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DE10103389C1 - Optical device and method for laser machining a workpiece - Google Patents

Optical device and method for laser machining a workpiece

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DE10103389C1
DE10103389C1 DE10103389A DE10103389A DE10103389C1 DE 10103389 C1 DE10103389 C1 DE 10103389C1 DE 10103389 A DE10103389 A DE 10103389A DE 10103389 A DE10103389 A DE 10103389A DE 10103389 C1 DE10103389 C1 DE 10103389C1
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DE
Germany
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optical axis
electromagnetic radiation
parallel
wedge
optical device
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Gert Callies
Thomas Wawra
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung, insbesondere zur Verwendung beim Laserbohren, mit einer optischen Achse (A). DOLLAR A Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung aufweist: DOLLAR A - erste und zweite Mittel (1, 7, 8), die ein paralleles Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung parallel zu seiner Ausbreitungsrichtung und parallel zur optischen Achse (A) um einen bestimmten Abstand versetzen, DOLLAR A - dritte Mittel (9), die das parallel zu seiner Ausbreitungsrichtung versetzte Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung um einen dritten Winkel bezogen auf die optische Achse (A) ablenken, und DOLLAR A - eine erste Linse (10), durch die das abgelenkte Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung fällt. DOLLAR A Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks.The invention relates to an optical device, in particular for use in laser drilling, with an optical axis (A). DOLLAR A According to the invention it is provided that the device has: DOLLAR A - first and second means (1, 7, 8), which offset a parallel beam of electromagnetic radiation parallel to its direction of propagation and parallel to the optical axis (A) by a certain distance, DOLLAR A - third means (9) which deflect the bundle of electromagnetic radiation which is offset parallel to its direction of propagation by a third angle with respect to the optical axis (A), and DOLLAR A - a first lens (10) through which the deflected bundle of rays is electromagnetic Radiation falls. DOLLAR A Furthermore, the invention relates to a method for laser machining a workpiece.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung, insbeson­ dere zur Verwendung beim Laserbohren, mit einer optischen Achse. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks, insbesondere zur Erzeugung zylindrischer oder negativ konischer Bohrungen, bei dem ein Laser ein Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung in Richtung der optischen Achse einer optischen Vorrichtung aussendet. Eine derartige Vorrichtung beziehungsweise Verfahren nach dem Oberbegriff der beiden unabhängigen Ansprüche ist bereits aus der DE 197 41 029 A1 bekannt. Bei der bekannten Vorrichtung wird zum Ablenken der Laserstrahlung aus seiner ursprünglichen Richtung zum Erzeugen einer zur ursprünglichen optischen Achse parallelen Laserstrahlung eine Einrichtung verwendet, die aus einem Versetzer und einem Verkipper besteht.The invention relates to an optical device, in particular for use in laser drilling, with an optical Axis. The invention further relates to a method for Laser processing of a workpiece, especially for Creation of cylindrical or negatively conical bores, where a laser emits a beam of electromagnetic Radiation in the direction of the optical axis of an optical Sends out device. Such a device or method according to the generic term of the two independent claims is already from DE 197 41 029 A1 known. In the known device for deflecting the Laser radiation from its original direction to Generate a parallel to the original optical axis Laser radiation uses a device that consists of a There is a translator and a tipper.

Aufgabe der Erfindung ist es, für diesen Zweck eine alternative Anordnung auszubilden, welche vom Aufbau möglichst einfach und effektiv gestaltet sein soll. Diese Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.Object of the invention is an alternative arrangement for this purpose to train, which is as simple and easy as possible should be designed effectively. This task is accomplished with the characterizing features of claim 1 solved.

Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindergemäßen optischen Vorrichtung, insbesondere zur Verwendung beim Laserbohren, mit einer optischen Achse, sowie des erfindergemäßen Verfah­ rens zur Laserbearbeitung eines Werkstücks sind in den Unteransprüche angegeben.Advantageous developments of the optical according to the invention Device, in particular for use in laser drilling, with an optical axis, and the inventive method rens for laser machining a workpiece are in the Subclaims specified.

Zeichnungendrawings

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der zugehörigen Zeichnungen noch näher erläutert.The invention is described below with reference to the associated Drawings explained in more detail.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemä­ ßen optischen Vorrichtung, die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet ist, Fig. 1 a first embodiment of the inventive SEN optical device which is suitable for performing the method according to the invention,

Fig. 2 eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemä­ ßen optischen Vorrichtung, die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet ist, Fig. 2 shows a second embodiment of the inventive SEN optical device which is suitable for performing the method according to the invention,

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Die Erfindung geht allgemein von den drei folgenden an sich bekannten physikalischen Gegebenheiten aus:
The invention is generally based on the following three known physical conditions:

  • 1. Wird eine Linse, die eine bestimmte Brennweite auf­ weist, von einem parallelen Strahlenbündel elektro­ magnetischer Strahlung in der optischen Achse getrof­ fen, so liegt der Fokus in dem Brennpunkt der Linse.1. Being a lens that has a certain focal length points electro from a parallel beam magnetic radiation hit in the optical axis the focus is on the focal point of the lens.
  • 2. Wird die Linsenmitte von einem schrägen, parallelen Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung getrof­ fen, liegt der Fokus entweder oberhalb oder unterhalb des Brennpunktes der Linse. Bei einer kegelförmigen Rotation des parallelen Strahlenbündels elektromagne­ tischer Strahlung um die optische Achse beschreibt der Fokus somit einen Kreis.2. If the center of the lens is inclined, parallel Beams of electromagnetic radiation hit the focus is either above or below the focal point of the lens. With a conical Rotation of the parallel electromagnetic beam describes radiation around the optical axis the focus is therefore a circle.
  • 3. Wird eine Linse von einem parallelen Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung, das parallel zur opti­ schen Achse versetzt ist, getroffen, so liegt der Fo­ kus im Brennpunkt. Dabei bildet der fokussierte Strahl jedoch einen Winkel gegenüber dem Fokus der unter 1. beschrieben wurde. Bei einer Rotation des parallelen Strahlenbündels um die optische Achse be­ schreibt der Strahl nach der Linsen einen Kegel.3. Becomes a lens from a parallel beam electromagnetic radiation that runs parallel to the opti axis is hit, the Fo lies kus in focus. The focused one  However, beam an angle from the focus of the was described under 1. With a rotation of the parallel beam about the optical axis be the ray writes a cone after the lenses.

Durch die Kombination von 2. und 3. erhält man eine optische Vorrichtung, mit der sowohl der Durchmesser der Bohrung als auch die Geometrie der Boh­ rung gezielt und unabhängig voneinander eingestellt wer­ den können. Bei der bevorzugten Ausführungsform der er­ findungsgemäßen optischen Vorrichtung werden nur zwei Drehmotoren und ein Linearmotor benötigt. Weiterhin er­ möglicht die erfindungsgemäße optischen Vorrichtung eine einfache optische Justage der Vorrichtung. Darüber hinaus werden bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungs­ gemäßen optischen Vorrichtung eine optische Beugung an den einzelnen Komponenten vermieden, die eine Veränderung der Strahlqualität verursachen würde.By combining 2nd and 3rd you get an optical device with which both the Diameter of the hole as well as the geometry of the Boh who are targeted and independent of each other that can. In the preferred embodiment of the he optical device according to the invention are only two Rotary motors and a linear motor are required. He continues the optical device according to the invention enables a easy optical adjustment of the device. Furthermore are in preferred embodiments of the Invention optical diffraction according to the optical device the individual components avoided making a change that would cause beam quality.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung, wobei die optische Achse mit A be­ zeichnet ist. Diese optische Vorrichtung ist beispiels­ weise dazu vorgesehen, dass ein Laserstrahl, bezogen auf die Darstellung von Fig. 1 von links, entlang der opti­ schen Achse A einfällt. Erste Mittel 1 und zweite Mittel 7 sind dazu vorgesehen, ein paralleles Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung, beispielsweise den Laser­ strahl, parallel zu seiner Ausbreitungsrichtung und pa­ rallel zur optischen Achse A um einen bestimmten Abstand zu versetzten. Im dargestellten Fall sind die ersten Mittel durch einen ersten Keil 1 gebildet, der einen relativ großen Keilwinkel von beispielsweise 5° aufweist. Durch den ersten Keil 1 wird das parallele Strahlenbündel um einen ersten Winkel bezogen auf die optische Achse A abgelenkt, bevor es auf die zweiten Mittel trifft. Bei der Darstellung gemäß Fig. 1 sind die zweiten Mittel durch einen Kegel gebildet, dessen optische Eigenschaften in dem Fachmann bekannter Weise derart gewählt sind, dass das parallele Strahlenbündel beziehungsweise der Laser­ strahl wieder parallel zur optischen Achse ausgerichtet werden. Nach dem der Laserstrahl den Kegel 7 passiert hat, ist er daher um einen bestimmten Abstand parallel zur optischen Achse A versetzt. Dieser Abstand hängt von dem Abstand zwischen dem ersten Keil 1 und dem Kegel 7 ab. Der Kegel 7 ist daher entlang der optischen Achse A um einen Abstand X verschiebbar, wie dies in der Figur durch den entsprechenden Pfeil angedeutet ist. Je größer der Abstand zwischen dem ersten Keil 1 und dem Kegel 7 ist, desto weiter wird der Laserstrahl von der optischen Achse A weg versetzt. Dieser parallel zur optischen Achse A versetzte Laserstrahl fällt dann auf dritte Mittel in Form eines zweiten Keils 9 ein. Die dritten Mittel sind dazu vorgesehen, dass parallel zu seiner Ausbreitungs­ richtung versetzte Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung, beziehungsweise den Laserstrahl, um einen dritten Winkel bezogen auf die optische Achse A abzulen­ ken. Anschließend wird der um den dritten Winkel abge­ lenkte Laserstrahl durch eine Linse 10 geführt, der bei­ spielsweise ein nicht dargestelltes zu bearbeitendes Werkstück folgen kann. Der erste Keil 1 und der zweite Keil 9 sind durch nicht dargestellte Schrittmotoren um die optische Achse A drehbar. Wenn der erste Keil 1 und der zweite Keil 9 mit der gleichen Winkelgeschwindigkeit um die optische Achse A rotieren, ergibt sich hinter der Linse 10 ein kegelförmiger Verlauf der Laserstrahlung, der beispielsweise eine negativ konische Bohrung erzeugen kann. Dabei legt der Abstand zwischen dem ersten Keil 1 und dem Kegel 7 den Abstand fest, um den der Laserstrahl parallel zur optischen Achse A versetzt wird, und damit die Bohrgeometrie. Der zweite Keil 9, der einen kleinen Keilwinkel von beispielsweise 0,5° aufweist, ergibt eine geringfügige Auslenkung des Laserstrahls, die den Radius der Bohrung festlegt. Die dargestellte Vorrichtung hat den Vorteil, dass nur zwei Drehmotoren und ein Linearmo­ tor erforderlich sind. Die zwei Drehmotoren dienen dazu, den ersten Keil 1 und den zweiten Keil 9 um die optische Achse A zu drehen. Sofern der erste Keil 1 und der zweite Keil 9 immer mit der gleichen Winkelgeschwindigkeit um die optische Achse A gedreht werden sollen, kann zu die­ sem Zweck gegebenenfalls auch nur ein gemeinsamer Drehmo­ tor vorgesehen sein. Allerdings ermöglicht es das Vorse­ hen von zwei getrennten Motoren beispielsweise, dass der Drehbewegung des zweiten Keils 9 eine beispielsweise sinusförmige Drehbewegung überlagert wird, was dazu führt, dass beispielsweise ovale Schnittgeometrien erzeugt werden können. Der nicht dargestellte Linearmotor dient dazu, die zweiten Mittel unabhängig von ihrer speziellen Ausgestaltung entlang der optischen Achse A zu verschie­ ben. Fig. 1 shows a first embodiment of the device according to the Invention, wherein the optical axis is marked with A be. This optical device is provided, for example, that a laser beam, based on the illustration of FIG. 1 from the left, is incident along the optical axis A. First means 1 and second means 7 are provided to offset a parallel beam of electromagnetic radiation, for example the laser beam, parallel to its direction of propagation and parallel to the optical axis A by a certain distance. In the case shown, the first means are formed by a first wedge 1 , which has a relatively large wedge angle of, for example, 5 °. The first wedge 1 deflects the parallel beam by a first angle with respect to the optical axis A before it strikes the second means. In the illustration according to FIG. 1, the second means are formed by a cone whose optical properties are chosen in known manner to the skilled person such that the parallel beam or the laser beam is again aligned parallel to the optical axis. After the laser beam has passed the cone 7 , it is therefore offset by a certain distance parallel to the optical axis A. This distance depends on the distance between the first wedge 1 and the cone 7 . The cone 7 can therefore be displaced along the optical axis A by a distance X, as is indicated in the figure by the corresponding arrow. The greater the distance between the first wedge 1 and the cone 7 , the further the laser beam is displaced away from the optical axis A. This laser beam, which is offset parallel to the optical axis A, then falls on third means in the form of a second wedge 9 . The third means are intended to deflect bundles of electromagnetic radiation, or the laser beam, parallel to its direction of propagation, in order to deflect a third angle with respect to the optical axis A. Subsequently, the laser beam deflected by the third angle is guided through a lens 10 , which, for example, can be followed by a workpiece, not shown, to be machined. The first wedge 1 and the second wedge 9 can be rotated about the optical axis A by stepper motors, not shown. If the first wedge 1 and the second wedge 9 rotate at the same angular velocity about the optical axis A, there is a conical course of the laser radiation behind the lens 10 , which can produce a negatively conical bore, for example. The distance between the first wedge 1 and the cone 7 defines the distance by which the laser beam is offset parallel to the optical axis A, and thus the drilling geometry. The second wedge 9 , which has a small wedge angle of, for example, 0.5 °, results in a slight deflection of the laser beam, which defines the radius of the bore. The device shown has the advantage that only two rotary motors and a linear motor are required. The two rotary motors serve to rotate the first wedge 1 and the second wedge 9 about the optical axis A. If the first wedge 1 and the second wedge 9 are always to be rotated at the same angular velocity about the optical axis A, only a common torque may be provided for this purpose. However, the provision of two separate motors makes it possible, for example, for the rotary movement of the second wedge 9 to be overlaid with, for example, a sinusoidal rotary movement, with the result that, for example, oval cutting geometries can be generated. The linear motor, not shown, is used to move the second means along the optical axis A regardless of their specific configuration.

Die zweite Ausführungsform gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform nur durch die Ausges­ taltung der zweiten Mittel. Bei der Darstellung gemäß Fig. 2 sind die zweiten Mittel durch ein Axikon 8 gebil­ det, das ebenfalls dazu vorgesehen ist, das von dem ersten Keil 1 abgelenkte Strahlenbündel wieder parallel zur optischen Achse A auszurichten.The second embodiment according to FIG. 2 differs from the first embodiment only in the configuration of the second means. In the illustration according to FIG. 2, the second means are formed by an axicon 8 , which is also provided to align the beam deflected by the first wedge 1 again parallel to the optical axis A.

Claims (18)

1. Optische Vorrichtung, insbesondere zur Verwendung beim Laserbohren, mit einer optischen Achse (A), wobei die Vorrichtung
erste und zweite Mittel (1, 7, 8), die ein paralle­ les Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung parallel zu seiner Ausbreitungsrichtung und parallel zur optischen Achse (A) um einen bestimmten Abstand versetzen,
dritte Mittel (9), die das parallel zu seiner Aus­ breitungsrichtung versetzte Strahlenbündel elektro­ magnetischer Strahlung um einen dritten Winkel bezogen auf die optische Achse (A) ablenken, und
eine erste Linse (10), durch die das abgelenkte Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung fällt aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Mittel durch einen Kegel (7) oder ein Axikon (8) gebildet sind.
1. Optical device, in particular for use in laser drilling, with an optical axis (A), the device
first and second means ( 1 , 7 , 8 ) which offset a parallel beam of electromagnetic radiation parallel to its direction of propagation and parallel to the optical axis (A) by a certain distance,
third means ( 9 ) which deflect the bundle of rays of electromagnetic radiation offset parallel to its direction of propagation by a third angle with respect to the optical axis (A), and
a first lens ( 10 ) through which the deflected beam of electromagnetic radiation falls,
characterized in that the second means are formed by a cone ( 7 ) or an axicon ( 8 ).
2. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die ersten und zweiten Mittel (1, 7, 8) erste Mittel (1), die das parallele Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung um einen ersten Winkel, bezogen auf die optische Achse ablenken, und zweite Mittel (7, 8) umfassen, die das von den ersten Mitteln (1) abgelenkte Strahlenbündel elektromagnetischer Strahlung parallel zur optischen Achse (A) ausrichten. 2. Optical device according to claim 1, characterized in that the first and second means ( 1 , 7 , 8 ) first means ( 1 ), which deflect the parallel beam of electromagnetic radiation by a first angle with respect to the optical axis, and comprise second means ( 7 , 8 ) which align the beam of electromagnetic radiation deflected by the first means ( 1 ) parallel to the optical axis (A). 3. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die zweiten Mittel (7, 8) entlang der optischen Achse (A) bewegbar sind.3. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that at least the second means ( 7 , 8 ) along the optical axis (A) are movable. 4. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel (1) und/oder die dritten Mittel (9) um die optische Achse (A) drehbar sind.4. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the first means ( 1 ) and / or the third means ( 9 ) are rotatable about the optical axis (A). 5. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel (1) und dritten Mittel (9) mit der gleichen Winkelgeschwindigkeit um die optische Achse (A) drehbar sind.5. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the first means ( 1 ) and third means ( 9 ) are rotatable about the optical axis (A) at the same angular velocity. 6. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass den dritten Mitteln (9) bezogen auf die Drehbewegung der ersten Mittel (1) eine oszillierende Drehbewegung überlagert wird.6. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that an oscillating rotary movement is superimposed on the third means ( 9 ) based on the rotary movement of the first means ( 1 ). 7. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel durch einen ersten Keil (1) gebildet sind.7. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the first means are formed by a first wedge ( 1 ). 8. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Keil (1) einen Keilwinkel im Bereich von 2° bis 8° aufweist. 8. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the first wedge ( 1 ) has a wedge angle in the range of 2 ° to 8 °. 9. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die dritten Mittel durch einen zweiten Keil (9) gebildet sind.9. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the third means are formed by a second wedge ( 9 ). 10. Optische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Keil (9) einen Keilwinkel im Bereich von 0,2° bis 0,8° aufweist.10. Optical device according to one of the preceding claims, characterized in that the second wedge ( 9 ) has a wedge angle in the range from 0.2 ° to 0.8 °. 11. Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks insbe­ sondere zur Erzeugung zylindrischer oder negativ konischer Bohrungen, bei dem ein Laser ein Strahlenbün­ del elektromagnetischer Strahlung in Richtung der opti­ schen Achse (A) einer optischen Vorrichtung aussendet, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
  • a) Versetzen eines durch den Laser erzeugten Strahlen­ bündels elektromagnetischer Strahlung parallel zur optischen Achse (A),
  • b) Ablenken des Strahlenbündels elektromagnetischer Strahlung, um einen dritten Winkel bezogen auf die optische Achse (A),
  • c) Vorsehen einer ersten Linse (10), auf die das um den dritten Winkel abgelenkte Strahlenbündel elektromag­ netischer Strahlung einfällt, und
  • d) Bearbeiten des Werkstücks mit der durch die erste Linse (10) fallenden elektromagnetischer Strahlung,
dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Mittel durch einen Kegel (7) oder ein Axikon (8) gebildet sind.
11. A method for laser machining a workpiece, in particular for producing cylindrical or negatively conical bores, in which a laser emits a beam of electromagnetic radiation in the direction of the optical axis (A) of an optical device, the method comprising the following steps:
  • a) displacement of a beam of electromagnetic radiation generated by the laser parallel to the optical axis (A),
  • b) deflecting the beam of electromagnetic radiation by a third angle with respect to the optical axis (A),
  • c) providing a first lens ( 10 ) onto which the beam of electromagnetic radiation deflected by the third angle is incident, and
  • d) machining the workpiece with the electromagnetic radiation falling through the first lens ( 10 ),
characterized in that the second means are formed by a cone ( 7 ) or an axicon ( 8 ).
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Versetzen des durch den Laser erzeugten Strahlenbündels elektromagnetischer Strahlung parallel zur optischen Achse (A) gemäß Schritt a) die folgenden Teilschritte umfasst:
  • 1. Ablenken eines durch den Laser erzeugten, sich in Richtung der optischen Achse (A) ausbreitenden Lichtbündels elektromagnetischer Strahlung mit ersten Mitteln (1), um einen ersten Winkel bezogen auf die optische Achse (A), und
  • 2. Ausrichten des um den ersten Winkel abgelenkten Lichtbündels elektromagnetischer Strahlung parallel zur optischen Achse (A), mit zweiten Mitteln (7, 8).
12. The method according to claim 11, characterized in that the displacement of the beam of electromagnetic radiation generated by the laser parallel to the optical axis (A) according to step a) comprises the following substeps:
  • 1. Deflecting a light beam of electromagnetic radiation generated by the laser and propagating in the direction of the optical axis (A) by first means ( 1 ) by a first angle with respect to the optical axis (A), and
  • 2. Aligning the light beam of electromagnetic radiation deflected by the first angle parallel to the optical axis (A), using second means ( 7 , 8 ).
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel durch einen ersten Keil (1) gebildet sind.13. The method according to any one of claims 11 or 12, characterized in that the first means are formed by a first wedge ( 1 ). 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Keil (1) einen Keilwin­ kel im Bereich von 2° bis 8° aufweist. 14. The method according to any one of claims 11 to 13, characterized in that the first wedge ( 1 ) has a Keilwin angle in the range of 2 ° to 8 °. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das durch den Laser erzeugte Strahlenbündel elektromagnetische Strahlung parallel zur optischen Achse (A) um einen Abstand versetzt wird, der durch eine Verschiebung der zweiten Mittel entlang der optischen Achse (A) eingestellt wird.15. The method according to any one of claims 11 to 14, characterized characterized that that generated by the laser Beams of electromagnetic radiation in parallel is offset by a distance from the optical axis (A), by moving the second means along the optical axis (A) is set. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel (1) und/oder die dritten Mittel (9) um die optische Achse (A) in Drehung versetzt werden.16. The method according to any one of claims 11 to 15, characterized in that the first means ( 1 ) and / or the third means ( 9 ) are set in rotation about the optical axis (A). 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Mittel (1) und die dritten Mittel (9) mit der gleichen Winkelgeschwindig­ keit um die optische Achse (A) in Drehung versetzt werden.17. The method according to any one of claims 11 to 16, characterized in that the first means ( 1 ) and the third means ( 9 ) are set in rotation at the same angular velocity about the optical axis (A). 18. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass den dritten Mitteln (9) bezogen auf die Drehbewegung der ersten Mittel (1) eine oszil­ lierende Drehbewegung überlagert wird.18. The method according to any one of claims 11 to 17, characterized in that an oscillating rotary movement is superimposed on the third means ( 9 ) based on the rotational movement of the first means ( 1 ).
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