[go: up one dir, main page]

DE102004038282B4 - Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen - Google Patents

Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen Download PDF

Info

Publication number
DE102004038282B4
DE102004038282B4 DE200410038282 DE102004038282A DE102004038282B4 DE 102004038282 B4 DE102004038282 B4 DE 102004038282B4 DE 200410038282 DE200410038282 DE 200410038282 DE 102004038282 A DE102004038282 A DE 102004038282A DE 102004038282 B4 DE102004038282 B4 DE 102004038282B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
range
metal substrate
light beam
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE200410038282
Other languages
English (en)
Other versions
DE102004038282A1 (de
Inventor
Thomas Dr. Orth
Wilo Dr. Flügge
Josef Prof. Dr. Pelzl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Salzgitter Flachstahl GmbH
Original Assignee
Salzgitter Flachstahl GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Salzgitter Flachstahl GmbH filed Critical Salzgitter Flachstahl GmbH
Priority to DE200410038282 priority Critical patent/DE102004038282B4/de
Publication of DE102004038282A1 publication Critical patent/DE102004038282A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102004038282B4 publication Critical patent/DE102004038282B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1717Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance

Landscapes

  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen, insbesondere dünnfilmbeschichteter verzinkter Stahlbleche dadurch gekennzeichnet, dass ein Probenstück des beschichteten Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Radiometrieverfahren unterworfen wird, wobei ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl auf das Probenstück gerichtet ist und die von der Probe emittierte Wärmestrahlung und damit die zeitliche Änderung der Oberflächentemperatur detektiert und zum Vergleich ein thermisch homogenes und ein unbeschichtetes Probenstück geprüft und von den Signalwerten der Quotient oder die Differenz gebildet wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
  • Aus Gründen des Korrosionsschutzes, des Oberflächenaussehens oder des Abriebes werden Metallsubstrate, insbesondere Stahlbleche mit einer mit Partikeln durchsetzten Beschichtung versehen. Für die Eigenschaft der Beschichtung kann die Verteilung der in einer Matrix eingebetteten Partikel von entscheidender Bedeutung sein. Eine bekannte Methode ist von Proben Schliffe anzufertigen und diese mikroskopisch zu untersuchen und anhand der Ergebnisse eine Aussage über die Partikelverteilung zu erhalten.
  • Diese Methode ist aufwändig und erfordert neben einer hohen Probenanzahl eine entsprechende Qualifikation des Untersuchenden. Oftmals ist die genaue Kenntnis der Partikelverteilung nicht erforderlich, sondern es genügt Trends von Verschiebungen, wie z. B. verstärkte Anreicherung an der Oberfläche, zu erfassen, um nötigenfalls Parameter für den Beschichtungsprozess zu verändern.
  • Aus der DE 100 13 172 A1 ist ein Verfahren bekannt, bei dem im Wege einer photothermischen Analyse eine Schichtdickenmessung einer auf ein Substrat aufgebrachten Materialschicht gemessen wird.
  • Ein weiteres Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke aber auch der Oberflächenqualität von Materialen, ist aus der DE 33 37 000 T1 bekannt. Dabei wird der Phasenwinkel von sich längs der Oberfläche ausbreitenden thermischen Wellen mit Hilfe von Temperaturdetektoren gemessen. Schließlich ist aus der US 4652757 ein Verfahren bekannt, bei dem mittels eines Anregungslasers und eines Testlasers die Veränderung der Intensität des Testlaserstrahles bestimmt wird.
  • Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen anzugeben, mit dem mit geringem Probenaufwand reproduzierbar eine qualitative Aussage über die Verteilung der Partikel in der Beschichtung möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird ausgehend vom Oberbegriff in Verbindung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind jeweils Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Nach der Lehre der Erfindung wird ein Probenstück des beschichteten Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Detektionsverfahren unterworfen. Vorzugsweise ist das Detektionsverfahren ein photothermisches Radiometrieverfahren.
  • Bei diesem Verfahren wird ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl, vorzugsweise der eines Lasers, auf das Probenstück gerichtet. Die Modulation kann pulsförmig, vorzugsweise periodisch harmonisch erfolgen. Die Verwendung einer monochromatischen Lichtquelle bietet den Vorteil einer definierten optischen Absorption.
  • Ein Infrarot-Detektor misst die von der Probe emittierte modulierte Wärmestrahlung und damit die induzierte zeitliche Änderung der Oberflächentemperatur. Um Transparenteffekte im sichtbaren und infraroten Spektrum voneinander zu trennen, wird vorteilhaft eine ergänzende Messung mit einem Photoakustik-Detektor durchgeführt. Dieser misst die durch den Wärmestrom vom Probenstück in den umgebenden Gasraum erzeugten Druck-Oszillationen. Alternativ zur Photoakustik kann als ergänzende Messung eine photothermische Strahlablenkung oder eine Thermoreflexionsmessung eingesetzt werden.
  • Die Signale werden einem Lock-In-Verstärker zugeführt, der Amplitude und Phase der Signale auf der Referenzfrequenz (Modulationsfrequenz) ausgibt. Dabei macht man sich den Effekt zu Nutze, dass die im Probenstück erzeugte thermische Welle gedämpft ist, d. h. expotentiell abklingt.
  • Die thermische Eindringtiefe ist abhängig von der Frequenz und zwar mit f–1/2. Somit kann über die Frequenz die thermische Eindringtiefe verändert werden. Auch die Phase ist durch die Frequenz steuerbar. Um den Tiefenprofilierungsbereich angemessen verändern zu können, werden die Modulationsfrequenzen im Bereich 0,03 Hz bis 100 kHz variiert.
  • Die thermische Eindringtiefe, auch als Diffusionslänge bezeichnet, ist stark von den thermischen Eigenschaften der Beschichtung und damit von der Partikelverteilung abhängig. Diesen Effekt macht man sich zu Nutze, um eine Aussage über die Art der Verteilung machen zu können. Dabei reicht in den meisten Fällen die qualitative Feststellung einer nahezu homogenen Verteilung der Partikel bzw. der verstärkten Anreicherung an der Oberfläche oder im anderen Extremfall einer Anreicherung in der Grenzschicht zum Metallsubstrat.
  • Voraussetzung für die Anwendung des vorgeschlagenen Verfahrens ist, dass der thermische Kontrast zwischen Partikel und Matrix ausreichend groß ist. Zum Vergleich lässt man ein thermisch homogenes sowie ein unbeschichtetes Probenstück mitlaufen. Bildet man den Quotienten oder die Differenz der Werte des thermisch homogenen Probenstückes zu den Werten des zu prüfenden Probenstückes, dann erhält man ein Tiefenprofil in Abhängigkeit von der Frequenz. Dies kann man für Amplitude sowie für die Phase machen.
  • Das beschriebene Verfahren kann vorteilhaft für die Beschichtung von Stahlblechen eingesetzt werden. Eine der bekannten Beschichtungsarten ist die sogenannte Zink-Dünnfilmbeschichtung. Die Beschichtungsdicke liegt im μ-Bereich, wobei in einer organischen Matrix kleine Zink partikel eingelagert sind. Diese Art der Beschichtung kann auf einem blanken oder bereits beschichteten z. B. verzinktem Stahlblech erfolgen.
  • Beim Zusammenbau der Karosserie müssen die beschichteten Stahlbleche geschweißt werden, wobei dies überwiegend durch Punktschweißen geschieht. Dabei können sich in Abhängigkeit von der Ausprägung der Beschichtung Probleme beim Schweißen ergeben. Dies gilt insbesondere für die Verteilung der Zinkpartikel in Dickenrichtung.
  • Eine schnelle Bewertungsmethode ist die Messung des Durchgangswiderstandes des beschichteten Stahlbleches. Dieses Verfahren liefert anhand von Erfahrungswerten zwar Anhaltswerte für die Schweißeignung, jedoch keine absolute Sicherheit. Eine sichere Nachweismethode für die Schweißeignung ist die Bestimmung des Schweißstrombereiches und der Elektrodenstandmenge im Versuch. Diese Methode ist aber sehr zeit- und personalaufwändig.
  • Das vorgeschlagene Verfahren ist nun besonders geeignet mit wenigen Probenstücken aus der laufenden Fertigung eine qualitative Aussage über die Partikelverteilung zu machen, um so den Beschichtungsprozess optimal steuern zu können.
  • Zur Verringerung des Messaufwandes wird zur Trennung von homogen beschichteten zu inhomogen beschichteten Proben vorgeschlagen, im Regelfall nur zwei Frequenzbereiche auszuwählen. Der eine Bereich liegt bei einer niedrigen Modulationsfrequenz, was eine große Eindringtiefe bedeutet, während der andere Bereich bei einer mittleren Modulationsfrequenz liegt.
  • In Sonderfällen kann es erforderlich sein, das Detektionsverfahren zusätzlich mit einer hohen Modulationsfrequenz durchzuführen. Vorzugsweise liegt der Bereich niedriger Modulationsfrequenz bei 0.07–0,1 (f(Hz)–1/2, der Bereich mittlerer Modulationsfrequenz bei 0,02–0,04 (f(Hz)–1/2 und der Bereich hoher Modulationsfrequenz bei 0,004–0,006 (f(Hz)–1/2.
  • Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung.
  • Es zeigen:
  • 1 eine Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Messeinrichtung,
  • 2 Darstellung der frequenzabhängigen thermischen Tiefenprofile einer homogen beschichteten Probe (Gutblech) im Vergleich zu einer inhomogen beschichteten Probe (Schlechtblech).
  • Die in 1 dargestellte erfindungsgemäße Einrichtung weist als Anregungsaggregat einen Laser 1 auf, vorzugsweise ein Argon-Ionen-Laser, dessen Intensität mittels eines Modulators 2 moduliert wird. Der intensitätsmodulierte Lichtstrahl 3 wird durch zwei Prismen 4, 5 umgelenkt auf das Probenstück 6 gerichtet. Alternativ kann auch ein Nd:YAG-Laser oder eine Laserdiode verwendet werden.
  • Die vom Probenstück 6 emittierte thermische Strahlung 7 wird mittels zweier Speziallinsen 8, 8' auf einen Infrarot-Detektor 9 gebündelt. Vorzugsweise wird dafür ein Quecksilber-Cadmium-Tellur-Detektor mit einem Empfindlichkeitsmaximum im Bereich von 10–12 μm eingesetzt. Um den Einfluss störender IR-Hintergrundstrahlung zu reduzieren, wird ein IR-Filter 14 vorzugsweise aus Germanium direkt vor dem IR-Detektor 9 angeordnet.
  • Das im Detektor 9 erzeugte Signal wird über eine Leitung 10 und einen darin angeordneten Vorverstärker 11 einem schmalbandigen Wechselspannungsverstärker (Lock-In-Verstärker) 12 zugeführt. Dieser gibt die Amplitude und Phase des Signals auf der Referenzfrequenz = Modulationsfrequenz wieder.
  • Ein Computer 13 verarbeitet die Amplituden- und Phasenwerte und erstellt je nach Anforderung verschiedene Auswertungen. Eine davon ist in 2 dargestellt.
  • In dieser beispielhaften Darstellung ist die invers nomierte IR-Amplitude SGBref/SProbe aufgetragen über der Eindringtiefe (f/Hz)–1/2) der thermischen Welle. Dabei bedeuten SGBref die IR-Amplitude einer homogen beschichteten Probe (GB = Gutblech) als Referenzprobe und SProbe die IR Amplitude einer zu untersuchenden Probe. Die Abszissenskalierung mit
    Figure 00050001
    wurde bewusst gewählt, um die von links nach rechts zunehmende Eindringtiefe zu verdeutlichen. Die durchgezogene Linie 15 zeigt den Verlauf der IR-Amplitude in Abhängigkeit von der Frequenz für ein Gutblech. Stark unterschiedlich dazu ist der mit einer gestrichelten Linie 16 dargestellte Verlauf der IR-Amplitude für ein Schlechtblech.
  • Für die Trennung und Sortierung von Gut- und Schlechtblechen empfehlen sich Messungen bei zwei, erforderlichenfalls bei drei verschiedenen Werten der Modulationsfrequenz.
  • Die Messung bei größeren Eindringtiefen, entsprechend niedrigen Frequenzen im Bereich 17 von 0,07 < (f/Hz)–1/2 < 0,1, liegt in einem Bereich, wo die Signale nicht mehr durch unterschiedliche Blechdicken beeinflusst werden.
  • Die Messung im mittleren Frequenzbereich 18 wird so gewählt – 0,02 < (f/Hz)–1/2 < 0,04 –, dass die Unterscheidung im Allgemeinen optimal wird.
  • Im Normalfall werden diese beiden Frequenzbereiche zur Unterscheidung der Gut- und Schlechtbleche ausreichen. Zur Absicherung kann aber noch ein dritter Frequenzbereich 19 gewählt werden, insbesondere wenn bei mehrfachen Messungen am gleichen Probentyp Zweifel auftreten. Diese dritte Messung sollte bei sehr kleinen Eindringtiefen, entsprechend sehr hohen Frequenzen – 0,004 < (f(Hz)–1/2 < 0,006 – durchgeführt werden. Diese dritte Messung gibt im Wesentlichen Informationen über die Unterschiede im Transparenzverhalten der Schichten und kann zur Trennung benutzt werden.
  • Bezugszeichenliste
    Figure 00070001

Claims (14)

  1. Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen, insbesondere dünnfilmbeschichteter verzinkter Stahlbleche dadurch gekennzeichnet, dass ein Probenstück des beschichteten Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Radiometrieverfahren unterworfen wird, wobei ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl auf das Probenstück gerichtet ist und die von der Probe emittierte Wärmestrahlung und damit die zeitliche Änderung der Oberflächentemperatur detektiert und zum Vergleich ein thermisch homogenes und ein unbeschichtetes Probenstück geprüft und von den Signalwerten der Quotient oder die Differenz gebildet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Photoakustik-Verfahren ergänzend durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl auf das Probenstück gerichtet ist und die durch den Wärmestrom vom Probenstück in den umgebenden Gasraum erzeugten Druck-Oszillationen gemessen werden.
  4. Verfahren nach den Ansprüchen 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass eine monochromatische Lichtquelle (Laser) verwendet wird.
  5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulation pulsförmig, vorzugsweise periodisch harmonisch, erfolgt.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenz im Bereich von 0,03 Hz bis 100 kHz variiert wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass die frequenzabhängigen Amplitudenwerte einer Probe mit idealer homogener Beschichtung als Referenz dienen und in Beziehung gesetzt werden zu Amplitudenwerten einer zu prüfenden Probe.
  8. Verfahren nach den Ansprüchen 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zur Trennung von Proben mit annähernd homogener Beschichtung von Proben mit inhomogener Beschichtung das Detektionsverfahren mindestens bei einer niedrigen und einer mittleren Modulationsfrequenz durchgeführt wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektionsverfahren zusätzlich bei einer hohen Modulationsfrequenz durchgeführt wird.
  10. Verfahren nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, dass die niedrige Modulationsfrequenz im Bereich von 0,07–0,1 (f/Hz)–1/2, die mittlere im Bereich von 0,02–0,04 (f/Hz)–1/2 und die hohe im Bereich von 0,004–0,006 (f/Hz)–1/2 liegt.
  11. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit einem hochenergetischen Lichtstrahlerzeuger, einem Modulator, einem Detektor und einer Auswerteeinheit dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtstrahlerzeuger ein Argon-Ionen-Laser (1) ist und ein akustik-optischer Modulator (2) eingesetzt wird und ein Mercury-Cadmium-Tellur-Detektor (9) Verwendung findet und vor der Auswerteeinheit (13) ein schmalbandiger Wechselspannungsverstärker (12) angeordnet und vor dem Detektor (9) ein IR-Filter (14) vorgeschaltet ist.
  12. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (1) im 500 Nanometer-Bereich arbeitet.
  13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator (2) einen Veränderungsbereich der Frequenz von 0,03 Hz bis 100 kHz aufweist.
  14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 11–13, dadurch gekennzeichnet, dass die zwischen dem Probenstück (6) und dem Detektor (9) angeordneten Linsen (8, 8'), Speziallinsen aus Barium-Florid sind.
DE200410038282 2004-08-03 2004-08-03 Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen Expired - Fee Related DE102004038282B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410038282 DE102004038282B4 (de) 2004-08-03 2004-08-03 Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410038282 DE102004038282B4 (de) 2004-08-03 2004-08-03 Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102004038282A1 DE102004038282A1 (de) 2006-03-16
DE102004038282B4 true DE102004038282B4 (de) 2006-09-14

Family

ID=35853394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200410038282 Expired - Fee Related DE102004038282B4 (de) 2004-08-03 2004-08-03 Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102004038282B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107941708A (zh) * 2017-11-14 2018-04-20 电子科技大学 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114324458B (zh) * 2021-12-27 2024-05-03 上海交通大学 界面热导测试样品及其形成方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3337000T1 (de) * 1982-03-15 1984-02-09 Ari Helsinki Lehto Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung der Oberflächenqualität von festen Materialien
US4543486A (en) * 1983-05-20 1985-09-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like
US4652757A (en) * 1985-08-02 1987-03-24 At&T Technologies, Inc. Method and apparatus for optically determining defects in a semiconductor material
DE4037391A1 (de) * 1989-12-28 1991-07-04 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zur thermowellenanalyse von schichtsystemen
DE10013172A1 (de) * 2000-03-17 2001-09-27 Wagner Internat Ag Altstaetten Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3337000T1 (de) * 1982-03-15 1984-02-09 Ari Helsinki Lehto Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung der Oberflächenqualität von festen Materialien
US4543486A (en) * 1983-05-20 1985-09-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like
US4652757A (en) * 1985-08-02 1987-03-24 At&T Technologies, Inc. Method and apparatus for optically determining defects in a semiconductor material
DE4037391A1 (de) * 1989-12-28 1991-07-04 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zur thermowellenanalyse von schichtsystemen
DE10013172A1 (de) * 2000-03-17 2001-09-27 Wagner Internat Ag Altstaetten Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107941708A (zh) * 2017-11-14 2018-04-20 电子科技大学 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜

Also Published As

Publication number Publication date
DE102004038282A1 (de) 2006-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3034944C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur photothermischen Struktur-Untersuchung fester Körper
DE2953286A1 (en) Photoacoustic or thermoacoustic microscopy
AT513863B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Konzentration einer fluoreszierenden Substanz in einem Medium
WO2017125374A1 (de) Vorrichtung zur detektion und charakterisierung von organischen molekülen in einem flüssigen probenvolumen
EP1301774B1 (de) Verfahren zum nachweis von polynucleotidsequenzen
DE102004038282B4 (de) Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen
WO1992006366A1 (de) Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
DE102012017185B3 (de) Sensoranordnung
DE3819900C2 (de)
DE102009053306B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Anregungsstrahlung und Einrichtung zur Analyse einer Probe
WO2014118154A1 (de) Prüfverfahren und prüfvorrichtung für oberflächen
DE10042003B4 (de) Materialprüfvorrichtung und deren Verwendung
DE102005003878B3 (de) Messvorrichtung zum Messen photokatalytischer Aktivität einer photokatalytischen Schicht
DE102021100321B4 (de) SPR-Sensoreinheit und Verfahren zur Bestimmung des Brechungsindex eines Proben-mediums sowie Messeinrichtung zur Erfassung der Dichte eines Messmediums
DE3814606C2 (de)
DE19931128A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Korrosionsschutzwirkung von Beschichtungen und Inhibitoren
DE102015205400A1 (de) Verfahren und System zur Untersuchung des Polymerisationsgrads eines aushärtbaren Polymers
DE10207692B4 (de) Verfahren zur Prüfung der Qualität einer Haft- oder Klebeverbindung in einer Mehrschichtanordnung
EP2693197A1 (de) Detektorkopf
DE19616245C2 (de) Verfahren und Anordnung zum zerstörungsfreien, berührungslosen Prüfen und/oder Bewerten von Festkörpern, Flüssigkeiten, Gasen und Biomaterialien
EP0824687A1 (de) Untersuchungsverfahren zur erkennung von spannungszuständen in einem festkörper
WO2005085833A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bewitterung und gleichzeitigen ultraschallanalyse von proben
DE102016202971A1 (de) Ellipsometervorrichtung und Ellipsometrieverfahren zur Untersuchung einer Probe
EP4671734A1 (de) System und verfahren zum bestimmen eines masses für eine absorption einer probe
EP2693203A1 (de) Verfahren zum berührungslosen Bestimmen einer Eigenschaft eines Gegenstands

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110301