DE102004015226B3

DE102004015226B3 - Plasma cleaning method suitable for interior surfaces of e.g. bulbs for discharge lamps, forms back pressure and ignites plasma only inside bulb

Info

Publication number: DE102004015226B3
Application number: DE200410015226
Authority: DE
Inventors: Axel Arndt; Ursus Dr. Krüger; Uwe Pyritz
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 2004-03-24
Filing date: 2004-03-24
Publication date: 2005-08-25
Anticipated expiration: 2024-03-25
Also published as: WO2005096337A1

Abstract

The bulb is introduced into a cleaning chamber (11) and a working gas is passed into the bulb (14) under controlled pressure. This sets up a back pressure. A plasma is ignited in the bulb. The working gas then leaves the bulb and enters the cleaning chamber. An independent claim is included for corresponding equipment.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Plasmareinigen eines Werkstücks, bei dem das Werkstück in einer Reinigungskammer platziert wird, die Reinigungskammer unter Einstellen eines vorgegebenen Druckes mit einem Arbeitsgas gefüllt wird und ein das Werkstück reinigendes Plasma in dem Arbeitsgas gezündet wird, wobei das Werkstück ein Hohlkörper ist und das Arbeitsgas unter Ausbildung des vorgegebenen Druckes durch den Hohlkörper geleitet wird.The The invention relates to a method for plasma cleaning a workpiece the workpiece is placed in a cleaning chamber, the cleaning chamber below Setting a predetermined pressure with a working gas is filled and a the workpiece cleaning plasma is ignited in the working gas, wherein the workpiece is a hollow body and the working gas under formation of the predetermined pressure by passed the hollow body becomes.

Ein Verfahren zum Plasmareinigen ist beispielsweise in der US 2003/0047191 A1 beschrieben. Danach kann ein Werkstück in einer Reinigungskammer platziert werden, wobei diese nach Verschluss evakuiert und anschließend unter Einhaltung eines vorgegebenen Druckes mit Wasserstoff als Arbeitsgas befüllt wird. Anschließend wird in dem Wasserstoff ein Plasma gezündet, indem die Ionenenergie so eingestellt wird, dass die Ionen zur Reinigung der Werkstückoberfläche von Rückständen geeignet sind.One A process for plasma cleaning is described for example in US 2003/0047191 A1 described. Thereafter, a workpiece in a cleaning chamber be placed, which evacuated after closure and then under Compliance with a given pressure with hydrogen as the working gas filled becomes. Subsequently A plasma is ignited in the hydrogen by the ion energy is adjusted so that the ions for cleaning the workpiece surface of Residues suitable are.

Gemäß dem Abstract der JP 03-108234 A ist ein weiteres Verfahren offenbart, bei dem ein rohrförmiger Lampenkörper zwecks Generierung eines reinigenden Plasmas im Inneren mit dem Ein- und Ausgang an zwei Anschlussleitungen angeschlossen wird. Ein Plasmagas wird über einen Vorratsbehälter über die eine Anschlussleitung eingespeist, wobei mittels einer an die andere Anschlussleitung angeschlossenen Pumpe der in dem Lampenkörper herrschende Druck kontrolliert wird. Der Lampenkörper taucht in eine an sich von Reaktionsgas freie Reaktionskammer ein, in der durch Mikrowellen in dem im Lampenkörper enthaltenen Reaktionsgas ein reinigendes Plasma entzündet werden kann.According to the abstract JP 03-108234 A discloses another method in which a tubular one lamp body for generating a purifying plasma inside with the Input and output connected to two connecting cables. A plasma gas is over a reservoir over the fed a connection line, wherein by means of one to the other Connecting line connected pump prevailing in the lamp body Pressure is controlled. The lamp body is immersed in one reaction gas-free reaction chamber in which by microwaves in the lamp body contained reaction gas a purifying plasma are ignited can.

Gemäß der US 5,342,233 A ist ein Verfahren zum Reinigen des Innenraums einer Gasentladungslampe beschrieben, bei dem mittels einer geeigneten Apparatur über eine einzige Öffnung im Lampenkörper ein Reaktionsgas sowohl eingeführt als auch wieder abgesaugt werden kann. Die Elektroden der Gasentladungslampe werden währenddessen dazu verwendet, im Inneren des Lampenkörpers ein die Innenwände des Lampenkörpers reinigendes Plasma zu zünden. Eine Reaktionskammer, in die der Lampenkörper zur Erzeugung eines Plasmas eingelegt werden müsste, ist nicht vorgesehen.According to the US 5,342,233 A a method for cleaning the interior of a gas discharge lamp is described in which by means of a suitable apparatus via a single opening in the lamp body, a reaction gas can both be introduced and sucked off again. Meanwhile, the electrodes of the gas discharge lamp are used to ignite a plasma cleaning the inner walls of the lamp body inside the lamp body. A reaction chamber, in which the lamp body would have to be inserted to produce a plasma, is not provided.

Gemäß der DE 697 06 573 T2 ist ein Verfahren zur Behandlung eines ringförmigen Hohlkörpers beschrieben, bei dem dieser Hohlkörper in eine geeignete Aufnahme in eine Reaktionskammer eingelegt wird. Die Aufnahme ist derart an das zu behandelnde Bauteil angepasst, das im Bereich der Aufnahme sowohl eine Zuführung wie auch eine Absaugung für das Reaktionsgas vorgesehen sind. An die Absaugung ist eine Vakuumpumpe angeschlossen, mit deren Hilfe der Druck im Behandlungsbehälter auf dem für die Plasmareinigung erforderlichem Niveau gehalten wird.According to the DE 697 06 573 T2 a method for the treatment of an annular hollow body is described, in which this hollow body is inserted into a suitable receptacle in a reaction chamber. The receptacle is adapted to the component to be treated in such a way that both a supply and an exhaust for the reaction gas are provided in the region of the receptacle. The vacuum is connected to a vacuum pump, which keeps the pressure in the treatment tank at the level required for plasma cleaning.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Plasmareinigen von Werkstücken anzugeben, welches auch für Werkstücke mit Hohlräumen geeignet ist und mit vergleichsweise geringem Aufwand durchführbar ist.The The object of the invention is to provide a method for plasma cleaning of workpieces to specify which also for workpieces with cavities is suitable and can be carried out with relatively little effort.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass mit dem in den Hohlkörper eingeleiteten Arbeitsgas in diesem ein Staudruck aufgebaut wird. Dies wird dadurch erreicht, dass dem Arbeitsgas beim Ausströmen aus dem Hohlkörper ein genügend hoher Strömungswiderstand entgegengesetzt wird, bevor dieses aus dem Hohlkörper in die Reinigungskammer entweicht. Sollte der aus der Geometrie des Hohlkörpers resultierende Strömungswiderstand nicht ausreichen, so kann besonders vorteilhaft die Ausbildung eines Staudrucks im Hohlkörper dadurch verstärkt werden, dass ein Drosselelement in den Fließweg des Arbeitsgases eingebracht wird. Der Staudruck führt dazu, dass sich zwischen dem Hohlraum des Hohlkörpers und dessen Umgebung in der Reinigungskammer ein Druckgefälle ausbildet, welches vorteilhaft dazu genutzt werden kann, dass die Druckverhältnisse des Arbeitsgases lediglich im Hohlraum dazu geeignet sind, ein Plasma zu zünden. Hierdurch kann daher mit minimalem Energieaufwand der Hohlkörper selektiv im Innenraum gereinigt werden, während in der Umgebung des Hohlkörpers das Ausbilden eines Plasmas im Arbeitsgas verhindert wird.These Task is inventively characterized solved, that with the in the hollow body initiated working gas is built in this a back pressure. This is achieved in that the working gas during the outflow the hollow body one enough high flow resistance is opposed before this from the hollow body into the cleaning chamber escapes. Should the resulting from the geometry of the hollow body flow resistance not sufficient, so can be particularly advantageous the formation of a Back pressure in the hollow body thereby reinforced be that a throttle element is introduced into the flow path of the working gas. The dynamic pressure leads to that between the cavity of the hollow body and its environment in the cleaning chamber forms a pressure gradient, which is advantageous can be used to ensure that the pressure conditions of the working gas only in the cavity are adapted to ignite a plasma. This can therefore with minimal energy consumption of the hollow body selectively cleaned in the interior be while in the vicinity of the hollow body the formation of a plasma in the working gas is prevented.

Damit wird erfindungsgemäß ein Verfahren angegeben, mit dem auch die Oberflächen in dem Hohlraum eines Hohlkörpers selektiv gereinigt werden können.In order to According to the invention, a method is specified, with the also the surfaces in the cavity of a hollow body can be selectively cleaned.

Durch das ständige Spülen des Hohlkörpers mit Arbeitsgas wird dabei vorteilhaft gewährleistet, dass die von den Wänden sich lösenden Rückstände mit dem Arbeitsgas aus dem Hohlkörper herausgespült werden.By the constant do the washing up of the hollow body with Working gas is advantageously ensured that the of the walls dissolving Residues with the working gas from the hollow body flushed out become.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Hohlkörper einen Eingang und einen Ausgang aufweist und das Arbeitsgas vom Eingang zum Ausgang geleitet wird. Weist der Hohlkörper einen Eingang und einen Ausgang auf, so kann vorteilhaft das Arbeitsgas über einen definierten Strömungsweg durch den Hohlkörper geleitet werden. Selbstverständlich genügt im Prinzip auch eine einzige Öffnung im Hohlkörper, um die Durchleitung von Arbeitsgas zu gewährleisten. Dieses könnte dann beispielsweise mittels eines in den Innenraum des Hohlkörpers hineinragenden Rohres eingeleitet und durch die einzige Öffnung wieder ausgeleitet werden.According to an advantageous embodiment of the invention it is provided that the hollow body has an input and an output and the working gas is passed from the input to the output. If the hollow body has an inlet and an outlet, the working gas can advantageously be passed through the hollow body via a defined flow path. Of course, in principle, a single opening in the hollow body is sufficient to ensure the passage of working gas. The It could then be introduced, for example, by means of a projecting into the interior of the hollow body tube and discharged through the single opening again.

Gemäß einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist der Hohlkörper ein Lampenkolben für eine Gasentladungslampe. Bei Lampenkolben für Gasentladungslampen insbesondere für die Scheinwerfer von Kfz muss nämlich das Problem gelöst werden, dass im Inneren des Lampenkolbens angelagertes Wasser restlos entfernt werden muss, da dieses bei Betrieb der Gasentladungslampe die Lebensdauer signifikant verkürzen würde. Durch die Plasmareinigung des Lampenkolbens werden die Wassermoleküle im Plasma zerlegt und mit dem Arbeitsgas aus dem Lampenkolben heraus transportiert. Hierdurch können vorteilhaft zeitraubende Trocknungsprozesse unterbleiben, bei denen ein Inertgas mit hohen Temperaturen von typischerweise 300 bis 400°C durch den Lampenkolben geleitet wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ist damit wirtschaftlicher wegen einer geringeren Behandlungszeit der Lampenkolben und einem geringeren Energieverbrauch.According to one special embodiment of the invention, the hollow body is a Lamp bulb for one Gas discharge lamp. For lamp bulbs for gas discharge lamps in particular for the Headlights of a car must be the problem will be solved that inside the lamp envelope attached water completely removed must be, since this during operation of the gas discharge lamp, the life shorten significantly would. The plasma cleaning of the lamp bulb causes the water molecules in the plasma disassembled and transported out of the lamp bulb with the working gas. This allows advantageous to avoid time-consuming drying processes in which an inert gas with high temperatures of typically 300 to 400 ° C by the Lamp bulb is passed. The inventive method is thus more economical because of a shorter treatment time of the lamp bulb and a lower energy consumption.

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn der Reinigungsprozess mit einem Emisionsspektroskop überwacht wird. Hierdurch ergibt sich vorteilhaft eine Möglichkeit, den Reinigungsprozess des Hohlkörpers zu überwachen. Beispielsweise können bei der Befreiung der Lampenkörper von Wasser die Emissionslinien von Wasserstoff- und/oder Sauerstoffradikalen überwacht werden. Sobald diese aus dem gemessenen Emissionsspektrum verschwinden, ist dies ein Hinweis darauf, dass der Reinigungsprozess abgeschlossen ist, so dass die Reinigungszeit für die Lampenkolben bedarfsgerecht eingestellt werden kann.It is also advantageous if the cleaning process with a Emission spectroscope monitored becomes. This advantageously results in a possibility of the cleaning process of the hollow body to monitor. For example, you can in the liberation of the lamp body water monitors the emission lines of hydrogen and / or oxygen radicals become. Once these disappear from the measured emission spectrum, This is an indication that the cleaning process has been completed is, so that the cleaning time for the lamp envelope as needed can be adjusted.

Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine Plasmareinigungsvorrichtung mit einer Reinigungskammer, in der eine Aufnahme für ein zu reinigendes Werkstück vorgesehen ist. Die Plasmareinigungsvorrichtung weist außerdem eine Zuführung und eine Absaugung für Arbeitsgas auf, wobei die Aufnahme mit der Zuführung für ein Arbeitsgas ausgestattet ist, derart, dass ein als Hohlkörper ausgestaltetes, in der Aufnahme platziertes Werkstück über die Zuführung mit dem Arbeitsgas durchströmt wird.The The invention further relates to a plasma cleaning device with a cleaning chamber in which a receptacle for a to cleaning workpiece is provided. The plasma cleaning device also has a feed and a suction for Working gas, the intake equipped with the feed for a working gas is, such that one as a hollow body designed, placed in the recording workpiece on the Feeder with flows through the working gas becomes.

Eine Plasmareinigungsvorrichtung ist allgemein in der eingangs erwähnten US 2003/0047191 A1 beschrieben. Diese weist eine Reinigungskammer auf, in der eine plattenförmige Aufnahme für das zu reinigende Werkstück vorgesehen ist. Die Reinigungskammer ist von einer Induktionsspule umgeben, welche zum Zünden eines Plasmas in dem in der Reinigungskammer befindlichen Arbeitsgas ein hochfrequentes elektrisches Feld erzeugen kann.A Plasma cleaning device is generally in the US mentioned above 2003/0047191 A1. This has a cleaning chamber, in the one plate-shaped Recording for the workpiece to be cleaned is provided. The cleaning chamber is of an induction coil surrounded, which to ignite a plasma in the working gas located in the cleaning chamber can generate a high-frequency electric field.

Gemäß der DE 697 06 573 T2 ist eine Plasmareinigungsvorrichtung mit einer Reaktionskammer beschrieben, in die ein Hohlkörper zur Reinigung in eine geeignete Aufnahme eingesetzt werden kann. Innerhalb dieser Aufnahme ist sowohl eine Zuführung für das Reaktionsgas als auch eine Absaugung vorgesehen, wobei die zur Ausbildung eines Plasmas im Hohlkörper erforderlichen Druckverhältnisse über die Absaugleistung einer Vakuumpumpe an der Absaugung reguliert werden.According to the DE 697 06 573 T2 a plasma cleaning device is described with a reaction chamber into which a hollow body can be used for cleaning in a suitable recording. Within this receptacle, both a supply for the reaction gas and a suction is provided, wherein the required for the formation of a plasma in the hollow body pressure conditions on the suction of a vacuum pump to the suction are regulated.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine vergleichsweise einfach aufgebaute Plasmareinigungsvorrichtung anzugeben, mit der Werkstücke mit Hohlräumen gereinigt werden können.The The object of the invention is a comparatively simple to provide a constructed plasma cleaning device, with the workpieces with cavities can be cleaned.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass Die Absaugung außerhalb der Aufnahme in die Reaktionskammer vorgesehen ist. Hierdurch werden die bereits im Zusammenhang mitdem erfindungsgemäßen Verfahren erläuterten Vorteile erreicht, insbesondere, dass Rückstände des Reinigungsvorganges mit dem durchströmenden Gas aus dem Hohlkörper abtransportiert werden können und durch Aufbau eines Staudruckes in dem Lampenkörper ein lokales Zünden des Plasmas nur im Innenraum des Hohlkörpers möglich ist.These Task is inventively characterized solved, that the suction outside the inclusion in the reaction chamber is provided. This will be already explained in connection with the method according to the invention Advantages achieved, in particular, that residues of the cleaning process with the gas flowing through from the hollow body can be removed and by building up a dynamic pressure in the lamp body local ignition of the plasma is possible only in the interior of the hollow body.

Gemäß einer Ausgestaltung der Plasmareinigungsvorrichtung kann die Aufnahme auf einem auswechselbaren Werkstückträger mit einem zur Zuführung führenden Anschluss für das Arbeitsgas untergebracht sein. Damit können verschiedene Werkstück träger vorteilhaft gleichsam als Adapter für Werkstücke unterschiedlicher Geometrie zum Einsatz kommen, wobei die Werkstückträger in einer entsprechend ausgestalteten Schnittstelle in der Reinigungskammer eingesetzt werden. Dabei wird der Anschluss für das Arbeitsgas automatisch mit einer Einführöffnung in der Reinigungskammer zusammengeschlossen. Besonders vorteilhaft ist es, auf dem Werkstückträger mehrere Aufnahmen mit zugehörigen Zuführungen unterzubringen, so dass jeweils mehrere Hohlkörper gleichzeitig gereinigt werden können. Hierdurch lässt sich die Wirtschaftlichkeit des Plasmareinigungsverfahrens vorteilhaft weiter steigern.According to one Design of the plasma cleaning device, the recording on a replaceable workpiece carrier with one to the feeder leading Connection for be housed the working gas. This can be advantageous carrier different workpiece as an adapter for different workpieces Geometry are used, the workpiece carrier in a suitably designed Interface can be used in the cleaning chamber. It will the connection for the working gas automatically with an insertion opening in the cleaning chamber together. It is particularly advantageous on the workpiece carrier more Recordings with associated additions accommodate, so that each cleaned several hollow body at the same time can be. This leaves the economics of the plasma cleaning process are advantageous further increase.

Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Die einzige Figur zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Plasmareinigungsvorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Plasmareinigen im schematischen Schnitt.Further Details of the invention are described below with reference to the drawing described. The single FIGURE shows an embodiment of the plasma cleaning device according to the invention execution the method according to the invention for plasma cleaning in schematic section.

Eine Plasmareinigungsvorrichtung gemäß der einzigen Figur weist eine Reinigungskammer 11 auf, in der ein Werkstückträger 12 mit Aufnahmen 13 für Hohlkörper 14 eingesetzt ist. Bei den Hohlkörpern 14 handelt es sich um gläserne Lampenkolben, wie sie beispielsweise in Gasentladungslampen für Kfz-Scheinwerfer zum Einsatz kommen. Diese Hohlkörper werden derart in den Aufnahmen 13 platziert, dass sie mit ihrem einen einen Eingang 15 bildenden Ende oberhalb einer Zuführung 16 für ein Arbeitsgas, beispielsweise Argon befinden. Die Zuführungen 16 des Werkstückträgers 12 sind über ein Kanalsystem 17 zu einem Anschluss 18 geführt, über den die zentrale Einleitung des Arbeitsgases erfolgen kann.A plasma cleaning device according to the single figure has a cleaning chamber 11 on, in which a workpiece carrier 12 with recordings 13 for hollow bodies 14 is used. In the hollow bodies 14 they are glass bulbs, as used for example in gas discharge lamps for motor vehicle headlights. These hollow bodies are so in the shots 13 placed them with their one input 15 forming end above a feeder 16 for a working gas, such as argon. The feeders 16 of the workpiece carrier 12 are via a channel system 17 to a connection 18 out, over which the central introduction of the working gas can be done.

Das jeweilige andere Ende der Hohlkörper 14 mündet in den Innenraum der Reinigungskammer 11 und bildet damit einen Aus gang 19 für das Arbeitsgas. Diese Ausgänge 19 der Hohlkörper können zur Unterstützung der Ausbildung eines Staudrucks in den Hohlkörpern 14 mit einem Drosselelement 20 versehen werden, das beispielsweise die Gestalt eines durchbohrten Stopfens aufweisen kann.The respective other end of the hollow body 14 opens into the interior of the cleaning chamber 11 and thus forms an output 19 for the working gas. These outputs 19 The hollow body can support the formation of a dynamic pressure in the hollow bodies 14 with a throttle element 20 be provided, which may for example have the shape of a pierced plug.

Zur Durchführung des Reinigungsverfahrens wird der Werkstückträger 12 mit den Hohlkörpern 14 in der beschriebenen Weise in der Reinigungskammer 11 platziert, derart, dass der Anschluss 18 mit einem Vorratsbehälter 21 für das Arbeitsgas Argon verbunden wird. Anschließend wird die Reinigungskammer 11 geschlossen (nicht dargestellt) und durch Öffnen eines Ventils 22a mit einer Vakuumpumpe 23 evakuiert. Durch Öffnen eines Ventils 22b kann das Arbeitsgas über das Kanalsystem kontrolliert durch die Hohlkörper 14 in die Reinigungskammer 11 eingeleitet werden. Dabei stellt sich in den Hohlkörpern ein vorgegebener Druck des Arbeitsgases (10^–3 mbar bis 10 mbar) ein, der die Zündung eines Plasmas in den Hohlkörpern ermöglicht. Hierzu wird mittels eines Hochfrequenzgenerators 24 und einer die Reinigungskammer 11 umlaufenden, geerdeten Induktionsspule 25 ein hochfrequentes elektrisches Feld mit einer Frequenz von beispielsweise 13 bis 14 MHz erzeugt. Um die Ausbildung eines Plasmas in der Reinigungskammer 11 zu verhindern, kann mittels der Vakuumpumpe 23 das kontaminierte Arbeitsgas ständig abgesaugt werden, so dass der Druck in der Reinigungskammer außerhalb der Hohlkörper zur Zündung eines Plasmas nicht ausreicht.To carry out the cleaning process, the workpiece carrier 12 with the hollow bodies 14 in the manner described in the cleaning chamber 11 placed, such that the connection 18 with a storage container 21 for the working gas argon is connected. Subsequently, the cleaning chamber 11 closed (not shown) and by opening a valve 22a with a vacuum pump 23 evacuated. By opening a valve 22b The working gas can be controlled via the channel system through the hollow body 14 in the cleaning chamber 11 be initiated. In this case, in the hollow bodies, a predetermined pressure of the working gas (10 ^-3 mbar to 10 mbar), which allows the ignition of a plasma in the hollow bodies. For this purpose, by means of a high-frequency generator 24 and one the cleaning chamber 11 circulating, grounded induction coil 25 generates a high-frequency electric field having a frequency of, for example, 13 to 14 MHz. To the formation of a plasma in the cleaning chamber 11 To prevent, by means of the vacuum pump 23 the contaminated working gas are constantly sucked off, so that the pressure in the cleaning chamber outside the hollow body for igniting a plasma is not sufficient.

Mit dem Plasma in den Hohlkörpern 14 wird ein Wasserfilm (nicht dargestellt) von den Innenwänden der Hohlkörper 14 entfernt. Mittels eines Emissionsspektroskopes 26 wird das mit Wasserbestandteilen (Sauerstoff- und/oder Wasserstoffradikale) kontaminierte Arbeitsgas untersucht. Sobald das Vor liegen von Wasserbestandteilen im Arbeitsgas nicht mehr nachgewiesen werden kann, wird der Reinigungsvorgang abgebrochen und die gereinigten Hohlkörper 14 einer Weiterverarbeitung zugeführt. Beispielsweise könnten die als Lampenkörper ausgebildeten Hohlkörper 14 über eine Schleuse in eine nachgelagerte PVD-Beschichtungseinrichtung überführt werden, wo auf den Lampenkörper weitere, die Funktion beeinflussende Beschichtungen aufgebracht würden (nicht dargestellt).With the plasma in the hollow bodies 14 is a water film (not shown) from the inner walls of the hollow body 14 away. By means of an emission spectroscope 26 the working gas contaminated with water components (oxygen and / or hydrogen radicals) is investigated. Once the pre lying of water components in the working gas can no longer be detected, the cleaning process is stopped and the cleaned hollow body 14 fed to a further processing. For example, the trained as a lamp body hollow body 14 be transferred via a lock in a downstream PVD coating device, where on the lamp body further, the function influencing coatings would be applied (not shown).

Claims

Method for plasma cleaning a hollow body, in particular a lamp bulb for a gas discharge lamp, in which - the workpiece in a cleaning chamber ( 11 ), - the cleaning chamber ( 11 ) is filled under adjustment of a predetermined pressure with a working gas and - a hollow body cleaning plasma is ignited in the working gas, which is passed under formation of the predetermined pressure through the hollow body, characterized in that with the in the hollow body ( 14 ) introduced working gas in this a dynamic pressure is built before this from the hollow body ( 14 ) into the cleaning chamber ( 11 ) escapes.

A method according to claim 1, characterized in that the formation of a back pressure in the hollow body ( 14 ) is reinforced by the fact that a throttle element ( 20 ) is introduced into the flow path of the working gas.

Method according to claim 1 or 2, characterized in that the hollow body ( 14 ) an entrance ( 15 ) and an output ( 19 ) and the working gas from the entrance ( 15 ) to the exit ( 19 ).

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the cleaning process with an emission spectroscope ( 26 ) is monitored.

Plasma cleaning device with a cleaning chamber ( 11 ), in which a photograph ( 13 ) is provided for a workpiece to be cleaned, and with a feed ( 16 ) and a suction ( 22a . 23 ) for a working gas, the feed in the receptacle ( 13 ) is provided, such that as a hollow body ( 14 ) configured, placed in the recording workpiece via the feed ( 16 ) is flowed through with the working gas, characterized in that the suction ( 22a . 23 ) is provided outside the receptacle in the reaction chamber.

Plasma cleaning device according to claim 5, characterized in that the receptacle ( 13 ) on a replaceable workpiece carrier ( 12 ) with a for feeding ( 16 ) leading connection ( 18 ) is housed for the working gas.

A plasma cleaning device according to claim 6, characterized in that on the workpiece carrier a plurality of recordings ( 13 ) with associated feeds ( 16 ) are housed.