DE102004008487A1

DE102004008487A1 - Nachgiebigkeitsmodul, insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, und eine solche Handhabungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102004008487A1
Application number: DE102004008487A
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-02-20
Filing date: 2004-02-20
Publication date: 2005-09-15
Anticipated expiration: 2024-02-21
Also published as: US20050194985A1; DE102004008487B4; US7383746B2

Abstract

Ein Nachgiebigkeitsmodul (10), das insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs (60) dient, ist mit einem Gehäuse (11), das ein an einem Bauteil (41) befestigbar ist, versehen. Das Nachgiebigkeitsmodul (10) ist zudem mit einer Innenhülse (18), die verschiebbar in dem Gehäuse (11) gelagert und durch ein Federelement (25) in einer axialen Richtung beaufschlagt ist, und einem Bolzen (14), der an dem Gehäuse (11) angeordnet und mit der Innenhülse (18) verbunden ist, versehen. Ein derartiges Nachgiebigkeitsmodul (10) gewährleistet einerseits eine präzise Verstellung und andererseits eine gewisse Nachgiebigkeit von den Testkopf (60) positionierenden Positionierungsmitteln (30).

Description

Die Erfindung betrifft ein Nachgiebigkeitsmodul, das insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs Anwendung findet. Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient und mit Positionierungsmitteln, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist, versehen ist.

Eine Handhabungsvorrichtung oder Manipulator zum Positionieren eines Testkopfs verfügt üblicherweise über mehrere Translations- und Rotationsfreiheitsgrade und ist insofern geeignet, den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Anwendung findet eine solche Handhabungsvorrichtung daher in der Regel bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeit der elektronischen Bauelemente testen zu können, ist es erforderlich, den verhältnismässig schweren Testkopf präzise an eine Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, beispielsweise ein Devicehandler oder Waferprober, stellt die durch den Testkopf zu überprüfenden elektronischen Bauelemente bereit. Ein unverfälschtes Messergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfs an der Prüfeinrichtung voraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.

Die DE 101 32 489 A1 beschreibt eine Handhabungsvorrichtung, die sich durch eine exakt wiederholbare Bewegung des Testkopfs auszeichnet. Dies ist vornehmlich darauf zurückzuführen, dass die Handhabungsvorrichtung mit den Testkopf im Raum positionierenden Positionierungsmitteln versehen ist, die in horizontaler Ebene schwenkbare Gelenkarme aufweisen. Die Gelenkarme sind mit in horizontaler Richtung verfahrbaren Schlitten gekoppelt, so dass sich eine beliebige Bewegung des Testkopfs in eine Translationsbewegung der Schlitten und eine Rotationsbewegung der Gelenkarme aufteilen lässt. Auf diese Weise ergibt sich eine reproduzierbare Verstellung der Positionierungsmittel, die eine zuverlässige Positionierung des Testkopfs sicherstellt.

Der für eine reproduzierbare Verstellung erforderlichen Präzision der Positionierungsmittel steht entgegen, dass es sich in der Praxis als vorteilhaft erwiesen hat, die Position des Testkopfs beim Andocken an eine Prüfeinrichtung durch ein geringfügiges, manuelles Hin- und Herbewegen zu korrigieren. Eine derartige Korrektur der Position des Testkopfs, die das Andocken erleichtert, erfordert eine gewisse Nachgiebigkeit der Positionierungsmittel.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Nachgiebigkeitsmodul zu schaffen, das sich insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs eignet und mittels dem sich einerseits eine präzise Verstellung und andererseits eine gewisse Nachgiebigkeit erzielen lassen.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird in Übereinstimmung mit Anspruch 1 ein Nachgiebigkeitsmodul vorgeschlagen, das mit einem Gehäuse, das an einem Bauteil befestigbar ist, einer Innenhülse, die verschiebbar in dem Gehäuse gelagert und durch ein Federelement in einer axialen Richtung beaufschlagt ist, und einem Bolzen, der an dem Gehäuse angeordnet und mit der Innenhülse verbunden ist, versehen ist.

Das erfindungsgemässe Nachgiebigkeitsmodul, das sich insbesondere bei einer Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Textkopfs einsetzen lässt, ermöglicht es, bewegbar gelagerte Bauteile, zum Beispiel einen Testkopf im Raum positionierende Positionierungsmittel, entgegen der Wirkung einer Rückstellkraft zwischen einer ersten Stellung und einer zweiten Stellung hin- und herzubewegen. Auf diese Weise erfährt das Bauteil eine gewisse Nachgiebigkeit. Die durch das Federelement in der axialen Richtung des Nachgiebigkeitsmoduls hervorgerufene Rückstellkraft stellt sicher, dass trotz der durch das Nachgiebigkeitsmodul erzeugten Nachgiebigkeit das beispielsweise einen Testkopf haltende Bauteil geeignet ist, präzise und reproduzierbar bewegt zu werden.

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmoduls stellen die Gegenstände der Ansprüche 2 bis 9 dar.

So ist vorteilhafterweise der Bolzen verschiebbar an dem Gehäuse gelagert. Der die Innenhülse in radialer Richtung abstützende Bolzen lässt sich auf diese Weise zusammen mit der Innenhülse bewegen.

Um eine einfache Verbindung des Bolzens mit der Innenhülse zu erreichen, weist vorteilhafterweise die Innenhülse ein Innengewinde und der Bolzen einen in das Innengewinde eingreifenden Gewindeabschnitt auf. In diesem Zusammenhang hat es sich ferner als vorteilhaft erwiesen, wenn der Bolzen einen Kopf aufweist, der die Innenhülse entgegen der Wirkung des Federelements in dem Gehäuse positioniert. Der Kopf des Bolzens stellt einen Anschlag in axialer Richtung des Nachgiebigkeitsmoduls dar. Dies ermöglicht, das an der Innenhülse angreifende Federelement vorzuspannen. Die Grösse der auf diese Weise erzeugten Vorspannung hängt von dem Abstand zwischen der Innenhülse und dem Kopf des Bolzens ab. Durch Verändern der Einschraubstrecke, um die der Bolzen in die Innenhülse hineinragt, lässt sich der Abstand zwischen der Innenhülse und dem Kopf des Bolzens variieren und damit die gewünschte Vorspannung einstellen. Auf Grund der Vorspannung ist sichergestellt, dass eine Bewegung des Bauteils nur dann möglich ist, wenn an dem Bauteil eine die Vorspannung übersteigende Kraft angreift.

Bevorzugt ist der Bolzen mittels einer Lagerhülse drehbar gelagert und die Innenhülse drehfest in dem Gehäuse angeordnet. Der Bolzen kann auf diese Weise in die Innenhülse eingeschraubt oder aus dieser herausgeschraubt werden, um die Vorspannung zu variieren.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmoduls weist das Gehäuse ein sich in axialer Richtung erstreckendes Langloch auf und ist die Innenhülse mit einem in das Langloch eingreifenden Mitnehmen versehen. Der in dem Langloch geführte Mitnehmen hält die Innenhülse entgegen der von dem Federelement auf die Innenhülse ausgeübten Vorspannung in dem Gehäuse und gewährleistet zugleich eine drehfeste Anordnung der Innenhülse. Die Länge des Langlochs bestimmt die Strecke, um welche die Innenhülse in dem Gehäuse verschiebbar ist.

Um eine reibungsarme Verschiebung zu erreichen, ist die Innenhülse zweckmässigerweise mit einer Gleitfläche versehen, die an dem Gehäuse anliegt.

In Hinsicht auf eine einfache und kompakte Ausgestaltung ist es von Vorteil, die Innenhülse mit einem Absatz zu versehen, an dem das Federelement abgestützt ist. Der Absatz ist zweckmässigerweise so angeordnet, dass das Federelement durch einen Abschnitt der Innenhülse eine zuverlässige Führung erfährt.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmoduls ist die Innenhülse mit einer Anschlagplatte versehen. Die Anschlagplatte dient dazu, ein bewegbar gelagertes Bauteil, zum Beispiel eine einen Testkopf haltende Befestigungsplatte, mit der durch das Federelement ausgeübten Rückstellkraft zu beaufschlagen. Die Anschlagplatte kann zu diesem Zweck aus einem geeigneten Werkstoff gefertigt sein, um beispielsweise stossunempfindlich zu sein.

Zur Lösung der oben genannten Aufgabe wird in Übereinstimmung mit Anspruch 10 ferner eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient, vorgeschlagen. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist, und wenigstens einem Nachgiebigkeitsmodul versehen. Mittels dem Nachgiebigkeitsmodul ist ein bewegbar gelagertes Bauteil entgegen der Wirkung einer Rückstellkraft zwischen einer ersten Stellung und einer zweiten Stellung bewegbar.

Einer derartigen Handhabungsvorrichtung werden die Vorteile des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmoduls zuteil.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Ansprüche 11 bis 17 dar.

So ist es von Vorteil, wenn das bewegbar gelagerte Bauteil eine erste Kontaktfläche und eine zweite Kontaktfläche, die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, aufweist. Die erste Kontaktfläche wird durch ein erstes Nachgiebigkeitsmodul beaufschlagt. Die zweite Kontaktfläche hingegen wird durch ein zweites Nachgiebigkeitsmodul gegensinnig beaufschlagt. Auf diese Weise kann das bewegbar gelagerte Bauteil zwischen einer ersten Stellung und einer zweiten Stellung in der axialen Richtung der Nachgiebigkeitsmodule bewegt werden. Die durch die Nachgiebigkeitsmodule auf das bewegbar gelagerte Bauteil ausgeübte Rückstellkraft stellt sicher, dass das Bauteil nach einem Entfernen von der ersten Stellung, das heisst der Ausgangsstellung, stets in diese zurückkehrt. Aufgrund der gegensinnigen Anordnung der Nachgiebigkeitsmodule kehrt das Bauteil sowohl bei einer Bewegung in Richtung auf das erste Nachgiebigkeitsmodul als auch bei einer Bewegung in Richtung auf das zweite Nachgiebigkeitsmodul in die Ausgangslage zurück.

In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtung mit einer Halterung für den Testkopf versehen, wobei die Halterung zwei Seitenarme aufweist, zwischen denen der Testkopf eingespannt ist. Die den Testkopf einspannenden Seitenarme gewährleisten eine sichere Befestigung des Testkopfs, selbst dann, wenn dieser verhältnismässig schwer ist.

Vorteilhafterweise sind die Seitenarme jeweils mit wenigstens einer Befestigungsplatte versehen, an welcher der Testkopf befestigt ist und die bewegbar gelagert ist. Die Befestigungsplatte stellt ein bewegbar gelagertes Bauteil im oben genannten Sinn dar, an dem wenigstens ein Nachgiebigkeitsmodul angreift.

Bevorzugt ist die Befestigungsplatte linear verschiebbar angeordnet. Auf diese Weise kann die Position des an der Befestigungsplatte befestigten Testkopfs durch ein manuelles Hin- und Herbewegen korrigiert werden. Alternativ kann die Befestigungsplatte schwenkbar angeordnet sein mit der Folge, dass sich die Position des an der Befestigungsplatte befestigten Testkopfs durch ein Hin- und Herschwenken korrigieren lässt. Vorteilhafterweise ist die Befestigungsplatte mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenen Stellung arretierbar, um bei Bedarf eine fixe Anordnung des Testkopfs zu realisieren.

Einzelheiten und weitere Vorteile der Gegenstände der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. In den das Ausführungsbeispiel lediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichen im einzelnen:
1 eine perspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung, an der ein Testkopf angeordnet ist;
2a eine Seitenansicht eines Seitenarms, die eine an dem Seitenarm bewegbar angeordnete Befestigungsplatte in einer ersten Stellung I zeigt;
2b eine Seitenansicht des Seitenarms gemäss 2a, welche die Befestigungsplatte in einer zweiten Stellung II zeigt;
3 eine perspektivische Ansicht eines Nachgiebigkeitsmoduls und
4 einen Schnitt gemäss der Linie IV-IV in 3.
Die in 1 gezeigte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfs 60 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für elektronische Bauelemente, wie zum Beispiel IC oder Wafer. Zu diesem Zweck verfügt die Handhabungsvorrichtung über Positionierungsmittel 30, die eine sich in vertikaler Richtung z erstreckende Säule 31 aufweisen. Die Säule ist auf einem Untergestell 34 in einer horizontalen Längsrichtung x verschiebbar angeordnet. An der Säule 31 ist ein Querschlitten 32 angeordnet, der in der vertikalen Richtung z verschiebbar ist. Der sich in einer horizontalen Querrichtung y erstreckende Querschlitten 32 ist mit einem Schwenkarm 33 verbunden. Der Schwenkarm 33 ist um eine sich in der vertikalen Richtung z erstreckende Achse schwenkbar und mittels dem Querschlitten 32 in der horizontalen Querrichtung y verstellbar.
Wie 1 ferner erkennen lässt, ist an dem Schwenkarm 33 eine Halterung 40 für den Testkopf 60 angeordnet. Die Halterung 40 weist zwei Seitenarme 41 auf, zwischen denen der Testkopf 60 eingespannt ist. Zu diesem Zweck sind die Seitenarme 41 jeweils mit zwei Befestigungsplatten 42, 46 versehen, an welchen der Testkopf 60 befestigt ist. Die Befestigungsplatte 42 ist sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung linear verschiebbar an dem Seitenarm 41 angeordnet und zu diesem Zweck in Linearführungen 45 geführt, wie insbesondere aus den 2a und 2b ersichtlich ist. Die Befesti gungsplatte 46 hingegen ist um einen Drehzapfen 49 verschwenkbar an der Befestigungsplatte 42 angeordnet. Auf diese Weise lässt sich die Befestigungsplatte 46 zusammen mit der Befestigungsplatte 42 entlang des Seitenarms 41 verschieben, um beispielsweise eine sogenannte „Theta"-Bewegung des Testkopfs 60 zu realisieren. Ein Feststellhebel 50 stellt sicher, dass der Testkopf 60 in der gewünschten horizontalen Stellung arretierbar ist. Demgegenüber ermöglicht ein Feststellhebel 51 ein Arretieren der Befestigungsplatte 42 in der gewünschten vertikalen Stellung. Die Befestigungsplatten 42, 46 weisen jeweils eine erste Kontaktfläche 43, 47 und eine zweite Kontaktfläche 44, 48 auf, die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen. An der ersten Kontaktfläche 43, 47 greift ein erstes Nachgiebigkeitsmodul 10a und an der zweiten Kontaktfläche 44, 48 ein zweites Nachgiebigkeitsmodul 10b an. Das erste Nachgiebigkeitsmodul 10a und das zweite Nachgiebigkeitsmodul 10b sind derart angeordnet, dass die Befestigungsplatten 42, 46 in entgegengesetzten Richtungen beaufschlagt werden.
Wie aus den 3 und 4 ersichtlich ist, weist das Nachgiebigkeitsmodul 10 ein Gehäuse 11 auf, das an den Befestigungsplatten 42, 46 befestigt ist. Das Gehäuse 11 ist zu diesem Zweck mit Öffnungen 12 versehen. In dem Gehäuse 11 ist eine Innenhülse 18 in einer axialen Richtung des Nachgiebigkeitsmoduls 10 verschiebbar gelagert. Die Innenhülse 18 ist zu diesem Zweck mit einer Gleitfläche 20 versehen, die an einer Innenwand des Gehäuses 11 anliegt. Weiterhin ist die Innenhülse 18 mit einem Absatz 21 versehen, an dem ein erstes Ende eines Federelements 25 abgestützt ist. Ein zweites Ende des Federelements 25 stützt sich an einer Anlagefläche 26 des Gehäuses 11 ab. Das durch einen Abschnitt der Innenhülse 18 geführte Federelement 25 beaufschlagt die Innenhülse 18 insofern in axialer Richtung.
Das Nachgiebigkeitsmodul 10 ist ferner mit einem Bolzen 14 versehen, der mittels einer Lagerhülse 17 um eine sich in der axialen Richtung erstreckende Achse drehbar gelagert ist. Der Bolzen 14 weist einen an der Lagerhülse 17 in axialer Richtung anliegenden Kopf 15 und einen in die Innenhülse 18 hineinragenden Gewindeabschnitt 16 auf. Der Gewindeabschnitt 16 greift in ein Innengewinde 19 der Innenhülse 18 ein. Die Innenhülse 18 ist aufgrund eines Mitnehmers 22, der in einem Langloch 13 des Gehäuses 11 in axialer Richtung geführt ist, drehfest in dem Gehäuse 11 angeordnet. Folglich lässt sich eine Einschraubstrecke s, um die der Bolzen 14 in die Innenhülse 18 hineinragt, durch Drehen des Bolzens 14 variieren. Der Kopf 15 kann zu diesem Zweck mit Schlüsselflächen versehen sein, die ein einfaches Drehen des Bolzens 14 mittels beispielsweise einem Schraubenschlüssel gewährleisten.
Durch Variieren der Einschraubstrecke s lässt sich der Abstand zwischen dem Absatz 21 der Innenhülse 18 und der Anlagefläche 26 des Gehäuses 11 verändern. Das sich an dem Absatz 21 und der Anlagefläche 26 abstützende Federelement 25 lässt sich auf diese Weise vorspannen. Die Grösse der die Innenhülse beaufschlagenden Vorspannung kann somit an den jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden, ohne dass es erforderlich ist, das Federelement 25 auszuwechseln.
Die Innenhülse 18 weist ein freies Ende auf, das dem Bolzen 14 abgewandt ist. An dem freien Ende ist mittels Schrauben 24 eine Befestigungsplatte 23 befestigt. Die zum Beispiel aus einem stossunempfindlichen Werkstoff bestehende Befestigungsplatte 23 grenzt an die Kontaktflächen 43, 44, 47, 48 der Befestigungsplatten 42, 46 an. Werden die Befestigungsplatten 42, 46 von der in 2a gezeigten ersten Stellung I in die in 2b gezeigte zweite Stellung II bewegt, dann wirkt diese Auslenkung der von den Nachgiebigkeitsmodulen 10a, 10b erzeugten Rückstellkraft entgegen, und zwar unabhängig davon, ob die Befestigungsplatten 42, 46 in Richtung auf das erste Nachgiebigkeitsmodul 10a oder in Richtung auf das zweite Nachgiebigkeitsmodul 10b bewegt werden. Dies ist auf die Innenhülse 18 der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b zurückzuführen, die um die Länge des Langlochs 13 des Gehäuses 11 in axialer Richtung verschiebbar ist. Befindet sich der in dem Langloch 13 geführte Mitnehmer 22 der Innenhülse 18 in der ersten Stellung I, das heisst in der Ausgangsstellung, zum Beispiel annähernd in der Mitte des Langlochs 13, dann lässt sich die Innenhülse 18 in axialer Richtung sowohl nach links als auch nach rechts verschieben. Die Enden des Langlochs 13 begrenzen die Verschiebung der Innenhülse 18 und definieren somit die maximale Endstellung II, welche die Befestigungsplatten 42, 46 einnehmen können. Die Vorspannung, der das Federelement 25 in der Ausgangsstellung I unterliegt, lässt sich durch den Bolzen 14 einstellen. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass die Befestigungsplatten 42, 46 auch in der Ausgangsstellung I durch die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b beaufschlagt werden.
Die zuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung ermöglicht durch die Positionierungsmittel 30 eine präzise Verstellung des Testkopfs 60. Zudem gewährleisten die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b eine gewisse Nachgiebigkeit der Befestigungsplatten 42, 46, an denen der Testkopf 60 befestigt ist. Denn die Befestigungsplatten 42, 46 können zwischen der Ausgangsstellung I und der Endstellung II entgegen der Wirkung einer Rückstellkraft bewegt werden. Folglich ist es möglich, die Position des Testkopfs 60 durch ein manuelles Hin- und Herbewegen zu korrigieren. Aufgrund der von den Nachgiebigkeitsmodulen 10a, 10b erzeugten Rückstellkraft ist sichergestellt, dass die Befestigungsplatten 42, 46 stets in die Ausgangsstellung I zurückkehren. Die exakte und zuverlässige Positionierung des Testkopfs 60 wird somit nicht durch die aufgrund der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b vorhandene Nachgiebigkeit beeinträchtigt. Hierzu trägt auch bei, dass auf Grund der Vorspannung der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b durch das Federelement 25 eine Bewegung der Befestigungsplatte 42, 46 nur dann möglich ist, wenn an den Befestigungsplatten 42, 46 eine die Vorspannung übersteigende Kraft angreift. Schliesslich zeichnen sich die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b durch eine einfache und kompakte Ausgestaltung aus, die den Anforderungen an eine kostengünstige Fertigung Rechnung trägt.

10: Nachgiebigkeitsmodul
10a: Nachgiebigkeitsmodul
10b: Nachgiebigkeitsmodul
11: Gehäuse
12: Öffnung
13: Langloch
14: Bolzen
15: Kopf
16: Gewindeabschnitt
17: Lagerhülse
18: Innenhülse
19: Innengewinde
20: Gleitfläche
21: Absatz
22: Mitnehmen
23: Anschlagplatte
24: Schraube
25: Federelement
26: Anlagefläche
30: Positionierungsmittel
31: Säule
32: Querschlitten
33: Schwenkarm
34: Untergestell
40: Halterung
41: Seitenarm
42: Befestigungsplatte
43: erste Kontaktfläche
44: zweite Kontaktfläche
45: Linearführung
46: Befestigungsplatte
47: erste Kontaktfläche
48: zweite Kontaktfläche
49: Drehzapfen
50: Feststellhebel
51: Feststellhebel
60: Testkopf
s: Einschraubstrecke
x: horizontale Längsrichtung
y: horizontale Querrichtung
z: vertikale Richtung
I: erste Stellung
II: zweite Stellung

Claims

Nachgiebigkeitsmodul, insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs (60), mit einem Gehäuse (11), das an einem Bauteil (41) befestigbar ist, einer Innenhülse (18), die verschiebbar in dem Gehäuse (11) gelagert und durch ein Federelement (25) in einer axialen Richtung beaufschlagt ist, und einem Bolzen (14), der an dem Gehäuse (11) angeordnet und mit der Innenhülse (18) verbunden ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Bolzen (14) verschiebbar an dem Gehäuse (11) gelagert ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) ein Innengewinde (19) aufweist und der Bolzen (14) mit einem in das Innengewinde (19) eingreifenden Gewindeabschnitt (16) versehen ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Bolzen (14) einen Kopf (15) aufweist, der die Innenhülse (18) entgegen der Wirkung des Federelements (25) in dem Gehäuse (11) positioniert.
Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Bolzen (14) mittels einer Lagerhülse (17) drehbar gelagert und die Innenhülse (18) drehfest in dem Gehäuse (11) angeordnet ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse ein sich in axialer Richtung erstreckendes Langloch (13) aufweist und die Innenhülse (18) mit einem in das Langloch (13) eingreifenden Mitnehmen (22) versehen ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einer Gleitfläche (20) versehen ist, die an dem Gehäuse (11) anliegt.
Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einem Absatz (21) versehen ist, an dem das Federelement (25) abgestützt ist.
Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einer Anschlagplatte (23) versehen ist.
Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs (60) an einer Prüfeinrichtung, die mit Positionierungsmitteln (30), durch die ein Testkopf (60) im Raum positionierbar ist, versehen ist, gekennzeichnet durch wenigstens ein Nachgiebigkeitsmodul (10), mittels dem ein bewegbar gelagertes Bauteil (42, 46) entgegen der Wirkung einer Rückstellkraft zwischen einer ersten Stellung (I) und einer zweiten Stellung (II) bewegbar ist.
Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch ein Nachgiebigkeitsmodul (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 9.
Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das bewegbar gelagerte Bauteil (42, 46) eine erste Kontaktfläche (43, 47) und eine zweite Kontaktfläche (44, 48), die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, aufweist, wobei die erste Kontaktfläche (43, 47) durch ein erstes Nachgiebigkeitsmodul (10) und die zweite Kontaktfläche (44, 48) durch ein zweites Nachgiebigkeitsmodul (10) gegensinnig beaufschlagt werden.
Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, gekennzeichnet durch eine Halterung (40) für den Testkopf (60), wobei die Halterung (40) zwei Seitenarme (41) aufweist, zwischen denen der Testkopf (60) einpannbar ist.
Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenarme (41) jeweils mit wenigstens einer Befestigungsplatte (42, 46) versehen sind, an welcher der Testkopf (60) befestigt ist und die bewegbar gelagert ist.
Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (42) linear verschiebbar angeordnet ist.
Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (46) schwenkbar angeordnet ist.
Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (42, 46) mittels Arretierungsmitteln (50, 51) in einer vorgegebenen Stellung arretierbar ist.