen zwei zweiten Innenelektroden IE11, IE12 und in der zweiten Ebene E2 die dritte Innenelektrode IE20 zwischen zwei vierten Innenelektroden IE21, IE22 angeordnet ist. Der erste Varistor V1 und die zweiten Varistoren V21, V25 sind hier und in der in 3A bis 3E vorgestellten Variante wie in 1A bis 1E gebildet.
  • In der Ebene E1 ist ein weiterer zweiter Varistor durch die Innenelektroden IE10, IE12 und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet. In der zweiten Ebene E2 ist ein weiterer zweiter Varistor durch die Innenelektroden IE20, IE22 und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet.
  • In den 3A bis 3D sind verschiedene Ansichten eines weiteren Varistorbauelements gezeigt, das insgesamt acht zweite Varistoren umfasst. 3A zeigt dieses Bauelement in einem schematischen Querschnitt entlang der Linie A-A'. 3B, 3C zeigen die Draufsicht auf die erste E1 bzw. zweite E2 Ebene E2 des Bauelements. In der ersten Ebene E1 ist eine erste Innenelektrode IE10 und vier zweite Innenelektroden IE11, IE12, IE13 und IE14 angeordnet. Die erste Innenelektrode IE10 ist dabei in der Ebene E1 mittig zwischen zwei Gruppen zweiter Innenelektroden angeordnet. In der zweiten Ebene E2 ist eine dritte Innenelektrode IE20 und vier vierte Innenelektroden IE21, IE22, IE23 und IE24 angeordnet. Die dritte Innenelektrode IE20 ist dabei in der Ebene E2 mittig zwischen zwei Gruppen vierter Innenelektroden angeordnet.
  • Die zweiten Varistoren sind in der ersten Ebene E1 durch jeweils eine zweite Innenelektrode, die ihr gegenüberliegende Seitenfläche der ersten Innenelektrode IE10 und die dazwischen angeordneten Varistorkeramik gebildet. Die weiteren zweiten Varistoren sind in der zweiten Ebene E2 durch jeweils eine vierte Innenelektrode, die ihr gegenüberliegende Seitenfläche der dritten Innenelektrode IE20 und die dazwischen angeordneten Varistorkeramik gebildet.
  • In der 3E ist das Ersatzschaltbild des in den 3A bis 3D vorgestellten Bauelements gezeigt. Der erste Varistor V1 ist zwischen den Außenkontakten 2 und 5 geschaltet. Der Außenkontakt 2 ist auf Masse gelegt. Alle zweite Varistoren V21 bis V28 sind an den Außenkontakt 2 angeschlossen. Der durch die Innenelektroden IE10 und IE11 definierte zweite Varistor V21 ist an den Außenkontakt 1 angeschlossen. Der durch die Innenelektroden IE10 und IE12 definierte zweite Varistor V22 ist an den Außenkontakt 3 angeschlossen. Der durch die Innenelektroden IE10 und IE13 definierte zweite Varistor V23 ist an den Außenkontakt 4 und der durch die Innenelektroden IE10 und IE14 definierte zweite Varistor V24 an den Außenkontakt 6 angeschlossen. Die weiteren zweiten Varistoren V25 bis V28 sind entsprechend den zweiten Varistoren V21 bis V24 in der zweiten Ebene E2 des Bauelements ausgebildet.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die in dieser Schrift gezeigten Ausführungsbeispiele oder die Anzahl der dargestellten Elemente beschränkt. Es ist möglich, das durch die erste und die dritte Innenelektrode gebildete Elektrodenpaar in den entsprechenden Metallisierungsebenen beliebig anzuordnen. Es ist möglich, die erste oder die dritte Innenelektrode in zwei vorzugsweise flächenmäßig gleiche Teilelektroden aufzuteilen und diese Teilelektroden an jeweils einen eigenen elektrischen Außenkontakt anzuschließen.
  • Bezugszeichenliste
  • GK
    Grundkörper
    E1
    erste Ebene
    E2
    zweite Ebene
    IE10
    erste Innenelektrode
    IE11, IE12, IE13, IE14
    zweite Innenelektroden
    IE20
    dritte Innenelektrode
    IE21, IE22, IE23, IE24
    vierte Innenelektroden
    V1
    erster Varistor
    V2j
    zweite Varistoren, j=1 bis 8
    1 bis 6
    Außenkontakte

Claims (9)

  1. Elektrisches Bauelement, bei dem durch zwei überlappende Innenelektroden (IE10, IE20) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein erster Varistor (V1) gebildet ist, und bei dem durch zwei in einer Ebene liegenden Innenelektroden (IE10, IE11) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik ein zweiter Varistor (V21) gebildet ist, wobei das elektrische Bauelement einen Grundkörper (GK) aufweist, an dessen Seitenflächen Außenkontakte (1, 2, 3, 4) angeordnet sind, mit im Grundkörper (GK) angeordneten, an die Außenkontakte (1, 2, 3, 4) angeschlossenen Innenelektroden (IE10, IE11, IE20), wobei eine erste Innenelektrode (IE10) und eine zweite Innenelektrode (IE11) in einer ersten Ebene (E1) nebeneinander angeordnet sind, wobei eine mit der ersten Innenelektrode (IE10) überlappende dritte Innenelektrode (IE20) in einer zweiten Ebene (E2) angeordnet ist, wobei der erste Varistor (V1) durch die erste Innenelektrode (IE10), die dritte (IE20) Innenelektrode und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist, wobei der zweite Varistor (V21) durch die erste Innenelektrode (IE10), die zweite Innenelektrode (IE11) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist, wobei das elektrische Bauelement weitere zweite Innenelektroden (IE12, IE13, IE14) aufweist, wobei zweite Varistoren (V22, V23, V24) jeweils durch die erste Innenelektrode (IE10), eine der weiteren zweiten Innenelektrode (IE12, IE13, IE14) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet sind, und wobei der Abstand zwischen zwei zweiten Innenelektroden (IE11, IE12, IE13, IE14) mindestens doppelt so groß ist wie der Abstand zwischen der ersten Innenelektrode (IE10) und einer jeden der zweiten Innenelektroden (IE11, IE12, IE13, IE14).
  2. Bauelement nach Anspruch 1, mit einer vierten Innenelektrode (IE21), die neben der dritten Innenelektrode (IE20) angeordnet ist, wobei ein weiterer zweiter Varistor (V25) durch die vierte Innenelektrode (IE21), die dritte Innenelektrode (IE20) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet ist.
  3. Bauelement nach Anspruch 2, mit weiteren vierten Innenelektroden (IE22, IE23, IE24), wobei weitere zweite Varistoren (V26, V27, V28) jeweils durch die dritte Innenelektrode (IE20), eine der weiteren vierten Innenelektroden (IE22, IE23, IE24) und eine dazwischen angeordnete Varistorkeramik gebildet sind.
  4. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei zwischen der ersten und der dritten Innenelektrode (IE10, IE20) ein aktives Varistorvolumen von mindestens 0,001 mm3 aufgespannt ist.
  5. Bauelement nach Anspruch 4, wobei der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Innenelektrode (IE10, IE11) mindestens 20 µm beträgt.
  6. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste Innenelektrode (IE10) eine gegenüber der zweiten Innenelektrode (IE11) größere Fläche aufweist.
  7. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste Innenelektrode (IE10) in der ersten Ebene (E1) mittig angeordnet ist.
  8. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste oder die dritte Elektrode (IE10, IE20) an Masse angeschlossen ist.
  9. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Varistorkeramik aus ZnO-Bi oder ZnO-Pr besteht.
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