DE10133655A1

DE10133655A1 - Magnet-Resonanz-Tomographiegerät mit verbesserter örtlicher und zeitlicher Stabilisierung der Homogenität des magnetischen Grundfeldes

Info

Publication number: DE10133655A1
Application number: DE10133655A
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Ideler
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 2001-07-11
Filing date: 2001-07-11
Publication date: 2003-01-30
Anticipated expiration: 2021-07-12
Also published as: GB2382144B; CN1395905A; DE10133655B4; US20030025501A1; US6853855B2; GB2382144A; GB0215655D0

Abstract

Es wird also eine Vorrichtung zum Betrieb eines Magnetresonanzgerätes vorgeschlagen, das einen Grundfeldfeldmagneten (1) zur Bereitstellung eines homogenen magnetischen Grundfeldes, ein Gradientenspulensystem (2) zur Kodierung des Grundfeldes sowie ein zur Homogenisierung des magnetischen Grundfeldes dienendes passives Shim-System aufweist. Dieses passive Shim-System besteht aus Shimeisenblechen (11), die im magnetischen Grundfeld platziert sind. Die Erfindung besteht darin, daß eine Einrichtung vorhanden ist, durch die die Temperatur dieser Shimeisenbleche (11) gesteuert werden kann.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf die Kernspintomographie (Synonym: Magnetresonanztomographie; MRT) wie sie in der Medizin zur Untersuchung von Patienten Anwendung findet. Dabei bezieht sich die vorliegende Erfindung insbesondere auf ein Kernspintomographiegerät, bei dem die Homogenität des magnetischen Grundfeldes über die Steuerung der Temperatur von sogenannten Shimeisenblechen stabilisiert bzw. geregelt werden kann.

Die MRT basiert auf dem physikalischen Phänomen der Kernspinresonanz und wird als bildgebendes Verfahren seit über 15 Jahren in der Medizin und in der Biophysik erfolgreich eingesetzt. Bei dieser Untersuchungsmethode wird das Objekt einem starken, konstantem Magnetfeld ausgesetzt. Dadurch richten sich die Kernspins der Atome in dem Objekt, welche vorher regellos orientiert waren, aus. Hochfrequenzwellen können nun diese "geordneten" Kernspins zu einer bestimmten Schwingung anregen. Diese Schwingung erzeugt in der MRT das eigentliche Messsignal, welches mittels geeigneter Empfangsspulen aufgenommen wird. Durch den Einsatz ortsabhängiger Magnetfelder, erzeugt durch Gradientenspulen, kann dabei das Messobjekt in alle drei Raumrichtungen räumlich kodiert werden. Das Verfahren erlaubt eine freie Wahl der abzubildenden Schicht, wodurch Schnittbilder des menschlichen Körpers in allen Richtungen aufgenommen werden können. Die MRT als Schnittbildverfahren in der medizinischen Diagnostik, zeichnet sich in erster Linie als "nicht-invasive" Untersuchungsmethode durch ein vielseitiges Kontrastvermögen aus. Aufgrund der hervorragenden Darstellbarkeit des Weichgewebes hat sich die MRT zu einem der Röntgen-Computertomographie (CT) vielfach überlegenen Verfahren entwickelt. Die MRT basiert heute auf der Anwendung von Spinecho- und Gradientenecho-Sequenzen, die bei Messzeiten in der Größenordnung einiger Sekunden eine exzellente Bildqualität ermöglichen.

Die ständige technische Weiterentwicklung der Komponenten von MRT-Geräten, und die Einführung schneller Bildgebungssequenzen eröffnete der MRT immer mehr Einsatzgebiete in der Medizin. Echtzeitbildgebung zur Unterstützung der minimalinvasiven Chirurgie, funktionelle Bildgebung in der Neurologie und Perfussionsmessung in der Kardiologie sind nur einige wenige Beispiele.

Der grundsätzliche Aufbau eines der zentralen Teile eines solchen MRT-Gerätes ist in Fig. 6 dargestellt. Sie zeigt einen Grundfeldmagneten 1 (z. B. einen axialen supraleitenden Luftspulenmagneten mit aktiver Streufeldabschirmung) der in einem Innenraum ein homogenes magnetisches Grundfeld erzeugt. Der supraleitende Grundfeldmagnet 1 besteht im Inneren aus supraleitenden Spulen die sich in flüssigem Helium befinden. Der Grundfeldmagnet 1 ist von einem zweischaligen Kessel, der in der Regel aus Edelstahl ist, umgeben. Der innere Kessel, der das flüssige Helium beinhaltet und zum Teil auch als Windungskörper für die Magnetspulen dient, ist über schwach wärmeleitende Gfk-Stäbe (Rods) an dem äußeren Kessel, der Raumtemperatur hat, aufgehängt. Zwischen innerem und äußerem Kessel herrscht Vakuum.

Mittels Tragelementen 7 ist die zylinderförmige Gradientenspule 2 in den Innenraum des Grundfeldmagneten 1 in das Innere eines Tragrohrs konzentrisch eingesetzt. Das Tragrohr ist nach Außen durch eine äußere Schale 8, nach Innen durch eine innere Schale 9 abgegrenzt.

Die Gradientenspule 2 besitzt drei Teilwicklungen, die ein dem jeweils eingeprägten Strom proportionales, räumlich jeweils zueinander senkrechtes Gradientenfeld erzeugen. Wie in Fig. 7 dargestellt umfaßt die Gradientenspule 2 eine x- Spule 3, eine y-Spule 4 und eine z-Spule 5, die jeweils um den Spulenkern 6 gewickelt sind und so ein Gradientenfeld zweckmäßigerweise in Richtung der kartesischen Koordinaten x, y und z erzeugen. Jede dieser Spulen ist mit einer eigenen Stromversorgung ausgestattet um unabhängige Strompulse entsprechend der in der Pulssequenzsteuerung programmierten Folge amplituden- und zeitgenau zu erzeugen. Die erforderlichen Ströme liegen bei etwa 250 A. Da die Gradientenschaltzeiten so kurz wie möglich sein sollen, sind Stromanstiegsraten in der Größenordnung von 250 kA/s nötig.

Da die Gradientenspule in aller Regel von leitfähigen Strukturen umgeben ist (z. B. Magnetgefäß aus Edelstahl), werden in diesen durch die gepulsten Felder Wirbelströme angeworfen, die wiederum in Wechselwirkung mit dem Grundmagnetfeld treten und dieses verändern.

In der Magnetresonanztomographie ist jedoch die Homogenität des Grundmagnetfeldes im Meßvolumen von elementarer Bedeutung.

Da die Magnetresonanz-Frequenz direkt abhängig ist von der Magnetfeldstärke, sollte im definierten Meßvolumen an jedem Punkt in diesem Volumen die gleiche Feldstärke vorherrschen. Dies ist maßgeblich für die Ortsauflösung bzw. Bildgebung und für die Reproduzierbarkeit von Frequenzspektren in der spektroskopen Bildgebung in der durch die Suszeptibilität des Meßobjektes verursachte Feldverzerrungen nachkorrigiert werden müssen.

Zur Homogenisierung des Grundmagnetfeldes (im folgenden als Shim bezeichnet) sind drei unterschiedliche Techniken bekannt:

1. Die drei zueinander orthogonalen Spulen in der Gradientenspule 2 (Fig. 5, Fig. 7) zur Erzeugung der Gradientenfelder bzw. zur Kodierung des Meßvolumens werden mit Offsetströmen beaufschlagt, um Feldinhomogenitäten erster Ordnung zu kompensieren.
2. Innerhalb dieser Gradientenspule 2 befindet sich ein weiteres, stromdurchflossenes orthogonales Spulensystem mit dem es ebenfalls möglich ist das Grundmagnetfeld zu homogenisieren. Diese zusätzlichen Korrekturspulen 10 (Shimspulen) (Fig. 5) dienen dazu Feldinhomogenitäten höherer Ordnung auszugleichen und sind daher sehr kompliziert aufgebaut.
3. Zur Homogenisierung des Grundmagnetfeldes wird mit Hilfe eines Feldberechnungsprogramms eine geeignete Anordnung von in der Magnetbohrung - das heißt innerhalb der Gradientenspule oder zwischen Gradientenspule und Grundfeldmagnet - anzubringenden Eisenbleche 11 (Shimeisenbleche) (Fig. 5) berechnet. Als Vorgabe für die Berechnung dient eine Vorabmessung der Feldverteilung. Nach der Montage wird noch eine Kontrollmessung durchgeführt. Dieser Vorgang muß mehrfach wiederholt werden, bevor ein befriedigendes Shimergebnis erreicht ist.

Während die Techniken unter Punkt 1 und 2 einen aktiven Shim darstellen, wird die Technik unter Punkt 3 als Passiv-Shim bezeichnet. In der Regel ist ein Kühlwassersystem zur Kühlung der Shimspulen und -eisenbleche vorhanden.

Nichtsdestotrotz ist aufgrund von Änderungen verschiedener physikalischer Parameter der Shimzustand unterschiedlichen Schwankungen ausgesetzt, was immer noch zu zeitlichen und örtlichen Inhomogenitäten des Grundmagnetfeldes führt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, die örtliche und zeitliche Stabilisierung der Grundfeldhomogenität beim Betrieb eines MRT-Gerätes weiter zu verbessern.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs gelöst. Die abhängigen Ansprüche bilden den zentralen Gedanken der Erfindung in besonders vorteilhafter Weise weiter.

Es wird also eine Vorrichtung zum Betrieb eines Magnetresonanzgerätes vorgeschlagen das einen Grundfeldmagneten zur Bereitstellung eines homogenen magnetischen Grundfeldes, ein Gradientenspulensystem zur Kodierung des Grundfeldes sowie ein zur Homogenisierung des magnetischen Grundfeldes dienendes passives Shim-System aufweist. Dieses passive Shim-System umfaßt Shimeisenbleche die im magnetischen Grundfeld platziert sind. Die Erfindung besteht darin, daß eine Einrichtung vorhanden ist durch die die Temperatur dieser Shimeisenbleche gesteuert werden kann.

Dies hat zum Vorteil, daß Temperaturschwankungen im System - beispielsweise durch sich verändernde Verlustleistung innerhalb der Gradientenspule, der Wirbelströme innerhalb der Shimeisenbleche oder der Kühlwassertemperatur - kompensiert werden können.

Durch eine solche Einrichtung kann also zum einen die Temperatur der einzelnen Shimeisenbleche stabilisiert werden, was sich ebenso stabilisierend auf das magnetische Grundfeld auswirkt.

Genauso aber macht eine derartige Einrichtung ein gezieltes Temperieren der Shimeisenbleche und damit eine Fein-Optimierung des magnetischen Grundfeldes möglich.

Die Temperatursteuerung der Shimeisenbleche erfolgt mittels Heizspulen oder Peltierelementen.

Im Falle daß Heizspulen zur Temperatursteuerung verwendet werden, müssen diese so gestaltet sein, daß die Entstehung eines Magnetfeldes durch eine parallele Führung der Hin- und Rückleiter, sowie durch geeignete Stromzuführung, vermieden wird.

Die Shimeisenbleche sind dabei auf nicht-magnetischem wärmeleitenden Material montiert, auf deren Gegenseite sich Heizspule oder Peltierelement befinden.

Im Falle daß Peltierelemente zur Temperatursteuerung verwendet werden besteht die Temperatursteuerung aus einer Brückenschaltung, die vier Transistoren, zwei Operationsverstärker und das Peltierelement aufweist. Angesteuert wird diese Temperatursteuerung über eine herkömmliche Temperaturregelschaltung.

Die Ansteuerung der Temperaturregelschaltung kann vorteilhafterweise auch über einen Datenbus mittels einem Digital- Analog-Wandler erfolgen.

Die Transistoren der Temperatursteuerung werden erfindungsgemäß plaziert, daß sie die thermische Wirkung der Peltierelemente unterstützen.

Das heißt, daß die beiden Transistoren, die beim Beheizen der Shimeisenbleche mit Strom beaufschlagt werden, so montiert sind, daß sie in thermischem Kontakt mit den zu beheizenden Shimeisenblechen sind.

Es kann dabei von Vorteil sein, daß die Einrichtung zur Temperatursteuerung derart ausgestaltet ist, daß die Temperatur jedes Shimeisenblechs individuell gesteuert werden kann.

Weitere Vorteile, Merkmale und Eigenschaften der vorliegenden Erfindung werden nun anhand von Ausführungsbeispielen bezugnehmend auf die begleitenden Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1a zeigt eine temperaturgeregelte mechanisch-elektrische Einheit eines Shimeisenbleches und deren Implementierungen in eine thermisch- und elektrisch nichtleitende Trägerschiene,
Fig. 1b zeigt zwei mögliche Ausführungsformen der Heizspulen in der Aufsicht,
Fig. 1c zeigt eine mögliche Ausführung der Temperaturregelung des Heizleiters mittels Temperatursensor,
Fig. 2a zeigt die erfindungsgemäße Ausführung der Temperaturregelung mittels Peltierelement,
Fig. 2b zeigt eine temperaturgeregelte mechanisch-elektrische Einheit eines Shimeisenbleches,
Fig. 3a zeigt die erfindungsgemäße Ausführung der Temperaturregelung mittels Peltierelement über einen Digital-Analog-Wandler,
Fig. 4 zeigt die magnetische Sättigungsinduktion in Abhängigkeit von der Temperatur,
Fig. 5 zeigt schematisch ein Gradientenspulensystem für zylinderförmige Grundfeldmagnete mit integrierten Shimspulen und geometrisch verteilten Shimeisenblechen,
Fig. 6 zeigt eine perspektivische Darstellung des Grundfeldmagneten,
Fig. 7 zeigt eine perspektivische Darstellung der Gradientenspule mit den drei Teilwicklungen.
Fig. 1a zeigt eine temperaturgeregelte mechanisch-elektrische Einheit eines Shimeisenbleches 11. Das Shimeisenblech 11 ist auf eine nicht-magnetische wärmeleitende Platte 13 (Thermal Spread, z. B. Aluminium) montiert, auf deren Gegenseite eine elektrisch heizbare Spule 14 aufgebracht ist. Auf der gleichen Seite wie die Spule befindet sich ein Temperatursensor 12 in thermischem Kontakt mit der wärmeleitenden Platte 13. Auf einer weiteren von der wärmeleitenden Platte 13 thermisch isolierten Platte 17 ist die Regelelektronik 15 für die Heizspulenansteuerung aufgebracht. Platte 13 und Platte 17 können beispielsweise mittels Stehbolzen, Steckstiften oder Verguß auf thermisch isolierender Distanz gehalten werden.
Die in Fig. 1a dargestellte mechanisch-elektrische Einheit stellt ein einzelnes beheizbares Shimeisenblech dar. Zur Homogenisierung des magnetischen Grundfeldes werden nun mehrere dieser Einheiten in eine thermisch- und elektrisch nichtleitende Trägerschiene 16 (in der Regel ein Spritzgußteil, z. B. aus Gfk) eingebracht. Die gezielte Einbringung einer Vielzahl dieser Einheiten auf einer Vielzahl von Trägerschienen 16 bildet die passive Shimmung (vgl. Fig. 5).
In Fig. 1b sind zwei Ausführungsformen der Heizspule 14 dargestellt. Wichtig ist, daß die einzelnen Heizspulen so gestaltet sind, daß die Entstehung eines externen Magnetfeldes durch paralleles Führen der Hin- und Rückleiter vermieden wird. Dies gilt ebenso für die Stromzuführung. In der Ausführung auf der linken Seite der Fig. 1b besteht der Heizdraht somit aus zwei Drähten, der Stromzu- und der Stromabführung.
Fig. 1c zeigt eine mögliche Ausführung der Regelelektronik 15. Die Temperaturdifferenz wird einem Operationsverstärker 18 über den der aktuellen Temperatur entsprechenden Spannungswert eines Temperatursensors 12 und eines durch eine Referenzspannung 20 gegebenen Sollwertes zugeführt. Sie wird am Ausgang des Operationsverstärkers 18 verstärkt und schaltet den Transistor T ab einer Mindestdifferenzspannung durch. Die Heizspule 14 wird dadurch solange bestromt, bis die Temperaturdifferenz in Form einer Spannungsdifferenz zwischen 12 und 20 einen Mindestwert unterschreitet. Da diese Regelschaltung den Hochfrequenzfeldern im Inneren des Magnetresonanztomographen ausgesetzt sind, muß sie beispielsweise durch einen Elektrolyt-Kondensator 21 gedämpft werden. Der Kondensator 22 ist ein Stützkondensator und dient zur Stabilisierung der Versorgungsspannung des Operationsverstärkers.
Fig. 2a zeigt die erfindungsgemäße Ausführung der Temperaturregelung mittels einem Peltierelement 23. Der Vorteil gegenüber der Temperaturregelung mittels Heizspulen besteht darin, daß die Shimeisenbleche mit Peltierelementen sowohl gekühlt als auch beheizt werden können. Die Temperaturstablisierung erfordert weniger Energie und reagiert wesentlich schneller, im allgemeinen im Sekundenbereich. Die Peltierelemente werden durch das Grundmagnetfeld auch nicht beeinträchtigt.
Die Peltierelementansteuerung erfolgt über eine Brückenschaltung, bestehend aus zwei Operationsverstärkern 24, 25, zwei pnp-Transistoren T1, T3 sowie zwei npn-Transistoren T2, T4. Den Regelwert U_Regel erhält die Brückenschaltung von dem Schaltkreis 26 der ähnlich aufgebaut ist wie die Regelelektronik 15 in Fig. 1c. Im Unterschied zur Fig. 1c dient in Fig. 2a der Ausgabewert U_Regel des Operationsverstärkers 18 als Regelwert für die Brückenschaltung. Je nachdem ob der Ausgabewert des Temperatursensors 12 unterhalb (zu kalt) oder oberhalb (zu warm) des Sollwertes der Referenzspannung 20 liegt, ist U_Regel > 0 bzw U_Regel < 0.
Im Falle daß U_Regel < 0 ist die Ausgangsspannung des Operationsverstärkers 24 negativ, T3 wird durchgeschaltet, T4 ist gesperrt. Im Gegensatz dazu ist die Ausgangsspannung des Operationsverstärkers 25 positiv, T2 wird durchgeschaltet, T1 ist gesperrt.
Wie in Fig. 2b dargestellt, ist das Peltierelement 23 nun so angeordnet, daß es die wärmeleitende Platte 13 und damit das Shimeisenblech 11 kühlt wenn die Transistoren T1, T4 gesperrt und die Transistoren T3, T2 durchgängig sind.
Im Falle daß U_Regel > 0 ist die Ausgangsspannung des Operationsverstärkers 24 positiv, T4 wird durchgeschaltet, T3 ist gesperrt. Im Gegensatz dazu ist die Ausgangsspannung des Operationsverstärkers 25 negativ, T1 wird durchgeschaltet, T2 ist gesperrt.
In diesem Fall heizt das Peltierelement die wärmeleitende Platte 13 und damit das Shimeisenblech. Wie man aus Fig. 2b erkennen kann, sind die beim Heizen stromführenden Transistoren T1 und T4 erfindungsgemäß auf die wärmeleitende Platte 13 montiert und unterstützen so durch ihre eigene Wärmeentwicklung die thermische Wirkung des Peltierelements.
Fig. 3a zeigt die erfindungsgemäße Ausführung der Temperaturregelung mittels Peltierelement, welches über einen Digital-Analog-Wandler separat angesteuert werden kann. Die dargestellte Brückenschaltung in Fig. 3a ist mit der in Fig. 2a identisch. Auch der Schaltkreis 19 ist ähnlich aufgebaut ist wie die Regelelektronik 15 in Fig. 1c bzw. der Schaltkreis 26 in Fig. 2a mit dem Unterschied, daß der Sollwert der Temperatur der wärmeleitenden Platte 13 und damit des Shimeisenblechs 11 einem Digital-Analog-Wandler 28 (DAC) über einen Bus 27 digital vorgegeben werden kann. Ausreichend ist ein 4 bis 8 bit DAC als integraler Bestandteil der einzelnen Ansteuerschaltungen. Somit können vorteilhafterweise die mechanisch-elektrischen Einheiten separat angesteuert und so die Vielzahl der Shimeisenbleche 11 individuell temperiert werden. Dadurch ist eine Feineinstellung des Shimzustandes möglich wie im folgenden näher erläutert werden soll.
Fig. 4 zeigt die magnetische Sättigungsinduktion in Abhängigkeit von der Temperatur. Die Induktion eines ferromagnetischen Materials (z. B. NiFeCuFerrit) erreicht in einem Magnetfeld H einen Sättigungswert (Kurve B). Dieser ist abhängig von der Temperatur. Bei höherer Temperatur nimmt der Sättigungswert ab (Kurve C), bei niedrigerer Temperatur nimmt er zu (Kurve A).
Dies bedeutet, daß bei einer Temperaturänderung des Materials, insbesondere der Shimeisenbleche, die Sättigungsinduktion einer Drift unterworfen ist, die eine Veränderung des Shimzustandes und damit eine Verschlechterung der Homogenität des magnetischen Grundfeldes nach sich zieht.
Derartige Temperaturänderungen können beispielsweise, wie oben bereits erwähnt, durch Schwankungen im Kühlwasser-Kreislauf entstehen.
Eine Temperaturstabilisierung mittels Heizspule oder Peltierelement gemäß der vorliegenden Erfindung, verhindert eine Änderung der Sättigungsinduktion - vorausgesetzt die Regeltemperatur des Shimeisenbleches liegt unterhalb der Curie-Temperatur, ab der die magnetische Eigenschaft eines Ferromagneten zum Erliegen kommt.
Die Temperaturabhängigkeit der Sättigungsinduktion des Shimeisenblechs nach Fig. 4 hat einen weiteren Vorteil:
Durch gezieltes individuelles Temperieren (kühlen bzw. heizen) der einzelnen Shimeisenbleche kann die Temperaturabhängigkeit der Sättigungsinduktion dazu genutzt werden, um nach iterativem Optimieren der Homogenität des magnetischen Grundfeldes (passiv-Shim, siehe oben) eine weitere Fein-Optimierung (Fine-Tuning) vorzunehmen. Letzteres ist sogar während des Betriebes möglich.
Die Vorteile sind:

- deutlich bessere Bildqualität, insbesondere bei der funktionsgebenden MRT sowie der Spektroskopie,
- wesentlich geringere Anforderungen an den Kühlkreislauf (Reduktion der Durchflußmenge, Kostenersparnis),
- Selektives Optimieren der Homogenität des magnetischen Grundfeldes im interessierenden Untersuchungsvolumen,
- weniger Iterationen beim Passiv-Shim, d. h. kürzere Installationszeiten.

Claims

1. Vorrichtung zum Betrieb eines Magnetresonanzgerätes aufweisend einen Grundfeldmagneten (1) zur Bereitstellung eines homogenen magnetischen Grundfeldes, ein Gradientenspulen- System (2) zur Kodierung des Grundfeldes sowie ein zur Homogenisierung des magnetischen Grundfeldes dienendes passives Shim-System mit im magnetischen Grundfeld platzierten Shimeisenblechen (11), dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Temperatursteuerung der Shimeisenbleche (11) vorhanden ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Temperatursteuerung der Shimeisenbleche (11) die Temperatur der einzelnen Shimeisenbleche (11) stabilisiert.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Temperatursteuerung der Shimeisenbleche (11) durch gezieltes Temperieren der Shimeisenbleche (11) eine Fein-Optimierung des magnetischen Grundfeldes vornimmt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatursteuerung der Shimeisenbleche mittels Heizspulen (14) erfolgt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizspulen (14) so gestaltet sind, daß die Entstehung eines Magnetfeldes durch eine parallele Führung der Hin- und Rückleiter, sowie durch geeignete Stromzuführung, vermieden wird.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis S. dadurch gekennzeichnet, daß die Shimeisenbleche (11) auf einer nicht-magnetischen wärmeleitenden Platte (13) montiert sind, auf deren Gegenseite sich die Heizspule (14) befindet.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatursteuerung der Shimeisenbleche (11) mittels Peltierelementen (23) erfolgt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Shimeisenbleche (11) auf einer nicht-magnetischen wärmeleitenden Platte (13) montiert sind, auf deren Gegenseite sich das Peltierelement (23) befindet.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatursteuerung aus einer Brückenschaltung besteht, die vier Transistoren (T1, T2, T3, T4), zwei Operationsverstärker (24, 25) und ein Peltierelement (23) aufweist, die über eine herkömmliche Temperaturregelschaltung (26) angesteuert wird.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuerung der Temperaturregelschaltung (19) über einen Datenbus (27) mittels einem Digital-Analog-Wandler (26) erfolgt.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Transistoren (T1, T2, T3, T4) der Temperatursteuerung so platziert werden, daß sie die thermische Wirkung der Peltierelemente (23) unterstützen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Transistoren (T1, T4), die beim Beheizen der Shimeisenbleche (11) mit Strom beaufschlagt werden, so montiert sind, daß sie in thermischem Kontakt mit den zu beheizenden Shimeisenblechen (11) sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Temperatursteuerung derart ausgestaltet ist, daß die Temperatur jedes Shimeisenblechs (11) individuell gesteuert werden kann.