DE10120822A1 - Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem Kennlinienverhalten - Google Patents
Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem KennlinienverhaltenInfo
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Abstract
Bei einem induktiven Wegmessaufnehmer mit einem verschieblichen, magnetisch permeablen Messkopf (10), mit wenigstens einer Messschleife (30), deren geometrische Gestalt sich in Abhängigkeit vom Verschiebungsweg des Messkopfes (10) ändert, mit wenigstens einer Erregerschleife (20), mittels der in dem Messkopf (10) ein magnetischer Fluß (60) erzeugbar ist, der die Messschleife (30) an jedem Punkt des Verschiebungsweges, im Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (10), durchsetzt und ein elektrisches Messsignal (i2) induziert und mit wenigstens einer Referenzschleife (40), deren geometrische Gestalt sich über den Verschiebungsweg, im Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (10, von einem magnetischen Fluss (60) durchsetzt ist, wobei die Referenzschleife (40) durchsetzende Amplitude des magnetischen Flusses konstant gehalten ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen induktiven
Wegmessaufnehmer gemäß dem unabhängigen Anspruch 1
sowie eine elektrische Schaltungsanordnung zu seinem
Betrieb gemäß dem unabhängigen Anspruch 10.
Ein gattungsgemäßer induktiver Wegmessaufnehmer ist aus
der FR 2 682 760 A1 bekannt geworden. Bei diesem
Wegmessaufnehmer ist an einem elektrisch isolierenden
rechteckförmigen Träger ein entlang des Trägers
verschiebbarer Läufer angeordnet, der den Träger U-
förmig umschließt und der als Messkopf zur Wegmessung
dient. Der Messkopf besteht aus einem ferromagnetischen
Werkstoff. Auf dem Träger sind eine rechteckförmig
ausgebildete elektrische Erregerschleife und eine V-
förmig ausgebildete Messschleife aufgebracht. Eine an
die Erregerschleife angelegte Wechselspannung induziert
nach dem Induktionsgesetz über den im Messkopf sich
ausbildenden magnetischen Kreis sowie über Luft eine
Wechselspannung in der Messschleife. Aufgrund der sich
stetig ändernden geometrische Gestalt der Messschleife
entlang des Verschiebungsweges des Messkopfes sowie der
über den Verschiebungsweg sich nicht ändernden Gestalt
der Erregerschleife ändert sich das Ausgangssignal der
Messschleife ebenfalls stetig mit einer Verschiebung
des Messkopfes entlang des Trägers.
In der DE 39 13 861 A1 ist ein ähnlicher
Wegmessaufnehmer beschrieben, bei dem der Messkopf
allerdings ein elektrisch aktives (induktives) Element
aufweist, das Bestandteil eines extern anregbaren
Schwingkreises ist. Zusätzlich zur Messschleife ist
eine Referenzschleife vorgesehen, die zur Beobachtung
einer Steuerspannung des Schwingkreises dient und
mittels der Änderungen in der Flussdichte,
beispielsweise aufgrund einer Spannungsänderung einer
Wechselspannungsquelle oder Änderungen der
Umgebungstemperatur, erfasst werden können. Hierdurch
kann die Flussdichte des durch das induktive Element
erzeugten magnetischen Feldes konstant gehalten werden.
Das induktive Element induziert dabei in der
Messschleife eine Messspannug und in der
Referenzschleife eine Referenzspannung.
Ein induktiver Wegmessaufnehmer mit elektrisch aktivem
Messkopf sowie einer Referenzschleife ist auch in der
unveröffentlichten deutschen Patentanmeldung Az. 100 16 540.0
offenbart. Sowohl die Messschleife als auch die
Referenzschleife werden dort als Auswerteschleifen
verwendet, wobei das Messsignal aus dem Quotienten aus
Messspannung und Referenzspannung gebildet wird. Durch
die Quotientenbildung werden insbesondere
Temperaturdrifts und Lageänderungen des Messkopfes
rechnerisch eliminiert.
Nachteile der DE 39 13 861 A1 und der DE 100 16 540.0
sind, dass der Messkopf aktiv ist und eine ständige
Energiezufuhr benötigt, die nur durch bewegte,
mitgeführte Leitungen realisierbar ist.
Der Nachteil der in der FR 2 682 760 A1 beschriebenen
Anordnung ist, dass Temperatureinflüsse und
Lageänderungen des Messkopfes zu unstabilen Messwerten
führen, weiterhin dass die Anregung kontinuierlich ist
und für verwertbare Signale eine hohe Betriebsleistung
erforderlich ist.
Weiterhin ist nicht dafür gesorgt, dass der Einfluss
der Luftkopplung zwischen Erreger- und Messschleife
konstant bleibt und daher als sich nicht verändernder
Konstante vom Messwert abgezogen werden kann.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
einen induktiven Wegaufnehmer der beschriebenen Art,
sowie eine Schaltungsanordnung zu seinem Betrieb
dahingehend weiterzuentwickeln, dass dieser ein
möglichst stabiles Messsignal über einen weiten
Temperaturbereich und/oder Betriebsspannungsbereich
ohne wesentliche Beeinflussung durch mechanische
Toleranzen liefert und dabei eine niedrige
Betriebsleistung benötigt. Darüber hinaus soll durch
einen einfachen, technischen Aufbau ein möglichst gutes
Kosten/Nutzen-Verhältnis erreicht werden.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale der
unabhängigen Ansprüche. Vorteilhafte Ausführungsformen
der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung sieht bei einem elektrisch passiven
Messkopf eine in Fig. 1 dargestellte Referenzschleife
vor, wobei beim Messvorgang die Amplitude des sie
durchsetzenden, magnetischen Flusses durch einen
Regelvorgang konstant gehalten wird. Somit bleibt die
Messspannung unbeeinflusst von den erwähnten
Störgrößen.
Wegen der vorhandenen Regelung durch die Referenzspule
bleibt die Lufteinkopplung in die Messspule konstant
und kann als Messweg unabhängige Größe kompensiert
werden. Die daraus resultierende Quotientenbildung aus
Messspannung und Referenzspannung liefert daher
unmittelbar die gewünschte Messgröße.
Zum einen erfordert der vorgeschlagene passive Messkopf
keine beweglichen Teile oder elektrischen Zuleitungen
und ist daher kostengünstig und äußerst zuverlässig
realisierbar.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die in der
Referenzschleife induzierte Referenzspannung bzw. der
dadurch bedingte Referenzstrom mittels einer Regelung,
bevorzugt einer PI-Regelung, konstant gehalten. Diese
Maßnahme gewährleistet einen besonders stabilen Betrieb
des Wegmessaufnehmers. Mittels der Regelung arbeitet
der Wegmessaufnehmer völlig autonom, und liefert
unmittelbar, ohne den im Stand der Technik noch
erforderlichen rechnerischen Auswertungsschritt, das
erwünschte Messsignal.
Der ebenfalls vorgeschlagene niederohmige Betrieb der
Messschleife bzw. Referenzschleife hat den Vorteil,
dass der Wegmessaufnehmer und die Schaltungsanordnung
unempfindlicher werden gegenüber äußeren
Störeinflüssen, wie z. B. elektromagnetischen oder
kapazitiven Einstreuungen.
Der bei einer weiteren Ausführungsform vorgeschlagene
pulsförmige Betrieb bedingt in vorteilhafter Weise eine
verringerte Energiedissipation bei den verschiedenen
Induktionsvorgängen und somit zu einem insgesamt
niedrigeren Stromverbrauch.
Aus der nachfolgenden Beschreibung von zeichnerisch
dargestellten Ausführungsbeispielen ergeben sich
weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung, wobei
identische oder funktional gleiche Merkmale mit
identischen Bezugszahlen bezeichnet sind.
Dabei zeigen im Einzelnen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines
erfindungsgemäßen Wegmessaufnehmers;
Fig. 2 eine schematische Draufsicht einer
erfindungsgemäßen Anordnung von Erreger,
Mess- und Referenzschleife;
Fig. 3 ein Blockschaltbild einer
erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung zum
Betrieb eines in den Fig. 1 und 2
gezeigten Wegmessaufnehmers;
Fig. 4 an einem erfindungsgemäßen Wegmessaufnehmer
gemessene Kennlinien Spannung über
Messkopfverschiebung mit PI-Reglerstufe.
Der in Fig. 1 gezeigte Wegmessaufnehmer weist einen
Messkopf 10 (Positionsgeber) auf, der in einer
gezeigten x-Richtung entlang einer Anordnung von
Leiterschleifen, und zwar einer Erregerschleife 20,
einer Messschleife 30 sowie einer Referenzschleife 40,
verschieblich ausgebildet ist. Der linear
verschiebliche Messkopf 10 stellt jedoch nur ein
Ausführungsbeispiel dar und kann jede beliebige
Verschiebungskurve, beispielsweise eine kreisförmige
oder elliptische Verschiebungskurve, beschreiben.
Der Messkopf 10 besteht aus einem magnetisch permeablen
Material, im vorliegenden Beispiel aus einem
Ferritkern, kann jedoch auch aus einem Material mit
ferromagnetischen Eigenschaften gebildet sein. Beim
Anlegen einer elektrischen Wechselspannung 50 an der
Erregerschleife 20, bildet sich ein durch
Magnetfeldlinien 60 angedeutetes Magnetfeld aus, dessen
Flusslinien den Innenbereich der Erregerschleife 20
sowie die Innenbereiche der Messschleife 30 und der
Referenzschleife 40 durchstoßen und im Bereich des
Ferritkerns 10 aufgrund der Magnetisierbarkeit des
Ferritmaterials in bekannter Weise gebündelt bzw.
konzentriert werden. Die im Bereich des Ferritkerns 10
sich ausbildenden magnetischen Kreise durchstoßen daher
die Messschleife 30 und die Referenzschleife 40 in
diesem Bereich verstärkt. Da der Messkopf 10 lediglich
passiv in Erscheinung tritt, handelt es sich hier somit
um einen sogenannten "passiven Messkopf".
Die Messschleife 30 weist entlang der Wegmessstrecke x,
im Gegensatz zur Referenzschleife 40, einen
dreieckförmigen Verlauf auf. Daher variiert der Anteil
der die Messschleife 30 in Höhe des Ferritkerns 10
durchstoßenden Magnetfeldlinien etwa linear mit der
Wegstrecke x, wohingegen der Anteil im Falle der
Referenzschleife 40 über die Wegstrecke x konstant ist.
Aus der linearen Abweichung des in der Messschleife 30
induzierten Messstroms läßt sich nach vorheriger
Kalibrierung somit die Position x berechnen. Durch
Quotientenbildung des ermittelten Messstroms i2 in der
Messschleife und des ermittelten Referenzstroms i3 in
der Referenzschleife lassen sich gleichzeitig in der
Messschleife und der Referenzschleife auftretende
Störeinflüsse weitgehend eliminieren.
Fig. 2 zeigt schematisch die elektrische Messanordnung
des in Fig. 1 gezeigten Wegmessaufnehmers. Die
Messschleife sowie die Referenzschleife werden
niederohmig betrieben, wobei die Impedanzen R2 und R3
nur wenige Ohm mit R2,3 < = 10 Ohm, z. B. 2 Ohm, bei der
Arbeitsfrequenz entsprechen. Wegen des zu
vernachlässigenden Spannungsabfalls über die Mess- und
Referenzschleife ergibt sich demnach ein reiner
Strommessbetrieb der gezeigten Anordnung, wobei U1 die
an der Erregerschleife anliegende Spannung, i1, i2, i3
die in den jeweiligen Leiterschleifen fließenden Ströme
und R1, R2, R3 die jeweiligen Impedanzen der einzelnen
Schleifen bedeuten. Aufgrund dieses niederohmigen
Betriebs der des Wegmessaufnehmers ist dieser nahezu
unempfindlich gegen äußere Störeinflüsse wie EMV-
Störungen.
Beim Anlegen einer elektrischen Wechselspannung an die
Erregerschleife, und zwar im vorliegenden Beispiel
eines periodisch für jeweils nur etwa 1 µsec
anliegenden, mit etwa 10 kHz schwingenden
Rechtecksignals, wird durch die Erregerschleife
(kurzzeitig) ein Magnetfeld aufgebaut, welches über den
Ferritkern konzentriert wird und sowohl in die Mess-
als auch in die Referenzschleife einkoppelt. Die
Einkopplung über den Ferritkern erfolgt bei der
Messschleife in einem Flächensegment S2 und bei der
Referenzschleife in einem Flächensegment S3. Zusätzlich
koppeln die Stromschleifen gegenseitig über Luft ein,
d. h. insbesondere die Erregerspule über Luft in die
Mess- und Referenzspule und im Wege einer
Gegeninduktionen auch die Messschleife und die
Referenzschleife gegenseitig, wobei der Beitrag der
Gegeninduktion der Referenzschleife in die Messschleife
wegen der unmittelbaren Einflußnahme auf das
eigentliche Messsignal dominiert.
Die in Fig. 3 dargestellte Schaltungsanordnung weist
eine Niedrigspannungsversorgung 100 zur elektrischen
Versorgung der Erregerschleife 20 auf. Die
Spannungsversorgung 100 ist insbesondere als
Rechteckimpulsgeber ausgelegt, der Spannungspulse mit
einer Pulsdauer von etwa 0,5-5 µsec und einer
Signalfrequenz von etwa 5-50 kHz bereitstellt. Diese
an der Erregerschleife 20 anliegende Spannung wird
mittels des Ausgangssignals 115 eines
Proportional/Integral- (PI-)Reglers 110 so eingestellt,
dass die Referenzstromamplitude î3 (siehe Fig. 2)
während des Messvorgangs konstant ist.
Der dem Regler 110 zuzuführende IST-Wert ist die an der
Referenzschleife 40 gemessene Referenzstromamplitude
13, die auf einen vorgebbaren SOLL-Wert geregelt wird.
Der Referenzstrom wird zunächst über eine SampleSchaltung 140 bezüglich der bei dem Pulsbetrieb
auftretenden Stromspitzen ausgewertet. Das von der
Sample gelieferte Ausgangssignal, und
zwar ein Spannungswert, wird mittels einer
Verstärkerstufe 120 verstärkt und schließlich dem
Regler 110 zugeführt, wo er mit einer Referenzspannung
verglichen wird und so den Strom im Erreger neu regelt.
Der an der Messschleife 30 gemessene Messstromamplitude
12 wird ebenfalls zunächst mittels einer weiteren
Sample 150 ausgewertet, der sich
ergebende Spannungswert im Anschluss daran verstärkt
und liegt dann am Ausgang 160 als Messsignal vor.
Schließlich zeigt die Fig. 4 an einem erfindungsgemäßen
Wegmessaufnehmer gemessenen Fehlerverlauf, d. h. die
Differenz zwischen Soll- und Ist-Wert der in Fig. 3 am
Ausgang 160 anliegenden Messspannung über der
Messkopfverschiebung x.
Vorteilhafterweise sind sowohl der vorbeschriebene
induktive Wegaufnehmer als auch die vorbeschriebene
Schaltungsanordnung gleichzeitig auf einer einzigen
Leiterplatte angeordnet und bilden somit eine Einheit.
Claims (13)
1. Induktiver Wegmessaufnehmer mit einem
verschieblichen, magnetisch permeablen Messkopf
(10), mit wenigstens einer Messschleife (30),
deren geometrische Gestalt sich in Abhängigkeit
vom Verschiebungsweg des Messkopfes (10) ändert,
mit wenigstens einer Erregerschleife (20),
mittels der in dem Messkopf (10) ein magnetischer
Fluß (60) erzeugbar ist, der die Messschleife
(30) an jedem Punkt des Verschiebungsweges, im
Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (10),
durchsetzt und ein elektrisches Messsignal (î2)
induziert, und mit wenigstens einer
Referenzschleife (40), deren geometrische Gestalt
sich über den Verschiebungsweg nicht ändert und
die an jedem Punkt des Verschiebungsweges, im
Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (10), von
einem magnetischen Fluss (60) durchsetzt ist,
wobei die die Referenzschleife (40) durchsetzende
Amplitude des magnetischen Flusses konstant
gehalten ist.
2. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass eine in der Referenzschleife
(40) induzierte Referenzspannung oder eine durch
die induzierte Referenzspannung bedingte
Referenzstromamplitude (13) konstant gehalten
ist.
3. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, dass das Messsignal des
Wegmessaufnehmers (10) aus dem Quotienten von
Messspannungsamplitude bzw. Messstromamplitude
(î2) und Referenzspannungsamplitude bzw.
Referenzstromamplitude (î3) resultiert.
4. Wegmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der
magnetische Fluß (60) oder die induzierte
Referenzspannungs- bzw. der
Referenzstromamplitude (î3) mittels einer
Regelung, insbesondere einer PI-Regelung, auf
einen vorgebbaren Wert regelbar ist.
5. Wegmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die
Messschleife (30) und/oder die Referenzschleife
(40) niederohmig (70, 80) betrieben sind bzw.
betrieben ist.
6. Wegmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die
Erregerschleife (20) mit einer pulsförmigen
Erregerspannung/-strom beaufschlagt ist.
7. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, dass die Erregerschleife (20) mit
einer im bevorzugten Bereich von 0,5-5 µsec
gepulsten und im Bereich von bevorzugt 5-50 kHz
schwingenden Erregerspannung/-strom beaufschlagt
ist.
8. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, dass die Erregerschleife (20) mit
einer im Wesentlichen rechteckförmigen
Erregerspannung/-strom beaufschlagt ist.
9. Elektrische Schaltungsanordnung zum Betrieb eines
induktiven Wegmessaufnehmers nach Anspruch 1,
aufweisend eine Spannungs-/Stromversorgung (100)
für die Erregerschleife (20), gekennzeichnet
durch eine Regelstufe (110), wobei das
Ausgangssignal der Referenzschleife (40) der
Regelstufe (110) als Ist-Wert zugeführt wird, der
Ist-Wert mit einem vorgebbaren Soll-Wert
verglichen wird, und der Ausgang der Regelstufe
(110) mit dem Eingang der Spannungs-
/Stromversorgung (100) der Erregerschleife (20)
verbunden ist.
10. Schaltungsanordnung nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, dass die Regelstufe (110) als PI-
Regler ausgebildet ist.
11. Schaltungsanordnung nach Anspruch 9 oder 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die Messschleife
(30) und/oder die Referenzschleife (40) über eine
Impedanz (70, 80) von vorzugsweise 0,1-10 Ohm
geschlossen sind bzw. geschlossen ist.
12. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 9
bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die
Spannungs-/Stromversorgung (100) ein Pulssignal,
insbesondere ein Rechtecksignal, mit einer
Pulsdauer von bevorzugt 0,5-5 µsec und mit
einer Signalfrequenz von bevorzugt 5-50 kHz
bereitstellt.
13. Sensor, dadurch gekennzeichnet, dass auf einer
Leiterplatte gleichzeitig ein induktiver
Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 8 und
eine Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche
9 bis 12 angeordnet sind.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10120822A DE10120822C2 (de) | 2000-09-20 | 2001-04-27 | Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem Kennlinienverhalten |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10046835 | 2000-09-20 | ||
| DE10113456 | 2001-03-19 | ||
| DE10120822A DE10120822C2 (de) | 2000-09-20 | 2001-04-27 | Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem Kennlinienverhalten |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10120822A1 true DE10120822A1 (de) | 2002-04-04 |
| DE10120822C2 DE10120822C2 (de) | 2003-03-06 |
Family
ID=26007131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE10120822A Expired - Fee Related DE10120822C2 (de) | 2000-09-20 | 2001-04-27 | Induktiver Wegmessaufnehmer mit linearem Kennlinienverhalten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE10120822C2 (de) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10219678C1 (de) * | 2002-05-02 | 2003-06-26 | Balluff Gmbh | Induktiver Wegmessaufnehmer mit einen passiven Resonanzkreis aufweisendem Messkopf |
| WO2015168065A1 (en) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | Microsemi Corporation | Inductive displacement sensor |
| US10415952B2 (en) | 2016-10-28 | 2019-09-17 | Microsemi Corporation | Angular position sensor and associated method of use |
| US10837847B2 (en) | 2018-10-05 | 2020-11-17 | Microsemi Corporation | Angular rotation sensor |
| US10921155B2 (en) | 2018-02-02 | 2021-02-16 | Microsemi Corporation | Multi cycle dual redundant angular position sensing mechanism and associated method of use for precise angular displacement measurement |
| US11898887B2 (en) | 2021-03-25 | 2024-02-13 | Microchip Technology Incorporated | Sense coil for inductive rotational-position sensing, and related devices, systems, and methods |
| US12031817B2 (en) | 2021-08-05 | 2024-07-09 | Microchip Technology Incorporated | Inductive angular-position sensors, and related devices, systems, and methods |
| US12111188B2 (en) | 2021-06-11 | 2024-10-08 | Microchip Technology Incorporated | Sense coil for inductive linear-position sensing, and related devices, systems, and methods |
| US12203780B2 (en) | 2022-04-01 | 2025-01-21 | Microchip Technology Incorporated | Target for an inductive angular-position sensor |
| US12339139B2 (en) | 2021-09-28 | 2025-06-24 | Microchip Technology Incorporated | Angular-position sensor |
| US12411001B2 (en) | 2022-04-01 | 2025-09-09 | Microchip Technology Incorporated | Target for inductive angular-position sensing |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2617624C2 (de) * | 1976-04-22 | 1986-04-03 | Metrawatt GmbH, 8500 Nürnberg | Linearisierung für induktiven Stellungsgeber |
| US5055814A (en) * | 1988-05-19 | 1991-10-08 | Ohkura Electric Co., Ltd. | Displacement detector |
| FR2682760A1 (fr) * | 1991-10-22 | 1993-04-23 | Prototype Mecanique Ind | Capteurs de deplacements lineaires ou angulaires sans contact. |
| JP2965557B1 (ja) * | 1998-09-04 | 1999-10-18 | 新光電機株式会社 | 変位量検出器及び変位量計測装置 |
| DE10016540C1 (de) * | 2000-03-03 | 2001-07-19 | Balluff Gebhard Gmbh & Co | Induktiver Messaufnehmer und Verfahren zu seiner Kalibrierung |
-
2001
- 2001-04-27 DE DE10120822A patent/DE10120822C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10219678C1 (de) * | 2002-05-02 | 2003-06-26 | Balluff Gmbh | Induktiver Wegmessaufnehmer mit einen passiven Resonanzkreis aufweisendem Messkopf |
| WO2015168065A1 (en) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | Microsemi Corporation | Inductive displacement sensor |
| US9677913B2 (en) | 2014-04-28 | 2017-06-13 | Microsemi Corporation | Inductive displacement sensor |
| US10415952B2 (en) | 2016-10-28 | 2019-09-17 | Microsemi Corporation | Angular position sensor and associated method of use |
| US10921155B2 (en) | 2018-02-02 | 2021-02-16 | Microsemi Corporation | Multi cycle dual redundant angular position sensing mechanism and associated method of use for precise angular displacement measurement |
| US10837847B2 (en) | 2018-10-05 | 2020-11-17 | Microsemi Corporation | Angular rotation sensor |
| US11898887B2 (en) | 2021-03-25 | 2024-02-13 | Microchip Technology Incorporated | Sense coil for inductive rotational-position sensing, and related devices, systems, and methods |
| US12111188B2 (en) | 2021-06-11 | 2024-10-08 | Microchip Technology Incorporated | Sense coil for inductive linear-position sensing, and related devices, systems, and methods |
| US12031817B2 (en) | 2021-08-05 | 2024-07-09 | Microchip Technology Incorporated | Inductive angular-position sensors, and related devices, systems, and methods |
| US12339139B2 (en) | 2021-09-28 | 2025-06-24 | Microchip Technology Incorporated | Angular-position sensor |
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