DE102004046967A1

DE102004046967A1 - Rotary anode for high power x-ray tube, includes cavity with capillary mesh and fluid dissipating heat from focal path using heat pipe principle

Info

Publication number: DE102004046967A1
Application number: DE102004046967A
Authority: DE
Inventors: Manfred Apel; Holger Baule; Stefan Hofmann
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 2004-09-28
Filing date: 2004-09-28
Publication date: 2006-03-23

Abstract

Für eine besonders effektive Anodenkühlung ist bei einer Drehanode (30; 31; 32), insbesondere für eine Hochleistungsröntgenröhre, mit einem rotierenden Anodenteller (1; 1.1) und auf dessen Oberfläche umlaufender Brennbahn (3; 3.1) zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung (14) vorgesehen, dass der Anodenteller (1; 1.1) in seinem Inneren einen Hohlraum (7; 7.1) aufweist und als Wärmerohr zur Wärmeabfuhr von dem Bereich der Brennbahn (3; 3.1) ausgebildet ist.For a particularly effective anode cooling, a rotary anode (30, 31, 32), in particular for a high-power x-ray tube, is provided with a rotating anode plate (1, 1.1) and on its surface a rotating focal path (3, 3.1) for generating an X-radiation (14) in that the anode plate (1; 1.1) has a cavity (7; 7.1) in its interior and is designed as a heat pipe for heat removal from the region of the focal path (3; 3.1).

Description

Die Erfindung betrifft eine Drehanode, insbesondere für eine Hochleistungsröntgenröhre, gemäß Patentanspruch 1.The The invention relates to a rotary anode, in particular for a high-performance X-ray tube, according to claim 1.

Bei bekannten Hochleistungsröntgenröhren sind zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung Drehanoden vorgesehen, die einen rotationssymmetrischen Anodenteller und ein damit gekoppeltes um eine Drehachse rotierendes Anodenrohr aufweisen. Aufgrund der Rotation bewegt sich ein Brennfleck auf einer kreisförmigen Brennbahn der Drehanode, wodurch eine bessere Verteilung der Wärme im Vergleich zu feststehenden Anoden erzielt wird. Da bei der Erzeugung von Röntgenstrahlung in Röntgenröhren fast die gesamte zugeführte Energie in Verlustwärme umgewandelt wird, ist eine gesonderte Anodenkühlung notwendig; zum Beispiel sind dafür am Anodenteller massive Wärmespeicher angebracht, was aber wiederum ein großes Bauvolumen bedeutet.at are known high-performance x-ray tubes for generating an X-ray radiation Rotary anodes provided, which is a rotationally symmetrical anode plate and an anode tube coupled thereto and rotating about an axis of rotation exhibit. Due to the rotation, a focal spot moves on one circular Focal lane of the rotary anode, allowing a better distribution of heat compared is achieved to fixed anodes. Because in the generation of X-rays in x-ray tubes almost the entire feed Energy in lost heat is converted, a separate anode cooling is necessary; for example are for it on the anode plate massive heat storage attached, which in turn means a large volume of construction.

Durch die DE 36 44 719 C1 ist eine flüssigkeitsgekühlte Röntgenröhre mit einer um einen Kühler drehbaren, zylindrischen Drehanode bekannt, wobei der Kühler nach Art eines Ringkanals ein mit der Drehanode verbundenes drehbar gelagertes Anodenrohr umgibt. Zwischen einer äußeren Fläche des Kühlers und einer Innenfläche der Drehanode ist zur Verbesserung der Wärmeabfuhr ein flüssiges Metall vorgesehen.By the DE 36 44 719 C1 is a liquid-cooled X-ray tube with a rotatable about a radiator, cylindrical rotary anode known, the radiator surrounds a manner of an annular channel connected to the rotary anode rotatably mounted anode tube. Between an outer surface of the radiator and an inner surface of the rotary anode, a liquid metal is provided to improve the heat dissipation.

Die EP 1 047 100 A2 offenbart eine Röntgenröhre mit einem um ein starres Anodenrohr drehbaren Anodenteller. Der Anodenteller ist abschnittsweise hohl ausgebildet und wird zur Wärmeabfuhr mit flüssigem Kühlmittel, welches durch das hohl ausgebildete Anodenrohr zu- bzw. abgeführt wird, durchströmt. Das Kühlmittel muss, zum Beispiel durch eine Pumpe, in Bewegung gehalten werden.The EP 1 047 100 A2 discloses an X-ray tube having an anode plate rotatable about a rigid anode tube. The anode plate is partially hollow and is for heat dissipation with liquid coolant, which is supplied through the hollow anode tube and discharged, flows through. The coolant must be kept in motion, for example by a pump.

Aus der DE 100 44 231 A1 ist eine Drehanode mit einem Anodenteller bekannt, der an eine Lagerwelle gekoppelt ist, die in ihrem Inneren ein Wärmerohr aufnimmt; die Wärme tritt vom Anodenteller in das Verdampferende des Wärmerohrs, wo dessen Arbeitsfluid verdampft und einen Druckgradient aufbaut, durch den der Dampf zum kühleren Kondensatorende des Wärmerohrs gedrückt wird und dort unter Abgabe von Wärme an einer Wärmesenke kondensiert. Das Kondensat wird anschließend als Flüssigkeit durch Kapillarkräfte zum Verdampferende des Wärmerohrs zurückgeleitet.From the DE 100 44 231 A1 a rotary anode with an anode plate is known, which is coupled to a bearing shaft which receives a heat pipe in its interior; the heat passes from the anode plate into the evaporator end of the heat pipe, where its working fluid vaporizes and builds up a pressure gradient through which the vapor is forced to the cooler condenser end of the heat pipe where it condenses with the release of heat at a heat sink. The condensate is then returned as liquid by capillary forces to the evaporator end of the heat pipe.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei Drehanoden, insbesondere für Hochleistungsröntgenröhren, mit einfachen Mitteln eine besonders effektive Anodenkühlung zu schaffen.Of the The present invention is based on the object, in rotary anodes, especially for High performance x-ray tubes, with simple means a particularly effective anode cooling create.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Drehanode, insbesondere für eine Hochleistungsröntgenröhre, gemäß Patentanspruch 1; vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind jeweils Gegenstand der Unteransprüche.These The object is achieved by a rotary anode, in particular for a high performance x-ray tube according to claim 1; advantageous embodiments of the invention are each the subject the dependent claims.

Durch die mit einfachen Mitteln erzielbare Ausbildung des Anodentellers als Wärmerohr und die dadurch gegebene sehr hohe Wärmeleitfähigkeit innerhalb des hohlen Anodentellers wird eine sehr gute Wärmeabfuhr von dem Bereich der Brennbahn und dadurch eine sehr effektive Kühlung der Drehanode bei gleichzeitigem durch den hohlen Anodenteller möglichem geringem Gesamtgewicht und damit verbesserten Betriebseigenschaften gewährleistet.By the achievable with simple means training of the anode plate as a heat pipe and the resulting very high thermal conductivity within the hollow Anodentellers will have a very good heat dissipation from the range of Firing path and thus a very effective cooling of the rotary anode at the same time through the hollow anode plate possible low total weight and thus improved operating characteristics guaranteed.

In vorteilhafter Weise weist zur Verbesserung des Rückflusses des verdampften und nach der Wärmeabgabe wieder kondensierten Arbeitsfluids zu dem Bereich der Brennbahn der Hohlraum an zumindest einem Teilbereich seiner Innenoberfläche eine Kapillarstruktur auf.In advantageous manner, to improve the reflux of the vaporized and after the heat release again condensed working fluid to the region of the focal path the cavity on at least a portion of its inner surface has a capillary structure on.

Die Kühlwirkung kann dadurch verbessert werden, dass in vorteilhafter Weise eine Wärmeabfuhr innerhalb des Hohlraumes des Anodentellers von dessen Anodenteller-Außenwandung im Bereich der Brennbahn zu dessen Anodentellerboden vorgesehen ist. Um einen besonders effektiven Weitertransport der Wärme zu gewährleisten, ist ein Wärmeübergang von dem Anodentellerboden zu einem anschließenden, mit dem Anodenteller gekoppelten Anodenrohr vorgesehen. Nach einer Ausgestaltung der Erfindung weist das Anodenrohr in seinem Inneren einen Hohlraum auf und ist als Wärmerohr mit einer Wärmeabfuhr von seinem anodentellerseitigem einen Ende zu seinem im Bezug auf den Anodenteller distalen anderen Ende ausgebildet. Dadurch ist die Wärme schnell von dem Anodenteller wegleitbar.The cooling effect can be improved by advantageously a heat dissipation within the cavity of the anode plate of its anode plate outer wall provided in the region of the focal path to the anode cell bottom is. To ensure a particularly effective onward transport of the heat, is a heat transfer from the anode cell tray to a subsequent, with the anode plate coupled anode tube provided. According to one embodiment of Invention, the anode tube has a cavity in its interior on and is as a heat pipe with a heat dissipation from its anode plate side one end to its in relation to formed the anode plate distal other end. This is the result Heat quickly wegleitbar of the anode plate.

Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen gemäß Merkmalen der Unteransprüche werden im Folgenden anhand schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele in der Zeichnung näher erläutert; es zeigen:The Invention and further advantageous embodiments according to features the subclaims become below with reference to schematically illustrated embodiments explained in detail in the drawing; it demonstrate:

1 eine Querschnittsansicht einer Drehanode mit auf der Seitenwand des Anodentellers angeordneter Brennbahn und mit als Wärmerohr ausgebildetem Anodenteller; 1 a cross-sectional view of a rotary anode arranged on the side wall of the anode plate focal path and designed as a heat pipe anode plate;

2 eine Querschnittsansicht einer zweiten Drehanode mit im Vergleich zu 1 zusätzlich als Wärmerohr ausgebildetem Anodenrohr; 2 a cross-sectional view of a second rotary anode with compared to 1 additionally formed as a heat pipe anode tube;

3 eine Querschnittsansicht einer dritten Drehanode mit im Vergleich zu 1 auf der Stirnwand des Anodentellers angeordneter Brennbahn. 3 a cross-sectional view of a third rotary anode with compared to 1 arranged on the front wall of the anode plate focal path.

1 zeigt als Ausschnitt aus einer Röntgenröhre eine Drehanode 30 mit einem mittels eines Rotors 11 um eine Drehachse 5 rotierenden, rotationssymmetrischen Anodenteller 1 und einem damit im Bereich dessen Tellerbodens wärmegekoppelten feststehenden Anodenrohr 2. Durch eine ortsfeste Kathode 12 wird ein Elektronenstrahl 13 auf ein zum Beispiel aus Wolfram-Rhenium bestehendes Target 20 auf der Seitenwand des Anodentellers 1 gerichtet. Im Auftreffpunkt des Elektronen strahls 13 auf dem Target 20, dem Brennfleck, werden die Elektronen des Elektronenstrahls 13 abgebremst und dadurch die Röntgenstrahlung 14 erzeugt. Da die Drehanode rotiert und sich somit unter dem Brennfleck wegdreht, wird der vom Elektronenstrahl 13 getroffene Bereich zu einer umlaufenden Brennbahn 3. In der abgebildeten Ausführung handelt es sich um eine auf der Seitenwand des Anodentellers 1 angeordnete Brennbahn 3. 1 shows as a section of an X-ray tube a rotary anode 30 with one by means of a rotor 11 around a rotation axis 5 rotating, rotationally symmetrical anode plate 1 and a heat-coupled in the region of the plate floor fixed anode tube 2 , Through a stationary cathode 12 becomes an electron beam 13 on a tungsten rhenium target, for example 20 on the sidewall of the anode plate 1 directed. At the impact of the electron beam 13 on the target 20 , the focal spot, become the electrons of the electron beam 13 braked and thereby the X-ray radiation 14 generated. As the rotary anode rotates and thus rotates under the focal spot, that of the electron beam 13 struck area to a rotating focal path 3 , The illustrated embodiment is one on the sidewall of the anode plate 1 arranged focal path 3 ,

Der Anodenteller 1 weist einen Hohlraum 7 auf und ist als Wärmerohr ausgebildet. Der Hohlraum 7 des Anodentellers 1 ist zweckmäßigerweise vakuumdicht abgeschlossen und evakuiert. Der Hohlraum 7 weist in vorteilhafter Weise an zumindest einem Teilbereich seiner Innenoberfläche eine Kapillarstruktur 8 auf und ist teilweise mit einem zur Wärmeabfuhr verdampfbaren Arbeitsfluid gefüllt. Bei Einwirkung von Wärme durch die stark erhitzte Brennbahn 3 auf den unterhalb der Brennbahn 3 gelegenen Bereich des als Wärmerohr ausgebildeten Anodentellers 1 verdampft das Arbeitsfluid dort. Der Dampf 6 expandiert aufgrund eines Druckgradienten in den kühleren, möglicherweise zusätzlich gekühlten, Bereich des als Wärmerohr ausgebildeten Anodentellers 1, zum Beispiel am Anodentellerboden 19, wo er kondensiert. Dabei gibt er die zuvor aufgenommene Verdampfungswärme wieder ab. Über die Kapillarstruktur 8 fließt durch Kapillarkräfte das kondensierte Arbeitsfluid zurück in den warmen Bereich. Bei der Anordnung des Targets 20 und der Brennbahn 3 auf der Seitenwand des Anodentellers 1 kann die Kapillarstruktur auch entfallen, da die Zentrifugalkraft des rotierenden Anodentellers 1 das kondensierte Arbeitsfluid zum warmen Bereich zurücktransportiert.The anode plate 1 has a cavity 7 on and is designed as a heat pipe. The cavity 7 of the anode plate 1 is expediently vacuum sealed and evacuated. The cavity 7 Advantageously, at least a portion of its inner surface has a capillary structure 8th and is partially filled with a vaporizable for heat dissipation working fluid. When exposed to heat through the highly heated focal path 3 on the below the focal track 3 located area of the formed as a heat pipe anode plate 1 the working fluid evaporates there. The steam 6 expands due to a pressure gradient in the cooler, possibly additionally cooled, area of the formed as a heat pipe anode plate 1 , for example, at the anode cell floor 19 where he condenses. He gives off the previously recorded heat of evaporation again. About the capillary structure 8th flows through capillary forces the condensed working fluid back into the warm area. In the arrangement of the target 20 and the focal track 3 on the sidewall of the anode plate 1 The capillary structure can also be omitted because the centrifugal force of the rotating anode plate 1 the condensed working fluid is transported back to the warm area.

Durch einen derartigen ununterbrochenen Kreislauf wird eine hohe Wärmeleitfähigkeit von bis zu 10 mal bis 10000 mal der Wärmeleitfähigkeit von massivem Kupfer erzielt. Als Material für den Anodenteller 1 ist zum Beispiel Molybdän vorgesehen. Bei dem verdampfbaren Arbeitsfluid kann zum Beispiel ein bei der Betriebstemperatur der Röntgenröhre geschmolzenes und dadurch flüssiges Metall wie Natrium oder Lithium eingesetzt werden. Alternativ können auch andere Materialien und als Arbeitsfluid Flüssigkeiten, die zum Beispiel unterschiedliche Wärmebereiche überdecken, zum Einsatz kommen.By such a continuous cycle, a high thermal conductivity of up to 10 times to 10,000 times the thermal conductivity of solid copper is achieved. As material for the anode plate 1 For example, molybdenum is provided. In the evaporable working fluid, for example, a molten at the operating temperature of the X-ray tube and thereby liquid metal such as sodium or lithium can be used. Alternatively, other materials and as a working fluid liquids that cover, for example, different thermal ranges, are used.

Die Kapillarstruktur 8 ist in vorteilhafter Weise von einem Metallnetz oder einem Metallvlies gebildet. In für eine vereinfachte Herstellung der Kapillarstruktur 8 zweckmäßiger Weise ist der Anodenteller 1 aus einem keramischen Material mit einer porösen Innenoberfläche gebildet. Es können aber auch andere Materialien oder Herstellungsmethoden für die Kapillarstruktur 8 verwendet werden.The capillary structure 8th is advantageously formed by a metal mesh or a metal fleece. In for a simplified manufacture of the capillary structure 8th expedient manner is the anode plate 1 formed of a ceramic material with a porous inner surface. However, other materials or production methods for the capillary structure may also be used 8th be used.

Durch den hohlen Anodenteller 1 ergibt sich ein geringes Anodentellergewicht und dadurch unter anderem eine geringere Trägheit des Anodentellers, kürzere Hochlaufzeiten, geringere Lagerbelastungen und damit geringerer Verschleiß und es sind geringere Antriebsleistungen notwendig.Through the hollow anode plate 1 results in a low anode plate weight and thereby, inter alia, a lower inertia of the anode plate, shorter run-up times, lower bearing loads and thus lower wear and lower drive power is necessary.

Am Übergangsbereich zwischen dem Anodenteller 1 und dem Anodenrohr 2 ist ein Wärmeübergang 9 angeordnet. Dieser kann durch eine mittels einer Gleitringdichtung in einem Zwischenraum zwischen Anodenteller 1 und Anodenrohr 2 aufgenommenen Flüssigkeit, zum Beispiel das flüssige Metall GaInSn, gebildet sein. Der Wärmeübergang 9 leitet die Wärme auf das Anodenrohr 2 über, von wo sie mittels einer herkömmlichen Kühleinrichtung abgeführt werden kann.At the transition region between the anode plate 1 and the anode tube 2 is a heat transfer 9 arranged. This can be done by means of a mechanical seal in a space between the anode plate 1 and anode tube 2 absorbed liquid, for example, the liquid metal GaInSn be formed. The heat transfer 9 conducts the heat to the anode tube 2 from where it can be removed by means of a conventional cooling device.

2 zeigt als weitere Ausbildung der Erfindung eine Drehanode 31 mit einem als Wärmerohr ausgebildeten Anodenrohr 2.1. Die von der Brennbahn 3 ausgehende Wärme wird in zuvor beschriebener Weise von dem als Wärmerohr ausgebildeten Anodenteller 1 über einen Wärmeübergang 9 auf das Anodenrohr 2.1 geleitet. Das Anodenrohr 2.1 weist einen Hohlraum 17 auf, der teilweise mit einer zum Wärmetransport verdampfbaren Flüssigkeit 16 gefüllt ist. An der Innenoberfläche seines Hohlraumes 17 weist das Anodenrohr 2.1 eine Kapillarstruktur 18 auf. In für eine verbesserte Wärmeabfuhr vorteilhafter Weise weist das Anodenrohr 2.1 an seinem im Bezug auf den Anodenteller 1 distalen Ende einen Wärmetauscher 10 auf. 2 shows as a further embodiment of the invention, a rotary anode 31 with an anode tube designed as a heat pipe 2.1 , The from the focal track 3 outgoing heat is in the manner described above of the formed as a heat pipe anode plate 1 via a heat transfer 9 on the anode tube 2.1 directed. The anode tube 2.1 has a cavity 17 on, some with a vaporizable for heat transfer fluid 16 is filled. On the inner surface of his cavity 17 has the anode tube 2.1 a capillary structure 18 on. In an advantageous manner for improved heat dissipation, the anode tube 2.1 at his with respect to the anode plate 1 distal end of a heat exchanger 10 on.

Durch diese insgesamt kaskadenartig aufgebaute Wärmeabfuhr- bzw. Kühl-Anordnung ist die Wärme schnell und aufwandsarm, insbesondere auch ohne eine externe Kühlmittelbewegung, außerhalb der Drehanode 31 ableitbar.As a result of this overall cascaded heat dissipation or cooling arrangement, the heat is fast and low in effort, in particular even without an external coolant movement, outside the rotary anode 31 derivable.

3 zeigt eine weitere Ausbildung der Erfindung mit einer Drehanode 32, die ein Target 20.1 und eine Brennbahn 3.1 auf der Stirnwand des Anodentellers 1.1 aufweist. Der Anodenteller 1.1 weist einen Hohlraum 7.1 auf und ist als Wärmerohr ausgebildet. Dazu ist der Hohlraum 7.1 teilweise mit einer Flüssigkeit gefüllt und zumindest Teile der Innenoberfläche des Hohlraumes 7.1 weisen eine Kapillarstruktur 8.1 auf. 3 shows a further embodiment of the invention with a rotary anode 32 that is a target 20.1 and a focal track 3.1 on the front wall of the anode plate 1.1 having. The anode plate 1.1 has a cavity 7.1 on and is designed as a heat pipe. This is the cavity 7.1 partially filled with a liquid and at least parts of the inner surface of the cavity 7.1 have a capillary structure door 8.1 on.

Die Erfindung kann für verschiedenste Formen von Drehanoden angewendet werden, zum Beispiel auch für Drehkolbenröhren, die sich dadurch auszeichnen, dass das Röhrengehäuse zusammen mit der Drehanode rotiert und der Elektronenstrahl der Kathode magnetisch abgelenkt wird.The Invention can for various forms of rotary anodes are used, for example also for Rotary tubes which are characterized in that the tube housing together with the rotary anode rotated and the electron beam of the cathode is magnetically deflected becomes.

Die Erfindung lässt sich wie folgt kurz zusammenfassen: Für eine besonders effektive Anodenkühlung ist bei einer Drehanode 30; 31; 32, insbesondere für eine Hochleistungsröntgenröhre, mit einem rotierenden Anodenteller 1; 1.1 und auf dessen Oberfläche umlaufender Brennbahn 3; 3.1 zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung 14 vorgesehen, dass der Anodenteller 1; 1.1 in seinem Inneren einen Hohlraum 7; 7.1 aufweist und als Wärmerohr zur Wärmeabfuhr von dem Bereich der Brennbahn 3; 3.1 ausgebildet ist.The invention can be briefly summarized as follows: For a particularly effective anode cooling is in a rotary anode 30 ; 31 ; 32 especially for a high performance x-ray tube, having a rotating anode plate 1 ; 1.1 and on the surface of the circumferential focal path 3 ; 3.1 for generating an X-ray radiation 14 provided that the anode plate 1 ; 1.1 in its interior a cavity 7 ; 7.1 and as a heat pipe for heat removal from the region of the focal path 3 ; 3.1 is trained.

Claims

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ), in particular for a high-performance x-ray tube, having a rotating anode plate ( 1 ; 1.1 ) and on the surface of which revolving track ( 3 ; 3.1 ) for generating an X-ray radiation ( 14 ), wherein the anode plate ( 1 ; 1.1 ) in its interior a cavity ( 7 ; 7.1 ) and as a heat pipe for heat removal from the region of the focal track ( 3 ; 3.1 ) is trained.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 1, wherein the cavity ( 7 ; 7.1 ) partially with a vaporizable for heat removal working fluid ( 6 ) is filled.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 1 and / or 2, wherein the cavity ( 7 ; 7.1 ) at least a portion of its inner surface of a capillary structure ( 8th ; 8.1 ) having.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 3, wherein the capillary structure ( 8th ; 8.1 ) is formed by a metal mesh.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 3, wherein the anode plate ( 1 ; 1.1 ) is formed of a ceramic material having a porous inner surface.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to at least one of claims 1 to 5 with an anode cell tray ( 19 ), wherein a heat dissipation within the cavity ( 7 ; 7.1 ) of the anode plate ( 1 ; 1.1 ) of its anode plate outer wall in the region of the focal track ( 3 ; 3.1 ) to its anode cell bottom ( 19 ) is provided.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 6 with a to the Anodentellerboden ( 19 ) subsequent anode tube ( 2 ; 2.1 ), whereby a heat transfer ( 9 ) from the anode cell floor ( 19 ) to the anode tube ( 2 ; 2.1 ) is provided.

Rotary anode ( 31 ) according to claim 7, wherein the anode tube ( 2 ; 2.1 ) in its interior a cavity ( 17 ) and as a heat pipe with a heat dissipation from its tellerseitigem one end to his with respect to the anode plate ( 1 ) distal end is formed.

Rotary anode ( 31 ) according to claim 8, wherein the anode tube ( 2.1 ) at its in relation to the anode plate ( 1 ) distal end of a heat exchanger ( 10 ) having.

Rotary anode ( 30 ; 31 ; 32 ) according to claim 1, wherein the cavity ( 7 ; 7.1 ) of the anode plate ( 1 ; 1.1 ) is vacuum sealed.

Rotary anode ( 31 ) according to claim 8, wherein the cavity ( 17 ) of the anode tube ( 2.1 ) is vacuum sealed.