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DE102004019356B3 - Machining process for through aperture involves first setting counter pressure same as grinding pressure and then setting pressure difference - Google Patents

Machining process for through aperture involves first setting counter pressure same as grinding pressure and then setting pressure difference Download PDF

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DE102004019356B3
DE102004019356B3 DE102004019356A DE102004019356A DE102004019356B3 DE 102004019356 B3 DE102004019356 B3 DE 102004019356B3 DE 102004019356 A DE102004019356 A DE 102004019356A DE 102004019356 A DE102004019356 A DE 102004019356A DE 102004019356 B3 DE102004019356 B3 DE 102004019356B3
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grinding
passage opening
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DE102004019356A
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German (de)
Inventor
Thomas Hasenecker
Thomas Weikenstorfer
Christian Ludwig
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Sonplas GmbH
Original Assignee
Sonplas GmbH
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Publication date
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Priority to DE502005001120T priority patent/DE502005001120D1/en
Priority to AT05004133T priority patent/ATE368548T1/en
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten einer Durchgangsöfffnung, bei dem ein Abtragungsfluid auf einer Seite der Durchgangsöffnung mit einem Schleifdruck und auf der anderen Seite der Durchgangsöffnung mit einem Gegendruck beaufschlagt wird und das Abtragungsfluid unter Materialabtragung in der Durchgangsöffnung in Strömung versetzt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass zunächst der Gegendruck in etwa gleich dem Schleifdruck eingestellt wird und dann anschließend zum Erzeugen der Strömung eine Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck und dem Gegendruck eingestellt wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung.The invention relates to a method for processing a through-opening, in which a Abtragungsfluid on one side of the passage opening with a grinding pressure and on the other side of the passage opening is acted upon by a back pressure and the Abtragungsfluid material removal is offset in the passage opening in flow. The inventive method is characterized in that first the back pressure is set approximately equal to the grinding pressure and then subsequently to generate the flow, a pressure difference between the grinding pressure and the back pressure is set. The invention further relates to a device for processing a passage opening.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung, insbesondere eines Ventilkanals, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, bei dem ein Abtragungsfluid auf einer Seite der Durchgangsöffnung mit einem Schleifdruck und auf der anderen Seite der Durchgangsöffnung mit einem Gegendruck beaufschlagt wird und das Abtragungsfluid unter Materialabtragung in der Durchgangsöffnung in Strömung versetzt wird.The Invention relates to a method for processing a passage opening, in particular a valve channel, according to the preamble of the claim 1, in which a Abtragungsfluid on one side of the through hole with a grinding pressure and on the other side of the passage opening with a counterpressure is applied and the ablation fluid under Material removal in the passage opening in flow becomes.

Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung mit einem Abtragungsfluid unter Strömung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 9, mit einer Schleifdruckerzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines Schleifdrucks im Abtragungsfluid auf einer Seite der Durchgangsöffnung, einer Gegendruckerzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines Gegendrucks im Abtragungsfluid auf der anderen Seite der Durchgangsöffnung und einer Steuerung, die zum Steuern des Schleifdrucks mit der Schleifdruckerzeugungseinrichtung in Verbindung steht.The The invention further relates to a device for processing a Through opening with an abrasive fluid under flow according to the preamble of the claim 9, with a grinding pressure generating device for generating a Abrasive pressure in the ablation fluid on one side of the passage opening, a back pressure generating means for generating a back pressure in Abtragungsfluid on the other side of the passage opening and a Control, which is used to control the grinding pressure with the grinding pressure generating device communicates.

Aus der DE 199 41 472 A1 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum hydroerosiven Bearbeiten eines Ventilkanals bekannt. Um eine Kavitation des hydroerosiven Abtragungsfluids beim Bearbeiten zu verhindern, lehrt diese Druckschrift, auf der Abströmseite des Ventilkanals einen Gegendruck aufzubauen. Dies ermöglicht einen weitgehend kavitationsfreien Schleifbetrieb im Betriebsdruckbereich des Ventilkanals.From the DE 199 41 472 A1 For example, a method and an apparatus for hydroerosive machining of a valve channel are known. In order to prevent cavitation of the hydroerosive ablation fluid during machining, this document teaches to build up a back pressure on the outflow side of the valve channel. This allows a largely cavitation-free grinding operation in the operating pressure range of the valve channel.

Gemäß der Lehre der DE 199 41 472 A1 wird der Gegendruck entweder mittels einer an der Abströmseite angeordneten Blende oder mittels eines dort angeordneten Blasen- oder Membranspeichers erzeugt. Nachteilig bei diesem bekannten Gegendruckschleifverfahren können vergleichsweise unkontrollierte Druckverhältnisse, insbesondere Gegendruckverhältnisse, zu Beginn des Schleifprozesses sein, die zu entsprechend unkontrollierten Durchflussraten und somit Abtragungsraten in der Anfangsphase des Schleifprozesses führen können.According to the teaching of DE 199 41 472 A1 the counter-pressure is generated either by means of a diaphragm arranged on the outflow side or by means of a bubble or membrane reservoir arranged there. A disadvantage of this known counter-pressure grinding method can be comparatively uncontrolled pressure conditions, in particular counterpressure conditions, at the beginning of the grinding process, which can lead to correspondingly uncontrolled flow rates and thus removal rates in the initial phase of the grinding process.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung anzugeben, mit denen die Durchgangsöffnung mit besonders hoher Genauigkeit eingestellt werden kann.task The invention is a method and an apparatus for processing a passage opening specify, with which the passage opening with a particularly high Accuracy can be adjusted.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 9 gelöst. Bevorzugte Ausführungsbeispiele sind in den jeweils abhängigen Ansprüchen angegeben.The The object is achieved by a Method with the features of claim 1 and a device solved with the features of claim 9. Preferred embodiments are in each dependent claims specified.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass zunächst der Gegendruck in etwa gleich dem Schleifdruck eingestellt wird und dass anschließend zum Erzeugen der Strömung eine Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck und dem Gegendruck eingestellt wird.According to one The first aspect of the invention is the method according to the invention characterized in that first the back pressure is set approximately equal to the grinding pressure and that afterwards for generating the flow a pressure difference between the grinding pressure and the back pressure is set.

Ein Grundgedanke der Erfindung liegt darin, dass zu Beginn der Bearbeitung der Druck beiderseits der Durchgangsöffnung, die auch als Kanal bezeichnet werden kann, zumindest annähernd identisch eingestellt wird. Somit besteht zu Beginn der Bearbeitung kein oder allenfalls ein geringer Druckunterschied entlang der Durchgangsöffnung, und folglich ist die Strömungsgeschwindigkeit des Abtragungsfluids in der Durchgangsöffnung und daher auch die Abtragungsrate an der Durchgangsöffnung zu Beginn der Bearbeitung gleich Null oder allenfalls sehr gering. Erfindungsgemäß wird dann im Anschluss an das Einstellen des Gegendrucks und des Schleifdrucks auf zumindest in etwa gleiche Werte eine von Null verschiedene Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck, der auch als Bearbeitungsdruck oder Vordruck bezeichnet werden kann, und dem Gegendruck eingestellt. Aufgrund dieser Druckdifferenz zwischen den beiden Seiten der Durchgangsöffnung wird das Abtragungsfluid nun in Strömung versetzt und es erfolgt eine Materialabtragung an der Durchgangsöffnung, die sowohl im Inneren der Durchgangsöffnung als auch an ihrem Randbereich, d.h. an ihrer schleifdruck- und/oder gegendruckseitigen Kante, stattfinden kann. Erfindungsgemäß sind somit die Druckverhältnisse an der Durchgangsöffnung bereits zu Beginn der Bearbeitung genau definiert, weshalb eine besonders exakte Bearbeitung ermöglicht wird. Die Einstellung von Schleif- und Gegendruck kann durch eine bevorzugt aktiv ausgebildete Steuerung erfolgen.One The basic idea of the invention is that at the beginning of the processing the pressure on either side of the passage opening, which also serves as a channel can be designated, at least set approximately identical becomes. Thus, there is no or at most at the beginning of the processing a slight pressure difference along the passage opening, and hence the flow velocity the ablation fluid in the passageway and therefore also the ablation rate at the passage opening to Start of processing is zero or at most very low. According to the invention then following adjustment of backpressure and sanding pressure on at least approximately equal values a non-zero pressure difference between the grinding pressure, which is also called processing pressure or form can be designated, and set the back pressure. by virtue of this pressure difference between the two sides of the passage opening becomes the ablation fluid now in flow offset and there is a material removal at the passage opening, both inside the passage opening and at its edge area, i.e. at their grinding pressure and / or back pressure side edge, take place can. According to the invention are thus the pressure conditions at the passage opening already defined at the beginning of the processing, which is why a particularly precise processing is possible. The setting of grinding and counter-pressure can by a preferred actively trained control done.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere geeignet für die Bearbeitung von Steuer- und/oder Düsenbohrungen, insbesondere an Bauteilen von Kraftstoffeinspritzventilen. Bevorzugterweise kann das Verfahren zur Durchflusseinstellung der Durchgangsöffnung dienen. Dabei ist das Verfahren auch dahingehend vorteilhaft, dass zu Beginn der Bearbeitung bei zumindest annähernd konstanten Druckverhältnissen häufig ein besonders hoher zeitlicher Anstieg des Durchflusses des Abtragungsfluides auftritt und der Anstieg mit zunehmender Bearbeitungsdauer immer geringer wird, da immer mehr Material an der schleifdruckseitigen Kante der Durchgangsöffnung entfernt werden muss. Das erfindungsgemäße Verfahren gewährleistet aber gerade zu Beginn des Schleifprozesses besonders gut definierte Strömungsverhältnisse, so dass der Durchfluss besonders genau einstellbar ist.The method according to the invention is particularly suitable for the machining of control and / or nozzle bores, in particular on components of fuel injection valves. Preferably, the method can serve for flow adjustment of the passage opening. In this case, the method is also advantageous in that at the beginning of processing at at least approximately constant pressure conditions often a particularly high increase in time of the flow of Abtragungsfluides occurs and the increase with increasing processing time is always lower, as more and more removed material on the grinding pressure side edge of the through hole must become. However, the method according to the invention ensures particularly well-defined precisely at the beginning of the grinding process Flow conditions, so that the flow is very precisely adjustable.

Bei dem Abtragungsfluid kann es sich grundsätzlich um ein beliebiges strömungsfähiges Kontinuum handeln, welches auf das die Durchgangsöffnung umgebende Material unter Strömung eine abtragende Wirkung hat. Besonders bevorzugt ist es, dass das Abtragungsfluid eine hydroerosive Schleifflüssigkeit mit einer Trägerflüssigkeit und darin enthaltenen Schleifpartikeln ist. Unter hydroerosiven Schleifflüssigkeiten im Sinne der Erfindung können sowohl Schleifflüssigkeiten mit einer Trägerflüssigkeit auf Wasserbasis als auch solche mit einer Trägerflüssigkeit auf Ölbasis oder einer sonstigen Basis verstanden werden. Insbesondere kann das hydroerosive Abtragungsfluid erfindungsgemäß auch wasserfrei sein. Der abrasive Anteil der abrasiven Schleifpartikel in der Schleifflüssigkeit wird geeigneterweise so eingestellt, dass ein möglichst breiter Eingangstoleranzbereich für den Durchmesser und/oder für den Durchfluss der Durchgangsöffnung bei geeigneten Bearbeitungszeiten für den Schleifprozess abgedeckt werden kann. Insbesondere kann das Abtragungsfluid derart gewählt werden, dass im Laufe der Bearbeitung im Mittel eine Durchflusssteigerung, d.h. eine Steigerung der Durchflussrate des Abtragungsfluids, von etwa 7 % bis 15 % erzielt wird, die vorzugsweise unabhängig von der Kanalgeometrie vorgesehen wird.at The ablation fluid can basically be any fluid continuum acting on which the material surrounding the passage opening flow has a erosive effect. It is particularly preferred that the Abtragungsfluid a hydroerosive grinding fluid with a carrier liquid and abrasive particles contained therein. Under hydroeroses grinding fluids in the sense of the invention both grinding fluids with a carrier liquid water-based as well as those with an oil-based carrier fluid or another basis. In particular, the hydroerosive ablation fluid According to the invention also be anhydrous. The abrasive portion of the abrasive abrasive particles in the grinding fluid is suitably adjusted so that the widest possible input tolerance range for the Diameter and / or for the flow of the passage opening covered at suitable processing times for the grinding process can be. In particular, the ablation fluid may be chosen such that that in the course of processing on average a flow increase, i.e. an increase in the flow rate of the ablation fluid, of about 7% to 15% is achieved, which is preferably independent of the channel geometry is provided.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Einstellen der Druck differenz der Gegendruck zusammen mit dem Schleifdruck hochgefahren wird. Bei dieser bevorzugten Verfahrensvariante werden die Drücke auf beiden Seiten der Durchgangsöffnung zu Beginn des Bearbeitungsvorganges parallel, d.h. gleichzeitig aufgebaut, wobei der Schleifdruck und der Gegendruck bereits beim Hochfahren zumindest annähernd gleich eingestellt sind.A particularly preferred embodiment The invention is characterized in that before setting the pressure difference of the back pressure together with the grinding pressure is raised. In this preferred process variant be the pressures on both sides of the passage opening at the beginning of the machining process in parallel, i. simultaneously constructed, with the grinding pressure and the back pressure already at Startup at least approximate are set equal.

Grundsätzlich ist es möglich, die Druckdifferenz im Anschluss an die Gleicheinstellung von Gegendruck und Schleifdruck dadurch zu erzeugen, dass der Gegendruck gegenüber dem Schleifdruck erniedrigt wird, wobei der Schleifdruck insbesondere konstant bleibt. Besonders bevorzugt ist jedoch, dass zum Erzeugen der Druckdifferenz für die Strömung der Schleifdruck zunächst gegenüber dem Gegendruck erhöht wird. Geeigneterweise wird dabei der Gegendruck konstant gehalten. Eine solche Verfahrensführung kann prozesstechnisch insbesondere mittels Kolbenpumpen besonders einfach realisiert werden.Basically it is possible the pressure difference following the equalization of back pressure and to generate grinding pressure in that the back pressure against the Abrasive pressure is lowered, the grinding pressure in particular constant remains. However, it is particularly preferred that for generating the pressure difference for the Flow of Sanding pressure first across from increased the back pressure becomes. Suitably, the back pressure is kept constant. Such a procedure can process technology especially by means of piston pumps especially easy to be realized.

Erfindungsgemäß ist ferner besonders vorteilhaft, dass mindestens eine Kenngröße der Durchgangsöffnung, insbesondere eine Durchflussrate, deren zeitliche Änderung, ein Durchmesser, eine Materialabtragungsrate, ein Druck und/oder ein Wandneigungswinkel, ermittelt wird und dass die Druckdifferenz in Abhängigkeit der mindestens einen Kenngröße eingestellt wird. Eine derartige Verfahrensführung ermöglicht eine gezielte, insbesondere bauteilabhängige Einstellung der Bearbeitungsgeschwindigkeit durch gezielte Einstellung und Regelung des Schleifdrucks und des Gegendrucks anhand der ermittelten Kenngröße der Durchgangsöffnung. Hierdurch können einerseits zu hohe Abtragungsraten, dass heißt zu geringe Bearbeitungszeiten, die eine genaue Prozesskontrol le erschweren, weitestgehend vermieden werden. Andererseitskönnen auch zu geringe Abtragungsraten, die die Bearbeitungszeiten erhöhen und somit den Bauteildurchsatz in der Produktion verringern können, weitesgehend vermieden werden. Die bevorzugte Verfahrensführung ermöglicht es insbesondere, Durchflusstoleranzen, die beispielsweise in herstellungsbedingten Durchmessertoleranzen der Durchgangsöffnung begründet sein können, zu berücksichtigen.The invention is further Particularly advantageous that at least one characteristic of the passage opening, in particular a flow rate whose time change, a diameter, a material removal rate, a pressure and / or a wall tilt angle, is determined and that the pressure difference dependent on set the at least one characteristic becomes. Such a procedure allows a targeted, in particular component-dependent adjustment of the processing speed targeted adjustment and regulation of the grinding pressure and the back pressure based on the determined characteristic of the passage opening. This allows On the one hand, too high removal rates, that is, too short processing times, which complicate a precise process control le, are largely avoided. On the other hand Can too low ablation rates, which increase the processing times and thus reduce component throughput in production, as far as possible be avoided. The preferred process management makes it possible in particular, flow tolerances, for example, in production-related diameter tolerances the passage opening justified could be, to take into account.

Insbesondere bei Verwendung eines Senkerosionsverfahrens zum Einbringen von Bohrung können derartige Durchflusstoleranzen beispielsweise etwa +/– 5 % betragen. Durch die erfindungsgemäß kenngrößenabhängige Regelung der Druckdifferenz können aus diesem Toleranzbereich resultierende Schwankungen der Zeiten für die hydroerosive Bearbeitung, die auf dem relativ großen Einfluß der Durchflussraten auf die Bearbeitungszeiten beruhen, stark vermindert werden. Zur Anpassung der Druckdifferenz an unterschiedliche Durchmesser der Durchgangsöffnungen kann als Kenngröße insbesondere die Durchflussrate des Abtragungsfluids durch die Durchgangsöffnung bestimmt werden. Der Durchmesser der Durchgangsöffnung kann aber auch in sonstiger Weise direkt oder indirekt bestimmt werden.Especially when using a sink erosion method for introducing bore can Such flow tolerances, for example, be about +/- 5%. By the invention according to the size-dependent control the pressure difference can resulting from this tolerance range fluctuations of times for the Hydroerosive processing, due to the relatively large influence of flow rates based on the processing times, be greatly reduced. to Adjustment of the pressure difference to different diameters of the through holes can be used as a parameter in particular determines the flow rate of Abtragungsfluids through the passage opening become. The diameter of the passage opening can also in other Be determined directly or indirectly.

Neben einer Berücksichtigung von Toleranzen im Durchmesser und/oder in der Durchflussrate der Durchgangsöffnung können mittels der kenngrößenabhängigen Einstellung der Druckdifferenz aber auch unterschiedliche Kanalgeometrien, d.h.Next a consideration of tolerances in diameter and / or in the flow rate of Through opening can by means of the characteristic-size-dependent setting the pressure difference but also different channel geometries, i.

Querschnittsformen der Durchgangsöffnung berücksichtigt werden. Hierzu kann bevorzugt die zeitliche Änderung der Durchflussrate des Abtragungsfluids in der Durchgangsöffnung bestimmt werden. Es kann aber auch der Wand neigungswinkel an der schleifdruck- und/oder gegendruckseitigen Kante der Durchgangsöffnung auf andere Weise direkt oder indirekt bestimmt werden. Bei der Bestimmung der zeitlichen Änderung der Durchflussrate, d.h. deren zeitlichen Ableitung, kann berücksichtigt werden, dass bei einem konisch nach außen öffnenden Kanal, d.h. bei einem Kanal, dessen schleifdruckseitiger Durchmesser kleiner als sein gegendruckseitiger Durchmesser ist, der Anstieg der Durchflussrate zu Beginn der Bearbeitung durch die eintretende Bohrungsdurchmessererweiterung verglichen mit einem zylindrischen Kanal erhöht ist. Bei einem konisch nach außen verjüngten Kanal hingegen, d.h. bei einem Kanal, dessen schleifdruckseitiger Durchmesser größer als sein gegendruckseitiger Durchmesser ist, wird der anfängliche Durchflussanstieg nach kurzer Bearbeitungsdauer verlangsamt, da die Drosselwirkung des Kanals maßgeblich durch die Verjüngung des Kanals bestimmt wird.Cross-sectional shapes of the passage opening are taken into account. For this purpose, preferably the temporal change of the flow rate of the ablation fluid in the passage opening can be determined. But it can also be the angle of inclination at the grinding pressure and / or counter pressure side edge of the passage opening determined in another way directly or indirectly. When determining the change with time of the flow rate, ie its time derivative, it can be taken into account that with a conically outwardly opening channel, ie with a channel whose slip pressure side diameter is smaller than its counterpressure-side diameter, the increase in the flow rate Start of machining is increased by the entering bore diameter extension compared to a cylindrical channel. On the other hand, in the case of a conically outwardly tapered channel, ie a channel whose diameter on the slip pressure side is greater than its counterpressure-side diameter, the initial flow increase is slowed down after a short processing time, since the throttling effect of the channel is largely determined by the tapering of the channel.

Durch die erfindungsgemäße kenngrößenabhängige Einstellung der Druckdifferenz kann weitestgehend verhindert werden, dass Teile am oberen Durchflusstoleranzband und/oder solche mit konisch nach außen öffnender Kanalgeometrie durch zu kurze Bearbeitungszeiten auf einen fehlerhaften Durchflusswert geschliffen werden und dadurch aus dem Produktionsprozess ausgeschleust werden müssen. Andererseits kann weitestgehend verhindert werden, dass bei Teilen mit konisch nach außen verjüngter Kanalgeometrie die Schleifzeiten zu lang werden, wodurch gegebenenfalls die in einer Kolbenpumpe eingespeicherte Abtragungsfluidmenge nicht zur Beendigung der Bearbeitung ausreicht und somit die Bearbeitung unterbrochen werden muss, was zu einer wesentlichen Verlängerung der Bearbeitungsdauer sowie zu einem erhöhten Ausschussanteil führen kann.By the characteristic-size-dependent adjustment according to the invention The pressure difference can be largely prevented, parts at the upper flow tolerance band and / or those with conical outside opening Channel geometry due to too short processing times on a faulty Flow value can be ground and thereby out of the production process must be discharged. on the other hand can be largely prevented that parts with conical outward tapered channel geometry the grinding times are too long, whereby possibly the in a discharge pump not stored to a piston pump Completion of the processing sufficient and thus the processing is interrupted must be, resulting in a substantial extension of the processing time as well as to an increased Lead fraction can.

Eine besonders brauchbare Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdifferenz zunächst auf einen vorher bestimmten, ersten Druckdifferenzwert eingestellt und die Kenngröße ermittelt wird und dass die Druckdifferenz anschließend kenngrößenabhängig eingestellt wird. In dieser Ausführungsform erfolgt die Bestimmung der Kenngröße und insbesondere der Durchflusseigenschaften der Durchgangsöffnung bereits am Prozessbeginn, bevorzugt unmittelbar nach dem Einstellen des ersten Druckdifferenzwertes. Der Prozess ist hierdurch bereits in der Anfangsphase des Schleifprozesses steuerbar, wodurch Durchgangsöffnungen mit einer besonders breiten Bauteiltolerenz zuverlässig auf einen Zielwert hin bearbeitet werden können.A particularly useful embodiment the method according to the invention is characterized in that the pressure difference initially on set a predetermined first pressure difference value and the characteristic determined and that the pressure difference is then set as a function of the characteristic size. In this Embodiment takes place the determination of the parameter and in particular the flow properties of the passage opening already at the beginning of the process, preferably immediately after setting the first pressure difference value. The process is thus already in the initial phase of the grinding process controllable, creating passage openings Reliable with a particularly wide component tolerance a target value can be edited.

Erfindungsgemäß besonders bevorzugt ist es, dass der erste Druckdifferenzwert relativ zum Schleifdruck 5 bis 15 %, insbesondere etwa 10 % beträgt. Ein solcher Druckdifferenzwert ermöglicht eine sichere Kenngrößenbestimmung bei gleichzeitig ausreichend niedriger anfänglicher Abtragungsrate.Particularly according to the invention it is preferred that the first pressure difference value relative to the grinding pressure 5 to 15%, in particular about 10%. Such a pressure difference value allows a reliable characteristic determination at the same time sufficiently low initial ablation rate.

Eine besondere geeignete Weiterbildung der Erfindung besteht ferner darin, dass die Druckdifferenz invers zur Durchflussrate und/oder dem Durchmesser eingestellt wird. Hierunter wird verstanden, dass die Druckdifferenz bei geringer Durchflussrate und/oder geringem Durchmesser der Durchgangsöffnung vergrößert und bei großer Durchflussrate und/oder großem Durchmesser verkleinert wird. Hierdurch wird eine besonders wirksame Kontrolle des Bearbeitungsprozesses ermöglicht.A special suitable development of the invention further consists in that the pressure difference inversely to the flow rate and / or the diameter is set. By this is meant that the pressure difference increased at low flow rate and / or small diameter of the through hole and at big Flow rate and / or large Diameter is reduced. This will be a particularly effective Control of the machining process allows.

Erfindungsgemäß kann es besonders nützlich sein, dass die Richtung der Strömung in der Durchgangsöffnung insbesondere kenngrößenabhängig umgekehrt wird. Dies kann vor allem bei Vorliegen einer konisch nach außen verjüngten Kanalgeometrie der Durchgangsöffnung durchgeführt werden, d.h. bei einem Kanal, dessen schleifdruckseitiger Durchmesser größer als sein gegendruckseitiger Durchmesser ist. Durch die umgekehrte Strömung des Abtragungsfluids von der Gegendruckseite auf die Schleifdruckseite des Bauteils wird gezielt die gegendruckseitige Seite, d.h. die auslassseitige Seite der Durchgangsöffnung bearbeitet, was zu einer besonders wirksamen Vergrößerung der Durchgangsöffnung führt. Die zum Nachweis einer nach außen verjüngten Kanalgeometrie und zur Umkehr der Strömung herangezogene Kenngröße kann insbesondere die zeitliche Änderung der Durchflussrate und/oder der Wandneigungswinkel an der gegendruckseitigen Kante der Durchgangsöffnung sein.According to the invention it can especially useful be that the direction of the flow in the passage opening In particular, characteristic-dependent reversed becomes. This can especially in the presence of a conically outwardly tapered channel geometry the passage opening carried out are, i. in the case of a channel whose diameter on the slip-side greater than its back pressure side diameter is. Due to the reverse flow of the Abtragungsfluids from the counter-pressure side to the grinding pressure side of the component is targeted to the counterpressure side, i. the edited outlet side of the passage opening, resulting in a particularly effective enlargement of the Through opening leads. The proof of an outwardly tapered channel geometry and to reverse the flow used characteristic can especially the temporal change the flow rate and / or the wall tilt angle at the back pressure side Edge of the passage opening be.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann insbesondere zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dienen, wodurch die in diesem Zusammenhang beschriebenen Vorteile erreicht werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerung mit der Gegendruckerzeugungseinrichtung zum Steuern des Gegendrucks in Verbindung steht. Hierdurch kann ein unabhängiges Steuern des Schleifdrucks und des Gegendrucks realisiert werden. Bevorzugt können diese Drücke auch zu Beginn der Bearbeitung, zunächst durchflussratenunabhängig eingestellt werden. Hierdurch wird eine besonders präzise Bearbeitung der Durchgangsöffnung ermöglichst. Unter dem Steuern der Drücke kann erfindungsgemäß auch ein Regeln verstanden werden.The inventive device especially for carrying out the method according to the invention serve, thereby the advantages described in this context be achieved. The device according to the invention is characterized that the control with the counter-pressure generating means for controlling the back pressure is in communication. This can be an independent tax the grinding pressure and the back pressure can be realized. Prefers can this pressures also at the beginning of processing, initially set independent of flow rate become. As a result, a particularly precise processing of the passage opening ermöglichst. Under the control of the pressures can according to the invention also a rules be understood.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Kenngrößenerfassungseinrichtung zum Ermitteln mindestens einer Kenngröße der Durchgangsöffnung vorgesehen ist, und dass die Kenngrößenerfassungseinrichtung zum kenngrößenabhängigen Steuern einer Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck und dem Gegendruck mit der Steuerung in Verbindung steht. Bei der mindestens einen Kenngröße kann es sich insbesondere um eine der im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren beschriebenen Kenngrößen handeln, wodurch mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Steuerung der Druckdifferenz und folglich der Durchflussrate des Abtragungsfluides in Abhängigkeit von den Abmessungen und der Geometrie der Durchgangsöffnung erfolgen kann.A particularly preferred embodiment the device according to the invention is characterized in that a characteristic quantity detecting device for Determining at least one characteristic of the passage opening provided is, and that the characteristic acquisition device for characteristic-size-dependent taxes a pressure difference between the grinding pressure and the back pressure communicates with the controller. At least one Characteristic can it is in particular one of the in connection with the method according to the invention act as described characteristics, whereby with the device according to the invention a control of the pressure difference and consequently the flow rate of the ablation fluid depending on be made by the dimensions and geometry of the through hole can.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die einzige Figur zeigt schematisch:The Invention will be described below with reference to the drawing of preferred embodiments explained in more detail. The single figure shows schematically:

1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung. 1 an inventive device for processing a through hole.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist in der 1 dargestellt. Die Vorrichtung weist einen Vorratsbehälter 22 zur Aufnahme von Abtragungsfluid auf. Der Vorratsbehälter 22 steht über ein erstes Absperrorgan 23 mit einer Schleifdruckkolbenpumpe 30 einer Schleifdruckerzeugungseinrichtung in Fluidverbindung, die einen zeitlich konstanten Volumenstrom und/oder einen zeitlich konstanten Druck des Abtragungsfluids erzeugen kann. Zur Steuerung des Pumpvolumens weist die Schleifdruckkolbenpumpe 30 eine Spindel 32 auf, die von einem als Schrittmotor ausgebildeten Motor 33 angetrieben wird und die zusammen mit einem Hydraulikzylinder 34 einen Kolben 31 der Schleifdruckkolbenpumpe 30 antreibt.An inventive device is in the 1 shown. The device has a reservoir 22 for receiving ablation fluid. The storage tank 22 is about a first obturator 23 with a grinding pressure piston pump 30 a fluid pressure generating device in fluid communication, which can produce a temporally constant volume flow and / or a time constant pressure of the Abtragungsfluids. To control the pumping volume, the grinding pressure piston pump 30 a spindle 32 on, by a motor designed as a stepper motor 33 is driven and which together with a hydraulic cylinder 34 a piston 31 the grinding pressure piston pump 30 drives.

Über einen Durchflusssensor 25 einer nicht dargestellten Kenngrößenerfassungseinrichtung sowie ein zweites Absperrorgan 24 steht die Schleifdruckkolbenpume 30 seitens einer Einlaufseite 3 einer Durchgangsöffnung 10 in einem Bauteil 1 mit dieser Durchgangsöffnung 10 in Fluidverbindung. Zwischen der Schleifdruckkolbenpumpe 30 und dem zweiten Absperrorgan 24 ist ein Schleifdrucksensor 26 zum Bestimmen des Schleifdrucks oberstromig und einlaufseitig des Bauteils 1 vorgesehen. Die im Bauteil 1 befindliche und als Bohrung ausgebildete Durchgangsöffnung 10 wird beim erfindungsgemäßen Verfahren durch fließendes Abtragungsfluid insbesondere einlaufseitig an einer einlaufseitigen Einlasskante verrundet.Via a flow sensor 25 a characteristic detection device, not shown, and a second obturator 24 stands the grinding pressure piston pump 30 from an inlet side 3 a passage opening 10 in a component 1 with this passage opening 10 in fluid communication. Between the grinding pressure piston pump 30 and the second obturator 24 is a grinding pressure sensor 26 for determining the grinding pressure upstream and upstream of the component 1 intended. The in the component 1 located and formed as a bore passage opening 10 is rounded in the inventive method by flowing Abtragungsfluid particular inlet side at an inlet side inlet edge.

Seitens ihrer Auslaufseite 5 steht die Durchgangsöffnung 10 über ein drittes Absperrorgen 44 mit einer Gegendruckkolbenpumpe 40 einer Gegendruckerzeugungseinrichtung in Verbindung, die zum Erzeugen eines auslaufseitigen Gegendrucks dient. Die Gegendruckkolbenpumpe 40 ist hydraulisch betätigbar ausgebildet. Zwischen dem dritten Absperrsorgan 44 und der Gegendruckkolbenpumpe 40 ist ein Gegendrucksensor 46 zum Bestimmen des Gegendrucks angeordnet. Über ein viertes Absperrorgan 45 steht die Gegendruckkolbenpumpe 40 zum Entleeren mit einer Ablaufleitung 50 in Verbindung.On the part of their outlet side 5 is the passage opening 10 via a third shut-off 44 with a counter-pressure piston pump 40 a back pressure generating means in communication, which serves for generating an outlet-side back pressure. The counter-pressure piston pump 40 is formed hydraulically actuated. Between the third shut-off organ 44 and the counter-pressure piston pump 40 is a back pressure sensor 46 arranged to determine the back pressure. About a fourth obturator 45 is the counter-pressure piston pump 40 for emptying with a drain line 50 in connection.

Die dargestellte Vorrichtung kann insbesondere zur Konstantdruckbearbeitung und/oder zur Konstantvolumenstrombearbeitung der Durchgangsöffnung 10 dienen. Bei der ersten Verfahrensvariante, der Konstantdruckbearbeitung, werden zu Beginn der Bearbeitung mittels der Schleifdruckkolbenpumpe 30 und der Gegendruckkolbenpumpe 40 die Drücke an der Einlaufseite 3 und an der Auslaufseite 5 des Bauteils 1 parallel aufgebaut, wodurch in der Durchgangsöffnung 10 noch keine Strömung des Abtragungsfluids erzeugt wird und somit keine effektive Bearbeitung der Durchgangsöffnung 10 erfolgt. Mit Erreichen eines auslaufseitigen Solldrucks, der mittels des Gegendrucksensors 46 bestimmt werden kann, wird der Gegendruckaufbau gestoppt und lediglich der einlaufseitige, d.h. der eingangsseitige Druck weiter gesteigert, bis ein Druck erreicht wird, der unter Ausbildung einer Druckdifferenz an der Durchgangsöffnung 10 geringfügig höher ist als der Solldruck und einen vergleichsweise geringen und langsamen Materialabtrag in der Durchgangsöffnung 10 gewährleistet. Bei dieser Druckdifferenz wird mittels des Durchflusssensors 25 eine Bestimmung des Durchflusses sowie der zeitlichen Durchflussänderung durchgeführt.The illustrated device can in particular for constant pressure processing and / or for constant volumetric flow processing of the passage opening 10 serve. In the first process variant, the constant pressure machining, are at the beginning of processing by means of the grinding pressure piston pump 30 and the counter-pressure piston pump 40 the pressures at the inlet side 3 and at the outlet side 5 of the component 1 built in parallel, whereby in the passage opening 10 no flow of Abtragungsfluids is generated and thus no effective processing of the passage opening 10 he follows. With reaching a discharge-side target pressure, by means of the back pressure sensor 46 can be determined, the counter-pressure build-up is stopped and only the inlet side, ie the input-side pressure further increased until a pressure is reached, forming a pressure difference at the passage opening 10 is slightly higher than the target pressure and a comparatively small and slow material removal in the through hole 10 guaranteed. At this pressure difference is by means of the flow sensor 25 a determination of the flow and the temporal flow change performed.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im oberen Durchflusstoleranzfeld hin, werden der Schleifdruck und der Gegendruck unverändert gelassen und die Bearbeitung wird fortgeführt.Indicates the result on a component 1 In the upper flow tolerance field, the grinding pressure and the back pressure are left unchanged and the processing is continued.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im mittlerem Durchflusstoleranzfeld hin, wird der Gegendruck abgesenkt, wodurch der Materialabtrag an der eingangsseitige Kante der Durchgangsöffnung 10 und somit die Bearbeitungsgeschwindigkeit gesteigert wird.Indicates the result on a component 1 in the middle flow tolerance field, the back pressure is lowered, whereby the material removal at the input side edge of the through hole 10 and thus the processing speed is increased.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im unteren Durchflusstoleranzfeld hin, wird der Gegendruck abgesenkt und gleichzeitig der Schleifdruck angehoben, wodurch der Ma terialabtrag an der eingangsseitigen Kante der Durchgangsöffnung 10 und somit die Bearbeitungsgeschwindigkeit weiter gesteigert wird.Indicates the result on a component 1 in the lower flow tolerance field, the back pressure is lowered and at the same time raised the grinding pressure, whereby the Ma terialabtrag on the input side edge of the through hole 10 and thus the processing speed is further increased.

Tritt während der Bearbeitung eine Stagnation des zeitlichen Anstieges des Durchflusses ein, so kann dies auf eine konisch nach außen, d.h. zur Auslaufseite 5 hin verjüngte Geometrie der Durchgangsöffnung 10 hinweisen. In diesem Fall kann der Gegendruck so weit angehoben, dass sich ein inverser Fluss, d.h. eine inverse Strömung des Abtragungsfluids durch die Durchgangsöffnung 10 einstellt und somit gezielt die Auslaufseite 5 bearbeitet wird, wodurch der Durchmesser der Durchgangsöffnung 10 besonders effizient vergrößert wird. Vor Erreichen eines gewünschten Sollwertes für den Durchfluss wird der Gegendruck wieder auf den vorherigen Wert abgesenkt und die Bearbeitung mit normaler Strömungsrichtung zu Ende geführt.If a stagnation of the time increase of the flow occurs during machining, this may be due to a conical outward, ie to the outlet side 5 towards tapered geometry of the passage opening 10 clues. In this case, the back pressure can be raised so far that an inverse flow, ie, an inverse flow of Abtragungsfluids through the through hole 10 adjusts and thus targeted the outlet side 5 is processed, whereby the diameter of the passage opening 10 is particularly efficiently enlarged. Before reaching a desired setpoint for the flow, the back pressure is lowered again to the previous value and the processing with normal flow direction is completed.

Die für die unterschiedlichen Bearbeitungsdrücke unterschiedlichen Solldurchflüsse werden von einer Steuerung für jedes Druckverhältnis individuell berechnet. Als Abschaltkriterium kann ein vom Durchflusssensor 25 gelieferter Wert verwendet werden.The desired flow rates, which are different for the different processing pressures, are calculated individually by a controller for each pressure ratio. As a shutdown criterion can be a from the flow sensor 25 supplied value used who the.

Bei der zweiten Verfahrensvariante, der Konstantvolumenstrombearbeitung, werden zu Beginn der Bearbeitung ebenfalls mittels der Schleifdruckkolbenpumpe 30 und der Gegendruckkolbenpumpe 40 der Schleifdruck an der Einlaufseite 3 und der Gegendruck an der Auslaufseite 5 parallel aufgebaut, wodurch keine effektive Bearbeitung erfolgt. Mit Erreichen eines auslaufseitigen Solldrucks wird der Gegendruckaufbau gestoppt und der einlaufseitige Schleifdruck wird weiter gesteigert, bis unter Ausbildung einer Druckdifferenz ein Schleifdruck erreicht wird, der nur geringfügig höher ist als der Gegendruck, wodurch ein vergleichsweise geringer Materialabtrag gewährleistet wird. Bei diesem Druckverhältnis wird mittels des Durchflusssensors 25 eine Bestimmung des Durchflusses, d.h. der Durchflussrate durchgeführt.In the second variant of the method, the constant volumetric flow processing, are also at the beginning of processing by means of the grinding pressure piston pump 30 and the counter-pressure piston pump 40 the grinding pressure at the inlet side 3 and the back pressure on the outlet side 5 built in parallel, whereby no effective processing takes place. Upon reaching a discharge-side target pressure of the counter-pressure build-up is stopped and the inlet-side grinding pressure is further increased until a pressure difference is achieved, a grinding pressure is achieved, which is only slightly higher than the back pressure, whereby a comparatively low material removal is ensured. At this pressure ratio is by means of the flow sensor 25 a determination of the flow, ie the flow rate performed.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im oberen Durchflusstoleranzfeld hin, wird mittels der Schleifdruckkolbenpumpe 30 der für dieses Druckverhältnis mittels einer Steuerung errechnete Solldurchfluss erzeugt, wobei der Gegendruck mittels der Gegendruckkolbenpumpe 40 unverändert gelassen und die Bearbeitung fortgeführt wird.Indicates the result on a component 1 in the upper flow tolerance field, by means of the grinding pressure piston pump 30 generates the calculated for this pressure ratio by means of a control desired flow, the back pressure by means of the back pressure piston pump 40 left unchanged and the processing is continued.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im mittleren Durchflusstoleranzfeld hin, wird mittels der Schleifdruckkolbenpumpe 30 der für dieses Druckverhältnis errechnete Solldurchfluss erzeugt, wobei der Gegendruck unverändert gelassen oder abgesenkt wird und die Bearbeitung fortgeführt wird.Indicates the result on a component 1 in the middle flow tolerance field, by means of the grinding pressure piston pump 30 the calculated for this pressure ratio target flow generated, the back pressure is left unchanged or lowered and the processing is continued.

Weist das Ergebnis auf ein Bauteil 1 im unteren Durchflusstoleranzfeld hin, wird der Schleifdruck angehoben, der Gegendruck abgesenkt und mittels der Schleifdruckkolbenpumpe 30 der für dieses Druckverhältnis errechnete Solldurchfluss erzeugt und die Bearbeitung fortgeführt.Indicates the result on a component 1 in the lower flow tolerance field, the grinding pressure is raised, the back pressure is lowered and by means of the grinding pressure piston pump 30 generates the calculated for this pressure ratio target flow and continues the processing.

Tritt während der Bearbeitung eine Stagnation der zeitlichen Änderung des Schleifdrucks oder der Durchflussrate ein, so kann dies auf eine konisch nach außen, d.h. zur Auslaufseite 5 hin verjüngte Geometrie der Durchgangsöffnung 10 hinweisen. In diesem Fall kann der Gegendruck so weit angehoben werden, dass sich eine inverse Strömung durch die Durchgangsöffnung 10 einstellt und somit diese Durchgangsöffnung 10 an der Auslaufseite 5 bearbeitet wird wodurch der Durchmesser der Durchgangsöffnung 10 besonders effizient vergrößert wird. Vor Erreichen eines gewünschten Sollwertes für den Durchfluss wird der Gegendruck wieder auf den vorherigen Wert abgesenkt und die Bearbeitung mit normaler Strömungsrichtung zu Ende geführt.If a stagnation of the temporal change of the grinding pressure or the flow rate occurs during machining, this may be due to a conical outward, ie to the outlet side 5 towards tapered geometry of the passage opening 10 clues. In this case, the back pressure can be raised so far that an inverse flow through the through hole 10 adjusts and thus this passage opening 10 at the outlet side 5 is processed whereby the diameter of the passage opening 10 is particularly efficiently enlarged. Before reaching a desired setpoint for the flow, the back pressure is lowered again to the previous value and the processing with normal flow direction is completed.

Die für die unterschiedlichen Bearbeitungsdrücke unterschiedlichen Solldurchflüsse können von einer Steuerung für jedes Druckverhältnis individuell errechnet werden. Als Abschaltkriterium kann ein vom Schleifdrucksensor 26, vom Gegendrucksensor 46 und/oder vom Durchflussmesssensor 25 gelieferte Wert verwendet werden.The different nominal flow rates for the different processing pressures can be individually calculated by a controller for each pressure ratio. As Abschaltkriterium can from the grinding pressure sensor 26 , from the back pressure sensor 46 and / or from the flowmeter sensor 25 delivered value can be used.

Claims (10)

Verfahren zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung (10), insbesondere eines Ventilkanals, bei dem – ein Abtragungsfluid auf einer Seite der Durchgangsöffnung (10) mit einem Schleifdruck und auf der anderen Seite der Durchgangsöffnung (10) mit einem Gegendruck beaufschlagt wird und – das Abtragungsfluid unter Materialabtragung in der Durchgangsöffnung (10) in Strömung versetzt wird, dadurch gekennzeichnet, – dass zunächst der Gegendruck in etwa gleich dem Schleifdruck eingestellt wird und – dass anschließend zum Erzeugen der Strömung eine Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck und dem Gegendruck eingestellt wird.Method for processing a passage opening ( 10 ), in particular a valve channel, in which - a removal fluid on one side of the passage opening ( 10 ) with a grinding pressure and on the other side of the passage opening ( 10 ) is acted upon by a counterpressure and - the Abtragungsfluid material removal in the passage opening ( 10 ) is set in flow, characterized in that - first, the counter-pressure is set approximately equal to the grinding pressure and - that then for generating the flow, a pressure difference between the grinding pressure and the back pressure is adjusted. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Einstellen der Druckdifferenz der Gegendruck zusammen mit dem Schleifdruck hochgefahren wird.Method according to claim 1, characterized in that that before adjusting the pressure difference, the back pressure together is raised with the grinding pressure. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Erzeugen der Druckdifferenz für die Strömung der Schleifdruck zunächst gegenüber dem Gegendruck erhöht wird.Method according to one of claims 1 or 2, characterized that for generating the pressure difference for the flow of the grinding pressure initially against the Counterpressure increased becomes. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Kenngröße der Durchgangsöffnung (10), insbesondere eine Durchflussrate, deren zeitliche Änderung, ein Durchmesser, eine Materialabtragungsrate, ein Druck und/oder ein Wandneigungswinkel, ermittelt wird und dass die Druckdifferenz in Abhängigkeit der mindestens einen Kenngröße eingestellt wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one characteristic of the passage opening ( 10 ), in particular a flow rate whose time change, a diameter, a material removal rate, a pressure and / or a wall inclination angle, is determined and that the pressure difference is set as a function of the at least one characteristic. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdifferenz zunächst auf einen vorher bestimmten, ersten Druckdifferenzwert eingestellt und die Kenngröße ermittelt wird, und dass die Druckdifferenz anschließend kenngrößenabhängig eingestellt wird.Method according to claim 4, characterized in that that the pressure difference first set to a predetermined first pressure difference value and the characteristic determined is, and that the pressure difference is then set characteristic dependent. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Druckdifferenzwert relativ zum Schleifdruck 5% bis 15%, insbesondere etwa 10% beträgt.Method according to claim 5, characterized in that that the first pressure difference value relative to the grinding pressure 5% to 15%, in particular about 10%. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdifferenz invers zur Durchflussrate und/oder dem Durchmesser eingestellt wird.Method according to one of claims 4 to 6, characterized that the pressure difference is set inversely to the flow rate and / or the diameter becomes. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Richtung der Strömung in der Durchgangsöffnung insbesondere kenngrößenabhängig umgekehrt wird.Method according to one of claims 1 to 7, characterized that the direction of the flow in the passage opening In particular, characteristic-dependent reversed becomes. Vorrichtung zum Bearbeiten einer Durchgangsöffnung (10) mit einem Abtragungsfluid unter Strömung, insbesondere zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, mit – einer Schleifdruckerzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines Schleifdrucks im Abtragungsfluid auf einer Seite der Durchgangsöffnung (10) – einer Gegendruckerzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines Gegendrucks im Abtragungsfluid auf der anderen Seite der Durchgangsöffnung (10) und – einer Steuerung, die zum Steuern des Schleifdrucks mit der Schleifdruckerzeugungseinrichtung in Verbindung steht, dadurch gekennzeichnet, – dass die Steuerung zudem mit der Gegendruckerzeugungseinrichtung zum Steuern des Gegendrucks in Verbindung steht.Device for processing a passage opening ( 10 with an underflow fluid, in particular for carrying out the method according to one of claims 1 to 8, with a grinding pressure generating device for generating a grinding pressure in the ablation fluid on one side of the through-opening ( 10 ) - a back pressure generating means for generating a back pressure in the Abtragungsfluid on the other side of the passage opening ( 10 ) and - a controller communicating with the grinding pressure generating means for controlling the grinding pressure, characterized in that - the controller is also in communication with the back pressure generating means for controlling the back pressure. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kenngrößenerfassungseinrichtung zum Ermitteln mindestens einer Kenngröße der Durchgangsöffnung (10) vorgesehen ist, und dass die Kenngrößenerfassungseinrichtung zum kenngrößenabhängigen Steuern einer Druckdifferenz zwischen dem Schleifdruck und dem Gegendruck mit der Steuerung in Verbindung steht.Apparatus according to claim 9, characterized in that a characteristic quantity detecting device for determining at least one characteristic of the passage opening ( 10 ), and that the characteristic quantity detecting means for the characteristic-dependent control of a pressure difference between the grinding pressure and the back pressure is in communication with the controller.
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