DE10103398A1 - Vorrichtung, Strommesser und Kraftfahrzeug - Google Patents
Vorrichtung, Strommesser und KraftfahrzeugInfo
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005426 magnetic field effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
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Abstract
Es wird eine Vorrichtung, ein Strommesser und ein Kraftfahrzeug vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung zur Messung der elektrischen Stromstärke eines stromdurchflossenen Leiters (1) dient, wobei ein Sensormittel (5) vorgesehen ist, wobei das Sensormittel (5) mechanisch biegsam vorgesehen ist und wobei das Sensormittel (5) an der Oberfläche des Leiters (1) entsprechend der Oberfläche des Leiters (1) gebogen ist.
Description
Die Messung von Strömen über Magnetfeldsensoren und
Magnetfelder im Kraftfahrzeug, insbesondere in einer
Umgebung, in der hohe elektromagnetische Störfelder
auftreten, wie z. B. innerhalb elektrischer Antriebe, Motoren
und Generatoren, stellt besondere Herausforderungen an die
Anordnung von magnetischen Sensorelementen dar. Als weitere
Herausforderung ist die Beherrschung der
Frequenzabhängigkeit der Magnetfelder zu nennen,
insbesondere der Skin-Effekt, der eine weitere konstruktive
Einschränkung der Sensoranordnung bedeutet und einen
bedeutenden Aufwand in Bezug auf die Positionierung der
Sensorelemente erfordert.
Bisher bekannt ist hinsichtlich der Messung von Stromstärken
die Benutzung von Magnetfeldkonzentratoren, z. B. Ringkernen,
um den Einfluß der magnetischen Stör- bzw. Streufelder zu
eliminieren. Nachteil dieser Technik ist ein erhöhter
Aufwand für die Konstruktion sowie ein erhöhter
Materialaufwand, was zu Platzproblemen und relativ hohen
Kosten führt. Weiterhin kann eine Beschränkung des
Frequenzbereichs z. B. für die Strommessung resultieren, da
die magnetischen Materialien oberhalb charakteristischer
Frequenzen ein Sättigungsverhalten aufweisen. Außerdem muß
die Hysterese dieser Materialien in der Auswertung der
Signale berücksichtigt werden, um den dadurch verursachten
Fehler zu kompensieren. Dies erfordert eine umfangreichere
Signalauswertung. Ein weiteres Problem ist die mechanische
Halterung der Sensormittel bzw. Sensoren derart, dass der
Abstand zum z. B. stromführenden Leiter möglichst exakt
eingehalten wird. Dies erfordert beispielsweise
Vorrichtungen zur Mikropräzisionsmontage und Ähnliches.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung, der erfindungsgemäße
Strommesser und das erfindungsgemäße Kraftfahrzeug mit den
Merkmalen der nebengeordneten Ansprüche haben demgegenüber
den Vorteil, dass die Messung von Strömen über Magnetfelder
bzw. die Messung von Magnetfeldern durch die Vereinfachung
von Montageverfahren und unabhängig von frequenzabhängigen
Effekten, wie beispielsweise dem Skin-Effekt, realsierbar
ist. Weiterhin können erfindungsgemäß Montagetechniken
eingesetzt werden, die eine Unabhängigkeit von magnetischen
Störfeldern aus der Umgebung gewährleisten, ohne teuere
zusätzliche Komponenten wie Magnetfeldkonzentratoren zu
verwenden.
Weiterhin ist es von Vorteil, dass der Leiter zumindest im
Bereich des Sensormittels eine zylindrische Form aufweist.
Dadurch wird weiterhin die Frequenzabhängigkeit verringert,
weil es nicht zur Ausbildung von frequenzabhängigen
Magnetfeldern um den Leiter herum kommt.
Weiterhin ist von Vorteil, dass das Sensormittel auf ein
flexibles Substrat aufgebracht ist. Dadurch ist es möglich,
eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit hinsichtlich
des Abstands des Sensormittels vom stromdurchflossenen
Leiter zu gewährleisten.
Weiterhin ist von Vorteil, dass das Sensormittel den Leiter
entlang eines Umfangs entschließt. Dadurch ist es möglich,
dass der Sensor einen geschlossenen magnetischen Kreis
darstellt. Hierdurch haben Störfelder keinen wesentlichen
Einfluß mehr auf das Meßergebnis. Es können damit
aufwendigere Maßnahmen wie beispielsweise
Magnetfeldkonzentratoren oder Abschirmmaßnahmen entfallen,
was Kostenvorteile und Platzvorteile bzw. Größenvorteile mit
sich bringt.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung
dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher
erläutert. Es zeigen
Fig. 1 ein erfindungsgemäßer Leiter mit einem Sensormittel
in einer ersten Ausführungsform und
Fig. 2 ein erfindungsgemäßer Leiter mit einem Sensormittel
in einer zweiten Ausführungsform.
In Fig. 1 ist ein Leiter 1 mit einem Sensormittel 5
dargestellt. Der Leiter 1 hat zumindest im Bereich des
Sensormittels 5 eine zylindrische Form. Das Sensormittel 5
ist als Strom- bzw. Magnetfeldsensor-Chip vorgesehen. Das
Sensormittel 5 ist als flexibler Sensorchip, wie
beispielsweise ein Hall-Plättchen, ein lateraler
Magnetotransistor ausgeführt als ein sehr dünn geschliffener
Wafer bzw. Chip, oder Ähnliches. Das Sensormittel 5 ist auf
den zylindrischen Leiter 1 aufgebracht. Die Montage kann
beispielsweise durch Kleben oder Löten oder ähnliches
erfolgen. Die Lotdicke bzw. die Klebstoffdicke fungiert
dabei insbesondere als Abstandshalter des Sensormittels 5
von dem Leiter 1.
In Fig. 2 ist eine zweite Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Leiters 1 und des Sensormittels 5
dargestellt. Der Leiter 1 hat wiederum zylindrische Gestalt.
Auf die Leiteroberfläche ist ein flexibles Substrat 10
aufgebracht. Auf das flexible Substrat 10 ist weiterhin eine
magnetoresistive Schicht als Sensormittel 5 aufgebracht.
Hierbei kommen als magnetoresistive Schichten 5 bzw. als
Sensormittel 5 insbesondere AMR- oder GMR-Schichten (die
eine "Anisotropic magneto resistance" bzw. eine "Giant
magnetic resistance" aufweisen) oder ähnliche Schichten in
Frage. Bei der Verwendung solcher magnetoresistiver
Schichten, die auf ein flexibles Substrat 10 aufgebracht
werden, kann bei entsprechender Auslegung des Substrats 10
zugleich ein Sensor 5 bzw. Sensormittel 5 realisiert werden,
der bzw. die den gesamten Leiter 1 umschließt. Damit stellt
das Sensormittel 5 einen geschlossenen magnetischen Kreis
dar. Dadurch können Störfelder keinen wesentlichen Einfluß
mehr auf das Meßergebnis des Sensormittels 5 haben.
Ein weiterer Lösungsansatz ist das direkte Aufbringen des
Sensormittels 5 auf den stromführenden Leiter 1 bzw. auf die
den Leiter 1 umgebende Isolation, die in der Zeichnung nicht
näher dargestellt ist.
Durch die Wahl von geeigneten Leitergeometrien, wie z. B.
eine zylindrische Leitergeometrie, ist eine Unabhängigkeit
von frequenzabhängigen Effekten, wie beispielsweise dem
Skin-Effekt gegeben, ohne dass dazu eine anspruchsvolle
Montage der Sensormittel benötigt würde. Dadurch wird eine
Frequenzunabhängigkeit des Meßverfahrens mit einfachen
Mitteln erreicht.
Durch den geringen Platzbedarf einer solchermaßen
vorgesehenen Vorrichtung zur Messung der elektrischen
Stromstärke ist weiterhin eine leichte und einfache
Anpassung des Sensors bzw. der Sensormittel an vorgegebene
Geometrien möglich. Hierdurch ist ein minimaler Bauraum des
Sensormittels möglich.
Weiterhin ist erfindungsgemäß vorgesehen, auf dem flexiblen
Substrat 10 eine Auswerteschaltung 6 vorzusehen. Die
Auswerteschaltung 6 ist auch nach der Ausführungsform gemäß
der Fig. 1 vorgesehen, dort jedoch der Einfachheit halber
nicht dargestellt. Es ist insbesondere erfindungsgemäß
vorgesehen, eine solche Auswerteschaltung 6 bzw. einen
solchen ASIC auf dem flexiblen Chip, der auch die
Sensormittel 5 umfasst, vorzusehen.
In der ersten Ausführungsform gemäß der Fig. 1 ist
erfindungsgemäß das Sensormittel 5 als Chip auf dem
zylindrischen Leiter 1 vorgesehen. Der Chip 5 bzw. die
Sensormittel 5 ist erfindungsgemäß auf einen gedünnten Wafer
gesägt, dessen Dicke so niedrig ist, dass der Chip gebogen
werden kann, beispielsweise deutlich kleiner als 150 µm,
abhängig von der Chipgröße. Auf dem zylindrischen Leiter 1
bzw. auf der Rückseite des Sensormittels 5 wird entweder Lot
oder Klebstoff aufgetragen und der Chip 5 wird im Anschluß
daran auf den Leiter 1 aufgebracht. Um eine Dejustage des
Chips 5 zu vermeiden, wird auf den Leiter 1 vor dem
Fügevorgang eine Justagehilfe, z. B. in Form einer Prägung,
mit Hilfe einer mechanischen Maske oder der Aufbringung von
Lötstoplack aufgebracht. Der Leiter wird zusammen mit dem
gefügten Chip und dem Lot bzw. dem Klebstoff z. B. thermisch
ausgeheizt, um die Verbindung zu festigen. Es können
erfindungsgemäß insbesondere auch mehrere Sensorchips
montiert werden. Erfindungsgemäß ist insbesondere eine
symmetrische Anordnung mehrerer solcher Sensorchips 5
vorgesehen.
Bei der zweiten Ausführungsform gemäß der Fig. 2 ist eine
magnetoresistive Sensorschicht als Sensormittel 5
vorgesehen. Die magnetoresistive Sensorschicht 5 ist auf ein
flexibles Substrat 10 aufgebracht und umschließt den
gesamten zylindrischen Leiter, so dass ein geschlossener
Magnetkreis vorliegt. Das flexible Substrat 10 kann vor der
Endmontage in die entsprechende Form gebracht werden, worauf
dann die magnetoresistive Schicht 5 beispielsweise durch
Sputtern, aufgebracht wird. Ebenso kann es erfindungsgemäß
vorgesehen sein, die magnetoresistive Schicht auf dem
flexiblen Substrat 10 aufzubringen, wobei das Substrat 10
zunächst noch planar vorgesehen ist und im Anschluß daran
das Substrat 10 mitsamt der magnetoresistiven Schicht 5 in
die gewünschte Form zu bringen. In diesem Fall muß die
Verbindung der beiden Endstücke in geeigneter Form erfolgen,
so dass ein geschlossener Magnetkreis entsteht.
Die Ausführung der magnetoresistiven Schicht 5 kann in der
geometrischen Form jede beliebige geeignete Gestalt
annehmen. Das flexible Substrat 10 wird auf den Leiter 1
beispielsweise geschoben und darauf fixiert, beispielsweise
durch Kleben oder durch andere Art auf dem Leiter 1
positioniert.
Ebenso kann die magnetfeldempfindliche Schicht 5 direkt auf
den Leiter aufgebracht werden bzw. gegebenenfalls auf dessen
Isolation.
Die Auswertung des Meßsignals erfolgt erfindungsgemäß in
beiden Ausführungsformen beispielsweise durch einen zweiten
flexiblen ASIC bzw. eine flexible Auswerteschaltung, die
entweder direkt auf den Leiter oder auf das flexible
Substrat 10 bzw. die Isolation des Leiters montiert wird.
Ebenso ist es denkbar, dass der ASIC bzw. die
Auswerteschaltung in Stapeltechnik z. B. auf den Sensorchip 5
aufgebracht wird oder umgekehrt.
Die Messung von Strömen über deren Magnetfeldeffekt ist
insbesondere im Automobilbereich notwendig und kritisch,
weil hier mit besonders starken Störfeldern zu rechnen ist.
Ein erfindungsgemäßes Kraftfahrzeug mit einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. einem erfindungsgemäßen
Stromsensor, hat daher die Vorteile der geringeren
Einbaugröße eines Stromsensors bzw. einer Vorrichtung zur
Messung der elektrischen Stromstärke.
Claims (8)
1. Vorrichtung zur Messung der elektrischen Stromstärke
eines stromdurchflossenen Leiters (1) mit einem Sensormittel
(5), wobei das Sensormittel (5) mechanisch biegsam
vorgesehen ist, wobei das Sensormittel an der Oberfläche des
Leiters (1), entsprechend der Oberfläche des Leiters (1)
gebogen, befestigt ist.
2. Vorrichtung zur Messung der elektrischen Stromstärke
eines stromdurchflossenen Leiters (1) mit einem Sensormittel
(5), wobei das Sensormittel (5) als Schicht an einem
Teilbereich der Oberfläche des Leiters (1) angebracht ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Leiter (1) zumindest im
Bereich des Sensormittels eine zylindrische Form aufweist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das Sensormittel (5) auf ein
flexibles Substrat aufgebracht ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, dass das Sensormittel (5) als
magnetoresistive Schicht vorgesehen ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass
das Sensormittel (5) den Leiter (1) entlang eines Umfangs
umschließt.
7. Strommesser mit einer Vorrichtung nach einem der
vorhergehenden Ansprüche.
8. Kraftfahrzeug mit einer Vorrichtung oder einem
Strommesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2001103398 DE10103398A1 (de) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Vorrichtung, Strommesser und Kraftfahrzeug |
| EP02701222A EP1358491A2 (de) | 2001-01-26 | 2002-01-24 | Vorrichtung, strommesser und kraftfahrzeug |
| PCT/DE2002/000232 WO2002059629A2 (de) | 2001-01-26 | 2002-01-24 | Vorrichtung, strommesser und kraftfahrzeug |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2001103398 DE10103398A1 (de) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Vorrichtung, Strommesser und Kraftfahrzeug |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10103398A1 true DE10103398A1 (de) | 2002-08-14 |
Family
ID=7671763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2001103398 Ceased DE10103398A1 (de) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | Vorrichtung, Strommesser und Kraftfahrzeug |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1358491A2 (de) |
| DE (1) | DE10103398A1 (de) |
| WO (1) | WO2002059629A2 (de) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1358491A2 (de) | 2003-11-05 |
| WO2002059629A2 (de) | 2002-08-01 |
| WO2002059629A3 (de) | 2003-03-13 |
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