DE102004038282B4 - Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen - Google Patents
Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004038282B4 DE102004038282B4 DE200410038282 DE102004038282A DE102004038282B4 DE 102004038282 B4 DE102004038282 B4 DE 102004038282B4 DE 200410038282 DE200410038282 DE 200410038282 DE 102004038282 A DE102004038282 A DE 102004038282A DE 102004038282 B4 DE102004038282 B4 DE 102004038282B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- range
- metal substrate
- light beam
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 229910001335 Galvanized steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000008397 galvanized steel Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000003739 radiometry method Methods 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 13
- 238000011835 investigation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
Landscapes
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Verfahren
zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln
durchsetzter Beschichtungen, insbesondere dünnfilmbeschichteter verzinkter
Stahlbleche dadurch gekennzeichnet, dass ein Probenstück des beschichteten
Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Radiometrieverfahren
unterworfen wird, wobei ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl
auf das Probenstück
gerichtet ist und die von der Probe emittierte Wärmestrahlung und damit die
zeitliche Änderung
der Oberflächentemperatur
detektiert und zum Vergleich ein thermisch homogenes und ein unbeschichtetes
Probenstück
geprüft
und von den Signalwerten der Quotient oder die Differenz gebildet
wird.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
- Aus Gründen des Korrosionsschutzes, des Oberflächenaussehens oder des Abriebes werden Metallsubstrate, insbesondere Stahlbleche mit einer mit Partikeln durchsetzten Beschichtung versehen. Für die Eigenschaft der Beschichtung kann die Verteilung der in einer Matrix eingebetteten Partikel von entscheidender Bedeutung sein. Eine bekannte Methode ist von Proben Schliffe anzufertigen und diese mikroskopisch zu untersuchen und anhand der Ergebnisse eine Aussage über die Partikelverteilung zu erhalten.
- Diese Methode ist aufwändig und erfordert neben einer hohen Probenanzahl eine entsprechende Qualifikation des Untersuchenden. Oftmals ist die genaue Kenntnis der Partikelverteilung nicht erforderlich, sondern es genügt Trends von Verschiebungen, wie z. B. verstärkte Anreicherung an der Oberfläche, zu erfassen, um nötigenfalls Parameter für den Beschichtungsprozess zu verändern.
- Aus der
DE 100 13 172 A1 ist ein Verfahren bekannt, bei dem im Wege einer photothermischen Analyse eine Schichtdickenmessung einer auf ein Substrat aufgebrachten Materialschicht gemessen wird. - Ein weiteres Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke aber auch der Oberflächenqualität von Materialen, ist aus der
DE 33 37 000 T1 bekannt. Dabei wird der Phasenwinkel von sich längs der Oberfläche ausbreitenden thermischen Wellen mit Hilfe von Temperaturdetektoren gemessen. Schließlich ist aus derUS 4652757 ein Verfahren bekannt, bei dem mittels eines Anregungslasers und eines Testlasers die Veränderung der Intensität des Testlaserstrahles bestimmt wird. - Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen anzugeben, mit dem mit geringem Probenaufwand reproduzierbar eine qualitative Aussage über die Verteilung der Partikel in der Beschichtung möglich ist.
- Diese Aufgabe wird ausgehend vom Oberbegriff in Verbindung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind jeweils Gegenstand von Unteransprüchen.
- Nach der Lehre der Erfindung wird ein Probenstück des beschichteten Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Detektionsverfahren unterworfen. Vorzugsweise ist das Detektionsverfahren ein photothermisches Radiometrieverfahren.
- Bei diesem Verfahren wird ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl, vorzugsweise der eines Lasers, auf das Probenstück gerichtet. Die Modulation kann pulsförmig, vorzugsweise periodisch harmonisch erfolgen. Die Verwendung einer monochromatischen Lichtquelle bietet den Vorteil einer definierten optischen Absorption.
- Ein Infrarot-Detektor misst die von der Probe emittierte modulierte Wärmestrahlung und damit die induzierte zeitliche Änderung der Oberflächentemperatur. Um Transparenteffekte im sichtbaren und infraroten Spektrum voneinander zu trennen, wird vorteilhaft eine ergänzende Messung mit einem Photoakustik-Detektor durchgeführt. Dieser misst die durch den Wärmestrom vom Probenstück in den umgebenden Gasraum erzeugten Druck-Oszillationen. Alternativ zur Photoakustik kann als ergänzende Messung eine photothermische Strahlablenkung oder eine Thermoreflexionsmessung eingesetzt werden.
- Die Signale werden einem Lock-In-Verstärker zugeführt, der Amplitude und Phase der Signale auf der Referenzfrequenz (Modulationsfrequenz) ausgibt. Dabei macht man sich den Effekt zu Nutze, dass die im Probenstück erzeugte thermische Welle gedämpft ist, d. h. expotentiell abklingt.
- Die thermische Eindringtiefe ist abhängig von der Frequenz und zwar mit f–1/2. Somit kann über die Frequenz die thermische Eindringtiefe verändert werden. Auch die Phase ist durch die Frequenz steuerbar. Um den Tiefenprofilierungsbereich angemessen verändern zu können, werden die Modulationsfrequenzen im Bereich 0,03 Hz bis 100 kHz variiert.
- Die thermische Eindringtiefe, auch als Diffusionslänge bezeichnet, ist stark von den thermischen Eigenschaften der Beschichtung und damit von der Partikelverteilung abhängig. Diesen Effekt macht man sich zu Nutze, um eine Aussage über die Art der Verteilung machen zu können. Dabei reicht in den meisten Fällen die qualitative Feststellung einer nahezu homogenen Verteilung der Partikel bzw. der verstärkten Anreicherung an der Oberfläche oder im anderen Extremfall einer Anreicherung in der Grenzschicht zum Metallsubstrat.
- Voraussetzung für die Anwendung des vorgeschlagenen Verfahrens ist, dass der thermische Kontrast zwischen Partikel und Matrix ausreichend groß ist. Zum Vergleich lässt man ein thermisch homogenes sowie ein unbeschichtetes Probenstück mitlaufen. Bildet man den Quotienten oder die Differenz der Werte des thermisch homogenen Probenstückes zu den Werten des zu prüfenden Probenstückes, dann erhält man ein Tiefenprofil in Abhängigkeit von der Frequenz. Dies kann man für Amplitude sowie für die Phase machen.
- Das beschriebene Verfahren kann vorteilhaft für die Beschichtung von Stahlblechen eingesetzt werden. Eine der bekannten Beschichtungsarten ist die sogenannte Zink-Dünnfilmbeschichtung. Die Beschichtungsdicke liegt im μ-Bereich, wobei in einer organischen Matrix kleine Zink partikel eingelagert sind. Diese Art der Beschichtung kann auf einem blanken oder bereits beschichteten z. B. verzinktem Stahlblech erfolgen.
- Beim Zusammenbau der Karosserie müssen die beschichteten Stahlbleche geschweißt werden, wobei dies überwiegend durch Punktschweißen geschieht. Dabei können sich in Abhängigkeit von der Ausprägung der Beschichtung Probleme beim Schweißen ergeben. Dies gilt insbesondere für die Verteilung der Zinkpartikel in Dickenrichtung.
- Eine schnelle Bewertungsmethode ist die Messung des Durchgangswiderstandes des beschichteten Stahlbleches. Dieses Verfahren liefert anhand von Erfahrungswerten zwar Anhaltswerte für die Schweißeignung, jedoch keine absolute Sicherheit. Eine sichere Nachweismethode für die Schweißeignung ist die Bestimmung des Schweißstrombereiches und der Elektrodenstandmenge im Versuch. Diese Methode ist aber sehr zeit- und personalaufwändig.
- Das vorgeschlagene Verfahren ist nun besonders geeignet mit wenigen Probenstücken aus der laufenden Fertigung eine qualitative Aussage über die Partikelverteilung zu machen, um so den Beschichtungsprozess optimal steuern zu können.
- Zur Verringerung des Messaufwandes wird zur Trennung von homogen beschichteten zu inhomogen beschichteten Proben vorgeschlagen, im Regelfall nur zwei Frequenzbereiche auszuwählen. Der eine Bereich liegt bei einer niedrigen Modulationsfrequenz, was eine große Eindringtiefe bedeutet, während der andere Bereich bei einer mittleren Modulationsfrequenz liegt.
- In Sonderfällen kann es erforderlich sein, das Detektionsverfahren zusätzlich mit einer hohen Modulationsfrequenz durchzuführen. Vorzugsweise liegt der Bereich niedriger Modulationsfrequenz bei 0.07–0,1 (f(Hz)–1/2, der Bereich mittlerer Modulationsfrequenz bei 0,02–0,04 (f(Hz)–1/2 und der Bereich hoher Modulationsfrequenz bei 0,004–0,006 (f(Hz)–1/2.
- Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung.
- Es zeigen:
-
1 eine Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Messeinrichtung, -
2 Darstellung der frequenzabhängigen thermischen Tiefenprofile einer homogen beschichteten Probe (Gutblech) im Vergleich zu einer inhomogen beschichteten Probe (Schlechtblech). - Die in
1 dargestellte erfindungsgemäße Einrichtung weist als Anregungsaggregat einen Laser1 auf, vorzugsweise ein Argon-Ionen-Laser, dessen Intensität mittels eines Modulators2 moduliert wird. Der intensitätsmodulierte Lichtstrahl3 wird durch zwei Prismen4 ,5 umgelenkt auf das Probenstück6 gerichtet. Alternativ kann auch ein Nd:YAG-Laser oder eine Laserdiode verwendet werden. - Die vom Probenstück
6 emittierte thermische Strahlung7 wird mittels zweier Speziallinsen8 ,8' auf einen Infrarot-Detektor9 gebündelt. Vorzugsweise wird dafür ein Quecksilber-Cadmium-Tellur-Detektor mit einem Empfindlichkeitsmaximum im Bereich von 10–12 μm eingesetzt. Um den Einfluss störender IR-Hintergrundstrahlung zu reduzieren, wird ein IR-Filter14 vorzugsweise aus Germanium direkt vor dem IR-Detektor9 angeordnet. - Das im Detektor
9 erzeugte Signal wird über eine Leitung10 und einen darin angeordneten Vorverstärker11 einem schmalbandigen Wechselspannungsverstärker (Lock-In-Verstärker)12 zugeführt. Dieser gibt die Amplitude und Phase des Signals auf der Referenzfrequenz = Modulationsfrequenz wieder. - Ein Computer
13 verarbeitet die Amplituden- und Phasenwerte und erstellt je nach Anforderung verschiedene Auswertungen. Eine davon ist in2 dargestellt. - In dieser beispielhaften Darstellung ist die invers nomierte IR-Amplitude SGBref/SProbe aufgetragen über der Eindringtiefe (f/Hz)–1/2) der thermischen Welle. Dabei bedeuten SGBref die IR-Amplitude einer homogen beschichteten Probe (GB = Gutblech) als Referenzprobe und SProbe die IR Amplitude einer zu untersuchenden Probe. Die Abszissenskalierung mitwurde bewusst gewählt, um die von links nach rechts zunehmende Eindringtiefe zu verdeutlichen. Die durchgezogene Linie
15 zeigt den Verlauf der IR-Amplitude in Abhängigkeit von der Frequenz für ein Gutblech. Stark unterschiedlich dazu ist der mit einer gestrichelten Linie16 dargestellte Verlauf der IR-Amplitude für ein Schlechtblech. - Für die Trennung und Sortierung von Gut- und Schlechtblechen empfehlen sich Messungen bei zwei, erforderlichenfalls bei drei verschiedenen Werten der Modulationsfrequenz.
- Die Messung bei größeren Eindringtiefen, entsprechend niedrigen Frequenzen im Bereich
17 von 0,07 < (f/Hz)–1/2 < 0,1, liegt in einem Bereich, wo die Signale nicht mehr durch unterschiedliche Blechdicken beeinflusst werden. - Die Messung im mittleren Frequenzbereich
18 wird so gewählt – 0,02 < (f/Hz)–1/2 < 0,04 –, dass die Unterscheidung im Allgemeinen optimal wird. - Im Normalfall werden diese beiden Frequenzbereiche zur Unterscheidung der Gut- und Schlechtbleche ausreichen. Zur Absicherung kann aber noch ein dritter Frequenzbereich
19 gewählt werden, insbesondere wenn bei mehrfachen Messungen am gleichen Probentyp Zweifel auftreten. Diese dritte Messung sollte bei sehr kleinen Eindringtiefen, entsprechend sehr hohen Frequenzen – 0,004 < (f(Hz)–1/2 < 0,006 – durchgeführt werden. Diese dritte Messung gibt im Wesentlichen Informationen über die Unterschiede im Transparenzverhalten der Schichten und kann zur Trennung benutzt werden.
Claims (14)
- Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen, insbesondere dünnfilmbeschichteter verzinkter Stahlbleche dadurch gekennzeichnet, dass ein Probenstück des beschichteten Metallsubstrates einem aktiven photothermischen Radiometrieverfahren unterworfen wird, wobei ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl auf das Probenstück gerichtet ist und die von der Probe emittierte Wärmestrahlung und damit die zeitliche Änderung der Oberflächentemperatur detektiert und zum Vergleich ein thermisch homogenes und ein unbeschichtetes Probenstück geprüft und von den Signalwerten der Quotient oder die Differenz gebildet wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Photoakustik-Verfahren ergänzend durchgeführt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein intensitätsmodulierter leistungsstarker Lichtstrahl auf das Probenstück gerichtet ist und die durch den Wärmestrom vom Probenstück in den umgebenden Gasraum erzeugten Druck-Oszillationen gemessen werden.
- Verfahren nach den Ansprüchen 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass eine monochromatische Lichtquelle (Laser) verwendet wird.
- Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulation pulsförmig, vorzugsweise periodisch harmonisch, erfolgt.
- Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationsfrequenz im Bereich von 0,03 Hz bis 100 kHz variiert wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass die frequenzabhängigen Amplitudenwerte einer Probe mit idealer homogener Beschichtung als Referenz dienen und in Beziehung gesetzt werden zu Amplitudenwerten einer zu prüfenden Probe.
- Verfahren nach den Ansprüchen 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zur Trennung von Proben mit annähernd homogener Beschichtung von Proben mit inhomogener Beschichtung das Detektionsverfahren mindestens bei einer niedrigen und einer mittleren Modulationsfrequenz durchgeführt wird.
- Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektionsverfahren zusätzlich bei einer hohen Modulationsfrequenz durchgeführt wird.
- Verfahren nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, dass die niedrige Modulationsfrequenz im Bereich von 0,07–0,1 (f/Hz)–1/2, die mittlere im Bereich von 0,02–0,04 (f/Hz)–1/2 und die hohe im Bereich von 0,004–0,006 (f/Hz)–1/2 liegt.
- Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit einem hochenergetischen Lichtstrahlerzeuger, einem Modulator, einem Detektor und einer Auswerteeinheit dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtstrahlerzeuger ein Argon-Ionen-Laser (
1 ) ist und ein akustik-optischer Modulator (2 ) eingesetzt wird und ein Mercury-Cadmium-Tellur-Detektor (9 ) Verwendung findet und vor der Auswerteeinheit (13 ) ein schmalbandiger Wechselspannungsverstärker (12 ) angeordnet und vor dem Detektor (9 ) ein IR-Filter (14 ) vorgeschaltet ist. - Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser (
1 ) im 500 Nanometer-Bereich arbeitet. - Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Modulator (
2 ) einen Veränderungsbereich der Frequenz von 0,03 Hz bis 100 kHz aufweist. - Einrichtung nach einem der Ansprüche 11–13, dadurch gekennzeichnet, dass die zwischen dem Probenstück (
6 ) und dem Detektor (9 ) angeordneten Linsen (8 ,8' ), Speziallinsen aus Barium-Florid sind.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200410038282 DE102004038282B4 (de) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE200410038282 DE102004038282B4 (de) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102004038282A1 DE102004038282A1 (de) | 2006-03-16 |
| DE102004038282B4 true DE102004038282B4 (de) | 2006-09-14 |
Family
ID=35853394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE200410038282 Expired - Fee Related DE102004038282B4 (de) | 2004-08-03 | 2004-08-03 | Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102004038282B4 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107941708A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-04-20 | 电子科技大学 | 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114324458B (zh) * | 2021-12-27 | 2024-05-03 | 上海交通大学 | 界面热导测试样品及其形成方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3337000T1 (de) * | 1982-03-15 | 1984-02-09 | Ari Helsinki Lehto | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung der Oberflächenqualität von festen Materialien |
| US4543486A (en) * | 1983-05-20 | 1985-09-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like |
| US4652757A (en) * | 1985-08-02 | 1987-03-24 | At&T Technologies, Inc. | Method and apparatus for optically determining defects in a semiconductor material |
| DE4037391A1 (de) * | 1989-12-28 | 1991-07-04 | Jenoptik Jena Gmbh | Anordnung zur thermowellenanalyse von schichtsystemen |
| DE10013172A1 (de) * | 2000-03-17 | 2001-09-27 | Wagner Internat Ag Altstaetten | Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung |
-
2004
- 2004-08-03 DE DE200410038282 patent/DE102004038282B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3337000T1 (de) * | 1982-03-15 | 1984-02-09 | Ari Helsinki Lehto | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung der Oberflächenqualität von festen Materialien |
| US4543486A (en) * | 1983-05-20 | 1985-09-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method and apparatus for using a photoacoustic effect for controlling various processes utilizing laser and ion beams, and the like |
| US4652757A (en) * | 1985-08-02 | 1987-03-24 | At&T Technologies, Inc. | Method and apparatus for optically determining defects in a semiconductor material |
| DE4037391A1 (de) * | 1989-12-28 | 1991-07-04 | Jenoptik Jena Gmbh | Anordnung zur thermowellenanalyse von schichtsystemen |
| DE10013172A1 (de) * | 2000-03-17 | 2001-09-27 | Wagner Internat Ag Altstaetten | Verfahren und Vorrichtung zur photothermischen Analyse einer Materialschicht, insbesondere zur Schichtdickenmessung |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107941708A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-04-20 | 电子科技大学 | 基于微机电扫描振镜的小型光学分辨率光声显微镜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102004038282A1 (de) | 2006-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3034944C2 (de) | Verfahren und Einrichtung zur photothermischen Struktur-Untersuchung fester Körper | |
| DE2953286A1 (en) | Photoacoustic or thermoacoustic microscopy | |
| AT513863B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Konzentration einer fluoreszierenden Substanz in einem Medium | |
| WO2017125374A1 (de) | Vorrichtung zur detektion und charakterisierung von organischen molekülen in einem flüssigen probenvolumen | |
| EP1301774B1 (de) | Verfahren zum nachweis von polynucleotidsequenzen | |
| DE102004038282B4 (de) | Verfahren zur Untersuchung auf einem Metallsubstrat aufgebrachter, mit Partikeln durchsetzter Beschichtungen | |
| WO1992006366A1 (de) | Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe | |
| DE102012017185B3 (de) | Sensoranordnung | |
| DE3819900C2 (de) | ||
| DE102009053306B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Anregungsstrahlung und Einrichtung zur Analyse einer Probe | |
| WO2014118154A1 (de) | Prüfverfahren und prüfvorrichtung für oberflächen | |
| DE10042003B4 (de) | Materialprüfvorrichtung und deren Verwendung | |
| DE102005003878B3 (de) | Messvorrichtung zum Messen photokatalytischer Aktivität einer photokatalytischen Schicht | |
| DE102021100321B4 (de) | SPR-Sensoreinheit und Verfahren zur Bestimmung des Brechungsindex eines Proben-mediums sowie Messeinrichtung zur Erfassung der Dichte eines Messmediums | |
| DE3814606C2 (de) | ||
| DE19931128A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Korrosionsschutzwirkung von Beschichtungen und Inhibitoren | |
| DE102015205400A1 (de) | Verfahren und System zur Untersuchung des Polymerisationsgrads eines aushärtbaren Polymers | |
| DE10207692B4 (de) | Verfahren zur Prüfung der Qualität einer Haft- oder Klebeverbindung in einer Mehrschichtanordnung | |
| EP2693197A1 (de) | Detektorkopf | |
| DE19616245C2 (de) | Verfahren und Anordnung zum zerstörungsfreien, berührungslosen Prüfen und/oder Bewerten von Festkörpern, Flüssigkeiten, Gasen und Biomaterialien | |
| EP0824687A1 (de) | Untersuchungsverfahren zur erkennung von spannungszuständen in einem festkörper | |
| WO2005085833A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bewitterung und gleichzeitigen ultraschallanalyse von proben | |
| DE102016202971A1 (de) | Ellipsometervorrichtung und Ellipsometrieverfahren zur Untersuchung einer Probe | |
| EP4671734A1 (de) | System und verfahren zum bestimmen eines masses für eine absorption einer probe | |
| EP2693203A1 (de) | Verfahren zum berührungslosen Bestimmen einer Eigenschaft eines Gegenstands |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20110301 |