DE10156235A1 - Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung und Scanmikroskop - Google Patents

Abstract

Ein Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung, die ein Stellelement bewegt, ist offenbart. Das Verfahren ist gekennzeichnet durch die Schritte des Erzeugens eines ersten und mindestens eines weiteren Sollsignals, wobei das erste Sollsignal einer ersten Sollposition und das weitere Sollsignal einer weiteren Sollposition entspricht, des Generierens eines ersten und mindestens eines weiteren Schätzwertes für die aktuelle Position des Stellantriebes, des Übergebens des ersten Sollsignals und des Schätzwertes an die Stellvorrichtung, des Einstellens der ersten Sollposition mit der Stellvorrichtung sowie Messen der aktuellen Position und Erzeugen eines Positionssignals, das der gemessenen aktuellen Position entspricht, des Übergebens des weiteren Sollsignals an die Stellvorrichtung, des Generierens eines weiteren Schätzwertes der Stellantriebsposition, des Übergebens des weiteren Schätzwertes an die Stellvorrichtung, des Einstellens der weiteren Sollposition sowie Messen einer weiteren aktuellen Position und Erzeugen eines weiteren Positionssignals, das der gemessenen weiteren aktuellen Position entspricht und des zyklischen Wiederholens der Schritte b. bis e. in konstanten Zeitabständen. Weiterhin ist ein Scanmikroskop offenbart.

Description

• Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung, die ein Stellelement bewegt.
• Des weiteren betrifft die Erfindung ein Scanmikroskop.
• In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus des Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so daß ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
• Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
• Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende - die sog. Anregungsblende - fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt.
• Idealer Weise beschreibt die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt einen Mäander. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y- Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann bei konstanter y-Position diese Zeile in negative x-Richtung abtasten usw.).
• Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in festen Zeitabständen während des Abtastvorganges gemessen und so Rasterpunkt für Rasterpunkt abgetastet. Der Messwert muss eindeutig der dazugehörigen Scanposition zugeordnet werden, um aus den Messdaten ein Bild erzeugen zu können. Zweckmäßiger Weise werden hierfür die Zustandsdaten der Verstellelemente der Strahlablenkeinrichtung laufend mitgemessen oder, was allerdings weniger genau ist, direkt die Steuersolldaten der Strahlablenkeinrichtung verwendet.
• Die genaue Zuordnung der Positionssignale zu den Detektionssignalen ist von besonderer Wichtigkeit. Bei der Zuordnung sind Laufzeitunterschiede und die unterschiedlichen Verarbeitungszeiten der die Signale erfassenden Detektoren, beispielsweise mit Hilfe von Verzögerungselementen, zu berücksichtigen. Hierbei müssen sehr hohe Anforderungen an die Stabilität gestellt werden. Beispielsweise müssen bei einer Bildbreite von 1000 Bildpunkten die Laufzeitschwankungen deutlich unter 1‰ bleiben.
• Die Abtastbahn weicht bei zunehmend höherer Abtastgeschwindigkeit mehr und mehr von der Mäanderform ab. Dieses Phänomen ist im Wesentlichen auf die Massenträgheit der bewegten Elemente zurückzuführen. Bei schnellem Abtasten ähnelt die Abtastbahn eher einer Sinuskurve, wobei es jedoch oft vorkommt, dass sich die Teil-Bahnkurve für die Abtastung in positive x- Richtung von der Teil-Bahnkurve bei der Abtastung in negative x-Richtung unterscheidet.
• Aus der Deutschen Offenlegungsschrift DE 197 02 752 ist ein Ansteuersystem für einen Scanner, insbesondere für ein Laserscanmikroskop, mit einem Schwingmotor zum Antreiben eines Schwingspiegels, der zur linear oszillierenden Ablenkung eines Strahlenbündels dient, mit einer Ansteuereinheit zur Speisung des Schwingmotors mit einem Erregerstrom, der hinsichtlich der Ansteuerfrequenz, der Frequenzkurve und der Amplitude veränderbar ist, mit einem Funktionsgenerator, der mit der Ansteuereinheit verbunden ist und mit einem Messwertaufnehmer zur Gewinnung einer Folge von Informationen über die Ablenkpositionen des Schwingspiegels offenbart. Das Ansteuersystem ist dadurch gekennzeichnet, dass der Messwertaufnehmer über eine Logikeinheit zur Ermittlung von Korrekturwerten für den Erregerstrom mit dem Funktionsgenerator verknüpft ist. Damit ist es möglich, unter Auswertung der vom Messwertaufnehmer zur Verfügung gestellten Informationen über die tatsächliche Ablenkposition des Schwingspiegels mit Hilfe der Logikeinheit Korrekturwerte zu ermitteln. Die können wiederum dazu genutzt werden, die vom Funktionsgenerator ausgegebenen Ansteuerfrequenzen so zu beeinflussen, dass die Abweichungen minimiert bzw. vollkommen vermieden werden.
• Das Positionssignal eines Stellelementes insbesondere der Positionssensor eines Galvanometers (Istsignal) ist mit Störsignalen behaftet. Diese Störsignale überlagern das Nutzsignal und verfälschen dieses. Wird nun in einem Scansystem dieses Positionssignal zur Bestimmung der Position eines abgetasteten Datenwertes verwendet, so ergibt sich daraus ein Positionsfehler.
• Die Störungen lassen sich in mehrere Klassen unterteilen: Es gibt zum einen stochastische Störungen wie z. B. Rauschen etc. zum Anderen nichtstochastische Störungen wie z. B. Einkopplungen von anderen Quellen, Verzerrungen, nichtlineare Übertragungseffekte etc.
• Wird in der Scanmikroskopie unter Verwendung den Messwerte eine Bildfolge generiert, so weist diese aufgrund dieser Störungen Fehler auf. Die stochastischen Störungen verursachen eine Positionsunsicherheit d. h. die Position eines Bildpunktes schwankt von Bild zu Bild (Jitter). Die nichtstochastischen Störungen können eine Positionsverfälschung bewirken. Diese kann schwanken (Einkopplungen) oder zeitlich konstant sein (Verzerrungen, nichtlineare Übertragungseffekte). Die Störungen bewirken zum einen, dass die Bildfolge unruhig wirkt und zum anderen verzerrt aussehen kann. Werden Bilddaten vom Hin und Rücklauf des Scans verwendet, so kann es vorkommen, dass die Abbildung von Strukturen, die in zwei aufeinander folgenden Zeilen vorkommen, nicht mehr zur Deckung zu bringen sind. Solche Strukturen senkrecht zur Scanrichtung werden also "ausgefranst" dargestellt. Betrachtet man die höherfrequenten Anteile des Störspektrums, so können diese aufgrund der mechanischen Trägheit des Galvanometers nur vom Messsystem herrühren.
• Durch thermische und andere Drifteffekte verändert sich die Verzugszeit zwischen dem anregenden Signal und der Position des Galvospiegels. Dies führt dazu, dass bei bidirektionalem Scan die Zeilen von Hin- und Rücklauf auseinander driften. Eine Kompensation dieses Effektes muss permanent per Hand durchgeführt werden. Dieser Effekt tritt besonders auf, wenn ein generiertes Positionssignal zur Positionsbestimmung der Scandaten verwendet wird.
• Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung anzugeben, dass die aufgezeigten Probleme löst.
• Die objektive Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, das durch die folgenden Schritte gekennzeichnet ist:
  
• a) Erzeugen eines ersten und mindestens eines weiteren Sollsignals, wobei das erste Sollsignal einer ersten Sollposition und das weitere Sollsignal einer weiteren Sollposition entspricht,
• b) Generieren eines ersten und mindestens eines weiteren Schätzwertes für die aktuelle Position des Stellantriebes,
• c) Übergeben des ersten Sollsignals und des Schätzwertes an die Stellvorrichtung,
• d) Einstellen der ersten Sollposition mit der Stellvorrichtung sowie Messen der aktuellen Position und Erzeugen eines Positionssignals, das der gemessenen aktuellen Position enspricht,
• e) Übergeben des weiteren Sollsignals an die Stellvorrichtung,
• f) Generieren eines weiteren Schätzwertes der Stellantriebsposition,
• g) Übergeben des weiteren Schätzwertes an die Stellvorrichtung,
• h) Einstellen der weiteren Sollposition sowie Messen einer weiteren aktuellen Position und Erzeugen eines weiteren Positionssignals, das der gemessenen weiteren aktuellen Position entspricht und
• i) zyklisches Wiederholen der Schritte b. bis e. in konstanten Zeitabständen.
• Es weiterhin eine Aufgabe der Erfindung ein Scanmikroskop anzugeben, dass eine weitgehend fehlerfreie Abbildung einer Probe in der Scanmikroskopie ermöglicht.
• Diese Aufgabe wird durch ein Scanmikroskop, das die folgenden Merkmale aufweist:
  
• a) einer Lichtquelle, die einen Lichtstrahl zur Beleuchtung eines Objektes emittiert,
• b) einer Stellvorrichtung zum Führen des Lichtstrahl über ein Objekt; die ein Stellelement in eine vorgebbare Sollposition bewegt.
• c) einer Steuereinheit mit der ein erstes und mindestens ein weiteres Sollsignal erzeugbar und repetitiv an die Strahlablenkeinrichtung übergebbar ist,
• d) einer Vorrichtung zum Ermitteln der Positionen der Strahlablenkeinrichtung
• e) einer Vorrichtung zum Ermitteln von die Position der Strahlablenkeinrichtung charakterisierenden Merkmalen, wobei die Einheit zum Errechnen einen vorgebbaren Algorithmus umfasst.
• f) einer Einheit zum Errechnen von Korrekturwerten aus den ermittelten Merkmalen, wobei die Einheit zum Errechnen einen vorgebbaren Algorithmus umfasst.
• Die Erfindung hat den Vorteil, dass sowohl die Generierung eines Positionssignals insbesondere bei Scannern mit Galvanometern, als auch eine Nachführung der Phasendrift ermöglicht ist.
• Im Hinblick auf eine Generierung eines Positionssignals insbesondere bei Scannern mit Galvanometern wird in einem starren zeitlichen Zusammenhang mit dem Anregungssignal des Galvanometers ein geschätztes Positionssignal generiert und zur Bestimmung der Spaltennummer der Daten verwendet. Dieses Positionssignal wird so generiert, dass eine Entzerrung des Bildes durchgeführt wird.
• Im Hinblick auf das Nachführen der Phasendrift bei Galvanometerscannern erfolgt das Messen des Phasenverzuges und eine automatische Kompensation. Die aktuelle Phasenlage des Positionssignals muss durch geeignetes Auswerten des gemessenen Positionssignals (Nulldurchgang, Korrelationsfunktion mit dem Sollwert oder einem geeigneten Referenzsignal etc.) bestimmt werden. Da aus dem gemessenen Positionssignal nur einzelne Merkmale extrahiert werden müssen, werden bekannte Verfahren angewendet, die besonders robust gegenüber den in dem speziellen System vorkommenden Störungen sind.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung wird der Nulldurchgang vom Sollsignal mit dem (verzögerten) Nulldurchgang vom Istsignal verglichen. Ein zusätzlicher Tiefpass dient dazu, Kurzzeitschwankungen herauszufiltern. Daraus ergibt sich dann eine bestimmte Verzögerung. Für jede Zeile wird dann der Startpunkt für die Bildaufnahme entsprechend verschoben. Auf diese Weise werden Jitter minimiert (da mit Hilfe eines bestimmtem "Sollsignals" ein Positionssignal generiert wird) und gleichzeitig durch das Nachführen des Phasenverzuges (eher langfristige) Driften ausgeglichen.
• In einer Ausführungsvariante beinhaltet das Verfahren den weiteren Schritt des Verbesserns der Signalqualität des erzeugten Positionssignals Beschreibung: durch geeignete Maßnahmen wie z. B. Filter. In einer anderen Ausführungsvariante beinhaltet das Verfahren den weiteren Schritt des Extrahierens von der die Abfolge der tatsächlich erreichten Positionen beschreibenden Merkmalen aus den erzeugten Positionssignalen in jedem Zyklusdurchlauf oder für eine Gruppe von Zyklen durch einen vorgebbaren Algorithmus.
• Bevorzugt werden auch die Schritte des Ermittelns von Korrekturwerten aus den in gemessenen Positionswerten durch einen vorgebbaren Algorithmus und des Optimierens der Schätzwerte für das Positionssignal anhand der in ermittelten Korrekturwerte durch einen weiteren vorgebbaren Algorithmus, ausgeführt. Der vorgebbare Algorithmus beinhaltet vorzugsweise eine Mittelwertbildung und/oder eine Filterfunktion.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Positionssignale mit einem Analog-Digitalwandler in digitale Werte überführt werden. Weiterhin ist vorgesehen, dass die Stellvorrichtung eine Strahlablenkeinrichtung ist. Die Stellvorrichtung kann ein Galvanometer beinhalten. In einer bevorzugen Ausgestaltung beinhaltet das Stellelement einen Spiegel. Die Stellvorrichtung dient vorzugsweise dazu, einen Lichtstrahl über ein Objekt zu führen und das vom Objekt ausgehende Licht mit einem Detektor zu detektieren und in ein Detektionssignal umzuwandeln. Zu jeder Sollposition des Stellelements gehört mindestens eine Scanposition im Objekt. Erfindungsgemäß beinhaltet das Verfahren den Schritt des Zuordnens mindestens eines Detektionssignals zu jedem geschätzten Positionssignal.
• Die Vorrichtung zum Ermitteln der Position beinhaltet einen Stellungssensor, der die aktuelle Stellung des Stellelements ermittelt. Weiterhin ist in einer bevorzugen Ausgestaltung ein Analog/Digitalwandlers zur Umwandlung des Positionssignals des Stellantriebes in ein digitales Signal vorgesehen.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung ist das vom Objekt ausgehendes Licht mit einem Detektor detektierbar und in ein Detektionssignal umwandelbar und zu jeder Sollposition des Stellelements mindestens ein Detektionssignal zuordenbar. Das Zuordnen umfasst die Berücksichtigung des errechneten Zeitkorrekturwertes. Das Scanmikroskop ist vorzugsweise als konfokales Scanmikroskop ausgebildet.
• In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
• Fig. 1 einen Ablaufplan des Verfahrens und
• Fig. 2 eine Vorrichtung zur Generierung eines Positionssignals.
• Fig. 1 zeigt einen Ablaufplan des Verfahrens. Die Zeitbasis 1 ist als Ringzähler ausgebildet. Die Periodendauer eines Durchlaufes entspricht der gewünschten Periodendauer der Schwingung des Galvanometers in x- Richtung. Aus diesem Zählerwert wird in dem Signalgenerierungsmodul 2 der Positionssollwert für einen Stellantrieb 3 erzeugt. Der Stellantrieb 3 beinhaltet ein Positionsmesssystem. Der Positionsmesswert 4 wird an ein Merkmalextraktionsmodul 5 weitergeleitet. Hier werden für die Position des Stellantriebes charakteristische Werte extrahiert. Dies Werte werden an ein Merkmalsverarbeitungsmodul 6 weitergeleitet. Hier werden aus diesen Daten und den von der Zeitbasis 1 generierten Zeitwerten die für die Positionssignalgenerierung 7 notwendige Korrekturwerte erzeugt. In dem Modul zur Positionssignalgenerierung 7 werden aus den von der Zeitbasis 1 stammenden Zeitwerten und aus den von dem Merkmalsverarbeitungsmodul 6 generierten Korrekturwerten Positionswerte generiert und zur weiteren Verarbeitung in die Scanhardware 8 eingespeist.
• Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung zur Generierung eines Positionssignals. Ein Oszillator 11 steuert einen Ringzähler 12, der sein Signal an eine elektronische Look-Up-Tabelle 13 weitergibt. Das von der Look-Up-Tabelle 13 ausgelesene Signal wird mit einem Analog-Digital-Wandler 14 gewandelt und an einen Regler-/Leistungsverstärker 15 weitergegeben. Das Meßsystem 16 des Galvanometer-Stellelements übergibt sein Messsignal ebenfalls an den Regler-/Leistungsverstärker 15 und an einen weiteren Analog-Digital-Wandler 18 dem ein Phasendetektor 19 und eine Verarbeitungseinheit 20 folgt. Die Signale des Ringzählers, der und Verarbeitungseinheit werden in einer Verrechnungseinheit 21 verarbeitet an eine weitere Look-Up-Tabelle 22 und schließlich an das Scansystem 17 weitergegeben.
• Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen. Bezugszeichenliste 1 Zeitbasis
  2 Signalgenerierungsmodul
  3 Stellantrieb
  4 Positionsmesswert
  5 Merkmalsextraktionsmodul
  6 Merkmalsverarbeitungsmodul
  7 Positionssignalgenerierung
  8 Scan Hardware
  11 Oszillator
  12 Ringzähler
  13 Look-Up-Tabelle
  14 Analog-Digital-Wandler
  15 Regler-/Leistungsverstärker
  16 Meßsystem
  17 Scansystem
  18 weiterer Analog-Digital-Wandler
  19 Phasendetektor
  20 Verarbeitungseinheit
  21 Verrechnungseinheit
  22 weitere Look-Up-Tabelle
  

Claims (23)

1. Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung, die ein Stellelement bewegt, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Erzeugen eines ersten und mindestens eines weiteren Sollsignals, wobei das erste Sollsignal einer ersten Sollposition und das weitere Sollsignal einer weiteren Sollposition entspricht,

b) Generieren eines ersten und mindestens eines weiteren Schätzwertes für die aktuelle Position des Stellantriebes,

c) Übergeben des ersten Sollsignals und des Schätzwertes an die Stellvorrichtung,

d) Einstellen der ersten Sollposition mit der Stellvorrichtung sowie Messen der aktuellen Position und Erzeugen eines Positionssignals, das der gemessenen aktuellen Position entspricht,

e) Übergeben des weiteren Sollsignals an die Stellvorrichtung,

f) Generieren eines weiteren Schätzwertes der Stellantriebsposition,

g) Übergeben des weiteren Schätzwertes an die Stellvorrichtung,

h) Einstellen der weiteren Sollposition sowie Messen einer weiteren aktuellen Position und Erzeugen eines weiteren Positionssignals, das der gemessenen weiteren aktuellen Position entspricht und

i) zyklisches Wiederholen der Schritte b. bis e. in konstanten Zeitabständen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch den weiteren Schritt:

- Verbessern der Signalqualität des erzeugten Positionssignals.

3. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch den weiteren Schritt:

- Extrahieren von der die Abfolge der tatsächlich erreichten Positionen beschreibenden Merkmalen aus den erzeugten Positionssignalen in jedem Zyklusdurchlauf oder für eine Gruppe von Zyklen durch einen vorgebbaren Algorithmus.

4. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch den weiteren Schritte:

- Ermitteln von Korrekturwerten aus den in gemessenen Positionswerten durch einen vorgebbaren Algorithmus und

- Optimieren der Schätzwerte für das Positionssignal anhand der in ermittelten Korrekturwerte durch einen weiteren vorgebbaren Algorithmus.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgebbare Algorithmus eine Mittelwertbildung beinhaltet.

6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgebbare Algorithmus eine Filterfunktion.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionssignale mit einem Analog-Digitalwandler in digitale Werte überführt werden

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellvorrichtung eine Strahlablenkeinrichtung ist.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellvorrichtung ein Galvanometer beinhaltet.

10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Stellelement einen Spiegel beinhaltet.

11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Stellvorrichtung ein Lichtstrahl über ein Objekt geführt wird und das vom Objekt ausgehende Licht mit einem Detektor detektiert und in ein Detektionssignal umgewandelt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass zu jeder Sollposition des Stellelements mindestens eine Scanposition im Objekt gehört.

13. Verfahren nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch den weiteren Schritt:

- Zuordnen mindestens eines Detektionssignals zu jedem geschätzten Positionssignal.

14. Scanmikroskop mit:

a) einer Lichtquelle, die einen Lichtstrahl zur Beleuchtung eines Objektes emittiert,

b) einer Stellvorrichtung zum Führen des Lichtstrahl über ein Objekt, die ein Stellelement in eine vorgebbare Sollposition bewegt.

c) einer Steuereinheit mit der ein erstes und mindestens ein weiteres Sollsignal erzeugbar und repetitiv an die Strahlablenkeinrichtung übergebbar ist,

d) einer Vorrichtung zum Ermitteln der Positionen der Strahlablenkeinrichtung

e) einer Vorrichtung zum Ermitteln von die Position der Strahlablenkeinrichtung charakterisierenden Merkmalen, wobei die Einheit zum Errechnen einen vorgebbaren Algorithmus umfasst.

f) einer Einheit zum Errechnen von Korrekturwerten aus den ermittelten Merkmalen, wobei die Einheit zum Errechnen einen vorgebbaren Algorithmus umfasst.

15. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zum Ermitteln der Position einen Stellungssensor beinhaltet, der die aktuelle Stellung des Stellelements ermittelt.

16. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Analog/Digitalwandlers zur Umwandlung des Positionssignals des Stellantriebes in ein digitales Signal vorgesehen ist.

17. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellvorrichtung ein Galvanometer beinhaltet.

18. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Stellelement einen Spiegel umfasst.

19. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgebbare Algorithmus eine Mittelwertbildung beinhaltet.

20. Scanmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das vom Objekt ausgehendes Licht mit einem Detektor detektierbar und in ein Detektionssignal umwandelbar ist.

21. Scanmikroskop nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass zu jeder Sollposition des Stellelements mindestens ein Detektionssignal zuordenbar.

22. Scanmikroskop nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Zuordnen die Berücksichtigung des errechneten Zeitkorrekturwertes umfasst.

23. Scanmikroskop nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein konfokales Scanmikroskop ist.