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DE102004044184B4 - Miniaturisierbarer Motor - Google Patents

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DE102004044184B4 DE102004044184A DE102004044184A DE102004044184B4 DE 102004044184 B4 DE102004044184 B4 DE 102004044184B4 DE 102004044184 A DE102004044184 A DE 102004044184A DE 102004044184 A DE102004044184 A DE 102004044184A DE 102004044184 B4 DE102004044184 B4 DE 102004044184B4
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Miniaturisierbarer Motor mit einem Rotor, welcher von einem hohlzylindrischen Piezooszillator angetrieben wird, wobei der Rotor mit einer stirnseitigen Friktionsfläche des Piezooszillators in Wirkverbindung steht und an der Oberfläche des Hohlzylinders eine Haupt- oder Gegenelektrode sowie Anregungselektroden angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der hohlzylindrische Piezooszillator aus einem monokristallinen Material mit trigonalem Kristallsystem gefertigt ist, welches drei in einem Winkel von 120° zueinander angeordnete elektrische Hauptachsen (X1, X2, X3) und eine optische Achse (Z) besitzt, die zu der von den elektrischen Achsen aufgespannten Ebene einen Winkel von 90° einschließt und welche mit der Längsachse (S) des hohlzylindrischen Piezooszillators zusammenfällt, weiterhin die axiale Symmetrieachse der jeweiligen am Außenmantel des Hohlzylinders befindlichen Anregungselektrode eine der elektrischen Hauptachsen schneidet und parallel zur optischen Achse verläuft sowie die gemeinsame Hauptelektrode auf der innenseitigen Manteloberfläche des Hohlzylinders befindlich ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen miniaturisierbaren Motor mit einem Rotor, welcher von einem hohlzylindrischen Piezooszillator angetrieben wird, wobei der Rotor mit einer stirnseitigen Friktionsfläche des Piezooszillators in Wirkverbindung steht und an der Oberfläche des Hohlzylinders eine Haupt- oder Gegenelektrode sowie Anregungselektroden angeordnet sind, gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
  • Piezo- bzw. Ultraschallmotoren mit zusammengesetzten, mittels spezieller Schrauben verbundenen Oszillatoren, beispielsweise gemäß der US-PS 4,965,482 , gehören zum Stand der Technik. Die Bauweise derartiger Motoren ist kompliziert und technologisch aufwendig, so dass dies einer gewünschten Miniaturisierung entgegensteht.
  • Ebenfalls zum Stand der Technik gehören piezoelektrische Ultraschall-Mikromotoren mit einem metallischen zylinderförmigen Oszillator und dort stoffschlüssig befestigten plattenförmigen Piezoelementen. Derartige Motorkonstruktionen besitzen den Nachteil, dass beim Betrieb eine Erweichung des die Piezoelemente mit dem Resonator verbindenden Klebstoffs stattfindet. Dies wiederum führt zu einer Verringerung des Anregungspegels des Oszillators und infolge zu einer Senkung der mechanischen Leistung. Aufgrund dieser Nachteile können derartige Motoren nicht mit den maximal möglichen Anregungsamplituden betrieben werden. Hieraus folgt wiederum eine Reduzierung der Zuverlässigkeit und eine beschränkte Einsatzmöglichkeit entsprechend realisierter Motoren. Beispielhaft sei hierzu auf die Veröffentlichung in IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., Vol. 49, Seiten 495–500, April 2002. verwiesen.
  • In der DE 199 26 010 A1 wird ein Sicherheitsmerkmal für Wert- und Sicherheitsdokumente beschrieben, wobei eine Platte als Piezoelement zum Einsatz gelangt, die eine Quarzstruktur aufweist.
  • Die DE 43 05 894 C1 beschreibt einen Schwingungsmotor mit zylinderförmigem Schwingkörper, wobei die Anregung von Eigenschwingungen in dem aus einem Hohlzylinder bestehenden Stator durch Aktoren erfolgt. Die Aktoren sind an Abflachungen der äußeren und/oder inneren Mantelfläche des Hohlzylinders angeordnet. An den Abflachungen sind insbesondere geklebte Piezo-Keramik-Aktoren vorgesehen.
  • In der Offenlegungsschrift DE 44 38 876 A1 wird ein piezoelektrischer Motor beschrieben, welcher einen Stator mit auf ihm befestigten piezoelektrischen Oszillatoren in Form eines zylindrischen Piezoelementes mit zwei Ultraschallwellengeneratoren besitzt.
  • JP 11261127 A zeigt einen Piezoaktor, der aus einem monokristallinen Material mit trigonalem Kristallsystem besteht.
  • Bei dem piezoelektrischen Ultraschallmotor nach US-PS 5,872,418 bzw. DE 195 22 072 C1 besteht der Oszillator vollständig aus einem piezokeramischen Material. Ein Nachteil einer derartigen Ausführungsform liegt in der hohen Sprödigkeit der Piezokeramik bei kleinen Durchmessern des eigentlichen Piezo-Oszillators. Diese Motoren aus dem Stand der Technik können nicht kleiner als mit einem Durchmesser von 3 mm gefertigt werden. Ein weiteres Problem besteht darin, die Friktionsfläche des Oszillators, die nur eine geringe Größe aufweist, vor dem unvermeidlichen Verschleiß zu schützen. Bereits bei Oszillatoren mit einem Durchmesser von < 6 mm entstehen erhebliche technologische Schwierigkeiten beim Aufbringen metallischer oder Glasschichten auf die Friktionsoberfläche, was zu erhöhten Herstellungskosten führt. Verzichtet man auf eine Beschichtung der Friktionsoberfläche, verringert sich die Lebensdauer der Motoren dementsprechend.
  • Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der Erfindung, einen miniaturisierbaren Motor mit einem Rotor, welcher von einem hohlzylindrischen Piezooszillator angetrieben wird und wobei der Rotor mit einer stirnseitigen Friktionsfläche des Piezooszillators in Wirkverbindung steht, anzugeben, welcher mit einer einfachen Herstellungstechnologie kostengünstig auch in hohen Stückzahlen produziert werden kann und wobei die Lebensdauer und die Langzeitstabilität derartiger Motoren den Praxiserfordernissen genügt.
  • Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt mit einem miniaturisierbaren Motor gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen.
  • Demnach liegt der Grundgedanke der Erfindung darin, einen miniaturisierbaren piezoelektrischen Motor mit einem zylindrischen Oszillator anzugeben, wobei der Oszillator aus einem piezoelektrischen Monokristall mit einer speziellen kristallografischen Orientierung gefertigt wird bzw. aus einem derartigen Material besteht.
  • Kommt ein derartiges piezoelektrisches Monokristall zum Einsatz, ist einerseits durch eine spezielle Anordnung der Elektroden mit Bezug auf die Kristallachsen die notwendige Anregung für die Funktionsweise des Motors möglich, andererseits ergibt sich aber wegen der hohen Härte des Monokristalls ein minimaler Verschleiß im Bereich der Friktionsflächen zum Antreiben des Rotors.
  • Konkret besteht der bevorzugt zur Anwendung kommende hohlzylindrische Piezooszillator aus einem monokristallinen Material mit trigonalem Kristallsystem. Ein Kristall wird dann als trigonal bezeichnet, wenn es eine dreizählige Drehachse aufweist. Bei dem zum Einsatz kommenden Material mit trigonalem Kristallsystem besitzt dieses drei in einem Winkel von 120° zueinander angeordnete elektrische Hauptachsen und eine optische Achse, die mit dem Schnittpunkt der elektrischen Achsen einen Winkel von im wesentlichen 90° einschließt und welche mit der Längsachse des hohlzylindrischen Piezooszillators zusammenfällt. Die axiale Symmetrieachse der jeweiligen Anregungselektrode bzw. Anregungselektrodenfläche schneidet eine der elektrischen Hauptachsen, wobei die jeweilige axiale Symmetrieachse parallel zur optischen Achse verlaufen kann.
  • Die Anregungselektroden des Piezooszillators sind gleich verteilt am Außenmantel des Hohlzylinders angebracht, wobei die gemeinsame Hauptelektrode auf der innenseitigen Manteloberfläche des Hohlzylinders befindlich ist.
  • Die grundsätzliche Ausführungsform des miniaturisierbaren Motors geht also von einem Oszillator in Form eines monolithischen piezoelektrischen Hohlzylinders aus, welcher mindestens an einer Stirnseite in Friktionskontakt mit einem angepressten Rotor steht und welcher eine gemeinsame Hauptelektrode und drei Anregungselektroden besitzt, die auf der Manteloberfläche des Oszillators, d. h. des Hohlzylinders angeordnet sind.
  • Bei einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Motors wird von jeder Anregungselektrode die erste Biegemode angeregt. Dabei schwingt der Oszillator in einer Ebene, die durch die optische Achse sowie die der jeweiligen Anregungselektrode entsprechenden elektrischen Achse gebildet wird.
  • Bei einer zweiten Ausführungsform des Motors wird von jeder Anregungselektrode die erste tangential-axiale Schwingungsmode im hohlzylindrischen Oszillator angeregt.
  • Eine dritte Ausführungsform des Motors ist dadurch gekennzeichnet, dass von jeder Anregungselektrode eine stehende Longitudinalwelle, d. h. eine Dehnungswelle auf dem Zylinderumfang angeregt wird.
  • Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels sowie unter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert werden.
  • Hierbei zeigen:
  • 1 eine prinzipielle Darstellung des Motors in Seitenansicht;
  • 2 eine Schnittdarstellung des erfindungsgemäßen Motors mit hohlzylindrischem Oszillator;
  • 3 eine schematische Darstellung eines piezoelektrischen Kristalls mit einem trigonalen Kristallsystem in rhomboetrischer Aufstellung;
  • 4 Orientierungen des Piezoelements des antreibenden Oszillators in Bezug auf die definierten Kristallachsen;
  • 5 die Anordnung der Elektroden auf dem hohlzylindrischen Piezooszillator;
  • 6 eine stirnseitige Ansicht des hohlzylindrischen Piezooszillators;
  • 7 eine beispielhafte Beschaltung des Oszillators mit einer elektrischen Anregungsquelle;
  • 8 eine Darstellung der Oszillatorschwingungen beim Anregen der Biegemode;
  • 9 eine Darstellung von Oszillatorschwingungen beim Anregen der tangential-axialen Mode und
  • 10 eine Darstellung von Oszillatorschwingungen beim Anregungen der Longitudinalwelle auf dem Umfang des Hohlzylinders.
  • Bei der bevorzugten Ausführungsform des Motors gemäß dem nachstehend näher erläuterten Ausführungsbeispiel wird von einem monolithischen piezoelektrischen Hohlzylinder ausgegangen, der an mindestens einer Stirnseite in Friktionskontakt mit einem dort angepressten Rotor steht. Der piezoelektrische Hohlzylinder weist eine gemeinsame Hauptelektrode an der Innenoberfläche des Zylinders und drei Anregungselektroden an der Außenoberfläche des Zylindermantels auf.
  • Der Piezooszillator besteht aus einem piezoelektrischen Monokristall mit einem trigonalen Kristallsystem. Ein derartiger piezoelektrischer Monokristall mit trigonalem Kristallsystem besitzt drei elektrische Haupt- sowie eine optische Achse. Die elektrischen Achsen sind zueinander unter einem Winkel von 120° angeordnet. Sie bilden mit der optischen Achse unter Hinweis auf die 4 und 6 einen Winkel von 90°. Der piezoelektrische Kristall ist dabei so orientiert, dass die optische Achse mit der Längsachse des zylindrischen Oszillators zusammenfällt. Die Anordnung der drei Anregungselektroden ist so gewählt, dass die axiale Symmetrieachse jeder Elektrode eine der elektrischen Hauptachsen des Monokristalls schneidet, gleichzeitig aber parallel zur optischen Achse des Monokristalls verläuft.
  • Der miniaturisierbare Motor nach den 1 und 2 weist zunächst einen Oszillator 1 auf, welcher als monolithisches piezoelektrisches hohlzylindrisches Piezoelement 2 ausgeführt ist.
  • An der inneren Mantelfläche des piezoelektrischen Elements 2 befindet sich die gemeinsame Hauptelektrode 3.
  • Die äußere Mantelfläche nimmt die drei Anregungselektroden 4, 5 und 6 auf. An den zwei gegenüberliegenden Stirnseiten 7 des Oszillators 1 sind mit Hilfe von elastischen Elementen 8 Friktionsscheiben 9 als Bestandteil des Rotors 12 angepresst. Die Friktionsscheiben 9 sind an der Rotorwelle 11 mit Hilfe einer Buchsenanordnung 12 fixiert.
  • Zur Gewährleistung eines ausreichenden Friktionskontakts ist der Oszillator 1 mit zwei konischen Friktionsflächen 13 versehen. Entsprechend komplementäre konische Flächen 14 sind an den Friktionsscheiben 9 ausgebildet, wobei diese in Kontakt mit den konischen Flächen 13 des Oszillators 1 stehen.
  • Die Friktionsscheiben 9 werden bevorzugt aus einem verschleißfesten Werkstoff hergestellt, z. B. aus Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid oder ähnlichen Materialien.
  • Die elastischen Elemente 8 können als Ringe aus einem Silikongummimaterial oder aus einem ähnlichen Werkstoff realisiert werden. Auch ist denkbar, die elastischen Elemente 8 als flache Tellerfeder auszuführen.
  • Das Piezoelement 2 wird aus einem piezoelektrischen Monokristall mit trigonalem Kristallsystem gefertigt, z. B. aus kristallinem Quarz (SiO2), Lithiumniobat (LiNbO3), Lithiumtantalat (LiTaO3), Langasit (La3Ga5SiO14) oder ähnlichen Werkstoffen.
  • Kristalle mit einem solchen Kristallsystem besitzen eine optische Achse Z sowie drei gleichwertige elektrische Hauptachsen X1, X2 und X3, die zueinander unter einem Winkel von 120° angeordnet sind und die mit der optischen Achse einen Winkel von 90° einschließen. Verwiesen sei hierzu auf die schematische Darstellung eines derartigen trigonalen Kristallsystems gemäß 3.
  • Unter der optischen Kristallachse Z wird die Kristallrichtung verstanden, bei der es keinen inversen piezoelektrischen Effekt gibt oder der nur im Vergleich zur anderen kristallografischen Orientierungen sehr schwach in Erscheinung tritt.
  • Unter der elektrischen Achse versteht man diejenige Kristallrichtung, in der der inverse piezoelektrische Effekt einen maximalen Wert aufweist.
  • Das Piezoelement 2 des miniaturisierbaren Motors wird, wie aus den Figuren ersichtlich, als Hohlzylinder aus dem erwähnten Kristallmaterial gefertigt, wobei die Orientierung des Zylinders in Bezug auf die Kristallachsen Z, X1, X2 und X3 in 4 gezeigt ist. Wesentlich dabei ist, dass die Axialachse S des Piezoelements 2 bzw. des Oszillators 1 mit der optischen Achse Z des Monokristalls zusammenfällt.
  • Die Elektroden 3, 4, 5 und 6 des Oszillators sind als dünne, auf die Mantelfläche des hohlzylindrischen Oszillators aufgebrachte Metallschichten gemäß den 2, 5 und 6 ausgeführt.
  • Als gemeinsame Hauptelektrode 3 des Oszillators 1 dient eine vollständig metallisierte innere Manteloberfläche des Piezoelements 2.
  • Die Anregungselektroden 4, 5 und 6 sind als metallisierte Sektoren der äußeren Manteloberfläche des Piezoelements 2 realisiert, wobei ihre räumliche Lage zueinander in einem Winkel von jeweils 120° steht.
  • Die axiale Symmetrieachse E1, E2 und E3 jeder Anregungselektrode schneidet die entsprechende elektrische Hauptachse X1, X2 oder X3 des piezoelektrischen Monokristalls und verläuft parallel zur optischen Achse Z, wie dies in 6 für die Achsen E1, E2 dargestellt ist.
  • 7 zeigt eine prinzipielle elektrische Beschaltung des erfindungsgemäßen miniaturisierbaren Piezomotors mit einer dreiphasigen elektrischen Anregungsquelle 15 und den hieraus resultierenden phasenverschobenen Spannungen U1, U2 und U3.
  • 8 symbolisiert zwei Schwingungsphasen des Oszillators, dargestellt beim Anregen der Biegemode mit Hilfe einer der Anregungselektroden.
  • Schwingungsphasen des Oszillators beim Anregen der tangential-axialen Schwingungsmode mit Hilfe einer der Anregungselektroden sind in der 9 gezeigt, wobei die 10 zwei Schwingungsphasen des Oszillators symbolisiert, die bei Anregung von Longitudinalwellen auf dem Umfang des Zylinders mit Hilfe einer der Anregungselektroden entstehen.
  • Der vorbeschriebene miniaturisierbare piezoelektrische Motor stellt einen dreiphasigen Wanderwellenmotor dar, wobei die Wanderwelle durch die Überlagerung von drei stehenden Wellen erzeugt wird.
  • Zum Betreiben des vorgestellten Motors können drei Typen von stehenden Wellen herangezogen werden. Zum einen die Biegemode, d. h. die λ/2 Biegung des Zylinders entlang seiner Längsachse. Diese Mode ruft Schwingungen des Oszillators in der durch die optische Achse Z sowie die der angesteuerten Elektrode entsprechenden elektrischen Achse X (8) hervor.
  • Ebenso ist ein Betrieb über Anregen der ersten tangential-axialen Schwingungsmode nach 9 oder mittels Longitudinalwelle auf dem Umfang des Zylinders als Vielfaches der Wellenlänge λ möglich.
  • Der Ort der im Oszillator angeregten stehenden Welle wird durch das Verhältnis der Höhe des Oszillators H zum Durchmesser des Oszillators D bestimmt.
  • Zur Anregung der ersten Biegemode beträgt dieses Verhältnis beispielsweise 4, zur Anregung der ersten tangential-axialen Mode 0,9 sowie 0,5 bei der Anregung einer Longitudinalwelle auf dem Umfang des Zylinders. Die Wandstärke des Zylinders beträgt in den vorstehend beschriebenen Fällen ca. D/6.
  • Wie erläutert, beruht das Funktionsprinzip des Motors auf Anregung einer Wanderwelle im Oszillator. Als Ergebnis dieser Anregung bewegen sich Punkte an den Stirnseiten des Oszillators entlang elliptischer Bahnen. Die Wanderwelle wird hier als das Resultat einer Überlagerung dreier stehender Wellen mit gleichen Amplituden erzeugt, wobei die räumliche Verschiebung der stehenden Wellen zueinander λ/3 und ihre zeitliche Verschiebung 120° beträgt.
  • Jede von diesen drei stehenden Wellen wird von einer der Anregungselektroden 4, 5 oder 6 erzeugt. Die Amplitudengleichheit der stehenden Wellen ist durch die Orientierung des Monokristalls bezüglich der Anregungselektroden 4, 5 und 6 bedingt.
  • Zur gleichzeitigen Anregung dreier stehender Wellen wird der Oszillator an eine dreiphasige elektrische Spannungsquelle 15 (7) mit 120° Phasenunterschied zwischen den Phasen angeschlossen.
  • Jede Phase regt im Oszillator unabhängig von den beiden anderen Phasen eine stehende Welle an, deren Typ vom Verhältnis H/D bestimmt wird. Im Ergebnis einer solchen Überlagerung wird im Oszillator von den drei stehenden Wellen eine laufende Welle erzeugt, so dass die Punkte der Friktionsoberflächen 13 des Oszillators 1 die vorerwähnten elliptischen Bahnen durchlaufen.
  • Die an den Oszillator 1 angepressten Friktionsscheiben 9 erfahren hierdurch eine Drehbewegung, die über die kraftübertragenden, elastischen Elemente 8 an die Rotorwelle 11 weitergegeben wird.
  • Im Sinne der anzustrebenden kleinen Gesamtabmessungen des Motors wird dieser ohne ein den Oszillator 1 stützendes Gehäuse gefertigt. Die Befestigung des Motors geschieht z. B. durch Kleben oder Löten an einer Außenelektrode.
  • Wie erläutert, wird der miniaturisierbare Motor gemäß der Erfindung aus einem sehr harten Monokristall hergestellt. Ein solcher monokristalliner Oszillator besitzt eine sehr hohe Festigkeit und kann in kleinen Abmessungen gefertigt werden. Bei Ausführungsvarianten realisierter Motoren kann der Oszillator einen Durchmesser von weniger als 1 mm besitzen. Die Fertigung eines monokristallinen Oszillators erfolgt nach ausreichend beherrschten Fertigungstechnologien von z. B. Quarzresonatoren.
  • Die Friktionsoberfläche des vorgestellten monokristallinen Oszillators bedarf keiner speziellen abriebfesten Schutzbeschichtung, da bereits die Härte des Monokristalls außerordentlich hoch ist und daher die gewünschte Verschleißfestigkeit eintritt. Der Verschleiß der Friktionsoberfläche in einem derartigen Oszillator findet darüber hinaus in Richtung der optischen Achse statt, d. h. in Richtung der größten Härte, was zusätzlich die Zuverlässigkeit des Motors und seine Lebensdauer erhöht.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Oszillator
    2
    Piezoelement
    3
    gemeinsame Hauptelektrode
    4
    Anregungselektrode
    5
    Anregungselektrode
    6
    Anregungselektrode
    7
    Stirnseite des Oszillators
    8
    elastisches Element
    9
    Friktionsscheibe
    10
    Rotor
    11
    Welle
    12
    Buchse
    13
    Friktionsoberfläche des Oszillators
    14
    Friktionsoberfläche der Scheibe 9
    15
    dreiphasige elektrische Spannungsquelle

Claims (6)

  1. Miniaturisierbarer Motor mit einem Rotor, welcher von einem hohlzylindrischen Piezooszillator angetrieben wird, wobei der Rotor mit einer stirnseitigen Friktionsfläche des Piezooszillators in Wirkverbindung steht und an der Oberfläche des Hohlzylinders eine Haupt- oder Gegenelektrode sowie Anregungselektroden angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der hohlzylindrische Piezooszillator aus einem monokristallinen Material mit trigonalem Kristallsystem gefertigt ist, welches drei in einem Winkel von 120° zueinander angeordnete elektrische Hauptachsen (X1, X2, X3) und eine optische Achse (Z) besitzt, die zu der von den elektrischen Achsen aufgespannten Ebene einen Winkel von 90° einschließt und welche mit der Längsachse (S) des hohlzylindrischen Piezooszillators zusammenfällt, weiterhin die axiale Symmetrieachse der jeweiligen am Außenmantel des Hohlzylinders befindlichen Anregungselektrode eine der elektrischen Hauptachsen schneidet und parallel zur optischen Achse verläuft sowie die gemeinsame Hauptelektrode auf der innenseitigen Manteloberfläche des Hohlzylinders befindlich ist.
  2. Miniaturisierbarer Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anregungselektroden gleich verteilt am Außenmantel des Hohlzylinders angeordnet sind.
  3. Miniaturisierbarer Motor nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an den Stirnseiten des Hohlzylinders jeweils eine konische Friktionsfläche ausgebildet ist, welche jeweils mit einem komplementären Konus einer Friktionsscheibe zum Antreiben des Rotors zusammenwirkt.
  4. Miniaturisierbarer Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von jeder Anregungselektrode die erste Biegemode des Zylinders entlang seiner Längsachse angeregt wird, wobei der Piezooszillator in einer Ebene schwingt, die durch die optische sowie die der jeweiligen angesteuerten Anregungselektrode entsprechenden elektrischen Achse gebildet wird.
  5. Miniaturisierbarer Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von jeder Anregungselektrode im Piezooszillator die erste tangential-axiale Schwingungsmode angeregt wird.
  6. Miniaturisierbarer Motor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass von jeder Anregungselektrode im Piezooszillator eine stehende Longitudinalwelle auf dem Umfang des Hohlzylinders angeregt wird.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102024102684A1 (de) * 2024-01-31 2025-07-31 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Winkelstellvorrichtung

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008023478A1 (de) * 2007-11-08 2009-05-14 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultraschalllinearantrieb mit hohlzylindrischem Oszillator
TWI408888B (zh) * 2008-08-07 2013-09-11 Ind Tech Res Inst 超音波線性馬達
WO2011125579A1 (ja) * 2010-03-31 2011-10-13 株式会社ニコン モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置
US20120268910A1 (en) * 2011-04-20 2012-10-25 Golko Albert J Piezoelectric vibrator with double-ended shaft support
CN102355157B (zh) * 2011-10-10 2014-02-12 哈尔滨工业大学 压电片夹心式旋转直线超声电机定子
JP2013084780A (ja) * 2011-10-11 2013-05-09 Olympus Corp 圧電素子及び圧電アクチュエータ
JP2013179786A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Olympus Corp 圧電素子及び圧電アクチュエータ
WO2013054789A1 (ja) * 2011-10-11 2013-04-18 オリンパス株式会社 圧電素子及び圧電アクチュエータ
TWI574439B (zh) * 2011-12-30 2017-03-11 晶緻材料科技私人有限公司 多樁式致動器及其製造方法及使用該多樁式致動器的衍生設備、壓電式馬達、微型馬達
US8574295B2 (en) 2012-01-17 2013-11-05 Vista Ocular, Llc Accommodating intra-ocular lens system
DE102012202727B4 (de) * 2012-02-22 2015-07-02 Vectron International Gmbh Verfahren zur Verbindung eines ersten elektronischen Bauelements mit einem zweiten Bauelement
US10702375B2 (en) 2015-09-18 2020-07-07 Vista Ocular, Llc Electromyographic sensing and vision modification
DE102020114219A1 (de) 2020-05-27 2021-12-02 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Ultraschallaktor

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965482A (en) * 1988-06-17 1990-10-23 Nec Corporation Ultrasonic motor and method of adjusting the same
DE4305894C1 (de) * 1993-02-26 1994-08-18 Daimler Benz Ag Schwingungsanregung bei einem Schwingungsmotor mit zylinderförmigem Schwingkörper
DE4438876A1 (de) * 1994-10-31 1996-05-02 Pi Ceramic Piezoelektrischer Motor
DE19522072C1 (de) * 1995-06-17 1997-02-06 Pi Ceramic Gmbh Piezoelektrischer Motor
US5872418A (en) * 1994-10-31 1999-02-16 Pi Ceramic Gmbh Piezoelectric motor
JPH11261127A (ja) * 1998-03-10 1999-09-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電部品、圧電センサおよび圧電アクチュエータ、ならびにインクジェットプリンタヘッド
DE19926010A1 (de) * 1999-06-08 2000-12-14 Bundesdruckerei Gmbh Piezo-Effekt-basiertes Sicherheitsmerkmal an Wert- und Sicherheitsdokumenten und dazugehöriges Nachweisverfahren

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2838696A (en) * 1955-08-15 1958-06-10 Bell Telephone Labor Inc Torsional transducers of ethylene diamine tartrate and dipotassium tartrate
US3858065A (en) * 1970-12-31 1974-12-31 Becton Dickinson Co Annular 3m class piezoelectric crystal transducer
SE436675B (sv) * 1975-08-12 1985-01-14 Ki Politekhnichsky I Im 50 Let Elektrisk motor driven genom piezoelektriska krafter
US4087715A (en) * 1976-11-18 1978-05-02 Hughes Aircraft Company Piezoelectric electromechanical micropositioner
JPS63181010A (ja) * 1987-01-22 1988-07-26 Nec Corp 小角度回転駆動装置
JP2729827B2 (ja) * 1989-03-06 1998-03-18 株式会社トーキン 超音波モータ
US5323082A (en) * 1989-05-03 1994-06-21 Spectra Physics Lasers, Inc. Piezoelectric actuator for planar alignment
JPH03112374A (ja) * 1989-09-22 1991-05-13 Fuji Elelctrochem Co Ltd 圧電アクチュエータ
JPH0757108B2 (ja) * 1990-06-22 1995-06-14 日本電信電話株式会社 移動テーブル及びその駆動方法
JP3112374B2 (ja) * 1993-06-30 2000-11-27 富士写真フイルム株式会社 記録材料
JPH08247770A (ja) * 1995-03-14 1996-09-27 Murata Mfg Co Ltd 振動ジャイロ
US7118356B2 (en) * 2002-10-02 2006-10-10 Nanyang Technological University Fluid pump with a tubular driver body capable of selective axial expansion and contraction

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965482A (en) * 1988-06-17 1990-10-23 Nec Corporation Ultrasonic motor and method of adjusting the same
DE4305894C1 (de) * 1993-02-26 1994-08-18 Daimler Benz Ag Schwingungsanregung bei einem Schwingungsmotor mit zylinderförmigem Schwingkörper
DE4438876A1 (de) * 1994-10-31 1996-05-02 Pi Ceramic Piezoelektrischer Motor
US5872418A (en) * 1994-10-31 1999-02-16 Pi Ceramic Gmbh Piezoelectric motor
DE19522072C1 (de) * 1995-06-17 1997-02-06 Pi Ceramic Gmbh Piezoelektrischer Motor
JPH11261127A (ja) * 1998-03-10 1999-09-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電部品、圧電センサおよび圧電アクチュエータ、ならびにインクジェットプリンタヘッド
DE19926010A1 (de) * 1999-06-08 2000-12-14 Bundesdruckerei Gmbh Piezo-Effekt-basiertes Sicherheitsmerkmal an Wert- und Sicherheitsdokumenten und dazugehöriges Nachweisverfahren

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Burhanettin Koc. u.a.: A Piezoelectric Motor Using Two Orthogonal Bending Modes of a Hollow Cylinder. In: IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, Vol. 49, No 4, Seiten 495 - 500, April 2002 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102024102684A1 (de) * 2024-01-31 2025-07-31 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Winkelstellvorrichtung
DE102024102684B4 (de) * 2024-01-31 2025-08-28 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Winkelstellvorrichtung

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