DE102004019950A1

DE102004019950A1 - Transportvorrichtung mit speziellen Kettengliedern zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone

Info

Publication number: DE102004019950A1
Application number: DE200410019950
Authority: DE
Inventors: Daniel Dipl.-Phys. Biro; Josef Dipl.-Ing. Gentischer
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2004-04-23
Filing date: 2004-04-23
Publication date: 2005-11-17

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone, insbesondere eine Hochtemperaturzone, die zumindest einen umlaufenden Kettenstrang mit Kettengliedern aus einem hochtemperaturstabilen, nicht-metallischen Material, insbesondere einem keramischen Material, und zumindest einen Antrieb für den Kettenstrang aufweist. Die Transportvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Kettenglieder zur Bildung des Kettenstranges direkt ineinander gefügt sind. DOLLAR A Mit der vorliegenden Transportvorrichtung lässt sich ein kontaminationsarmer und stabiler Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone bei geringer thermischer Masse des eingesetzten Kettenstranges erreichen.

Description

Technisches Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone, insbesondere eine Hochtemperaturzone, die zumindest einen umlaufenden Kettenstrang mit Kettengliedern aus einem hochtemperaturstabilen, nicht metallischen Material, insbesondere einem keramischen Material, und einen Antrieb für den Kettenstrang aufweist.

Transportvorrichtungen sind für Gegenstände aller Art in vielen Bereichen der Technik bekannt. Gerade im Bereich der Halbleiterfertigung werden an ein Transportsystem für die zu prozessierenden Elemente, insbesondere die Halbleitersubstrate oder Halbleiterwafer, jedoch besondere Anforderungen gestellt, da weder die Elemente selbst noch die einzelnen Prozessstationen durch das Transportsystem verunreinigt werden sollten.

Zur Vermeidung von Verunreinigungen ist es bekannt, die einzelnen Prozessstationen, insbesondere die Hochtemperaturzonen oder Öfen, chargenweise zu betreiben. Ein derartiger Ofen im Bereich der Halbleitertechnologie besteht in der Regel aus einem hochtemperaturfesten Prozessrohr aus hochreinem Quarzglas oder Siliziumcarbid. Eine dieses Prozessrohr umschließende Heizung erwärmt den durch das Prozessrohr gebildeten Innenraum, den Prozessraum, auf Prozesstemperatur. Mehrere der zu prozessierenden Elemente werden vor dem Einbringen in den Ofen zunächst in Quarzglas- oder Siliziumcarbid-Substratträgern angeordnet, die speziell nur für die Hochtemperaturzone verwendet werden. Anschließend wird der Träger mit den Elementen in das Prozessrohr eingefahren, um die Hochtemperatur-Prozessierung durchzuführen. Nach der Prozessierung wird der Träger mit den derart prozessierten Elementen wieder aus dem Ofen gefahren und die Elemente nach Abkühlung auf ca. Raumtemperatur in andere Transportträger umgeladen. Der Transport in und aus dem Ofen erfolgt mittels eines aus Siliziumcarbid oder Quarzglas bestehenden Paddels, das in den Träger eingreift.

Dieser Chargenbetrieb hat einerseits den Vorteil einer hohen Reinheit, da alle in den Ofen eingebrachten Träger und Antriebselemente aus hochreinen Materialien wie Quarzglas oder Siliziumcarbid bestehen. Auf der anderen Seite führt der Chargenbetrieb jedoch zu einem in einigen Fällen unerwünschten diskontinuierlichen Produktionsfluss.

Bei zahlreichen Prozessen, bei denen die Anforderungen an die Reinheit während der Prozessierung nicht ganz so hoch liegen, werden auch Transportsysteme für ein kontinuierliches Durchlauf verfahren durch den Prozessraum eingesetzt. So ist es beispielsweise bei der Produktion von Silizium-Solarzellen, bei der die zu prozessierende Siliziumscheibe mehreren Hochtemperatur schritten ausgesetzt ist, bekannt, ein umlaufendes metallisches Kettenband für den Transport der Siliziumscheiben durch die Hochtemperaturzonen einzusetzen. Aus dem metallischen Kettenband, das in vielen Fällen aus einer Nickel-Chrom-Verbindung gefertigt ist, treten jedoch Metallpartikel aus, die das beförderte Prozessgut verunreinigen. Weiterhin ist die thermische Masse einer metallischen Kette im Vergleich zu der des Prozessgutes, insbesondere bei der Solarzellen-Herstellung, sehr groß. Dies führt zu einer ineffizienten Energieausbeute und einer unflexiblen Prozessführung.

Zur Vermeidung der Verunreinigungsproblematik beim Transport von Halbleiterelementen ist es bekannt, Kettenbänder aus einem keramischen Material einzusetzen. Die einzelnen Kettenglieder sind hierbei über ebenfalls keramische, quer zur Transportrichtung verlaufende Stäbe miteinander verbunden. Ein Beispiel für ein derartiges keramisches Kettenband kann der Webseite der Fa. Koyo Thermo Systems Co. (http://www.crystec.com/kllconvd.htm) entnommen werden. Bei derartig aufgebauten keramischen Ketten besteht jedoch aufgrund der Scherbelastung, die auf die keramischen Querstäbe wirkt, die Gefahr des Bruches des keramischen Materials. Zur Verminderung dieser Problematik wird in der DE 4008979 C1 vorgeschlagen, bei einem breiteren Kettenband keine Querstäbe einzusetzen, die über die gesamte Breite verlaufen, sondern vielmehr mehrere getrennte kürzere Stäbe vorzusehen, wobei Lücken zwischen den getrennten Stäben, in Transportrichtung gesehen, seitlich versetzt sind.

Der Aufbau der hierdurch erhaltenen Kettenbänder ist jedoch relativ komplex. Weiterhin ermöglichen die bisher eingesetzten Kettenbänder keine direkte Beheizung der zu prozessierenden Elemente von der Unterseite, da aufgrund der Abschattung durch die Kettenglieder eine inhomogene, unvorteilhafte Temperaturverteilung in zu prozessierenden Elementen entstehen würde.

Aus der DE 10059777 A1 ist eine weitere Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone bekannt, bei der die Elemente über gespannte keramische Schnüre nach dem Hubbalkenprinzip durch die Temperaturzone bewegt werden. Durch diese Transportvorrichtung werden zwar sämtliche der vorgenannten Nachteile vermieden, die Schnüre können jedoch unter starker Belastung durchhängen und unter Umständen auch reißen. Hierdurch ist der Einsatz einer derartigen Transportvorrichtung auf eine Ausführungslänge der Temperaturzone von etwa 8 m und auf Elemente begrenzt, die nicht deutlich schwerer als die üblicherweise prozessierten 300 μm dicken Siliziumscheiben sind.

Ausgehend von diesem Stand der Technik besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone, insbesondere eine Hochtemperaturzone, anzugeben, die bei geringer thermischer Masse einen kontaminationsarmen Transport auch schwererer zu prozessierender Elemente, insbesondere von Halbleiterelementen, durch die Temperaturzone ermöglicht und einen robusten, einfachen Aufbau aufweist.

Darstellung der Erfindung

Die Aufgabe wird mit der Transportvorrichtung gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Transportvorrichtung sind Gegenstand der Unteransprüche oder lassen sich der nachfolgenden Beschreibung sowie den Ausführungsbeispielen entnehmen.

Die vorliegende Transportvorrichtung weist zumindest einen umlaufenden Kettenstrang mit Kettengliedern aus einem hochtemperaturstabilen, nicht metallischen Material, insbesondere einem keramischen Material, sowie zumindest einen Antrieb für den Kettenstrang auf. Die vorliegende Transportvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Kettenglieder zur Bildung des Kettenstranges ohne separate Verbindungselemente zwischen den Kettengliedern direkt ineinander gefügt sind.

Die Breite der Kettenglieder und somit des aus diesen gebildeten Kettenstranges kann so ausgebildet sein, dass die zu prozessierenden Elemente mit einem einzelnen Kettenstrang durch die Temperaturzone transportiert werden können. Weiterhin können auch mehrere durch die Kettenglieder gebildete Kettenstränge parallel zueinander angeordnet sein, um die zu prozessierenden Elemente direkt oder über zwischen den Kettensträngen angeordnete Querstege zu tragen.

Die einzelnen Kettenglieder sind bei der vorliegenden Transportvorrichtung vorzugsweise auf jeweils einer Seite in oder entgegen der Transportrichtung mit einem Kupplungskopf und auf einer gegenüberliegenden Seite mit einer Ausnehmung für die Aufnahme des Kupplungskopfes versehen, so dass durch Ineinanderfügen des Kupplungskopfes eines Kettengliedes in die Ausnehmung des benachbarten Kettengliedes eine kupplungsartige Verbindung zur Bildung des Kettenstranges entsteht. Die Ausnehmung sowie der Kupplungskopf sind dabei vorzugsweise so ausgestaltet, dass sich die Kettenglieder auf einfache Weise aus einem keramischen Material herstellen lassen.

Der Kettenstrang muss nicht aus identischen sondern kann auch aus unterschiedlich ausgebildeten Kettengliedern aufgebaut sein. Beispielsweise kann ein Kettenglied zwei Kupplungsköpfe und ein anderes zwei Aufnahmeausnehmungen aufweisen.

Vorzugsweise sind der Kupplungskopf und die Ausnehmung in den Kettengliedern so angeordnet, dass sich der Kupplungskopf quer zur Ebene, in der der Kettenstrang umläuft, in die Ausnehmung einschieben lässt. Für die Gewährleistung einer gelenkartigen Verbindung zwischen den Kettengliedern ist es hierbei von Vorteil, wenn die Ausnehmung und der Kupplungskopf in der Ebene, in der der Kettenstrang umläuft, einen teilkreisförmigen Querschnitt aufweisen, dessen Mittelpunkt auf der Umlenkachse der Kettenglieder liegt.

In einer Ausführungsform wird der Kettenstrang über ein Antriebszahnrad oder eine Antriebswalze mit entsprechenden Zähnen angetrieben. Die Kettenglieder weisen hierbei an ihrer Unterseite, d.h. auf der der Transportfläche abgewandten Seite, eine Zahnflanke für den Eingriff der Zähne des Antriebszahnrades bzw. der Antriebswalze auf. Vorzugsweise ist diese Zahnflanke dabei derart unterhalb der Ausnehmung angeordnet, dass die Umlenkungsachse der Kettenglieder und der Angriffspunkt des Antriebszahnrades direkt übereinander liegen.

In einer anderen Ausführungsform ist an jedem Kettenglied ein Zahn ausgebildet, an dem eine Zahnflanke des Antriebszahnrades angreift. In dieser Ausgestaltung ist die Kette durch das Antriebszahnrad somit in beiden Richtungen geführt.

Bei der bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Transportvorrichtung, bei der die einzelnen Kettenglieder durch seitliches Ineinanderschieben miteinander verbunden werden, ist vorzugsweise eine zusätzliche Führungseinrichtung für den Kettenstrang vorgesehen, die ein seitliches Auseinanderrutschen der Kettenglieder verhindert. Diese Führungseinrichtung kann in einer Ausgestaltung der Transportvorrichtung durch ein lang gestrecktes Führungselement mit einer Längsnut bestehen, in die der Kettenstrang eingelegt und durch die der Kettenstrang geführt wird. Die seitlichen Begrenzungen der Nut verhindern dabei das Lösen der Kettenglieder.

Eine weitere Möglichkeit zur zusätzlichen Sicherung des Kettenstranges besteht darin, die Kettenglieder an ihrer Unterseite mit einer in Transportrichtung verlaufenden Nut zu versehen und mit dieser Nut auf ein lang gestrecktes Führungselement aufzu setzen, das in die Nut eingreift. Dieses Führungselement kann beispielsweise ein Führungsstab sein, der in Verbindung mit der Nut in den Kettengliedern ein seitliches Verrutschen der Kettenglieder verhindert. Auch eine Kombination der beiden genannten Techniken für die Sicherung des Kettenstranges ist selbstverständlich möglich, bei der der in der Temperaturzone befindliche Abschnitt des Kettenstranges über das letztgenannte Führungselement innerhalb der Temperaturzone geführt wird und der außerhalb der Temperaturzone zurücklaufende Abschnitt des Kettenstranges über ein Führungselement mit einer diesen Kettenstrang aufnehmenden Nut gesichert wird.

In einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Transportvorrichtung werden zumindest zwei parallel verlaufende Kettenstränge eingesetzt, die über Querstege miteinander verbunden sind. Die Querstege dienen lediglich als Auflage für die zu prozessierenden Elemente und haben keinerlei weitere Funktion. Vorzugsweise sind diese Querstege aus einem keramischen oder einem Quarzmaterial gefertigt. Besonders vorteilhaft ist eine Ausgestaltung, bei der die Querstege lediglich lose in seitlich dafür vorgesehene Aufnahmeöffnungen der Kettenglieder eingesteckt sind. Dies vermeidet das Auftreten von Spannungen in diesen Querstegen. Der Einsatz von Querstegen aus einem Quarzmaterial hat den besonderen Vorteil, dass hierdurch eine direkte Beheizung der zu prozessierenden Elemente von der Unterseite ermöglicht wird, ohne störende Abschattungseffekte hervorzurufen.

Durch die besondere Ausgestaltung der Kettenglieder der vorliegenden Transportvorrichtung, die einerseits aus einem hochtemperaturstabilen, nicht metallischen Material, insbesondere einem Keramikmaterial, bestehen und andererseits direkt, ohne zusätzliche separate Verbindungselemente, ineinander gefügt sind, wird ein einfacher Aufbau der ein oder mehreren Kettenstränge bei verminderter Bruchgefahr und geringer thermischer Masse erreicht. Das Keramikmaterial ermöglicht den kontaminationsarmen Transport der prozessierenden Elemente, insbesondere von Halbleiterelementen, durch eine Temperaturzone. Der einfach und robust aufgebaute Kettenstrang ermöglicht auch den Transport schwererer Substrate durch einen langen Ofen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die vorliegende Transportvorrichtung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Zeichnungen nochmals näher erläutert. Hierbei zeigen:
1 ein Beispiel für einen Aufbau der vorliegenden Transportvorrichtung;
2 ein Beispiel für die Ausgestaltung einzelner Kettenglieder der vorliegenden Transportvorrichtung;
3 ein Beispiel für den Antriebsmechanismus für die umlaufende Bewegung des Kettenstranges;
4 ein Beispiel für zwei über Querstege verbundene Kettenstränge; und
5 ein Beispiel für eine Ausgestaltung der Kettenglieder zur direkten Aufnahme der zu prozessierenden Elemente.
Wege zur Ausführung der Erfindung
1 zeigt ein Beispiel für einen Aufbau einer Transportvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung für den Transport von zu prozessierenden Halbleiterscheiben 4 durch einen Durchlaufofen 3. Die Transportvorrichtung umfasst zumindest einen endlosen Kettenstrang 1, der über ein Antriebszahnrad 2 eines Antriebes umlaufend bewegt wird. Ein oberer Abschnitt des Kettenstranges 1 befindet sich dabei jeweils im Durchlaufofen 3, während der verbleibende Teil unterhalb des Durchlaufofens 3 geführt wird. Die Halbleiterscheiben 4 werden im vorliegenden Beispiel für den Transport auf den Kettenstrang 1 aus keramischen Kettengliedern aufgelegt und mit diesem in Pfeilrichtung durch den Durchlaufofen 3 transportiert. Der Transport kann kontinuierlich oder schrittweise erfolgen.
2 zeigt ein Beispiel für eine Ausgestaltung der einzelnen Kettenglieder 5, aus denen der Kettenstrang 1 gebildet ist. Diese keramischen Kettenglieder 5 weisen auf einer in Transportrichtung liegenden Seite einen Kupplungskopf 6 und auf der gegenüberliegenden Seite eine für die Aufnahme dieses Kupplungskopfes 6 ausgebildete Ausnehmung 7 auf. Kupplungskopf 6 und Ausnehmung 7 haben in diesem Beispiel einen teilkreis förmigen Querschnitt in der Umlaufebene des Kettenstranges 1. Die Kettenglieder 5 werden durch seitliches Ineinanderschieben des Kupplungskopfes 6 in die Ausnehmung 7 des jeweils benachbarten Kettengliedes 5 zu einem endlosen Kettenstrang 1 zusammengefügt. Die Form der Ausnehmung 7 sowie des Kupplungskopfes 6 sind so gewählt, dass eine keramikgerechte Herstellbarkeit der Kettenglieder 5 ermöglicht wird. Durch die aus der 2 ersichtliche Ausbildung der Kettenglieder 5 wird erreicht, dass diese direkt, ohne zusätzliche Verbindungselemente, gelenkig miteinander verbunden werden können. Die dargestellte Ausgestaltung ermöglicht beim Transport eine Umlenkung der Kettenglieder 5 um die Umlenkachse 8.
Die durch Zusammenfügen der in der 2 dargestellten Kettenglieder gebildete Kette 1 wird über das Antriebszahnrad 2 angetrieben. Die Kettenglieder 5 weisen hierbei an ihrer Unterseite eine Zahnflanke 9 auf, in die die Zähne 10 des Antriebszahnrades 2 eingreifen, wie dies aus der 3 ersichtlich ist. Der Eingriffspunkt des Antriebszahnrades 2 liegt dabei jeweils direkt unter dem Umlenkungspunkt bzw. der Umlenkungsachse 8 der Kettenglieder 5, so dass sich eine vorteilhafte Kinematik ergibt.
Im vorliegenden Beispiel ist der zurücklaufende Kettenstrang 1 in eine U-förmige Nut eines Führungselementes 11 eingelegt, in der die einzelnen Kettenglieder 5 gegen seitliches Verrutschen gesichert sind. Dieses Führungselement 11 kann aus Quarz gefertigt sein, um eine einfache Verbindungstechnik für lange Ausführungen zur Verfügung zu haben.
Im oberen Teil des Kettenstranges 1 der 3 wird ein Führungsstab 12 als Führungselement eingesetzt, der in entsprechende Nuten 16 auf den Unterseiten der Kettenglieder 5 eingreift, die nur in der 4 erkennbar sind. Die Kettenglieder 5 liegen dann auf diesem schienenartigen Führungselement auf, so dass sie auch in diesem Bereich gegen seitliches Verrutschen gesichert sind.
Die vorliegende Transportvorrichtung lässt sich in verschiedener Weise als Transportsystem nutzen. So kann beispielsweise der Kettenstrang 1 selbst als Auflagefläche für das Transportgut genutzt werden. Für den Transport größerer Transportgüter können auch zwei oder mehr Kettenstränge vorgesehen sein, die parallel zueinander angeordnet sind.
In einer Ausgestaltung der vorliegenden Transportvorrichtung, bei der flache Elemente, insbesondere Scheiben, transportiert werden, können die Kettenglieder 5 durch eine besondere Ausgestaltung auch einen im Wesentlichen vertikalen Transport der Scheiben ermöglichen. Dies ist beispielhaft in 5 dargestellt, bei der die Kettenglieder 5 an der Oberseite mit Schlitzen 13 für die Aufnahme und Halterung von Halbleiterscheiben 4 versehen sind. In diese Aufnahmeschlitze 13 können die Halbleiterscheiben 4 eingestellt und darin transportiert werden, wie dies aus der Figur ersichtlich ist.
In einer weiteren sehr vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Transportvorrichtung werden zwei parallele Kettenstränge 1 eingesetzt, die zueinander beabstandet und durch Querstäbe 14 aus Quarz oder Keramik oder einem anderen Material verbunden sind. Die Querstäbe 14 werden hierbei in entsprechende Löcher 15 in den Seiten der Kettenglieder 5 eingesetzt. Sie sind nur lose in diese Löcher 15 eingesteckt, so dass sie während des Transports keinen Zugbelastungen ausgesetzt sind. Das Transportgut, insbesondere die Halbleiterscheiben 4, werden bei dieser Ausgestaltung auf die Querstäbe 14 aufgelegt, so dass sie nicht in Kontakt mit dem Kettenstrang 1 kommen. Sind die Querstäbe 4 aus einem Quarzmaterial gefertigt, so ermöglicht diese Ausgestaltung der Transportvorrichtung auch eine Beheizung der Halbleiterscheiben 4 in der Temperaturzone von der Unterseite ohne nennenswerte Abschattung. BEZUGSZEICHENLISTE

Claims

Transportvorrichtung zum Transport von zu prozessierenden Elementen (4) durch eine Temperaturzone, insbesondere eine Hochtemperaturzone, die zumindest einen umlaufenden Kettenstrang (1) mit Kettengliedern (5) aus einem hochtemperaturstabilen, nicht metallischen Material, insbesondere einem keramischen Material, und zumindest einen Antrieb für den Kettenstrang (1) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) zur Bildung des Kettenstranges (1) direkt ineinander gefügt sind.
Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) jeweils auf einer Seite in oder entgegen einer Transportrichtung zumindest einen Kupplungskopf (6) und auf einer gegenüberliegenden Seite zumindest eine Ausnehmung (7) für die Aufnahme des Kupplungskopfes (6) zur Bildung von Kupplungsverbindungen innerhalb des Kettenstranges (1) aufweisen.
Transportvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Kettenstrang (1) aus unterschiedlich ausgebildeten Kettengliedern (5) aufgebaut ist.
Transportvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Kupplungskopf (6) quer zu einer Ebene, in der der Kettenstrang (1) umläuft, in die Ausnehmung (7) einschiebbar ist.
Transportvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Kupplungskopf (6) und die Ausnehmung (7) in der Ebene, in der der Kettenstrang (1) umläuft, einen teilkreisförmigen Querschnitt aufweisen.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) auf einer Unterseite eine Zahnflanke (9) für den Eingriff eines Antriebszahnrades (2) des Antriebs aufweisen.
Transportvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Zahnflanke (9) so unter der Ausnehmung (7) ausgebildet ist, dass der Eingriff des Antriebszahnrades (2) direkt unter einem Umlenkungspunkt des Kettengliedes (5) liegt.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) auf einer Unterseite einen Zahn für den Eingriff eines Antriebszahnrades (2) des Antriebs aufweisen.
Transportvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Zahn so unter der Ausnehmung (7) ausgebildet ist, dass der Eingriff des Antriebszahnrades (2) direkt unter einem Umlenkungspunkt des Kettengliedes (5) liegt.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) an einer Oberseite zumindest einen Schlitz (13) zur zumindest annähernd senkrechten Halterung von flachen zu prozessierenden Elementen (4) aufweisen.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei parallel verlaufende Kettenstränge (1) vorgesehen sind.
Transportvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenstränge (1) über Querstege (14) zum Auflegen der zu prozessierenden Elemente (4) verbunden sind.
Transportvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) seitliche Öffnungen (15) aufweisen, in die die Querstege (14) lose eingesteckt sind.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Querstege (14) aus einem keramischen Material oder aus Quarzmaterial gebildet sind.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Kettenstrang (1) zumindest innerhalb der Temperaturzone in einer Nut eines lang gestreckten Führungselementes (11) geführt wird, um ein seitliches Lösen der Kettenglieder (5) zu verhindern.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Kettenglieder (5) an einer Unterseite eine in Transportrichtung verlaufende Nut (16) aufweisen und jeder Kettenstrang (1) innerhalb der Temperaturzone auf einem lang gestreckten Führungselement (12) geführt wird, das in die Nut (16) eingreift.